KR100673557B1 - 기판 클리닝 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인쇄배선기판의 제조라인에 조립되고, 상기 기판 표면에 부착한 이물을 제거하는 기판 클리닝 장치에 관한 것이다. 반송 벨트(3)에 기판(2)의 에지부분을 올려놓아 기판(2)을 반송한다. 흡착 롤러(4)가 그 습윤성에 의해 기판 표면의 이물을 흡착한다. 흡착 롤러(4)가 흡착한 이물은 점착 롤러(5)에 옮겨진다. 흡착 롤러(4)는 장시간에 걸쳐 클리닝 효과를 지속한다. 기판(2)의 에지부가 반송 벨트(3)에 놓여지기 때문에, 기판(2)의 이면에 전자부품이 미리 탑재되어 있어도 그 표면이 클리닝된다.

인쇄배선기판, SMT

Description

기판 클리닝 장치{SUBSTRATE CLEANER}

본 발명은 인쇄배선기판 제조의 전(前) 공정으로서, 인쇄배선기판의 표면을 클리닝하기 위한 기판 클리닝 장치에 관한 것이다.

종래, 전자기기 등에 조립된 인쇄배선기판에 있어서, 상기 인쇄배선기판 상에 탑재되는 칩부품(전자부품)의 치수는 최소 1.6mm(길이)×0.8mm(폭)로, 그다지 작지 않았다. 이 때문에, 인쇄배선기판의 제조 전단계 또는 도중단계에서 기판상에 티끌이나 먼지 등의 이물이 부착해도 각별한 문제가 되지 않았다.

따라서, 전자부품을 인쇄배선기판에 장착하는 경우, 인쇄배선기판 제조업체로부터 구입한 상태 그대로 인쇄배선기판이 기판공급장치, 인쇄기, 부품 마운트장치, 컨베이어, 리플로우 오븐, 기판수납장치로 이루어지는 표면실장기술(SMT)에 의한 제조라인에 공급되고 있다.

그러나, 최근에는 인쇄배선기판에 마운트되는 전자부품의 대부분이 1.0mm(길이)×0.5mm(폭) 또는 0.6mm(길이)×0.3mm(폭) 등의 극소 사이즈의 칩부품이고, 1장의 인쇄배선기판에 마운트되는 부품도 다량이 되고 있어, 부품설치의 고밀도화가 꾀해지고 있다. 그 때문에, 인쇄배선기판 상에 부착된 먼지 등의 이물에 기인한 불량이 다발되어 문제시되게 되었다.

먼지 등에 기인하는 불량에 대한 해결방법으로서, 클리닝 롤러 등을 이용하여 사람 손으로 기판을 1장씩 클리닝하는 것이 실행되고 있다. 이 클리닝 후의 인쇄배선기판이 상술한 제조라인의 기판공급장치에 공급된다. 그러나, 이와 같은 방법은 수고가 든다. 그리고, 클리닝 종료부터 다음 공정인 납땜인쇄까지 시간이 걸려 먼지 등이 인쇄배선기판 상에 다시 부착될 우려가 있다.

이 문제에 있어서는 클리닝 장치를 제조라인에 조립하여 인라인화함으로써 해결된다. 그러나, 인쇄배선기판의 제조라인에는 예를 들면 아직 어느 전자부품도 조립되어 있지 않은 인쇄배선기판이 공급되거나, 이미 한쪽 면에 전자부품이 조립된 인쇄배선기판이 공급되거나 한다. 더 나아가서는 클리닝장치에는 처리할 필요가 없는, 또는 처리할 수 없는 기판이 공급되는 일도 있다 그래서, 클리닝 장치를 인라인에서 사용하기 위해서는, 클리닝 장치는 제조라인에 공급되는 다양한 형태 또는 상태의 인쇄배선기판에 대해 용이하게 또한 확실하게 대응할 수 있어야 한다.

본 발명은 다양한 인쇄배선기판에 대응할 수 있고, 사람 손에 의존하지 않으며, 자동적으로 인쇄배선기판 표면의 이물을 클리닝할 수 있도록, 인쇄배선기판의 제조라인에 조립하는 것이 가능한 기판 클리닝 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 이루어진 것이다. 본 발명의 기판 클리닝 장치는 기판의 에지부분을 올려놓아 상기 기판을 반송하는 2개의 반송 벨트; 반송되는 상기 기판의 일면에 회전하면서 가압접촉하는 흡착 롤러; 및 상기 흡착 롤러에 가압접촉되고, 상기 기판과 반대쪽에서 회전하는 점착 롤러를 구비한다.

