KR20120014500A - 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴 - Google Patents

탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴 Download PDF

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Abstract

본 발명은 패턴의 단부의 늘어짐이나 끊어짐, 모서리부의 둥근각 현상으로 인한 불량을 방지할 수 있는 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴에 관한 것으로, 본 발명에 의한 탈착판은 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서, 상기 홈의 단부는 상기 홈의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지는 것이 바람직하다.

Description

탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴{CLICHE, METHOD FOR MANUFACTURING CLICHE, AND PATTERN FORMED BY ROLL PRINTING METHOD}
본 발명은 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패턴의 단부의 늘어짐이나 끊어짐, 모서리부의 둥근각 현상으로 인한 불량을 방지할 수 있는 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴에 관한 것이다.
액정 표시 장치(LCD : Liquid Crystal Display)는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져 전극에 신호를 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.
액정 표시 장치는 서로 마주보는 박막 트랜지스터 표시판과 공통 전극 표시판으로 이루어져 있다. 박막 트랜지스터 표시판에는 게이트 신호를 전송하는 게이트선과 데이터 신호를 전송하는 데이터선이 서로 교차하여 형성되고, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극 등이 형성된다. 공통 전극 표시판에는 차광부재, 색필터, 공통 전극 등이 형성된다.
이처럼 액정 표시 장치의 두 기판에는 많은 패턴들이 형성되어 있고, 종래에는 이러한 패턴들을 형성하기 위해 포토 공정 및 식각 공정을 거치는 것이 일반적이었다. 그러나 이를 위해 별도로 소정 패턴의 마스크를 이용해야 하므로 제조비용이 상승되는 문제점과 복잡한 공정 절차 진행에 따라 공정 시간이 오래 걸린다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 인쇄방법을 이용하여 패턴을 형성하는 방법이 제시되고 있다. 예를 들면, 잉크젯 인쇄(ink jet printing), 임프린트 리소그라피(nano imprinting), 그라비아인쇄(gravure printing), 반전옵셋인쇄(Reverse offset printing), 옵셋인쇄(offset printing), 마이크로 컨택 인쇄(micro contact printing) 등의 다양한 방법들이 있다.
그 중 반전옵셋인쇄, 옵셋인쇄는 가장 많이 사용되는 방법 중 하나로써, 인쇄롤의 전면에 패턴 물질을 도포한 후 탈착판을 이용하여 패턴 형성에 불필요한 부분을 제거하고, 필요한 부분만을 남겨 기판에 전사시키는 롤 프린팅 방식에 해당한다.
이하에서는 도 1을 참고하여 종래의 롤 프린팅 방식으로 패턴을 형성할 때 발생하는 문제점에 대해 설명한다.
도 1은 종래의 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴을 나타낸 평면도이다.
이때, 인쇄롤을 기판 상부에 회전시켜 패턴 물질을 기판에 전사시키는 과정에서 패턴(50)의 시작 부분(A)에서 모서리부가 둥근각으로 형성되는 문제점이 발생하고, 패턴(50)의 마지막 부분(C)에서 패턴이 늘어지게 되고 일정 이상 늘어지면 끊어지게 되며, 끊어진 패턴 물질(52)의 덩어리가 다른 패턴(50) 부위에 붙어 패턴(50)의 두께가 두 배가 되고 원하는 패턴 모양을 형성할 수 없는 문제점이 발생한다.
또한, 탈착판을 이용하여 패턴 형성에 불필요한 부분을 제거하는 과정에서 탈착판의 홈을 너무 얕게 형성하면 패턴 물질이 홈 내부에 붙어서 패턴 형성에 필요한 부분까지 제거되는 문제점이 발생한다. 반대로 탈착판의 홈을 너무 깊게 형성하면 탈착판의 제조 공정 시간이 너무 오래 걸리고, 이로 인해 탈착판의 표면이 불균일하게 식각되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 패턴의 단부가 늘어지거나 끊어지고, 모서리부가 둥근각으로 형성되는 것을 방지할 수 있는 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 패턴 물질이 탈착판의 홈 내부에 붙거나 필요 이상으로 탈착판의 제조 공정 시간이 소요되는 것을 방지하고, 탈착판을 균일하게 식각할 수 있는 탈착판, 탈착판의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 탈착판은 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서, 상기 홈의 단부는 상기 홈의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.
