KR100650365B1 - 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법 - Google Patents
그레이톤 마스크의 결함 수정 방법 Download PDFInfo
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- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 수정하는 공정;상기 수정 후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정 후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하고,상기 바림 처리는 상기 그레이톤 마스크의 장상 패턴이 모두 해상되지 않게 되는 조건을 바림 조건으로서 설정하고,수정 패턴을 포함하는 그레이톤부에 상기 바림 조건의 바림 처리를 실시하여 행하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 수정하는 공정;상기 수정 후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정 후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하고,상기 바림 처리는 상기 그레이톤 마스크의 장상 패턴이 거의 균일한 밝기가 되는 조건을 바림 조건으로서 설정하고,수정 패턴을 포함하는 그레이톤부에 상기 바림 조건의 바림 처리를 실시하여 행하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 9항에 있어서, 상기 정상 패턴을 포함하는 그레이톤부에 상기 바림 조건의 바림 처리를 행할 때, 상기 정상패턴으로 이루어진 그레이톤부에 대하여 일정 이상 밝은 또는 일정 이상 어두운 부분을 가지는 수정 패턴부분의 농도, 면적, 또는 위치에 기초하여 평가하는 것을 포함하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 상기 그레이톤부의 정상적인 패턴과는 다른 형상 또는 배열의 수정 패턴을 형성함으로써 수정하는 공정;상기 수정후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생된 결함을 상기 그레이톤 마스크의 기판의 광투과율을 저하시키는 것을 수반하여 수정하는 공정;상기 수정후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항에 있어서, 상기 결함을 수정하는 공정은 레이저 조사에 의해 막을 제거하는 또는 레이저 조사에 의해 막을 성막하는 공정중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항 내지 13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 평가결과에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부에 대하여 상기 결함을 수정하는 공정을 다시한번 행하는 것을 다시한번 수정하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항 내지 13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 그레이톤부는 그레이톤 마스크를 사용하는 노광기의 해상한계 이하의 차광패턴을 형성한 영역인 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 15항에 있어서, 상기 그레이톤부는 정상 패턴에 있어서 반복 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항 내지 13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 결함을 수정하는 공정과 전사 이미지를 작성하는 공정은 동일 장치로 행하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항 내지 13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 수정후의 그레이톤부는 정상패턴과 근사형상의 패턴 또는 정상패턴과 동등한 그레이톤 효과를 발휘하지만 다른 형상 또는 배열의 수정 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항 내지 13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 바림 처리는 상기 수정후의 그레이톤부를 포함하는 화상을 디포커스 처리하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 제 8항 내지 13항중 어느 한 항에 있어서, 그레이톤 마스크가 LCD 제조용 마스크 또는 표시 디바이스 제조용 마스크인 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 제조방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 수정하는 공정;상기 수정후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하고,상기 바림 처리는 상기 그레이톤 마스크의 정상 패턴이 모두 해상되지 않게 되는 조건을 바림 조건으로서 설정하고,수정 패턴을 포함하는 그레이톤부에 상기 바림 조건의 바림 처리를 실시하여 행하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 제조방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 제조방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 수정하는 공정;상기 수정후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하고,상기 바림 처리는 상기 그레이톤 마스크의 정상 패턴이 거의 균일한 밝기가 되는 조건을 바림 조건으로서 설정하고,수정 패턴을 포함하는 그레이톤부에 상기 바림조건의 바림 처리를 실시하여 행하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 제조방법.
- 제 22항에 있어서, 상기 수정패턴을 포함하는 그레이톤부에 상기 바림 조건의 바림 처리를 행할 때, 상기 정상패턴으로 이루어진 그레이톤부에 대하여, 일정 이상 밝은 또는 일정 이상 어두운 부분을 가지는 수정패턴 부분의 농도, 면적, 또는 위치에 기초하여 평가하는 것을 포함하는 그레이톤 마스크의 제조방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 제조방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 상기 그레이톤부의 정상적인 패턴과는 다른 형상 또는 배열의 수정 패턴을 형성함으로써 수정하는 공정;상기 수정후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 제조방법.
- 투과량을 조정한 영역으로서 이 영역을 투과하는 광의 투과량을 저감하여 포토 레지스트의 막 두께를 선택적으로 바꾸는 것을 목적으로 하는 그레이톤부와, 차광부와, 투과부를 가지는 그레이톤 마스크의 제조방법으로서,상기 그레이톤부에서 발생한 결함을 상기 그레이톤 마스크의 기판의 광투과율을 저하시키는 것을 수반하여 수정하는 공정;상기 수정후의 그레이톤부의 화상에 바림 처리를 실시하여 전사 이미지를 작성하는 공정; 및상기 전사 이미지에 기초하여 상기 수정후의 그레이톤부를 평가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이톤 마스크의 제조방법.
- 제 21항 내지 25항중 어느 한 항의 제조방법에 따른 그레이톤 마스크와 노광기를 이용하여 행하는 것을 특징으로 하는 패턴 전사방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003103784A JP4294359B2 (ja) | 2003-04-08 | 2003-04-08 | グレートーンマスクの欠陥修正方法 |
JPJP-P-2003-00103784 | 2003-04-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040087947A KR20040087947A (ko) | 2004-10-15 |
KR100650365B1 true KR100650365B1 (ko) | 2006-11-27 |
Family
ID=33466787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040024060A KR100650365B1 (ko) | 2003-04-08 | 2004-04-08 | 그레이톤 마스크의 결함 수정 방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4294359B2 (ko) |
KR (1) | KR100650365B1 (ko) |
CN (1) | CN1261818C (ko) |
TW (1) | TWI232488B (ko) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4704793B2 (ja) * | 2005-04-06 | 2011-06-22 | オリンパス株式会社 | 外観検査装置 |
JP4736818B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2011-07-27 | 大日本印刷株式会社 | 階調をもつフォトマスクの欠陥修正方法および階調をもつフォトマスク |
TWI388923B (zh) * | 2006-02-02 | 2013-03-11 | Hoya Corp | 灰階光罩的缺陷修正方法以及灰階光罩 |
JP5036349B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2012-09-26 | Hoya株式会社 | グレートーンマスクの欠陥修正方法及びグレートーンマスクの製造方法 |
JP2008216590A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥検査方法及び欠陥検査装置、フォトマスクの欠陥検査方法、グレートーンマスクの製造方法、並びにパターン転写方法 |
TWI431408B (zh) * | 2007-07-23 | 2014-03-21 | Hoya Corp | 光罩資訊之取得方法、光罩之品質顯示方法、顯示裝置之製造方法以及光罩製品 |
TWI446105B (zh) * | 2007-07-23 | 2014-07-21 | Hoya Corp | 光罩之製造方法、圖案轉印方法、光罩以及資料庫 |
KR101264114B1 (ko) | 2007-08-31 | 2013-05-13 | 삼성전자주식회사 | 포토마스크 레이아웃의 생성 방법 및 이를 수행하는프로그래밍된 명령을 저장하는 컴퓨터에서 판독 가능한저장 매체 및 마스크 이미징 시스템 |
JP5045394B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2012-10-10 | 大日本印刷株式会社 | 階調マスクの欠陥修正方法 |
TWI440964B (zh) * | 2009-01-27 | 2014-06-11 | Hoya Corp | 多調式光罩、多調式光罩之製造方法及圖案轉印方法 |
JP2012073553A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | Hoya Corp | フォトマスクの欠陥修正方法、フォトマスクの製造方法、及びフォトマスク、並びにパターン転写方法 |
CN109119375A (zh) * | 2018-07-30 | 2019-01-01 | 惠科股份有限公司 | 阵列面板的检测修复方法和光阻修补装置 |
JP7244067B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2023-03-22 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | マスク欠陥修正装置、及びマスク欠陥修正方法 |
-
2003
- 2003-04-08 JP JP2003103784A patent/JP4294359B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-04-08 CN CNB200410033705XA patent/CN1261818C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-08 KR KR1020040024060A patent/KR100650365B1/ko active IP Right Grant
- 2004-04-08 TW TW093109725A patent/TWI232488B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI232488B (en) | 2005-05-11 |
TW200425246A (en) | 2004-11-16 |
KR20040087947A (ko) | 2004-10-15 |
JP4294359B2 (ja) | 2009-07-08 |
JP2004309826A (ja) | 2004-11-04 |
CN1536439A (zh) | 2004-10-13 |
CN1261818C (zh) | 2006-06-28 |
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