KR100622860B1 - 플라즈마 처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 진공 상태의 챔버 내부에 플라즈마를 발생시켜 기판에 소정의 처리를 실시하는 플라즈마 처리장치에 있어서,상기 챔버 내부에 RF 전력을 도입하기 위하여 상기 챔버 소정 부분에 형성되는 RF 로드 삽입홈;상기 RF 로드 삽입홈에 삽입되어 마련되며, 상기 챔버와 전기적으로 연결되어 외부에서 전달되는 RF 전력을 상기 챔버 내부에 도입하는 RF 로드;상기 RF 로드 삽입홈 내에서 상기 RF 로드를 감싸도록 마련되며, 상기 RF 로드와 소정 간격 이격되어 전자파를 차단하는 쉴드(shield) 부재;상기 RF 로드와 쉴드 부재 사이의 공간에 소정 압력으로 주입되어 마련되며, 상기 RF 로드를 외부와 절연시키는 절연가스;상기 RF 로드와 쉴드 부재 사이의 공간 소정 부분과 연결되어 마련되며, 그 공간에 절연가스를 공급하는 절연가스 공급부;가 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 절연가스는,유전율이 0.95 ~ 1.05인 가스인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 절연가스는,공기인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제2항에 있어서,상기 절연가스의 압력을 측정하는 압력 센서가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제4항에 있어서,상기 압력 센서에 의하여 측정되는 절연가스 압력 측정값을 전달받아 절연가스의 압력이 일정하도록 상기 절연가스 공급부를 제어하는 제어부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
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KR1020040115468A KR100622860B1 (ko) | 2004-12-29 | 2004-12-29 | 플라즈마 처리장치 |
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CN106816397A (zh) * | 2015-12-01 | 2017-06-09 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 下电极组件及半导体加工设备 |
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KR101650187B1 (ko) | 2015-12-02 | 2016-08-23 | (주)이엠아이티 | 진공 챔버용 rf 발생기 및 진공 챔버 제어 장치 |
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2004
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