상기 홈의 중앙부의 폭에 대한 상기 홈의 단부의 폭의 비는 2/5 이상이고 1/2 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 탈착판은 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서, 상기 홈의 단부는 상기 홈의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상일 수 있다.
상기 홈의 폭이 좁아지기 시작하는 지점에서 상기 홈의 최단부까지의 길이에 대한 상기 홈의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 탈착판은 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서, 상기 홈의 단부는 두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상일 수 있다.
상기 홈의 단부가 나뉘어지는 지점에서 상기 홈의 최단부까지의 길이에 대한 상기 홈의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 탈착판은 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서, 상기 홈의 단부는 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고, 제1 폭을 가지는 제1 부분; 및 상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함한다.
상기 제1 폭에 대한 상기 제2 폭의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하일 수 있다.
상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 길이의 비는 1/50 이상이고 1 이하일 수 있다.
상기 홈의 폭에 대한 상기 홈의 깊이의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 탈착판은 표시 영역과 비표시 영역으로 이루어진 표시 장치에 형성되는 패턴을 롤 프린팅 방식으로 제조하는데 사용되고 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서, 상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은 상기 표시 영역의 제조에 사용되는 홈의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.
상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은, 상기 홈의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상일 수 있다.
상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은, 두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상일 수 있다.
상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은, 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고, 제1 폭을 가지는 제1 부분; 및 상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함할 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 탈착판을 제조하는 방법은 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판을 제조하는 방법에 있어서, (a) 판의 상부 전면에 격벽층을 형성하는 단계; (b) 사진 식각 공정을 통해 상기 격벽층을 패터닝하는 단계; (c) 상기 격벽층을 마스크로 하여 상기 판을 식각하여 홈을 형성하는 단계; (d) 상기 격벽층을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 홈의 단부는 상기 홈의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성할 수 있다.
상기 (c) 단계에서, 상기 홈의 폭에 대한 상기 홈의 깊이의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하가 되도록 식각할 수 있다.
상기 (a) 단계에서, 상기 격벽층은 500Å 이상이고, 30000Å 이하의 두께를 가지도록 형성할 수 있다.
상기 (a) 단계에서, 상기 격벽층은 고분자 물질 및 금속 물질 중 어느 한 종류 이상의 물질로 단일층 또는 다중층으로 형성할 수 있다.
상기 고분자 물질은, 아크릴계, 에폭시계, 노블락계, 및 아크릴에폭시계의 공중 합체, 노블락-아크릴계, 및 노블락-에폭시 하이브리드계 물질로 이루어진 그룹에서 어느 하나 이상의 물질일 수 있다.
상기 금속 물질은, 구리, 크롬, 크롬 산화물, 몰리브덴, 알루미늄, 은, 금, 및 티타늄으로 이루어진 그룹에서 어느 하나 이상의 물질일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 패턴은 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서, 상기 패턴의 단부는 상기 패턴의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.
상기 패턴의 중앙부의 폭에 대한 상기 패턴의 단부의 폭의 비는 2/5 이상이고 1/2 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 패턴은 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서, 상기 패턴의 단부는 상기 패턴의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상일 수 있다.
상기 폭이 좁아지기 시작하는 지점에서 상기 패턴의 최단부까지의 길이에 대한 상기 패턴의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 패턴은 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서, 상기 패턴의 단부는 두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상일 수 있다.
상기 패턴의 단부가 나뉘어지는 지점에서 상기 두 개의 최단부까지의 길이에 대한 상기 패턴의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 패턴은 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서, 상기 패턴의 단부는 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고, 제1 폭을 가지는 제1 부분; 및, 상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함할 수 있다.
상기 제1 폭에 대한 상기 제2 폭의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하일 수 있다.
상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 길이의 비는 1/50 이상이고 1 이하일 수 있다.
상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 패턴은 표시 영역과 비표시 영역으로 이루어진 표시 장치에 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서, 상기 비표시 영역에 형성된 패턴은 상기 표시 영역에 형성된 패턴의 폭보다 좁은 폭을 가질 수 있다.
상기 비표시 영역에 형성된 패턴은, 상기 패턴의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상일 수 있다.