본 발명의 기판 클리닝 장치에 있어서, 반송 벨트로 반송된 기판은 그 표면에 흡착 롤러가 가압접촉된다. 흡착 롤러는 실리콘 고무계, 또는 다른 수지계, 고무계의 수지로 형성되고, 습윤성에 의해 기판 표면의 먼지 등의 이물을 흡착함으로써, 기판을 클리닝한다. 흡착 롤러는 그 표면에 점착재 등을 갖지 않기 때문에, 롤러로부터 점착재가 기판에 부착하는 사고를 방지할 수 있다.

흡착 롤러에 흡착된 먼지 등은 흡착 롤러가 다시 점착 롤러에 가압접촉함으로써, 흡착 롤러로부터 점착 롤러로 옮겨진다. 따라서, 흡착 롤러는 장시간에 걸쳐 클리닝 효과를 지속할 수 있다.

본 발명의 클리닝 장치에 있어서 기판은 에지 부분이 반송 벨트에 유지되고, 반송 벨트의 반대쪽의 한쪽 면만이 클리닝된다. 따라서, 전자부품을 탑재완료한 기판의 이면을 클리닝하는 경우에도 전자부품의 탑재면을 하측으로 하여 이면이 상측이 되도록 하고, 반송 벨트에 올림으로써, 그 이면에 대해 클리닝 처리를 할 수 있다. 또, 클리닝 장치에서는, 처리를 하지 않는 또는 처리를 할 수 없는 기판이 공급된 경우, 흡착 롤러는 기판에 접촉하는 위치로부터 떨어진 위치로 이동한다.

이것에 의해, 본 발명의 기판 클리닝 장치는 다양한 형식의 기판에 대응할 수 있기 때문에, 인쇄배선기판의 SMT 제조라인에 조립하는 것이 가능하게 된다. 이와 같이 기판 클리닝 장치를 인라인화함으로써, 기판을 클리닝한 후, 곧 인쇄공정으로 이행할 수 있기 때문에, 다시 기판에 먼지 등이 붙는 일을 방지하여 클리닝 효과를 더 향상할 수 있다.

본 발명의 한 태양으로서, 흡착 롤러를 도전성인 것으로 할 수 있다. 기판 클리닝 장치에 있어서는 흡착 롤러가 기판과 접촉하여 마찰하면서 함께 이동한다. 이 때문에, 정전기가 새로 발생하고, 이것에 의해 기판에 탑재된 전자부품이 파괴될 가능성이 있다. 흡착 롤러를 도전성으로 함으로써, 이를 방지할 수 있다.

본 발명의 다른 태양에 있어서는, 반송 벨트는 흡착 롤러 부근에서는 흡착 롤러로부터 멀어진 위치에 유지된다. 이것에 의해, 흡착 롤러가 반송 벨트에 접촉하여 오손되는 것이 방지된다. 또, 반송되어 온 기판의 선단이 흡착 롤러에 접촉할 때, 기판의 선단 하면과 반송 벨트와의 사이에 공간이 생긴다. 이로써, 기판이 흡착 롤러에 의해 확실하게 반송구동되게 된다. 이 공간 대신에, 흡착 롤러 하부에서 반송 벨트의 지지를 자유롭게 하는 것에 의해서도, 기판을 확실하게 반송할 수 있다.

본 발명의 또 다른 태양에 의하면, 흡착 롤러가 기판에 압력접촉할 때 기판이 휘는 것을 억제하기 위해, 기판의 이면쪽에 지지부재를 설치하거나, 또는 흡착 롤러 하부에서 반송 벨트를 지지하도록 했다.

본 발명을 첨부한 도면을 참조하면서 이하에 설명한다.

도 1은 본 발명의 기판 클리닝 장치를 조립한 인쇄배선기판의 제조라인에 따른 전체구성을 나타낸 도면이다.

