KR100656702B1 - FPD manufacturing machine - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 챔버중 외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버; 상기 로드락 챔버내 적정 위치에 마련되며, 상기 기판의 양측에서 그 기판을 횡방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 횡방향 어라이너; 상기 횡방향 어라이너와 교차되게 구비되어 상기 기판의 양측에서 그 기판을 종방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 종방향 어라이너; 상기 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너에 각각 구동력을 제공하는 제 1 구동부 및 제 2구동부;를 포함하며, 상기 횡방향 어라이너와 상기 횡방향 어라이너 양단이 각각 맞물렸을 때의 넓이가 기판의 넓이 이상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device manufacturing apparatus including a plurality of chambers for performing a predetermined process on a substrate, the apparatus comprising: a load lock chamber for carrying out a new substrate and a processed substrate to be brought into and out of the chamber; A transverse aligner provided at an appropriate position in the load lock chamber and provided to move the substrate in the transverse direction on both sides of the substrate; A longitudinal aligner provided to intersect the transverse aligner so as to move the substrate in a longitudinal direction on both sides of the substrate; And a first driving part and a second driving part which provide driving force to the lateral aligner and the longitudinal aligner, respectively, wherein the width when the lateral aligner and the both ends of the lateral aligner are engaged with each other. Provided is a flat panel display device manufacturing apparatus characterized by having a width or more.

평판표시소자 제조장치, 로드락 챔버, 기판, 횡방향 어라이너, 종방향 어라이너, 어라인(Align), 사선Flat panel display device manufacturing device, load lock chamber, substrate, transverse aligner, longitudinal aligner, align, diagonal

Description

평판표시소자 제조장치{FPD manufacturing machine}Flat display device manufacturing apparatus {FPD manufacturing machine}

도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a load lock chamber of a conventional flat panel display device manufacturing apparatus.

도 2는 도 1의 평단면도이다.2 is a plan cross-sectional view of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버를 도시한 평단면도이다.3 is a plan sectional view showing a load lock chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention.

도 4a 및 도 4b는 상기 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에서 기판이 정렬되는 상태를 도시한 개략도이다.4A and 4B are schematic views illustrating a state in which substrates are aligned in a load lock chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus.

도 5a 및 도 5b는 다른 실시예의 이동바에 의해 기판을 어라인하는 상태를 도시한 부분 개략도이다.5A and 5B are partial schematic views showing a state in which the substrate is aligned by the moving bar of another embodiment.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110 : 로드락 챔버 120 : 제 1기판위치 조정수단110: load lock chamber 120: first substrate position adjusting means

122 : 횡방향 어라이너 124, 134 : 접촉부재122: transverse aligner 124, 134: contact member

126 : 제 1 구동부 130 : 제 2 기판위치 조정수단126: first drive unit 130: second substrate position adjusting means

132 : 종방향 어라이너 136 : 접촉구132: longitudinal aligner 136: contact hole

138 : 제 2 구동부 S : 기판138: second drive unit S: substrate

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 여러 챔버중 외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버를 구비한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, to a flat panel display device manufacturing apparatus having a load lock chamber for carrying out a new substrate to be carried in and communicated with the outside of various chambers.

평판표시소자 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는데 사용된다. 이때 평판표시소자는 LCD, PDP, OLED 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다.A flat panel display device manufacturing apparatus is used to carry a flat panel display substrate into an interior, and to perform an etching process using plasma or the like. In this case, the flat panel display device refers to LCD, PDP, OLED, and the like, and the vacuum processing apparatus of the flat panel display device manufacturing apparatus generally includes three vacuum chambers, a loadlock chamber, a transfer chamber, and a process chamber.