상기 비표시 영역에 형성된 패턴은, 두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상일 수 있다.
상기 비표시 영역에 형성된 패턴은, 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고, 제1 폭을 가지는 제1 부분; 및 상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 의한 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴은 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 의한 탈착판, 탈착판의 제조방법, 및 롤프린팅 방식으로 형성된 패턴은 패턴의 단부의 폭을 좁게 형성하고, 단부를 다양한 형상으로 일정한 수치 범위 내에서 형성함으로써, 패턴의 단부의 늘어짐이나 끊어짐, 모서리부의 둥근각 현상으로 인한 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 탈착판에 형성되는 홈의 폭과 깊이의 비율이 일정 범위 내에 있도록 탈착판을 형성함으로써, 패턴 물질이 탈착판의 홈 내부에 붙거나 필요 이상으로 탈착판의 제조 공정 시간이 소요되는 것을 방지할 수 있고, 탈착판을 균일하게 식각할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴을 나타낸 평면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일실시예에 의한 패턴을 형성하는 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 일실시예에 의한 탈착판의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
이하에서 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명에 의한 탈착판에 대해 설명하기에 앞서 롤 프린팅 방식으로 패턴을 형성하는 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일실시예에 의한 패턴을 형성하는 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 노즐(200)을 이용하여 인쇄롤(100)에 패턴 물질(300)을 도포한다. 노즐(200)은 정지되어 있는 상태에서 패턴 물질(300)을 외부로 방출하고, 인쇄롤(100)이 회전하면서 방출된 패턴 물질(300)이 인쇄롤(100)의 상부에 도포된다.
이때, 인쇄롤(100)은 인쇄롤(100)의 표면을 둘러싸는 블랭킷(110)을 포함할 수 있고, 패턴 물질(300)은 블랭킷(110)의 상부에 도포될 수 있다.
이어, 도 2b에 도시된 바와 같이 탈착판(400)을 이용하여 인쇄롤(100)에서 패턴 물질(300) 중 패턴 형성에 필요한 부분(310)을 남기고, 패턴 형성에 불필요한 부분(320)은 제거한다.
탈착판(400)의 상부면에는 홈(420)이 형성되어 있고, 탈착판(400)의 상부면에서 인쇄롤(100)을 회전시키면 탈착판(400)에 소정의 압력이 가해지면서 패턴 형성에 불필요한 부분(320)이 달라붙게 된다.
다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이 인쇄롤(100)을 기판(500) 위에서 회전시켜 인쇄롤(100)에 남아있는 패턴 물질(310)을 기판(500)에 전사시켜 패턴(330)을 형성한다. 이후, 기판(500) 위에 전사된 패턴(330)을 경화시키면 패턴(330)이 완성된다.
이하, 첨부된 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 탈착판에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 탈착판(400)은 일면에 홈(420)이 형성되어 있고, 홈(420)의 단부(430)는 홈(420)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가진다. 이때, 홈(420)의 중앙부의 폭(b)에 대한 홈(420)의 단부(430)의 폭(a)의 비는 2/5 이상이고 1/2 이하일 수 있다.
이하, 첨부된 도 4를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 탈착판에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제2 실시예에 의한 탈착판(400)은 일면에 홈(420)이 형성되어 있고, 홈(420)의 단부(430)는 홈(420)의 최단부(440)로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상을 가지도록 형성된다. 이때, 홈(420)의 폭이 좁아지기 시작하는 지점에서 홈(420)의 최단부(440)까지의 길이(d)에 대한 홈(420)의 단부(430)의 폭(c)의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
도시된 바와 같이, 홈(420)의 단부(430)가 홈(420)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 도시된 바와 다르게, 홈(420)의 중앙부에서 홈(420)의 단부(430)에 이르기까지 일정한 폭을 유지하다가 점차적으로 좁아지는 V자 형상으로 형성될 수도 있다.