도 2a 및 도 2b는 본 발명을 적용한 실시예에 따른 기판 클리닝장치의 구성 을 개념적으로 나타낸 도면이다.

도 3은 도 2a 및 도 2b에 나타낸 흡착 롤러가 기판에 접촉하는 부분을 확대하여 나타낸 도면이다.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명을 적용한 다른 실시예에 따른 기판 클리닝장치의 구성을 개념적으로 나타낸 도면이다.

도 5는 본 발명을 적용한 다른 실시예에 따른 기판 클리닝장치의 구성을 개념적으로 나타낸 도면이다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명을 적용한 또 다른 실시예에 따른 기판 클리닝장치의 구성을 개념적으로 나타낸 도면이다.

이하에, 본 발명에 의한 인쇄배선기판의 클리닝장치에 따른 실시예에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

우선, 도 1을 참조하여 기판 클리닝장치를 조립한 인쇄배선기판의 제조라인에 대해 설명한다.

기판공급장치(11)는 기판 클리닝장치(1)에 대해 1장씩 자동적으로 인쇄배선기판을 공급한다. 클리닝장치(1)는 공급된 상기 기판의 상면을 클리닝한 후, 상기 기판을 인쇄기(12)에 공급한다. 인쇄기(12)는 공급된 상기 기판에 납땜 인쇄를 실행하고, 마운터(13)에 공급한다. 마운터(13)는 상기 기판 상에 부품을 탑재하고, 컨베이어(14)를 통해 리플로우 오븐(15)에 공급한다. 리플로우 오븐(15)은 납땜 인쇄 및 부품의 탑재를 종료한 상기 기판을 열처리한다. 처리가 종료된 상기 기판 은 기판수납장치(16)에 수납된다.

도 1과 같이, 클리닝장치(1)를 인라인화함으로써, 인쇄배선기판이 자동적으로 공급되어, 사람이 클리닝처리에 관여할 필요가 없어진다. 또, 클리닝된 상기 기판은 곧 인쇄기(12)에 공급되기 때문에, 클리닝후의 기판상에 티끌·먼지의 이물이 부착할 기회가 감소한다.

다음에 도 2a 및 도 2b를 참조하여 기판 클리닝장치의 구성을 설명한다. 도 2a는 기판 클리닝장치의 정면도를 나타내고, 도 2b는 그 측면도를 나타내고 있다.

도 2a에 나타낸 바와 같이, 기판(2)이 입구측에서 출구측으로 반송되도록, 반송 벨트(3)가 설치된다. 반송 벨트(3)는 도 2b에 나타낸 바와 같이, 2개의 병행으로 배치된 벨트(3)로 구성되고, 각 벨트에 기판(2) 양단의 에지부를 올려놓도록 되어 있다. 반송 벨트(3)는 도시되어 있지 않은 모터에 의해 구동되고, 기판(2)을 도시한 화살표 방향으로 반송한다. 이와 같이, 양단의 에지부를 2개의 벨트(3) 위에 올리고 기판(2)을 반송함으로써, 기판(2) 하면에 부품이 탑재완료되었다고 해도, 그것에 영향받지 않고 기판(2)을 반송할 수 있고 그 표면을 클리닝할 수 있다.

기판(2)의 반송경로에는 입구측에서 출구측을 향해 기판감지센서(8), 정전기 제거기(6), 흡착 롤러(4), 흡착 롤러(4), 정전기 제거기(6)가 배치된다. 기판(2)은 정전기 제거기(6)의 밑을 통과하는 동안에 표면에 대전된 정전기가 제거된다. 정전기 제거기(6)는 접촉형, 비접촉형 모두 사용가능하다.

2개의 흡착 롤러(4)는 배후측에서 점착 롤러(5)에 가압접촉하도록 배치된다. 점착 롤러(5)는 도시하지 않은 모터에 의해 회전구동되고, 흡착 롤러(4)는 점착 롤러(5)와 접촉하고 있기 때문에, 점착 롤러(5)의 회전에 수반하여 회전되다. 또, 흡착 롤러(4) 또는 점착 롤러(5)만을 모터로 구동하는 것, 또는 흡착 롤러(4)와 점착 롤러(5)의 양쪽을 모터로 구동하는 것도 가능하다. 반송 벨트(3)에 의해 기판(2)이 반송되어 온 것을 기판감지센서(8)가 감지하면, 모터가 기동되어 흡착 롤러(4)와 점착 롤러(5)가 회전을 시작한다.

흡착 롤러(4)는 비도전성, 또는 도전성을 갖는 실리콘 고무계, 또는 다른 수지계, 고무계 수지에 의해 형성된다. 흡착 롤러(4)는 실리콘 고무계, 또는 다른 수지계, 고무계의 습윤성에 의해 기판(2) 표면의 티끌·먼지 등의 이물을 흡착하고, 기판(2)을 클리닝한다. 흡착 롤러(4)는 그 표면에 점착재 등을 갖고 있지 않기 때문에, 흡착 롤러(4)로부터 점착재 등이 기판(2)에 부착하는 사고를 방지할 수 있다.

점착 롤러(5)가 흡착 롤러(4)에 가압접촉함으로써, 기판(2)에서 흡착 롤러(4)에 흡착된 먼지 등은 점착 롤러(5)에 옮겨진다. 따라서, 흡착 롤러(4)의 표면은 항상 청정한 상태를 계속 유지하여 그 클리닝 효과가 지속된다.

흡착 롤러(4)와 점착 롤러(5)는, 이동기구(10)에 의해, 기판(2)에 접촉하는 위치로부터 떨어진 위치로 이동가능하게 되어 있다 기판공급장치(11)에서 클리닝을 할 필요가 없는 기판, 또는 클리닝할 수 없는 기판이 공급될 때는, 흡착 롤러(4)가 반송 벨트(3)로부터 멀어져서, 반송되어 오는 기판(2)에 접촉하지 않는다. 이것에 의해, 기판(2)이 흡착 롤러(4)에 접하지 않고 클리닝 장치(1)를 통과할 수 있다.

흡착 롤러(4)는 어느 정도의 탄력을 갖고 있고, 이 탄력을 살려서 기판(2)의 위쪽에서 가압접촉한다. 그 때문에, 기판(2)이 반송되지 않을 때에 있어서의 흡착 롤러(4)의 하단부는 반송되어 온 기판(2)의 상면보다 아래쪽에 위치하고 있다. 이와 같은 상태에서 기판(2)이 반송되어 오면, 기판(2)의 선단부가 우선 흡착 롤러(4)에 부딪친다. 그래서, 기판(2)이 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 마찰력에 의해 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 사이에 끼워넣어져 반송된다. 이 반송도중에 기판(2)의 상면은 흡착 롤러(4)에 의해 클리닝된다.

기판(2)이 얇은 경우에는 이와 같이 하여 기판(2)이 원활하게 끼워넣어져 반송되고, 그 표면이 클리닝된다. 그런데, 기판(2)의 두께가 커지면, 기판(2)이 흡착 롤러(4)까지 반송되어 왔을 때에 흡착 롤러(4)에 부딪친 상태 그대로 있고 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 사이에 끼워넣어지지 않는 현상이 발생한다.

그래서, 본 실시예의 기판 클리닝장치는 도 2a에 나타낸 바와 같이, 기판(2)의 선단부가 클리닝 영역에 돌입할 때에 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 사이에 여유 공간을 마련하도록 했다. 이 공간은 도 2a에 나타낸 예에서는 반송 벨트(3)를 롤러(7₁ 내지 7₅) 중 롤러(7₂와 7₄)의 각각에서 우회하도록 하여 형성된다. 이 공간이 존재함으로써, 반송된 기판(2)이 흡착 롤러(4)에 부딪칠 때에 기판(2)의 선단부에 흡착 롤러(4)의 회전력이 부여되고, 기판(2)의 선단부가 그 공간에 빠지게 된다. 따라서, 기판(2)이 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 사이에 끼워넣어져 반송된다.

