KR100624505B1 - 컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 기판의제조 방법, 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 전자 기기및 그 제조 방법 - Google Patents

컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 기판의제조 방법, 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 전자 기기및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100624505B1
KR100624505B1 KR1020040030419A KR20040030419A KR100624505B1 KR 100624505 B1 KR100624505 B1 KR 100624505B1 KR 1020040030419 A KR1020040030419 A KR 1020040030419A KR 20040030419 A KR20040030419 A KR 20040030419A KR 100624505 B1 KR100624505 B1 KR 100624505B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display dot
manufacturing
substrate
region
color filter
Prior art date
Application number
KR1020040030419A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040103768A (ko
Inventor
가와세도모미
Original Assignee
세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세이코 엡슨 가부시키가이샤 filed Critical 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Publication of KR20040103768A publication Critical patent/KR20040103768A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100624505B1 publication Critical patent/KR100624505B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
    • B23Q7/02—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting by means of drums or rotating tables or discs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/201—Filters in the form of arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
    • B23Q7/006—Ejectors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing

Abstract

본 발명은 액체방울 토출 기술을 이용하여 컬러 필터 기판을 형성할 때에, 필터 요소 사이에서 혼색이 발생하는 것을 방지하는 것을 과제로 한다.
기재(2) 위를 복수의 표시용 도트 영역(6)으로 구분하는 뱅크(4)를 형성하는 공정과, 액상의 필터 재료를 복수의 표시용 도트 영역(6) 내에 노즐(27)로부터 액체방울(8)로서 토출하여 공급하는 공정을 갖는 컬러 필터 기판의 제조 방법이다. 재료를 토출하는 공정에서는, 표시용 도트 영역(6)의 중심으로부터 가장 가까운 표시용 도트 영역 에지까지의 거리의 대략 30% 이내의 범위 내에 필터 재료의 액체방울(8) 중심을 착탄시킨다. 착탄한 액체방울이 뱅크를 넘어 이웃의 영역에 침입하는 것을 방지할 수 있다.
컬러 필터 기판, 기재(基材), 차광층, 금속막, 뱅크(bank), 감광성 수지, 표시용 도트(dot) 영역, 레지스트, 액체방울

Description

컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 전자 기기 및 그 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING COLOR FILTER SUBSTRATE, METHOD OF MANUFACTURING ELECTROLUMINESCENT SUBSTRATE, ELECTRO-OPTICAL DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
도 1은 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법의 일 실시예의 주요(主要) 공정을 나타내는 공정도.
도 2는 도 1에 연속되는 공정도.
도 3은 도 2에 연속되는 공정도로서, 특히 (k)는 목표로 하는 컬러 필터 기판의 일 실시예를 나타내고 있는 도면.
도 4는 복수의 필터 요소의 배열 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 스트라이프 배열, (b)는 모자이크 배열, (c)는 델타 배열을 나타내고 있는 도면.
도 5는 액체방울 토출 시의 액체방울 착탄(着彈) 범위의 일례를 나타내는 평면도.
도 6은 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 일 실시예인 액정 장치의 단면(斷面) 구조를 나타내는 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법을 실시하는 제조 장치의 일례를 나타내는 사시도.
도 8은 도 7에 나타낸 제조 장치의 제어계를 나타내는 회로 블록도.
도 9는 도 7에 나타낸 제조 장치의 재료 토출부를 나타내는 사시도.
도 10은 도 9에 나타낸 재료 토출부의 주요부의 내부 구조를 일부 파단(破斷)하여 나타내는 사시도.
도 11은 도 10의 D-D선에 따른 단면도.
도 12는 본 발명에 따른 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법의 일 실시예의 주요 공정을 나타내는 공정도.
도 13은 도 12에 연속되는 공정도.
도 14는 도 13에 연속되는 공정도.
도 15는 도 14에 연속되는 공정도.
도 16은 도 15에 연속되는 공정도.
도 17은 일렉트로루미네선스 장치의 일례의 1화소 분의 단면 구조를 나타내는 단면도.
도 18은 도 17의 일렉트로루미네선스 장치의 등가(等價) 회로를 나타내는 회로도.
도 19는 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예를 나타내는 블록도.
도 20은 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예인 디지털 카메라를 나타내는 도면.
도 21의 (a)는 본 발명에 관련되는 실험의 조건을 설명하기 위한 도면, (b) 는 실험 결과를 나타내는 표.
도 22는 도 21의 (b)의 결과를 나타내는 그래프.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1 : 컬러 필터 기판
2 : 기재(基材)
3 : 차광층
3a : 금속막
4 : 뱅크(bank)
4a : 감광성 수지
6, 6g, 6r, 6b : 표시용 도트(dot) 영역
7a : 레지스트
8 : 액체방울
9g, 9r, 9b : 필터 요소
20 : 케이싱(casing)
22 : 잉크젯 헤드
27 : 노즐(액체방울 토출부)
39 : 가압체(加壓體)
41 : 압전 소자
42a, 42b : 전극
51 : 액정 장치(전기 광학 장치)
52 : 액정 패널
55 : 액정층
57a, 57b : 기판
61a, 61b : 기재
68 : 컬러 필터
100 : 일렉트로루미네선스 기판
101 : 일렉트로루미네선스 장치(전기 광학 장치)
111 : 화소 전극
111a : ITO막
112 : 반사막
113, 113r, 113g, 113b : EL 발광 요소
113A : 정공 주입층
113B : 유기 반도체막
150 : 디지털 카메라(전자 기기)
201 : 컬러 필터 기판의 제조 장치
202 : 필터 형성부
203 : 필터 재료 공급부
204 : 냉각 보존부
213 : 기록 헤드
E : 액체방울 착탄(着彈) 범위
P0 : 표시용 도트 영역의 중심
M0 : 필터 재료
M1 : 정공 주입층 재료
M2 : 유기 반도체막 재료
S0 : 파형(波形)
S1 : 비트맵(bitmap) 데이터
S2 : 토출 타이밍 신호
S3 : 위치 정보
V : 유효(有效) 표시 영역
본 발명은 컬러 표시를 행할 때에 이용되는 컬러 필터 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 기판 위에 발광(發光) 요소가 형성되어 이루어지는 구조체인 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 액정 장치나 일렉트로루미네선스 장치 등과 같은 전기 광학 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 휴대 전화기, 휴대 정보 단말기, PDA 등과 같은 전자 기기 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 휴대 전화기, 휴대 정보 단말기, PDA 등과 같은 전자 기기에 액정 장치나 일렉트로루미네선스 장치 등과 같은 전기 광학 장치가 널리 이용되고 있다. 예를 들면, 전자 기기에 관한 각종 정보를 시각적으로 표시하기 위해 전기 광학 장치가 이용되고 있다.
전기 광학 장치로서 액정 장치를 생각한 경우, 그 액정 장치에 의해 컬러 표시를 행할 때에는, 그 액정 장치의 내부에 컬러 필터 기판이 설치된다. 컬러 필터 기판은, 예를 들어, 투광성 유리 등에 의해 형성된 기재 위에 컬러 필터를 형성함으로써 제조된다. 컬러 필터는 R(적색), G(녹색), B(청색)의 3색 필터 요소나, C(청록색), M(자홍색), Y(황색)의 3색 필터 요소를 평면 내에 소정의 배열로 나열함으로써 형성된 광학 요소이다.
전기 광학 장치로서 일렉트로루미네선스 장치를 생각한 경우, 이 일렉트로루미네선스 장치의 내부에는 일반적으로 일렉트로루미네선스 기판이 설치된다. 그리고, 이 일렉트로루미네선스 기판은, 예를 들어, 투광성 유리 등에 의해 형성된 기재 위에 복수의 발광 요소를 매트릭스 형상으로 배열함으로써 형성된다.
그런데, 기재 위에 컬러 필터를 형성하여 컬러 필터 기판을 제조할 때, 즉, 기재 위에 복수의 필터 요소를 형성할 때에, 종래, 잉크젯 기술을 이용하여 기재 위에 필터 요소의 재료를 공급하는 방법이 알려져 있다(예를 들어, 일본국 특개2002-372614호 공보 참조). 이 방법에 의하면, 기재 위에 뱅크 등이라고 불리는 구분 요소를 형성하여 상기 기판 위를 복수의 영역으로 구분하고, 다음으로, 노즐로부터 필터 재료를 액체방울로서 토출하여 상기 영역 내에 공급하며, 다시 이것을 건조하여 용제(溶劑)를 증발시켜 원하는 필터 요소를 형성한다.
상기 종래의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 목표로 하는 각각의 영역 내의 어느 위치에 필터 재료의 액체방울을 착탄시킬지에 대해서는 특별히 고려되지 않았다. 실제로는, 각각의 영역에 관하여 착탄 위치가 불규칙하게 분포되었던 것으로 생각된다. 이 경우, 액체방울 재료의 착탄 위치가 영역의 가장자리 근방으로 되면, 착탄된 재료가 뱅크를 넘어 이웃의 영역에 침입하고, 그 결과, 서로 다른 색의 필터 재료가 혼색(混色)되어 컬러 필터의 품질이 저하될 우려가 있다.
본 발명은 상기 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 액체방울 토출 기술을 이용하여 컬러 필터 기판이나 일렉트로루미네선스 기판을 형성할 때에, 컬러 필터 기판의 필터 요소 사이나 일렉트로루미네선스 기판의 발광 요소 사이에서 혼색이 발생하는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법은, 기재 위를 복수의 표시용 도트 영역으로 구분하는 구분 요소를 형성하는 공정과, 액상(液狀)의 필터 재료를 상기 복수의 표시용 도트 영역 내에 액체방울 토출부로부터 액체방울로서 토출하여 공급하는 재료 토출 공정을 갖고, 상기 재료 토출 공정에서는, 상기 필터 재료의 액체방울 중심이 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역 에지(edge)까지의 거리의 대략 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 있어서, 「기재」는, 예를 들어, 투광성 유리나 투광성 플라스틱 등에 의해 형성된다. 또한, 「구분 요소」는, 예를 들어, 기판 위에 돌출되는 뱅크나 기판 위에 형성되는 발(撥)잉크층 등에 의해 구성된다. 이 발잉크층은 기재의 표면으로부터 거의 돌출되지 않게 형성할 수 있다. 뱅크는 기판 위에 돌출됨으로써 기재 표면에서의 액상 필터 재료의 흐름을 저지한다. 또한, 발잉크층은 기재 표면에서의 액상 필터 재료의 흐름을 발(撥)잉크성에 의해 저지한다.
또한, 「필터 재료」는 R(적색), G(녹색), B(청색)이나 C(청록색), M(자홍색), Y(황색)의 색을 갖는 재료에 의해 구성된다. 이 필터 재료의 재질(材質)은 특별한 것에 한정되지 않지만, 예를 들어, 수지(resin) 등의 투명재(透明材)를 주체(主體)로 하는 각색 안료(顔料)와, 에틸렌글리콜 등과 같은 글리콜계의 용매로 이루어지는 액상물로 할 수 있다. 또한, 안료, 계면활성제 및 용매에 의해 구성되는 고형분을 적절한 용매에 용해(溶解)함으로써 구성된 액상물로 할 수도 있다.