이하, 첨부된 도 5를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 탈착판에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제3 실시예에 의한 탈착판(400)은 일면에 홈(420)이 형성되어 있고, 홈(420)의 단부(430)는 두 개의 최단부(440)를 가지도록 나뉘어지고, 두 개의 최단부(440)로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상을 가지도록 형성된다. 이때, 홈(420)의 단부(430)가 나뉘어지는 지점에서 홈(420)의 최단부(440)까지의 길이(f)에 대한 홈(420)의 단부(430)의 폭(e)의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
도시된 바와 같이, 홈(420)의 단부(430)가 홈(420)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 도시된 바와 다르게, 홈(420)의 중앙부에서 홈(420)의 단부(430)에 이르기까지 일정한 폭을 유지하다가 두 개의 최단부(440)로 갈수록 점차적으로 좁아지는 W자 형상으로 형성될 수도 있다.
이하, 첨부된 도 6을 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 탈착판에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 의한 탈착판을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제4 실시예에 의한 탈착판(400)은 일면에 홈(420)이 형성되어 있고, 홈(420)의 단부(430)는 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고, 제1 폭(g)을 가지는 제1 부분(450)과 제1 폭(g)보다 좁은 제2 폭(h)을 가지는 제2 부분(460)을 포함한다. 이때, 제1 폭(g)에 대한 제2 폭(h)의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하일 수 있다. 또한, 제2 부분(460)의 길이(i)에 대한 제1 부분(450)과 제2 부분(460) 사이의 길이(j)의 비는 1/50 이상이고 1 이하일 수 있다.
도시된 바와 같이, 홈(420)의 단부(430)가 홈(420)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 도시된 바와 다르게, 홈(420)의 중앙부에서 홈(420)의 단부(430)에 이르기까지 일정한 폭을 유지하다가 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상으로 형성될 수도 있다.
도 3 내지 도 6에서는 탈착판의 양측 단부가 모두 폭이 좁아지는 형상으로 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 어느 일측 단부만 폭이 좁아지는 형상으로 형성될 수도 있다.
본 발명에 의한 탈착판은 표시 장치, 반도체 소자 등의 패턴을 롤 프린팅 방식으로 제조하는데 이용될 수 있다.
표시 장치의 대표적인 예로써, 액정 표시 장치는 서로 마주보는 박막 트랜지스터 표시판과 공통 전극 표시판으로 이루어져 있다. 박막 트랜지스터 표시판에는 게이트 신호를 전송하는 게이트선과 데이터 신호를 전송하는 데이터선이 서로 교차하여 형성되고, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극 등이 형성된다. 공통 전극 표시판에는 차광부재, 색필터, 공통 전극 등이 형성된다.
앞서 도 2a 내지 도 2c에서 설명한 패턴을 형성하는 방법을 이용하여 상기 다양한 패턴들을 형성할 수 있다. 표시 장치는 표시 영역과 표시 영역의 외곽을 둘러싸는 비표시 영역으로 이루어져 있고, 표시 장치의 패턴 형성에 이용되는 탈착판은 일면에 홈이 형성되어 있다. 이때, 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은 상기 표시 영역의 제조에 사용되는 홈의 폭보다 좁은 폭을 가진다. 또한, 본 발명의 탈착판의 제1 실시예 내지 제4 실시예에서 설명한 다양한 단부의 형상을 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈의 형상에 적용할 수 있다.
롤 프린팅 방식을 이용하여 패턴을 형성하는 경우 인쇄롤은 기판의 외곽부에 해당하는 비표시 영역에서 시작하여 기판의 중간부에 해당하는 표시 영역을 지나 비표시 영역까지 회전하여 패턴을 형성한다. 이때, 인쇄롤의 회전이 시작되는 부분과 종료되는 부분인 비표시 영역에서는 표시 영역에서보다 패턴의 폭이 줄어들더라도 외부로 영상을 표시하는데 영향을 미치지 아니한다.
이하, 첨부된 도 7a 내지 도 7d를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 탈착판의 제조 방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 일실시예에 의한 탈착판의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이 유리 재질의 판(600)의 상부 전면에 격벽층(610)을 형성한다.
격벽층(610)은 고분자 물질 및 금속 물질 중 어느 한 종류 이상의 물질을 이용하여 단일층 또는 다중층으로 형성할 수 있다. 고분자 물질로는 아크릴계, 에폭시계, 노블락계, 및 아크릴에폭시계의 공중 합체, 노블락-아크릴계, 및 노블락-에폭시 하이브리드계 물질 등이 이용될 수 있고, 금속 물질로는 구리, 크롬, 크롬 산화물, 몰리브덴, 알루미늄, 은, 금, 및 티타늄 등이 이용될 수 있다.
