KR100641338B1 - 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 - Google Patents
가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100641338B1 KR100641338B1 KR1020010083425A KR20010083425A KR100641338B1 KR 100641338 B1 KR100641338 B1 KR 100641338B1 KR 1020010083425 A KR1020010083425 A KR 1020010083425A KR 20010083425 A KR20010083425 A KR 20010083425A KR 100641338 B1 KR100641338 B1 KR 100641338B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ceramic composition
- piezoelectric
- piezoelectric ceramic
- molar ratio
- composition
- Prior art date
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 10
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GHPGOEFPKIHBNM-UHFFFAOYSA-N antimony(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Sb+3].[Sb+3] GHPGOEFPKIHBNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/90—Electrical properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3248—Zirconates or hafnates, e.g. zircon
- C04B2235/3249—Zirconates or hafnates, e.g. zircon containing also titanium oxide or titanates, e.g. lead zirconate titanate (PZT)
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
본 발명은 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물에 관한 것으로, 그 목적은 그 목적은 압전 전압상수(g)가 크고 온도안정성이 현저하게 개선되어 가속도 센서에 적합한 압전 세라믹스 조성물을 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 압전 세라믹스 조성물은 αPb(Sb1/2Nb1/2)O3-βPbZrO3-γPbTiO
3+xMnO2+yLa2O3의 압전 세라믹스 조성에서, 조성식 중의 변수 α가 몰비로 0.01≤α≤0.10이고, β가 몰비로 0.30≤β≤0.60이며, γ가 몰비로 0.30≤γ≤0.60이고, x는 조성물 총량에 대한 중량%로서 0.1≤x≤1.0 이며, y는 조성물 총량에 대한 중량%로서 0.1≤y≤0.5 인 것을 특징으로 한다.
압전, 세라믹, 가속도센서
Description
[산업상 이용분야]
본 발명은 세라믹스 조성물에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압전 전압상수(g)가 크고 온도안정성이 향상된 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물에 관한 것이다.
[종래기술]
가속도 센서는 물체의 동적 진동변화, 즉 가속도를 직접 감지할 수 있는 센서이며, 신호 감지용 핵심소자로 압전 세라믹스를 이용하는 가속도 센서는 압전체에 가해지는 기계적 진동신호의 크기에 비례하는 전기적 신호를 발생시키므로 그때의 진동상태를 알 수 있게 하는 센서이다.
종래 사용되고 있는 가속도 센서용 압전 재료로는 PZT[Pb(Zr,Ti)O3]를 기초로한 3성분계 등이 있으며 이하 종래 사용되고 있는 압전재료에 대하여 상세하게 살펴보기로 한다.
일반적으로 가속도 센서용 압전 재료로서는 압전 전압상수(g)가 커서 진동신호에 대한 감도가 크고, 동시에 온도계수가 작아서 사용온도 변화에 관계없이 일정한 특성을 유지할 수 있는 조성이 요구되고 있다.
압전 전압상수(g)를 높이기 위해서는 압전 전하상수(d)를 높이고 유전율(ε)을 낮게 하여야 한다. 그러나 일반적인 PZT[Pb(Zr,Ti)O3]를 기초로 한 3성분계에서는 압전 전하상수와 유전율이 상호 비례하여 증가하는 경향을 나타내므로 전체적인 압전 전압상수(g) 값을 높이기가 매우 어렵다.
또한 온도계수를 낮추기 위해서는 강유전체에서 상유전체로의 상전이 현상이 나타나는 큐리온도(Tc)를 높이는 것이 일반적이나, 큐리온도가 증가할수록 저온 영역에서의 압전 전압상수(g)가 작아져서 감도가 떨어지는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 압전 전압상수(g)가 크고 온도안정성이 현저하게 개선되어 가속도 센서에 적합한 압전 세라믹스 조성물을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 압전 세라믹스 조성물은 αPb(Sb1/2Nb1/2)O3-βPbZrO3-γPbTiO3+xMnO
2+yLa2O3의 압전 세라믹스 조성에서, 조성식 중의 변수 α가 몰비로 0.01≤α≤0.10이고, β가 몰비로 0.30≤β≤0.60이며, γ가 몰비로 0.30≤γ≤0.60이고, x는 조성물 총량에 대한 중 량%로서 0.1≤x≤1.0 이며, y는 조성물 총량에 대한 중량%로서 0.1≤x≤0.5 인 것을 특징으로 한다.
이하 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.
본 발명의 압전 세라믹 조성물을 제조하기 위하여 순도가 99.5% 이상인 산화납(PbO), 산화지르코늄(ZrO2), 산화티타늄(TiO2), 산화안티몬(Sb2O3
), 산화니오브(Nb2O5), 이산화망간(MnO2), 산화란타늄(La2O3
)을 조성에 맞게 혼합하고 분쇄한 후 온도가 약 700 내지 1000℃인 전기로에서 약 1내지 5시간동안 하소시켜 본 발명의 단일상 압전 세라믹 조성물 분말을 제조한다.
