KR100670288B1 - 기판 고정용 지그장치, 이를 구비한 누설전류 측정장치,및 누설전류 측정방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 모델이 변경되거나 소자의 사이즈가 변경될 경우에도 간단하게 적용 가능하고, 복수개의 디스플레이 소자에 대해 한번에 누설전류 측정이 가능하고, 빠른 시간 내에 누설전류를 측정할 수 있는 것으로, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부에 위치하고, 가장자리가 지지부재에 의해 상기 베이스 플레이트에 결합되는 커버 플레이트와, 상기 베이스 플레이트와 커버 플레이트의 사이에 위치하고, 상기 베이스 플레이트에 탈착 가능하도록 결합되며, 복수개의 디스플레이 소자가 형성된 글라스 기판이 안착되는 안착 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 지그장치, 이를 구비한 누설전류 측정장치, 및 누설전류 측정방법에 관한 것이다.

Description

기판 고정용 지그장치, 이를 구비한 누설전류 측정장치, 및 누설전류 측정방법{Jig apparatus for fixing substrate, apparatus for measuring leakage current therewith, and method for measuring leakage current}

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 고정용 지그장치의 측단면도,

도 2는 도 1의 부분에 대한 분해 사시도,

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 누설전류 측정장치의 구성도,

도 4는 도 3의 측정유닛의 구성의 일 실시예를 도시한 구성도,

도 5a 내지 도 5c는 도 4의 측정유닛을 이용하여, 복수개의 소자의 누설전류를 측정하는 방법을 순차적으로 도시한 구성도들.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10: 베이스 플레이트 20: 커버 플레이트

30: 안착 블록 40: 실린더 유닛

100: 기판 고정용 지그장치 110: 유기 전계 발광 소자

200: 접속 유닛 300: 측정 유닛

311: 제1스위칭부 312: 제2스위칭부

321: 제1측정부 322: 제2측정부

400: 제어 유닛

본 발명은 기판 고정용 지그장치, 이를 구비한 누설전류 측정장치, 및 누설전류 측정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수개의 디스플레이 소자를 구비한 기판을 고정할 수 있는 기판 고정용 지그장치, 이를 구비한 누설전류 측정장치, 및 누설전류 측정방법에 관한 것이다.

일반적으로 유기 전계 발광 소자는, 기판 상부에 소정패턴의 양극층이 형성되어 있고 이 양극층 상부에는 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층이 순차적으로 형성되며, 상기 전자수송층의 상면에는 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정 패턴의 음극층이 형성되어 있다. 여기에서 홀 수송층, 발광층 및 전자수송층 은 유기 화합물로 이루어진 유기박막들이다.

이러한 유기 전계 발광 소자를 제작함에 있어서, 기판 상에 유기재료로서 내부 절연막, 양극, 음극, 홀 수송층, 전자 수송층 및 유기 발광층 등 여러 박막층들을 형성하여야 하는 데, 이러한 박막층들은 통상 진공 챔버 내에 기판을 장착하고, 이 기판의 표면에 부착시키려는 증착재를 기화시켜, 이 기화된 증착재가 기판의 표면에서 응축해 부착되는 방식의 진공 증착법에 의해 형성된다.

이러한 유기 전계 발광 소자는 하나의 원판 글라스재에 복수개의 단위 셀들을 진공 증착법 등의 방법에 의해 형성하고, 이를 최종적으로 절단하여 각 단위 셀 들을 분리한다.

그런데, 상기 유기 전계 발광 소자는 소자를 제조한 후에는 에이징(Aging) 공정을 거치게 되는 데, 이 에이징 공정은 제조된 소자에 역바이어스를 인가하거나, 고전압을 인가하여 불량을 검출하고, 소자를 활성화시키는 것을 말한다.

그런데, 상기와 같은 에이징 공정에서는 소자에 전압을 인가해 주어야 하는 데, 이는 통상 전술한 바와 같이, 각 셀들을 절단하기 전인 원판 글라스의 상태에서 행해진다. 이렇게 원판 글라스를 고정시켜줄 지그장치가 필요한데, 이는 현재 각 에이징 장치에 일체로 형성되어 있다. 따라서, 모델을 변경시키거나, 규격을 달리 형성할 경우에는 에이징 장치 전체를 새로 변경하여야 하는 문제가 있다.

또한, 상기 셀들은 최종적으로 누설전류를 측정하게 되는 데, 종래에 이러한 셀들의 누설전류 측정 장치들은 각 셀들별로 고정지그에 장착을 한 후, 측정유닛을 통해 누설전류값을 측정한다. 그런데, 이러한 고정지그 및 측정유닛은 각 셀 단위로 이뤄지기 때문에, 측정 소요시간이 지나치게 많이 소요되는 문제가 있다.

유기 전계 발광 소자는 애노우드 전극과 캐소오드 전극 사이에 반도체 특성을 지닌 절연체인 유기 발광막이 개재된 구조로서, 이러한 구조적 특성 상 캐패시턴스(CAPACITANCE)를 갖게 된다. 따라서, 이러한 유기 전계 발광 소자의 누설전류를 측정할 경우에는, 일정한 전류를 인가한 후, 유기 전계 발광 소자가 세츄레이션(SATURATION)되고 나서야 측정이 가능해진다.

그런데, 기존의 누설전류 측정방법은 복수개의 유기 전계 발광 소자들의 누설전류를 측정함에 있어, 개별 소자에 일정 전류를 인가한 후, 세츄레이션시키고 난 후에 누설 전류를 측정하고, 다음 소자로 이동하여 다시 세츄레이션시키고 누설전류를 측정하는 등의 방식이었다.

따라서, 복수개의 유기 전계 발광 소자의 누설전류를 측정할 경우, 각 소자들 수만큼 세츄레이션시키는 시간이 필요하므로, 측정 시간이 매우 많이 소요되는 단점이 있었다.

그리고, 고정지그에의 탈착 시 소자가 파손되는 문제도 빈번하게 발생하였다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 모델이 변경되거나 소자의 사이즈가 변경될 경우에도 간단하게 적용 가능한 기판 고정용 지그장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 복수개의 디스플레이 소자에 대해 한번에 누설전류 측정이 가능하고, 빠른 시간 내에 누설전류를 측정할 수 있는 누설전류 측정장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부에 위치하고, 가장자리가 지지부재에 의해 상기 베이스 플레이트에 결합되는 커버 플레이트와, 상기 베이스 플레이트와 커버 플레이트의 사이에 위치하고, 상기 베이스 플레이트에 탈착 가능하도록 결합되며, 복수개의 디스플레이 소자가 형성된 글라스 기판이 안착되는 안착 블록을 포함하는 것을 특징으 로 하는 기판 고정용 지그장치를 제공한다.

본 발명은 또한 전술한 목적을 달성하기 위하여, 상술한 바와 같은 기판 고정용 지그장치와, 상기 안착 블록에 안착된 글라스 기판의 각 디스플레이 소자의 단자부에 동시에 접속되는 접속유닛과, 상기 접속유닛에 전기적으로 연결된 것으로, 상기 글라스 기판의 각 디스플레이 소자의 누설전류를 측정하는 측정유닛과, 상기 기판 고정용 지그장치, 접속유닛 및 측정유닛에 전기적으로 연결되어 동작을 제어하고, 측정된 누설전류값을 표시하는 제어유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 누설전류 측정 장치를 제공한다.

뿐만 아니라, 본 발명은 복수개의 디스플레이 소자를 세츄레이션시키는 단계와, 세츄레이션된 소자 중 적어도 하나의 누설전류를 측정하는 단계와, 측정한 소자의 누설전류값을 기준 누설전류값과 비교하는 단계와, 측정한 소자의 양부를 판정하는 단계를 포함하는 누설전류 측정방법을 제공한다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 보다 상세하게 설명한다.