또한, 복수의 「표시용 도트 영역」의 각각에는 R, G, B의 3색에서 선택되는 1색의 재료나, C, M, Y의 3색에서 선택되는 1색의 재료가 공급된다. R, G, B 3개의 표시용 도트 영역의 집합 또는 C, M, Y 3개의 표시용 도트 영역의 집합에 의해 1개의 화소가 형성된다.
또한, 「필터 재료를 액체방울로서 토출하는 재료 토출 공정」은 액체방울 토출 기술, 소위 잉크젯 기술에 의해 실현할 수 있다. 이 잉크젯 기술은, 예를 들어, 잉크 저장실에 압전 소자 및 노즐을 부설(附設)하고, 압전 소자의 진동에 의한 잉크 저장실의 부피 변화에 따라 노즐로부터 잉크, 즉, 액상물을 액체방울로서 토출하는 기술인 것이 바람직하다. 또한, 잉크젯 기술은, 예를 들어, 잉크 저장실 내에 저장된 잉크를 가열에 의해 팽창시킴으로써 노즐로부터 잉크를 액체방울로서 토출하는 기술로 할 수도 있다. 또한, 상기 재료 토출 공정에서 이용되는 「액체방울 토출부」는, 예를 들어, 잉크젯 헤드의 노즐과 같은 미세한 개구에 의해 구성된다.
상기 구성으로 이루어지는 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에 의하면, 표시용 도트 영역의 1개에 주목했을 때, 그 영역에 공급되는 액체방울의 착탄 위치가 상기 표시용 도트 영역의 가장자리 부분, 즉, 뱅크 등과 같은 구분 요소의 근방으로 되지 않아, 토출된 액체방울이 구분 요소를 넘어 이웃의 표시용 도트 영역에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 서로 인접하는 표시용 도트 영역에 형성되는 필터 요소 사이에서 혼색이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 복수의 표시용 도트 영역의 각각 1개씩에 복수의 액체방울이 공급되는 것이 바람직하다. 그리고, 그 때에는 그들 액체방울의 중심은 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역 에지까지의 거리의 대략 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 각각의 표시용 도트 영역 내에 충분한 양의 필터 재료를 공급할 수 있고, 또한, 인접하는 표시용 도트 영역 사이에서의 혼색을 방지할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서, 상기 액체방울은 상기 표시용 도트 영역의 전역(全域)을 덮는 것을 특징으로 한다.
다음으로, 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서, 상기 구분 요소는 발액성을 갖는 재료에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 여기서, 「발액성」은 액체 를 받아들이지 않는 성질을 의미한다. 구분 요소에 발액성을 부여하면, 액체방울이 상기 구분 요소를 넘을 가능성이 낮아지기 때문에, 인접하는 표시용 도트 영역 사이에서 혼색의 발생을 방지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 표시용 도트 영역의 세로 및 가로의 길이 중 긴 쪽의 길이를 L로 하고, 짧은 쪽의 길이를 S로 할 때, 0.7L
Figure 112006037033095-pat00023
S
Figure 112006037033095-pat00024
L인 것이 바람직하다. 이 부등식은 표시용 도트 영역이 가늘고 길기 보다는 오히려 정사각형에 가까운 형상인 것이 바람직함을 의미한다.
본 발명에 의하면, 필터 재료는 1개의 표시용 도트 영역 내의 중심 부분에 집중적으로 토출되는 경향이 있기 때문에, 토출된 필터 재료가 표시용 도트 영역의 내부에 균일하게 확장되도록 하기 위해서는, 상기 표시용 도트 영역의 평면 형상은 가늘고 길기 보다는 정사각형에 가까운 형상인 것이 바람직하다.
다음으로, 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서, 상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 타원형, 원형 또는 장원형(長圓形)인 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 토출된 액체방울 재료를 표시용 도트 영역 내에 균일하게 확장할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서, 상기 복수의 표시용 도트 영역 내에 형성되는 필터 요소의 배열은 델타 배열인 것이 바람직하다. 델타 배열은 도 4의 (c)에 나타낸 바와 같은 배열로서, 구체적으로는 R, G, B가 삼각형의 정점(頂點)에 상당하는 위치에 배열되는 동시에 횡렬(橫列) 방향에서 R, G, B가 차례로 반복하여 나열되는 배열이다.
복수의 필터 요소의 배열 방법으로서는, 델타 배열 이외에, 도 4의 (a)에 나타낸 스트라이프 배열이나 도 4의 (b)에 나타낸 모자이크 배열 등을 생각할 수 있다. 스트라이프 배열은 R, G, B 각각의 색이 종방향으로 일렬로 나열되고, 횡방향으로 차례로 1개씩 반복하여 변화하는 배열이다. 또한, 모자이크 배열은 R, G, B가 종렬(縱列)과 횡렬(橫列)의 양쪽에서 차례로 반복하여 나열되는 배열이다.
스트라이프 배열이나 모자이크 배열의 경우는, 각각의 필터 요소가 가늘고 길게 형성되는 경향이 있다. 이것에 대하여, 델타 배열의 경우는, 각각의 필터 요소가 정사각형에 가까운 형상으로 형성되는 경향이 있다. 상술한 바와 같이, 필터 재료를 표시용 도트 영역 내에서 균일하게 확장하는 것을 생각할 경우에는, 그 표시용 도트 영역의 형상은 직사각형보다도 정사각형에 가까운 형상인 것이 바람직하다. 이 관점에서, 필터 재료의 배열 방법으로서는 델타 배열이 바람직하다고 생각된다.
다음으로, 본 발명에 따른 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법은, 기재 위를 복수의 표시용 도트 영역으로 구분하는 구분 요소를 형성하는 공정과, 액상의 발광 요소 재료를 상기 복수의 표시용 도트 영역 내에 액체방울 토출부로부터 액체방울로서 토출하여 공급하는 재료 토출 공정을 갖고, 상기 재료 토출 공정에서는, 상기 발광 요소 재료의 액체방울 중심이 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역 에지까지의 거리의 대략 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것을 특징으로 한다. 이 구성에서의 각 구성요건 중에서 앞서 설명한 컬러 필터 기판의 제조 방법의 경우와 동일한 구성요건은 동일한 기능을 나타내므로, 설명을 생략한다.
상기 구성으로 이루어지는 본 발명의 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에 의하면, 표시용 도트 영역의 1개에 주목했을 때, 그 영역에 공급되는 액체방울의 착탄 위치가 상기 표시용 도트 영역의 가장자리 부분, 즉, 뱅크 등과 같은 구분 요소의 근방으로 되지 않아, 토출된 액체방울이 구분 요소를 넘어 이웃의 표시용 도트 영역에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 서로 인접하는 표시용 도트 영역에 형성되는 발광 요소 사이에서 혼색이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에서, 상기 복수의 표시용 도트 영역의 각각 1개씩에는 복수의 액체방울이 공급되는 것이 바람직하다.
그리고, 그 때, 그들 액체방울의 중심은 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역 에지까지의 거리의 대략 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 각각의 표시용 도트 영역 내에 충분한 양의 발광 요소 재료를 공급할 수 있고, 또한, 인접하는 표시용 도트 영역 사이에서의 혼색을 방지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에서, 상기 구분 요소는 발액성을 갖는 재료에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 구분 요소에 발액성을 부여하면, 액체방울이 상기 구분 요소를 넘을 가능성이 낮아지기 때문에, 인접하는 표시용 도트 영역 사이에서 혼색의 발생을 방지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에서, 상기 표시용 도트 영역의 세로 및 가로의 길이 중 긴 쪽의 길이를 L로 하고, 짧은 쪽의 길이를 S로 할 때, 0.7L
Figure 112006037033095-pat00025
S
Figure 112006037033095-pat00026
L인 것이 바람직하다. 이와 같이, 표시용 도트 영역의 평면 형상을 가늘고 길기 보다는 정사각형에 가까운 형상으로 함으로써, 상기 표시용 도트 영역에 토출된 발광 요소 재료를 상기 표시용 도트 영역 내에서 균일하게 확장할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에서, 상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 타원형, 원형 또는 장원형인 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 토출된 액체방울 재료를 표시용 도트 영역 내에 균일하게 확장할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에서, 상기 복수의 표시용 도트 영역은 델타 배열로 나열되는 것이 바람직하다. 델타 배열에서는, 각각의 표시용 도트 영역의 평면 형상이 스트라이프 배열이나 모자이크 배열과 비교하여 정사각형에 가까운 형상으로 되기 때문에, 액체방울 재료를 표시용 도트 영역 내에서 균일하게 확장하는 것에 관하여 바람직하다.
다음으로, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법은, 상기한 컬러 필터 기판의 제조 방법 또는 상기한 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법을 실시하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. 이 제조 방법에 의하면, 복수의 표시용 도트 영역 사이에서 혼색이 없는 고품질의 전기 광학 장치를 제조할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 전기 광학 장치는, 상기 전기 광학 장치의 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 한다. 이 전기 광학 장치에 의하면, 복수의 표시용 도트 영역 사이에 혼색이 없는 필터 요소나 발광 요소를 얻을 수 있기 때문 에, 선명한 컬러 표시를 행할 수 있다. 이러한 전기 광학 장치로서는, 예를 들어, 컬러 필터 기판을 이용하여 구성되는 액정 장치나 일렉트로루미네선스 기판을 이용하여 구성되는 일렉트로루미네선스 장치 등을 생각할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 전자 기기의 제조 방법은, 상기한 전기 광학 장치의 제조 방법을 실시하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명에 따른 전자 기기는, 그러한 전자 기기의 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 한다. 이러한 전자 기기로서는, 예를 들어, 휴대 전화기, 휴대 정보 단말기, PDA, 디지털 카메라 등을 생각할 수 있다.
(컬러 필터 기판의 제조 방법의 실시예)
이하, 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법을 일 실시예를 들어 설명한다. 또한, 본 발명이 이 실시예에 한정되지 않는 것은 물론이다. 또한, 후술하는 컬러 필터 기판의 제조 방법은 도 3의 (k)에 나타낸 컬러 필터 기판(1)을 제조하는 것으로 한다.
컬러 필터 기판의 제조 방법의 설명에 앞서, 우선, 그 제조 방법을 실현할 수 있는 제조 장치에 대해서 간단히 설명한다. 도 7은 그러한 컬러 필터 기판의 제조 장치의 일례를 나타내고 있다. 이 제조 장치(201)는 필터 형성부(202)와, 필터 재료 공급부(203)와, 냉각 보존부(204)를 갖는다. 필터 형성부(202)는 베이스(206)와, 이 베이스(206) 위에 설치된 X방향 구동계(207x)와, 마찬가지로 베이스(206) 위에 설치된 Y방향 구동계(207y)를 갖는다.
X방향 구동계(207x)는 구동 모터(211)와, 그 구동 모터(211)에 의해 구동되 어 자체의 중심축선을 중심으로 하여 회전하는 나사축(212)을 갖는다. 나사축(212)에는 기록 헤드(213)가 나사 결합되어 있다. 구동 모터(211)가 작동하여 나사축(212)이 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면, 그것에 나사 결합되는 기록 헤드(213)가 화살표 X방향으로 왕복 이동한다.
Y방향 구동계(207y)는 베이스(206) 위에 고정된 나사축(216)과, 그 나사축(216)에 결합되는 결합 부재를 회전 구동하는 구동 모터(217)와, 이 구동 모터(217)에 고정된 스테이지(218)를 갖는다. 필터 형성 처리를 받는 컬러 필터 기판의 기재(2)는 스테이지(218) 위에 탑재된다. 이 경우, 기재(2)는 위치가 용이하게 어긋나지 않도록 고착(固着)되는 것이 바람직하다. Y방향 모터(217)가 작동하여 상기 결합 부재가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면, 스테이지(218)가 나사축(216)에 의해 가이드되어 화살표 Y방향으로 왕복 이동한다. Y방향은 상기 X방향에 직각인 방향이다.
Y방향 구동계(207y)를 구성하는 나사축(216) 위에는 클리닝(cleaning) 장치(208)가 배열 설치되고, 이 클리닝 장치(208)와 일체인 모터(209)의 출력축이 나사축(216)에 나사 결합되어 있다. 모터(209)를 작동시켜 클리닝 장치(208)를 기록 헤드(213)의 위치까지 반송하면, 이 클리닝 장치(208)에 의해 기록 헤드(213)를 클리닝할 수 있다.
필터 재료 공급부(203)에는 가열 수단으로서의 히터(221)가 배열 설치되어 있다. 필터 재료를 저장한 용기(222)는, 이 히터(221)에 의해 둘러싸인 공간 내에 배치할 수 있게 되어 있다. 또한, 용기(222)와 기록 헤드(213)는 파이프(223)에 의해 연결되어 있다. 이 파이프(223)를 통하여 용기(222) 내의 액상물, 즉, 필터 재료가 기록 헤드(213) 내에 공급된다.
또한, 본 실시예에서 R, G, B의 3색에 의해 컬러 필터를 형성할 경우에는, R색용, G색용, B색용 3종류의 제조 장치(201)가 준비되어 그들이 각각 다른 장소에 설치되고, 각각의 제조 장치(201)의 용기(222) 중에는 R, G, B 각각의 색의 필터 재료가 1색씩 수용된다.
냉각 보존부(204)는 냉매 가스를 이용한 주지의 냉장고(226)에 의해 구성되어 있다. 이 냉장고(226)는 적어도 용기(222)를 수용할 수 있는 용적을 갖고 있다. 또한, 이 냉장고(226)의 적소(適所)에는 도어(door)가 설치되어, 이 도어를 열면, 용기(222)를 내부에 수납할 수 있다. 이 용기 수납 시의 작업성을 고려하여, 파이프(223)는 용기(222)로부터 제거할 수 있게 되어 있는 것이 바람직하다.
이 컬러 필터 기판의 제조 장치(201)는 온도 제어 회로(227)를 갖는다. 이 온도 제어 회로(227)는 작업자에 의해 조작되는 스위치 등과 같은 입력 장치로부터의 지시에 따라 냉장고(226)를 온(on)/오프(off) 제어한다. 또한, 온도 제어 회로(227)는 용기(222)의 근방에 배치한 온도 센서(228)에 의해 검지되는 용기(222)의 온도 정보, 즉, 용기(222) 내의 필터 재료의 온도 정보에 따라, 히터(221)로의 통전량을 제어한다. 이 통전량의 제어에 의해 히터(221)의 발열량을 제어하여, 필터 재료의 온도를 제어한다. 본 실시예에서는, 온도 제어 회로(227)는 냉장고(226)에 의해 냉각된 용기(222) 내의 필터 재료를 사용 온도, 예를 들어, 실온(室溫), 예를 들어, 18℃∼26℃, 바람직하게는 25℃∼26℃까지 승 온(昇溫)시키는 기능을 실현한다. 또한, 냉장고(226)는 전용(專用)의 온/오프 스위치에 의해 작업자가 희망에 따라 독자적으로 온/오프할 수 있게 할 수도 있다.
도 7의 필터 형성부(202)를 구성하는 기록 헤드(213)의 저면(底面)에는, 예를 들어, 도 9에 나타낸 바와 같은 잉크젯 헤드(22)가 1개 또는 복수개 설치되어 있다. 이 잉크젯 헤드(22)는 대략 직사각형 형상의 케이싱(20)을 갖고, 그 케이싱(20)의 저면에는 복수의 노즐(27)이 설치되어 있다. 이들 노즐(27)은 직경 약 0.02∼0.1㎜ 정도의 미소한 개구를 갖는다.
본 실시예에서는, 복수의 노즐(27)은 2열(列)에 걸쳐 설치되고, 이것에 의해, 2개의 노즐 열(28, 28)이 형성되어 있다. 각각의 노즐 열(28)에 있어서, 노즐(27)은 일정한 간격으로 직선 위에 설치되어 있다. 이들 노즐 열(28)에는 화살표 B로 나타낸 방향으로부터 액상물, 즉, 필터 재료가 공급된다. 공급된 필터 재료는 압전 소자의 진동에 따라 각 노즐(27)로부터 미소한 액체방울로서 토출된다. 또한, 노즐 열(28)의 개수는 1개 또는 3개 이상일 수도 있다.
잉크젯 헤드(22)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 예를 들어, 스테인리스제의 노즐 플레이트(29)와, 그것에 대향하여 배치된 진동판(31)과, 그 양자를 서로 접합시키는 복수의 구분 부재(32)를 갖는다. 또한, 노즐 플레이트(29)와 진동판(31) 사이에는, 필터 재료를 저장하기 위한 복수의 저장실(33)과 필터 재료가 일시적으로 모이는 개소인 액체 저장부(34)가 각 구분 부재(32)에 의해 형성되어 있다. 또한, 복수의 저장실(33)과 액체 저장부(34)가 통로(38)를 통하여 서로 연통(連通)하고 있다. 또한, 진동판(31)의 적소에 필터 재료의 공급 구멍(36)이 형성되어 있 고, 이 공급 구멍(36)에 도 7의 파이프(223)를 통하여 용기(222)가 접속되어 있다. 용기(222)로부터 공급된 필터 재료(M0)는 액체 저장부(34)에 충전되고, 또한, 통로(38)를 통과하여 저장실(33)에 충전된다.
잉크젯 헤드(22)의 일부를 구성하는 노즐 플레이트(29)에는, 필터 재료를 저장실(33)로부터 제트(jet) 상태로 분사하기 위한 노즐(27)이 설치되어 있다. 이 노즐(27)이 복수개 나열되어 노즐 열(28)을 구성하는 것은 도 9와 관련하여 상술한 바와 같다. 또한, 진동판(31)에서 저장실(33)에 대응하는 면에는 필터 재료를 가압하기 위한 가압체(39)가 부착되어 있다. 이 가압체(39)는, 도 11에 나타낸 바와 같이, 압전 소자(41) 및 이것을 사이에 삽입하는 한 쌍의 전극(42a, 42b)을 갖고 있다.
압전 소자(41)는 전극(42a, 42b)으로의 통전에 의해 화살표 C로 나타낸 외측으로 돌출되도록 휨 변형하고, 이것에 의해 저장실(33)의 용적을 증대시키는 기능을 갖는다. 그리고, 저장실(33)의 용적이 증대하면, 그 증대한 용적 분에 상당하는 필터 재료(M0)가 액체 저장부(34)로부터 통로(38)를 통과하여 저장실(33) 내에 유입(流入)된다.
한편, 압전 소자(41)로의 통전을 해제하면, 압전 소자(41)와 진동판(31)이 모두 원래의 형상으로 되돌아가고, 저장실(33)도 원래의 용적으로 되돌아간다. 그 때문에, 저장실(33)의 내부에 있는 필터 재료의 압력이 상승하여, 노즐(27)로부터 필터 재료가 액체방울(8)로 되어 토출된다. 또한, 액체방울(8)은 필터 재료에 함유되는 용제 등의 종류에 관계없이, 미소한 액체방울로서 노즐(27)로부터 안정되게 토출된다.
컬러 필터 기판의 제조 장치(201)는 도 8에 나타낸 제어 장치(90)를 갖는다. 이 제어 장치(90)는 도 7의 필터 형성부(202) 내의 X방향 모터(211), Y방향 모터(217) 및 기록 헤드(213)의 각 요소의 동작을 제어한다. 또한, 제조 장치(201)는 도 7의 클리닝용 모터(209)의 동작을 제어하는 제어부도 갖지만, 그 제어부에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제어 장치(90)는 컴퓨터에 의해 구성된 구동 신호 제어부(91)와, 컴퓨터에 의해 구성된 헤드 위치 제어부(92)를 갖는다. 이들 제어부는 신호선(97)을 통하여 서로 정보를 공유할 수 있게 되어 있다. 구동 신호 제어부(91)는 기록 헤드(213)를 구동하기 위한 파형(S0)을 아날로그 앰프(93)에 출력한다. 또한, 구동 신호 제어부(91)는 필터 재료를 어느쪽 위치에 토출할지를 나타내는 비트맵 데이터(S1)를 타이밍 제어부(94)에 출력한다.
아날로그 앰프(93)는 상기 파형(S0)을 증폭하여 중계 회로(95)에 전송한다. 타이밍 제어부(94)는 클록 펄스 회로를 내장하고, 상기 비트맵 데이터(S1)에 따라 토출 타이밍 신호(S2)를 중계 회로(95)에 출력한다. 중계 회로(95)는, 타이밍 제어부(94)로부터 보내진 토출 타이밍 신호(S2)에 따라, 아날로그 앰프(93)로부터 보내진 파형(S0)을 기록 헤드(213)의 입력 포트에 출력한다.
헤드 위치 제어부(92)는 X-Y 제어 회로(96)에 기록 헤드(213)의 위치에 관한 정보(S3)를 출력한다. X-Y 제어 회로(96)는, 보내져 온 기록 헤드(213)의 위치 정보(S3)에 의거하여, X방향에서의 기록 헤드(213)의 위치를 제어하는 신호를 X방향 모터(211)에 대하여 출력하고, 또한, Y방향에서의 스테이지(218)의 위치를 제어하는 신호를 Y방향 모터(217)에 대하여 출력한다.
구동 신호 제어부(91) 및 헤드 위치 제어부(92)에 관한 이상의 구성에 의해, 기록 헤드(213)는 스테이지(218)에 탑재된 기재(2)의 희망 좌표 위치가 도래(到來)했을 때에 필터 재료를 액체방울로서 토출하고, 이것에 의해, 기재(2) 위의 원하는 위치에 필터 재료의 액체방울이 착탄되어 도포된다.
다음으로, 도 9에 나타낸 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 실행되는 컬러 필터 기판의 제조 방법에 대해서 설명한다. 도 1 내지 도 3은 그 제조 방법을 구성하는 각 공정을 공정순으로 나타내고 있다. 또한, 도 3의 (k)가 목표로 하는 컬러 필터 기판(1)을 나타내고 있다.
우선, 도 1의 (a)에 있어서, 투광성 유리 및 투광성 플라스틱 등에 의해 형성된 기재(2) 위에 차광층(3)을 형성하는 재료로서, 크롬, 니켈, 알루미늄 등을 재료로 하여, 예를 들어, 건식(dry) 도금법을 이용하여 금속 박막(3a)을 형성한다. 이 경우, 금속 박막(3a)의 두께는 0.1∼0.5㎛ 정도인 것이 바람직하다.
