KR100654483B1

KR100654483B1 - 아연-주석 합금 스퍼터링 타깃, 스퍼터 코팅된 물품 및 자동차용 투명 용품의 제조 방법

Info

Publication number: KR100654483B1
Application number: KR1020007012503A
Authority: KR
Inventors: 오샤그네시데니스제이; 핀리제임스제이; 메드윅폴에이
Original assignee: 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드
Priority date: 1998-05-08
Filing date: 1999-05-06
Publication date: 2006-12-05
Also published as: PT1080245E; US20050155695A1; EP1080245A2; JP2003526732A; KR20010043456A; AR015088A1; DK1080245T3; WO1999058736A2; JP2011184296A; ES2464155T3; JP5101763B2; US7329433B2; AU749510B2; EP1080245B1; CA2328910A1; WO1999058736A3; US6899953B1; EP1080245B2; CN1209489C; CN1300327A

Abstract

주석을 아연 음극 타깃에 가하여 타깃의 스퍼터링 효율을 향상시킨다. 음극, 예를 들어, 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석 및 90중량% 초과 100중량% 미만의 아연을 이용하여 침착시킨 막은 위에 산화주석 없이 산화아연을 갖는 고 투명도, 저 복사능 코팅 스택의 화학적 내구성을 개선시킨다. 고 투명도, 저 복사능의 코팅 스택을 가열하여, 적외선 반사 막, 예를 들어, 은 막과 유전체 막, 예를 들어, 52-48 주석산 아연-산화아연-산화주석 막 또는 산화아연 막 사이의 금속 하도층의 두께를 선택함으로써 가열된 코팅물이 감소된 헤이즈값을 갖게 된다. 또한, 침착된 은 막의 저항을 낮추고, 코팅 스택의 화학적 내구성을 개선시키도록 개선된 막이 개시되어 있다.

Description

아연-주석 합금 스퍼터링 타깃, 스퍼터 코팅된 물품 및 자동차용 투명 용품의 제조 방법{A ZINC-TIN ALLOY SPUTTERING TARGET, A SPUTTER COATED ARTICLE AND A METHOD OF MAKING AN AUTOMOBILE TRANSPARENCY}

본 발명은 일반적으로 낮은중량%의 주석을 갖는 아연 음극 스퍼터링 타깃, 이를 사용하여 제조할 수 있는 이송가능하고 열처리가능한 저 복사능 코팅물, 코팅된 물품 및 코팅된 물품의 제조 방법에 관한 것이다.

미국 특허 제4,610,771호(이하 U.S.P.N. '771로 칭함)에는 아연/주석 합금 타깃을 사용하여 침착시킨 반사방지 스퍼터링된 금속 산화물 막이 개시되어 있다. U.S.P.N. '771의 제 3 단락 26행 내지 제 4 단락 12행에는 일반적으로 10 내지 90 %의 아연 및 90 내지 10 %의 주석으로 된 아연과 주석의 산화물을 갖는 주석산 아연 막을 침착시키기 위해 합금 타깃을 사용하는 방법이 논의되어 있다.

U.S.P.N. '771에 개시되어 있는 아연/주석 합금 타깃이 주석산 아연을 침착시키는데 이용 가능함에도 불구하고, 여기에는 한계점이 존재한다. 보다 구체적으로는, U.S.P.N. '771에 기술되어 있는 형태와 같은 저 복사능 코팅물에 있어서는, 적외선 반사 금속 막 또는 층, 예를 들어, 은을 주석산 아연 막상에 침착시킨다. 스퍼터링된 주석산 아연상에 침착된 은 막은 스퍼터링된 산화아연 막 또는 층 보다 큰 전기 저항성과 보다 큰 복사능을 갖는다. 더욱 구체적으로는, 미국 특허 제5,821,001호(이하 "U.S.P.N. '001"로 칭함)에는 산화아연 막상에 침착된 은 막이 개시되어 있으며, 여기서는 은 막의 원자들이 낮은 전기 저항성으로 특징지워지는 형태로 침착되어 저 복사능을 갖는 은 막을 제공한다. 산화아연 막의 침착 방법에 있어서, 은 막중의 은 원자들의 침착에 호의적인 영향을 미치는데 적절한 결정성 또는 바람직한 결정 성장도를 갖는 산화아연 층이 침착되도록 공정 파라미터가 선택된다.

반응 분위기, 예를 들어, 산소 분위기중에서 아연을 스퍼터링시켜 전기 저항성이 낮은 은 막이 침착된 산화아연 막을 제공하는 방법은 결점을 갖는다. 예를 들어, 산소와 같은 반응 분위기에서 순수한 아연 타깃, 즉 약 100 % 아연 금속 타깃을 반응적으로 스퍼터링시키는 것은 하기에 보다 상세히 논의된 이유로 인하여 어렵게 된다.

또한, U.S.P.N. '001에는 열처리가능한 저 복사능 막이 개시되어 있다. 하도층, 예를 들어, 티탄 막의 두께를 증가시켜 기계적 내구성을 개선시킬 수 있다. 즉, 전단 저항을 개선시킬 수 있다. 전단 저항 시험은 탈이온수로 적신 직물을 사용하여 코팅된 유리 표면을 연속하여 20회 가격하는 단계, 이어서, 시험된 영역을 시각적으로 검사하는 단계로 이루어진다. 시험된 영역의 외양에 따라 코팅물에 D-, D, D+ ... A, A+의 문자 등급을 매긴 후, 수치 분석을 위하여, D-에는 5를, D에는 10을, A에는 55를, A+에는 60을 할당하였다. 코팅물에의 전단 징후는 물론, 가시적인 긁힘 조차도 나타나지 않는 경우, 이는 60의 최대 등급을 부여받게 된다. 시험 영역내의 다층 코팅물의 임의의 계면에서 균일한 전단 및 적층분해도를 나타내는 코팅물은 0의 등급을 부여받게 된다. 다른 성능의 레벨은 중간 등급을 부여받게 된다. 이러한 코팅물의 내구성을 특성화시키는 방법은 코팅물의 사용시 성능과 밀접한 관계가 있음이 밝혀졌다. 두꺼운 하도층을 사용하는 것의 단점은 가열 조작, 예를 들어, 유리 템퍼링 또는 유리 굽힘 조작후의 코팅 스택이 암실 초과 조사 헤이즈 시험(flood-light haze test)을 사용하여 관찰했을 때 탁한 외관을 갖기 쉽다는 것이다. 상기 암실 초과 조사 헤이즈 시험에 있어서, 기하학적으로 산출되는 빛의 최대 산란도, 또는, 달리 말하면 코팅물로부터 가능한 헤이즈값을 찾아내기 위하여 암실내에서 코팅된 표본의 반사도를 스포트라이트에 대한 다양한 시약각에서 관찰한다. 헤이즈값을 식별가능하게 할 수 있는 기하구조가 존재하는 않는 경우, A+ 등급이 시료에 할당된다. 매우 열악한 시료는 D- 등급이 부여된다. 수치 분석을 위하여, 문자 등급에는, 전단 시험에 대하여 전술한 바와 같이, 5 내지 60의 값이 주어진다. 보다 작은 헤이즈값이 보다 큰 수치 값에 상응한다.