여기서, 상술한 로드락 챔버는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다. 이때, 상술한 로드락 챔버에는 기판이 놓여지는 버퍼와 상기 버퍼상에 위치된 기판의 위치를 조정할 수 있는 얼라이너(aligner)가 설치된다. 따라서 상술한 로드락 챔버에서 위치가 정확하게 조정된 기판을 반송챔버에 설치되어 있는 로봇이 그대로 공정챔버내로 반입하는 것이다. Here, the load lock chamber described above serves to accept the unprocessed substrate from the outside or to take out the processed substrate to the outside while alternating the atmospheric pressure and the vacuum state, and the transfer chamber transfers the substrate between the chambers. It is equipped with a robot to transfer the substrate scheduled to be processed from the load lock chamber to the process chamber, or to transfer the completed substrate from the process chamber to the load lock chamber, the process chamber using a plasma in a vacuum Or to form a film or perform an etching on a substrate using thermal energy. In this case, the above-described load lock chamber is provided with a buffer on which the substrate is placed and an aligner for adjusting the position of the substrate located on the buffer. Therefore, the robot installed in the transfer chamber is brought into the process chamber as it is, in the above-described load lock chamber.

따라서, 상술한 로드락 챔버는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(S)이 출입하는 출입구가 형성되되 그 출입구를 개폐하는 게이트 밸브가 각각 마련되며, 내부 바닥면에서 반입된 기판(S)이 안착되는 리프트 핀(12)이 다수개 마련되어 적정 높이만큼 승강하게 되며, 기판(S)의 각 변을 향해 이동하여 정렬시키는 구조이다.Therefore, the load lock chamber described above is provided with an entrance through which the substrate S enters and exits as shown in FIG. A plurality of lift pins 12 are provided, which are lifted by an appropriate height, and move toward each side of the substrate S to align.

더욱 상세히 설명하면 상술한 어라이너가 구비된 로드락 챔버는 도 2에 도시된 바와 같이 로드락 챔버(10) 내부에 위치된 기판(S)의 4 변을 제 1, 2구동부(26, 38)가 요동하여 정렬할 수 있게 제 1기판위치 조정수단(20)과 제 2기판위치 조정수단(30)이 구비된다.In more detail, in the load lock chamber including the above-described aligner, the first and second driving units 26 and 38 may define four sides of the substrate S positioned in the load lock chamber 10 as shown in FIG. 2. The first substrate position adjusting means 20 and the second substrate position adjusting means 30 are provided so as to be oscillated and aligned.

여기서, 상술한 제 1기판위치 조정수단(20)은 기판(S)의 4 변중 횡 방향으로 요동하여 양측을 정렬시키며, 그 구성 요소는 길이 방향으로 연장된 판상으로 대향된 종 방향의 횡방향 어라이너(22)와, 상술한 횡방향 어라이너(22)의 어느 한 일측에서 그 횡방향 어라이너(22)를 좌우 방향으로 요동할 수 있도록 동력을 제공하는 제 1 구동부(26)로 이루어진다.Here, the above-described first substrate position adjusting means 20 swings in the transverse direction of the four sides of the substrate S so as to align both sides thereof, and its components are arranged in the longitudinal direction opposite to the plate extending in the longitudinal direction. A liner 22 and a first drive unit 26 for providing power to swing the lateral aligner 22 in the left and right directions on either side of the lateral aligner 22 described above.

상술한 제 1 구동부(26)는 로드락 챔버(10)의 가장자리부에 대향된 상태로 관통하여 설치되며, 상술한 횡방향 어라이너(22)를 일측에서 지지하고 타측에서 제 1구동부(26)에 의해 상술한 횡방향 어라이너(22)를 요동시킨다.The first driving unit 26 is installed to penetrate in the state opposite to the edge of the load lock chamber 10, and supports the above-described horizontal aligner 22 on one side and the first driving unit 26 on the other side. The above-described lateral aligner 22 is rocked.

여기서, 기판(S)에 접하여 정렬시키는 횡방향 어라이너(22)의 일측에 연성재의 접촉부재(24)가 다수개 마련되어 그 접촉부재(24)에 접하는 기판의 파손됨을 방지한다.Here, a plurality of contact members 24 of the flexible material are provided on one side of the lateral aligner 22 to be in contact with the substrate S to prevent the substrate from being in contact with the contact member 24.