다음으로, 도 1의 (b)에 있어서, 감광성 수지인 레지스트(7a)를 균일한 두께로 도포하고, 그 레지스트(7a)를 마스크를 통하여 노광(露光)하며, 다시 현상하여, 레지스트(7a)를 소정의 패턴으로 형성한다. 다음으로, 이 레지스트 패턴을 마스크로 하여 금속 박막(3a)을 에칭하여, 도 1의 (c)에 나타낸 바와 같이, 소정 형상, 본 실시예에서는 화살표 A방향으로부터 보아 격자 형상의 차광층(3)을 형성한다.
다음으로, 도 1의 (d)에 있어서, 차광층(3) 위에 감광성 수지(4a)를 균일한 두께로 형성하고, 이것에 포토리소그래피 처리를 실시하여 도 2의 (e)에 나타낸 바와 같이 소정 패턴의 뱅크(4)를 차광층(3)과 동일한 형상, 즉, 격자 형상으로 형성한다. 이 때, 뱅크(4)의 높이는 1.0㎛ 정도로 형성하는 것이 바람직하다.
이렇게 하여 뱅크(4)를 형성함으로써, 기재(2) 위에 그 뱅크(4)에 의해 구분된 복수의 표시용 도트 영역(6)이 형성된다. 뱅크(4)가 격자 형상인 것에 의해, 이들 복수의 표시용 도트 영역(6)은 화살표 A방향으로부터 보아 매트릭스 형상으로 나열된다. 뱅크(4)로서는, 특별히 흑색의 것을 이용할 필요는 없으며, 예를 들어, 우레탄계 또는 아크릴계의 경화형 감광성 수지 조성물을 이용할 수 있다.
또한, 뱅크(4)는 표시용 도트 영역(6) 내에 필터 재료를 수용하는 것이 주된 역할이며, 이 뱅크(4)의 표면에 필터 재료가 부착되는 것은 바람직하지 않다. 따라서, 뱅크(4)의 재질로서는, 필터 재료를 받아들이지 않는 성질을 갖는 것, 즉, 발액성을 갖는 것이 바람직하다. 이 의미에서 뱅크(4)는 불소 수지, 실리콘 수지 등에 의해 형성되는 것이 바람직하다.
이상과 같이 기재(2) 위에 뱅크(4)가 형성된 후, 그 기재(2)를 도 7에서 스테이지(218) 위의 소정 위치에 탑재한다. 그리고, X방향 구동계(207x) 및 Y방향 구동계(207y)를 작동시키는 동시에, 도 10의 가압체(39)를 작동시킴으로써, 이하와 같은 컬러 필터 형성 처리를 행한다. 또한, 본 실시예에서는, 도 4의 (c)에 나타낸 바와 같이 G색 필터 요소(9g), R색 필터 요소(9r) 및 B색 필터 요소(9b)를 델타 배열로 형성하는 것으로 한다. 여기서, 델타 배열은 R, G, B가 삼각형의 정점에 상당하는 위치에 배열되는 동시에 횡렬 방향에서 R, G, B가 차례로 반복하여 나열 되는 배열이다.
도 4에서는, 델타 배열 이외에, 도 4의 (a)에 스트라이프 배열을 나타내고, 도 4의 (b)에 모자이크 배열을 나타내고 있다. 스트라이프 배열은 R, G, B 각각의 색이 종방향으로 일렬로 나열되고, 횡방향으로 차례로 1개씩 반복하여 변화하는 배열이다. 또한, 모자이크 배열은 R, G, B가 종렬과 횡렬의 양쪽에서 차례로 반복하여 나열되는 배열이다. 또한, 도 4에서는 각 배열에서 필터 요소(9g, 9r, 9b)의 형상을 편의적으로 동일한 형상으로 도시했지만, 실제로는 스트라이프 배열이나 모자이크 배열에서는 각 필터 요소가 가늘고 긴 형상으로 형성되고, 그것과 비교하여 델타 배열에서는 정사각형에 가까운 형상으로 형성된다.
컬러 필터의 형성 처리 공정에 들어가면, 우선, 도 2의 (f)에 있어서, G색의 필터 요소를 형성해야 할 표시용 도트 영역(6g) 내에 도 9에 나타낸 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 G색 필터 재료를 액체방울(8)로서 토출한다. 이 액체방울 토출은 1개의 표시용 도트 영역에 대하여 복수회 실행되고, 합계 토출량(Ag)은 뱅크(4)의 높이에 의해 규정되는 표시용 도트 영역(6g)의 용적보다도 많아지도록 미리 설정되어 있다. 따라서, 공급된 G색 필터 재료는 뱅크(4)보다도 위쪽으로 돌출된다. 다음으로, 50℃, 10분 정도의 가열 처리에 의해 프리베이크(pre-bake)를 행하여 G색 필터 재료 내의 용제를 증발시켜, 도 2의 (g)에 나타낸 바와 같이, G색 필터 재료의 표면을 평탄화시켜 G색 필터 요소(9g)를 형성한다.
다음으로, 도 2의 (h)에 있어서, R색의 필터 요소를 형성해야 할 표시용 도트 영역(6r) 내에 도 9에 나타낸 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 R색 필터 재료를 액 체방울(8)로서 토출한다. 이 때의 합계 토출량(Ar)도 뱅크(4)의 높이에 의해 규정되는 표시용 도트 영역(6r)의 용적보다 많아지도록 설정되고, 공급된 R색 필터 재료는 뱅크(4)보다도 위쪽으로 돌출된다. 다음으로, 50℃, 10분 정도의 가열 처리에 의해 프리베이크를 행하여 R색 필터 재료 내의 용제를 증발시켜, 도 3의 (i)에 나타낸 바와 같이, R색 필터 재료의 표면을 평탄화시켜 R색 필터 요소(9r)를 형성한다.
다음으로, 도 3의 (j)에 있어서, B색의 필터 요소를 형성해야 할 표시용 도트 영역(6b) 내에 도 9에 나타낸 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 B색 필터 재료를 액체방울(8)로서 토출한다. 이 때의 합계 토출량(Ab)도 뱅크(4)의 높이에 의해 규정되는 표시용 도트 영역(6b)의 용적보다 많아지도록 설정되고, 공급된 R색 필터 재료는 뱅크(4)보다도 위쪽으로 돌출된다. 다음으로, 50℃, 10분 정도의 가열 처리에 의해 프리베이크를 행하여 B색 필터 재료 내의 용제를 증발시켜, 도 3의 (k)에 나타낸 바와 같이, B색 필터 재료의 표면을 평탄화시켜 B색 필터 요소(9b)를 형성한다.
그 후, 예를 들어, 230℃, 30분 정도의 가열에 의해 애프터베이크(after-bake)를 행하여 필터 요소를 경화시킴으로써, R, G, B의 각색 필터 요소(9g, 9r, 9b)를 소정의 배열, 예를 들어, 도 4의 (c)의 델타 배열로 나열되어 이루어지는 컬러 필터가 형성된다. 또한, 동시에, 기재(2)와 컬러 필터로 이루어지는 컬러 필터 기판(1)이 형성된다.
도 7에 나타낸 컬러 필터 기판의 제조 장치(201)는 상술한 바와 같은 컬러 필터 기판의 형성 처리를 실행한다. 이 형성 처리가 실행되고 있는 동안, R, G 또는 B의 필터 재료를 수용한 용기(222)는 필터 재료 공급부(203)에 배치된다. 그리고, 파이프(223)를 통하여 필터 재료가 기록 헤드(213)에 보내진다. 이 때, 필터 재료가 사용 온도, 즉, 실온, 예를 들어, 18℃∼26℃, 바람직하게는 25℃∼26℃로 되어 있으면, 히터(221)는 발열하지 않는 상태로 되어 있다.
컬러 필터 기판의 형성 처리가 종료되어, 제조 장치(201)를 다시 가동할 때까지 장시간의 대기 기간이 있을 경우, 작업자는 필터 재료의 용기(222)를 필터 재료 공급부(203)로부터 꺼내어, 냉각 보존부(204)에 있는 냉장고(226) 속에 넣는다. 냉장고(226)의 내부는 필터 재료의 사용 온도보다도 낮은 온도, 또는 필터 재료의 열화(劣化) 온도보다도 낮은 온도로 설정되어 있다. 또한, 사용 온도, 즉, 실온을 25℃∼26℃로 설정하면, 냉장고(226) 내의 온도는 약 10℃로 설정된다. 따라서, 냉장고(226)에 넣어진 필터 재료는 그 저온(低溫)까지 냉각된 상태에서 보존된다. 그 결과, 필터 재료가 단시간에 열화되는 것을 방지할 수 있어, 필터 재료의 품질을 장기간에 걸쳐 정상으로 유지할 수 있다.
이상과 같이 필터 재료를 냉장고(226) 내에서 냉각하여 보존한 경우, 이 필터 재료를 냉장고(226)로부터 꺼내어 필터 기판의 형성 처리를 재개(再開)하고자 할 때에는, 냉장고(226)로부터 꺼낸 필터 재료가 그 사용 온도, 즉, 실온으로 승온할 때까지 작업을 개시할 수 없다. 본 실시예에서는, 필터 재료 공급부(203)에 히터(221)가 설치되어 있기 때문에, 작업자가 그 히터(221)에 의해 둘러싸인 영역 내에 용기(222)를 배치하여 히터(221)를 발열시키면, 용기(222) 내의 필터 재료를 단 시간에 사용 온도까지 승온시킬 수 있어, 잉크젯 헤드(22)(도 9 참조)를 이용한 컬러 필터 기판의 형성 처리를 단시간 내에 개시할 수 있다.
또한, 필터 재료의 형성 처리를 개시할 때까지 시간의 여유가 있을 경우에는, 히터(221)의 발열을 이용하지 않고, 히터 재료를 실온 환경 하에서 자연스럽게 승온시킬 수도 있다.
본 실시예에서는, 도 2 및 도 3에 나타낸 필터 재료의 토출 공정에서, 각 표시용 도트 영역(6)에 대한 액체방울(8)의 착탄 위치를 도 5에 나타낸 바와 같은 위치로 설정한다. 구체적으로는, 필터 재료의 액체방울(8) 중심이 사선(斜線)으로 나타낸 액체방울 착탄 범위(E) 내에 들어가도록 제어한다. 이 액체방울 착탄 범위(E)는 다음과 같이 하여 결정된다. 즉, 표시용 도트 영역(6)에 관하여, 긴 변 방향의 중심점이 그리는 선과 짧은 변 방향의 중심점이 그리는 선의 교점(交點)(P0)을 중심으로 정한다. 그리고, 그 중심(P0)으로부터 가장 가까운 표시용 도트 영역(6)의 변, 도 5의 경우는 변 L1 또는 L2까지의 거리 d1의 30%의 거리 d2를 반경(半徑)으로 하는 원 형상의 영역을 액체방울 착탄 범위(E)로 한다. 액체방울의 착탄 위치를 이 범위(E)로 제한함으로써, 토출된 액체방울이 뱅크(4)를 넘어 이웃의 표시용 도트 영역(6)에 침입하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 서로 인접하는 필터 요소가 혼색되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에서는 액체방울이 표시용 도트 영역(6)의 중앙부에 모인다. 이 때문에, 표시용 도트 영역(6)의 평면 형상이 과도하게 가늘고 길면, 표시용 도트 영역(6)의 길이 방향의 가장자리 근방에 필터 재료가 골고루 미치지 않 을 우려가 있다. 이 현상을 회피하기 위해서는, 표시용 도트 영역(6)의 평면 형상을 가늘고 긴 형상보다도 오히려 정사각형이나 원형에 가까운 형상으로 하는 것이 바람직하다고 생각된다.