스퍼터링된 코팅물 제조업계의 숙련자들에게 이해될 수 있는 바와 같이, 반응성 분위기내에서 기존에 시판중인 아연 타깃이 가지고 있던 결점없이 스퍼터링할 수 있는 아연 타깃을 제공하고, 기계적 내구성을 갖는 저 복사능 코팅된 물품을 제공함으로써 코팅된 물품을 이송하고 가열후에 코팅물이 헤이즈를 갖지 않게 가열할 수 있기에 유익할 수 있다.

U.S.P.N. '771 및 '001에 개시된 사항은 본원 명세서에 참고로 인용되어 있다.

발명의 요약

본 발명은 바람직하게는 타깃 재료의 총량을 기준으로 바람직하게는 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석 및 바람직하게는 100중량% 미만 90중량% 초과의 아연을 갖는 스퍼터 음극 타깃에 관한 것이다. 이하, 다른 지시가 없으면, "중량%"는 타깃 재료의 총량을 기준으로 한 중량%를 의미한다.

본 명세서에 사용되는 바와 같이, 예를 들어, U.S.P.S '771에 논의된 형태의 "주석산 아연 막"은 아연과 주석 합금의 산화물이다. 사용된 음극은 아연과 주석의 합금으로 제조된다. 산화아연-산화주석 막을 스퍼터링하는데 사용된 음극은 하기에 자세하게 논의하고 있는 바와 같이 주석이 가해진 아연으로 제조된다.

본 발명의 한 실시태양에 있어서, 코팅 스택은 유리 기판상에 침착되어 있는 주석산 아연 막, 주석산 아연 막상에 침착되어 있는 산화아연-산화주석 막; 산화아연-산화주석 막상에 침착되어 있는 적외선 반사 막, 예를 들어, 은 막; 적외선 반사 막상에 침착되어 있는 하도층, 예를 들어, 티탄 금속 막; 하도막상에 침착되어 있는 산화아연-산화주석 막, 산화아연-산화주석 막상에 침착되어 있는 주석산 아연 막; 주석산 아연 막상에 침착되어 있는 적외선 반사 막; 적외선 반사 막상에 침착되어 있는 하도층; 하도층상에 침착되어 있는 산화아연-산화주석 막, 산화아연-산화주석 막상에 침착되어 있는 주석산 아연 막; 및 주석산 막상에 침착되어 있는 보호 층, 예를 들어, 티탄 금속 막 또는 산화 티탄 막을 갖는다. 본 발명의 또다른 실시태양에 있어서, 산화아연 막이 산화아연-산화주석 막 대신에 사용된다. 본 발명의 추가의 실시태양에 있어서, 주석산 아연 막이 산화아연-산화주석 막 대신에 사용된다. 주석산 아연 막을 산화아연-산화주석 막 대신 사용할 때, 주석산 아연 막은 조성에 있어 5중량% 이상의 차이가 난다. 예를 들어, 주석산 아연 막 중 하나가 50중량%의 아연 및 50중량%의 주석으로 이루어지고, 다른 주석산 아연 막이 10 내지 45 또는 90 내지 55중량%의 아연 및 55 내지 90 또는 45 내지 10중량%의 주석으로 이루어진다. 본 발명의 추가의 실시태양에 있어서, 제1 침착 주석산 아연 막은 50±10중량%의 아연 및 50±10중량%의 주석으로 이루어진다. 제2 침착된 또는 위에 놓인 주석산 아연 막은 10중량% 이상 40중량% 이하, 바람직하게는 20중량%의 아연 및 90중량% 이하 60중량% 초과, 바람직하게는 80중량%의 주석을 갖는다. 90중량%의 아연 및 10중량%의 주석을 갖는 위에 놓인 주석산 아연 막이 사용되었다.

상기에 기술한 코팅 스택은 기계적 및 화학적 내구성을 갖는다. 본 발명의 코팅물은 이송을 용이하게 하는 기계적 및 화학적 내구성 이외에 헤이즈값이 감소된 열 처리된 코팅물로 열 처리할 수 있다. 가열후의 헤이즈값 감소는 하기에서 논의한 바와 같이 금속 하도층의 두께를 선택함으로써 달성된다. 헤이즈값을 측정하는 과정은 상기에 논의하였다. 본 명세서에서 사용한 바와 같이, 헤이즈값의 감소는 10의 수치 증가에 해당한다. 본 발명 코팅물의 잇점은 본 발명의 코팅물을 기판상에 침착시키고, 코팅된 기판을 성형 장치로 이송하여 여기에서 코팅된 기판을 열-처리, 예를 들어 1,350 ℉(732 ℃) 이하의 온도까지 가열할 수 있다는 점이다. 본 발명의 코팅물은 태양광 제어 자동차용 앞면유리를 제조하는데 특별한 용도를 갖는다. 본 발명의 저 복사능 코팅물을 갖는 유리 시트는 장치중 하나에서 코팅된 후, 또다른 장치로 이송되어, 여기서 코팅된 유리 시트가 예를 들어, 자동자 앞면유리로 가공된다.

하기에서 본 발명의 다양한 실시태양들이 완전히 이해될 수 있도록, 이러한 실시태양들을 개별적으로 논의한 후, 이들을 통합하여 논의할 것이다. 논의되는 본 발명의 제1 실시태양은 산화아연 막의 침착능을 개선시키는 소량의 주석을 갖는 아연 음극의 용도 및 소량의 주석을 갖는 산화아연 막의 잇점에 관한 것이다.

소량의 주석을 갖는 아연 스퍼터링 타깃, 및 이러한 아연 타깃을 반응적으로 스퍼터링하여 산화아연-산화주석 막을 스퍼터 침착시키는 방법에 관한 본 발명의 실시태양들에 대해 논의할 것이다. 이해할 수 있는 바와 같이, 본 발명은 본 발명의 타깃을 이용하여 적외선 반사 막, 예를 들어 금, 은 또는 알루미늄 막, 다른 금속 막, 예를 들어 티탄 금속 또는 세라믹 막과 같은 하도막, 또는 다른 유전체 막 위 또는 밑에 산화아연-산화주석 막을 침착시키기 위한 것이다.

본 발명의 한 실시태양에 있어 스퍼터링 음극 타깃은 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석, 및 100중량% 미만 90중량% 초과의 아연을 가져서 산화아연-산화주석 막상에 침착되어 있는 적외선 반사 막, 예를 들어 은 막의 복사능을 개선시키고, 소량의 주석을 갖는 아연 음극 타깃의 스퍼터링을 개선시킨다. 본 발명의 음극 타깃은 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석과 나머지 대부분으로 아연을 포함하는 것 또는 100중량% 미만 90중량% 초과의 아연과 나머지 대부분으로 주석을 포함하는 것으로 정의될 수 있다. 이러한 본 발명의 실시태양에 대해 논의하기 전에, 본 발명을 보다 잘 이해할 수 있도록 주석 없이 아연 음극을 반응성 스퍼터링하는 것의 결점 및/또는 한계, 및 상기 음극을 사용하여 침착시킨 산화아연 막의 한계에 대하여 논의한다.

