KR100625312B1 - 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05C—BOLTS OR FASTENING DEVICES FOR WINGS, SPECIALLY FOR DOORS OR WINDOWS
- E05C19/00—Other devices specially designed for securing wings, e.g. with suction cups
- E05C19/16—Devices holding the wing by magnetic or electromagnetic attraction
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- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05B—LOCKS; ACCESSORIES THEREFOR; HANDCUFFS
- E05B65/00—Locks or fastenings for special use
- E05B65/0025—Locks or fastenings for special use for glass wings
-
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- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/40—Motors; Magnets; Springs; Weights; Accessories therefor
- E05Y2201/46—Magnets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리를 개시한다. 개시된 본 발명은 외부의 동력을 전달받아 회전하는 샤프트에 끼워지고, 테이퍼(taper)지고 신축성 있는 수나사가 형성된 롤러; 및 상기 샤프트에 끼워지고, 상기 롤러의 테이퍼진 수나사와 맞물리도록 테이퍼(taper)진 암나사가 형성된 너트를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 너트는 롤러와 볼트 이음식으로 삽입 결합하고, 삽입 결합되는 너트는 롤러의 수나사 부분을 수축시켜 롤러와 샤프트와의 결합력을 제공한다. 따라서, 부품의 수가 종전보다 줄어들어 유비 보수가 쉽고 동작 이상이 줄어들어 유지 보수에 따르는 비용을 절감할 수 있는 등 종국적으로는 원가 절감의 효과가 있다.
Description
도 1은 종래의 롤러 어셈블리를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤러 어셈블리를 도시한 것이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100; 롤러 어셈블리 120; 샤프트
140; 롤러 140a; 수나사
160; 너트 160a; 암나사
본 발명은 롤러 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리에 관한 것이다.
액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이과 같은 평판형 디스플레이 장치의 제조 설비에는 평판형 기판이 1매씩 연속적으로 공급되고, 제공된 기판에 대해 소정의 제조 공정이 순차로 진행되는 것이 일반적이다. 이를 위해 평판형 디스플레이 소자의 제조 설비는 특정의 공정이 행해지는 단위의 제조 시스템이 다수 결합되어 이루어져 있다. 이러한 각 단위의 제조 시스템에는 기판의 이송을 위하여 롤러가 설치된다.
종래 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리를 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 종래 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리(10)는 원통형의 샤프트(12)가 롤러(14)에 삽입되어 있고, 롤러(14)의 수나사(14a)와 너트(16)의 암나사(16a)가 맞물리어 롤러(14)는 너트(16)에 삽입되어 결합된다. 그리고, 롤러(14) 내부에는 페럴(18;ferulle)이 삽입됨으로써, 롤러(14)와 너트(16)의 결합으로써 페럴(18)이 롤러(14) 내부로 수축 삽입되어 롤러(14)와 샤프트(12)와의 결합력을 제공한다. 이에 따라, 샤프트(12)의 회전력이 롤러(14)에 그대로 전달된다.
그런데, 종래의 롤러 어셈블리는 롤러(14)와 너트(16) 외에 페럴(18)이라는 롤러(14)와 샤프트(12) 사이의 결합력을 제공하는 별도의 부품이 필요하였다. 따라서, 설비의 유지 보수를 위한 롤러 어셈블리의 분해 조립시 부품 오염이나 손실 등 부품 관리가 그리 용이하지 않은 점이 있었다. 이에 설비의 개선, 특히 부품의 수를 줄이고자 하는 노력이 종래부터 있어왔다.
본 발명은 상기한 종래 기술상의 문제점 내지는 요구를 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 구조를 개선하여 부품의 수를 줄인 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리는, 종래의 페럴을 필요치 아니하면서도 롤러와 샤프트와의 결합력이 담보된 것을 특징으로 한다.
상기 특징을 구현하는 본 발명의 일국면에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리는, 외부의 동력을 전달받아 회전하는 샤프트에 끼워지고, 테이퍼(taper)지고 신축성 있는 수나사가 형성된 롤러; 및 상기 샤프트에 끼워지고, 상기 롤러의 테이퍼진 수나사와 맞물리도록 테이퍼(taper)진 암나사가 형성된 너트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 실시예에 있어서, 상기 롤러의 수나사와 상기 너트의 암나사가 서로 맞물리어 상기 롤러와 상기 너트는 볼트 이음식으로 삽입 결합되고, 상기 너트는 상기 롤러의 수나사 부분을 수축시켜 상기 롤러와 상기 샤프트와의 결합력을 제공하는 것을 특징으로 한다. 상기 롤러의 수나사 부분 중에서 적어도 한 곳은 벌려진 틈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하며, 상기 틈의 길이 방향은 상기 수나사의 회전 방향과 수직하는 것을 특징으로 한다.
상기 특징을 구현하는 본 발명의 다른 국면에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리는, 외부의 동력을 전달받아 회전하는 원통형의 샤프트의 외경에 상당하는 내경을 가지고 있어 상기 샤프트에 끼워지고, 테이퍼(taper)된 수나사가 형성된, 그리고 상기 수나사가 형성된 부분 중 적어도 한 곳은 상기 수나사의 회전하는 방향과 수직하는 방향으로 뻗어 있는 틈이 형성된 롤러; 및 상기 샤프트의 외경에 상당하는 내경을 가지고 있어 상기 샤프트에 끼워지고, 상기 롤러의 테이퍼진 수나 사에 맞물리도록 테이퍼(taper)된 암나사가 형성되어 있어 상기 롤러와는 볼트 이음식으로 결합하여 상기 롤러의 수나사가 형성된 부분을 수축시켜 상기 롤러와 상기 샤프트와의 결합력을 제공하는 너트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 너트는 롤러와 볼트 이음식으로 삽입 결합하고, 삽입 결합되는 너트는 롤러의 수나사 부분을 수축시켜 롤러와 샤프트와의 결합력을 제공한다.
이하, 본 발명에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리를 첨부한 도면을 참종하여 상세히 설명한다.
본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명에 따른 반도체 소자의 제조 장치는 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명에 따른 반도체 소자의 제조 장치는 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리(100)는 샤프트(120)에 끼워지는 롤러(140)와, 롤러(140)와 결합하는 너트(160)로 구성된다.
샤프트(120;shaft)는 소정의 공정이 진행되는 챔버에 설치되어 공정 대상물인 기판, 예를 들어, 액정디스플레이 장치나 플라즈마 디스플레이 장치 등에 사용되는 글라스 패널 등을 이송시키는 것일 수 있다. 기판 이송을 위해 샤프트(120)의 일단부는 모터와 같은 외부 동력원으로부터 풀리와 벨트 등에 의해 동력을 전달받아 회전된다. 샤프트(120)는 주로 원통형으로서 샤프트(120)의 특정 부위에는 실제로 기판과 직접 접촉하는 롤러(140)와, 롤러(140)와 결합되는 너트(160)로 이루어진 롤러 어셈블리(100)가 끼워져 있다.
롤러(140;roller)는 샤프트(120)의 외경에 상당하는 내경을 가진 도우넛과 같은 형태를 지니고 있어 롤러(140) 안쪽으로 샤프트(120)가 끼워진다. 그리고, 롤러(140)의 어느 일단부 외주면에는 나사, 즉 수나사(140a;external thread)가 형성되어 있다. 수나사(140a)의 피치(pitch)와 나사산각 및 리드(lead)는 임의적으로 설계될 수 있다. 수나사(140a)가 오른나사인지 아니면 왼나사인지 여부는 롤러(140)의 회전방향을 고려하여 적절히 선택될 수 있다.
그런데, 수나사(140a)의 골지름은 어느 한 방향으로 갈수록 커지는 형태, 즉 테이퍼(taper)진 형태를 취한다. 테이퍼진 수나사(140a) 중에서 어떤 곳은 벌려진 형상의 틈(A)이 형성되어 있다. 틈(A)은 수나사(140a)의 회전 방향과는 수직하는 방향, 즉 샤프트(120)의 길이 방향과 동일한 방향으로 뻗어 있다. 이러한 틈(A)의 존재로 말미암아 롤러(140)의 수나사(140a) 부분은 신축성을 가진다. 여기서, 틈(A)은 본 실시예와 같이 하나만 형성되어 있을 수 있고 또는 2개 이상 형성되어 있을 수 있다. 한편, 롤러(140)는 수지로 만들어 질 수 있고 또는 알루미늄과 같은 금속 재질로 만들어 질 수 있는 등 롤러(140)의 구성 재질은 제한되지 않는다.
너트(160;nut)는 롤러(140)와 마찬가지로 샤프트(120)의 외경에 상당하는 내경을 가진 도우넛과 같은 형태를 지니고 있어 너트(160) 안쪽으로 샤프트(120)가 끼워진다. 그리고, 롤러(140)와 대면하는 너트(160)의 일단부 내면에는 나사, 즉 암나사(160a;internal thread)가 형성되어 있다. 이 암나사(160a)는 피치와 나사산 및 리드는 롤러(160)의 수나사(160a)와 맞물리게끔 되어 있다. 또한, 테이퍼진 수나사(140a)와 마찬가지로 암나사(160a)의 골지름이 롤러(140)를 향한 방향으로 점진적으로 커지는 테이퍼형이다.
상기와 같이 구성된 롤러 어셈블리(100)는 볼트 이음식, 구체적으로는 롤러(140)의 수나사(140a) 부분과 너트(160)의 암나사(160a) 부분이 돌려져 끼워지는 형태로 결합된다. 이때, 롤러(140)의 수나사(140a) 부분에는 틈(A)이 형성되어 있기 때문에 너트(160)와 롤러(140)가 돌려져 삽입될 때 수나사(140a) 부분은 수축된다. 이에 따라, 수나사(140a) 부분은 롤러(140)와 샤프트(120) 사이에 결합력을 제공한다. 다시 말하면, 너트(160)는 볼트 이음식으로 롤러(140)와 삽입 결합되고, 삽입 결합시 너트(160)는 롤러(140)의 수나사(140a) 부분을 수축시켜 롤러(140)와 샤프트(120)를 견고히 결합하게 하여 샤프트(120)의 회전 동작이 롤러(140)에 그대로 전달되게 하는 것이다.
한편, 본 발명의 롤러 어셈블리는 본 실시예에서와 같이 기판 이송에 이용되는 것뿐만 아니라 샤프트와 같이 회전하는 기구에 끼워지는 다양한 볼트 이음식 방식의 어셈블리에 응용될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리에 의하면, 부품의 수가 종전보다 줄어들어 유비 보수가 쉽고 동작 이상이 줄어들어 유지 보수에 따르는 비용을 절감할 수 있는 등 종국적으로는 원가 절감의 효과가 있다.
Claims (5)
- 외부의 동력을 전달받아 회전하는 샤프트에 끼워지고, 테이퍼(taper)진 외주변을 가지며, 상기 테이퍼진 외주면에는 수나사가 형성되고, 상기 수나사가 형성된 테이퍼진 외주면은 신축성이 있는 롤러; 및상기 샤프트에 끼워지고, 상기 수나사가 형성된 테이퍼진 외주면과 부합하는 테이퍼진 내주면을 가지며, 상기 테이퍼진 내주면에는 상기 수나사와 맞물리는 암나사가 형성되고, 상기 수나사와 암나사가 돌려끼워져 상기 수나사가 형성된 테이퍼진 외주면을 수축시켜 상기 롤러를 상기 샤프트에 견고히 결합시키는 너트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
- 제1항에 있어서,상기 롤러의 테이퍼진 수나사는 상기 너트를 향해 직경이 점진적으로 작아지는 형태이고, 상기 너트의 테이퍼진 암나사는 상기 롤러를 향해 직경이 점진적으로 커지는 형태인 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 롤러의 수나사 부분 중에서 적어도 한 곳은 벌려진 틈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
- 제3항에 있어서,상기 틈의 길이 방향은 상기 수나사의 회전 방향과 수직하는 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
- 제1항에 있어서,상기 샤프트는 원통형이고, 상기 롤러는 상기 샤프트의 외경에 상당하는 내경을 가지고, 상기 너트는 상기 샤프트의 외경에 상당하는 내경을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040034330A KR100625312B1 (ko) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040034330A KR100625312B1 (ko) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20050109257A KR20050109257A (ko) | 2005-11-17 |
| KR100625312B1 true KR100625312B1 (ko) | 2006-09-20 |
Family
ID=37285203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020040034330A KR100625312B1 (ko) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 기판 이송에 이용되는 롤러 어셈블리 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100625312B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101048816B1 (ko) * | 2008-10-29 | 2011-07-12 | 세메스 주식회사 | 반송 샤프트 장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR960007486B1 (ko) * | 1994-03-05 | 1996-06-05 | 대한중석 주식회사 | 압연 로울러 |
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2004
- 2004-05-14 KR KR1020040034330A patent/KR100625312B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR960007486B1 (ko) * | 1994-03-05 | 1996-06-05 | 대한중석 주식회사 | 압연 로울러 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101048816B1 (ko) * | 2008-10-29 | 2011-07-12 | 세메스 주식회사 | 반송 샤프트 장치 |
Also Published As
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|---|---|
| KR20050109257A (ko) | 2005-11-17 |
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