우선, 도 1 및 도 2를 참조로 본 발명의 기판 고정용 지그장치의 바람직한 일 실시예를 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 고정용 지그장치의 측면도이고, 도 2는 그 일부의 분리 사시도이다.

도 1 및 도 2를 참조하여 볼 때, 본 발명에 따른 기판 고정용 지그장치는 베 이스 플레이트(10)와, 이 베이스 플레이트(10)에 결합되는 커버 플레이트(20)와, 베이스 플레이트(10)에 안착되는 안착 블록(30)을 구비한다.

베이스 플레이트(10)는 그 하부에 이송 수단(12)이 결합되어 기판 고정용 지그장치를 이송할 수 있도록 구비되고, 그 상부에는 안착 블록(30)이 탈착 가능하도록 결합된다.

한편, 상기 베이스 플레이트(10)의 상부에는 커버 플레이트(20)가 결합되는 데, 이 커버 플레이트(20)는 복수개의 지지부재(11)(21)에 의해 그 가장자리부가 상기 베이스 플레이트(10)에 지지되는 방식으로 결합된다. 상기 지지부재(11)(21)는 일부는 베이스 플레이트(10)에 결합되고, 일부는 커버 플레이트(20)에 결합되어 커버 플레이트(20)가 베이스 플레이트(10)에서 탈착가능하도록 결합될 수 있도록 한다.

커버 플레이트(20)는 중앙부로 글라스 기판이 안착될 수 있도록 개구부(22)를 구비하고 있으며, 상부면에는 얼라인 핀(23)이 형성되어 있다.

베이스 플레이트(10)와 커버 플레이트(20)의 사이에는 안착 블록(30)이 개재될 수 있는 데, 그 상면에 복수개의 디스플레이 소자가 형성된 글라스 기판이 안착되는 안착면(31)이 구비된다. 이 안착면(31)에는 복수개의 흡착공이 형성될 수 있으며, 안착 블록(30)의 내부에는 별도의 흡착 수단(미도시)이 구비되어 상기 흡착공을 통해 안착된 기판을 고정시킬 수 있다.

본 발명에 따르면, 상기 안착 블록(30)은 베이스 플레이트(10)에 탈착 가능하도록 결합되는 데, 이에 따라, 모델이 변경되거나, 기판 사이즈가 변경될 경우에 도 전체 장치를 교체하지 않고도 상기 안착 블록(30)만 교체하면 된다.

한편, 상기 베이스 플레이트(10)와 안착 블록(30)의 사이에는 상기 안착 블록(30)을 승강운동시키는 실린더 유닛(40)이 더 개재될 수 있다. 이 실린더 유닛(40)은 베이스 플레이트(10)에 고정적으로 설치될 수 있으며, 상기 안착 블록(30)은 실린더 유닛(40)에 탈착 가능하도록 결합될 수 있다. 안착 블록(30)의 안착면(31)에 복수개의 디스플레이 소자를 구비한 글라스 기판이 안착되면, 상기 실린더 유닛(40)에 의해 이 안착 블록(30)은 상승하게 된다.

이러한 기판 고정용 지그장치(100)는 복수개의 디스플레이 소자에 대해 에이징 공정을 행할 때에 사용될 수 있으며, 그 밖에도 후술하는 바와 같이, 누설전류를 측정하는 데에도 사용 가능하다. 또한, 상기 디스플레이 소자로서는 유기 전계 발광 소자 뿐 아니라, 액정 표시소자도 무방하며, 무기 전계 발광 소자 등 평판 표시소자는 어떠한 것이라도 가능하다.

다음으로는 상기와 같은 기판 고정용 지그장치(100)를 구비한 누설 전류 측정장치를 설명한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 누설 전류 측정장치의 구성을 개략적으로 도시한 것으로, 본 발명에 따른 누설 전류 측정장치는 기판 고정용 지그장치(100)와, 접속 유닛(200)과, 측정 유닛(300)과, 제어 유닛(400)을 포함한다.

상기 기판 고정용 지그장치(100)는 전술한 바와 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.

상기 접속 유닛(200)은 안착 블록(30)의 안착면(31)에 안착된 글라스 기판의 각 디스플레이 소자의 단자부에 동시에 접속되도록 하는 것으로, 이를 통해 각 소자에 전류가 공급된다. 이는 후술하는 바와 같이, 제어 유닛(400)에 별도로 연결되어 그 동작이 제어된다.

상기 접속유닛(200)은 측정 유닛(300)에 전기적으로 연결되는 데, 이 측정유닛(300)은 상기 글라스 기판의 각 디스플레이 소자의 누설전류를 측정한다. 이 측정유닛(300)도 제어유닛(400)에 연결되어 그 동작이 제어된다.

제어유닛(400)은 전술한 바와 같이, 접속 유닛(200)과 측정유닛(300)과, 기판 고정용 지그장치(100)에 전기적으로 연결되어 이들의 동작을 제어하고, 측정유닛(300)을 통해 받아들인 데이터를 출력한다.

한편, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 상기 측정유닛(300)은 도 4에서 볼 수 있는 바와 같이, 복수개의 측정부(321)(322)와 스위칭부(311)(311)를 포함한다.

도 4에서 볼 수 있는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 측정부는 각 소자(110)를 세츄레이션(saturation)시키는 소스용 제1측정부(321)와, 세츄레이션된 소자(110)의 누설전류를 측정하는 측정용 제2측정부(322)를 포함하고, 제1측정부(321)는 누설전류를 측정할 복수개의 소자(110)들에 제1스위칭부(311)를 통해 연결되고, 제2측정부(322)는 상기 소자(110)들에 제2스위칭부(312)를 통해 연결된다. 도 4에서는 10개의 소자(110)들이 하나의 제1스위칭부(311)와 제2스위칭부(312)를 통해 각각 제1측정부(321) 및 제2측정부(322)에 연결된 예를 도시하였으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 이렇게 10개 단위로 묶인 소자들, 제1스 위칭부, 및 제2스위칭부가 다시 복수개 존재해 각각 제1측정부(321) 및 제2측정부(322)에 연결될 수 있다. 뿐만 아니라, 별도의 소자들, 제1스위칭부, 및 제2스위칭부는 다른 제1측정부 및 제2측정부에 전기적으로 연결될 수도 있다. 그리고, 제1스위칭부(311)와 제2스위칭부(312) 사이에는 더욱 많은 수의 소자들이 연결될 수도 있다.

상기와 같은 누설전류 측정장치의 작용은 다음과 같다.

먼저, 기판 고정용 지그장치(100)의 안착블록(30)에 복수개의 디스플레이 소자가 구비된 글라스 기판을 안착시킨 후 기판의 얼라인을 맞춘다.

그 다음으로는 실린더 유닛(40)을 구동시켜 안착 블록(30)을 상승시켜, 접속 유닛(200)에 기판의 각 단자부가 접속되도록 한다.

도 5a에서 볼 수 있듯이, 제1스위칭부(311)가 제1측정부(321)와 소자(110)들을 연결시켜 기판의 각 소자들에 전원을 인가하여 소자들을 한번에 세츄레이션시킨다. 이 때, 제2스위칭부(312)는 제2측정부(321)와 소자(110)들의 연결을 차단하고 있다.

제1측정부(321)에 의해 소자(110)들이 모두 세츄레이션된 경우, 도 5b에서 볼 수 있듯이, 제1스위칭부(321) 및 제2스위칭부(322)의 동작에 의해, 한 소자(110)마다 교대로 제1측정부(321)와의 연결을 차단하고, 제2측정부(322)에 연결시켜, 제2측정부(322)에서 해당 소자(110)의 누설전류를 측정하도록 한다.

이 때, 제2측정부(322)는 제어유닛(400)으로 해당 소자의 누설전류값을 송출하고, 제어유닛(400)은 이를 누설전류 기준값과 비교하여, 누설전류 기준값보다 크 면 불량, 작으면 양호 판정을 하여, 측정자가 식별 가능하도록 표시한다.