상기 본 발명에서 사용되는 각 성분들의 조성비는 α가 몰비로 0.01≤α≤0.10이고, β는 몰비로 0.30≤β ≤0.60이고, γ는 몰비로0.30≤γ ≤0.60가 되도록 하는 것이 바람직하며, 각 계수의 몰비가 이 범위를 벗어나는 경우에는 본 발명에서 요구하는 물성을 얻을 수 없다.
상기 본 발명에서 사용되는 이산화망간 및 산화란타늄은 특정 원소와의 치환이나 격자내 침입을 통하여 소결체의 소결성, 미세구조 등을 변화시킴으로써 압전 세라믹 조성물에 우수한 압전특성을 부여하기 위하여 첨가된다. 상기 이산화망간 및 산화란타늄의 첨가량은 요구하는 소결체의 조성에 따라 상이할 수 있으나, 본 발명에서 요구하는 효과를 얻기 위해서는 상기 이산화망간 및 산화란타늄의 함량이 압전 세라믹 조성물 총량에 대하여 각각 0.1 내지 1.0중량%와 0.1내지 0.5중량%가 되도록 첨가하는 것이 바람직하다.
상기 본 발명의 압전 세라믹 조성물을 제조한 후, 조성물의 시편을 제조하여 제조된 세라믹 조성물의 물성을 측정한다.
다음은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시한다. 그러나 하기의 실시예들은 본 발명을 보다 쉽게 이해하기 위하여 제공되는 것일 뿐, 본 발명이 하기의 실시예에 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
순도 99.5% 이상의 산화납, 산화지르코늄, 산화티타늄, 산화안티몬, 산화니오브, 이산화망간, 산화란타늄 분말을 하기 표 1에 나타낸 조성이 되도록 칭량하여 혼합한 후, 에탄올 용매 중에서 볼밀을 사용하여 24시간동안 혼합 및 분쇄한 후 건조시키고 온도 약 900℃에서 2시간 동안 하소하였다.
상기 하소된 세라믹 조성물 분말을 24시간 동안 습식 볼밀을 수행하여 평균입도가 0.8 내지 1.2 ㎛이 되도록 하였다. 상기 습식 볼밀된 조성물 분말을 건조시킨 후, 유압프레스를 사용하여 지름 20 ㎜의 성형몰드로 가압 성형을 수행하고 냉간 정수압 프레스(cold isostatic press) 등으로 약 2톤/㎠의 압력을 가하여 물성측정을 위한 조성물 시편을 제조하였다.
상기 제조된 시편을 동일 조성을 갖는 분말로 균일하게 덮은 후, 밀폐된 알루미나 도가니에 넣고 산화납 분위기에서 약 1100℃ 내지 1300℃의 온도에서 약 1시간 내지 4시간 동안 유지시켜 시편을 소결하였다. 상기 소결된 시편을 연마기로 두께가 약 1 ㎜가 되도록 연마하고 초음파 세척기로 이물질을 제거하고 건조시킨 후, 은 전극을 시편의 양면에 도포시키고 온도 약 590℃에서 약 15분 동안 열처리 를 수행하여 시편의 양면에 전극을 형성하였다.
상기 전극이 형성된 시편을 실리콘 오일 속에 담그고 온도 약 120℃에서 약 3㎸/㎜의 직류전류를 약 10분 동안 인가시켜 시편에 압전성을 부여하였다. 상기 압전성이 부여된 시편을 온도 약 150℃에서 약 10시간 동안 열처리하여 분극 처리된 시편의 시효현상을 제거한 후, 상기 시효현상이 제거된 시편을 사용하여 통상의 방법으로 상온에서의 압전 전압상수 및 상온∼150℃ 범위에서 압전 전압상수의 온도계수를 측정하고 그 결과를 하기 표2에 나타내었다. 또한 종래 압전 세라믹 조성물과 물성을 비교하기 위하여 PZT 3성분계의 세라믹 조성물에 대한 압전 전압상수 및 온도계수를 측정하고 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
실시예 2 내지 4
하기 표 1에서 보는 바와 같이 조성물의 함량을 상이하게 한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 압전 세라믹 조성물을 제조하고 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 시편을 제조하고, 제조된 시편의 압전 전압상수 및 온도계수를 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 측정하고, 그 결과를 하기 표2에 나타내었다.
| 실시예 1 | 실시예 2 | 실시예 3 | 실시예 4 | |
| α | 0.01 | 0.01 | 0.10 | 0.10 |
| β | 0.39 | 0.60 | 0.30 | 0.60 |
| γ | 0.60 | 0.39 | 0.60 | 0.30 |
| x* | 0.1 | 0.1 | 1.0 | 1.0 |
| y* | 0.1 | 0.1 | 0.5 | 0.5 |
(* : 세라믹 조성물 총량에 대한 중량%임)
| 실시예 | 종래예 | ||||
| 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 압전 전압상수(g33) | 35 | 42 | 36 | 45 | 30 |
| 온도계수(%) | 8 | 17 | 10 | 18 | 20 |
상기 표 2에서 보는 바와 같이 실시예 1과 실시예 3의 경우 압전 전압상수의 온도계수가 약 50% 이상 감소하여 온도안정성이 크게 향상되었으며, 실시예 2와 실시예 4의 경우 압전 전압상수가 약 40% 이상 증가한 우수한 특성을 나타내었다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 압전 세라믹스 조성물은 압전 전압상수가 크고 온도안정성이 현저하게 개선되어 가속도 센서용 압전 세라믹스로서 실용성이 높은 효과가 있다.
