KR100644184B1 - 액체 매질 중에 유지되는 기체용 보관 및 운반 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비휘발성 액체 매질에서 가역적으로 보관된 기체의 신속한 충진 및 운반을 허용하는 보관 및 운반 시스템에 있어서의 향상 및 운반 및 운반되는 기체의 순도에 있어서의 향상에 관한 것이다. 기체용 저압 보관 및 운반 시스템은,
반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 기체와 가역적으로 반응하는 반응성 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체를 함유하는 내부 분획을 가지는 컨테이너;
반응성 액체 매질 내로 또는 외부로 에너지를 전달하기 위한 시스템; 또는
생성물 기체 정제기 (예컨대, 액체/기체 분리기); 또는 둘 다 포함한다.
기체 보관 및 운반 시스템

Description

액체 매질 중에 유지되는 기체용 보관 및 운반 시스템 {STORAGE AND DELIVERY SYSTEMS FOR GASES HELD IN LIQUID MEDIUM}
도 1은 보관 및 운반 시스템에 에너지를 부여하기 위한 스파저(sparger) 튜브를 사용하여 기체와 반응할 수 있는 액체를 운반하는 보관 및 운반 시스템을 보여주는 절단면도를 보여준다.
도 2는 시스템에 에너지를 부여하거나 및/또는 시스템으로부터 에너지를 제거하기 위한 가열 및 냉각 맨드렐(mandrel)을 통합시킨 보관 및 운반 시스템의 절단면도를 보여준다.
도 3은 컨테이너가 수직 또는 수평 위치에서 작동할 때 기체/액체 분리를 허용하도록 가요성 튜브의 말단에서 유주 부재(member)를 사용하는 보관 및 운반 시스템을 보여주는 절단면도를 보여준다.
도 4는 컨테이너가 수직 또는 수평 위치에서 작동할 때 기체/액체 분리를 허용하도록 굴곡 유동 경로를 사용하는 보관 및 운반 시스템을 보여주는 절단면도를 보여준다.
도 5는 컨테이너가 수직 또는 수평 위치에서 작동할 때 기체/액체 분리를 허용하도록 세로방향으로 장착된 멤브레인을 사용하는 보관 및 운반 시스템을 보여주는 절단면도를 보여준다.
본 발명은, 2003년 4월 15일 출원된 동시출원 USSN 10/413,787 "반응성 액체계 기체 보관 및 운반 시스템 (Reactive Liquid Based Gas Storage And Delivery Systems)" 및 2004년 6월 14일 동시출원 "루이스 염기성 기체의 보관 및 운반을 위한 루이스 산성 반응성 화합물을 함유하는 액체 매질 (Liquid Media Containing Lewis Acidic Reactive Compounds For Storage And Delivery Of Lewis Basic Gases)"에 관한 것이며, 두 발명은 공동 양도된 것으로서 두 발명의 대상은 본 발명에 참고문헌으로 인용되어 있다.
반도체 산업에 있어서 많은 공정들은 다양하게 응용되기 위한 공정 기체의 신뢰할 수 있는 공급원을 필요로 한다. 이들 기체는 대부분 실린더 또는 용기에 보관되며 이후 조절된 조건 하에서 실린더로부터 공정으로 운반된다. 반도체 제조 산업은 예컨대, 도핑, 에칭, 및 박막 증착을 위해 포스핀, 아르신, 및 보론 트리플루오리드와 같은 다수의 유해 성질 기체를 사용한다. 이들 기체는 그들의 높은 독성 및 인화성(공기중 자연 발화성)으로 인하여 안전 및 환경에 대한 심각한 도전을 부여한다. 독성 팩터에 더하여, 다수의 이들 기체는 고압하에서 실린더에 보관하기 위해 압축되고 액화된다. 금속 실린더 중 고압 하에서 독성 기체의 보관은 실린더의 누설 또는 불의의 파손의 가능성 때문에 대부분 허용될 수 없다.
고형 지지체 상에 이들 기체의 흡착을 제공하는 저압 보관 및 운반 시스템이 개발되었다. 고형 흡착제 상에 흡착된 기체 보관 및 운반 시스템이 그들의 문제점을 수반하지 않는 것은 아니다. 그들은 부족한 보관능 및 운반 제한, 부족한 열 전도도 등의 문제점을 가진다.
이하의 특허 및 문헌들은 저압, 저유속 기체 보관 및 운반 시스템을 설명한 것이다.
미국 특허 4,744,221은 제올라이트 상에 AsH3의 흡착을 개시하고 있다. 목적하는 경우, 제올라이트를 약 175℃ 이하의 온도로 가열함으로써 적어도 일부의 AsH3를 운반 시스템으로부터 배출시킨다. 컨테이너에서 실질적인 AsH3의 양은 제올라이트에 결합되어 있기 때문에, 파손 및 파괴에 의한 불의의 배출의 효과는 가압 컨테이너에 비해서 최소화된다.
미국 특허 5,518,528은 대기압 이하의 압력에서 하이드리드, 할라이드, 및 유기금속 V족 기체상 화합물을 보관하고 운반하기 위한 물리적 흡착제를 기초로 하는 운반 시스템을 개시하고 있다. 기체는 저압에서 공정 또는 작동 장치로 그것을 디스펜싱시킴으로써 탈착된다.
미국 특허 5,917,140은 방사형으로 연장된 암(arm)을 통합시키고, 향상된 열-교환 수단을 구비하고, 고체-상 흡착제로부터 흡착가능한 유체를 디스펜싱하기 위한 보관 및 운반 장치를 개시하고 있으며, 여기서 각 암은 인접하며 용기의 벽과 열 교환 관계로 보장된다.
WO/0211860은 유체가 흡착제 매질 상에서 유지되고 그리고 매질로부터 유체의 탈착은 매질에 에너지를 입력함으로써 촉진되는 소르베이트 유체의 보관 및 운반 시스템을 개시하고 있다. 에너지 입력의 방법은 열에너지, 광자 에너지, 입자 폭발, 기계적 에너지 및 소르베이트 유체에 대한 화학적 전위 차이의 적용을 포함한다.
미국 특허 6,101,816은 그것의 증기가 디스펜싱되는 액체용 유체 보관 및 디스펜싱 시스템을 개시하고 있다. 그 시스템과 관련되는 것은 유체 유속 포트 및 포트와 관련되는 유체 디스펜싱 어셈블리이다. 어셈블리는 유체 압력 조절기 및 유동 조절 밸브를 포함한다. 유동 조절 성분을 통한 흐름에 앞서 먼저 조절기를 통해 용기내로부터 기체가 흐르도록 배치된다.
발명의 요약
본 발명은 비휘발성 액체 매질에서 가역적으로 보관된 기체의 신속한 충진 및 운반을 허용하는 보관 및 운반 시스템에 있어서의 향상 및 운반 및 운반되는 기체의 순도에 있어서의 향상에 관한 것이다. 기체용 저압 보관 및 운반 시스템은,
반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 기체와 가역적으로 반응하는 반응성 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체를 함유하는 내부 분획을 가지는 컨테이너;
반응성 액체 매질 내로 또는 외부로 에너지를 전달하기 위한 시스템; 또는
생성물 기체 정제기 (예컨대, 기체/액체 분리기); 또는 둘 다 포함한다.
상세한 설명
고형 흡수체 또는 고형 흡착체를 사용하는 저압 보관 및 운반 시스템에 비교할 때, 반대되는 산성 또는 염기성의 액체 매질에서 루이스 염기성 및 루이스 산성 기체의 반응시키는 개념에 기초하는 보관 및 운반 시스템에는 고유한 문제점이 존재한다는 것을 발견하였다. 1차적 문제점 중 하나는 반응성 액체 매질, 예컨대, 이온계 액체를 함유하는 보관 및 운반 시스템을 기체로 채울 수 있는 속도를 증가시키는 문제이다. 용어 "반응성 액체 매질"은 반응성 액체, 용액, 분산물, 및 현탁액을 포함한다. 다른 문제점은 기체의 운반 속도를 증가시키는 문제이다. 다른 문제점들은 보관 및 운반 시스템으로부터 운반되는 기체의 순도를 증가시키는 것 그리고 운반 동안, 보관 및 운반 시스템으로부터 운반되는 기체를 액체가 오염시키는 것을 방지하는 것에 관련된다.
보관 및 운반 시스템의 이해를 촉진하기 위해, 도면을 참고한다. (도면에 사용되는 동일한 숫자들은 시스템 장치에서 동일한 부분을 나타낸다.)
도 1은 반응성 액체 매질의 루이스 산성 또는 염기성에 반대성을 가지는 기체(8)(거품으로 보여짐)와 가역적으로 반응하는 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체 매질(6)을 함유하는 컨테이너(4)를 포함하는 기체 보관 및 운반 시스템(2)을 보여준다. 컨테이너(4)는 용기로 기체 및 액체를 도입하거나 또는 기체를 운반하거나 또는 반응성 액체 매질을 제거하는 밸브(10)를 구비하고 있다. 컨테이너(4)로부터 기체(8)를 운반하는데 출구 포트(12)가 사용된다. 출구 포트(12)를 통해 헤드스페이스(18)로부터 액체가 기체 소진되는 것을 막기 위해 및/또는 기체로부터 기체상 불순물을 제거하기 위해 생성물 기체 정제기(9)가 액체 레벨(16) 위에 놓여진다. 생성물 기체 정제기(9)는 흡착을 기초로 하는 기체 정제기일 수 있다. 바람직하게는, 생성물 기체 정제기(9)는 기체/액체 분리기이다. 생성물 기체 정제기(9)는 멤브레인 및 적절한 멤브레인 어셈블리를 포함할 수 있다. 일부 경우에서, 생성물 기체 정제기(9)는 컨테이너의 외부에 위치할 수 있다. 컨테이너(4)는 통상적으로 압축된 기체에 대해 사용되는 실린더일 수 있다. 대안적으로, 컨테이너(4)는 직사각형의 평형파이프형을 포함하는 다른 형상일 수 있다.
반응성 기체로 보관 및 운반 시스템을 충진시키는 데 있어 전술한 문제점 중 하나는 컨테이너(4)를 채우는데 있어 긴 시간이 필요하다는 것이다. 그것은 반응성 액체 매질(6) 내에서 기체(8)의 매스 이동(즉, 확산) 속도에 의해 제한될 수 있다. 이렇게 매스 이동 프로세스가 느릴 수 있기 때문에, 컨테이너를 채우는 데 며칠 또는 심지어 몇주가 소요될 수 있다. 매스 이동의 제한을 극복하기 위해, 기체 충진 프로세스 동안 에너지가 액체에 더해지거나 및/또는 액체로부터 제거된다. 에너지 이동을 수행함으로써, 액체 내에서 대류성 운동을 경유하여 및/또는 기체-액체 계면 면적을 증가시킴으로써 매스 이동 속도가 증가하게 된다.
에너지 이동을 향상시키기 위한, 및 따라서 충진 속도를 향상시키기 위한 하나의 방법을 도 1을 참조로 설명한다. 그 구체예에서, 밸브(10)의 입구 포트(11)는 스파저 튜브(20)와 유체 커뮤니케이션을 이룬다. 용어 "스파저 튜브"는 반응성 액체 매질의 표면 밑으로 기체를 도입시킬 수 있는 임의의 튜브의 유형을 포함한다는 의미를 가진다. 스파저 튜브(20)는 강성 튜브이거나 또는 가요성 튜브일 수 있다. 0.1 내지 500 마이크론의 소공을 가지는 선택적인 다공성 프릿(22)이 스파저 튜브(20)의 출구 말단에 부착된다. 다공성 프릿은 금속(예컨대, 스테인레스 스틸) 또는 플라스틱(예컨대, 폴리테트라플루오로에틸렌)으로 만들어질 수 있다. 이후 기체가 밸브(10)의 입구 포트(11)를 통해, 이후 스파저 튜브(20)를 통해 도입되며, 여기서 다공성 프릿(22)을 통해 통과할 때 미세한 거품으로 분산된다. 미세하게 분산된 기체의 거품은 반응성 액체 매질과 더 용이하게 착화될 수 있다.