또, 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송되어 온 기판(2)의 선단부가 흡착 롤러(4)에 접촉할 때, 기판(2)의 선단부 하측에 공간이 존재하고 있다. 따라서, 흡착 롤러(4)에 접촉한 기판(2)의 선단부가 아래쪽으로 눌려져 기판(2)의 후단부가 들리게 된다. 이 후단부의 들림을 제한하기 위해, 반송 벨트(3)의 기판공급장치(11)쪽의 약간 위쪽에 스토퍼(9)가 설치된다. 이 스토퍼(9)가 설치되어도, 기판(2)의 선단부가 아래쪽 공간 내에 진입해 감으로써 기판(2)의 선단부가 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)에 의해 끌려들어가기 때문에, 기판(2)의 반송이 정지되는 일은 없다. 기판(2)은 기판 클리닝장치 속으로 원활하게 반송되어 간다.

이상과 같이, 본 실시예의 클리닝장치는 각종 기판을 클리닝할 수 있고, 또 클리닝할 필요가 없는 기판 또는 클리닝할 수 없는 기판을 통과시킬 수 있기 때문에, 인쇄배선기판의 제조라인에 조립하는 것이 가능하게 된다.

흡착 롤러(4)가 도전성을 가짐으로써, 정전기의 발생이 방지된다. 정전기 제거기(6)에 의해 기판(2)의 정전기는 제거되지만, 흡착 롤러(4)가 기판(2)에 접촉하여 마찰함으로써, 정전기가 기판(2)의 표면상에 새로 발생할 가능성이 있다. 기판(2)에 미리 전자부품을 탑재한 경우, 전자부품, 특히 그 중에서도 IC 등은 정전기에 매우 약하기 때문에 새로 발생한 정전기에 의해 파괴될 우려가 있다. 본 실시형태와 같이, 흡착 롤러(4)에 도전성을 갖게 함으로써, 새로운 정전기의 발생을 방지하고, 전자부품의 파괴를 방지할 수 있다. 또, 흡착 롤러(4)의 전기저항값은 10³~10⁷Ω로 하는 것이 적합하다.

반송 벨트(3)는, 롤러(7₂ 및 7₄)에 의해 기판(2)이 흡착 롤러(4)와 접촉하는 부분에 있어서, 흡착 롤러로부터 멀어지는 위치에 유지된다. 이것에 의해 기판(2)이 반송 벨트(3) 위에 없는 경우에도 흡착 롤러(4)가 반송 벨트(3)에 접촉하는 일이 없어진다. 따라서 흡착 롤러(4)가 반송 벨트(3)에 의해 오손되는 일이 없어진다.

이상으로 설명한 본 실시예의 기판 클리닝장치는 흡착 롤러의 바로 밑에 반송 벨트와의 사이에 공간을 마련함으로써, 반송되어 온 기판의 돌입을 원활하게 실행시키도록 했는데, 이 기판의 원활한 돌입을 실현하는 다른 실시예에 의한 기판 클리닝 장치에 대해 도 4a에 그 구성을 나타냈다.

도 4a에 나타낸 기판 클리닝장치는 도 2a에 나타낸 기판 클리닝장치의 클리닝 부분의 구성과 기본적으로는 같기 때문에, 도 4a에서의 부호는 도 2a와 같은 부분에는 같은 부호를 붙였다.

도 4a의 기판 클리닝장치에 있어서는, 흡착 롤러(4)의 상하위치를 정확하게 제어유지함으로써 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 사이에 약간의 공간을 마련한다. 도 2a의 기판 클리닝장치에 설치되어 있는 롤러(7₂, 7₃, 7₄)를 제거하고, 기판(2)이 반송되어 오지 않을 때에는 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3) 사이에 약간의 공간이 있어 비접촉하도록 했다.

이와 같은 구성으로 함으로써, 기판(2)이 흡착 롤러(4)에 돌입했을 때, 기판(2)의 선단부가 반송 벨트(3)를 내리눌러 반송 벨트(3)가 휘게 된다. 따라서, 기판(2) 표면의 클리닝시의 흡착 롤러(4)의 가압접촉은 기판(2) 자체와 반송 벨트(3)의 탄력에 의해 실행된다. 이와 같이 하여 반송된 기판(2)이 흡착 롤러에 부딪치고, 정지하는 일 없이 기판(2)의 반송을 원활하게 실행할 수 있다.

그러나, 기판(2)이 반송 벨트(3)에 의해 흡착 롤러(4)의 밑으로 반송되었을 때, 예를 들면 기판(2)이 얇거나, 또는 기판 자체의 탄력이 약한 경우에 기판(2)이 밑으로 휘어 버리면, 기판(2)과 흡착 롤러(4)와의 가압접촉이 충분하게 이루어지지 않아 기판(2)상의 티끌·먼지 등을 제거할 수 없는 경우가 있다.

이 경우에는 도 4b 및 도 4c에 나타낸 바와 같이, 흡착 롤러(4)의 중앙부의 바로 밑 부근에 지지부재(17)를 설치한다. 도 4b는 입구측에서 본 도면이고, 도 4c는 측면에서 본 도면이다. 이 지지부재(17)가 기판(2)의 하면을 지지함으로써, 기판(2)의 휘어짐을 교정하여 클리닝 효과를 높일 수 있다.

지지부재(17)는 기판(2)의 하측면에 접촉하여 회전할 수 있도록 구성되고, 기판(2)의 이면에 접촉할 때 탑재되어 있는 부품에 영향을 주지 않도록, 탄력을 갖게 되어 있다. 지지부재(17)는 대전방지처리가 완료된 수지계 또는 금속에 의해 원반형상으로 형성된 브러시 등이다. 지지부재(17)는 기판(2)이 반송되었을 때 기판(2)의 반송에 맞춰 회전한다. 또, 지지부재(17)의 지지에 스프링 기구를 채용하면, 상하방향의 움직임도 맞춰 할 수 있게 된다. 이것에 의해, 기판(2)의 하면에 부품이 탑재되어 있는 경우에도, 지지부재(17)의 위를 부품이 통과하면 지지부재(17)가 상하이동하기 때문에, 지지부재(17)가 부품에 스트레스를 가하는 일은 없다. 또, 지지부재(17)를 모터로 구동하는 것도 가능하다.

지지부재(17)의 형상은 반송되는 기판(2)의 사이즈·두께에 맞춰 원반형상의 브러시, 또는 수지계나 금속계의 원반형상의 것이 선택된다. 또, 지지부재(17)는 기판(2)의 폭에 맞춰 수동 또는 자동으로 최적의 고정위치를 조정할 수 있도록 해 두면 좋다. 또, 지지부재(17)는 불필요한 경우에는 반송 벨트(3)의 높이면보다 후퇴시킬 수도 있다. 이것에 의해 기판에 접촉시키지 않고 사용하는 것도 가능하게 된다.

또, 도 4a에 나타낸 기판 클리닝장치에 있어서, 도 4b 및 도 4c에 나타낸 바와 같이, 2개의 흡착 롤러(4)의 중간으로 반송 벨트(3)의 외측에 기판(2)에 대한 사행방지 가이드(18)를 설치하면, 기판(2)의 반송을 원활하게 실행하도록 할 수 있다.

또, 도 4a에 나타낸 기판 클리닝장치에 있어서, 반송 벨트(3)는 롤러(7₁, 7₅) 등으로 지지되어 있고, 기판(2)을 반송 벨트(3)로 반송할 때 전후 2개의 흡착 롤러(4)에 대향하는 반송 벨트(3)의 하측의 지지를 없애고 있다. 이것에 의해 도 2a에 나타낸 기판 클리닝장치에서 형성된 공간과 같은 작용을 창출하고 있다. 여기에서 도 5에 나타낸 바와 같이, 반송 벨트(3)를 지지하는 롤러 대신에 판형상의 반송 벨트 지지체(19)를 배치하는 것으로도 실시할 수 있어 기판(2)을 안정적으로 반송할 수 있다.

이 흡착 롤러(4)와 반송 벨트(3)와의 사이에 기판(2)이 반송되어 오면, 그 기판(2)의 두께가 얇은 경우에는 반송 벨트(3)에 미묘한 휘어짐이 생기고, 이 미묘한 휘어짐에 의해 기판(2)과 흡착 롤러(4)가 밀착하여 확실하게 먼지의 제거가 가능하게 된다.

그러나, 기판(2)의 두께가 1mm 이상인 경우, 상술한 구성이면, 클리닝시 기 판(2)의 선단부 및 후단부가 위로 들리는 경우가 있다. 기판(2)의 단부 들림 방지를 위해 반송 벨트(3)상에 기판(2)의 기판 들림 방지판(20)을 배치하면, 기판(2)의 반송을 원활하게 실행할 수 있게 된다.

또, 도 4a, 또는 도 5에 나타낸 바와 같이, 흡착 롤러(4)의 하부에 있어서 반송 벨트(3)의 지지를 하지 않는 구성으로 한 경우에, 기판(2)이 반송되어 왔을 때 흡착 롤러(4)의 가압접촉력이 약해지는 일도 있기 때문에, 이 가압접촉력의 크기를 조정하기 위해서도 도 6a 및 도 6b에 나타낸 바와 같이, 흡착 롤러(4)의 하부에서 반송 벨트(3)의 하측에 반송 벨트(3)를 슬라이딩 지지하는 지지지그(21)를 배치하면 좋다.

배치되는 지그(21)는 기판(2)의 두께에 맞춰 스프링형상 또는 판형상의 지그로부터 선택된다. 2개의 병행하여 주행하는 반송 벨트(3)의 외측 부근에서, 2개의 흡착 롤러(4)의 중간부 부근의 각각에 사행방지 가이드(18)가 설치되는 일도 있다. 이것에 의해 작은 사이즈의 기판을 안정되게 반송할 수 있다.

또, 도 5 및 도 6a에 나타낸 기판 클리닝 장치에는 정전기 제거기(6), 기판 감지센서(8), 그리고 이동기구(10)가 도시되어 있지 않지만, 설명의 형편상 도시를 생략한 것이고, 이들 기판 클리닝장치에도 도 2a 및 도 4a에 나타낸 것과 마찬가지로 그것들을 구비하고 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의한 기판 클리닝 장치와 같이 구성하면, 다양한 기판에 대응할 수 있고, 이것에 의해 인쇄배선기판의 제조라인에 조립하는 것이 가능하게 되어, 자동적으로 공급되는 인쇄배선기판의 표면을 사람 손에 의존하지 않고 확실하게 클리닝할 수 있는 클리닝장치로 할 수 있다.

Claims (6)

1. 반송되는 기판의 표면에 부착한 이물을 제거하는 클리닝장치에 있어서,

   기판의 에지부분을 올려놓아 상기 기판을 반송하는 2개의 반송 벨트;

   반송되는 상기 기판의 일면에 회전하면서 가압접촉하는 흡착 롤러;

   상기 흡착 롤러에 가압접촉되고, 상기 기판과 반대쪽에서 회전하는 점착 롤러를 구비하고,

   상기 흡착 롤러가 상기 기판의 표면에 가압 접촉하는 부근에서 상기 반송 벨트는 상기 기판이 반송되었을 때, 상기 흡착롤러에 의한 상기 기판으로의 가압접촉에 의해 휘고,

   상기 흡착 롤러가 상기 기판 표면에서 상기 이물질을 흡착하고, 상기 이물질이 상기 점착 롤러로 전사되는 것을 특징으로 하는 기판 클리닝 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 2개의 반송 벨트는 복수 개의 벨트 보유 롤러에 의해 보유되고,

   상기 벨트 보유 롤러는 상기 흡착 롤러에 대하여 입구측 및 출구측에 설치되며,

   상기 2개의 반송 벨트는 상기 입구측과 출구측의 벨트 보유 롤러 사이에서, 상기 흡착 롤러의 상기 기판으로의 가압접촉에 의해 휘는 것을 특징으로 하는 기판 클리닝 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 흡착 롤러의 입구측에서의 상기 2개의 반송 벨트의 상부에, 상기 기판이 상기 흡착 롤러와 2개의 반송 벨트 사이에 끼워져 들어갔을 때, 상기 기판의 뒷부분이 들어올려지는 것을 방지하는 들림 방지판을 설치하는 것을 특징으로 하는 기판 클리닝 장치.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 흡착 롤러는 도전성인 것을 특징으로 하는 기판 클리닝 장치.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 흡착 롤러가 상기 기판의 표면에 가압접촉할 때, 상기 기판을 지지하는 지지체가, 상기 기판의 상기 흡착 롤러와 반대쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 클리닝 장치.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 기판의 클리닝이 불필요한 경우, 상기 흡착 롤러를 상기 기판의 면에 접촉하는 위치로부터 떨어진 위치로 이동시키는 이동 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 클리닝 장치.

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