또한, 격벽층(610)은 500Å 이상이고, 30000Å 이하의 두께를 가지도록 형성할 수 있다. 격벽층(610)은 판(600)을 식각하기 위한 마스크로 이용되는 구성으로써, 너무 얇게 형성하면 판(600)을 식각하는 단계에서 격벽층(610)이 손상되어 마스크로써의 역할을 못하게 되고, 너무 두껍게 형성하며 격벽층(610)을 제거할 때 너무 많은 시간이 소요되므로 상기 범위 내에서 격벽층(610)을 형성할 수 있다.
도 7b에 도시된 바와 같이 사진 식각 공정을 통해 격벽층(610)을 패터닝한다.
이때, 격벽층(610)을 마스크로 하여 판(600)에 형성될 홈(630)의 단부가 홈(630)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지는 형상이 될 수 있도록 격벽층(610)을 식각한다. 또한, 홈(630)의 단부의 형상이 본 발명의 탈착판의 제1 실시예 내지 제2 실시예에서 설명한 다양한 단부의 형상을 가지도록 격벽층(610)을 패터닝할 수 있다.
도 7c에 도시된 바와 같이 패터닝된 격벽층(610)을 마스크로 하여 판(600)을 식각하여 홈(630)을 형성한다.
이때, 홈(630)의 폭(l)에 대한 홈(630)의 깊이(k)의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하가 되도록 식각할 수 있다. 홈(630)의 폭(l)에 대한 홈(630)의 깊이(k)의 비를 1/6 이하로 형성하면 탈착판 상부에서 인쇄롤을 회전시킬 때 패턴 물질이 홈(630)의 내부에도 달라붙게 되고, 1/3 이상으로 형성하면 판(600)을 식각하는데 필요 이상의 시간이 소요되어 탈착판이 불균일하게 식각되고, 이를 이용하여 패턴 형성시 불균일한 패턴이 형성되므로 상기 범위 내에서 홈(630)을 식각할 수 있다.
도 7d에 도시된 바와 같이 홈(630)이 형성된 후에, 격벽층(610)을 제거하면, 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판이 완성된다.
이하, 첨부된 도 8을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 패턴(330)은 기판(500) 위에 형성되고, 패턴(330)의 단부(340)는 패턴(330)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가진다. 이때, 패턴(330)의 중앙부의 폭(n)에 대한 패턴(330)의 단부(340)의 폭(m)의 비는 2/5 이상이고 1/2 이하일 수 있다.
이하, 첨부된 도 9를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제2 실시예에 의한 패턴(330)은 기판(500) 위에 형성되고, 패턴(330)의 단부(340)는 패턴(330)의 최단부(350)로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상을 가지도록 형성된다. 이때, 패턴(330)의 폭이 좁아지기 시작하는 지점에서 패턴(330)의 최단부(350)까지의 길이(p)에 대한 패턴(330)의 단부(340)의 폭(o)의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
도시된 바와 같이, 패턴(330)의 단부(340)가 패턴(330)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 도시된 바와 다르게, 패턴(330)의 중앙부에서 패턴(330)의 단부(340)에 이르기까지 일정한 폭을 유지하다가 점차적으로 좁아지는 V자 형상으로 형성될 수도 있다.
이하, 첨부된 도 10를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제3 실시예에 의한 패턴(330)은 기판(500) 위에 형성되고, 패턴(330)의 단부(340)는 두 개의 최단부(350)를 가지도록 나뉘어지고, 두 개의 최단부(350)로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상을 가지도록 형성된다. 이때, 패턴(330)의 단부(340)가 나뉘어지는 지점에서 패턴(330)의 최단부(350)까지의 길이(r)에 대한 패턴(330)의 단부(340)의 폭(q)의 비는 1/3 이상이고 1 이하일 수 있다.
도시된 바와 같이, 패턴(330)의 단부(340)가 패턴(330)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 도시된 바와 다르게, 패턴(330)의 중앙부에서 패턴(330)의 단부(340)에 이르기까지 일정한 폭을 유지하다가 두 개의 최단부(350)로 갈수록 점차적으로 좁아지는 W자 형상으로 형성될 수도 있다.
이하, 첨부된 도 11를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 의한 패턴을 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제4 실시예에 의한 패턴(330)은 기판(500) 위에 형성되고, 패턴(330)의 단부(340)는 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고, 제1 폭(s)을 가지는 제1 부분(450)과 제1 폭(s)보다 좁은 제2 폭(t)을 가지는 제2 부분(370)을 포함한다. 이때, 제1 폭(s)에 대한 제2 폭(t)의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하일 수 있다. 또한, 제2 부분(370)의 길이(u)에 대한 제1 부분(360)과 제2 부분(370) 사이의 길이(v)의 비는 1/50 이상이고 1 이하일 수 있다.
도시된 바와 같이, 패턴(330)의 단부(340)가 패턴(330)의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 도시된 바와 다르게, 패턴(330)패턴(330)부에서 패턴(330)의 단부(340)에 이르기까지 일정한 폭을 유지하다가 단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상으로 형성될 수도 있다.
도 8 내지 도 11에서는 패턴의 양측 단부가 모두 폭이 좁아지는 형상으로 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 어느 일측 단부만 폭이 좁아지는 형상으로 형성될 수도 있다.
본 발명에 의한 패턴은 롤 프린팅 방식으로 형성된 표시 장치, 반도체 소자 등의 패턴일 수 있다.
이때, 표시 장치는 표시 영역과 표시 영역의 외곽을 둘러싸는 비표시 영역으로 이루어져 있고, 비표시 영역에 형성된 패턴은 표시 영역에 형성된 패턴의 폭보다 좁은 폭을 가진다. 또한, 본 발명의 패턴의 제1 실시예 내지 제4 실시예에서 설명한 다양한 단부의 형상을 비표시 영역의 패턴의 형상에 적용할 수 있다.
롤 프린팅 방식을 이용하여 패턴을 형성하는 경우 인쇄롤은 기판의 외곽부에 해당하는 비표시 영역에서 시작하여 기판의 중간부에 해당하는 표시 영역을 지나 비표시 영역까지 회전하여 패턴을 형성한다. 이때, 인쇄롤의 회전이 시작되는 부분과 종료되는 부분인 비표시 영역에서는 표시 영역에서보다 패턴의 폭이 줄어들더라도 외부로 영상을 표시하는데 영향을 미치지 아니한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100 : 인쇄롤 110 : 블랭킷
200 : 미세 노즐 300 : 패턴 물질
310 : 패턴 형성에 필요한 부분
320 : 패턴 형성에 불필요한 부분
330 : 패턴 400 : 탈착판
420 : 홈 500 : 기판
600 : 유리판 610 : 격벽
630 : 홈

Claims (33)

  1. 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서,
    상기 홈의 단부는 상기 홈의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지는,
    탈착판.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 홈의 중앙부의 폭에 대한 상기 홈의 단부의 폭의 비는 2/5 이상이고 1/2 이하인,
    탈착판.
  3. 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서,
    상기 홈의 단부는,
    상기 홈의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상인,
    탈착판.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 홈의 폭이 좁아지기 시작하는 지점에서 상기 홈의 최단부까지의 길이에 대한 상기 홈의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1 이하인,
    탈착판.
  5. 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서,
    상기 홈의 단부는,
    두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상인,
    탈착판.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 홈의 단부가 나뉘어지는 지점에서 상기 홈의 최단부까지의 길이에 대한 상기 홈의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1 이하인,
    탈착판.
  7. 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서,
    상기 홈의 단부는,
    단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고,
    제1 폭을 가지는 제1 부분; 및,
    상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함하는,
    탈착판.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 폭에 대한 상기 제2 폭의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하인,
    탈착판.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 길이의 비는 1/50 이상이고 1 이하인,
    탈착판.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 홈의 폭에 대한 상기 홈의 깊이의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하인,
    탈착판.
  11. 표시 영역과 비표시 영역으로 이루어진 표시 장치에 형성되는 패턴을 롤 프린팅 방식으로 제조하는데 사용되고 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판에 있어서,
    상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은 상기 표시 영역의 제조에 사용되는 홈의 폭보다 좁은 폭을 가지는,
    탈착판.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은,
    상기 홈의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상인,
    탈착판.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은,
    두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상인,
    탈착판.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 비표시 영역의 제조에 사용되는 홈은,
    단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고,
    제1 폭을 가지는 제1 부분; 및,
    상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함하는,
    탈착판.