본 발명자는 이것에 관하여 실험을 행하였다. 그 결과, 표시용 도트 영역(6)의 세로 및 가로의 길이 중 긴 쪽의 길이를 L로 하고, 짧은 쪽의 길이를 S로 할 때, 0.7L
Figure 112006037033095-pat00027
S
Figure 112006037033095-pat00028
L로 설정하면, 실용상 지장이 없을 정도로 필터 재료를 표시용 도트 영역(6)의 거의 모든 영역에 골고루 미치게 할 수 있음을 알 수 있었다.
(변형예)
상기 실시예에서는, 컬러 필터를 구성하는 필터 요소로서 R, G, B의 3색을 생각했다. 그러나, 필터 요소로서는, R, G, B 이외에, C(청록색), M(자홍색), Y(황색)로 할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 필터 요소(9g, 9r, 9b)의 배열을 도 4의 (c)에 나타낸 델타 배열로 했다. 그러나, 이것 대신에, 도 4의 (a)에 나타낸 스트라이프 배열이나 도 4의 (b)에 나타낸 모자이크 배열을 채용할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 표시용 도트 영역(6)의 평면 형상으로서 직사각형 형상을 생각했다. 그러나, 표시용 도트 영역(6)의 평면 형상은 타원형, 원형 또는 장원형으로 할 수도 있다. 이들 형상은 직사각형이나 정사각형과 같은 모서리부를 갖지 않기 때문에, 필터 재료를 표시용 도트 영역의 구석구석까지 골고루 미치게 하는 것을 생각한 경우에는, 그들 타원형, 원형 또는 장원형이 바람직하다.
(전기 광학 장치 및 그 제조 방법의 제 1 실시예)
이하, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 일 실시예를 전기 광학 장치의 일례인 액정 장치를 예로 들어 설명한다. 또한, 본 발명이 이 실시예에 한정되지 않는 것은 물론이다. 도 6은 액정 장치의 일 실시예로서, 스위칭 소자를 이용하지 않는 단순 매트릭스 방식이고, 또한, 반사형 표시와 투과형 표시를 선택적으로 행할 수 있는 반투과 반사형의 액정 장치를 나타내고 있다.
여기에 나타낸 액정 장치(51)는 액정 패널(52)에 조명 장치(56) 및 배선 기판(54)을 부설(附設)함으로써 형성되어 있다. 액정 패널(52)은 화살표 A방향으로부터 보아 직사각형 형상 또는 정사각형 형상의 제 1 기판(57a)과, 화살표 A방향으로부터 보아 마찬가지로 직사각형 형상 또는 정사각형 형상의 제 2 기판(57b)을 화살표 A방향으로부터 보아 고리 형상의 밀봉재(58)에 의해 접합시킴으로써 형성되어 있다.
제 1 기판(57a)과 제 2 기판(57b) 사이에는 틈, 소위 셀 갭이 형성되고, 그 셀 갭 내에 액정이 주입되어 액정층(55)을 형성하고 있다. 참조부호 69는 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서를 나타내고 있다. 또한, 관찰자는 화살표 A방향으로부터 액정 장치(51)를 관찰한다.
제 1 기판(57a)은 투광성 유리 및 투광성 플라스틱 등에 의해 형성된 제 1 기재(61a)를 갖는다. 이 제 1 기재(61a)의 액정측 표면에는 반사막(62)이 형성되고, 그 위에 절연막(63)이 형성되며, 그 위에 제 1 전극(64a)이 형성되고, 그 위에 배향막(66a)이 형성되어 있다. 또한, 제 1 기재(61a)의 조명 장치(56) 측의 표면 에는 제 1 편광판(67a)이, 예를 들어, 점착(粘着)에 의해 장착되어 있다.
제 1 기판(57a)에 대향하는 제 2 기판(57b)은 투광성 유리 및 투광성 플라스틱 등에 의해 형성된 제 2 기재(61b)를 갖는다. 이 제 2 기재(61b)의 액정측 표면에는 컬러 필터(68)가 형성되고, 그 위에 제 2 전극(64b)이 형성되며, 그 위에 배향막(66b)이 형성되어 있다. 또한, 제 2 기재(61b)의 외측 표면에는 제 2 편광판(67b)이, 예를 들어, 점착에 의해 장착되어 있다.
제 1 기판(57a) 측의 제 1 전극(64a)은 도 6의 좌우 방향으로 연장되는 선형(線形) 전극이다. 또한, 제 1 전극(64a)은 복수개 형성되어 있어, 그들은 지면(紙面) 수직 방향으로 서로 평행하게 나열되어 있다. 즉, 복수의 제 1 전극(64a)은 화살표 A방향으로부터 보아 스트라이프 형상으로 형성되어 있다.
또한, 제 2 기판(57b) 측의 제 2 전극(64b)은 도 6의 지면 수직 방향으로 연장되는 선형 전극이다. 또한, 제 2 전극(64b)은 복수개 형성되어 있어, 그들은 도 6의 좌우 방향으로 서로 평행하게 나열되어 있다. 즉, 복수의 제 2 전극(64b)은 제 1 전극(64a)에 직교하는 방향으로 연장되는 스트라이프 형상으로 형성되어 있다.
제 1 전극(64a)과 제 2 전극(64b)은 화살표 A방향으로부터 보아 다수의 매트릭스 형상으로 나열되는 점에서 교차하고 있으며, 이들 교차점이 표시를 위한 도트 영역을 구성하고 있다. R, G, B의 3색이나 C, M, Y의 3색 필터 요소로 이루어지는 컬러 필터를 이용하여 컬러 표시를 행할 경우에는, 상기 도트 영역의 1개씩에 그들 3색 중의 1개씩이 대응하여 배치되고, 3색의 집합이 1개의 유닛으로 되어 1화소를 구성한다. 그리고, 그 화소의 다수가 화살표 A방향으로부터 보아 매트릭스 형상으로 나열됨으로써, 유효 표시 영역(V)이 형성되고, 이 유효 표시 영역(V)의 영역 내에 문자, 숫자, 도형 등과 같은 상이 표시된다.
표시의 최소 단위인 표시용 도트 영역에 대응하여, 반사막(62)에 개구(71)가 형성되어 있다. 이들 개구(71)는 조명 장치(56)로부터 공급되는 면 형상의 광을 투과시켜, 투과형 표시를 실현한다. 또한, 투과형 표시를 행할 때에는, 반사막(62)에 개구(71)를 형성하는 것에만 한정되지 않고, 예를 들어, 반사막(62)의 막 두께를 얇게 하는 것에 의해서도 투과형 표시를 실현할 수 있다.
제 1 기재(61a)는 제 2 기재(61b)를 넘어 외측으로 돌출되는 돌출부(70)를 갖고 있다. 제 1 기판(57a) 측의 제 1 전극(64a)은 밀봉재(58)를 횡단하여 그 돌출부(70) 위에 연장되어 배선(65)으로 되어 있다. 또한, 돌출부(70)의 에지에는 외부 접속 단자(49)가 형성되어 있다. 배선 기판(54)은 그 외부 접속 단자(49)에 도전 접속되어 있다. 제 2 기판(57b) 측의 제 2 전극(64b)은 밀봉재(58)의 내부에 분산된 도통재(59)를 통하여 제 1 기판(57a) 측의 배선(65)에 접속되어 있다. 또한, 도통재(59)는 도 6에서는 밀봉재(58)의 폭 치수와 대략 동일한 치수로 도시되어 있지만, 실제로는 도통재(59)가 밀봉재(58)의 폭보다도 작게 되어 있기 때문에, 밀봉재(58)의 폭 방향으로는 복수의 도통재(59)가 존재하는 것이 보통이다.
돌출부(70)의 표면에 있어서, 배선(65)과 외부 접속 단자(49) 사이에는 구동용 IC(53)가 ACF(Anisotropic Conductive Film: 이방성 도전막)(48)에 의해 접착되어 있다. 그리고, 이 ACF(48)에 의해, 구동용 IC(53)의 범프가 배선(65) 및 외부 접속 단자(49)에 도전 접속되어 있다. 이 실장 구조에 의해, 배선 기판(54)으로부터 구동용 IC(53)에 신호 및 전압이 공급된다. 한편, 구동용 IC(53)로부터의 주사 신호 및 데이터 신호가 제 1 전극(64a)이나 제 2 전극(64b)에 전송된다.
도 6에 있어서, 조명 장치(56)는 관찰 측으로부터 보아 액정 패널(52)의 배면(背面)에 완충재(78)를 사이에 끼워 배열 설치되고, 백라이트로서 기능한다. 이 조명 장치(56)는 기판(77)에 의해 지지된 광원(光源)으로서의 LED(Light Emitting Diode)(76)와 도광체(72)를 갖는다. 도광체(72)의 관찰측 표면에는 확산 시트(73)가 설치되고, 그 반대측 면에는 반사 시트(74)가 설치된다. LED(76)를 점 형상 광원으로 하는 광은 도광체(72)의 수광면(受光面)(72a)으로부터 도광체(72)의 내부에 수용되고, 그 내부를 전파하는 동안에 광출사면(72b)으로부터 면 형상 광으로 되어 출사된다.
상기 구성으로 이루어지는 액정 장치(51)에서 반사형 표시가 실행될 경우에는, 태양광 및 실내광 등과 같은 외부광이 제 2 기판(57b)을 통하여 액정층(55)의 내부에 수용되고, 반사막(62)에서 반사된 후, 다시 액정층(55)에 공급된다. 한편, 투과형 표시가 실행될 경우에는, 조명 장치(56)의 LED(76)가 발광하여, 도광체(72)의 광출사면(72b)으로부터 면 형상의 광이 출사되고, 반사막(62)에 형성한 복수의 개구(71)를 통과한 광이 액정층(55)에 공급된다.
액정층(55)에 광이 공급되었을 때, 제 1 전극(64a) 및 제 2 전극(64b)의 한쪽에 주사 신호가 공급되고, 그들의 다른쪽에 데이터 신호가 공급되면, 상기 데이터 신호가 공급된 부분의 표시용 도트에 소정 전압이 인가되어 액정이 구동되고, 상기 표시용 도트에 공급된 광이 변조(變調)된다. 이러한 변조가 유효 표시 영역(V) 내의 표시용 도트마다, 환언하면 화소마다 실행되고, 문자, 숫자, 도형 등과 같은 원하는 상이 그 유효 표시 영역(V) 내에 형성되어, 관찰자에 의해 화살표 A방향으로부터 관찰된다.
본 실시예의 액정 장치(51)는, 그것에 포함되는 컬러 필터(68)가 도 7 내지 도 11에 나타낸 컬러 필터 기판의 제조 장치를 이용하여, 도 1 내지 도 5에 나타낸 제조 방법에 의해 제조되는 것에 특징이 있다. 도 1 내지 도 5에 나타낸 제조 방법에 의하면, 도 5와 관련하여 설명한 바와 같이, 1개의 표시용 도트 영역(6)에 토출된 액체방울이 이웃의 표시용 도트 영역에 침입하는 것을 방지할 수 있어, 혼색을 방지할 수 있다. 따라서, 이 제조 방법을 1개의 공정으로서 이용하는 액정 장치의 제조 방법에 의해 제조된 액정 장치(51)는 고품질의 컬러 필터(68)를 가질 수 있기 때문에, 선명하며 고품질인 컬러 표시를 행할 수 있다.
(변형예)
도 6의 실시예에서는, 반투과 반사형이며 단순 매트릭스 방식의 액정 장치에 본 발명을 적용했다. 그러나, 본 발명은, 이것 이외에, 반사형 표시 기능을 갖지 않는 반투과형 단순 매트릭스 방식의 액정 장치나, 투과형 표시 기능을 갖지 않는 반사형 단순 매트릭스 방식의 액정 장치나, TFD(Thin Film Diode) 등과 같은 2단자형 스위칭 소자를 이용한 액티브 매트릭스 방식의 액정 장치나, TFT(Thin Film Transistor) 등과 같은 3단자형 스위칭 소자를 이용한 액티브 매트릭스 방식의 액정 장치 등과 같은 각종 액정 장치에 적용할 수 있다.
(전기 광학 장치 및 그 제조 방법의 제 2 실시예)
도 18은 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 일 실시예인 일렉트로루미네선스 장치의 전기적인 구성의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 17은 그 전기적인 구성에 대응하는 기계적인 구성의 일부 단면 구조를 나타내고 있다. 또한, 본 명세서에서의 일렉트로루미네선스 기판은 기판 위에 EL 발광 요소가 형성되어 이루어지는 구조체이다. 또한, 일렉트로루미네선스 장치는 일렉트로루미네선스 기판에 반사 전극이나 그 이외의 광학 요소를 부설하여 이루어지는 전기 광학 장치이다.
도 18에 있어서, 일렉트로루미네선스 장치(101)는 데이터 신호를 출력하는 구동용 IC(107)와, 주사 신호를 출력하는 구동용 IC(108)를 갖는다. 구동용 IC(107)는 복수의 신호선(104)에 데이터 신호를 출력한다. 또한, 구동용 IC(108)는 복수의 주사선(103)에 주사 신호를 출력한다. 주사선(103)과 신호선(104)은 복수의 부분에서 교차하고, 그들 교차 부분에는 화소를 구성하는 표시용 도트 영역이 형성된다. 도 17에서는 G색의 표시용 도트 영역(6g), R색의 표시용 도트 영역(6r), B색의 표시용 도트 영역(6b)을 나타내고 있다. 각각의 표시용 도트 영역은 R, G, B 3색의 EL 발광 요소 중의 1개를 포함하는 영역이며, R, G, B의 3색에 대응하는 표시용 도트 영역이 모여 1개의 화소가 구성된다.
도 18에 있어서, 1개의 표시용 도트 영역 중에는 스위칭 박막트랜지스터(109), 커런트 박막트랜지스터(110), 화소 전극(111), 반사 전극(112), 그리고 EL 발광 요소(113)가 포함된다. 또한, 발광 요소(113)에 관해서는, G색을 발광하는 발광 요소(113g)와, R색을 발광하는 발광 요소(113r)와, B색 을 발광하는 발광 요소(113b)가 소정의 배열, 예를 들어, 델타 배열로 나열된다. 도 17에 있어서, 각 발광 요소(113)는 하층 부분의 정공 주입층(113A) 위에 상층 부분의 유기 반도체막(113B)을 중첩시킴으로써 형성되어 있다. 또한, 도 17에서는 커런트 박막트랜지스터(110)는 도시되어 있지만, 이것과 다른 단면(斷面)에 존재하는 스위칭 박막트랜지스터(109)가 도시되어 있지 않다.
도 17에 있어서, 복수의 표시용 도트 영역(6) 중에서 적절한 것을 선택하여, 그 영역 내의 화소 전극(111)과 반사 전극(112) 사이에 소정의 전압을 인가하면, 상기 표시용 도트 영역(6) 내의 발광 요소(113)가 발광하여, 기재(102)의 외측(즉, 도 17의 아래쪽)에 문자, 숫자, 도형 등과 같은 상이 컬러 표시된다.
본 실시예의 일렉트로루미네선스 장치(101)는, 그것에 포함되는 EL 발광 요소(113)가 후술하는 본 발명에 따른 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법에 의해 제조되는 것에 특징이 있다. 본 발명에 따른 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법은, 후술하는 바와 같이, 잉크젯 기술, 즉, 액체방울 토출 기술을 이용하여 EL 발광 재료를 액체방울로서 토출할 때에, 그 액체방울의 착탄 위치가 표시용 도트 영역(6) 내의 특정 범위에 들어가도록 제어함으로써, EL 발광 재료가 이웃의 표시용 도트 영역(6) 내에 침입하는 것을 방지하고, 이것에 의해, 서로 다른 EL 발광 재료 사이에서 혼색이 발생하는 것을 방지하게 되어 있다. 이 때문에, 그러한 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법을 이용하여 제조된 도 18 및 도 17에 나타낸 일렉트로루미네선스 장치는 혼색이 없는 EL 발광 소자를 갖게 되어, 선명하며 고품질인 컬러 표시를 행할 수 있다.
(일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법의 실시예)
이하, 본 발명에 따른 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법을 도 18 및 도 17에 나타낸 일렉트로루미네선스 장치에 이용되는 일렉트로루미네선스 기판을 제조하는 경우를 예로 들어 설명한다. 또한, 본 발명이 이 실시예에 한정되지 않는 것은 물론이다.
도 12 내지 도 16은 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법의 일 실시예를 공정순으로 나타내고 있다. 그리고, 이 제조 방법은 도 16의 (r)에 나타낸 일렉트로루미네선스 기판(100)을 제조하는 것을 목표로 한다. 이 일렉트로루미네선스 기판(100)을 제조할 경우에는, 우선, 도 12의 (a)에 있어서, 투광성 기재(102)에 대하여 테트라에톡시실란(tetraethoxysilane: TEOS)이나 산소 가스 등을 원료 가스로 하여 플라즈마 CVD(Chemical Vapor Deposition)법에 의해 실리콘 산화막으로 이루어지는 하지보호층(도시 생략)을, 바람직하게는, 약 2000∼5000Å의 두께로 형성한다.
다음으로, 기재(102)의 온도를 약 350℃로 설정하고, 하지보호막의 표면에 플라즈마 CVD법에 의해 비정질 실리콘막인 반도체막(120a)을 약 300∼700Å의 두께로 형성한다. 다음으로, 반도체막(120a)에 대하여 레이저 어닐링 또는 고상(固相) 성장법 등과 같은 결정화 공정을 실시하여, 반도체막(120a)을 폴리실리콘막으로 결정화한다.
다음으로, 반도체막(120a) 위에 레지스트막을 형성하고, 그 레지스트막을 노광 및 현상하여 레지스트 마스크를 형성하며, 그 마스크를 이용하여 반도체막(120a)을 패터닝함으로써, 도 12의 (b)에 나타낸 섬 형상의 반도체막(120b)을 형성한다.
다음으로, 반도체막(120b)이 형성된 기재(102)의 표면에 TEOS이나 산소 가스 등을 원료 가스로 하여 플라즈마 CVD법에 의해, 도 12의 (c)에 나타낸 바와 같이, 실리콘 산화막 또는 질화막으로 이루어지는 게이트 절연막(121a)을, 바람직하게는, 약 600∼1500Å의 두께로 형성한다. 또한, 반도체막(120b)은 커런트 박막트랜지스터(110)(도 18 참조)의 채널 영역 및 소스/드레인 영역으로 되는 것이지만, 서로 다른 단면 위치에서는 스위칭 박막트랜지스터(109)(도 18 참조)의 채널 영역 및 소스/드레인 영역으로 되는 반도체막(도시 생략)도 형성되어 있다. 도 12 내지 도 16에 나타낸 제조 공정에서는 2종류의 스위칭 박막트랜지스터 및 커런트 박막트랜지스터가 동시에 형성되지만, 그들은 동일한 순서로 형성되기 때문에, 이하의 설명에서는 커런트 박막트랜지스터(110)에 대해서만 설명하고, 스위칭 박막트랜지스터에 대해서는 설명을 생략한다.
다음으로, 도 12의 (d)에 있어서, 알루미늄이나 탄탈 등을 재료로 하여 스퍼터링에 의해 도전막(116a)을 형성한다. 다음으로, 레지스트 재료를 도포하여, 노광 및 현상에 의해 레지스트 마스크를 형성하고, 그 마스크를 이용하여 도전막(116a)을 패터닝하여, 도 13의 (e)에 나타낸 바와 같이, 게이트 전극(116)을 형성한다.
이 상태에서, 불순물, 예를 들어, 고온(高溫)의 인 이온을 주입하고, 도 13의 (f)에 나타낸 바와 같이, 게이트 전극(116)에 대하여 자기 정합적으로 소스/드 레인 영역(117a, 117b)을 반도체막(120b)에 형성한다. 또한, 불순물이 도입되지 않은 부분이 채널 영역(118)으로 된다.
다음으로, 도 13의 (g)에서 층간절연막(122)을 형성하고, 그 후, 도 13의 (h)에서 콘택트 홀(123, 124)을 형성한다. 또한, 그 후, 도 14의 (i)에 나타낸 바와 같이, 그들 콘택트 홀(123, 124)의 내부에 도전 재료를 매립하여 중계 전극(126, 127)을 형성한다.
다음으로, 도 14의 (j)에 나타낸 바와 같이, 층간절연막(122) 위에 신호선(104), 공통 급전선(105) 및 주사선(103)(도 18 참조)을 형성한다. 그리고, 각 배선의 상면을 덮도록 층간절연막(130)을 형성하고, 중계 전극(126)에 대응하는 위치에 콘택트 홀(132)을 형성한다. 다음으로, 도 14의 (k)에 있어서, 콘택트 홀(132)의 내부를 메우도록 ITO(Indium Tin Oxide)막(111a)을 형성한다. 다음으로, ITO막(111a) 위에 레지스트를 도포하고, 그 레지스트를 노광 및 현상하여 레지스트 마스크를 형성하며, 그 마스크를 이용하여 ITO막(111a)을 패터닝함으로써, 도 14의 (l)에 나타낸 바와 같이, 신호선(104), 공통 급전선(105) 및 주사선(103)으로 둘러싸인 영역에 소스/드레인 영역(117a)에 전기적으로 접속하는 화소 전극(111)을 형성한다.
다음으로, 도 9에 나타낸 잉크젯 헤드(22)를 이용하여, 도 15의 (m) 내지 도 16의 (r)에 나타낸 바와 같이 하여, 기재(102) 위에 EL 발광 요소를 형성한다. 이 경우에는, 도 15의 (m)에서 신호선(104), 공통 급전선(105) 및 도 18의 주사선(103)이 구분 요소로서 기능하여, 기재(102) 위에 복수의 표시용 도트 영역(6)이 형성된다. 또한, 도 15의 (m)에 있어서, G색의 발광 요소가 형성되는 영역을 6g로 나타내고, R색의 발광 요소가 형성되는 영역을 6r로 나타내며, 또한, B색의 발광 요소가 형성되는 영역을 6b로 나타내기로 한다.
우선, 기재(102)의 상면을 위쪽을 향하게 한 상태에서, 도 17의 EL 발광 요소(113g)의 하층 부분에 해당하는 정공 주입층(113A)을 형성하기 위한 재료(M1)를 도 9의 잉크젯 헤드(22)의 노즐(27)로부터 액체방울로서 토출하고, 구분 요소(103, 104, 105)로 둘러싸인 첫 번째 영역, 즉, G색 영역(6g) 내에 선택적으로 공급하여 도포한다.
이 때의 토출량(A1g)은 미리 구분 요소(103, 104, 105)의 높이에 의해 규정되는 표시용 도트 영역(6g)의 용적보다도 많게 설정되어 있어, 공급된 G색 발광 요소 재료는 구분 요소(103, 104, 105)보다도 위쪽으로 돌출된다. 다음으로, 가열, 즉, 프리베이크 또는 광 조사 등을 행하여 재료(M1)에 함유되는 용제를 증발시켜, 도 15의 (n)에 나타낸 바와 같이 표면이 평탄한 정공 주입층(113A)을 형성한다. 정공 주입층(113A)이 원하는 두께에 못미칠 경우는, 재료(M1)의 토출 공급 처리를 반복한다.
다음으로, 도 15의 (o)에 나타낸 바와 같이, 기재(102)의 상면을 위로 향하게 한 상태에서, 도 17의 EL 발광 요소(113g)의 상층 부분에 유기 반도체막(113B)을 형성하기 위한 유기 반도체막 재료(M2)를 도 9의 잉크젯 헤드(22)의 노즐(27)로부터 액체방울로서 토출하고, 구분 요소(103, 104, 105)로 둘러싸인 첫 번째 영역, 즉, G색 영역(6g) 내에 선택적으로 공급하여 도포한다. 유기 반도체막 재료(M2)는 용매에 용해된 상태의 유기 형광 재료인 것이 바람직하다.
이 때의 토출량(A2g)은 미리 구분 요소(103, 104, 105)의 높이에 의해 규정되는 표시용 도트 영역(6g)의 용적보다도 많게 설정되어 있어, 공급된 유기 반도체막 재료(M2)는 구분 요소(103, 104, 105)보다도 위쪽으로 돌출된다. 다음으로, 가열, 즉, 프리베이크 또는 광 조사 등을 행하여 재료(M2)에 함유되는 용제를 증발시켜, 도 16의 (p)에 나타낸 바와 같이, 정공 주입층(113A) 위에 표면이 평탄한 유기 반도체막(113B)을 형성한다. 유기 반도체막(113B)이 원하는 두께에 못미칠 경우는, 재료(M2)의 토출 공급 처리를 반복한다. 이상에 의해, 정공 주입층(113A) 및 유기 반도체막(113B)에 의해, G색을 발광하는 EL 발광 요소(113g)가 형성된다.
다음으로, 도 16의 (p)에 있어서, 두 번째 표시용 도트 영역인 R색 영역(6r)에 대하여 도 15의 (m) 내지 도 16의 (p)에 나타낸 처리를 반복하여, 도 16의 (q)에 나타낸 바와 같이, R색 영역(6r) 중에 R색을 발광하는 EL 발광 요소(113r)를 형성한다. 또한, 도 16의 (q)에서 R색 발광 요소(113r)의 형성이 종료되면, 다음으로, 세 번째 표시용 도트 영역인 B색 영역(6b)에 대하여 도 15의 (m) 내지 도 16의 (p)에 나타낸 처리를 반복하여, 도 16의 (r)에 나타낸 바와 같이, B색 영역(6b) 중에 B색을 발광하는 EL 발광 요소(113b)를 형성한다.
이상에 의해, 도 16의 (r)에서 각색(各色)의 EL 발광 요소(113g, 113r, 113b)의 형성이 완료됨으로써, 일렉트로루미네선스 기판이 제조된다. 그 후, 도 17에 나타낸 바와 같이, EL 발광 요소(113g, 113r, 113b)가 형성된 후의 기재(102)의 표면 전체 또는 스트라이프 영역에, 예를 들어, 포토리소그래피 처리 및 에칭 처리를 이용하여 반사 전극(112)을 형성한다. 또한, 필요에 따라, 그 이외의 전자 요소를 부설한다. 이것에 의해, 일렉트로루미네선스 장치(101)가 제조된다. 이 일렉트로루미네선스 장치(101)에서는, 매트릭스 형상으로 나열된 복수의 표시용 도트 영역(6) 중에서 원하는 것을 선택하여, 그들 화소 전극(111)과 반사 전극(112) 사이에 전압을 인가함으로써, 발광 요소(113g, 113r, 113b)를 선택적으로 발광시킨다. 이것에 의해, 기재(102) 측에 문자, 숫자, 도형 등과 같은 상을 표시할 수 있다.
실시예에서는, 도 15에 나타낸 발광 요소 재료의 토출 공정에 있어서, 각 표시용 도트 영역(6)에 대한 액체방울(8)의 착탄 위치를 도 5에 나타낸 바와 같은 위치로 설정한다. 구체적으로는, 발광 요소 재료의 액체방울(8) 중심이 사선으로 나타낸 액체방울 착탄 범위(E) 내에 들어가도록 제어한다. 이 액체방울 착탄 범위(E)는 다음과 같이 하여 결정된다. 즉, 표시용 도트 영역(6)에 관하여, 긴 변 방향의 중심점이 그리는 선과 짧은 변 방향의 중심점이 그리는 선의 교점(P0)을 중심으로 정한다. 그리고, 그 중심(P0)으로부터 가장 가까운 표시용 도트 영역(6)의 변, 도 5의 경우는 변 L1 또는 L2까지의 거리 d1의 30%의 거리 d2를 반경으로 하는 원 형상의 영역을 액체방울 착탄 범위(E)로 한다. 액체방울의 착탄 위치를 이 범위(E)로 제한함으로써, 토출된 액체방울이 뱅크(4)를 넘어 이웃의 표시용 도트 영역(6)에 침입하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 서로 인접하는 발광 요소가 혼색되는 것을 방지할 수 있다.
(전자 기기 및 그 제조 방법의 실시예)
도 19는 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예를 나타내고 있다. 여기에 나타낸 전자 기기는 표시 정보 출력원(141), 표시 정보 처리 회로(142), 전원 회로(143), 타이밍 발생 장치(timing generator)(144) 및 액정 장치(145)에 의해 구성된다. 그리고, 액정 장치(145)는 액정 패널(147) 및 구동 회로(146)를 갖는다. 액정 장치(145)는, 도 7 내지 도 11에 나타낸 컬러 필터 기판의 제조 장치를 이용하여 도 1 내지 도 5에 나타낸 제조 방법에 의해 제조된, 도 6에 나타낸 액정 장치(51)에 의해 구성할 수 있다.
표시 정보 출력원(141)은 RAM(Random Access Memory) 등과 같은 메모리나, 각종 디스크 등과 같은 기억 장치(storage unit)나, 디지털 화상 신호를 동조(同調) 출력하는 동조 회로 등을 구비하고, 타이밍 발생 장치(144)에 의해 생성되는 각종 클록 신호에 의거하여, 소정 포맷(format)의 화상 신호 등과 같은 표시 정보를 표시 정보 처리 회로(142)에 공급한다.
다음으로, 표시 정보 처리 회로(142)는 증폭·반전 회로나, 로테이션(rotation) 회로나, 감마 보정 회로나, 클램프 회로 등과 같은 주지의 회로를 다수 구비하고, 입력한 표시 정보의 처리를 실행하여, 화상 신호를 클록 신호(CLK)와 함께 구동 회로(146)에 공급한다. 여기서, 구동 회로(146)는 주사선 구동 회로(도시 생략)나 데이터선 구동 회로(도시 생략)와 함께 검사 회로 등을 총칭한 것이다. 또한, 전원 회로(143)는 상기 각 구성요소에 소정의 전원 전압을 공급한다.
도 20은 본 발명에 따른 전자 기기의 또 다른 실시예인 디지털 카메라로서, 액정 장치를 파인더(finder)로서 이용하는 것을 나타내고 있다. 이 디지털 카메라(150)에서의 케이스(151) 배면에는 액정 표시 유닛(152)이 설치된다. 이 액정 표시 유닛(152)은 피사체(被寫體)를 표시하는 파인더로서 기능한다. 이 액정 표시 유닛(152)은 도 7 내지 도 11에 나타낸 컬러 필터 기판의 제조 장치를 이용하여 도 1 내지 도 5에 나타낸 제조 방법에 의해 제조된, 도 6에 나타내는 액정 장치(51)에 의해 구성할 수 있다.
케이스(151)의 앞면 측(도면에서는 뒷면 측)에는 광학 렌즈나 CCD 등을 포함한 수광(受光) 유닛(153)이 설치되어 있다. 촬영자가 액정 표시 유닛(152)에 표시된 피사체 상을 확인하여 셔터 버튼(154)을 누르면, 그 시점에서의 CCD의 촬상 신호가 회로 기판(155)의 메모리에 전송되어 그곳에 저장된다.
케이스(151)의 측면에는 비디오 신호 출력 단자(156)와 데이터 통신용의 입출력 단자(157)가 설치되어 있다. 비디오 신호 출력 단자(156)에는 텔레비전 모니터(158)가 필요에 따라 접속되고, 또한, 데이터 통신용의 입출력 단자(157)에는 퍼스널 컴퓨터(159)가 필요에 따라 접속된다. 회로 기판(155)의 메모리에 저장된 촬상 신호는, 소정의 조작에 의해, 텔레비전 모니터(158)나 퍼스널 컴퓨터(159)에 출력된다.
(기타 실시예)
이상, 바람직한 실시예를 예로 들어 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 그 실시예에 한정되지 않아, 특허청구범위에 기재한 발명의 범위 내에서 다양하게 개변(改變)할 수 있다.
이하, 본 발명자가 행한 실험에 대해서 설명한다. 이 실험은, 1개의 표시용 도트 영역에 관하여 잉크젯 헤드의 노즐로부터 토출되는 액체방울을 어느 위치에 착탄시키면, 혼색의 발생을 저감시킬 수 있는지를 검토한 것이다.
본 실험 시에, 도 21의 (a)에 있어서, 1개의 표시용 도트 영역(6) 중심(P0)으로부터 가장 가까운 변까지의 거리를 "B"로 하고, 액체방울 착탄 범위 "E"의 반경을 "A"로 했다. 이 때, 표시용 도트 영역(6)에 대한 액체방울 착탄 범위(E)의 크기는,
(A의 길이/B의 길이)×100(%) …(1)
에 의해 표시할 수 있다.