또한, 상술한 제 2기판위치 조정수단(30)은 기판(S)의 4 변중 종 방향으로 요동하여 양측을 정렬시키며, 그 구성 요소는 길이 방향으로 연장된 판상으로 대향 된 횡 방향의 종방향 어라이너(32)와, 상술한 종방향 어라이너(32)의 후면 중심부를 챔버(10)의 외측벽에서 관통하게 마련되어 전후 방향으로 요동할 수 있도록 동력을 제공하는 제 2구동부(38)로 이루어진다.In addition, the above-described second substrate position adjusting means 30 swings in the longitudinal direction of four sides of the substrate S to align both sides thereof, and its components are transversely longitudinally opposed to each other in a plate shape extending in the longitudinal direction. The liner 32 and the second driving part 38 are provided through the outer wall of the longitudinal aligner 32 to penetrate through the outer wall of the chamber 10 to provide power to swing in the front-rear direction.

그리고, 상술한 종방향 어라이너(32)의 양단에 각각 지지부(36)가 결합된다.즉, 상술한 종방향 어라이너(32)의 양단에 각각 하나의 지지부(36)가 결합되어 상술한 종방향 어라이너(32)를 지지하는 것이다. 이때, 상술한 지지부(36)는 상술한 로드락 챔버(10)의 벽면을 관통하여 설치되며, 상술한 종방향 어라이너(32)가 전후로 요동할 수 있는 구조로 구비된다.Then, the support portions 36 are coupled to both ends of the longitudinal aligner 32 described above. That is, one support portion 36 is coupled to each of both ends of the longitudinal aligner 32 described above. To support the directional aligner 32. At this time, the above-mentioned support part 36 is installed through the wall surface of the above-mentioned load lock chamber 10, and is provided with the structure which the above-mentioned longitudinal aligner 32 can rock back and forth.

여기서, 상술한 종방향 어라이너(32)가 기판(S)에 접하여 요동할 때 상술한 기판(S)의 손상됨을 방지하는 연성재의 접촉부재(34)가 기판(S)과 접하는 일측벽에 다수개 마련된다.Here, when the longitudinal aligner 32 described above is in contact with the substrate S and swings, a plurality of contact members 34 of a flexible material which prevent the damage of the substrate S described above are provided on one side wall of the substrate S. Dogs are prepared.

그러므로, 외부의 카세트(도면에 미도시)에 다수개 적재된 기판(S)을 이송 수단(도면에 미도시)에 의해 로드락 챔버(10)내로 진입시킬 때 상술한 제 1, 2기판위치 조정수단(20, 30)은 기판(S)의 출입에 간섭을 주지 않기 위해 기판(S)을 반입하는 높이보다 높은 곳에 위치되며, 승강하는 리프트 핀(12)이 기판(S)을 들어 올려 상술한 제 1, 2기판위치 조정수단(20, 30)의 위치까지 상승시킨 후 이 제 1, 2기판위치 조정수단(20, 30)에 의해 기판(S)을 정렬시킨다.Therefore, the above-mentioned first and second substrate positions are adjusted when the plurality of substrates S loaded in an external cassette (not shown) enter the load lock chamber 10 by a transfer means (not shown). The means 20 and 30 are located at a height higher than the height of carrying the substrate S in order not to interfere with the entry and exit of the substrate S, and the lifting lift pins 12 lifting and lifting the substrate S are described above. After raising to the positions of the first and second substrate position adjusting means 20, 30, the first and second substrate position adjusting means 20, 30 align the substrate S. FIG.

그러나, 상술한 제 1, 2기판위치 조정수단(20, 30)에 의해 기판(S)을 정렬시키는 과정에서 전후좌우에 마련된 제 1, 2기판위치 조정수단(20, 30) 중 어느 한 제 1, 2기판위치 조정수단(20, 30)에 과도하게 기판(S)을 가압하여 상술한 기판(S) 의 크기보다 더 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(22, 32)가 기판(S) 안쪽으로 이동하면 그 가압력으로 기판(S)이 파손되는 문제점이 있었다. However, any one of the first and second substrate position adjusting means 20, 30 provided in front, rear, left and right in the process of aligning the substrate S by the first and second substrate position adjusting means 20, 30 described above. The substrate S is pushed excessively against the two substrate position adjusting means 20 and 30 so that the lateral aligner and the longitudinal aligner 22 and 32 are larger than the size of the substrate S described above. When moving inwards, there was a problem that the substrate (S) is damaged by the pressing force.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 기판을 이동시키는 이동거리를 제한하여 기판 정렬시 그 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus capable of preventing the substrate from being broken when the substrate is aligned by limiting the moving distance for moving the substrate. .

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 챔버중 외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버; 상기 로드락 챔버내 적정 위치에 마련되며, 상기 기판의 양측에서 그 기판을 횡방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 횡방향 어라이너; 상기 횡방향 어라이너와 교차되게 구비되어 상기 기판의 양측에서 그 기판을 종방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 종방향 어라이너; 상기 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너에 각각 구동력을 제공하는 제 1 구동부 및 제 2구동부;를 포함하며, 상기 횡방향 어라이너와 상기 횡방향 어라이너 양단이 각각 맞물렸을 때의 넓이가 기판의 넓이 이상되게 함으로써, 상술한 기판이 로드락 챔버내로 반입되면 그 기판의 각변을 적정힘으로 이동시켜 정렬할 때 각각의 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너가 각각 맞물렸을 때의 넓이보다 기판의 넓이가 크게 하여 제 1, 2구동부에 의해 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너가 기판쪽으로 이동하다가 각각의 양단이 맞물려 접촉하면 더이상 기판 방향으로 전진할 수 없으므로 기판이 파손되는 것을 방지한다.In order to achieve the above object, the present invention is a flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a plurality of chambers to perform a predetermined treatment on the substrate, the new substrate to be carried in communication with the outside of the chamber and the processed substrate is carried out A load lock chamber; A transverse aligner provided at an appropriate position in the load lock chamber and provided to move the substrate in the transverse direction on both sides of the substrate; A longitudinal aligner provided to intersect the transverse aligner so as to move the substrate in a longitudinal direction on both sides of the substrate; And a first driving part and a second driving part which provide driving force to the lateral aligner and the longitudinal aligner, respectively, wherein the width when the lateral aligner and the both ends of the lateral aligner are engaged with each other. By making the width larger than the above, when the above-mentioned substrate is brought into the load lock chamber, the width of the substrate is larger than the width when the respective lateral aligner and the longitudinal aligner are respectively engaged when aligning each side of the substrate with an appropriate force. When the transverse aligner and the longitudinal aligner are moved toward the substrate by the first and second driving portions, and the two ends are engaged with each other, they can no longer move in the direction of the substrate, thereby preventing the substrate from being damaged.

또한, 본 발명에서의 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너는, 그 양단이 사선 형상으로, 그 사선으로 형성된 양단이 각각 물리면 더 이상 직진하지 못하고 위치가 제한되므로 바람직하다.Further, the transverse aligner and the longitudinal aligner in the present invention are preferable because their ends are oblique in shape and both ends formed by the oblique line are no longer straight and their position is limited.

또한, 본 발명에서의 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너는, 그 양단이 연속 절곡된 단차 형상으로, 그 계단 형상으로 형성된 양단이 각각 물리면 더 이상 직진하지 못하고 위치가 제한되므로 바람직하다.Further, the transverse aligner and the longitudinal aligner in the present invention are preferably in a stepped shape in which both ends are continuously bent, and if both ends formed in the step shape are bited, the position is no longer straight and the position is limited.

또한, 본 발명에서는 종방향 어라이너의 내측벽에 다수개 구비되어 독립적으로 동작하며, 선단이 출몰하는 접촉구가 더 마련됨으로써, 어느 한 어라이너의 힘이 과도하게 기판에 가해지면 그 힘만큼 함몰되어 치우치다가 그 힘이 소멸되면 복원되어 기판을 2차적으로 파손 방지함은 물론, 유동성을 부여하므로 바람직하다.In addition, in the present invention, the inner wall of the longitudinal aligner is provided with a plurality of independent operation, and the contact hole for the tip is further provided, so that any force of the aligner is excessively applied to the substrate to sink When the force is dissipated, it is restored, thereby preventing damage to the substrate secondaryly, and of course, imparting fluidity.

또한, 본 발명에서의 접촉구는, 상기 기판의 측벽에 접하되 직선 방향으로 출몰하는 접촉부재; 상기 접촉부재의 함몰시 복원력을 제공하는 스프링; 상기 스프링의 위치를 제한하는 마감부재;를 포함함으로써, 접촉구에 접촉한 기판의 타측에서 과도한 힘이 가해지면 그 힘을 스프링으로 흡수하였다가 힘이 소멸되면 스프링에 의해 복원되므로 바람직하다.In addition, the contact hole in the present invention, the contact member which is in contact with the side wall of the substrate, but in a linear direction; A spring providing restoring force when the contact member is recessed; By including a closing member for limiting the position of the spring, it is preferable to absorb the force into the spring when the excessive force is applied from the other side of the substrate in contact with the contact hole, and is restored by the spring when the force is extinguished.

이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 바람직한 일 실시예의 평판표시소자 제조장치는 다수 챔버로 이루어지며, 그중 하나인 로드락 챔버는 도 3에 도시된 바와 같이 그 로드락 챔버(110)내부에서 이송 수단(도면에 미도시)에 의해 반입된 기판(S)을 정렬시킬 수 있게 기판(S)의 가장자리 부근 좌우측에 마련된 제 1기판위치 조정수단(120)과, 전후 방향의 제 2기판위치 조정수단(130)으로 구성된다.A flat panel display device manufacturing apparatus of a preferred embodiment of the present invention comprises a plurality of chambers, one of which is a load lock chamber as shown in Figure 3 the transport means (not shown in the figure) inside the load lock chamber 110 The first substrate position adjusting means 120 provided on the left and right sides near the edge of the substrate S and the second substrate position adjusting means 130 in the front-rear direction so as to be able to align the substrate S carried in by the substrate S are arranged.

상술한 제 1기판위치 조정수단(120)은 기판(S)의 횡 방향 양측면을 요동시켜정렬시키며, 로드락 챔버(110)내 좌우 양측에 위치되고 종 방향의 길이 방향으로 연장되는 횡방향 어라이너(122)와, 상술한 횡방향 어라이너(122) 각각의 내측면에 다수개 마련되어 가해지는 힘에 대응하여 출몰하는 접촉부재(124)와, 상술한 횡방향 어라이너(122)의 일측 후면에 결합하여 횡 방향으로 구동력을 제공하는 제 1구동부(126)가 마련된다.The above-described first substrate position adjusting means 120 oscillates and aligns both side surfaces of the substrate S, and is positioned on both left and right sides in the load lock chamber 110 and extends in the longitudinal direction in the longitudinal direction. On the inner side of each of the above-described lateral aligner 122, a plurality of contact members 124 and the sunk in response to the applied force, and one side of the lateral aligner 122 described above A first driving unit 126 is provided to couple to provide a driving force in the lateral direction.

상술한 횡방향 어라이너(122)의 일단은 로드락 챔버(110)의 벽면을 관통하여 지지하며, 좌우로 요동할 수 있는 구조로 구비된다. 여기서, 상술한 제 1구동부(126)는 상기 횡방향 어라이너(122)의 타단과 결합되며, 상술한 횡방향 어라이너(126)가 좌우로 요동할 수 있는 구조로 형성된다. 또한 상술한 제 1구동부(126)도 로드락 챔버(110)의 벽면을 관통하여 설치된다. One end of the lateral aligner 122 described above is supported by penetrating the wall surface of the load lock chamber 110 and provided with a structure capable of swinging from side to side. Here, the first driving unit 126 described above is coupled to the other end of the lateral aligner 122 and is formed in a structure in which the lateral aligner 126 described above can swing left and right. In addition, the first driving unit 126 described above is also installed through the wall surface of the load lock chamber 110.

상술한 제 2기판위치 조정수단(130)는 기판(S)의 종 방향 양측면을 요동시켜 정렬시키며, 로드락 챔버(110)의 전후 양측에 위치되고 횡 방향의 길이 방향으로 연장되는 종방향 어라이너(132)와, 상술한 종방향 어라이너(132) 각각의 내측면에 다수개 마련되어 가압력에 따라 출몰하는 접촉부재(134)가 구비된 접촉구(136)가 마련되며, 상술한 종방향 어라이너(132)의 일측 후면에 결합하여 전후 방향으로 구동력을 제공하는 제 2구동부(138)가 마련된다.The above-described second substrate position adjusting means 130 swings and aligns the longitudinal side surfaces of the substrate S, and is positioned on both front and rear sides of the load lock chamber 110 and extends in the longitudinal direction in the horizontal direction. 132 and a contact hole 136 is provided on the inner surface of each of the above-described longitudinal aligner 132 is provided with a contact member 134 to be released in accordance with the pressing force, the longitudinal aligner described above A second driving unit 138 is provided to be coupled to one rear surface of the 132 to provide a driving force in the front-rear direction.

여기서, 종방향 어라이너(132)의 양단에 각각 하나의 접촉구(136)가 결합되어 상기 종방향 어라이너(132)를 지지하는 것이다. 이때, 상술한 접촉구(136)는 상기 로드락 챔버(110)의 벽면을 관통하여 설치되며, 상술한 종방향 어라이너(132)가 전후로 요동할 수 있는 구조로 구비된다. Here, one contact hole 136 is coupled to both ends of the longitudinal aligner 132 to support the longitudinal aligner 132. At this time, the above-described contact hole 136 is installed through the wall surface of the load lock chamber 110, the longitudinal aligner 132 described above is provided with a structure that can swing back and forth.

상술한 접촉구(136)는 상기 기판(S)의 종방향 어라이너(132)의 내측벽에 구비하되 외력에 의해 출몰하며 연성재의 접촉부재(134)와, 상기 접촉부재(134)의 출몰시 탄성력을 제공하는 스프링(140)과, 상기 스프링(140)의 위치를 제한하는 마감부재(138)로 이루어져 힘이 과도하게 걸리면 그 기판(S)에 접한 접촉부재(134)를 반대 방향으로 함몰시키게 되며 그 힘이 소멸되면 상술한 접촉부재(134)를 스프링(140)이 원위치시켜 기판(S)에 소정의 유동성을 부여한다.The contact hole 136 described above is provided on the inner wall of the longitudinal aligner 132 of the substrate S, but it is recessed by an external force, and when the contact member 134 and the contact member 134 of the flexible member come and go, Composed of a spring 140 to provide an elastic force, and a closing member 138 for limiting the position of the spring 140, if excessive force is applied to recess the contact member 134 in contact with the substrate (S) in the opposite direction. When the force is dissipated, the spring 140 is returned to the contact member 134 described above to impart predetermined fluidity to the substrate S.

즉, 상술한 기판(S)의 일측에 과도한 힘이 가해지면 그 가압력 만큼 타측 방향으로 함몰되는 접촉부재(134)가 위치를 제한하는 마감부재(138)로 고정한 스프링(140)에 의해 탄성력을 제공하여 압력이 소멸되면 위치가 복귀될 수 있게 독립적으로 동작하는 접촉구(136)가 종방향 어라이너(132)에 다수개 마련된다.That is, when an excessive force is applied to one side of the substrate S described above, the contact member 134 recessed in the other direction by the pressing force is provided by the spring 140 fixed by the finishing member 138 which limits the position. Thus, when the pressure is dissipated, a plurality of contact holes 136 that operate independently to return the position are provided in the longitudinal aligner 132.

상술한 제 1구동부(126)와 제 2구동부(136)는 구동모터 또는 실린더가 바람 직하다.The first driving unit 126 and the second driving unit 136 described above are preferably a driving motor or a cylinder.

상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)는 기판(S)의 4 변에 상응할 수 있게 4 개로 이루어지며, 그 형상은 양단이 경사진 사다리꼴 형상을 갖으며, 절연체로 테프론(Teflon) 재질 및 퀄츠(Quartz) 재질로 형성된다.The transverse aligner and the longitudinal aligner 122 and 132 described above are formed in four pieces so as to correspond to four sides of the substrate S, and the shape thereof has a trapezoidal shape inclined at both ends, and is made of Teflon as an insulator. It is formed of a Teflon material and a Qualz material.

그리고, 상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)를 서로 맞물렸을 때 넓이가 기판(S)의 넓이보다 적어도 동일하거나 미세량 큰 상태로 구비한다. 그 이유는 상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)가 기판(S)쪽으로 접근하여 요동함에 따라 그 기판(S)을 정렬시킬 때 각각의 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)의 양단이 서로 접하여 전진하지 못하여 기판(S)에 접촉부재(124, 134)에 의해 소정의 힘만 가해지기 때문이다.When the above-described horizontal aligner and the longitudinal aligner 122 and 132 are engaged with each other, the width is provided at least equal to or finer than the width of the substrate S. The reason for this is that the transverse aligner and longitudinal aligner when aligning the substrate S as the above-described lateral and longitudinal aligners 122 and 132 approach and swing toward the substrate S, respectively. This is because both ends of the 122 and 132 do not come in contact with each other, and only a predetermined force is applied to the substrate S by the contact members 124 and 134.

상술한 접촉부재(124, 134)는 기판(S)에 접촉시 파손되지 않도록 연성의 재질로 형성된다.The contact members 124 and 134 described above are formed of a flexible material so as not to be damaged when contacting the substrate S.

그러므로, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버내에서 기판이 정렬되는 과정은 도 3, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 로드락 챔버(110)의 외측에 마련되되 다수개의 기판(S)이 적재된 카세트(도면에 미도시)에서 어느 한 기판(S)을 이송 수단에 의해 로드락 챔버(110)내로 반입시킨다.Therefore, the process of aligning the substrate in the load lock chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is provided on the outside of the load lock chamber 110, as shown in Figure 3, 4A and 4B A substrate S is loaded into the load lock chamber 110 by a transfer means in a cassette (S) not loaded.

그후, 상술한 기판(S)을 리프트 핀상에 안착시키고 상술한 제 1기판위치 조정수단(120)의 횡방향 어라이너(122)와 제 2기판위치 조정수단(130)의 종방향 어라이너(132)와의 동일 높이로 리프트 핀상에 안착된 기판(S)을 상승시킨다.Thereafter, the above-mentioned substrate S is seated on the lift pins, and the longitudinal aligner 132 of the lateral aligner 122 and the second substrate position adjusting means 130 of the first substrate position adjusting means 120 described above. The substrate S mounted on the lift pins is raised to the same height as.

그리고, 제 1구동부(126)와 제 2구동부(138)를 구동시켜 기판(S)을 향해 내 측 방향으로 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)를 요동시켜 기판(S)의 4 변에 접근하며 이때, 상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)에 각각 마련된 접촉부재(124, 134)가 기판(S)의 사방에 접촉하면서 기판(S)을 정렬시킨다.Then, the first driving part 126 and the second driving part 138 are driven to oscillate the lateral aligner and the longitudinal aligner 122, 132 inwardly toward the substrate S to move the substrate S. The four sides are approached, and the contact members 124 and 134 provided in the above-described horizontal aligner and the longitudinal aligner 122 and 132 respectively contact the four sides of the substrate S to align the substrate S. .

여기서, 상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)는 그 양단이 사다리꼴 형상으로 그 사선 부분이 전방으로 향해 직진하다가 점차적으로 서로 접하면 각각의 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)의 이동이 제한되므로 기판(S)에 과도한 힘이 걸리지 않는다.Here, the transverse aligner and the longitudinal aligner 122 and 132 described above have a trapezoidal shape at both ends thereof, and when the diagonal portions go straight forward and gradually contact each other, the lateral aligner and the longitudinal aligner Since the movement of the 122 and 132 is limited, the substrate S is not subjected to excessive force.

한편, 상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너(122, 132)에 마련된 각각의 접촉부재(124, 134)중 어느 한 종방향 어라이너(132)에 과도한 압이 가해지면 그 대향된 접촉부재(134)가 소정 거리만큼 함몰되었다가 그 압이 소멸되면 스프링(140)에 의해 원위치로 돌아온다.On the other hand, if an excessive pressure is applied to any one of the longitudinal aligners 132 of each of the contact members 124 and 134 provided in the above-described horizontal aligner and the longitudinal aligner 122, 132, the opposing contact member thereof. When 134 is depressed for a predetermined distance and the pressure is dissipated, it is returned to its original position by the spring 140.

여기서, 본 발명의 다른 실시예의 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 연속적으로 절곡되는 계단 형상으로 상술한 횡방향 어라이너(122')의 양단과 이 양단과 접하는 다른 종방향 어라이너(132')의 양단이 맞물리면서 기판(S)을 정렬한다.Here, the transverse aligner and the longitudinal aligner of another embodiment of the present invention are both ends and both ends of the transverse aligner 122 'described above in a step shape that is continuously bent as shown in FIGS. 5A and 5B. Both ends of the other longitudinal aligner 132 ′ in contact with each other are engaged to align the substrate S.

이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버내로 반입된 기판의 정렬시 기판을 정확한 위치로 이동시키는 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너의 양단을 사선으로 형성하되 그 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너가 서로 맞물 렸을 때의 넓이가 기판의 넓이보다 크게 구비함에 따라 서로 접하여도 기판에 닿지않으므로 기판이 파손됨을 방지하는 효과가 있다.Such a flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention is formed by diagonally forming both ends of the transverse aligner and the longitudinal aligner for moving the substrate to the correct position when the substrate loaded into the load lock chamber is aligned with the transverse aligner and Since the area when the longitudinal aligners are engaged with each other is larger than the area of the substrate, the substrates do not touch the substrate even when they are in contact with each other, thereby preventing the substrate from being damaged.

또한, 상술한 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너의 내측벽에 독립적으로 가압력을 대응하는 접촉구가 마련되어 어느 한 어라이너에 의해 과도한 힘이 기판에 가해지면 대향된 접촉구가 수축하여 기판이 파손됨을 2차로 방지하는 효과가 있다.In addition, a contact hole corresponding to a pressing force is provided independently on the inner walls of the transverse aligner and the longitudinal aligner as described above, and when an excessive force is applied to the substrate by either aligner, the opposing contact contracts and the substrate is damaged. It is effective to prevent the secondary.

Claims (8)

다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서,In the flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a plurality of chambers to perform a predetermined process on the substrate, 상기 챔버중 외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버;A load lock chamber for carrying out a new substrate to be brought in and communicated with the outside of the chamber and a processed substrate; 상기 로드락 챔버내 적정 위치에 마련되며, 상기 기판의 양측에서 그 기판을 횡방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 횡방향 어라이너;A transverse aligner provided at an appropriate position in the load lock chamber and provided to move the substrate in the transverse direction on both sides of the substrate; 상기 횡방향 어라이너와 교차되게 구비되어 상기 기판의 양측에서 그 기판을 종방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 종방향 어라이너;A longitudinal aligner provided to intersect the transverse aligner so as to move the substrate in a longitudinal direction on both sides of the substrate; 상기 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너에 각각 구동력을 제공하는 제 1 구동부 및 제 2구동부;를 포함하며,And a first driving part and a second driving part providing driving force to the lateral aligner and the longitudinal aligner, respectively. 상기 횡방향 어라이너와 상기 횡방향 어라이너 양단이 각각 맞물렸을 때의 넓이가 기판의 넓이 이상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.And an area at which both ends of the lateral aligner and the lateral aligner are engaged is equal to or larger than the width of the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너는, The transverse aligner and longitudinal aligner of claim 1, wherein 그 양단이 사선 형상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.A flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that both ends thereof have an oblique shape. 제 1항에 있어서, 상기 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너는,The transverse aligner and longitudinal aligner of claim 1, wherein 그 양단이 연속 절곡된 단차 형상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 장치.A flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that both ends thereof are stepped shapes continuously bent. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 종방향 어라이너의 내측벽에 다수개 구비되어 독립적으로 동작하며, 선단이 출몰하는 접촉구가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.A plurality of flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the plurality of inner wall of the longitudinal aligner is provided to operate independently, the contact hole for the tip end is further provided. 제 4항에 있어서, 상기 접촉구는,The method of claim 4, wherein the contact hole, 상기 기판의 측벽에 접하되 직선 방향으로 출몰하는 접촉부재;A contact member coming into contact with the sidewall of the substrate and protruding in a linear direction; 상기 접촉부재의 함몰시 복원력을 제공하는 스프링;A spring providing restoring force when the contact member is recessed; 상기 스프링의 위치를 제한하는 마감부재;를 포함한 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.Flat panel display device manufacturing apparatus comprising a; a closing member for limiting the position of the spring. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 상기 횡방향 어라이너 및 종방향 어라이너는 절연체로 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.And said transverse aligner and longitudinal aligner are formed of an insulator. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 절연체는 테프론(Teflon) 재질 및 퀄츠(Quartz) 재질인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.The insulator is a flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that the Teflon (Quefz) material and (Quartz) material. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 구동부 및 제 2 구동부는 구동모터 또는 실린더인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.And the first driving unit and the second driving unit are drive motors or cylinders.
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