컨테이너(4)를 기체로 채우기 위해, 공급원 기체 정제기(23)를 사용할 수 있다. 정제기의 출구(24)는 입구 포트(11)와 연결된다. 공급원 기체가 정제기 내로, 출구(24) 밖으로, 그리고 컨테이너(4) 내로 흐른다. 공급원 기체 정제기(23)는 흡착성 정제, 흡수성 정제, 상대적인 휘발성 차이에 기초하는 분리, 또는 반응성 정제를 수행할 수 있다. 불순물이 공급원 기체 중에서 반응성 액체 매질과 반응하거나 또는 반응성 액체 매질 중에 용해될 때 공급원 기체 정제기(23)가 특히 효과적이다. 예컨대, 루이스 산 기체는 불순물 이산화탄소(CO2)를 함유하는 보론 트리플루오리드(BF3)로 구성될 수 있다. 정제기는 BF3보다 상대적으로 CO2에 더 높은 친화력을 가지는 제올라이트를 사용할 수 있다. 정제 이후, 바람직하게는 BF3는 1 ppm 이하의 CO2를 함유하며 컨테이너(4)에 충진된다.
컨테이너(4)는 또한 거품 결정핵생성 향상기(25)를 포함할 수 있다. 용어 "거품 결정핵생성 향상기(bubble nucleation enhancer)"는 기체 거품의 결정핵생성을 촉진하도록 작용하는 임의의 매질로 정의된다. 적절한 결정핵생성 향상기의 예는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 미세다공성 탄소, 알루미나, 천공 유리, 및 다공성 금속 및 플라스틱으로 구성되는 것들을 포함하는 비등칩 또는 비등석을 포함한다. 다공성 프릿(22)이 또한 결정핵생성 향상기로서 작용할 수 있다. 이들 결정핵생성 향상기는 컨테이너로부터 기체 운반 속도를 증가시킨다.
정제 매질(26)이 담긴 컨테이너(4) 내에서 불순물을 제거시키는 것이 또한 가능할 수 있다. 정제 매질은 불순물을 제거하기 위해 반응성 액체 매질(6) 내에 위치할 수 있다. 정제 매질(26)은 물리적 흡착제 또는 화학흡착제로 구성될 수 있다. 화학흡착제는 고형일 수 있으며 또는 그것은 액체 매질 중에 용해될 수 있다. 물리적 흡착제의 예는 제올라이트 및 활성 탄소를 포함한다.
컨테이너(4)는 수평 또는 수직 배향으로 작동할 수 있다. 생성물 기체 정제기(9)가 액체의 표면 위에 위치하도록 액체 레벨을 선택하여야 한다.
도 2는 반응성 액체 매질(6) 내로 에너지를 부여하거나 또는 그로부터 에너지를 제거하기 위한 덜 바람직한 방법을 도시하고 있다. 도 2의 구체예에서, 가열 맨드렐(29) 또는 냉각 맨드렐(28) 또는 둘 다 반응성 액체 매질(6) 내에서 대류성 흐름을 유도하기 위해 제공될 수 있다. 컨테이너(4)의 바닥을 가열함으로써, 뜨거운 액체가 위쪽으로 흐르고, 그것이 꼭대기 표면에 도달함으로써 냉각되고, 이후 컨테이너의 바닥으로 되돌아가게 된다. 이런 대류 운동은 매스 이동 속도를 증가시키고 그리고 컨테이너를 기체로 채우는데 소요되는 시간을 단축시키게 된다. 냉각 맨드렐(28)은 반응성 액체 매질(6) 내에서 대류성 흐름을 유도하기 위해 가열 맨드렐(29)과 동일한 방식으로 사용될 수 있다. 가열 맨드렐(29)은 컨테이너(4)의 표면 주위에 위치할 수 있거나 또는 컨테이너(4)가 가열 맨드렐(29) 상에 위치할 수 있다. 가열 맨드렐(29)은 컨테이너(4)에 열을 가하기 위한 가열 블랭킷, 핫 플레이트, 또는 기타 적절한 수단일 수 있다. 대안적으로, 반응성 액체 매질(6) 내에서 열 이동 속도 및 또한 충진 동안 반응성 액체 매질 내에서 매스 이동 속도를 향상시키기 위해 교란기(30)를 통해 교란을 수행할 수 있다. 액체를 교란시키기 위한 대안의 수단은 전체 컨테이너(4)를 움직이는 것이다. 이는 표준 실린더 롤러, 궤도 교반기, 진동기 등을 사용하여 수행할 수 있다. 입구 포트(11)는 생성물 기체 정제기(9) 또는 출구(12)와 동일한 경로를 사용하지 않지만, 입구 오리피스(31)에서 종료되는 별도의 경로를 가지며, 따라서 충진 작동 동안 생성물 기체 정제기(9)를 우회하게 된다.
도 3 내지 5는 컨테이너가 수직 또는 수평 위치인 때 기체의 운반 동안 기체 정제를 수행하기 위한 다양한 장치를 보여주기 위해 제공된다. 구체적으로, 도 3 내지 5는 생성물 기체 정제기가 기체/액체 분리기인 경우의 구체예를 보여준다. 도 3에서, 밸브(10)의 출구 포트(12)는 생성물 기체 정제기로서 작용하는 다공성 부재(37)로 종료되는 가요성 튜브(36)와 연결된다. 바람직하게는 다공성 부재(37)는 기체 투과성 및 액체 불투과성으로 디자인된다. 바람직한 구체예에서, 컨테이너가 수평 위치인 때 액체 층의 꼭대기로 그것이 떠오르도록 따라서 기체 내에 액체 비말동반의 기회를 감소시키게 되도록, 그것은 부유성 물질일 수 있다. 또한, 컨테이너(4)는, 컨테이너 부피의 50% 이상이 액체로 채워진 채로, 바람직하게는 더 많은 액체양으로 채워진 채로 수평으로 작동할 수 있다.
도 4에서, 출구 포트(12)는 튜빙(35)과 연결된다. 튜빙(35)은 컨테이너로부터 운반되는 기체 상에 흐름 방향 변화를 허여한다. 기체가 튜빙(35)을 따라 흐름에 따라, 액체의 액적이 내부 벽의 표면 상에 침착되며 기체로부터 제거되게 된다. 도 4에서 보여지는 튜빙은 컨테이너가 컨테이너 부피의 50% 이상이 액체로 채워진 채로 수평으로 작동할 수 있게 해 준다. 튜빙(35)은 기체 상에 다중 흐름 변화로 예컨대 지그재그 패턴으로 1 또는 그 이상의 흐름 방향 변화를 허여할 수 있다. 튜빙(35)에 더하여, 필터, 합체 필터(coalescence filter), 제무기 패드, 다공성 매질, 및 소결 매질을 포함하는 다른 유형의 굴곡 흐름 장치가 사용될 수 있다. 튜빙(35)은 회전 피팅(39)을 사용함으로써 밸브(10)에 연결될 수 있다. 피팅은 튜빙(35)의 말단이 헤드스페이스(18)와 유체 커뮤니케이션을 하며 반응성 액체 매질(6)과는 유체 커뮤니케이션을 하지 않도록 회전할 수 있다. 튜빙(35)이 헤드스페이스(18)와 유체 커뮤니케이션을 제공하기 위한 정확한 위치를 보장하기 위해 추(weight, 도시되지 않음)를 사용할 수 있다. 액체가 튜빙(35)으로 들어가는 것을 막기 위해 튜빙(35)의 말단에 생성물 기체 정제기(9)를 부가할 수 있다. 생성물 기체 정제기(9)는 멤브레인을 포함할 수 있다. 바람직하게는 멤브레인과 접촉하고 있는 임의의 액체가 멤브레인의 표면에서 용이하게 빠져나갈 수 있도록 멤브레인이 위치한다.
도 5는 밸브(10)와 출구(12)를 구비한 수평 위치에 고정된 보관 및 운반 시스템(2)을 보여준다. 생성물 기체 정제기(9)의 특정 구체예로서, 멤브레인(38)이 컨테이너(4)에 수평으로 위치하며 기체/액체 분리기로서 작용한다. 멤브레인은 컨테이너(4)로부터 기체의 운반을 허용하기 위해 기체 투과성, 액체 불투과성 물질로 구축된다. 이상적으로는, 멤브레인 물질은 액체를 밀어내며 액체가 용이하게 그것의 표면으로부터 빠져나가게 된다. 게다가, 압력 강하를 최소화하기 위해, 멤브레인의 단면적을 최대화하여야 하며 그리고 (무공성 멤브레인의 반대로) 다공성 멤브레인을 사용하여야 한다. 적절한 멤브레인 물질은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리프로필렌(PP), 폴리비닐리덴 플루오리드(PVDF), 폴리에틸렌(PE), 폴리설폰, 폴리(비닐 클로리드) PVC, 고무, 폴리(트리메틸펜텐), 에틸셀룰로스, 폴리(비닐알콜) (PVOH), 퍼플루오로설폰산, 폴리에테르설폰, 셀룰로스 에스테르, 폴리클로로트리플루오로 에틸렌(PCTFE)을 포함한다. 바람직한 소공 크기는 0.1 마이크론 내지 50 마이크론이다. 얇은 멤브레인을 사용하는 것에 더하여, 멤브레인은 또한 두꺼운 다공성 물질, 구체적으로 두께 10 밀리미터 이하인 것으로 구성될 수 있다. 멤브레인은 또한 중공(hollow)-섬유 유형일 수 있다. (이들 동일한 물질이 또한 도 1의 생성물 기체 정제기(9)에 대해 사용될 수 있다.) 전술한 보관 및 운반 시스템(2)으로부터 보관 및 운반에 적합한 기체는 루이스 염기성을 가지며 루이스 산성 반응성 액체 매질, 예컨대 이온계 액체로부터 운반되거나, 또는 루이스 산성을 가지며 루이스 염기성 반응성 액체 매질로부터 운반된다. 루이스 염기성 기체는 1 또는 그 이상의 포스핀, 아르신, 스티빈, 암모니아, 황화수소, 셀레늄화수소, 텔루륨화수소, 방사선동위원소가 풍부한 유사체, 염기 유기성 또는 유기금속 화합물 등을 포함한다. 루이스 산성을 가지는 기체가 루이스 염기성 반응성 액체 매질, 예컨대 이온계 액체 중에 보관되고 그것으로부터 운반되며, 여기서, 이온계 액체 매질은 1 또는 그 이상의 디보란, 보론 트리플루오리드, 보론 트리클로리드, SiF4, 게르만, 시안화수소, HF, HCl, HBr, GeF4, 방사선동위원소가 풍부한 유사체, 인듐 하이드리드, 산성 유기성 또는 유기금속 화합물 등을 포함한다. 추가의 기체들, 예컨대 디실란, 디게르만, 디아르신, 및 디포스핀이 반응성 액체 매질에서 보관 및 운반에 적합할 수 있다. 그 액체는 낮은 휘발성을 가지며 바람직하게는 증기압이 25℃에서 약 10-2 Torr 이하, 더 바람직하게는 25℃에서 10-4 Torr 이하이다.
이온계 액체는 보관되는 기체와 가역적 반응을 수행하기 위해 루이스 산 또는 루이스 염기로서, 반응성 액체로서 작용할 수 있다. 이들 반응성 이온계 액체는 양이온 성분 및 음이온 성분을 가진다. 그리고 반응성 이온계 액체의 산성 또는 염기성은 양이온, 음이온, 또는 양이온과 음이온의 조합에 의한 강도에 의해 지배된다. 가장 통상적인 이온계 액체는 테트라알킬포스포니움, 테트라알킬암모니움, N-알킬피리디니움 또는 N,N'-디알킬이미다졸리움 양이온의 염을 포함한다. 통상적인 양이온은 C1-18 알킬기를 포함하며, N-알킬-N'-메틸이미다졸리움 및 N-알킬피리디늄의 에틸, 부틸 및 헥실 유도체를 포함한다. 다른 양이온은 피리다지니움, 피리미디니움, 피라지니움, 트리아졸리움, 티아졸리움, 및 옥사졸리움을 포함한다.
이온계 액체가 루이스 산성을 획득할 수 있도록 광범위한 음이온이 양이온 성분과 매칭될 수 있다. 음이온 중 하나의 유형은 금속 할라이드로부터 유도된다. 대부분 사용되는 할라이드는 클로리드이지만 다른 할라이드 또한 사용될 수 있다. 음이온 성분, 예컨대 금속 할라이드를 공급하기 위한 바람직한 금속은 구리, 알루미늄, 철, 아연, 주석, 안티몬, 티타늄, 니오븀, 탄탈륨, 갈륨, 및 인듐을 포함한다. 금속 클로리드 음이온의 예는 CuCl2 -, Cu2Cl3 -, AlCl4 -, Al2Cl7 -, ZnCl3 -, ZnCl4 2-, Zn2Cl5 -, FeCl3 -, FeCl4 -, Fe2Cl7 -, TiCl5 -, TiCl6 2-, SnCl5 -, SnCl6 2- 등이 있다.
루이스 산성 또는 루이스 염기성 이온계 액체를 제조할 수 있는 할라이드 화합물의 예는 다음을 포함한다:
1-에틸-3-메틸이미다졸리움 브로미드; 1-에틸-3-메틸이미다졸리움 클로리드; 1-부틸-3-메틸이미다졸리움 브로미드; 1-부틸-3-메틸이미다졸리움 클로리드; 1-헥실-3-메틸이미다졸리움 브로미드; 1-헥실-3-메틸이미다졸리움 클로리드;
1-메틸-3-옥틸이미다졸리움 브로미드; 1-메틸-3-옥틸이미다졸리움 클로리드; 모노메틸아민 하이드로클로리드; 트리메틸아민 하이드로클로리드; 테트라에틸암모늄 클로리드; 테트라메틸 구아니딘 하이드로클로리드; N-메틸피리디니움 클로리드; N-부틸-4-메틸피리디니움 브로미드; N-부틸-4-메틸피리디니움 클로리드; 테트라부틸포스포니움 클로리드; 및 테트라부틸포스포니움 브로미드.
루이스 산성 기체와 화학적으로 착화되기에 유용한 루이스 염기성 이온계 액체를 살펴보면, 그러한 이온계 액체의 음이온 또는 양이온 성분 또는 모두가 루이스 염기성일 수 있다. 일부 경우에서, 음이온 및 양이온 모두가 루이스 염기성일 수 있다. 루이스 염기성 음이온의 예는 카복실레이트, 불소화 카복실레이트, 설포네이트, 불소화 설포네이트, 이미드, 보레이트, 클로리드 등을 포함한다. 통상적인 음이온 형태는 BF4 -, PF6 -, AsF6 -, CH3COO-, CF3COO-, CF3SO3 -, p-CH3-C6H4SO3 -, (CF3SO2)2N-, (NC)2N-, (CF3SO2)3C-, 클로리드, 및 F(HF)n -을 포함한다. 다른 음이온은 유기금속 화합물, 예컨대 알킬알루미네이트, 알킬- 또는 아릴보레이트, 뿐 아니라 전이금속종을 포함한다. 바람직한 음이온은 BF4 -, p-CH3-C6H4SO3 -, CF3SO3 -, (CF3SO2)2N-, (NC)2N-, (CF3SO2)3C-, CH3COO-, 및 CF3COO-를 포함한다.
루이스 산성 또는 루이스 염기성 작용기를 포함하는 비휘발성 공유결합성 액체가 또한 기체를 화학적으로 착화하는 데 유용한 반응성 액체이다. 그러한 액체는 별개의 유기 또는 유기금속 화합물, 올리고머, 저분자량 중합체, 분지형 무정형 중합체, 천연 및 합성 오일 등일 수 있다.
루이스 산 작용기를 내포하는 반응성 액체의 예는 치환된 보란, 보레이트, 알루미늄, 또는 알루목산; 양성자산 예컨대 카복실산 및 설폰산; 티타늄, 니켈, 구리 등과 같은 금속의 착화합물을 포함한다.
루이스 염기성 작용기를 내포하는 반응성 액체의 예는 에테르, 아민, 포스핀, 케톤, 알데히드, 니트릴, 티오에테르, 알콜, 티올, 아미드, 에스테르, 우레아, 카바메이트 등을 포함한다.
반응성 공유결합성 액체의 구체적인 예는 트리부틸보란, 트리부틸 보레이트, 트리에틸알루미늄, 메탄설폰산, 트리플루오로메탄설폰산, 티타늄 테트라클로리드, 테트라에틸렌글리콜 디메틸에테르, 트리알킬포스핀, 트리알킬포스핀 옥사이드, 폴리테트라메틸렌글리콜, 폴리에스테르, 폴리카프로락톤, 폴리(올레핀-알트-카본모노옥사이드), 아크릴레이트, 메트아크릴레이트 또는 아크릴로니트릴의 올리고머, 중합체 또는 공중합체 등을 포함한다. 대부분, 상승 온도에서 이들 액체의 과도한 휘발성이 문제되며 열-매개 증발에 적합하지 않다. 그렇지만, 그들은 압력-매개 증발에 적합할 수 있다.
전술한 보관 및 운반 시스템(2)으로부터 운반되는 기체는 적어도 컨테이너 내로 도입되는 공급원 기체 만큼 순수하여야 하며, 바람직하게는 운반되는 기체는 공급원 기체보다 더 순수하여야 한다. 그렇지만, 기체가 컨테이너 내로 도입됨에 따라, 공급원 기체에 존재하는 불순물은 반응성 액체 매질 위의 기체 헤드스페이스에서 농축될 수 있다. 결과적으로, 컨테이너로부터 초기에 밀려난 기체는 컨테이너 내로 도입되는 공급원 기체보다 덜 순수할 수 있다. 보관 및 운반 시스템(2)으로부터 기체 운반의 순도를 증가시키기 위해, 컨테이너의 목적하는 충진능 이상으로, 구체적으로 반응성 액체 매질의 반응능 이상으로 충진 프로세스 동안 공급원 기체가 컨테이너 내로 도입될 수 있다. 목적하는 충진능은 충진 프로세스의 종료시에 컨테이너 내 기체의 목적하는 양이다. 다음으로, 기체가 컨테이너로부터 배출되어 헤드스페이스에 농축되었던 임의의 불순물을 제거하게 된다. 컨테이너 중 잔류 기체는 운반을 위해 생성물 기체로서 사용된다.
게다가, 공급원 기체는 컨테이너 내로 도입되기 이전에 정제될 수 있다. 공급원 기체는 흡착성 정제, 흡수성 정제, 상대적인 휘발성 차이에 기초하는 분리, 또는 반응성 정제를 사용하여 정제될 수 있다. 공급원 기체 중 불순물이 반응성 액체 매질과 반응하거나 또는 반응성 액체 매질 중에 용해되는 때에 공급원 기체의 정제가 특히 효과적이다. 예컨대, BF3를 보관하고 운반하는 데 사용되는 시스템에서, 공급원 BF3는 불순물로서 CO2를 포함할 수 있다. 이 불순물은 적절한 반응성 액체 매질과 반응하거나 또는 그에 용해될 수 있다. 공급원 기체로부터 CO2를 제거하기 위해, 흡착성 정제가 사용될 수 있다. 구체적으로 제올라이트 흡착제 및/또는 활성 탄소 흡착제의 베드가 반응성 액체 매질의 컨테이너의 상류에 위치할 수 있다. 공급원 BF3가 제올라이트 베드를 따라 흐름에 따라, 불순물 CO2가 제거된다. 제올라이트는 5A 제올라이트 또는 소듐 모르데나이트 제올라이트일 수 있다.
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반대되는 루이스 산성 또는 염기성의 반응성 화합물을 함유하는 반응성 액체 또는 액체 매질에서 루이스 염기성 또는 루이스 산성 기체의 보관 및 운반을 실행함으로써 현저한 장점이 얻어질 수 있다. 이들 시스템은 보관되는 기체와 반응하는 반응성 액체 매질의 컨테이너를 포함한다. 이들 시스템은 다음과 같이,
시스템을 채우는데 필요한 시간을 단축시키는 능력;
운반되는 기체 중에 액체 비말동반(entrainment)을 제거하고 감소시키는 능력; 및
공급원 기체가 불순물을 함유하는 경우, 구체적으로 불순물이 공급원 기체보다 반응성이 적거나 또는 비반응성인 경우, 시스템으로부터 운반되는 기체의 순도를 증가시키는 능력을 가진다.

Claims (24)

  1. 반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 기체와 가역적으로 반응하는 것인 반응성 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체 매질을 함유하는 내부 분획을 가지는 컨테이너;
    기체의 운반을 허용하는 출구 포트를 가지는 밸브 시스템; 및
    상기 기체는 운반하고 상기 반응성 액체 매질은 유지하기 위한 기체/액체 분리기를 포함하는 생성물 기체 정제기
    를 포함하는 기체용 저압 보관 및 운반 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 생성물 기체 정제기가 컨테이너 내에 위치하는 것인 보관 및 운반 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기체/액체 분리기가 멤브레인을 포함하는 것인 보관 및 운반 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기체/액체 분리기가 운반되는 기체 중에 포획되는 액체의 합체가 가능한 굴곡(tortuous) 경로를 가지는 부재(member)를 포함하는 것인 보관 및 운반 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기체/액체 분리기가, 말단이 부유성 다공성 부재인 가요성 튜브를 포함하는 것인 보관 및 운반 장치.
  7. 제1항에 있어서, 거품 결정핵생성 향상기(bubble nucleation enhancer)를 더 포함하는 보관 및 운반 장치.
  8. 제1항에 있어서, 공급원 기체 정제기를 더 포함하는 보관 및 운반 장치.
  9. 제1항에 있어서, 정제 매질이 반응성 액체 매질 중에 존재하는 것인 보관 및 운반 장치.
  10. 제9항에 있어서, 정제 매질이 화학흡착제인 보관 및 운반 장치.
  11. 제1항에 있어서, 반응성 액체 매질이 이온계 액체이고, 그리고 이온계 액체와 착화된 기체가 스티빈, 인듐 하이드리드, 포스핀, 보론 트리플루오리드, 방사선동위원소가 풍부한 보론 트리플루오리드, 게르만, 및 아르신으로 구성되는 군으로부터 선택되는 것인 보관 및 운반 장치.
  12. 반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 기체와 가역적으로 반응하는 것인 반응성 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체 매질을 함유하는 내부 분획을 가지는 컨테이너;
    기체의 운반을 허용하는 출구 포트를 가지는 밸브 시스템;
    상기 컨테이너의 내부에 포함되는 반응성 액체 매질 내로 또는 외부로 에너지를 전달하기 위한 시스템
    을 포함하는 기체용 저압 보관 및 운반 장치.
  13. 제12항에 있어서, 밸브가 입구 포트를 가지는 것인 보관 및 운반 장치.
  14. 제12항에 있어서, 반응성 액체 매질 내로 에너지를 입력하기 위한 시스템이 스파저 튜브(sparger tube)를 포함하는 것인 보관 및 운반 장치.
  15. 제14항에 있어서, 스파저 튜브가 다공성 프릿을 통합한 것인 보관 및 운반 장치.
  16. 제12항에 있어서, 반응성 액체 매질 내로 에너지를 입력하기 위한 시스템이 액체를 혼합시키기 위한 교란기(agitator)를 포함하는 것인 보관 및 운반 장치.
  17. 제12항에 있어서, 에너지를 전달하기 위한 시스템이 가열 및/또는 냉각 맨드렐(mandrel)을 포함하는 것인 보관 및 운반 장치.
  18. 반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 기체와 가역적으로 반응하는 것인 반응성 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체 매질을 함유하는 내부 분획을 가지는 컨테이너;
    용기로 기체 및 반응성 액체 매질을 도입시키기 위한 입구 포트 및 기체를 운반하기 위한 출구 포트를 가지는 밸브 시스템;
    스파저 튜브를 포함하는 반응성 액체 매질 내로 에너지를 입력하기 위한 시스템; 및
    기체에 대해서는 투과성이고 기체가 컨테이너로부터 운반됨에 따라 포획된 액체 액적에 대해서는 불투과성인 기체/액체 분리기
    를 포함하는 기체용 저압 보관 및 운반 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 기체/액체 분리기가 운반되는 기체 중에 포획되는 액체의 합체를 허용하는 굴곡 경로를 가지는 튜브인 보관 및 운반 장치.
  20. 제18항에 있어서, 상기 기체/액체 분리기가 멤브레인인 보관 및 운반 장치.
  21. 내부 분획을 가지는 컨테이너에 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액 체 매질을 채우는 단계;
    루이스 산성 또는 염기성을 가지는 상기 반응성 액체 매질과 가역적으로 반응하는 것인 반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 기체를 함유하는 공급원 기체로 컨테이너를 채우는 단계;
    상기 컨테이너 중에 헤드스페이스에서 반응하지 않은 과량의 공급원 기체를 수집하는 단계;
    상기 컨테이너 중에 헤드스페이스로부터 상기 과량의 공급원 기체를 배출시켜 헤드스페이스에서 농축되었던 불순물을 제거하는 단계; 및 이후,
    생성물 기체를 운반하는 단계
    를 포함하는, 보관 및 운반 시스템으로부터 생성물 기체를 운반하기 위한 방법.
  22. 내부 분획을 가지는 컨테이너에 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 액체 매질을 채우는 단계;
    루이스 산성 또는 염기성을 가지는 상기 반응성 액체 매질과 가역적으로 반응하는 것인 반대되는 루이스 산성 또는 염기성을 가지는 루이스 염기성 또는 루이스 산성 반응성 기체를 함유하는 공급원 기체를 정제시켜 공급원 기체 중에 존재하는 불순물을 제거하는 단계;
    컨테이너 내로 정제된 공급원 기체를 도입시키는 단계; 및
    생성물 기체를 운반하는 단계
    를 포함하는, 보관 및 운반 시스템으로부터 생성물 기체를 운반하기 위한 방법.
  23. 제22항에 있어서, 반응성 기체가 보론 트리플루오리드이고, 그리고 불순물이 이산화탄소인 방법.
  24. 제23항에 있어서, 보론 트리플루오리드로부터 이산화탄소를 제거하는데 제올라이트가 사용되는 것인 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011129567A2 (ko) * 2010-04-15 2011-10-20 Cho Keon-Hwan 기체보관용기, 수소충전방법 및 수소충전장치

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7172646B2 (en) * 2003-04-15 2007-02-06 Air Products And Chemicals, Inc. Reactive liquid based gas storage and delivery systems
US7648682B2 (en) * 2004-07-08 2010-01-19 Air Products And Chemicals, Inc. Wick systems for complexed gas technology
US7563308B2 (en) * 2004-09-23 2009-07-21 Air Products And Chemicals, Inc. Ionic liquid based mixtures for gas storage and delivery
EP1652814A1 (de) * 2004-10-27 2006-05-03 Solvay Fluor GmbH Verfahren zur Gastrennung
US20060115591A1 (en) * 2004-11-29 2006-06-01 Olander W K Pentaborane(9) storage and delivery
US9168469B2 (en) * 2004-12-22 2015-10-27 Chemtor, Lp Method and system for production of a chemical commodity using a fiber conduit reactor
US10526299B2 (en) 2004-12-22 2020-01-07 Chemtor, Lp Fiber conduit reactor with a heat exchange medium inlet and a heat exchange medium outlet
US7638058B2 (en) * 2005-04-07 2009-12-29 Matheson Tri-Gas Fluid storage and purification method and system
JP5154746B2 (ja) * 2005-09-14 2013-02-27 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 多孔性物質およびその製造方法
WO2006132292A1 (ja) * 2005-06-06 2006-12-14 Nippon Oil Corporation 多孔性物質およびその製造方法
JP5154742B2 (ja) * 2005-06-06 2013-02-27 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 多孔性物質およびその製造方法
US20070221879A1 (en) * 2006-03-21 2007-09-27 Honeywell Intenational Inc. Safe storage, transportation and delivery of chlorine
TW200808656A (en) * 2006-04-27 2008-02-16 Solvay Fluor Gmbh Reversible water-free process for the separation of acid-containing gas mixtures
US7736420B2 (en) * 2006-05-19 2010-06-15 Air Products And Chemicals, Inc. Contact methods for formation of Lewis gas/liquid systems and recovery of Lewis gas therefrom
US20080029575A1 (en) * 2006-08-02 2008-02-07 Shelton Frederick E Surgical cutting and fastening instrument with distally mounted pneumatically powered rotary drive member
US20090320771A1 (en) * 2008-06-10 2009-12-31 Matheson Tri-Gas Ionic liquid mediums for holding solid phase process gas precursors
WO2019099797A1 (en) * 2017-11-17 2019-05-23 Rasirc, Inc. Method, system, and device for storage and delivery of process gas from a substrate
US8491720B2 (en) * 2009-04-10 2013-07-23 Applied Materials, Inc. HVPE precursor source hardware
JP4940383B2 (ja) 2010-04-28 2012-05-30 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 顕微鏡用液浸溶液
CN103221158A (zh) * 2010-12-21 2013-07-24 英派尔科技开发有限公司 土壤修复系统和方法
US9463560B2 (en) * 2011-10-03 2016-10-11 Illinois Tool Works Inc. Portable pressurized power source for fastener driving tool
US9468866B2 (en) 2012-09-18 2016-10-18 Chemtor, Lp Use of a fiber conduit contactor for metal and/or metalloid extraction
WO2015189583A1 (en) * 2014-06-10 2015-12-17 Framergy Inc A method for storing a gas in a metal organic framework and dissolved in a liquid carrier
US20170294314A1 (en) * 2016-04-11 2017-10-12 Aaron Reinicker Germanium compositions suitable for ion implantation to produce a germanium-containing ion beam current
US11027236B2 (en) 2016-06-28 2021-06-08 Airovation Technologies Ltd. Air treatment systems and methods
WO2019060818A2 (en) * 2017-09-25 2019-03-28 Numat Technologies, Inc. HIGHLY REACTIVE GAS STABILIZATION ASSISTED BY ADSORBENT
CN111237628B (zh) * 2018-11-28 2024-07-23 张家港中集圣达因低温装备有限公司 低温储罐
JP7516742B2 (ja) * 2019-11-05 2024-07-17 東京エレクトロン株式会社 基板を処理する装置、処理ガスを濃縮する装置、及び基板を処理する方法
CN115485047A (zh) * 2020-05-11 2022-12-16 普莱克斯技术有限公司 将含锑材料储存和输送到离子注入机
CN113181752B (zh) * 2021-03-26 2021-12-07 博纯材料股份有限公司 一种锗烷收集纯化设备及方法
CN114904596B (zh) * 2022-05-20 2023-10-27 合肥工业大学 一种气泡定向输送载具及其制备方法与应用

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1821549A (en) * 1927-01-15 1931-09-01 E K Medical Gas Lab Inc Apparatus for dehydrating and purifying gases
DE1909732A1 (de) 1968-06-21 1970-02-19 Grosse Aristid Victor Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung und Lagerung von Wasserstoff
US4032311A (en) * 1976-06-01 1977-06-28 Dacor Corporation Tank filter
JPS5838238Y2 (ja) * 1980-12-25 1983-08-29 日本コイン株式会社 溶解アセチレン容器の逆火防止器
US4761164A (en) * 1985-03-01 1988-08-02 Air Products And Chemicals, Inc. Method for gas separation
CN86203578U (zh) 1986-05-29 1987-03-18 黄校球 一种水过滤烟嘴
CN86207903U (zh) 1986-10-10 1987-11-18 南京化学工业公司设计院 氧化氮等温吸收器
US4744221A (en) * 1987-06-29 1988-05-17 Olin Corporation Zeolite based arsine storage and delivery system
US4817684A (en) * 1987-09-16 1989-04-04 Michigan Consolidated Gas Company Method and apparatus for sorptively storing a multiconstituent gas
US4788825A (en) * 1988-03-02 1988-12-06 Fes, Inc. Oil separator
GB9220975D0 (en) * 1992-10-06 1992-11-18 Air Prod & Chem Apparatus for supplying high purity gas
US5518528A (en) * 1994-10-13 1996-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds
US6132492A (en) * 1994-10-13 2000-10-17 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same
US6012453A (en) * 1995-04-20 2000-01-11 Figgie Inernational Inc. Apparatus for withdrawal of liquid from a container and method
US6015041A (en) * 1996-04-01 2000-01-18 Westinghouse Savannah River Company Apparatus and methods for storing and releasing hydrogen
US5917140A (en) * 1996-05-21 1999-06-29 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with enhanced heat transfer means
US5980599A (en) * 1998-03-27 1999-11-09 Uop Llc In-tank purifier with bypass for filling
US6101816A (en) * 1998-04-28 2000-08-15 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system
US6319832B1 (en) * 1999-02-19 2001-11-20 Micron Technology, Inc. Methods of making semiconductor devices
US6500238B1 (en) * 2000-08-10 2002-12-31 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system
GB0103762D0 (en) * 2001-02-15 2001-04-04 Air Prod & Chem A gas purification unit
US6932945B2 (en) * 2001-06-19 2005-08-23 Air Products And Chemicals, Inc. Adsorbent based gas delivery system with integrated purifier
US6557591B2 (en) * 2001-07-17 2003-05-06 Air Products And Chemicals, Inc. Bulk gas built-in purifier with dual valve bulk container
US7208605B2 (en) * 2002-04-05 2007-04-24 University Of South Alabama Functionalized ionic liquids, and methods of use thereof
US7172646B2 (en) * 2003-04-15 2007-02-06 Air Products And Chemicals, Inc. Reactive liquid based gas storage and delivery systems
US7160359B2 (en) * 2004-07-02 2007-01-09 Air Products And Chemicals, Inc. Built in purifier for reactive gases

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011129567A2 (ko) * 2010-04-15 2011-10-20 Cho Keon-Hwan 기체보관용기, 수소충전방법 및 수소충전장치
WO2011129567A3 (ko) * 2010-04-15 2012-05-03 Cho Keon-Hwan 기체보관용기, 수소충전방법 및 수소충전장치

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