상기 (1) 식에 의거하여, 액체방울 착탄 범위를, 도 21의 (b)의 표에 나타낸 바와 같이, 15.2%, 22.8%, 30.4%, 35.4%, 60.8%의 5종류로 설정하고, 각 액체방울 착탄 범위에서의 혼색 발생의 정도를 직시(直視) 판단에 의거하여 퍼센티지(percentage)로 판정했다. 그리고, 그 결과, 도 21의 (b)의 표의 「혼색율」 항에 나타낸 결과를 얻었다. 또한, 이 결과를 그래프로 나타낸 바, 도 22에 나타낸 바와 같은 그래프를 얻을 수 있었다.
도 22의 그래프에 의하면, 혼색율은 액체방울 착탄 범위가 30%를 초과하는 범위에서 커짐을 알 수 있다. 이것으로부터, 액체방울 착탄 범위를 30% 이내의 범위로 제한하면, 혼색의 발생을 억제할 수 있음을 알 수 있다.
이상의 설명에 따르면, 본 발명은 액체방울 토출 기술을 이용하여 컬러 필터 기판이나 일렉트로루미네선스 기판을 형성할 때에, 컬러 필터 기판의 필터 요소 사이나 일렉트로루미네선스 기판의 발광 요소 사이에서 혼색이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (23)

  1. 기재(基材) 위를 복수의 표시용 도트(dot) 영역으로 구분(區分)하는 구분 요소를 형성하는 공정과,
    액상(液狀)의 필터 재료를 상기 복수의 표시용 도트 영역 내에 액체방울 토출부로부터 액체방울로서 토출하여 공급하는 재료 토출 공정을 갖고,
    상기 재료 토출 공정에서는, 상기 필터 재료의 액체방울 중심이 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역의 에지(edge)까지의 거리의 30% 이내의 범위 내에 착탄(着彈)되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 표시용 도트 영역의 각각 1개씩에는 복수의 액체방울이 공급되고, 그들 액체방울의 중심은 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역의 에지까지의 거리의 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 액체방울은 상기 표시용 도트 영역의 전역(全域)을 덮는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구분 요소는 발액성(撥液性)을 갖는 재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 세로 및 가로의 길이 중 긴 쪽의 길이를 L로 하고, 짧은 쪽의 길이를 S로 할 때, 0.7L
    Figure 112006037033095-pat00029
    S
    Figure 112006037033095-pat00030
    L인 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 타원형인 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 표시용 도트 영역 내에 형성되는 필터 요소는 델타 배열로 나열되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  8. 기재 위를 복수의 표시용 도트 영역으로 구분하는 구분 요소를 형성하는 공정과,
    액상의 발광 요소 재료를 상기 복수의 표시용 도트 영역 내에 액체방울 토출부로부터 액체방울로서 토출하여 공급하는 재료 토출 공정을 갖고,
    상기 재료 토출 공정에서는, 상기 발광 요소 재료의 액체방울 중심이 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역의 에지까지의 거리의 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 표시용 도트 영역의 각각 1개씩에는 복수의 액체방울이 공급되고, 그들 액체방울의 중심은 상기 표시용 도트 영역의 중심으로부터 가장 가까운 상기 표시용 도트 영역의 에지까지의 거리의 30% 이내의 범위 내에 착탄되는 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 액체방울은 상기 표시용 도트 영역의 전역(全域)을 덮는 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 구분 요소는 발액성을 갖는 재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 세로 및 가로의 길이 중 긴 쪽의 길이를 L로 하고, 짧은 쪽의 길이를 S로 할 때, 0.7L
    Figure 112006037033095-pat00031
    S
    Figure 112006037033095-pat00032
    L인 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 타원형인 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 표시용 도트 영역 내의 발광 요소는 델타 배열로 나열되는 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  15. 제 1 항에 기재된 컬러 필터 기판의 제조 방법을 실시하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
  16. 제 8 항에 기재된 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법을 실시하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 기재된 전기 광학 장치의 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  18. 제 15 항 또는 제 16 항에 기재된 전기 광학 장치의 제조 방법을 실시하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 기기의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 기재된 전자 기기의 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
  20. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 원형인 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  21. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 장원형(長圓形)인 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  22. 제 8 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 원형인 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
  23. 제 8 항에 있어서,
    상기 표시용 도트 영역의 평면적인 형상은 장원형인 것을 특징으로 하는 일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법.
KR1020040030419A 2003-06-02 2004-04-30 컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 기판의제조 방법, 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 전자 기기및 그 제조 방법 KR100624505B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2003-00156835 2003-06-02
JP2003156835A JP2004361491A (ja) 2003-06-02 2003-06-02 カラーフィルタ基板の製造方法、エレクトロルミネッセンス基板の製造方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040103768A KR20040103768A (ko) 2004-12-09
KR100624505B1 true KR100624505B1 (ko) 2006-09-19

Family

ID=33562182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040030419A KR100624505B1 (ko) 2003-06-02 2004-04-30 컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 기판의제조 방법, 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 전자 기기및 그 제조 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20050008770A1 (ko)
JP (1) JP2004361491A (ko)
KR (1) KR100624505B1 (ko)
CN (1) CN1573368A (ko)
TW (1) TWI235853B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140038827A (ko) * 2012-09-21 2014-03-31 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시패널 및 그 제조방법

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4646977B2 (ja) * 2005-04-05 2011-03-09 シャープ株式会社 カラーフィルタ基板及び表示装置
JP4438685B2 (ja) * 2005-05-23 2010-03-24 セイコーエプソン株式会社 透明導電膜とその形成方法、電気光学装置、及び電子機器
JP4935152B2 (ja) * 2005-06-24 2012-05-23 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法
JP4622955B2 (ja) 2005-08-25 2011-02-02 セイコーエプソン株式会社 カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、表示装置
CN100461335C (zh) * 2005-08-26 2009-02-11 精工爱普生株式会社 层形成方法、有源矩阵基板的制造方法及多层布线基板的制造方法
JP2007095630A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Toppan Printing Co Ltd インキ吐出印刷物
TWI267447B (en) * 2005-11-25 2006-12-01 Icf Technology Co Ltd Method of manufacturing a thin film pattern layer
TW200740615A (en) * 2006-04-21 2007-11-01 Icf Technology Co Ltd Method of manufacturing thin film pattern layer
JP4940854B2 (ja) * 2006-09-22 2012-05-30 セイコーエプソン株式会社 液状材料の配置方法、及びカラーフィルタ基板の製造方法
JP4285544B2 (ja) * 2007-01-10 2009-06-24 セイコーエプソン株式会社 描画方法、着色層の形成方法、電気光学装置の製造方法
JP2011501361A (ja) * 2007-10-15 2011-01-06 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 溶液処理された電子デバイス用のバックプレーン構造
KR20100105673A (ko) 2007-12-14 2010-09-29 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 전자 소자용 백플레인 구조물
JP2009169217A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Seiko Epson Corp カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置、および、電子機器
JP4495781B2 (ja) 2008-06-06 2010-07-07 パナソニック株式会社 有機ｅｌディスプレイパネルおよびその製造方法
JP2011189267A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Epson Corp パターン膜形成部材の製造方法
US20130115385A1 (en) * 2010-07-14 2013-05-09 Sharp Kabushiki Kaisha Method for manufacturing color filter substrate
CN102529479B (zh) * 2011-12-23 2014-10-08 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种提高电子材料印刷平整度的后处理方法
KR20160079975A (ko) * 2014-12-26 2016-07-07 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
JP2017042708A (ja) 2015-08-26 2017-03-02 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法、プログラム、有機ｅｌ装置の製造方法、カラーフィルターの形成方法
KR20220004881A (ko) * 2020-07-03 2022-01-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002365424A (ja) * 2001-06-12 2002-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルタの製造方法および製造装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6630274B1 (en) * 1998-12-21 2003-10-07 Seiko Epson Corporation Color filter and manufacturing method therefor
JP2001313172A (ja) * 2000-02-25 2001-11-09 Seiko Epson Corp 有機エレクトロルミネッセンス白色光源、及びその製造方法
JP2003114319A (ja) * 2001-10-03 2003-04-18 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置並びに電子機器
JP2003121631A (ja) * 2001-10-12 2003-04-23 Seiko Epson Corp 電気光学装置及びその製造方法
JP2004109209A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Canon Inc 光学素子及びその製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002365424A (ja) * 2001-06-12 2002-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルタの製造方法および製造装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140038827A (ko) * 2012-09-21 2014-03-31 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시패널 및 그 제조방법
KR101955621B1 (ko) * 2012-09-21 2019-05-31 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시패널 및 그 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
TWI235853B (en) 2005-07-11
TW200428033A (en) 2004-12-16
US20050008770A1 (en) 2005-01-13
KR20040103768A (ko) 2004-12-09
JP2004361491A (ja) 2004-12-24
CN1573368A (zh) 2005-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100624505B1 (ko) 컬러 필터 기판의 제조 방법, 일렉트로루미네선스 기판의제조 방법, 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 전자 기기및 그 제조 방법
US6758550B2 (en) System and methods for manufacturing a color filter using a scanning ink jet head
JP3922177B2 (ja) 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、表示装置の製造方法
JP2003159787A (ja) 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
JP3491155B2 (ja) 材料の吐出方法、及び吐出装置、カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ装置の製造方法及び製造装置
JP2003159786A (ja) 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
TWI228178B (en) Color filter, method for producing the same, display apparatus, and electronic device therewith
US20050253915A1 (en) Droplet-discharging apparatus, electrooptic device, electronic apparatus, and method for electrooptic device
JP2004255335A (ja) 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ、並びに電子機器
JP2002273869A (ja) 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
JP2002221616A (ja) カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器
TW200303824A (en) Liquid material ejecting method, and apparatus, color filter manufacturing method and color filter, liquid crystal display device, electroluminescence device and manufacturing method of same, plasma display panel and manufacturing method
JP2004230660A (ja) 液滴吐出ヘッド、吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
KR100633368B1 (ko) 컬러 필터 기판의 제조 방법 및 그 제조 장치,일렉트로루미네선스 기판의 제조 방법 및 그 제조 장치,전기 광학 장치의 제조 방법, 및 전자 기기의 제조 방법
JP4935153B2 (ja) 液滴吐出方法
US20070029566A1 (en) Color filter substrate manufacturing method
JP2004361428A (ja) カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ基板及びその製造方法、エレクトロルミネッセンス基板及びその製造方法、電気光学装置及びその製造方法、電子機器及びその製造方法、並びに成膜方法
US20060279201A1 (en) Droplet discharge method, electro optical device and electronic apparatus
JP2003307613A (ja) 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器
JP2003084126A (ja) カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ発光層配設基板の製造方法及び製造装置、ｅｌ発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
JP2005084512A (ja) カラーフィルタ基板及びその製造方法、電気光学装置、並びに電子機器
JP2004361492A (ja) カラーフィルタ基板及びその製造方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法
JP2005134639A (ja) カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板の製造装置、及び電気光学装置の製造方法
JP2005349385A (ja) 液滴吐出装置、電気光学装置、電子機器、および液滴吐出方法
JP2003284988A (ja) 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100825

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee