KR100560281B1 - Positive-type photosensitive composition - Google Patents
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Abstract
적외파장영역 레이저 감광성을 갖는 알칼리 가용성의 포지티브형 감광성조성물. 버닝이 불필요하고 작업실내의 온도가 25∼60%의 조건에서 도포하여 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있고, 고감도가 유지되어 잔사가 생기지 않는 현상이 가능하고, 예리한 윤곽으로 잘리고, 레지스트막이 대단이 단단하여 현상전 취급에 있어서의 내(耐)상처성이 향상하는 포지스트형 감광성 조성물.Alkali-soluble positive photosensitive composition having infrared wavelength laser photosensitivity. It is not necessary to burn and is applied under the condition of 25 ~ 60% of the temperature in the work room, so that sufficient adhesiveness can be obtained, and a high sensitivity is maintained so that no residue can be formed, it is cut to a sharp outline, and the resist film is hard The positive photosensitive composition which improves the scratch resistance in handling before image development.
페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 화상노광광원인 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질과, 폴리비닐폴리피롤리돈/폴리비닐아세테이트 코폴리머 등의 밀착개질제를 함유하여 이루어진다. Alkali-soluble organic polymer material which has a phenolic hydroxyl group, the photothermal conversion material which absorbs infrared rays which are image exposure light sources, and converts into heat, and adhesive modifiers, such as a polyvinyl polypyrrolidone / polyvinylacetate copolymer, are contained.
Description
본원발명은, 파장 700∼1,100nm의 레이저광으로 노광광원하여 해당 감응부가 현상액에 가용하게 되는 적외파장영역 레이저 감광성을 갖는 알칼리 가용성의 포지티브형 감광성 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to an alkali-soluble positive photosensitive composition having infrared wavelength laser photosensitivity in which exposure light sources are exposed to a laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm and are available to a developer.
종래의 오래된 포지티브형 감광성 평판인쇄판은, 노볼락수지와 백색광에 감광하는 물질인 o-퀴논디아지드 화합물을 포함하고 있고, 하기의 식(1)에 나타내는 바와 같이, o-퀴논디아지드 화합물의 광분해(화학변화)에 의해 Arndt-Eistert형의 전위를 일으켜 케텐구조가 되어 물의 존재하에서 5원환 카르본산을 발생하고, 노광부의 감광층 상부의 케텐이 감광층 하부의 나프토퀴논디아지드와 반응하여 락톤을 형성하고, 이것이 알칼리 수용액에 의한 현상시에 락톤환이 열려 카르본산나트륨이 되고, 또한 공존하는 노볼락도 알칼리 가용성이기 때문에 함께 용출하고, 한편, 미노광부의 감광층은 현상시의 알칼리에 의해 공존하는 노볼락과 커플링반응을 일으켜, 알칼리 난용성이 되어 레지스트화상으로서 남는다. 이와 같이, o-퀴논디아지드 화합물을 포함하고 있으면, 현상래티튜드(latitude)를 크게 얻을 수 있다. The conventional old positive type photosensitive flat plate printing plate contains o-quinone diazide compound which is a substance which photosensitizes a novolak resin and white light, As shown by following formula (1), photodegradation of o-quinone diazide compound is carried out. (Chemical change) causes an Arndt-Eistert type potential to form a ketene structure, generating 5-membered cyclic carboxylic acid in the presence of water, and ketene on the photosensitive layer in the exposed portion reacts with naphthoquinone diazide under the photosensitive layer to form a lactone. And the lactone ring is opened at the time of development by the aqueous alkali solution to form sodium carbonate, and the coexisting novolac is also alkali-soluble so that the photosensitive layer of the unexposed part coexists with the alkali at the time of development. Coupling reaction occurs with the novolac, which becomes alkaline poorly soluble and remains as a resist image. Thus, when the o-quinone diazide compound is included, the development latitude can be largely obtained.
여기서, 현상래티튜드란, 현상액에 바래어 노광부가 완전히 제거되기까지의 시간과, 현상액에 바래어지더라도 미노광부의 잔막율이 충분히 확보되는 시간과의 차가 있어 현상조작을 할 수 있는 것이라 정의할 수 있다. Here, the development latitude can be defined as that development operation can be performed because there is a difference between the time until the exposure part is completely removed from the developer and the time when the remaining film ratio of the unexposed part is sufficiently secured even when the developer is lost. .
이에 대하여, 제판이 백색등 아래에서도 행해지도록 하기 위해, 화학변화 이외의 변화를 이용하는 포지티브형 감광성 조성물이 발명되어, 적외파장 영역의 레 이저광에 의해 포지티브화상을 인화하여 노광부의 현상액에 대한 용해도를 증대시켜서 포지티브화상을 형성하는 방법이 고안되어 오프세트제판이나 플렉소제판으로 실시되고 있다.On the other hand, in order to make the plate making under white light, the positive type photosensitive composition which utilizes changes other than chemical change was invented, the positive image is printed by laser light of an infrared wavelength range, and the solubility to the developing solution of an exposure part is improved. The method of forming a positive image by increasing it is devised, and it is implemented by offset plate making and flexographic plate making.
기술문헌으로서는, 예를 들면 일본 특허공개 평성 10-268512호 공보, 일본 특허공개 평성 11-194504호 공보, 일본 특허공개 평성 11-223936호 공보, 일본 특허공개 평성 11-84657호 공보, 일본 특허공개 평성 11-174681호 공보, 일본 특허공개 평성 11-231515호 공보, WO97/39894, WO98/42507, 일본 특허공개 2002-189293, 일본 특허공개 2002-189294 등이 있다. As technical documents, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-268512, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-194504, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-223936, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-84657, and Japanese Patent Publication Japanese Patent Laid-Open No. 11-174681, Japanese Patent Laid-Open No. 11-231515, WO97 / 39894, WO98 / 42507, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-189293, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-189294, and the like.
상기의 각 문헌에 기재된 포지티브형 감광성 평판인쇄판은, 적외흡수색소 등의 적외광을 흡수하여 열로 변환하는 물질과 노볼락수지 등의 알칼리 가용성수지를 주된 감광층성분으로 하여, 적외레이저광 노광에서 발생한 열에 의해서, 수지의 컨포메이션변화 등의 물리변화를 일으켜 현상액에 대한 용해도를 증대시키는 것이다.The positive photosensitive flat panel described in each of the above documents is produced by infrared laser light exposure using a substance which absorbs infrared light such as infrared absorbing dye and converts it into heat and an alkali soluble resin such as novolac resin as a main photosensitive layer component. The heat causes physical changes such as the conformation change of the resin to increase the solubility in the developer.
그러나, o-퀴논디아지드 화합물을 포함하지 않고, 적외파장 영역의 레이저광에 의해 포지티브화상을 인화하여 수지의 컨포메이션변화 등의 물리변화를 일으켜 용해성의 증대를 꾀하는 포지티브형 감광성 평판인쇄판은, 현상에 있어서는 도포막 후에 버닝(가열조작)이 필요하고, 버닝을 하더라도 또 노광부와 미노광부와의 용해속도차가 작고, 감도, 현상래티튜드 등의 인쇄판의 기본성능이 열등하여, 현상처리 매수를 늘렸을 때의 현상처리 안정성을 만족시키는 것이 곤란한 사정 하에 있다. However, a positive photosensitive plate printing plate which does not contain an o-quinonediazide compound and which prints a positive image by laser light in an infrared wavelength region, causes physical changes such as a conformation change of a resin and seeks to increase solubility. In this case, burning (heating operation) is required after the coating film, and even if burning, the difference in dissolution rate between the exposed portion and the unexposed portion is small, and the basic performance of the printing plate such as sensitivity and developing latitude is inferior, and thus the number of developing treatments is increased. It is under the circumstances that it is difficult to satisfy the development stability at the time.
상기에 대하여, 그라비아제판에 있어서는 전혀 사정을 달리하고 있다. 그라비아 제판·인쇄가 가장 보급되어 있는 일본에서는, 종래, 도포막형성후 가열 없이 현상할 수 있는 포지티브형 서멀레지스트를 사용하여 그라비아제판이 행해지는, 그라비아 제판방법은 전혀 실시되고 있지 않고, 특허문헌, 실험문헌도 전혀 없다. On the other hand, the gravure plate making differs at all. In Japan, where gravure engraving and printing are most prevalent, a gravure engraving method is conventionally performed in which gravure engraving is performed using a positive thermal resist that can be developed without heating after coating film formation. There is no experimental literature at all.
종래에 있어서, 부식법/레이저 제판법에 의한 피제판로울의 그라비아 제판공정은, 예를 들면, 반입-탈지-수세-산(酸)세정-수세-발라드처리-수세-발라드구리도금-수세-지석연마-수세-감광제코트-산화방지제코트-적외선레이저 노광장치에 의한 화상인화-현상-수세-식각(食刻)-수세-레지스트박리-수세-크롬도금-수세-연마-수세-반출의 공정으로 되어 있다. In the past, the gravure engraving process of the plated roll by the corrosion method or the laser engraving method is carried out, for example, carrying in, degreasing, washing, pickling, washing, ballad treatment, washing, ballad copper plating, washing, and grinding. Polishing, washing, photosensitizer coat, antioxidant coat, image printing by infrared laser exposure apparatus, developing, washing, etching, washing, washing, resist peeling, washing, washing, chrome plating, washing, polishing, washing, washing It is.
부식법/레이저제판법에 의한 피제판로울의 그라비아 제판공정이 개시되어 있는 기술문헌으로서는, 일본 특허출원 평성 10-193551, 일본 특허출원 평성 10-193552, 일본 특허공개 2000-062342, 일본 특허공개 2000-062343, 일본 특허공개 2000-062344, 일본 특허공개 2001-179923, 일본 특허공개 2001-179924, 일본 특허공개 2001-187440, 일본 특허공개 2001-187441, 일본 특허공개 2001-191475, 일본 특허공개 2001-191476, 일본 특허공개 2001-260304, 일본 특허공개 2002-127369, 일본 특허공개 2002-187249, 일본 특허공개 2002-187250, 일본 특허공개 2002-200728, 일본 특허공개 2002-200729, 일본 특허공개 2002-307640, 일본 특허공개 2002-307641호를 들 수 있다.As a technical document that discloses a gravure engraving process for a plated roll by the corrosion method / laser making method, Japanese Patent Application Publication No. 10-193551, Japanese Patent Application Form No. 10-193552, Japanese Patent Application Publication 2000-062342, Japanese Patent Application Publication 2000- 062343, Japanese Patent Publication 2000-062344, Japanese Patent Publication 2001-179923, Japanese Patent Publication 2001-179924, Japanese Patent Publication 2001-187440, Japanese Patent Publication 2001-187441, Japanese Patent Publication 2001-191475, Japanese Patent Publication 2001-191476 Japanese Patent Publication 2001-260304, Japanese Patent Publication 2002-127369, Japanese Patent Publication 2002-187249, Japanese Patent Publication 2002-187250, Japanese Patent Publication 2002-200728, Japanese Patent Publication 2002-200729, Japanese Patent Publication 2002-307640, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-307641 is mentioned.
상기의 문헌에 기재되어 있는 그라비아 제판공정은, 어느 것이나 네가티브형 감광성 조성제로 이루어지는 감광막을 도포막하고 있고, 포지티브형 감광성 조성제로 이루어지는 감광막을 도포막하는 것이 아니다. 종래의 에칭법에서는, 피제판로울에 네가티브형 감광막을 도포하고 도포막을 실온에서 건고(乾固)하여 네가티브형 감광막으로 하고, 아르곤이온 레이저에 의해 인화를 하고 있고, 피제판로울에 포지티브형 감광막을 형성하여 적외파장의 레이저광에 의해 포지티브형 감광제화상을 인화하는 것은 행하여지고 있지 않다.In the gravure engraving process described in the above-mentioned document, either of which coats the photosensitive film which consists of a negative photosensitive composition agent, and does not coat the photosensitive film which consists of a positive photosensitive composition agent. In the conventional etching method, a negative photosensitive film is applied to a platen roll, and the coating film is dried at room temperature to form a negative photosensitive film, which is printed by an argon ion laser, and a positive photosensitive film is applied to the platen roll. The formation and printing of the positive photosensitive agent image by the infrared light laser beam are not performed.
캐나다의 크레오사이텍스사의 고출력 반도체 레이저헤드는, 적외파장 영역의 레이저를 방사하는 것으로, 오프세트 인쇄기에 탑재되어 포지티브형 감광성 조성물에의 조사가 행하여져 양호한 현상을 행할 수 있는 것으로 세계적으로 실용되어 있다.The high power semiconductor laser head of CreoScitex Co., Ltd. of Canada emits an infrared wavelength region laser, and is widely used worldwide because it can be mounted on an offset printing machine and irradiated to a positive photosensitive composition to perform good development.
아르곤이온 레이저광의 빔 지름과 파장 700∼1,100nm의 레이저광의 빔 지름이 같은 크기이면, 레이저의 해상도는, 네가티브형보다도 포지티브형쪽이 고해상도가 되고, 또한 처리시간이 대폭 단축된다.If the beam diameter of the argon ion laser beam and the beam diameter of the laser beam having a wavelength of 700 to 1,100 nm are the same size, the resolution of the laser becomes higher in the positive type than in the negative type, and the processing time is greatly shortened.
또한, 포지티브형 감광성 조성물의 감광막을 적외파장 영역의 레이저로 포지티브화상을 인화하는 쪽이, 네가티브형 감광성 조성물의 감광막을 아르곤레이저로 화상을 인화하는 것보다도 패턴의 잘려짐이 좋다. 이것은, 포지티브형 감광성 조성물과 네가티브형 감광성 조성물과의 조성의 차이에 의한 패턴의 잘려짐의 차라고 생각된다.Further, the method of printing the positive image of the photosensitive film of the positive photosensitive composition with the laser of the infrared wavelength region is more preferable to cut the pattern than to print the image of the photosensitive film of the negative photosensitive composition with an argon laser. This is considered to be the difference of the cutting of a pattern by the difference of the composition of a positive photosensitive composition and a negative photosensitive composition.
종래에 있어서, 포지티브형 감광성 조성제가 오프세트제판이나 플렉소제판에서 사용되고 있는 데도 그라비아제판에서는 사용되어 오지 않았던 이유는, 네가티브형 감광제를 그라비아제판에 사용할 수 있었기 때문이다. 네가티브형 감광제는 자와선을 조사하여 노광부분의 수지의 중합도를 고정하기 위한 것이기 때문에, 피도포면의 재질이 어떤 것이더라도 현상래티튜드를 필요 충분하게 확보할 수 있다.In the past, the reason why the negative photosensitive composition was not used in the gravure plate even though the positive photosensitive composition agent is used in the offset plate and the flexographic plate is because the negative type photosensitive agent can be used in the gravure plate. Since the negative photosensitive agent is used to fix the degree of polymerization of the resin in the exposed portion by irradiating the magnetic lines, the development latitude can be sufficiently secured regardless of the material of the surface to be coated.
다른 한편, 그라비아 인쇄로울의 황산구리도금과의 관계에 있어서 만족할 수 있는 현상래티튜드를 갖는 포지티브형 감광성 조성제가 전혀 존재하지 않았다. 특히, 도포후에 버닝을 행하지 않는 감광성 조성제가 전혀 존재하지 않았기 때문이다. 오프세트제판이나 플렉소제판에서 사용되고 있는 포지티브형 감광성 조성제를 그라비아용의 피제판로울에 도포하더라도 성막할 수 있는 조건이 거의 없다. 대부분의 경우, 그라비아용의 피제판로울에의 포지티브형 감광성 조성제의 도포막은 알칼리 현상액에서 전면적으로 흘러버린다. 도포후에 버닝을 행하더라도 마찬가지이다.On the other hand, there was no positive photosensitive composition agent having a developing latitude which was satisfactory in the relationship with the copper sulfate plating of the gravure printing roll. In particular, the photosensitive composition which does not burn after application | coating did not exist at all. Even if a positive photosensitive composition agent used in offset or flexographic plates is applied to a toner for rolls for gravure, there are almost no conditions under which film can be formed. In most cases, the coating film of the positive photosensitive composition agent to the to-be-rolled roll for gravure flows in the alkali developing solution entirely. The same applies to burning after coating.
적외파장 영역의 레이저광을 고출력할 수 있는 반도체 레이저나 YAG 레이저 등을 사용하여 포지티브형 감광막을 사용하는 고해상도의 그라비아 제판시스템은, 아르곤이온 레이저를 사용하는 경우와 비교하여, 장치의 소형화, 제판작업시의 환경광, 해상도, 패턴의 잘려짐 등의 면으로부터, 그 실현을 강하게 요망되고 있다.The high-resolution gravure engraving system using a positive photosensitive film using a semiconductor laser or a YAG laser capable of high output of laser light in the infrared wavelength range is smaller in size and engraving than an argon ion laser. The realization is strongly desired from the viewpoint of environmental light, resolution, and clipping of the city.
본 발명자들은, 상술한 사정에 감안하여, 그라비아 인쇄로울의 황산구리도금과의 관계에 있어서 도포후에 버닝을 행하지 않기 때문에 필요 충분한 현상래티튜드를 갖는 포지티브형 감광성 조성제의 개발에 착수하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In view of the above situation, the present inventors started development of the positive photosensitive composition agent which has sufficient development latitude because it does not burn after application | coating in relationship with copper sulfate plating of a gravure printing roll.
그리고, 그라비아 인쇄로울의 제판방법의 하나로서의 에칭법에 대해서, 노볼락수지와 시아닌색소를 배합한 포지티브형 감광성 조성물의 원액을 만들고, 이 원액을 용제로 묽게 한 포지티브형 감광제를 그라비아용 피제판로울의 황산구리도금면에 도포형성하였다. 포지티브형 감광제의 도포에는, 일본 특허공고 평성 07- 109511호에 관한 감광막 도포장치(주식회사 싱크·라보라토리제)를 사용하였다. 그리고, 크레오사이텍스사의 고출력 반도체 레이저헤드를 탑재한 적외선레이저 노광장치(주식회사 싱크·라보라토리제)에 의해 적외파장 영역의 레이저를 조사하여 포지티브화상을 인화하고 나서 현상하는 테스트를 한 바, 감광막이 전면적으로 이탈하여 만족스러운 레지스트화상을 하나도 얻을 수 없었다.And about the etching method as one of the gravure printing roll making methods, the stock solution of the positive photosensitive composition which mix | blended novolak resin and cyanine pigment | dye was made, and the positive photosensitive agent which diluted this stock solution with the solvent was used for the gravure roll roller. The coating was formed on the surface of copper sulfate plated. For the application of the positive photosensitive agent, a photosensitive film coating apparatus (manufactured by Sink Laboratories Co., Ltd.) according to Japanese Patent Publication No. 07-109511 was used. Then, a photosensitive film was tested by irradiating a laser in the infrared wavelength region by using an infrared laser exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories Co., Ltd.) equipped with a Creoscitex high-power semiconductor laser head to print a positive image. This entirety deviated and no satisfactory resist image could be obtained.
일본 특허공고 평성 07-109511호에 관한 감광막 도포장치에 의한 성막에 관해서 평가한 바, 도포로울이 탱크내의 감광제에 침지하여 피도포면에 대하여 감광제를 몇 번이나 칠해 넣고 있는 접촉도포방식의 스파이럴 스캔방식이고, 공기를 감광막중에 이겨 넣고 있는 것이 생각되고, 더구나 탱크가 오픈된 구조이기 때문에 탱크에 저류하는 감광제중의 용제가 증산하여 증발잠열을 빼앗아 도포로울이 차가워져서 표백현상을 수반하는 도포가 되어 버리는 것을 알 수 있고, 또한, 용제농도가 끊임없이 감소하여 점도가 점차로 상승하여 균일한 막두께로 도포막할 수 없다는 것을 알 수 있었다. 그 결과, 일본 특허공고 평성 07-109511호에 관한 감광막 도포장치에 의해 네가티브형 감광제의 도포·성막이 적절하게 행하여지더라도, 포지티브형 감광제막에 대해서는 극히 부적당하다고 결론지었다.Evaluation of the film formation by the photosensitive film coating apparatus according to Japanese Patent Publication No. 07-109511, the spiral coating method of the contact coating method in which the coating roll was immersed in the photosensitive agent in the tank and painted the photosensitive agent on the surface to be coated many times. In addition, it is thought that air is drawn into the photoresist film, and furthermore, since the tank is open, the solvent in the photoresist stored in the tank is evaporated, the latent heat of evaporation is taken away, and the application roller becomes cold, resulting in application with bleaching phenomenon. It was also found that the solvent concentration constantly decreased, and the viscosity gradually increased, so that it was impossible to coat the film with a uniform film thickness. As a result, it was concluded that the positive photoresist film was extremely inadequate even if the negative photosensitive agent was applied and formed by the photosensitive film coating apparatus according to Japanese Patent Publication No. 07-109511.
그래서, 일본 특허공고 평성 07-109511호에 관한 감광막 도포장치로 바꿔, 탱크내의 감광제중의 용제가 증산하는 일이 없는 밀폐상태에서 더구나 피제판로울에 대하여 비접촉으로 도포할 수가 있어, 표백현상을 수반하는 도포가 회피되는 감광막 도포장치를 개발하였다. Therefore, by changing to the photosensitive film coating apparatus according to Japanese Patent Publication No. 07-109511, it is possible to apply non-contact to the toner plate roll in a closed state in which the solvent in the photosensitive agent in the tank does not increase. A photosensitive film coating apparatus has been developed in which coating is avoided.
해당 감광막 도포장치는, 본원발명의 실시의 형태의 항목에서 상술하지만, 요약하면, 포지티브형 감광제를 피제판로울에 도포하여 막을 제조하는 방법으로서, 세로관인 감광제 유출관의 상단을, 수평으로 양 끝단 척(Cchuck)되어 회전되는 피제판로울의 일끝단 하면에 근접시키고, 감광제를 감광제 유출관의 상단으로부터 조금 솟아올라 흘러 넘치도록 공급하여 감광제 유출관을 피제판로울의 일끝단으로부터 다른 끝단까지 이동함에 의해 스파이럴 스캔방식으로 도포액을 피제판로울에 도포하고, 도포막이 자연건조할 때까지 로울의 회전을 속행하는 것이다. Although the said photosensitive film coating apparatus is mentioned above in the item of embodiment of this invention, in summary, it is a method of manufacturing a film | membrane by apply | coating a positive photosensitive agent to a toner plate roll, Comprising: The upper end of the photosensitive agent outflow pipe which is a vertical pipe is carried out horizontally at both ends. The chuck is moved close to the lower surface of one end of the platen roll to be rotated, and the photosensitive agent is supplied so as to flow out of the top of the photosensitive agent outlet pipe and overflows so as to move the photosensitive agent outlet tube from one end of the platen roller to the other end. The coating liquid is applied to the plated roll by the spiral scanning method, and the rotation of the roll is continued until the coating film is naturally dried.
그래서, 연구를 속행한 바, 포지티브형 감광성 조성물의 황산구리도금면에 대한 강한 밀착을 얻을 수 없고, 현상하면, 화선부와 비화선부와의 구별 없이 알칼리현상액에서 즉시 흘러버리는 것이 계속되었다. Therefore, as a result of the study, strong adhesion to the copper sulfate-plated surface of the positive photosensitive composition could not be obtained, and when developed, it immediately flowed out of the alkaline developer without distinction between the caustic and non-caustic portions.
이 때문에, 도포막후에 막면을 고온으로 가열조작하는 버닝을 하여 밀착력을 부여하는 것을 회피할 수 없다고 생각되었다.For this reason, it was thought that burning after heating a film surface at high temperature after a coating film and giving adhesive force cannot be avoided.
버닝을 할 필요가 없다고 생각한 것은, 포지티브형 감광성 조성물의 황산구리도금면에 대한 밀착성이 지극히 부족한 것에 기인하여 막이 제조되지 않는 상태가 발생하고 있는 것으로 생각되고, 막 제조후에 버닝을 하면, 페놀성수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 수소결합을 강화하여 밀착성을 높일 수 있다고 생각되었기 때문이다.It is thought that the need for burning does not occur due to the extremely insufficient adhesion of the positive photosensitive composition to the copper sulfate plated surface. This is because it was thought that the adhesion could be enhanced by strengthening the hydrogen bond of the alkali-soluble organic polymer material.
해당 면은, 버닝을 하는 것으로 하여 연구를 속행한 바, 상기 작성한 노볼락수지와 시아닌색소를 배합한 포지티브형 감광성 조성물을 피제판로울에 도포하여 막면온도가 60℃가 되도록 30분간 버닝을 하고 나서 레이저노광하여 현상한 바 현상이 불량이 되었다. The surface was burned, and the study was continued. After the positive photosensitive composition containing the above-described novolak resin and cyanine pigment was applied to the platen roll, the film was burned for 30 minutes so that the film surface temperature was 60 ° C. When developed by laser exposure, the phenomenon became defective.
그래서, 막면온도가 130℃가 되도록 30분간 버닝을 한 바, 그럼에도 불구하고 비화선부도 포함하여 전면적으로 이탈하는 현상불량이 일어났다. Therefore, the film was burned for 30 minutes so that the film surface temperature was 130 ° C. Nevertheless, the phenomenon of total deviation from the non-fired part also occurred.
버닝을 하더라도 또한 현상불량이 일어나는 것은, 포지티브형 감광성 조성물의 황산구리도금에 대한 밀착성이 지나치게 낮은 것이 원인이라고 결론지었다. It was concluded that the poor development even when burning was caused by the too low adhesion of the positive photosensitive composition to copper sulfate plating.
그래서, 포지티브형 감광성 조성물에 밀착력을 높이는 조제로서 실란 커플링제를 넣어 감광막의 밀착력의 증대를 꾀한 결과, 노광·현상을 약간 양호하게 행할 수 있게 되었다. Then, as a silane coupling agent was added as an adjuvant which raises adhesive force to a positive photosensitive composition, the adhesive force of the photosensitive film was made to increase, and exposure and image development were able to be performed slightly satisfactorily.
구체적으로는, 예를 들면 200φmm의 피제판로울을 25r.p.m의 저속도로 회전시켜 포지티브형 감광제를 도포하고, 액흐름이 생기지 않도록 회전을 속행하여 자연건조 조건하에서 5분 경과시켜 액흐름이 일어나지 않게 되는 상태로 용제가 기화한 건조정도의 감광막을 세트하고, 그 후에, 130℃에서 30분간 버닝하였을 때의 용제잔류농도는 2% 미만이고, 레이저에 의해 화상을 인화할 수 있어 현상할 수 있었다. Specifically, for example, a 200 mm diameter platen roll is rotated at a low speed of 25 r.pm to apply a positive photosensitive agent, and the rotation is continued so as not to produce a liquid flow, and 5 minutes are passed under natural drying conditions so that liquid flow does not occur. After drying the solvent-vaporized photosensitive film | membrane in the state set, the solvent residual density | concentration when burning at 130 degreeC for 30 minutes was less than 2%, the image could be printed by a laser, and it could develop.
그러나, 막에 대한 밀착성이 최선이라고는 할 수 없어 노광·현상이 약간 양호한 영역을 넘지 않았다. However, the adhesion to the film was not the best, and the exposure and development did not exceed the slightly favorable region.
또한, 막면온도를 130℃로 하면, 버닝과 그 후의 냉각에 100분 이상의 시간을 요하고, 다량의 열에너지를 필요로 하고, 러닝비용이 높아져, 이것으로는 실용성이 부족한 것을 알 수 있었다. In addition, when the film surface temperature was set to 130 ° C, burning and subsequent cooling required a time of 100 minutes or more, a large amount of thermal energy was required, and the running cost was high, indicating that the practicality was insufficient.
또한, 막면온도를 130℃로 하면, 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 수소결합이 강해져 현상하기 어려워지는 동시에, 시아닌색소에 변성 을 초래하여 감도저하하는 것이 패턴의 잘려짐이 나쁜 점으로부터 느낄 수 있었다.In addition, when the film surface temperature is 130 ° C, hydrogen bonding of alkali-soluble organic polymers having phenolic hydroxyl groups becomes stronger and harder to develop, and deterioration in sensitivity due to denaturation of cyanine pigments results in poor pattern cutting. I could feel it.
그리고, 레지스트화상에 관해서 잘 관찰하면, 핀홀이 많이 발생하고 있는 것을 알 수 있었다. 네가티브 레지스트화상에서는 이러한 핀홀의 발생은 없었다. 이에 대해서는, 지석에 의한 정밀연마 후의 수세만으로는 피제판로울에 부착하고 있는 연마가루를 완전히 씻어 버릴 수 없는 것, 제판실을 고도의 크린룸으로 하지 않으면 피제판로울의 반송중에 먼지가 피제판로울에 부착하는 것, 및 포지티브 레지스트화상이 네가티브 레지스트화상보다 막 제조조건에 극히 민감한 것이 생각되었다. And when a good observation was carried out regarding a resist image, it turned out that many pinholes generate | occur | produce. There was no such pinhole in the negative resist image. On the other hand, only the washing after the fine grinding by the grinding wheel cannot wash away the abrasive powder adhering to the platen roll completely. If the platen room is not a high clean room, the dust adheres to the platen rolls during transportation of the platen roll. It is thought that the positive resist image and the positive resist image are more sensitive to the film production conditions than the negative resist image.
그래서, 여러 가지 검토한 결과, 피제판로울에 감광제를 도포하기 전에 와이핑크로스로 충분히 식정(拭淨)한 바, 핀홀의 발생을 억제할 수 있었다. Therefore, as a result of various examinations, when wiping cross was fully planted before apply | coating a photosensitive agent to a to-be-rolled roll, generation | occurrence | production of a pinhole was able to be suppressed.
다음에, 그라비아용 피제판로울은, 로울기재가 알루미늄인 것과 철제인 것이 있고, 게다가, 로울지름이 다른 동시에 로울지름이 다르면 두께가 전부 달라지기 때문에, 비열용량의 차이로 인해 히터로 같은 시간만큼 가열하더라도 열이 로울기재로 전해져 막면온도가 항상 130℃로 가열되는 것이 아니라 여러 다른 온도로 가열되는 불균형이 생기기 때문에, 온도를 내려 비열용량의 문제를 없애는 것이 중요하다고 생각하였다. Next, the gravure roll for gravure rolls are made of aluminum and iron, and in addition, if the roll diameters are different and the roll diameters are different, the thicknesses are all different. Even if heated, the heat is transferred to the roll base, so the temperature is not always heated to 130 ° C, but an imbalance is generated at different temperatures. Therefore, it is important to lower the temperature to eliminate the problem of specific heat capacity.
용제농도를 대폭 저감하기 위한 버닝은, 용제이탈이 좋은 조성을 선택함으로서 막면온도를 130℃보다 훨씬 낮은 온도로 하더라도 달성할 수 있다고 생각하였다. It was thought that burning to significantly reduce the solvent concentration could be achieved even if the film surface temperature was much lower than 130 ° C by selecting a composition having good solvent release.
가열시간을 짧게 하여가는 테스트를 하여, 막면의 버닝온도를 80℃∼100℃로 내려 50분간 버닝한 바, 용제농도가 6% 이하가 된 것을 확인하였지만, 현상불량이라는 결과가 되었다. 원인으로서, 상기의 실란 커플링제로서는 필요충분한 밀착력를 얻을 수 없다고 결론지었다. When the heating time was shortened and the burning temperature of the membrane surface was reduced to 80 to 100 ° C. and burned for 50 minutes, it was confirmed that the solvent concentration was 6% or less, but the result was development failure. As a cause, it was concluded that sufficient adhesive force as said silane coupling agent could not be obtained.
이어서, 밀착제로서 실란 커플링제를 대신하여 경화촉진제인 이미다졸을 넣어 보았지만, 실란 커플링제의 경우와 특히 변함이 없고, 막면의 버닝온도도 실란 커플링제의 경우와 동일하였다. Subsequently, the imidazole which is a hardening accelerator was put in place of a silane coupling agent as an adhesive agent, but it did not change in particular with the case of a silane coupling agent, and the burning temperature of a film surface was also the same as the case of a silane coupling agent.
계속하여, 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 화상노광광원인 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질로 이루어지는 포지티브형 감광성 조성물의 원액에 대하여, 각종 밀착제를 바꿔 첨가하여 실온 25℃에서 황산구리도금로울로 감광막을 형성하고, 상기 적외선레이저 노광장치(주식회사 싱크·라보라토리제)에 의해 테스트화상을 노광하여 현상하는 실험을 한 바, 티타늄 유기화합물을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물의 감광막에 대해서는, 버닝온도를 현저히 저하시킬 수 있었다. Subsequently, various adhesives were added to the stock solution of a positive photosensitive composition comprising an alkali-soluble organic polymer material having a phenolic hydroxyl group and a photothermal conversion material that absorbs infrared light as an image exposure light source and converts it into heat. The photoresist was formed by using a copper sulfate-plated roller at and the test image was exposed and developed by the infrared laser exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories Co., Ltd.), and the photosensitive film of the positive photosensitive composition containing titanium organic compound was added. As for, the burning temperature could be significantly reduced.
티타늄 유기화합물을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물의 감광막의 경우는, 버닝온도가 46℃에서도 양호하게 성막할 수 있어, 감도가 양호하게 되어 현상을 용이하게 행할 수 있었다. In the case of the photosensitive film | membrane of the positive photosensitive composition which added the titanium organic compound, even if burning temperature was 46 degreeC, it could form favorable, a sensitivity became favorable, and image development could be performed easily.
그러나, 버닝처리를 하지 않은 테스트에서는, 양호한 성막을 할 수 없어 현상불량이 되었다. However, in the test which was not burned out, favorable film formation was not possible, resulting in poor development.
버닝온도를 50℃ 부근으로 저하시킬 수 있더라도, 버닝을 필요로 하는 것은, 버닝후에 냉각을 하는 것이 필요하는 것, 버닝 및 그 후의 냉각에 시간과 에너지가 드는 것, 장치라인이 버닝장치의 분만큼 길어져서, 설비비와 러닝비용이 높아지는 것이 불리하게 된다. 역시, 버닝을 불필요하게 하는 것이 해결해야만 하는 과제라고 생각하였다. Even if the burning temperature can be reduced to around 50 ° C, burning requires the cooling after burning, the time and energy required for burning and subsequent cooling, and the line of the device being burned. It becomes long, and it becomes disadvantageous that equipment cost and running cost become high. Again, I thought that making burning unnecessary was a problem to be solved.
버닝을 하면, 로울은 얇은 판자재와 달리, 열부하가 크고 필요한 온도로 가열하는 데 30∼60분 걸리고, 또한 실온이 될 때까지 냉각하는 데 50∼100분 이상 걸리고, 더구나, 이들 시간은 로울의 크기에 따라 다르기 때문에 균일한 제어를 할 수 없다. 또, 버닝을 하는 것은, 시아닌색소에 변성을 초래하여 감도저하하여 패턴의 잘려짐이 나빠지는 동시에, 현상시에 레지스트가 엷어져 윤곽이 후퇴하여 핀홀이 생기는 한가지 원인이 되고 있다. When burned, the roll, unlike thin boards, takes 30 to 60 minutes to heat up to the required temperature and takes 50 to 100 minutes to cool down to room temperature. Since it depends on the size, uniform control is not possible. Further, burning causes one of the causes of denaturation of the cyanine dye, deterioration of sensitivity, worsening of the pattern being cut off, and thinning of the resist at the time of development, leading to retraction of the contour and pinholes.
따라서, 버닝을 필요로 하지 않는 포지티브형 감광막의 개발이 강하게 요망되고 있다. Therefore, development of a positive photosensitive film which does not require burning is strongly desired.
여러 번의 테스트를 되풀이한 결과, 성막하였을 때의 MEK, IPA, PM 등의 합계의 용제잔류농도가 높으면 레이저에 의해 화상이 인화되지 않는 것(노광부분의 감광막 형성수지의 분자의 주요체인 또는 사이드체인의 부분을 절단하여 알칼리 가용성이 한층 높아지는 저분자로 하는 동시에, 감광층 비산(飛散)을 적절히 생기게 한 상태의 잠상(潛像)을 형성할 수 없는 것)이 판명되었다.As a result of repeating several tests, if the total solvent residue concentration of MEK, IPA, PM, etc. during the film formation is high, the image is not printed by the laser (the main chain or the side chain of the molecules of the photoresist film-forming resin in the exposed part). It was found that the part of was cut into a low molecule having a higher alkali solubility, and that a latent flaw in the state in which the photosensitive layer was scattered properly could not be formed.
황산구리도금판에 포지티브형 감광제를 도포하고, 실온 25℃에서 송풍을 하지 않는 자연건조 조건에서 15분 경과시켰을 때의 용제잔류농도는 11%, 25시간 경과시켰을 때의 용제잔류농도는 9%이었다. 45r.p.m으로 회전하는 피제판로울에 포지티브형 감광제를 도포하고, 10분간 경과후에 측정한 결과에서는 용제잔류농도는 7%까지 밖에 내려가지 않은 것을 알 수 있었다. After the positive type photosensitive agent was applied to the copper sulfate plated plate and the product was blown at a room temperature of 25 ° C. for 15 minutes under natural drying conditions, the solvent residue concentration was 11% and the solvent residue concentration after 25 hours was 9%. After the positive photosensitive agent was applied to the platen roll rotating at 45r.p.m, and measured after 10 minutes, it was found that the solvent residual concentration was reduced to only 7%.
따라서, 포지티브형 감광제에 밀착력을 강화하는 조제를 포함시킨 개질을 행하여 버닝을 필요로 하지 않는 포지티브형 감광막의 원액을 다시 만들고, 그 결과를 노광·현상에 의해 확인하기 위해서는, 이와 병행하여 용제잔류농도를 대폭 저감할 수 있는 기술을 먼저 안출해야 하는 것이 판명되었다. Therefore, in order to regenerate the stock solution of the positive photoresist film which does not require burning by reforming including the preparation that enhances adhesion to the positive photoresist, and to confirm the result by exposure and development, the solvent residual concentration is parallel to this. It was proved that the technology that can greatly reduce the amount of energy must be devised first.
그래서, 본원 발명자들은, 여기서 처음으로, 버닝을 필요로 하지 않는 포지티브형 감광막의 실용화를 개발테마로 하여, 성막 후 버닝에 의존하지 않는 다른 수단에 의해 단시간에 또한 용이하게 용제잔류농도를 대폭 저감할 수 있는 성막건조기술의 개발과, 밀착력을 강화하는 조제의 첨가에 의해 포지티브형 감광막 자체의 밀착성을 크게 향상할 수 있고, 현상래티튜드가 큰 포지티브형 감광막의 개발을 개념적으로 구별하여, 전자의 과제부터 먼저 해결하기 위해 연구를 속행하였다. Therefore, the present inventors, for the first time, make practical use of a positive photosensitive film that does not require burning, and can drastically reduce the solvent residual concentration easily and easily in a short time by other means that do not rely on burning after film formation. The development of a film-forming drying technique and the addition of an agent for enhancing adhesion can greatly improve the adhesion of the positive photoresist film itself, and conceptually distinguish the development of a positive photoresist film with a large development latitude. The study was continued to solve the problem first.
도포막으로부터 용제가 휘발하는 것에 대해서 생각하였다. 도포막은 공기에 닿아 표면으로부터 건조하여 경도를 증가하여 조직이 조여져 가고 있기 때문에, 시간이 경과하여 표면이 건조하면 할수록 내층에 존재하는 용제의 확산성이 저하하는 것이라 생각된다. 다른 한편, 도포막으로부터 용제가 휘발하는 정도는, 분위기의 압력에 의해 달라, 부압(負壓)으로 하면 도포막으로부터 용제가 휘발하는 정도가 커서 잔류용제를 효과적으로 저감할 수 있다고 생각된다. 그러나, 진공펌프를 사용하여 진공으로 한 챔버내에 성막한 로울을 둘 수는 없다.The solvent volatilized from the coating film was considered. Since the coating film touches the air and is dried from the surface to increase its hardness and the structure is tightened, it is considered that the more the surface dries over time, the lower the diffusion property of the solvent present in the inner layer. On the other hand, the degree to which the solvent volatilizes from the coating film varies depending on the pressure of the atmosphere, and when the pressure is negative, the degree of volatilization of the solvent from the coating film is large, and it is considered that the residual solvent can be effectively reduced. However, it is not possible to place a roll formed in a chamber by vacuum using a vacuum pump.
여기서, 본원발명자들은, 도포막이 액체가 늘어지지 않게 된 후, 피제판로울을 고속회전시켜 본 바, 단시간에 용제잔류농도를 3% 이하까지 떨어뜨리는 것을 발 견하였다.Here, the inventors of the present application found that, after the coating film was not drenched in liquid, the plated rolls were rotated at high speed, thereby reducing the solvent residual concentration to 3% or less in a short time.
이 지견에 따라서, 피제판로울을 일본 특허공고 평성 07-109511에 관하는 감광막 도포장치에 수평으로 양 끝단을 지지하고 소요의 저속도로 회전시켜, 테스트 감광액을 스파이럴 스캔방식·비접촉 도포방식으로 균일하게 도포하고, 그 후 회전을 속행하여 액흐름이 일어나지 않게 되는 상태로 용제가 기화한 건조정도의 감광막을 세트하고, 계속하여, 버닝을 하지 않더라도 지극히 단시간에 용제농도를 대폭 저감할 수 있는 기술로서, 해당 피제판로울을 소요의 고속으로 소요시간 회전시켜 막 중의 잔류용제에 원심력을 작용시켜서 막 표면을 공기와 마찰시킴으로써 막 중의 잔류용제를 공기중으로 확산이탈시켜, 레이저에 의한 화상인화성이 발현되는 낮은 용제잔류농도의 성막을 얻는 기술을 확립하였다. According to this knowledge, the plated rolls are horizontally supported at both ends by a photosensitive film applying apparatus according to Japanese Patent Publication No. 07-109511, and rotated at a low speed as required, so that the test photosensitive liquid is uniformly applied by a spiral scanning method or a non-contact coating method. As a technique that can apply a coating and then continue rotating to set the photoresist film of the degree of drying vaporized in a state where liquid flow does not occur, and then continuously reduce the concentration of the solvent in a very short time without burning. A low solvent that rotates the toner plate roll at a required high speed for a necessary time, exerts centrifugal force on the residual solvent in the film and rubs the surface of the film with air to diffuse away the residual solvent in the film into the air, thereby causing image flammability by a laser. The technique of obtaining film | membrane of residual concentration was established.
200φmm의 시험로울에 감광액을 균일하게 도포하고 도포종료로부터 5분간 25r.p.m으로 회전을 속행한 후 회전정지하고, 5분간 기다린 후, 액흐름에 대하여 관찰하여, 육안으로 액흐름이 생기지 않은 것을 확인하고, 시험로울을 100r.p.m으로 20분간 회전하고 정지하여, 감광막 중의 용제잔류농도를 측정한 바, 2.3%이었다. Apply the photoresist uniformly to the test roll of 200φmm, continue the rotation at 25r.pm for 5 minutes from the end of the application, stop the rotation, wait for 5 minutes, observe the liquid flow, and confirm that no liquid flow occurred The test roll was rotated and stopped for 20 minutes at 100 r.pm, and the solvent residue concentration in the photosensitive film was measured and found to be 2.3%.
그런데, 버닝을 하지 않더라도 지극히 단시간에 용제농도를 대폭 저감할 수 있는 기술을 개발한 것으로, 여러 가지의 밀착력을 강화하는 조제를 첨가하여 포지티브형 감광제에 대해서, 노광·현상을 하여 현상래티튜드를 갖는지 아닌지 연구를 속행하였다. By the way, we developed a technology that can significantly reduce the concentration of solvent in a very short time even without burning, and it has developed latitude by exposing and developing positive type photosensitive agent by adding various strengthening agents. The study was continued.
그 결과, 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 화상노광 광원인 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질로 이루어지는 포지티브형 감광성 조성물의 원액에, 셀룰로오스 유도체와 티타늄알콕시드, 티타늄아실레이트, 또는 티타늄킬레이트의 적어도 어느 하나의 티타늄 유기화합물을 포함하여 테스트한 결과, 버닝처리를 하면 현상이 불량이 되고, 버닝처리를 하지 않으면 현상이 우량이 되어, 최선의 레지스트패턴을 얻을 수 있었다. 이 때 실온은 25∼27℃, 습도는 50∼55% 전후이었다. As a result, cellulose derivatives, titanium alkoxides, titanium acylates, and the like are prepared in a stock solution of a positive photosensitive composition comprising an alkali-soluble organic polymer material having a phenolic hydroxyl group and a photothermal conversion material that absorbs infrared rays, which are image exposure light sources, and converts them into heat. Alternatively, as a result of testing with at least one titanium organic compound of titanium chelate, the development was poor when the burning process was performed, and the development was excellent when the burning process was not performed, thereby obtaining the best resist pattern. At this time, room temperature was 25-27 degreeC, and humidity was about 50-55%.
그러나, 하루 중 최고기온이 16℃ 정도이고 습도가 21∼23%보다 극히 낮은 날에 테스트한 바, 현상을 하면 감광막이 전면적으로 이탈해 버렸다. However, when the maximum temperature of the day was about 16 ° C. and the humidity was extremely lower than 21 to 23%, the photoresist was completely removed when developed.
포지티브형 감광제는, 일반적으로 60% 이상의 고습도일 때에 백화현상이 생겨서 막을 제조할 수 없다고 하는 습도의존성이 있는 것이 알려져 있다. It is known that positive type photosensitizers generally have a humidity dependency that whitening occurs at a high humidity of 60% or more, and thus a film cannot be produced.
그러나, 상기의 결과에 의해, 기온이 낮고 습도가 지극히 낮을 때에도 포지티브형 감광제의 밀착력이 발현하지 않는다는 것이 판명되었다. 또한, 왜 백화현상을 발생하여 막을 제조할 수 없는지에 있어서는 해명할 수 없었다. However, as a result of the above results, it has been found that the adhesion of the positive photosensitive agent does not develop even when the temperature is low and the humidity is extremely low. In addition, it was not possible to explain why the whitening phenomenon could not be produced.
그래서, 상기의 특허공고 평성 07-109511에 관한 감광막 도포장치의 케이싱내에 습도제거장치와 가습장치를 설치하여 습도를 컨트롤함으로써, 계속하여, 한층 밀착력을 강화하는 재료를 철저하게 탐색하여 소량을 첨가하여 성막하여 노광·현상하는 테스트를 잇달아 행한 결과, 페놀성 수산기를 갖거나 또는 페놀성 수산기를 반응시킨 에폭시수지를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 화상노광 광원인 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질의 원액에,Thus, by installing a humidity removing device and a humidifying device in the casing of the photosensitive film coating device according to the above Patent Publication No. 07-109511, the humidity is controlled, then thoroughly searching for a material that enhances the adhesion and adding a small amount. As a result of successive tests of film formation and exposure and development, an alkali-soluble organic polymer material having a phenolic hydroxyl group or an epoxy resin reacted with a phenolic hydroxyl group and a photothermal conversion material absorbing infrared rays as an image exposure light source and converting them into heat To the stock solution,
밀착성 개질제로서, As an adhesive modifier,
(1) 폴리비닐 폴리피롤리돈/폴리비닐 아세테이트 코폴리머,(1) polyvinyl polypyrrolidone / polyvinyl acetate copolymer,
(2) 폴리비닐부티랄,(2) polyvinyl butyral,
(3) 스티렌/말레인산 공중합체,(3) styrene / maleic acid copolymer,
(4) 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸 메타크릴레이트 코폴리머,(4) vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer,
(5) 비닐피롤리돈/카프로락탐/디메틸아미노에틸 메타크릴레이트의 터폴리머,(5) terpolymers of vinylpyrrolidone / caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate,
(6) 테르펜페놀수지,(6) terpene phenol resins,
(7) 알킬페놀수지,(7) alkylphenol resins,
(8) 폴리비닐포르말수지,(8) polyvinyl formal resin,
(9) 멜라민/포름알데히드수지,(9) melamine / formaldehyde resin,
(10) 폴리초산비닐,(10) polyvinyl acetate,
(11) 케톤수지(11) ketone resin
중 어느 1종류를 혼합하여 첨가한 각 포지티브 감광제에 대하여 현상래티튜드를 크게 얻을 수 있었다.The development latitude was largely obtained with respect to each positive photosensitive agent added by mixing any one of these.
상술하면, 실험실내의 실온을 25℃, 습도에 대해서는 감광막 도포장치의 케이싱내를 25%, 30%, 55%, 60%로 바꾼 조건으로서, 황산구리도금된 200φmm의 피제판로울을 감광막 도포장치에 양 끝단을 지지시키고, 25r.p.m으로 회전하여 와이핑크로스로 식정하고 뒤이어 포지티브형 감광제를 도포하고, 도포완료후에도 액흐름이 발생하지 않도록 회전을 속행하여 자연건조 조건하에서 5분 경과시켜 성막한 후에, 100r.p.m으로 10분간 회전하여 잔류용제를 저감하고 나서 회전정지하였다. More specifically, the conditions in which the room temperature in the laboratory was 25 ° C. and the humidity was changed to 25%, 30%, 55%, and 60% of the casing of the photoresist coating device were applied. Support both ends, rotate at 25r.pm, fix with wiping cross, then apply positive type photosensitive agent, and continue to rotate for 5 minutes under natural drying conditions to prevent liquid flow after completion of film formation. 10 minutes was rotated at 100 r.pm to reduce the residual solvent, and rotation was stopped.
감광막 도포장치로부터 집어낸 피제어판로울은, 어느 것이나 광택이 있고 대 단히 강한 밀착성을 갖는 지극히 경질인 감광막을 도포형성한 피검로울을 얻을 수 있었다. As the controlled plate roll picked up from the photosensitive film coating device, a test roll obtained by coating and forming an extremely hard photosensitive film having a glossy and very strong adhesiveness was obtained.
레지스트의 막두께는 3.5∼3.8㎛이었다. 용제잔류농도를 측정한 바, 어느 쪽의 시험로울도 2.3% 전후이었다. The film thickness of the resist was 3.5 to 3.8 mu m. Solvent residual concentration was measured, and both test rolls were around 2.3%.
그리고, 상기의 적외선레이저 노광장치(주식회사 싱크·라보라토리제)에 의해 적외파장 영역의 레이저로 테스트화상을 노광(화선부를 노광)하고, 이어서 알칼리현상한 바 비화선부도 용출하는 막 감소가 발생하였지만, 어느 쪽의 경우라도 알칼리현상액에 60∼70초 침지한 시점에서 극히 예리하고 잔사가 없는 레지스트패턴을 얻을 수 있었다. 그리고, 현상후 시간이 경과하여 자연건조한 레지스트패턴은 지극히 경질인 것을 확인할 수 있었다. 현상 후 레지스트의 막두께는 1.8∼2.5㎛이었다. 막 감소에 의한 핀홀의 발생은 없었다. Subsequently, the infrared laser exposure apparatus (manufactured by Sink Laboratories Co., Ltd.) exposes the test image (infrared line portion) to a laser in the infrared wavelength region, and then a decrease in film that elutes the non-radiated portion occurs due to alkali development. In either case, a resist pattern extremely sharp and free of residue was obtained at the time when it was immersed in the alkaline developing solution for 60 to 70 seconds. In addition, it was confirmed that the resist pattern naturally dried after the development of the time passed was extremely hard. The film thickness of the resist after image development was 1.8-2.5 micrometers. There was no occurrence of pinholes due to membrane reduction.
이상으로부터, 본원발명을 개발하는 것에 이르렀다. From the above, the present invention has been developed.
본원발명은, 파장 700∼1,100nm의 레이저광으로 노광광원하여 해당 감응부가 알칼리 현상액에 가용하게 되는 포지티브형 감광성 조성물에 관한 것으로, 도포작업실 내의 습도가 25∼60%의 범위에 있어서 도포할 때에 피도포대상에 도포하여 그 후의 버닝이 불필요하고, 알루미늄에 대하여 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있는 것은 물론인 것, 특히 알루미늄에 대하여 훨씬 강한 밀착력이 필요한 구리 또는 황산구리도금에 대하여 필요충분한 밀착성을 얻을 수 있고, 60∼70초 정도의 적절한 시간에 잔사가 발생하지 않는 양호한 알칼리 현상을 할 수 있고, 버닝처리를 하지 않음으로써 고감도가 유지되어 레지스트화상의 에지가 노광의 조사패턴과 같이 예리 한 윤곽으로 잘리는 극히 양호한 현상을 할 수 있고, 막 감소가 적어서 막 감소에 기인하는 핀홀의 발생이 적은 극히 양호한 현상을 할 수 있고, 레지스트화상에 광택이 있고, 그대로 인쇄에 제공해도 수천장 인쇄될 정도의 대단히 단단한 레지스트화상을 얻을 수 있고, 감광막 형성후 현상전의 취급에 있어서의 내(耐)상처성이 향상하여, 레이저에 의한 화상인화 및 현상래티튜드가 우수한 포지티브형 감광성 조성물을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.The present invention relates to a positive photosensitive composition in which an exposure light source is exposed to a laser light having a wavelength of 700 to 1,100 nm and the sensitive portion is soluble in an alkaline developer, and when the humidity in the coating chamber is applied in the range of 25 to 60%, it is to be avoided. Not only can it be applied to the coating object, and subsequent burning is not necessary, and sufficient adhesion to aluminum can be obtained, of course, in particular, sufficient adhesion to copper or copper sulfate plating, which requires much stronger adhesion to aluminum, can be obtained. It is possible to perform good alkali development without any residue at an appropriate time of about 60 to 70 seconds, and to maintain a high sensitivity by not burning, and extremely good that the edge of the resist image is cut into a sharp outline like an exposure pattern of exposure. Phenomena and pinholes caused by membrane reduction due to less membrane reduction This little development is extremely good, the resist image is glossy, and even if used as it is for printing, a very hard resist image that can be printed to thousands of sheets can be obtained. It is an object of the present invention to provide a positive photosensitive composition having improved properties and excellent laser image printing and developing latitude.
본원발명을 해결하기 위한 과제는, [청구항 1]에 기재된 바와 같이, 페놀성 수산기를 갖거나 또는 페놀성 수산기를 반응시킨 에폭시수지를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 화상노광광원인 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질을 포함하고, 또한 밀착개질제로서, (1) 폴리비닐폴리피롤리돈/폴리비닐아세테이트 코폴리머, (2) 폴리비닐부티랄, (3) 스티렌/말레인산 공중합체, (4) 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, (5) 비닐피롤리돈/카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트의 터폴리머, (6) 테르펜페놀수지, (7) 알킬페놀수지, (8) 폴리비닐포르말수지, (9) 멜라민/포름알데히드수지, (10) 폴리초산비닐, (11) 케톤수지중 어느 1종류를 함유하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물에 의해서 달성된다.An object of the present invention is to absorb an alkali-soluble organic polymer material having an phenolic hydroxyl group or an epoxy resin reacted with a phenolic hydroxyl group and infrared rays as an image exposure light source, as described in [Claim 1]. A light modifier that converts to heat and is also used as an adhesion modifier, including (1) polyvinylpolypyrrolidone / polyvinylacetate copolymer, (2) polyvinylbutyral, (3) styrene / maleic acid copolymer, (4) vinyl Pyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, (5) terpolymer of vinylpyrrolidone / caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate, (6) terpene phenol resin, (7) alkylphenol resin, (8 A polyvinyl formal resin, (9) melamine / formaldehyde resin, (10) polyvinyl acetate, and (11) a positive photosensitive composition, which comprises any one of ketone resins. do.
[발명의 실시의 형태] [Embodiment of the Invention]
[청구항 1]에 기재된 발명의 실시의 형태에 관한 포지티브형 감광성 조성물은, 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 파장 700∼1,100nm의 적외선영역의 일부 또는 전부에 흡수대를 갖고 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질을 포함하고, 밀착개질제로서, The positive photosensitive composition which concerns on embodiment of invention of Claim 1 has an absorption band in part or all of the alkali-soluble organic polymer material which has a phenolic hydroxyl group, and the wavelength range 700-1100 nm, and absorbs infrared rays. Including a photo-thermal conversion material that is converted into heat by the adhesion modifier,
폴리비닐폴리피롤리돈/폴리비닐아세테이트 코폴리머, 폴리비닐부티랄, SM계 공중합체, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 비닐피롤리돈/카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트의 터폴리머, 테르펜페놀수지, 알킬페놀수지, 폴리비닐포르말수지, 멜라민/포름알데히드수지, 폴리초산비닐, 케톤수지중 어느 1종류를 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 조성물을 함유하여 이루어진다.Polyvinylpolypyrrolidone / polyvinylacetate copolymer, polyvinyl butyral, SM copolymer, vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, vinylpyrrolidone / caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate It comprises a positive photosensitive composition characterized by containing any one of terpolymer, terpene phenol resin, alkyl phenol resin, polyvinyl formal resin, melamine / formaldehyde resin, polyvinyl acetate and ketone resin.
그 외, 현상촉진제나 용해억지제가 함유되어 있더라도 좋다.In addition, a developing accelerator or a dissolution inhibiting agent may be contained.
페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 포지티브형 감광성 조성물에 있어서의 고형분 함유비율은, 80∼96중량%인 것이 바람직하고, 90∼94중량%인 것이 더욱 바람직하다. It is preferable that it is 80-96 weight%, and, as for solid content content rate in the positive photosensitive composition of the alkali-soluble organic polymer material which has a phenolic hydroxyl group, it is more preferable that it is 90-94 weight%.
광열변환물질의 포지티브형 감광성 조성물에 있어서의 고형분 함유비율은, 1∼10중량%인 것이 바람직하고, 2∼4중량%인 것이 보다 바람직하다. It is preferable that it is 1-10 weight%, and, as for solid content content rate in the positive photosensitive composition of a photothermal conversion material, it is more preferable that it is 2-4 weight%.
알칼리 가용성수지로서, 폴리비닐폴리피롤리돈/폴리비닐아세테이트 코폴리머 등의 고형분 함유비율은, 1∼10중량%인 것이 바람직하고, 2∼4중량%인 것이 더욱 바람직하다. As alkali-soluble resin, it is preferable that solid content ratios, such as a polyvinyl polypyrrolidone / polyvinylacetate copolymer, are 1-10 weight%, and it is more preferable that it is 2-4 weight%.
본원발명의 포지티브형 감광성 조성물은 용매로 희석하여 사용한다. 용매의 사용비율은, 감광성 조성물의 총량에 대하여, 통상 중량비로 1∼20배 정도의 범위이다. The positive photosensitive composition of the present invention is used after dilution with a solvent. The use ratio of a solvent is the range of about 1 to 20 times by weight ratio normally with respect to the total amount of the photosensitive composition.
페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질로서는, 노볼락수지, 레졸수지, 폴리비닐페놀수지, 페놀성 수산기를 갖는 아크릴산유도체의 공중합체, 페놀성 수산기를 반응시킨 에폭시수지를 갖는 알칼리 가용성 에폭시수지 등, 그 외에 일본 특허공개 평성 11-231515에 기재되어 있는 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질을 모두 적용할 수 있고, 특히, 노볼락수지, 또는 폴리비닐페놀수지가 바람직하다. Examples of the alkali-soluble organic polymer having a phenolic hydroxyl group include novolak resins, resol resins, polyvinylphenol resins, copolymers of acrylic acid derivatives having phenolic hydroxyl groups, alkali-soluble epoxy resins having epoxy resins reacted with phenolic hydroxyl groups, and the like. In addition, all alkali-soluble organic polymer materials having a phenolic hydroxyl group described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-231515 can be used. Particularly, novolak resins or polyvinylphenol resins are preferable.
노볼락수지는, 페놀류의 적어도 1종을, 산성촉매하에서 알데히드류, 또는 케톤류의 적어도 1종과 중축합시킨 수지이다. 특히, m-크레졸과 p-크레졸과 2,5-크실레놀과 3,5-크실레놀과 레졸시놀과의 혼합페놀류, 또는, 페놀과 m-크레졸과 p-크레졸과의 혼합페놀류와, 포름알데히드와의 중축합체로서, 겔퍼미에이션 크로마토그래피 측정에 의한 폴리스티렌 환산 중량평균분자량(MW)이, 1,500∼10,000인 것이 바람직하다. Novolak resin is resin which polycondensed at least 1 sort (s) of phenols with at least 1 sort (s) of aldehydes or ketones under an acidic catalyst. In particular, mixed phenols of m-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, 3,5-xylenol and resorcinol, or mixed phenols of phenol, m-cresol and p-cresol, As a polycondensation product with formaldehyde, it is preferable that the polystyrene conversion weight average molecular weight (MW) by gel permeation chromatography measurement is 1,500-10,000.
레졸수지는, 노볼락수지의 중축합에 있어서의 산 촉매 대신에 알칼리 촉매를 사용하는 이외는 동일하게 중축합시킨 수지이다.Resol resin is resin polycondensed similarly except using an alkali catalyst instead of the acid catalyst in the polycondensation of a novolak resin.
폴리비닐페놀수지는, 예를 들면, 히드록시스티렌류의 단독 또는 2종이상과 라디칼 중합개시제 또는 양이온 중합개시제의 존재하에서 중합시킨 수지이다. 벤젠환에 탄소수 1∼4의 알킬기를 치환기로서 갖는 히드록시스티렌류의 중합체나 무치환 벤젠환의 히드록시스티렌류의 중합체가 바람직하다. The polyvinyl phenol resin is, for example, a resin polymerized in the presence of hydroxystyrene alone or in combination of two or more thereof with a radical polymerization initiator or a cationic polymerization initiator. The polymer of the hydroxy styrene which has a C1-C4 alkyl group as a substituent in the benzene ring, and the polymer of the hydroxy styrene of an unsubstituted benzene ring are preferable.
광열변환물질은, 파장 700∼1,100nm의 적외파장 영역의 일부 또는 전부에 흡수대를 갖고 해당 적외파장 영역의 레이저광을 흡수하여 열분해하는 특성을 갖고, 상기 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 분자의 열절단에 의한 알칼리 가용성의 저분자화·어브레이션에 관여한다. 광열변환물질의 첨가량의 다소는, 노광에서 발생하는 열의 과다와 부족에 관계하고, 또한, 적외레이저광의 강약은, 노광부분에 존재하는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 열분해의 과다와 부족에 관계하기 때문에 적절한 양으로 설정된다. The photothermal conversion material has an absorption band in part or all of the infrared wavelength region having a wavelength of 700 to 1,100 nm, and has the property of absorbing and thermally decomposing the laser light of the infrared wavelength region, and the alkali-soluble organic polymer having the phenolic hydroxyl group. It is involved in alkali-soluble low molecular weight and ablation by thermal cleavage of molecules. Some of the addition amount of the photothermal conversion material is related to the excessive and insufficient heat generated in the exposure, and the intensity of the infrared laser light is related to the excessive and insufficient thermal decomposition of the alkali-soluble organic polymer material present in the exposed part. Set to positive.
광열변환물질은, 파장 700∼1,100nm의 적외선 영역의 일부 또는 전부에 흡수대를 갖는 유기 또는 무기의 안료나 염료, 유기색소, 금속, 금속산화물, 금속탄화물, 금속붕화물 등, 일본 특허공개 평성 11-231515에 기재되어 있는 광열변환물질을 모두 적용할 수 있고, 질소원자, 산소원자, 또는 유황원자 등을 포함하는 복소환들이 폴리메틴(-CH=)n으로 결합된, 넓은 의미의 소위 시아닌계 색소를 대표적인 것으로서 들 수 있고, 구체적으로는, 예를 들면, 퀴놀린계(소위, 시아닌계), 인돌계(소위, 인도시아닌계), 벤조 티아졸계(소위, 티오시아닌계), 이미노시클로헥사디엔계(소위, 폴리메틴계), 피릴륨계, 티아피릴륨계, 스쿠아릴륨계, 크로코늄계, 아즐렌계 등을 들 수 있고, 그 중에서, 퀴놀린계, 인돌계, 벤조티아졸계, 이미노시클로헥사디엔계, 피릴륨계, 또는 티아피릴륨계가 바람직하다. 특히, 프탈로시아닌이나 시아닌이 바람직하다. Photothermal conversion materials are organic or inorganic pigments or dyes, organic pigments, metals, metal oxides, metal carbides, and metal borides having absorption bands in part or all of the infrared region having a wavelength of 700 to 1,100 nm. All of the photothermal conversion materials described in -231515 can be applied, and heterocyclic rings containing nitrogen atoms, oxygen atoms, sulfur atoms, etc. are combined with polymethine (-CH =) n, so-called cyanine series. A pigment | dye can be mentioned as a typical thing, For example, quinoline system (so-called cyanine system), indole system (so-called indyanine system), benzothiazole system (so-called thiocyanine system), and imino, for example. Cyclohexadiene-based (so-called polymethine-based), pyryllium-based, thiapyryllium-based, squarylium-based, croconium-based, azlene-based and the like, among which, quinoline-based, indole-based, benzothiazole-based and imino-based compounds. Cyclohexadiene-based, pyryllium-based, or thia Rilryum boundaries is preferred. In particular, phthalocyanine and cyanine are preferable.
용매로서는, 사용성분에 대하여 충분한 용해도를 갖고, 양호한 도포막성을 주는 것이면 특히 제한은 없고, 셀로솔브계 용매, 프로필렌글리콜계 용매, 에스테르계 용매, 알코올계 용매, 케톤계 용매, 고극성 용매를 사용할 수 있다. The solvent is not particularly limited as long as it has sufficient solubility in the used component and gives good coating properties. A cellosolve solvent, a propylene glycol solvent, an ester solvent, an alcohol solvent, a ketone solvent, or a high polar solvent can be used. Can be.
셀로솔브계 용매에는, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 메틸셀로솔브아세테이 트, 에틸셀로솔브아세테이트 등이 있다. Cellosolve solvents include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, and the like.
프로필렌글리콜계 용매에는, 플로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노부틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 플로필렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 모노부틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜 디메틸에테르 등이 있다.Examples of propylene glycol solvents include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, and dipropylene glycol. Dimethyl ether and the like.
에스테르계 용매에는, 초산부틸, 초산아밀, 낙산에틸, 낙산부틸, 디에틸옥살레이트, 필빈산에틸, 에틸-2-히드록시부틸레이트, 에틸아세트아세테이트, 유산메틸, 유산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸 등이 있다. Examples of the ester solvent include butyl acetate, amyl acetate, ethyl butyrate, butyl butyrate, diethyl oxalate, ethyl fibrate, ethyl-2-hydroxybutylate, ethyl acetate acetate, methyl lactate, ethyl lactate, and 3-methoxypropionic acid. Methyl and the like.
알코올계 용매에는, 헵탄올, 헥산올, 디아세톤알코올, 디에틸옥살레이트, 푸르프릴알코올 등이 있다. Examples of the alcohol solvent include heptanol, hexanol, diacetone alcohol, diethyl oxalate, furfuryl alcohol and the like.
고극성 용매에는, 시클로헥사논, 메틸아밀케톤 등의 케톤계 용매, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등이 있다. High polar solvents include ketone solvents such as cyclohexanone and methyl amyl ketone, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone and the like.
기타, 초산, 혹은 이들의 혼합용매, 또는 이들에 방향족 탄화수소를 첨가한 것 등을 들 수 있다. In addition, an acetic acid, or a mixed solvent thereof, or an aromatic hydrocarbon added thereto are mentioned.
포지티브형 감광성 조성물은, 현상촉진제나 용해억지제가 함유되어 있더라도 좋다. The positive photosensitive composition may contain a development accelerator and a dissolution inhibiting agent.
현상촉진제는, 예를 들면, 디카르본산 또는 아민류 또는 글리콜류를 미량 첨가하는 것이 바람직하다. It is preferable that a developing accelerator adds a trace amount of dicarboxylic acid, amines, or glycols, for example.
용해억지제는, 락톤골격을 갖는 산발색성(酸發色性) 색소가 바람직하고, 노광부와 비노광부의 알칼리 현상액에 대한 용해성의 시간차를 증대시킬 목적으로, 알칼리 가용성 유기고분자물질과 수소결합을 형성하여 해당 고분자물질의 용해성을 저하시키는 기능을 갖고, 또한, 적외영역의 빛을 거의 흡수하지 않고, 적외영역의 빛에서 분해되지 않는 기능을 갖는다. The dissolution inhibiting agent is preferably an acid-chromic dye having a lactone skeleton, and a hydrogen bond with an alkali-soluble organic polymer material is used for the purpose of increasing the time difference of solubility in the alkaline developer of the exposed portion and the non-exposed portion. It has a function of forming and reducing the solubility of the polymer material, and has a function of absorbing little light in the infrared region and not decomposing in light in the infrared region.
그 밖의 용해억지제로서는, 술폰산 에스테르, 인산 에스테르, 방향족 카르본산 에스테르, 방향족 디술폰, 카르본산 무수물, 방향족 케톤, 방향족 알데히드 방향족 아민, 방향족 에테르 등, 티올락톤 골격, N,N-디아릴아미드 골격, 디아릴메틸이미노 골격을 갖는 산발색성 색소, 술포락톤 골격을 갖는 염기발색성 색소, 비이온성 계면활성제 등을 사용할 수 있다. Examples of other dissolution inhibitors include thiollactone skeletons, N, N-diarylamide skeletons, such as sulfonic acid esters, phosphoric acid esters, aromatic carboxylic acid esters, aromatic disulfones, carboxylic anhydrides, aromatic ketones, aromatic aldehyde aromatic amines and aromatic ethers. , Acid-chromic dyes having a diarylmethylimino skeleton, base-chromic dyes having a sulfolactone skeleton, nonionic surfactants and the like can be used.
본원발명의 포지티브형 감광성 조성물은, 통상, 상기 각 성분을 셀로솔브계 용매, 프로필렌글리콜계 용매 등의 용매에 용해한 용액으로서 지지체 표면인 그라비아 인쇄용 피제판로울의 구리도금면 또는 황산구리도금면에 도포하고 자연건조한 후, 고속회전하여 피제판로울의 표면에서 바람을 맞고 감광막내에서의 원심력에 의한 질량작용과 표면근방이 약간의 부압상태가 됨으로써 용제잔류농도를 6% 이하로 저감함에 의해, 지지체 표면에 감광성 조성물층이 형성된 포지티브형 감광막이 된다. The positive photosensitive composition of the present invention is usually a solution obtained by dissolving each of the above components in a solvent such as a cellosolve solvent, a propylene glycol solvent, or the like and applied to a copper plated surface or a copper sulfate plated surface of a gravure printing object plate roll which is a support surface. After drying naturally, it is rotated at high speed to be winded on the surface of the platen roll, and the mass action by the centrifugal force in the photoresist film and the vicinity of the surface become a slight negative pressure state, thereby reducing the solvent residual concentration to 6% or less. It becomes the positive photosensitive film in which the photosensitive composition layer was formed.
도포방법으로서, 도 1에 나타내는 파운틴코트인 감광막 도포장치(6)를 사용하는 것이 바람직하지만 이에 한정되지 않는다. 메니스커스코트 또는 세로형의 딥코트 장치에 의한 딥코트를 사용할 수 있다. 도포막의 두께는 1∼6㎛의 범위로 할 수 있고, 3∼5㎛로 하는 것이 바람직하다. As the coating method, it is preferable to use the photosensitive film coating device 6 which is the fountain coat shown in FIG. 1, but it is not limited to this. Meniscus coats or dipcoats with vertical dipcoat devices can be used. The thickness of a coating film can be 1-6 micrometers, and it is preferable to set it as 3-5 micrometers.
포지티브형 감광성 조성물층을 화상노광하는 광원으로서는, 파장 700∼1,100 nm의 적외레이저광선을 발생하는 반도체레이저나 YAG레이저가 바람직하다. 그 외에, 루비레이저, LED 등의 고체레이저를 사용할 수 있다.As a light source which image-exposes a positive photosensitive composition layer, the semiconductor laser which generate | occur | produces an infrared laser beam of wavelength 700-1,100 nm, and a YAG laser are preferable. In addition, solid lasers, such as a ruby laser and LED, can be used.
레이저광원의 광강도로서는, 2.0 ×106 mJ/s ·㎠ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 1.0 ×107 mJ/s·㎠ 이상으로 하는 것이 특히 바람직하다. As light intensity of a laser light source, it is preferable to set it as 2.0x10 <6> mJ / s * cm <2> or more, and it is especially preferable to set it as 1.0 * 10 <7> mJ / s * cm <2> or more.
본원발명의 포지티브형 감광성 조성물을 사용하여 형성한 감광막에 대하여 사용하는 현상액으로서는, 무기알칼리, Na, K의 염, 또는 유기알칼리, TMAH, 또는 콜린 등, 무기 또는 유기알칼리로 이루어지는 현상제가 바람직하다. 실험에서 현상액은 (a) 오르토 규산소다, (b) 인산3소다 등, (c) 계면활성제 등을 포함하여 만든 오리지널 현상액을 사용하였다. As a developer used for the photosensitive film formed using the positive photosensitive composition of this invention, the developer which consists of inorganic or organic alkalis, such as an inorganic alkali, a salt of Na, K, or organic alkali, TMAH, or choline, is preferable. In the experiment, an original developer made of (a) sodium ortho silicate, (b) trisodium phosphate, and (c) a surfactant was used.
현상은, 침지현상, 스프레이현상, 브러시현상, 초음파현상 등에 의하고, 통상 15∼45℃ 정도의 온도, 바람직하게는 27∼32℃에서 한다. The development is usually performed at a temperature of about 15 to 45 ° C., preferably at 27 to 32 ° C., by immersion, spray development, brush development, or ultrasonic development.
[포지티브형 감광성 조성물의 현상래티튜드][Developed Latitude of Positive Photosensitive Composition]
포지티브형 감광성 조성물의 현상래티튜드는,The development latitude of the positive photosensitive composition is
(1) 막의 결합정도가 적절하고 적외레이저광의 노광에 의해 노광부분에 있어서 분자의 주요체인 또는 사이드체인의 부분이 절단되어 알칼리 가용성이 한층 높아지는 저분자가 되는 컨포메이션변화 등의 물리변화와 동시에, 감광층비산(abra sion)을 적절히 생기게 하여 박막이 되어 알칼리 현상액에 단시간에 용해할 수 있도록 변화하는 것, (1) The degree of bonding of the film is appropriate, and the exposure to infrared laser light causes the main portion of the molecule or the side chain to be cleaved in the exposed portion, and at the same time, the physical change such as a conformation change such as a low molecule with higher alkali solubility, and photosensitive. To produce a layer of abrasion properly so that it becomes a thin film and change so that it can be dissolved in an alkaline developer in a short time;
(2) 미노광부분은, 온도, 습도에 다소의 변화가 있더라도 알칼리 현상액에 용해할 때까지 노광부분보다 비교적 긴 시간 용해하지 않고 피도포면에 강하게 밀착하고 있는 것에 의해서 얻어진다. (2) The unexposed portion is obtained by being in close contact with the surface to be coated without being dissolved for a relatively longer time than the exposed portion until dissolved in an alkaline developer even if there is some change in temperature and humidity.
현상래티튜드는, 밀착을 강하게 하는 재료(밀착개질제)의 밀착력이 강하면 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 약한 밀착력에 대하여 보강할 수 있기 때문에, 얻어지는 것이 아니다. 포지티브형 감광성 조성물에 있어서의 밀착을 강하게 하는 재료에 기인하는 밀착력의 발현은, 밀착을 강하게 하는 재료의 종류와 첨가량에 의해서 상대적으로 결정된다. The development latitude is not obtained because the strong adhesion of the material (adhesive modifier) that enhances the adhesion can be strengthened against the weak adhesion of the alkali-soluble organic polymer having a phenolic hydroxyl group. The expression of the adhesion force due to the material for strengthening the adhesion in the positive photosensitive composition is relatively determined by the kind and the amount of the material for strengthening the adhesion.
예를 들면, 밀착을 강하게 하는 재료로서 티타늄알코올을 선택하여 다량을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물로서는, 버닝후의 막 전체의 강도·안정성·밀착성이 지나치게 강해져서 적외레이저광의 노광에 의한 컨포메이션 변화 등의 물리변화나 감광층비산(abrasion)이 생기는 일이 없고, 현상을 하더라도 노광부분이 현상액에 거의 용해되지 않고 막 전체가 막이 감소하지 않는다. 즉, 현상래티튜드를 전혀 얻을 수 없다.For example, as a positive photosensitive composition in which a large amount of titanium alcohol is selected and added as a material for strengthening adhesion, the strength, stability, and adhesion of the entire film after burning are excessively strong, such as a conformation change due to exposure to infrared laser light. There is no physical change or photosensitive layer abrasion, and even when developing, the exposed portion is hardly dissolved in the developer and the entire film is not reduced. In other words, developing latitude cannot be obtained at all.
첨가하는 양을 조금씩 적게 하면, 막 감소가 생기게 되어 현상래티튜드를 얻을 수 있는 영역이 간신히 생기지만, 실온이나 습도가 조금 다른 것만으로 현상래티튜드를 즉시 얻을 수 없게 된다.If the amount to be added is reduced little by little, the film decreases, and the area where the development latitude can be obtained is barely obtained, but the development latitude cannot be obtained immediately by only slightly different room temperature or humidity.
다른 한편, 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질에 실란커플링제를 첨가하더라도 강한 밀착력을 얻을 수 없고, 노광부분의 포지티브형 감광성 조성물층이 알칼리 현상액에 용해하는 것과, 미노광부분의 포지티브형 감광성 조성물층이 알칼리 현상액에 용해하는 것이 시간차 없이 동시에 생겨 버려, 현상이 불 가능하게 된다. On the other hand, even if the silane coupling agent is added to the alkali-soluble organic polymer having a phenolic hydroxyl group, a strong adhesion cannot be obtained, and the positive photosensitive composition layer in the exposed portion is dissolved in the alkaline developer and the positive photosensitive property in the unexposed portion. Dissolution of the composition layer in the alkaline developer occurs simultaneously without time difference, and development is impossible.
그런데, 25℃의 실온, 습도 25∼60%의 조건하에서 하기의 포지티브형 감광성 조성물을 만들고, 이것을 구리면이나 황산구리도금면에 도포하고 또한 잔류용제농도를 6% 이하로 할 때에 60∼70초 정도에서 잔사가 없는 예리한 패턴을 얻을 수 있는 양호한 현상을 행할 수 있다. By the way, the following positive photosensitive composition was made under the conditions of 25 degreeC room temperature and 25-60% of humidity, and this is apply | coated to a copper surface or a copper sulfate plating surface, and when the residual solvent concentration is 6% or less, about 60 to 70 second. Good development can be performed in which a sharp pattern without residues can be obtained.
비닐피롤리돈/디메틸아미노 에틸메타크릴레이트 코폴리머 등을 고형분비율로 3% 전후 포함하고 있을 때가 가장 양호한 현상래티튜드를 발현한다. The best developing latitude is expressed when the vinylpyrrolidone / dimethylamino ethylmethacrylate copolymer and the like are contained at a solid content ratio of about 3%.
[본원발명에 관한 포지티브형 감광성 조성물][Positive Photosensitive Composition According to the Present Invention]
본원발명에 관한 포지티브형 감광성 조성물은,Positive type photosensitive composition which concerns on this invention,
페놀성 수산기를 갖거나 또는 페놀성 수산기를 반응시킨 에폭수지를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 화상노광광원인 적외선을 흡수하여 열로 변환하는 광열변환물질을 포함하고,An alkali-soluble organic polymer material having a phenolic hydroxyl group or an epoxy resin reacted with a phenolic hydroxyl group, and a photothermal conversion material that absorbs infrared rays, which are image exposure light sources, and converts them into heat;
또한, 밀착개질제로서,In addition, as an adhesion modifier,
폴리비닐폴리피롤리돈/폴리비닐아세테이트 코폴리머, 폴리비닐부티랄, 스티렌/말레인산 공중합체, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 비닐피롤리돈/카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트의 터폴리머, 폴리비닐폴리머수지, 혹은, 테르펜페놀수지 또는 알킬페놀수지, 멜라민/포름알데히드수지, 폴리초산비닐, 또는 케톤수지 중 어느 한 종을 혼합첨가하여 이루어진다.Polyvinylpolypyrrolidone / polyvinylacetate copolymer, polyvinylbutyral, styrene / maleic acid copolymer, vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, vinylpyrrolidone / caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate Terpolymer, polyvinyl polymer resin or terpene phenol resin or alkylphenol resin, melamine / formaldehyde resin, polyvinyl acetate, or ketone resin.
[(5) 식에서, R1은 수소원자 또는 메틸기를 나타내고, R2는 수소원자, 수산 기, 알킬기 또는 알콕시기를 나타내고, R3은 수소원자 또는 히드록시알킬기를 나타내고, R4 및 R5는 각각 독립으로 수소원자, 저급알킬기 또는 반응성 2중결합을 갖는 기를 나타내고, m 및 n은 1 이상의 정수이고, m ≥n이다.]In formula (5), R1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R2 represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group or an alkoxy group, R3 represents a hydrogen atom or a hydroxyalkyl group, R4 and R5 are each independently a hydrogen atom, A lower alkyl group or a group having a reactive double bond, wherein m and n are integers of at least 1 and m ≧ n.
[식(2)는 폴리비닐폴리피롤리돈/폴리비닐아세테이트 코폴리머를 나타낸다] [Formula (2) represents polyvinyl polypyrrolidone / polyvinylacetate copolymer]
PVP/VA 코폴리머(Vinylpyrrolidone/Vinylacetate Copolymers)는, 비닐피롤리돈과 초산비닐을 70/30에서 30/70의 비율로 프리라디칼중합시켜 이루어지는 분자량이 20,000∼50,000인 투명하고 열가소성을 갖고 비닐피롤리돈의 비율이 증가하면 친수성이 증가되는 직선의 랜덤 코폴리머이다. PVP / VA copolymers (Vinylpyrrolidone / Vinylacetate Copolymers) are transparent, thermoplastic, vinylpyrrolides having a molecular weight of 20,000 to 50,000 with free radical polymerization of vinylpyrrolidone and vinyl acetate at a ratio of 70/30 to 30/70. As the ratio of money increases, it is a straight random copolymer with increased hydrophilicity.
PVP/VA 코폴리머는, 비닐피롤리돈과 초산비닐이 60/40의 비율인 것이 바람직하고, 이 경우의 분자량은 45 ×103, 또한 Tg는 110℃이다. As for PVP / VA copolymer, it is preferable that vinyl pyrrolidone and vinyl acetate are the ratio of 60/40, molecular weight in this case is 45x10 <3> , and Tg is 110 degreeC.
[식(3)은 폴리비닐부티랄을 나타낸다][Formula (3) represents polyvinyl butyral]
폴리비닐부티랄(Polyvinyl butyral: 기존화학물질번호 6-708)은, 폴리비닐알코올에 부틸알데히드를 반응시키는 부티랄화에 의해 얻어지는 물질이고, 상당정도의 수산기와 아세틸기가 남아, 하기의 일반식에 나타내는 구조로 표시된다. Polyvinyl butyral (formerly known chemical substance No. 6-708) is a substance obtained by butyralization in which butylaldehyde is reacted with polyvinyl alcohol, and a considerable amount of hydroxyl group and acetyl group remain, and is represented by the following general formula. It is represented by a structure.
PVB는, 덴키카가쿠고교 가부시키가이샤의 제품, 덴카부티랄의 5000A와 6000 EP, 세키스이카가쿠고교 가부시키가이샤의 제품, 저중합도 타입의 BL-1, BL-2, BL-2, BL-S, BX-L, 중중합도 타입의 BM-1, BM-2, BM-5, BM-S, 고중합도 타입의 BH-3, BH-S, BX-1, BX-2, BX-5, BX-55가 있고, 실험예로부터, 다종류의 용제에 용해성을 갖는 BL-S, BM-S의 사용이 바람직하다. PVB is a product of Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., 5000A and 6000 EP of Denka Butyral Co., Ltd., the product of Sekisui Kagaku Kogyo Co., Ltd., BL-1, BL-2, BL-2, BL- of low-polymerization type S, BX-L, BM-1, BM-2, BM-5, BM-S of high polymerization degree type, BH-3, BH-S, BX-1, BX-2, BX-5, There is BX-55, and from the experimental examples, the use of BL-S and BM-S having solubility in various kinds of solvents is preferable.
[식(4)와 식(5)는 스티렌/말레인산 공중합체를 나타낸다] [Formula (4) and Formula (5) represent styrene / maleic acid copolymer]
스티렌/말레인산 공중합체(Styrene Maleic acid Resin)는, 스티렌과 무수말레인산의 공중합수지이다. The styrene / maleic acid copolymer (Styrene Maleic acid Resin) is a copolymer of styrene and maleic anhydride.
식(4)에 나타내는 스티렌/말레인산 공중합체는, 스티렌과 말레인산 반에스테르의 코폴리머인 상품명/옥시랙 SH-101이다. 스티렌용액속에서 말레인산 반에스테르를 알코올반응에 의해 산가를 60∼90으로 컨트롤한 것을 사용하는 것이 바람직하다. The styrene / maleic acid copolymer shown in Formula (4) is a brand name / oxy rack SH-101 which is a copolymer of styrene and maleic acid semiester. It is preferable to use the maleic acid semiester which controlled the acid value to 60-90 by alcohol reaction in a styrene solution.
식(5)에 나타내는 스티렌/말레인산 공중합체는, 스티렌, α-메틸스티렌, m 또는 p-메톡시스티렌, p-메틸스티렌, p-히드록시스티렌, 3-히드록시메틸-4히드록시-스티렌 등의 스티렌 또는 그 유도체(스티렌계 단량체)와 무수말레인산, 말레인산, 말레인산모노메틸, 말레인산모노에틸, 말레인산모노-n-프로필, 말레인산모노-iso-프로필, 말레인산모노-n-부틸, 말레인산모노-iso-부틸, 말레인산모노-tert-부틸 등의 말레인산 유도체를 공중합시킨 것(이하, 공중합체 (a)라 한다)이 있다. 공중합체(a)에는, 상기 구조식에는 표시하지 않지만, 메틸메타크릴레이트, t-부틸메타크릴레이트 등의 알킬메타크릴레이트, 알킬아크릴레이트 등, 또한 상기 공중합체(a)를 반응성 2중결합을 갖는 화합물로 변성한 것[이하 공중합체 (b)라 한다]이 있다. 이 경우의 m 및 n은 1 이상의 정수이고, m ≥n이고, 바람직하게는 m/n = 1∼1.1이다. 중량평균분자량으로는 1,500∼100,000이 바람직하다. The styrene / maleic acid copolymer shown in formula (5) is styrene, (alpha) -methylstyrene, m or p-methoxy styrene, p-methylstyrene, p-hydroxy styrene, 3-hydroxymethyl-4 hydroxy-styrene Styrene or derivatives thereof (styrene monomer) and maleic anhydride, maleic acid, monomethyl maleate, monoethyl maleate, mono-n-propyl maleate, mono-iso-propyl maleate, mono-n-butyl maleate and mono-iso maleate And a copolymer of maleic acid derivatives such as -butyl and mono-tert-butyl maleate (hereinafter referred to as copolymer (a)). Although the copolymer (a) is not shown in the above structural formula, alkyl methacrylates such as methyl methacrylate and t-butyl methacrylate, alkyl acrylates, and the like, and the copolymer (a) may be reacted with a reactive double bond. And a modified one (hereinafter referred to as copolymer (b)). M and n in this case are integers of 1 or more, m≥n, and preferably m / n = 1 to 1.1. As weight average molecular weight, 1,500-100,000 are preferable.
상기 공중합체 (b)는, 공중합체 (a)중의 산무수물기 또는 카르복시기 에 불포화알코올, 예를 들면, 아릴알코올, 2-부텐-1-2-올, 푸르프릴알코올, 올레일알코올, 시나밀알코올, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 히드록시에틸 메타크릴레이트, N-메틸올아크릴아미드 등의 불포화알코올, 글리시딜아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트, 아릴글리시딜에테르, α-에틸글리시딜 아크릴레이트, 클로토닐글리시딜에 테르, 이타콘산모노알킬모노글리시딜에스테르 등의 옥시란환 및 반응성 2중결합을 각각 1개 갖는 에폭시화합물과 반응시킴으로써 제조할 수 있다. 이 경우 알칼리현상을 하기 위해서 필요한 카르복실기가 공중합체중에 남아 있는 것이 필요하다. The said copolymer (b) is unsaturated alcohol, for example, aryl alcohol, 2-butene-1-2-ol, furryl alcohol, oleyl alcohol, cinnamil in the acid anhydride group or carboxy group in copolymer (a). Unsaturated alcohols such as alcohol, 2-hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, N-methylol acrylamide, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, arylglycidyl ether, α-ethyl It can manufacture by making it react with the oxirane ring, such as glycidyl acrylate, clotonyl glycidyl ether, and monoalkyl monoglycidyl ester, and an epoxy compound which has one reactive double bond, respectively. In this case, it is necessary for the carboxyl group necessary for alkali development to remain in the copolymer.
상술과 같이 하여 얻어지는 공중합체 (b)중 불포화알코올에 의해 반응성 2중결합이 도입된 것에, 반응성 2중결합 농도를 더욱 크게 하기 위해서, 상기한 옥시란환 및 반응성 2중결합을 각각 1개 갖는 에폭시화합물을 반응시켜, 더욱 반응성 2중결합 농도를 크게 한 것(이하, 공중합체 (c)라 한다)을 제조할 수 있다. In the copolymer (b) obtained as described above, a reactive double bond is introduced by unsaturated alcohol, and in order to further increase the concentration of the reactive double bond, the oxirane ring and one reactive double bond each have one. By reacting an epoxy compound, a reactive double bond concentration can be further increased (hereinafter referred to as copolymer (c)).
스티렌/말레인산 공중합체 이외의 카르복시기를 갖는 중합체도 상기와 같이 반응성 2중결합을 도입할 수가 있다. 공중합체에의 반응성 2중결합의 부여는, 감광도의 점에서 바람직하다. 이들 공중합체[공중합체 (a), 공중합체 (b), 공중합체 (c) 등]의 합성은 일본 특허공고 소47-25470호 공보, 동48-85679호 공보, 일본 특허공고 소51-21572호 공보 등에 기재되어 있는 방법에 준하여 할 수 있다. Polymers having carboxyl groups other than styrene / maleic acid copolymers can also introduce reactive double bonds as described above. The provision of the reactive double bond to a copolymer is preferable at the point of photosensitivity. The synthesis | combination of these copolymers (copolymer (a), copolymer (b), copolymer (c), etc.) is carried out by Unexamined-Japanese-Patent No. 47-25470, 48-85679, Japanese Patent No. 51-21572 This can be done according to the method described in a call.
[식(6)은 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머를 나타낸다][Formula (6) represents vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer]
[식(7)은 비닐피롤리돈/카프로락탐/디메틸아미노에틸메타크릴레이트의 터폴리머를 나타낸다][Formula (7) represents terpolymer of vinylpyrrolidone / caprolactam / dimethylaminoethyl methacrylate]
[식(8)은 폴리비닐포르말을 나타낸다][Formula (8) represents polyvinyl formal]
폴리비닐포르말수지(Polyvinyl formal Resin)는, 초산비닐모노머를 촉매를 사용하여 중합시켜 폴리비닐아세테이트로 만들고, 이것을 초산에 용해시켜, 포름알데히드와 황산을 가하여 케톤화반응(알칼리 가수분해)과 포르말화반응을 동시에 하 게 하여, 이 반응액에 희염산을 가하여 폴리비닐포르말수지를 침전시켜, 용매회수, 세정, 건조공정을 거쳐 제품을 얻을 수 있다.Polyvinyl formal resin is used to polymerize vinyl acetate monomer using a catalyst to make polyvinylacetate, dissolve it in acetic acid, add formaldehyde and sulfuric acid to react with ketone (alkaline hydrolysis) and form At the same time, the hydrolysis reaction is carried out, dilute hydrochloric acid is added to the reaction solution to precipitate the polyvinyl formal resin, and the product can be obtained by solvent recovery, washing and drying.
폴리비닐포르말수지는, 폴리비닐포르말기와 폴리비닐알콜기와 폴리비닐아세테이트기로 이루어지고, 전기절연성이 양호한 수지이다. Polyvinyl formal resin consists of a polyvinyl formal group, a polyvinyl alcohol group, and a polyvinyl acetate group, and is resin with favorable electrical insulation.
[테르펜페놀수지와 알킬페놀수지는 식을 나타내지 않았다][The terpene phenol resin and the alkyl phenol resin did not show a formula]
테르펜페놀수지(Terpenephenol Resin)와 알킬페놀수지(Alkylphenol Resin)는, 아라카와카가쿠고교 가부시키가이샤의 제품이고, 테르펜페놀수지로서 상품명: 타마놀 803L, 901, 또는, 알킬페놀수지로서, 상품명: 타마놀 520S, 521, 526, 586, 572S를 사용할 수 있다. Terpenephenol Resin and Alkylphenol Resin are products of Arakawa Kagaku Kogyo Co., Ltd., and are termed terpene phenol resins as: Tamanol 803L, 901, or as alkylphenol resins. Knol 520S, 521, 526, 586 and 572S are available.
[식(9)는 멜라민/포름알데히드수지를 나타낸다] [Equation (9) represents melamine / formaldehyde resin]
멜라민/포름알데히드수지(Melamine formaldehyde resin)는, 멜라민에(C3H6N6)과 포름알데히드를 반응시켜 만들어진다. 이 합성반응은 100%는 되지 않고, 미반응의 포름알데히드가 잔류한다. Melamine formaldehyde resin is made by reacting melamine (C 3 H 6 N 6 ) with formaldehyde. This synthesis reaction is not 100%, and unreacted formaldehyde remains.
[식(10)은 폴리초산비닐을 나타낸다][Formula (10) represents polyvinyl acetate]
폴리초산비닐: 영문명칭 poly(vinyl acetate)는, 초산비닐을 중합시켜 만든 고분자화합물이고, 예를 들면, 덴키카가쿠고교 가부시키가이샤의 사크놀 SN-09T(상품명)를 사용할 수 있다. 폴리초산비닐은, 하기의 식에 나타내는 구조이고, 물에 용해되지 않고, 알코올계, 초산에스테르계, 방향족계 용제에 가용인 백색∼담황색 고체이다. Polyvinyl acetate: The English name poly (vinyl acetate) is a polymer compound made by polymerizing vinyl acetate, and for example, Sacnol SN-09T (trade name) manufactured by Denki Chemical Co., Ltd. may be used. Polyvinyl acetate is a structure shown by following formula, and is a white-pale yellow solid which is insoluble in water, and is soluble in an alcohol type, an acetate ester type, and an aromatic solvent.
[식(11)과 식(12)는 케톤수지를 나타낸다][Equations (11) and (12) represent ketone resins]
케톤수지는, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 아세토페논, 시클로헥사논, 메틸시클로헥사논 중 어느 하나이더라도 좋다. 이 중, 식(11)에 나타내는 시클로헥사논과 식(12)에 나타내는 아세토페논이 바람직하다. The ketone resin may be any one of methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetophenone, cyclohexanone and methylcyclohexanone. Among these, cyclohexanone shown in Formula (11) and acetophenone shown in Formula (12) are preferable.
[실시예와 비교예] [Examples and Comparative Examples]
[본원발명에 관한 포지티브형 감광성 조성물의 현상래티튜드][Developed Latitude of Positive Photosensitive Composition According to the Present Invention]
이들 포지티브형 감광성 조성물을 사용하여 상기에 서술한 제판공정으로 제판한 실시예의 결과를 [표 1]∼[표 10]에 나타낸다. The result of the Example plated by the above-mentioned plate making process using these positive photosensitive compositions is shown to [Table 1]-[Table 10].
표 1 내지 표 10의 실시예와, 표 11의 비교예에 있어서 사용한 포지티브형 감광성 조성물의 원액으로 이하의 4종류를 만들었다. 또한, 표 1∼표 11에서 %값은, 고형분에 대한 중량%이다. The following four types were created from the stock solution of the positive photosensitive composition used in the Example of Table 1-Table 10, and the comparative example of Table 11. In addition, in Table 1-Table 11, a% value is the weight% with respect to solid content.
(a) 원액 A : 노볼락수지와 파장 700∼1,100nm의 적외선 영역의 일부 또는 전부에 흡수대를 갖고, 레이저광을 흡수하여 열분해하는 프탈로시아닌색소로 이루어진 것, (a) Stock solution A: consisting of a novolak resin and a phthalocyanine pigment having an absorption band in part or all of the infrared region having a wavelength of 700 to 1,100 nm, and absorbing and pyrolyzing the laser beam;
이 노볼락수지는, m-크레졸과 p-크레졸과 2,5-크실렌올과 3,5-크실렌올과 레졸시놀과의 혼합페놀류와, 포름알데히드와의 중축합체를 사용하였다. This novolak resin used the mixed phenols of m-cresol, p-cresol, 2,5-xyleneol, 3,5-xyleneol, resorcinol, and the polycondensate of formaldehyde.
(b) 원액 B : 레졸수지와 상기 프탈로시아닌색소로 이루어지는 원액, (b) Stock solution B: Stock solution consisting of the resol resin and the phthalocyanine pigment,
(c) 원액 C : 폴리비닐페놀수지와 상기 프탈로시아닌색소로 이루어지는 원액,(c) Stock solution C: Stock solution consisting of polyvinylphenol resin and the phthalocyanine pigment,
(d) 원액 D : 페놀성수산기를 갖는 아크릴산유도체의 공중합체와 프탈로시아 닌색소로 이루어지는 원액 (d) Stock solution D: Stock solution comprising a copolymer of an acrylic acid derivative having a phenolic hydroxyl group and a phthalocyanine dye.
실시예와 비교예는, 어느 것이나 로울모재가 철이고, 황산구리도금되고 경면연마된 200φmm의 피제판로울을, 포지티브형 감광성 조성물중의 용제가 코팅중에 증발하여 용제의 비율이 변화하는 것이 회피되는 파운틴코팅장치(제습장치와 가습장치가 부설되어 있어, 습도를 원하는 대로 컨트롤 할 수 있는 장치)에 양 끝단을 척하고 25r.p.m으로 회전하여, 와이핑크로스로 충분히 식정하고 나서, 상단에서 포지티브형 감광성 조성물을 용제(MEK)로 소정농도로 묽힌 테스트 감광액이 솟아나오는 파이프를 피제판로울의 일 끝단에 약 500㎛의 갭을 갖도록 위치시키고, 테스트 감광액을 코팅에 필요한 양만큼 솟아나오게 하고, 해당 파이프를 피제판로울의 일 끝단으로부터 다른 끝단까지 이동하여 스파이럴 스캔방식으로 테스트 감광액을 균일하게 도포하고, 도포종료로부터 5분간 25r.p.m으로 회전을 속행한 후 회전정지하였다. 그 후 5분간 기다려, 액흐름에 대해서 관찰한 바, 육안으로 액흐름이 생긴 것을 관찰할 수 없었다. 그리고, 막두께측정을 한 바, 로울의 하면부분과 상면부분에서 차이는 없었다. 이로써, 액흐름이 생기지 않는 상태로 건고한 감광막을 세트할 수 있는 것을 확인하였다. Examples and comparative examples are the fountains in which the roll base material is iron and copper sulfate-plated and mirror-polished platelets rolled, and the solvent in the positive photosensitive composition is evaporated in the coating so that the proportion of the solvent is not changed. Precise both ends of coating device (dehumidifier and humidification device, which can control humidity as desired) and rotate at 25r.pm, sufficiently fix by wiping cross, and then Place the test sensitized pipe with the composition diluted in solvent (MEK) to a predetermined concentration so that there is a gap of about 500 μm at one end of the platen roll, and the test sensitizer is raised as necessary for the coating and the pipe The test photosensitive liquid is uniformly applied by the spiral scan method from one end of the rolled roll to the other end. After the rotation was continued at 25 r.p.m for 5 minutes from the end, the rotation was stopped. After waiting for 5 minutes and observing the flow, it was not possible to observe the appearance of the flow. Then, the film thickness was measured, and there was no difference between the lower surface and the upper surface of the roll. This confirmed that the dry photosensitive film can be set in a state where liquid flow does not occur.
계속하여, 시험로울을 100r.p.m으로 10분간 회전하여 정지하여, 감광막중의 용제잔류농도를 측정한 바, 2.9%이었다. Subsequently, the test roll was rotated at 100 r.p.m for 10 minutes to stop, and the solvent residual concentration in the photosensitive film was measured. As a result, it was 2.9%.
계속해서, 시험로울을 크레오사이텍스사의 고출력 반도체레이저 헤드를 탑재한 적외선레이저 노광장치(7)(주식회사 싱크·라보라토리제)에 부착하고, 해당 시험로울에 적외파장 영역의 레이저를 조사하여 포지티브화상을 인화하고, 이어서 시 험로울을 현상장치에 부착하고 회전하여 현상조를 상승시켜 잔사가 없어지기까지의 약 60∼70초간 현상하고, 그 후 수세하였다.Subsequently, a test roll was attached to an infrared laser exposure apparatus 7 (manufactured by Sink Laboratories Co., Ltd.) equipped with a Creoscitex high-power semiconductor laser head, and the laser was irradiated with an infrared wavelength region to the test roller. The image was printed, and then a test roll was attached to the developing apparatus, rotated to raise the developing tank, and developed for about 60 to 70 seconds until the residue disappeared, followed by washing with water.
현미경으로 레지스트화상의 에지의 잘려짐 및 잔사 및 레지스트의 표면상황·경도에 대해서 관찰하여, 인화감도, 현상의 우량, 불량, 막 감소, 현상래티튜드를 판단하였다. The edges of the resist image were cut off and the residue and the surface condition and hardness of the resist were examined under a microscope to determine the sensitivity of printing, the goodness of development, defects, film reduction, and development latitude.
이들 포지티브형 감광성 조성물은, 피제판로울에 도포막 형성후 가열없이 현상장치에 부착하고 회전하여 현상조를 상승시켜 잔사가 없어지기까지의 약 60∼70초간 현상하고, 그 후 수세하고, 현미경으로 레지스트화상의 에지의 잘려짐 및 잔사 및 레지스트의 표면상황·경도에 대해서 관찰하여, 인화감도, 현상의 우량, 불량, 막 감소, 현상래티튜드를 판단하였다. These positive photosensitive compositions are developed for about 60 to 70 seconds before forming a coating film on a to-be-rolled roll and attaching it to a developing apparatus without heating and rotating to raise the developing tank to remove the residue, followed by washing with water and a microscope. The edges of the resist image were cut off, the residues, and the surface condition and hardness of the resist were examined to determine the sensitization of flammability, the goodness of development, defects, film reduction, and development latitude.
알칼리 현상액에 의해 노광되는 화선부가 씻겨나가고 또한 노광되지 않은 비화선부가 막 감소가 생기지만, 예리한 패턴이 되어 씻겨나가지 않고 남는 현상래티튜드를 갖는 것이 실험으로 확인되었다. Experiments confirmed that the wires exposed by the alkaline developer were washed away and the unexposed non-exploded portions had a film decrease, but had a developing latitude that remained in a sharp pattern without being washed away.
이와 같이, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 혹은 폴리비닐부티랄 등을 포함하지 않는 포지티브형 감광성 조성물은 현상래티튜드가 발현하지 않고, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 혹은 폴리비닐부티랄 등을 포함하는 포지티브형 감광성 조성물은 현상래티튜드가 발현한다 는 것은, 비닐피롤리돈/디메틸아미노에틸메타크릴레이트 코폴리머, 혹은 폴리비닐부티랄 등의 강한 밀착력이 페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질의 약한 밀착력에 대하여 적절히 보강하여, 현상래티튜드를 발현하고 있는 원인임을 나타내고 있다. As described above, the positive photosensitive composition containing no vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, polyvinyl butyral, or the like does not exhibit development latitude, and vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate. The positive photosensitive composition comprising a copolymer or polyvinyl butyral is expressed by developing latitude, indicating that strong adhesion such as vinylpyrrolidone / dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, polyvinyl butyral, etc. The weak adhesion of the alkali-soluble organic polymer having a hydroxyl group is appropriately reinforced, indicating that the development latitude is expressed.
[비교예의 현상래티튜드][Comparative Example Latitude]
페놀성 수산기를 갖는 알칼리 가용성 유기고분자물질과, 프탈로시아닌색소로 이루어지는 포지티브형 감광성 조성물의 원액에, 티타늄 유기화합물을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물의 감광막에 대해서는, 표 11에 나타내는 바와 같이 버닝온도를 현저히 저하시킬 수 있었다. About the photosensitive film of the positive photosensitive composition which added the titanium organic compound to the stock solution of the positive photosensitive composition which consists of an alkali-soluble organic polymer material which has a phenolic hydroxyl group, and a phthalocyanine pigment | dye, as shown in Table 11, burning temperature is drastically reduced. I could make it.
티타늄 유기화합물을 첨가한 포지티브형 감광성 조성물의 감광막의 경우는, 버닝온도를 46℃에서도 양호하게 성막할 수 있고, 감도가 양호하게되어 현상을 용이하게 할 수 있었다. In the case of the photosensitive film of the positive photosensitive composition to which the titanium organic compound was added, the burning temperature could be formed well at 46 degreeC, and the sensitivity became favorable and it was easy to develop.
그러나, 버닝처리를 하지 않은 테스트에서는, 양호한 성막을 할 수 없어 현상불량이 되었다. However, in the test which was not burned out, favorable film formation was not possible, resulting in poor development.
상기의 결과로부터, 그라비아제판에 있어서, 도포후에 버닝이 불필요한 포지티브형 감광성 조성물을 사용하면, From the above results, in the gravure plate, if a positive photosensitive composition which does not require burning after application is used,
(1) 피도포대상에 도포하고 후(後)버닝하는 것이 부적당하고 버닝을 하지 않더라도 필요 충분한 밀착성을 얻을 수 있는 적성을 갖는다. 광택이 있고 대단히 딱딱한 감광막을 얻을 수 있다. (1) It is inappropriate to apply to the object to be coated and post-burn, and to have sufficient adhesion even if not burned. A glossy and very hard photoresist film can be obtained.
(2) 작업실내의 습도가 25∼60%가 되는 맑은 날에 도포하고, 또는 제습장치 및 가습장치를 사용하여 작업실내의 습도를 25∼60%의 범위로 하여 도포할 때에 필요 충분한 밀착성을 얻을 수 있다. (2) Obtain sufficient adhesion when applying on a clear day when the humidity in the work room is 25 to 60%, or applying the humidity in the work room within the range of 25 to 60% using a dehumidifier and a humidifier. Can be.
(3) 적절한 시간에 잔사가 발생하지 않는 양호한 알칼리 현상을 행할 수 있다. 감광층성분이 노광에 의해 실질적으로 화학변화를 일으키지 않음에도 불구하고, 내쇄성, 감도, 현상래티튜드 등 인쇄판의 기본성능을 전부 만족시킬 수 있다. (3) Good alkali development can be performed in which no residue is generated at an appropriate time. Although the photosensitive layer component does not substantially cause a chemical change by exposure, it can satisfy all the basic performances of the printing plate such as printing resistance, sensitivity and developing latitude.
(4) 감광층중의 광열변환물질에 의해서 지나친 열이 발생하는 높은 노광에너지보다 낮은 노광에너지로 화상노광을 하더라도 현상래티튜드를 넓게 취할 수 있기 때문에, 감광층비산이 생기는 정도가 낮게 억제되므로, 감광층비산하여, 노광장치의 광학계를 오염시키는 문제가 생기지 않는다. (4) Since the development latitude can be widened even when the image is exposed at a lower exposure energy than the high exposure energy at which excessive heat is generated by the photothermal conversion material in the photosensitive layer, the degree of photosensitive layer scattering is suppressed to be low. The problem of layer scattering and contaminating the optical system of the exposure apparatus does not occur.
(5) 버닝처리를 하지 않음으로써 고감도가 유지되고 레지스트화상의 에지가 노광의 조사패턴과 같이 예리한 윤곽으로 잘려지는 지극히 양호한 현상을 할 수 있다. (5) By not burning, high sensitivity can be maintained and an extremely good phenomenon can be obtained in which the edge of the resist image is cut into a sharp outline like an exposure pattern of exposure.
(6) 막 감소가 거의 생기지 않는 지극히 양호한 현상을 할 수 있다. 막 감소에 기인하는 핀홀의 발생을 회피할 수 있다. (6) An extremely good phenomenon can be achieved in which film reduction hardly occurs. The occurrence of pinholes due to the reduction of the film can be avoided.
(7) 레지스트화상에 광택이 있고, 그대로 인쇄에 제공하여 수천장 인쇄할 수 있을 정도의 대단히 단단한 레지스트화상를 얻을 수 있어, 감광막 형성후 현상전의 취급에 있어서 내상처성이 향상한다. (7) The resist image has a gloss, and a very hard resist image that can be used as it is for printing and printing thousands can be obtained, and thus scratch resistance is improved in handling before development after the formation of the photosensitive film.
(8) 레이저에 의한 화상인화의 감도 및 현상래티튜드가 뛰어나다. (8) The sensitivity of the image printing by the laser and the development latitude are excellent.
본원발명의 포지티브형 감광성 조성물은, 적외파장영역의 레이저광에 노광감응하여 해당 감응부가 현상액에 가용하게 되는 적외파장영역 레이저 감광성을 갖는 알칼리 가용성의 포지티브형 감광성 조성물이고, 이하와 같은 우수한 효과를 갖는다.The positive photosensitive composition of the present invention is an alkali-soluble positive photosensitive composition having infrared wavelength laser photosensitivity in which the sensitive portion is made available to a developing solution upon exposure to laser light in an infrared wavelength region, and has excellent effects as follows. .
(1) 피도포대상에 도포하여 후(後)버닝하는 것이 부적당하고, 버닝을 하지 않더라도 필요 충분한 밀착성을 얻을 수 있는 적성을 갖는다. 광택이 있고 대단히 단단한 감광막을 얻을 수 있다. (1) It is inadequate to apply | coat to a to-be-applied object and to post-burn, and it has aptitude which can acquire sufficient adhesiveness even if it does not burn. A glossy and very hard photoresist film can be obtained.
(2) 작업실내의 습도가 25∼60%가 되는 맑은 날에 도포하고, 또는 제습장치 및 가습장치를 사용하여 작업실내의 습도를 25∼60% 범위로하여 도포할 때에 필요 충분한 밀착성을 얻을 수 있다. (2) It is possible to obtain sufficient adhesion when applying on a clear day when the humidity in the work room is 25 to 60%, or applying the humidity in the work room to the range of 25 to 60% by using a dehumidifier and a humidifier. have.
(3) 적절한 시간에 잔사가 발생하지 않는 양호한 알칼리 현상을 행할 수 있다. 감광층성분이 노광에 의해 실질적으로 화학변화를 일으키지 않음에도 불구하고, 내쇄성, 감도, 현상래티튜드(현상시에 노광부가 완전히 제거되기까지의 시간과, 현상시에도 미노광부분의 막 잔존율이 충분히 확보되는 시간의 차) 등의 인쇄판의 기본성능을 전부 만족시킬 수 있다. (3) Good alkali development can be performed in which no residue is generated at an appropriate time. Although the photosensitive layer component does not substantially cause a chemical change by exposure, it has a high resistance to cracking, sensitivity, development latitude (the time until the exposure is completely removed during development, and the film residual ratio of the unexposed portion during development The basic performance of the printing plate, such as a sufficient time difference) can be satisfied.
(4) 감광층중의 광열변환물질에 의해서 지나친 열이 발생하는 높은 노광에너지보다 낮은 노광에너지로 화상노광을 하더라도, 현상래티튜드를 넓게 취할 수 있기 때문에 감광층비산이 생기는 정도가 낮게 억제되므로, 감광층비산(abrasion)하여, 노광장치의 광학계를 오염시키는 문제가 생기지 않는다. (4) Even when image exposure is performed at a lower exposure energy than the high exposure energy at which excessive heat is generated by the photothermal conversion material in the photosensitive layer, the development latitude can be taken widely, so that the degree of photosensitive layer scattering is reduced. By layer abrasion, there is no problem of contaminating the optical system of the exposure apparatus.
(5) 버닝처리를 하지 않음으로써 고감도가 유지되고 레지스트화상의 에지가 노광의 조사패턴과 같이 예리한 윤곽으로 잘려지는 극히 양호한 현상을 할 수 있다. (5) By not burning, high sensitivity can be maintained and an extremely good phenomenon can be obtained in which the edge of the resist image is cut into a sharp outline like an exposure pattern of exposure.
(6) 막 감소가 거의 생기지 않는 극히 양호한 현상을 할 수 있다. 막 감소에 기인하는 핀홀의 발생을 회피할 수 있다. (6) An extremely good phenomenon with almost no film reduction can be achieved. The occurrence of pinholes due to the reduction of the film can be avoided.
(7) 레지스트화상에 광택이 있고, 그대로 인쇄에 제공하더라도 수천장 인쇄할 수 있을 정도로 대단히 단단한 레지스트화상를 얻을 수 있어, 감광막 형성후 현상전의 취급에 있어서의 내상처성이 향상한다. (7) The resist image is glossy, and a resist image which is extremely hard to be printed even if it is used as it is for printing can be obtained, and the scratch resistance in handling before development after photosensitive film formation is improved.
(8) 레이저에 의한 화상인화의 감도 및 현상래티튜드가 우수하다. (8) The sensitivity of image printing by laser and the development latitude are excellent.
본원발명에 관한 포지티브형 감광성 조성물은, 그라비아 인쇄용의 피제판로울의 황산구리도금면에 포지티브형 감광막을 형성하는 데 바람직하지만, 이에 한정되는 것이 아니라, 알루미늄, 아연, 철강 등의 금속판, 알루미늄, 아연, 구리, 철, 크롬, 니켈 등을 도금 또는 증착한 금속판, 수지를 도포한 종이, 알루미늄 등의 금속박을 점착한 종이, 플라스틱필름, 친수화처리한 플라스틱필름, 및 유리판 등에 적용하더라도 저온에서의 밀착성이 양호하여, 고감도를 얻을 수 있다.The positive photosensitive composition according to the present invention is preferable to form a positive photosensitive film on the copper sulfate plated surface of the platen roll for gravure printing, but is not limited thereto. Metal plates such as aluminum, zinc, steel, aluminum, zinc, Adhesion at low temperatures even when applied to metal plates plated or deposited with copper, iron, chromium, nickel, etc., paper coated with resin, metal foil coated with aluminum foil, plastic film, hydrophilized plastic film, and glass plate It is favorable and high sensitivity can be obtained.
따라서, 감광성 평판인쇄판, 간이교정인쇄용 프루프, 배선판이나 그라비아용 구리에칭 레지스트, 플랫디스플레이 제조에 사용되는 컬러필터용 레지스트, LSI제조용 포토레지스트 등에 바람직하게 사용할 수 있다. Therefore, it can be used suitably for the photosensitive flat plate, the proofing printing proof, the wiring board, the copper etching resist for gravure, the color filter resist used for flat display manufacture, the photoresist for LSI manufacture, etc.
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