전형적으로는, 금속 타깃은 산소와 같은 가스, 또는 산소와 질소, 아르곤 또는 헬륨과 같은 다른 가스의 가스 혼합물중에서 반응적으로 스퍼터링된다. 가스 혼합물중에서의 스퍼터링은 안정한 공정을 위한 보다 빠른 스퍼터링 속도를 가져올 것이나, 공정 안정성을 유지하기 위해 보다 많은 조절, 예를 들어, 2가지 가스의 유속을 조절할 필요가 있을 것이다. 보다 빠른 스퍼터링 속도로 인하여, 산소중에서만 보다는 가스 혼합물중에서 스퍼터링하는 것이 바람직하다. 각각의 경우, 아연 티깃을 사용할 때 생성된 코팅물은 금속 산화물, 예를 들어, 산화아연이다.

산화아연은 저 복사능 코팅 스택중에서 높은 반응성 지표 막으로서 사용되고 있는 통상적인 유전체 재료이다. 평판 유리 산업에 있어서, 이들 코팅물은 통상적으로, 유리 기판위로 층들을 스퍼터링시키는 음극에 전류를 통하게 하기 위해 직류 전원으로부터 공급된 고전압을 사용하는 수평 진공 코팅기에 의하여 적용된다. 높은 코팅기 처리량은 음극 타깃에 높은 전력 밀도를 요한다. 이는 타깃이 특히 반응성 스퍼터링 동안 아크를 이루는 경향을 증가시킨다.

반응성 스퍼터링 동안, 아연 음극 타깃의 아크 주기는 시간에 따라 증가하고, 분말 및 박편 형태의 잔해가 타깃 표면 및 인접한 영역상에 형성된다. 결과적으로 분말, 박편 및 스플레터(splatter) 형태의 잔해가 코팅되는 기판의 표면상으로 떨어져서 이용할 수 없는 코팅 제품을 생성시킨다. 또한, 아크는 공정이 불안정하게 되는 지점까지 증가한다. 또한, 타깃 표면 영역은 규정 시간이 지나면 검게되는 경향이 있다. 이러한 검게된 영역은 비전도성으로, 스퍼터링율을 제한하고, 불균일한 코팅물을 생성시킨다.

일정 정도까지의 아크 및 잔해 형성은 스퍼터 코팅 업계의 숙련자들에게 공지된 바와 같이 주기적인 스퍼터 세정으로 감소시킬 수 있다. 스퍼터 세정을 위한 기술 중 하나는 아르곤 또는 헬륨과 같은 불활성 가스중에서 특정 시간 간격 동안 타깃을 주기적으로 스퍼터링하고 금속으로서 타깃을 스퍼터링하는 것이다. 일정 정도까지의 스퍼터 세정은 아크를 유발시키는 타깃 표면상의 산화물 형성을 감소시킨다. 타깃상의 검정 영역은 스퍼터 세정으로도 감소시킬 수 없다. 그러나, 잔해 및 아크는 타깃을 지속적으로 손상시키고, 일정 기간 후, 코팅기의 가동 휴지 시간을 증가시키고, 그 결과, 코팅기에서의 생산 시간을 감소시키게 된다. 아연 타깃은 스퍼터링 동안 빈번하게 아크되는 경향이 있기 때문에 투명하게 스퍼터링하는 것이 어렵고, 보다 오래 빈번하게 세정할 것을 필요로 한다.

본 발명의 실시에 있어서, 주석을 아연 타깃에 가하여, 상기의 결점이 제거되지 않더라도, 플래킹 잔해 양을 감소시키고, 타깃상의 분체 형성을 감소시키고, 이들이 제거되지 않더라도, 타깃 표면 영역의 검정화를 최소화시킨다. 본 발명의 아연 티깃의 잔해량 및 손상량은 순수한 아연 티깃의 경우 보다 시간에 따라 현저하게 감소한다. 결과적으로, 타깃 세정의 주기가 짧을수록 불활성 가스중의 세정 시간을 보다 단축시킬 것을 필요로 한다.

전기한 바와 같이, U.S.P.N. '771에는 주석산 아연 막, 즉 10 내지 90중량%의 아연 및 90 내지 10중량%의 주석을 갖는 주석-아연 합금의 산화물을 침착시킨 아연-주석 합금 타깃이 개시되어 있다. U.S.P.N. '771의 아연-주석 합금 음극 타깃은 산화아연 막 보다 우수한 화학적 내구성을 갖는 주석산 아연 막을 제공한다. 또한, 아연-주석 합금 음극 타깃은 보다 적은 아크 및 최소 잔해를 형성시키고, 예를 들어, 측정가능한 분말은 형성되지 않는다. 스퍼터 코팅 업계에 널리 공지되어 있는 바와 같이, 산화아연 막은 산 및 염기 용액에 손쉽게 용해되어 버리고, 주석산 아연 막은 산 또는 염기중에서 용해도가 감소한다.

본 발명의 산화아연-산화주석 막의 특성은 상세히 연구되어 있지 않지만, 하기와 같은 사실이 일어날 것으로 여겨진다. 주석의 양이 0중량%에 접근함에 따라, 침착된 막의 화학적 내구성은 감소하고, 반응성 분위기중에서 아연 타깃의 스퍼터링과 관련된 문제점이 증가한다. 주석의 양이 10중량%에 근접함에 따라, 산화아연의 화학적 내구성은 증가하고, 반응성 분위기중에서 아연 타깃을 스퍼터링하는 것과 관련된 문제점은 감소하게 된다. 산화아연-산화주석 막상에 침착되어 있는 은 막의 전기 저항은 산화아연 막상에 침착된 은 막에서와 유사할 것으로 예상된다. 본 발명의 이러한 실시태양을 실시함에 있어서, 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석을 갖는 아연 타깃이 적절한 범위이고, 주석 0.5 내지 9.5중량%가 실용적인 범위이며; 주석 4 내지 8.5중량%가 바람직한 범위이고, 주석 5 내지 9.5중량%가 보다 바람직한 범위이다. 산화아연-산화주석 막중의 주석 및 아연의중량%는 타깃중의 아연 및 주석의 중량%와 유사할 것으로 예상된다.

이로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 아연 음극중의 주석 중량%가 증가함에 따라, 침착된 막의 화학적 내구성이 증가할 것으로 예상된다. 또한, 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석을 갖는 산화주석 막의 결정성 구조는 0중량%의 주석을 갖는 산화아연 막의 결정성 구조와 동일하지 않지만 유사하다. 또한, 60 내지 90중량%의 아연 및 10 내지 40중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막은 산화아연으로서 유사한 결정성 구조를 갖는다. 따라서, 산화아연 막상에 침착되어 있는 은 막의 복사능은 60 내지 90중량%의 아연 및 10 내지 40중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막상에 침착되어 있는 은 막의 복사능과 유사할 것이다. 아연 60중량% 미만의 값에서 결정성 구조는 변하기 시작하고 복사능 및 저항력이 증가하기 시작한다. 투과형 전자 현미경에서 66중량%의 아연 및 34중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막의 경우 약한 산화아연 전자 회절 패턴이 나타났고, 47중량%의 아연 및 53중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막의 경우 무정형 구조가 나타났다.

U.S.P.N. '001 및 메란 아밥(Mahran arbab), 러셀 씨. 크리스(Russell C. Criss), 그레이 제이. 마리에티(Grey J. Marietti) 및 폴 에이. 메드윅(Paul A. Medwick)에 의해 발명의 명칭 "코팅된 물품(Coated Articles)"으로 1998년 2월 13일자로 출원된 미국 특허 출원 제09/023,746호(이하 "U.S.P.A 09/023,746"으로 칭함)에 개시되어 있는 코팅된 물품은, 75%가 산소이고 나머지가 아르곤인 분위기중에서 92중량%의 아연 및 8중량%의 주석을 갖는 음극 타깃의 스퍼터링을 포함하지만 이에 제한되지 않는 본 발명의 실시태양을 실시하여 제조될 수 있다. 또한, 상기에서 아연 티깃의 스퍼터링과 관련하여 논의한 문제점은 제거되지는 않을지라도 최소화될 것으로 예상된다.

이제 코팅 스택의 화학적 내구성을 강화시키고, 코팅 스택의 헤이즈값을 감소시키며, 적외선 반사 금속, 예를 들어, 은의 복사능을 감소시키는 방법에 대하여 논의한다. "화학적 내구성"이란 코팅물이 산 또는 염기 용액에서 쉽사리 공격받지 않는 것을 의미한다. 화학적 내구성에 대한 논의는 U.S.P.A.N. '001 및 '771을 참조할 수 있다. 헤이즈값 시험은 상기에서 논의한 바 있다.

상기의 논의로부터, 은 막의 복사능은 은 층을 산화아연 막, 산화아연-산화주석 막 또는 60 내지 90중량%의 아연 및 10 내지 40중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막상에 침착시킴으로써 감소시킬 수 있다. 또한, 상기의 논의로부터 은 막 아래 및 주석산 아연 막위에 산화아연 막을 갖는 층의 화학적 내구성은 주석을 아연 타깃에 가하여 산화아연-산화주석 막 또는 주석산 아연 막을 제공함으로써 강화시킬 수 있다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, "화학적 및 전기적 강화 막"은 산화아연-산화주석 막 및/또는 60 내지 90중량%의 아연 및 10 내지 40중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막이다. 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 막을 산화아연 막 대신에 사용하여 코팅 스택의 화학적 내구성을 강화시킬 수 있으나, 반면에 저 복사능의 은 막이 얻어질 수 있다. 예로써, 유리 기판/주석산 아연 막/산화아연 막/은 막/티탄 금속 하도막/산화아연 막/주석산 아연 막/산화아연 막/주석산 아연 막/산화 티탄 보호 오버코트를 갖는 코팅된 물품은 상기 코팅 스택의 산화아연 막(들) 중 하나 이상 또는 모두에 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 막을 사용함으로써 화학적으로 강화시킬 수 있다.

또 다른 코팅된 물품은 유리 기판/주석산 아연 막/산화아연 막/은 막/티탄 금속 하도막/산화아연 막/주석산 아연 막/산화 티탄 보호 오버코트를 포함한다. 이로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 상기 코팅(들) 중 하나 이상 또는 모두는 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 막으로 대체될 수 있다.

본 발명의 실시에 있어서, 유전체 층은 주석산 아연 막, 및 화학적 및 전기적 강화 막을 포함할 수 있다. 화학적 및 전기적 강화 막이 주석산 아연인 경우, 주석산 아연 막과 화학적 및 전기적 강화 막중의 주석산 아연 막의 조성 차이는 5중량% 이상이다. 본 발명에 제한되지 않는 예로써, 58중량%의 아연 및 42중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막을 63 내지 90중량%의 아연 및 10 내지 37중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막(화학적 및 전기적 강화된 막)과 함께 사용할 수 있다.

지금부터는 화학적 및 기계적 내구성이 있는 코팅 스택과, 이 코팅 스택을, 예를 들어(본 발명에만 한정되지 않음), 실온 초과 1,350 ℉(732 ℃) 미만의 온도로 승온시켜 헤이즈값을 감소시킨 코팅 스택을 제공하는 본 발명의 실시태양에 관하여 논의할 것이다. 당업계의 숙련자들에게 이해될 수 있는 바와 같이, 하기에 논의한 코팅물은 단지 예시의 목적으로 제공되는 것으로서 본 발명을 제한하는 것은 아니다. 하기의 표 1은 본 발명의 실시에 사용할 수 있는 코팅 스택 중 몇 가지의 실시태양을 제공한다. 그러나, 이해될 수 있는 바와 같이, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다.

코팅시료

기판

막

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

1

X

2

X

3

X

4

X

5

X

6

X

7

X

8

X

9

X

A

B

C

D

E

F

G

H

층

좌측 두 번째 컬럼은 "기판"으로 표제를 붙였다. 기판의 재료는 본 발명으로 제한되지 않으며, 임의의 재료, 예를 들어, 유리, 유리섬유, 플라스틱, 금속, 나무 또는 세라믹으로 제조될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시태양에서 제조된 유형의 물품은 주거용 및 상업용 건물, 육상, 항공, 우주, 수상, 물위 및 수중 운송 수단용으로 투명해야 하므로, 기판은 바람직하게는 투명하고, 유리, 및 가요성이고 강성인 플라스틱으로 제조된다. 유리는 사용시 투명하거나 엷은 빛깔일 수 있고, 유리의 형태는 본 발명에서 제한되지는 않는다. 코팅된 물품은 승온에서 실시될 것으로 여겨지므로, 선택된 기판은 승온을 견딜 수 있어야 한다. 본 발명자들의 논의에 있어서, 기판은 유리 시트 또는 단편이나, 이에 제한되지는 않는다.

1-12로 넘버링된 컬럼은 막이고, A-H로 라벨링된 컬럼은 본 발명의 특징을 포함하는 코팅 스택의 층들이다. 층들(표 1의 하부 참조)은 표 1에 나타낸 바와 같이 1 내지 3개의 막을 포함한다. 층 A, D 및 G는 유전체 층이다. 층 A, D 및 G중 유전체 막의 반사 지수는 바람직하게는 투명 기판의 반사 지수 보다 커서 적외선 반사층을 반사방지시킨다. 본 발명은 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 막과 조합하여 사용될 수 있는 유전체 막의 형태를 제한하지 않는다. 본 발명의 실시에 사용될 수 있는 유전체 막은 산화아연-산화주석, 산화 규소, 질화 규소, 및 규소 옥시니트라이드를 포함하나, 이에 제한되는 것은 아니다. 층 A, D 및 G의 막 1, 6 및 11은 각각 52중량%의 아연 및 48중량%의 주석을 갖는 주석산 아연 막인 것이 바람직하다. 층 A, D 및 G의 막 2, 5, 7 및 10은 각각 산화아연 막이거나, 본 발명의 화학적 및 전기적 강화 막일 수 있다. 다음의 논의에 있어서, 기판은 소다-석회-규산염 투명 유리이고 1.5의 반사 지수를 갖는다. 당업계에 공지되어 있는 바와 같이, 막 및 층의 두께를 변화시켜 코팅된 물품의 색상을 변화시키거나, 코팅물에 천연색을 제공할 수 있다. 본 발명의 실시에 있어서, 유전체 층 및/또는 막은 600±500Å 범위의 두께를 갖는 것으로 여겨진다. 산화아연 막 또는 화학적 및 전기적 강화 막의 두께는 그위에 침착되는 은 막의 결정 구조에 영향을 미칠 정도로 충분하여야 한다.

층 B 및 E 의 막 3 및 8은 각각 적외선 반사 막이고, 적외선 에너지를 반사하는 임의의 재료, 예를 들어, 금, 은 및 알루미늄으로 제조될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 본 발명의 실시에 있어서는 은이 바람직하다. 은의 두께는 본 발명에 제한되지 않고, 저 복사능의 투명 코팅물을 제공하도록 선택된다. 200±150Å, 바람직하게는 100±25Å의 두께를 갖는 은 막을 본 발명의 실시에 사용할 수 있다.

층 C 및 F의 막 4 및 9는 각각 (1) 적외선 금속 층을 유전체 막의 스퍼터링 동안의 산화로부터 보호하고, (2) 적외선 반사층을 고온 가공 동안 보호하며, (3) 가열 동안 코팅 스택중에 헤이즈값 형성을 감소시키고(거나), (4) 코팅 스택에 코팅된 물품을 이송하기 위한 기계적 내구성을 제공하는 작용을 하는 하도막이다. 하도막은 당업계에 공지된 임의의 형태, 예를 들어, 1998년 12월 8일 출원된 미국 특허 출원 제09/215,560(개시내용은 본원에 참고로 인용됨)에 개시되어 있는 형태인 티탄 또는 세라믹과 같은 금속일 수 있다. 본 발명의 실시에 있어서, 하도층은 바람직하게는 티탄이다.

층 H의 막 12는 이송 및 저장 동안 코팅 스택에 추가의 화학적 및 기계적 내구성을 제공하는 보호 막이다. 본 발명은 보호 막의 형태로 제한되지는 않으며, 당업계에 공지된 임의의 형태, 예를 들어, 티탄, 이산화티탄, 산화규소, 이산화규소, 알루미늄 질화규소를 사용할 수 있다. 또한, 하나 이상의 보호 막을 사용할 수도 있다. 예를 들어, 이산화 티탄 막상에 산화아연 막을 사용할 수 있으나, 본 발명으로 제한되지는 않는다. 층 H의 두께는 본 발명으로 제한되지는 않으나, 이 두께는 보호를 제공할 만큼 충분히 두꺼워야 한다.

표 1의 시료에 대하여 상세히 논의하기 전에, 본 발명을 보다 잘 이해하기 위하여 하기의 배경 정보를 제공한다.

상기에서 논의한 바와 같이, 산화아연 막을 사용하여, 60중량% 미만의 아연 및 40중량% 초과의 주석을 갖는 주석산 아연층상에 침착되어 있는 은 층 보다 낮은 저항성 및 복사능을 갖는 은 층을 제공한다.

U.S.P.N. '001에는 하도층의 두께를 증가시켜 코팅된 물품의 기계적 내구성을 강화시킴으로써 코팅된 물품을 이송가능하게 하는 방법이 개시되어 있다. 보다 구체적으로는, U.S.P.N. '001에는 코팅된 물품이 제조 동안 열처리하기 위해 노출될 경우, 이 지점에서 하도층이 너무 얇게 되거나 너무 두껍게될 수 있다는 사실이 개시되어 있다. 너무 얇은 하도층은 반사성 금속 막을 고온에서의 산화로부터 보호하는데 부족하기 때문에, 코팅된 물품을 열처리하는데 이용할 수 없고, 전단 저항이 열악하게 되어 물품을 이후의 열처리동안 장거리 이송하는데 부적합하게 만들 수 있다. 너무 두꺼운 하도층은 열처리 후 코팅된 물품중에 바람직하지 않은 헤이즈값을 형성시키고, 또한 열처리에 부적합하게 만든다. 그러나, 한계는 이들 막이 가열 후 헤이즈값을 갖는다는 것이다.

유전체 막 및 하도층을 선택함으로써 가열 후 헤이즈값이 감소된 코팅 스택을 제조할 수 있다는 사실이 밝혀졌다. 가열되지 않고 이송되는 코팅된 물품에 있어서, 하도층은 오버레이된 유전체 막 또는 층을 은 층상에 침착시키는 동안 은을 보호하는데 충분하게 두꺼워야 한다. 하도층의 두께는 8 내지 12Å으로 충분하다. 하도층의 두께는, 코팅된 물품의 가열 동안 은을 보호하게될 때 증가된다. 20±5Å의 두께가 사용가능하다.

헤이즈값이 감소된 이송가능하고 열처리가능한 코팅된 물품에 있어서, 하도막의 두께를 조절하여 유전체 층 또는 막을 정렬시킨다. 본 발명의 교시내용에 따라, 하도층의 두께는 18 내지 32Å, 바람직하게는 18 내지 40Å으로, 가열 후 헤이즈값이 감소된 코팅 스택을 제공하는데 적합하다. 하기의 실시예로 본 발명을 예시한다.

하기의 논의에 있어서, 금속 하도층의 두께는 침착된 그대로이다. 이해할 수 있는 바와 같이, 이 두께는 가열 후 증가하여 티탄 금속 하도막 대 이산화 티탄의 비율을 변경시킨다. "XRF 방법"으로 언급되는 방법은 U.S.P.N. '001에 논의되어 있다. 일반적으로, XRF 방법을 사용하여 금속 층의 두께를 측정한다. XRF 방법은 눈금이 정해진 x-선 형광 기구를 사용하여 코팅물의 단위 면적 당 금속의 중량(즉, ㎍/cm²)을 측정한다. XRF 방법은 금속 막이 그의 벌크 형태 만큼 조밀한 것으로 가정한다. 이어서, 이러한 가정하에서, 금속 막의 단위 면적 당 측정된 중량을 벌크 밀도를 사용하여Å 두께로 전환시킨다. 완전하게 하기 위해서는, 스퍼터링된 금속 막이 종종 그에 상응하는 벌크 금속 보다 덜 조밀하여 전술한 가정이 항상 정확하게 맞지 않고, XRF 방법이 몇몇의 경우 이러한 밀도 편차로 인하여 금속 막의 두께를 과소평가할 수 있다는 사실에 주목하여야 한다. 따라서, 금속 박막에 있어서, 단위 면적 당 중량(㎍/cm²)의 초기 측정값이 벌크 밀도를 기준으로 한 두께로 전환한 값보다 더 정확하다. 그럼에도 불구하고, XRF 방법은 코팅물중의 층들의 상대 두께를 비교하는데 유용한 근사값을 제공한다.

하기의 논의에 있어서, 유전체 층 및/또는 막의 두께는 주어진 범위내이다. 당업계의 숙련자들에게 이해될 수 있는 바와 같이, 이 범위는 본 발명에 제한되지 않으며, 이 두께는 목적하는 색상의 코팅 스택을 제공하도록 선택될 수 있다.

<실시예 1>

본 실시예 1은 표 1의 시료 1에 대한 것이다. 시료 1은 이송가능하고 열처리가능한 코팅된 물품이다. 코팅물은 단일 적외선 반사층을 갖는 고 투과성, 저 복사능의 코팅된 물품이다. 투명 유리 기판; (1) 52중량%의 아연 및 48중량%의 주석을 갖고 두께가 260±40Å인 주석산 아연 막(이하 52-48 주석산 아연 막으로 칭함), 및 (2) 90중량%의 아연 및 10중량%의 주석을 갖고 두께가 80±45Å인 주석산 아연 막(이하 90-10 주석산 아연 막으로 칭함)을 포함하는, 상기 기판상에 침착된 유전체 반사방지 층,

상기 90-10 주석산 아연 막상에 침착되어 있는 115±15Å의 두께를 갖는 은 막,

금속 반사성 막상에 침착되어 있는 24 내지 28Å의 두께를 갖는 티탄 하도막,

하도층 금속 산화물상에 침착되어 있는 230±60Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막을 포함하는, 상기 티탄 하도막상에 침착되어 있는 유전체 반사방지 상부층, 및

상기 52-48 주석산 아연층 또는 막상에 침착되어 있는 36±7Å의 두께를 갖는 산화 티탄층

을 포함하는 시료 1의 코팅 스택을 갖는 제품을 제조하였다.

<실시예 2>

본 실시예 2는 표 1의 시료 2에 대한 것이다. 헤이즈값이 감소된 이송가능하고 열처리가능한 코팅된 물품을 제조하였다. 코팅된 물품은 유리 기판/약 230±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막 및 80±40Å의 두께를 갖는 산화아연 막으로 이루어진 층; 110±10Å의 두께를 갖는 은 막; 18 내지 23Å, 바람직하게는 19.5Å의 두께를 갖는 티탄 금속 하도막; 820±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막; 110±10Å의 두께를 갖는 은 막; 18 내지 31Å, 바람직하게는 25Å의 두께를 갖는 금속 하도막; 200±20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막; 및 29±3Å의 두께를 갖는 티탄 막을 포함한다.

<실시예 3>

본 실시예 3은 표 1의 시료 3에 대한 것이다. 코팅된 물품을 제조하지는 않았으나, 하기의 코팅된 물품이 헤이즈값이 감소된 이송가능하고 열처리가능할 것으로 여겨진다. 실시예 3은 투명 유리 기판; 유리 기판상에 침착된 310±20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막을 포함하는, 상기 유리 기판상에 침착된 유전체 반사방지 기재층; 상기 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 110±10Å의 두께를 갖는 제1 은 막; 상기 제1 은 막상에 침착된 18 내지 29Å의 두께를 갖는 제1 티탄 하도막; 상기 제1 하도막상에 침착된 80±40Å의 두께를 갖는 산화아연 막, 이 산화아연 막상에 침착된 740±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막을 포함하는, 상기 제1 하도막상에 침착된 유전체 반사방지 중간층; 상기 중간층중의 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 110±10Å의 두께를 갖는 제2 은 막; 제2 은 막상에 침착된 18 내지 31Å의 두께를 갖는 제2 티탄 하도막; 200±20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막인, 제2 하도막상에 침착된 유전체 반사방지 상부층; 및 상기 유전체 상부층의 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 29±3Å의 두께를 갖는 티탄 금속 보호층을 포함한다.

<실시예 4>

본 실시예는 표 1의 시료 4에 대한 것이다. 이송가능하고 열처리가능하며 헤이즈값이 감소된 실시예 4의 코팅된 물품을 제조하였다. 실시예 4의 코팅된 물품은 투명 유리 기판; 상기 유리 기판상에 침착된 310±20Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막; 상기 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 110±10Å의 두께를 갖는 제1 은 막; 상기 제1 은 막상에 침착된 18 내지 29Å, 바람직하게는 22.5Å의 두께를 갖는 제1 티탄 하도막; 상기 제1 티탄 하도막상에 침착된 840±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연막; 상기 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 110±10Å의 두께를 갖는 제2 은 막; 상기 제2 은 막상에 침착된 18 내지 32Å, 바람직하게는 21.5Å의 두께를 제2 티탄 하도막; 상기 제2 티탄 하도막상에 침착된 80±40Å의 두께를 갖는 산화아연 막; 상기 산화아연 막상에 침착된 120±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막; 상기 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 29±3Å의 두께를 갖는 티탄 오버코트를 포함한다.

<실시예 5>

본 실시예 5는 표 1의 시료 5에 대한 것이다. 코팅된 물품을 제조하지는 않았으나, 코팅된 물품이 이송 및 열처리에 적합하며 헤이즈값이 감소되었을 것으로 예상된다. 실시예 5의 코팅된 물품은 시료 5가 기판상에 침착된 230±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막 및 상기 52-48 주석산 아연 막상에 침착된 80±40Å의 두께를 갖는 산화아연 막을 갖는 것을 제외하고는 실시예 3과 유사한 막 및 층을 포함한다. 제1 은 층상의 제1 티탄 하도막은 18 내지 29Å의 두께를 갖고; 제2 은 층상의 제2 티탄 하도막은 18 내지 31Å의 두께를 갖는다. 시료 5의 나머지층은 표에 나타낸 바와 같고, 실시예 3에 기술한 것과 동일한 막에 대해 동일한 조성 및 두께를 갖는다.

<실시예 6>

본 실시예 6은 표 1의 시료 6에 대한 것이고, 이송가능하고 열처리가능하고 헤이즈값이 감소된 코팅된 물품을 제조하였다. 코팅 스택은 80±40Å의 두께를 갖는 산화아연 막이 제2 티탄 하도막상에 침착되어 있고, 120±40Å의 두께를 갖는 52-48 주석산 아연 막이 산화아연 막상에 침착되어 있는 것을 제외하고는 실시예 2의 코팅 스택과 유사하다. 제1 티탄 하도층은 19 내지 26Å, 바람직하게는 19.5Å의 두께를 갖고, 제2 하도층은 21.5 내지 31Å, 바람직하게는 25Å의 두께를 가졌다. 표중에서 시료 6에 나타낸 바와 같이 실시예 6에 대한 나머지 막/층의 조성 및 두께는 실시예 2에서 기술한 바와 같다.

<실시예 7>

본 실시예 7은 표 1의 시료 7에 관한 것으로, 가열에 의해 헤이즈값이 감소된 이송가능하고 열처리가능한 코팅 스택을 제조하였다. 시료 7의 코팅 스택은 80±40Å의 두께를 갖는 산화아연 막을 제2 티탄 막상에 침착시키고, 52-48 주석산 아연 막을 산화아연 막상에 침착시킨 것을 제외하고는 실시예 3의 코팅 스택과 유사하다. 제1 티탄 하도층은 22 내지 26Å, 바람직하게는 22.5Å의 두께를 갖고, 제2 티탄 하도층을 18 내지 25Å, 바람직하게는 21.5Å의 두께를 가졌다. 표중에서 시료 7에 대해 나타낸 바와 같이 실시예 7에 대한 나머지 막/층의 조성 및 두께는 실시예 2에서 기술한 바와 같다.

<실시예 8>

본 실시예 8은 표 1의 시료 8에 대한 것이다. 헤이즈값이 감소된 이송 및 열처리에 적합한 코팅된 물품을 제조하였다. 이 실시예 8의 코팅된 물품은 투명 유리 기판상에 침착된 코팅 스택이다. 코팅 두께 및 막의 침착 순서는 유리 기판상에 침착된 막 1에 따른다.

<표 2>

표로부터의 막 번호	막 조성	막 두께
1	52-48 주석산 아연	230±40Å
2	산화아연	80±40Å
3	제1 은	110±30Å
4	제1 티탄 하도제	17-26Å, 바람직하게는 19.5Å
5	산화아연	80±40Å
6	52-48 주석산 아연	740±40Å
8	제2 은 막	110±30Å
9	제2 티탄 하도제	18-31Å, 바람직하게는 28Å
10	산화아연	80±40Å
11	52-48 주석산 아연	120±40Å
12	티탄 금속 오버코트	29±3Å

상기의 코팅을 갖는 코팅 유리를 자동차 앞면유리를 제작하는데 사용하였다. 코팅 유리를 일정 크기로 절단하고, 가열하여 코팅 유리로 형상화시킨 후, 또다른 형상 유리에 적층시켜 자동차 앞면유리를 제조하였다. 적층체의 투명도는 70% 초과였고, 적외선 에너지를 반사시켰다. 앞면유리는 당업계에 공지되어 있는 방법으로 제조하였다. 또한, 자동차 앞면유리용 코팅 유리에는 산화아연 막 대신에 90-10 주석산 아연을 사용하였다. 코팅된 물품은 표 2에 기술한 범위의 막 두께를 가졌다.

이해될 수 있는 바와 같이, 표 2에 나타낸 하도층의 두께는 음극 및 스퍼터링 장치에 따라 변할 수 있다. 예를 들어, 헤이즈값이 감소된 이송가능하고 열처리가능한 코팅 스택은 18±0.5Å의 두께를 갖는 제1 티탄 하도막과 22±1Å의 두께를 갖는 제2 티탄 하도막으로 제조되었다.

<실시예 9>

본 실시예 9는 표의 시료 9에 관한 것으로, 제조된 코팅된 물품에 관한 것이다. 코팅된 물품은 감소된 헤이즈값을 갖고 이송가능하고 열처리가능하였다. 실시예 9의 코팅된 물품은 투명 유리 기판상에 침착된 코팅 스택이다. 코팅 두께 및 막의 침착 순서는 유리 기판상에 침착된 막 1에 따른다.

<표 3>

표로부터의 막 번호	막 조성	막 두께
1	52-48 주석산 아연	230±40Å
2	90-10 주석산 아연	80±40Å
3	제1 은	107±30Å
4	제1 티탄 하도제	17-24Å, 바람직하게는 21.5Å
5	90-10 주석산 아연	80±40Å
6	52-48 주석산 아연	600±100Å
7	90-10 주석산 아연	80±30Å
8	제2 은	127±30Å
9	티탄 금속 하도제	20-26Å, 바람직하게는 22.5Å
10	90-10 주석산 아연	80±40Å
11	52-48 주석산 아연	160±60Å
12	산화티탄 오버코트	45±15Å

이로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 90-10 주석산 아연 막, 산화아연 막 및 산화아연-산화주석 막을 서로 상호교환하거나 대체하여 감소된 헤이즈값을 갖고 이송가능하고 열처리가능한 코팅된 물품을 수득할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시에 있어서는 90-10 주석산 아연 막이 바람직하다.

이해될 수 있는 바와 같이, 막의 두께는 본 발명으로 제한되지 않으며, 당업계에 공지되어 있는 바와 같은 목적하는 색상의 코팅된 물품을 제공하도록 선택될 수 있다. 또한, 본 발명의 모든 실시예의 막들을 상호교환하여 본 발명의 특징을 달성할 수도 있다. 자동차용 앞면유리, 주거용 및 상업용 창문 및 다른 투명 용도를 위한 코팅 유리 시트의 가열에 대한 전반적인 논의는, 이러한 기술이 당업계에 공지되어 있고 본 발명의 실시에 사용될 것으로 이해될 수 있기 때문에 기술하지 않았다.

본 발명은 상기에 나타낸 실시예들로 제한되지 않으며, 하기에 기재된 청구의 범위와 법에서 허용하는 동등한 범위에 의해 정의된 바와 같이, 본 발명의 취지 및 보다 넓은 양태를 벗어나지 않고 다양하게 변화 및 변경시킬 수 있다.

Claims

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기판,

상기 기판상에 침착된 하나 이상의 유전체 층 스퍼터, 및

상기 하나 이상의 유전체 층상에 침착된 하나 이상의 적외선 반사층을 포함하고;

상기 하나 이상의 유전체 층 스퍼터가 i) 산화아연, 산화규소, 산화주석, 질화규소, 규소 옥시니트라이드, 또는 10중량% 이상 90중량% 이하의 아연 및 90중량% 이하 10중량% 이상의 주석을 갖는 아연과 주석의 합금의 산화물중 하나 이상의 막을 포함하는 제1 유전체 막, 및 ii) 상기 제1 유전체 막상에 침착된, 0중량% 초과 10중량% 미만의 주석 및 대부분의 나머지 아연을 갖는 산화아연-산화주석 막을 하나 이상 포함하는 제2 유전체 막을 포함하는

코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

상기 적외선 반사층이 은이고, 제2 유전체 막이 전기적 강화 막으로서 산화아연-산화주석 막인 코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

제1 적외선 반사층, 및 제1 및 제2 유전체 층을 포함하고;

금속 하도층을 추가로 포함하며;

코팅된 물품이 기판상에 침착된 제1 유전체 층, 상기 제1 적외선 반사층상에 침착된 금속 하도층 및 상기 하도층상에 침착된 제2 유전체 층인 것을 특징으로 하는

코팅된 물품.
제 40 항에 있어서,

상기 금속 하도층이 제1 금속 하도층이며;

상기 제2 유전체 층상에 침착된 제2 적외선 반사층,

상기 제2 적외선 반사층상에 침착된 제2 금속 하도층, 및

상기 제2 금속 하도층상에 침착된 제3 유전체 층을 추가로 포함하는

코팅된 물품.
제 41 항에 있어서,

상기 기판상의 마지막 층으로서 보호층을 추가로 포함하는 코팅된 물품.
제 41 항에 있어서,

상기 제3 유전체 층이 60중량% 이상 90중량% 이하의 아연 및 10중량% 이상 및 40중량% 이하의 주석을 갖는 제1 유전체 막을 포함하는 코팅된 물품.
제 41 항에 있어서,

상기 기판이 유리 시트이고;

상기 제1 유전체 층의 제1 유전체 막이 상기 유리 시트상에 침착된 230±40Å의 두께를 갖고;

상기 제1 유전체 층의 제2 유전체 막이 상기 제1 유전체 층의 제1 유전체 막상에 침착된 80±40Å의 두께를 갖고;

상기 제1 적외선 반사 금속층이 상기 제1 유전체 층의 제2 유전체 막상에 침착된 110±30Å의 두께를 갖는 제1 은 막이고;

상기 제1 금속 하도층이 상기 제1 은 층상에 침착된 17 내지 26Å의 두께를 갖는 티탄 함유 막이고;

상기 제2 유전체 층의 제1 유전체 막이 상기 티탄 함유 막상에 침착된 80±40Å의 두께를 갖고;

상기 제2 유전체 층의 제2 유전체 막이 상기 제2 유전체 층의 제1 유전체 막상에 침착된 740±40Å의 두께를 갖고;

상기 제2 적외선 반사 금속층이 상기 제2 유전체 층의 제2 유전체 막상에 침착된 110±38Å의 두께를 갖는 제2 은 막이고;

상기 제2 금속 하도층이 상기 제2 은 층상에 침착된 18 내지 31Å의 두께를 갖는 티탄 함유 막이고;

상기 제3 유전체 층의 제1 유전체 막이 상기 제2 티탄 함유 막상에 침착된 80±40Å의 두께를 갖고;

상기 제3 유전체 층의 제2 유전체 막이 상기 제3 유전체 층의 제1 유전체 막상에 침착된 120±40Å의 두께를 갖고;

상기 제3 유전체 층상에 침착된 29±3Å의 두께를 갖는 티탄 함유 막의 보호층을 추가로 포함하는

코팅된 물품.
제 40 항에 있어서,

상기 제2 유전체 층의 제1 유전체 막이 60중량% 이상 90중량% 이하의 아연 및 10중량% 이상 40중량% 이하의 주석을 갖는 코팅된 물품.
제 40 항에 있어서,

상기 제2 유전체 층이 제2 유전체 막상에 침착된 제3 유전체 막을 추가로 포함하는 코팅된 물품.
제 46 항에 있어서,

상기 제2 유전체 층의 제3 유전체 막이 산화아연 막, 산화아연-산화주석 막, 및 아연과 주석의 합금의 산화물 막으로 구성된 군으로부터 선택된 코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

코팅된 물품이 투명 물품인 코팅된 물품.
제 48 항에 있어서,

코팅된 물품이 자동차용 투명 물품인 코팅된 물품.
제 49 항에 있어서,

자동차용 투명 물품이 적층된 한 쌍의 유리 시트를 갖고, 그 시트중 하나가 코팅물을 갖는 기판인 자동차용 앞면유리인 코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

하나의 적외선 반사층 및 하나의 유전체 층을 포함하고;

금속 하도층, 및

상기 하도층상에 침착된 10 내지 90중량%의 아연 및 90 내지 10중량%의 주석을 갖는 아연과 주석의 합금의 산화물의 막을 추가로 포함하고;

코팅된 물품이 상기 기판상에 침착된 유전체 층, 상기 유전체 층상에 침착된 적외선 반사층, 상기 적외선 반사층상에 침착된 금속 하도층 및 상기 금속 하도층상에 침착된 산화물 막인 것을 특징으로 하는

코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

제1 및 제2 적외선 반사층, 및 제1, 제2 및 제3 유전체 층을 포함하고;

제1 및 제2 금속 하도층, 및

10 내지 90중량%의 아연 및 90 내지 10중량%의 주석을 갖는 아연과 주석의 합금의 산화물의 막을 추가로 포함하고;

코팅된 물품이 상기 기판상에 침착된 제1 유전체 층, 상기 제1 유전체 층상에 침착된 제1 적외선 반사층, 상기 제1 적외선 반사층상에 침착된 제1 금속 하도층, 상기 제1 금속 하도층상에 침착된 산화물 막, 상기 산화물 막상에 침착된 제2 유전체 층, 상기 제2 유전체 층상에 침착된 제2 적외선 반사층, 상기 제2 적외선 반사층상에 침착된 제2 하도층, 및 상기 제2 하도층상에 침착된 제3 유전체 층인 것을 특징으로 하는

코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

제1 및 제2 적외선 반사층, 및 제1 및 제2 유전체 층을 포함하고;

제1 및 제2 금속 하도층, 및

10 내지 90중량%의 아연 및 90 내지 10중량%의 주석을 갖는 아연과 주석의 합금의 산화물의 막을 추가로 포함하고;

코팅된 물품이 상기 기판상에 침착된 제1 유전체 층, 상기 제1 유전체 층상에 침착된 제1 적외선 반사층, 상기 제1 적외선 반사층상에 침착된 제1 금속 하도층, 상기 제1 금속 하도층상에 침착된 제2 유전체 층, 상기 제2 유전체 층상에 침착된 제2 적외선 반사층, 상기 제2 적외선 반사층상에 침착된 제2 하도층, 및 상기 제2 하도층상에 침착된 아연과 주석의 합금의 산화물 막인 것을 특징으로 하는

코팅된 물품.
제 38 항에 있어서,

제1 및 제2 적외선 반사층, 및 제1 및 제2 유전체 층을 포함하고;

제1 및 제2 금속 하도층, 및

10 내지 90중량%의 아연 및 90 내지 10중량%의 주석을 갖는 아연과 주석의 합금의 산화물의 막을 추가로 포함하고;

코팅된 물품이 상기 기판상에 침착된 제1 유전체 층, 상기 제1 유전체 층상에 침착된 제1 적외선 반사층, 상기 제1 적외선 반사층상에 침착된 제1 금속 하도층, 상기 제1 금속 하도층상에 침착된 아연과 주석의 합금의 산화물 막, 상기 아연과 주석의 합금의 산화물 막상에 침착된 제2 적외선 반사층, 제2 적외선 반사층상에 침착된 제2 하도층, 및 제2 하도층상에 침착된 제2 유전체 층인 것을 특징으로 하는

코팅된 물품.
유리 기판상에 침착된 제1 유전체 층,

상기 제1 유전체 막상에 침착된 제1 적외선 반사 금속 층,

상기 제1 적외선 반사 금속 층상에 침착된 제1 금속 하도층,

상기 제1 금속 하도층상에 침착된 제2 유전체 층,

상기 제2 유전체 층상에 침착된 제2 적외선 반사층,

상기 제2 적외선 반사층상에 침착된 제2 금속 하도층,

상기 제2 금속 하도층상에 침착된 제3 유전체 층, 및

상기 제3 유전체 층의 제1 주석산 아연 막상에 침착된 보호막을 갖는

코팅물을 유리 기판상에 적용시키고;

상기 코팅된 기판을 그의 굽힘 온도까지 가열한 후 코팅물이 감소된 헤이즈(haze)를 갖는 것을 포함하는 처리를 하여 코팅된 앞면유리 블랭크를 제공하고;

코팅된 블랭크를 또다른 유리 단편에 적층시켜 자동차용 앞면유리를 제공하는 것을 포함하는 자동차용 투명 용품의 제조 방법으로서,

상기 하나 이상의 유전체 층이 산화아연, 산화주석 및 제1 주석산 아연 막으로 이루어진 군으로부터 선택된 제1 유전체 막, 및 상기 제1 주석산 아연 막과 상이한 조성을 갖고 10 내지 90중량%의 아연 및 90 내지 10중량%의 주석의 조성을 갖는 제2 주석산 아연 막을 포함하는 제2 유전체 막을 포함하는 방법.