이러한 누설전류의 측정은 도 5c에서 볼 수 있듯이, 다음 소자로 넘어가게 되고, 전술한 방법에 의해 각 소자(110)들의 누설전류를 순차로 측정한다.

본 발명은 이처럼, 측정부를 소자를 세츄레이션시키는 제1측정부와 소자의 누설전류를 측정하는 제2측정부로 분리하여, 제1측정부는 소자를 세츄레이션시키는 동시에 제2측정부는 소자의 누설전류를 측정함에 따라, 복수개 소자들의 누설전류 측정 시, 각 소자가 세츄레이션되는 시간동안 검사가 지체되어 검사시간이 길게 되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은 이러한 누설전류 측정장치를 이용함으로써 복수개의 소자에 대해 동시에 누설전류를 측정할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판 고정용 지그장치 및 이를 구비한 누설전류 측정장치에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 기판 고정용 지그장치의 안착 블록이 탈착 가능함으로써, 모델이 변경되거나 소자의 사이즈가 변경될 경우에도 간단하게 적용 가능하다.

둘째, 복수개의 디스플레이 소자에 대해 한번에 누설전류 측정이 가능하도록 할 수 있다.

셋째, 복수개의 소자에 대한 누설전류의 측정 시, 측정 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

1. 베이스 플레이트;

   상기 베이스 플레이트의 상부에 위치하고, 가장자리가 지지부재에 의해 상기 베이스 플레이트에 결합되는 커버 플레이트; 및

   상기 베이스 플레이트와 커버 플레이트의 사이에 위치하고, 상기 베이스 플레이트에 탈착 가능하도록 결합되며, 복수개의 디스플레이 소자가 형성된 글라스 기판이 안착되는 안착 블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 지그장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 베이스 플레이트에는 실린더 유닛이 결합되고, 상기 안착 블록은 상기 실린더 유닛에 탈착 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 지그장치.
3. 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부에 위치하고, 가장자리가 지지부재에 의해 상기 베이스 플레이트에 결합되는 커버 플레이트와, 상기 베이스 플레이트와 커버 플레이트의 사이에 위치하고, 상기 베이스 플레이트에 탈착 가능하도록 결합되며, 복수개의 디스플레이 소자가 형성된 글라스 기판이 안착되는 안착 블록을 포함하는 기판 고정용 지그장치;

   상기 안착 블록에 안착된 글라스 기판의 각 디스플레이 소자의 단자부에 동시에 접속되는 접속유닛;

   상기 접속유닛에 전기적으로 연결된 것으로, 상기 글라스 기판의 각 디스플레이 소자의 누설전류를 측정하는 측정유닛; 및

   상기 기판 고정용 지그장치, 접속유닛 및 측정유닛에 전기적으로 연결되어 동작을 제어하고, 측정된 누설전류값을 기준치와 비교하거나, 상기 누설전류값을 표시하는 제어유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 누설전류 측정 장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 베이스 플레이트에는 실린더 유닛이 결합되고, 상기 안착 블록은 상기 실린더 유닛에 탈착 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 누설전류 측정 장치.
5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,

   상기 측정유닛은,

   상기 각 디스플레이 소자를 세츄레이션시키는 적어도 하나의 소스용 제1측정부;

   상기 각 디스플레이 소자의 누설전류를 측정하는 적어도 하나의 측정용 제2측정부;

   상기 디스플레이 소자들 중 적어도 일정 수의 디스플레이 소자들과 상기 제1측정부와의 접속을 선택적으로 단속할 수 있는 적어도 하나의 제1스위칭부; 및

   상기 디스플레이 소자들 중 적어도 일정 수의 디스플레이 소자들과 상기 제2측정부와의 접속을 선택적으로 단속할 수 있는 적어도 하나의 제2스위칭부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설전류 측정 장치.
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7. 삭제

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