KR100675624B1 - 인쇄방식에 의한 액정표시소자의 패턴형성장치 및 이를 이용한 액정표시소자의 패턴형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
41: 청정챔버 42: UV 램프
43: 오존
그리고, 상기 드레인전극(19)은 컨택홀을 통하여 화소전극(21)과 연결되어 있다. 상기 화소전극(21)은 광빔이 투과 되도록 ITO로 이루어진 투명 전극으로 형성되어 있으며, 상기 공통전극(13) 및 화소전극(21) 상에는 액정 분자들의 배향을 위한배향막(14)이 형성되어 있다.
상기 청정챔버 내부에는, 상기 클리체 표면에 잔존하는 유기물성 입자들을 제거하는 UV발생장치가 장착되거나, 오전발생장치가 장착된 것이 바람직하다. 상기 클리체의 하부에 설치되어, 상기 클리체를 상승 및 하강시키기 위한 엘리베이터를 더 포함한다.
이하, 도면을 통하여 본 발명에 따른 패턴형성용 인쇄장비 및 리를 이용한 액정표시소자의 패턴형성방법에 관하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 4에 도시한 바와 같이, 복수의 홈(26)이 형성된 클리체(23)가 외부로부터 고립되어 UV 발생장치(42)가 설치된 청정챔버(41) 내부에 보관된다. 그리고, 상기 클리체(23) 상부에는 UV 발생장치(42)가 설치되어 있으며, 상기 UV 발생장치(42)는 상기 클리체(23)의 표면에 UV를 조사함으로써, 상기 클리체(23)의 표면에 잔존하는 유기물 입자들을 제거하는 역할을 한다. 즉, 상기 클리체(23)가 청정챔버(41) 내부에 들어오게 되면, 상기 UV발생장치(42)가 동작하여, 청정챔버(41) 외부에서 오염된 클리체(23)를 세척하는 역할을 한다. 그리고, 상기 UV에 의해서 세척된 클리체(23)는 청정챔버(41) 내에 대기하고 있는 상태이므로, 외부에 노출된 종래에 비해 유기입자와 같은 오염물에 의해 더러워지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 UV 발생장치 대신에 오존가스를 발생시키는 오존가스 발생장치를 사용할 수도 있다.
도 5는 오존가스 발생장치가 설치된 청정챔버 내부를 나타낸 것으로, 도면에 도시한 바와 같이, 청정챔버(41) 내부에 오존가스를 발생시키는 오존가스 발생장치(43)를 설치하고, 상기 클리체(23) 표면에 오존가스를 발생시킴으로써, UV 발생장치(42)와 클리체(23)에 잔존하고 있는 유기물성 입자를 제거하고, 클리체(23)가 부유성 입자로부터 오염되는 것을 방지할 수 있도록 한다.
먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이 청정챔버(41) 내부에 복수의 홈이 형성된 클리체(23)를 설치하고, 청정챔버(41) 내부에 구비된 UV 발생장치 또는 오존가스(발생장치를 이용하여 클리체(23)의 표면에 잔존하고 있는 유기물성 입자들을 제거한다.
그리고, 도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 클리체(23) 상부에 레지스트(29)를 도포한 후, 상기 클리체(23) 표면을 닥터 블레이드(doctor blade)(27)로 평평하게 밀어줌으로써, 홈(26) 내부에 레지스트를 충진시킴과 동시에, 클리체(23) 표면에 잔류하는 레지스트를 제거한다.
이와 같이, 클리체의 홈(26) 내부에 충진된 레지스트가 모두 로울러(25) 표면에 전사된 후에는 상기 엘리베이터(44)의 구동에 의해서 클리체(23)가 다시 청정챔버(41) 내부로 하강하게 되며, 청정챔버(41)의 천정은 닫히게 된다.
또한, 상기 로울러를 사용하지 않고, 레지스트가 충진된 클리체 상에 기판을 직접 부착시킨 후, 상기 클리체로부터 기판을 분리시킴으로써, 상기 클리체의 홈내부에 충진된 레지스트를 기판 상에 전사시킬 수도 있다.
Claims (10)
- 복수의 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 레지스트가 충진되는 클리체;상기 홈 내부에 상기 레지스트를 충진시키기 위한 닥터블레이드;및상기 클리체가 내부에 보관되어 대기로부터 상기 클리체를 격리시키는 청정챔버를 포함하여 구성된 패턴 형성용 인쇄장비.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 청정챔버 내부에는, 상기 클리체 표면에 잔존하는 유기물성 입자들을 제거하는 UV발생장치가 장착된 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 인쇄장비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 청정챔버 내부에는, 상기 클리체 표면에 잔존하는 유기물성 입자들을 제거하는 오전발생장치가 장착된 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 인쇄장비.
- 제 1항에 있어서, 상기 클리체의 하부에 설치되어, 상기 클리체를 상승 및 하강시키기 위한 엘리베이터를 더 포함하여 구성된 패턴 형성용 인쇄장비.
- 청정챔버 내부에 복수의 홈이 형성된 클리체를 대기시키는 단계;상기 청정챔버로부터 복수의 홈의 형성된 클리체의 표면이 대기로 노출되도록 클리체를 상승시키는 단계;상기 클리체 상부에 레지스트를 도포하는 단계;패턴을 형성하고자 하는 기판을 클리체 상에 부착시킨 후, 상기 기판 상에 열 혹은 압력을 인가하는 단계; 및상기 클리체로부터 기판을 분리시키는 단계를 포함하여 이루어지는 패턴형성방법.
- 삭제
- 제 6항에 있어서, 상기 청정챔버 내부에 UV발생장치로부터 UV를 발생시켜 상기 클리체 표면에 묻어있는 유기물성 입자들을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
- 제 6항에 있어서, 상기 청정챔버 내부에 오존발생장치로부터 오존을 발생시켜 상기 클리체 표면에 묻어있는 유기물성 입자들을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
- 청정챔버 내부에 복수의 홈이 형성된 클리체를 대기시키는 단계;상기 청정챔버로부터 복수의 홈이 형성된 클리체의 표면이 대기로 노출되도록 클리체를 상승시키는 단계;상기 클리체 상부에 레지스트를 도포하는 단계;닥터 블레이드를 이용하여 상기 클리체 표면을 평평하게 밀어주어 상기 홈 내부에 레지스트를 충진시키는 단계;상기 클리체 표면에 로울러를 접촉시킨 후, 상기 로울러를 회전시켜 상기 홈 내부에 충진된 레지스트를 로울러 표면에 전사하는 단계; 및상기 로울러 표면에 전사된 레지스트를 패턴을 형성하고자 하는 기판 상에 접촉시킨 후, 회전시켜 상기 로울러 표면에 전사된 레지스트를 기판 상에 재전사하는 단계를 포함하여 이루어지는 패턴형성방법.
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