  15. 일면에 홈이 형성되어 있는 탈착판을 제조하는 방법에 있어서,
    (a) 판의 상부 전면에 격벽층을 형성하는 단계;
    (b) 사진 식각 공정을 통해 상기 격벽층을 패터닝하는 단계;
    (c) 상기 격벽층을 마스크로 하여 상기 판을 식각하여 홈을 형성하는 단계;
    (d) 상기 격벽층을 제거하는 단계를 포함하고,
    상기 홈의 단부는 상기 홈의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성하는,
    탈착판의 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 (c) 단계에서,
    상기 홈의 폭에 대한 상기 홈의 깊이의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하가 되도록 식각하는,
    탈착판의 제조 방법.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서,
    상기 격벽층은,
    500Å이상이고, 30000Å이하의 두께를 가지도록 형성하는,
    탈착판의 제조 방법.
  18. 제15 항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서,
    상기 격벽층은,
    고분자 물질 및 금속 물질 중 어느 한 종류 이상의 물질로 단일층 또는 다중층으로 형성하는,
    탈착판의 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 고분자 물질은,
    아크릴계, 에폭시계, 노블락계, 및 아크릴에폭시계의 공중 합체, 노블락-아크릴계, 및 노블락-에폭시 하이브리드계 물질로 이루어진 그룹에서 어느 하나 이상의 물질인,
    탈착판의 제조 방법.
  20. 제18 항에 있어서,
    상기 금속 물질은,
    구리, 크롬, 크롬 산화물, 몰리브덴, 알루미늄, 은, 금, 및 티타늄으로 이루어진 그룹에서 어느 하나 이상의 물질인,
    탈착판의 제조 방법.
  21. 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서,
    상기 패턴의 단부는 상기 패턴의 중앙부의 폭보다 좁은 폭을 가지는,
    패턴.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 패턴의 중앙부의 폭에 대한 상기 패턴의 단부의 폭의 비는 2/5 이상이고 1/2 이하인,
    패턴.
  23. 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서,
    상기 패턴의 단부는,
    상기 패턴의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상인,
    패턴.
  24. 제23 항에 있어서,
    상기 폭이 좁아지기 시작하는 지점에서 상기 패턴의 최단부까지의 길이에 대한 상기 패턴의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1 이하인,
    패턴.
  25. 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서,
    상기 패턴의 단부는,
    두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상인,
    패턴.
  26. 제25 항에 있어서,
    상기 패턴의 단부가 나뉘어지는 지점에서 상기 두 개의 최단부까지의 길이에 대한 상기 패턴의 단부의 폭의 비는 1/3 이상이고 1이하인,
    패턴.
  27. 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서,
    상기 패턴의 단부는,
    단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고,
    제1 폭을 가지는 제1 부분; 및,
    상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함하는,
    패턴.
  28. 제27 항에 있어서,
    상기 제1 폭에 대한 상기 제2 폭의 비는 1/6 이상이고 1/3 이하인,
    패턴.
  29. 제27 항에 있어서,
    상기 제2 부분의 길이에 대한 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 길이의 비는 1/50 이상이고 1 이하인,
    패턴.
  30. 표시 영역과 비표시 영역으로 이루어진 표시 장치에 롤 프린팅 방식으로 형성된 패턴에 있어서,
    상기 비표시 영역에 형성된 패턴은 상기 표시 영역에 형성된 패턴의 폭보다 좁은 폭을 가지는,
    패턴.
  31. 제30 항에 있어서,
    상기 비표시 영역에 형성된 패턴은,
    상기 패턴의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 V자 형상인,
    패턴.
  32. 제30 항에 있어서,
    상기 비표시 영역에 형성된 패턴은,
    두 개의 최단부를 가지도록 나뉘어지고, 상기 두 개의 최단부로 갈수록 폭이 점차적으로 좁아지는 W자 형상인,
    패턴.
  33. 제30 항에 있어서,
    상기 비표시 영역에 형성된 패턴은,
    단계적으로 폭이 줄어드는 깔데기 형상이고,
    제1 폭을 가지는 제1 부분; 및,
    상기 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 제2 부분을 포함하는,
    패턴.
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