Claims (1)
- αPb(Sb1/2Nb1/2)O3-βPbZrO3-γPbTiO3+xMnO2+yLa2O3의 압전 세라믹스 조성에서, 상기 α가 몰비로 0.03<α≤0.10이고, 상기 β가 몰비로 0.30≤β≤0.60이며, 상기 γ가 몰비로 0.30≤γ≤0.60이고, 상기 x가 상기 세라믹스 조성물 총량에 대한 중량%로 0.1≤x≤1.0 이며, 상기 y가 상기 세라믹스 조성물 총량에 대한 중량%로 0.1≤y≤0.5 인 것을 특징으로 하는 압전 세라믹스 조성물.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010083425A KR100641338B1 (ko) | 2001-12-22 | 2001-12-22 | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010083425A KR100641338B1 (ko) | 2001-12-22 | 2001-12-22 | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20030053249A KR20030053249A (ko) | 2003-06-28 |
| KR100641338B1 true KR100641338B1 (ko) | 2006-10-31 |
Family
ID=29577846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020010083425A KR100641338B1 (ko) | 2001-12-22 | 2001-12-22 | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100641338B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114605150B (zh) * | 2022-03-22 | 2023-11-14 | 中山市声诺仪器设备有限公司 | 一种高密度、低损耗及高介电常数压电陶瓷及其制备方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR940022936A (ko) * | 1993-03-02 | 1994-10-22 | 서정욱 | 산화물 압전재료 |
| JPH07187781A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 医療用超音波探触子の酸化物圧電材料 |
| JPH11322419A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
| JP2000169224A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物、圧電デバイス及び圧電トランス |
| KR20010102673A (ko) * | 2000-05-04 | 2001-11-16 | 이형도 | 고출력 압전세라믹 조성물과 이를 이용한 트랜스포머 |
-
2001
- 2001-12-22 KR KR1020010083425A patent/KR100641338B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR940022936A (ko) * | 1993-03-02 | 1994-10-22 | 서정욱 | 산화물 압전재료 |
| JPH07187781A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-07-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 医療用超音波探触子の酸化物圧電材料 |
| JPH11322419A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
| JP2000169224A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物、圧電デバイス及び圧電トランス |
| KR20010102673A (ko) * | 2000-05-04 | 2001-11-16 | 이형도 | 고출력 압전세라믹 조성물과 이를 이용한 트랜스포머 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1019940022936 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20030053249A (ko) | 2003-06-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102471166B (zh) | 压电陶瓷合成物、制造该合成物的方法和包括该合成物的电部件 | |
| US6004474A (en) | Piezoelectric ceramic composition | |
| KR20180128776A (ko) | 변형율이 높은 삼성분계 무연 압전 세라믹 조성물 | |
| JP2000128632A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP4247936B2 (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| KR100641338B1 (ko) | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 | |
| KR100663971B1 (ko) | ＮｉＯ가 첨가된 ＰＮＮ-ＰＺＴ 압전세라믹 및 그 제조방법 | |
| KR100471978B1 (ko) | 가속도 센서용 압전 세라믹스 조성물 | |
| KR970007140B1 (ko) | 작동기용 압전 세라믹 조성물 | |
| US3528918A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| US3144411A (en) | Barium-continaining lead titanate ferroelectric compositions and articles | |
| JP2001048642A (ja) | 圧電セラミックス | |
| KR100426722B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 및 이의 제조방법 | |
| US3640866A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| KR100197150B1 (ko) | 작동기용 압전 세라믹 조성물 | |
| KR100490833B1 (ko) | 가속도 센서용 압전 세라믹 조성물 및 그 제조방법 | |
| CA1038155A (en) | Piezoelectric ceramics | |
| US3400076A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| KR100463587B1 (ko) | 세라믹 필터용 압전 세라믹스 조성물 | |
| KR930001915B1 (ko) | 저온 소결 압전요업재료 제조방법 | |
| KR101012143B1 (ko) | 센서 및 액추에이터용 비납계 압전 세라믹 조성물 및 그 제조방법 | |
| JP2567913B2 (ja) | 強誘電性セラミックス | |
| KR100562988B1 (ko) | 바이몰프용 압전 세라믹스 조성물 | |
| KR20030053250A (ko) | 압전 트랜스포머용 압전 세라믹스 조성물 | |
| JPH0438710B2 (ko) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |