KR100615091B1 - 슬릿밸브 제어시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

슬릿밸브 제어시스템 및 그 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 슬릿밸브 제어시스템은 제 1챔버와 제 2챔버 사이에 설치된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브와, 슬릿밸브에 동작 압력을 제공하는 동작 압력원과, 슬릿밸브와 동작 압력원을 서로 연결하는 압력 공급유로와, 공급유로 상에 설치되어 동작 압력원으로부터 슬릿밸브로 공급되는 압력을 조절하는 압력 조절기를 구비하여 두 챔버 사이의 압력차가 있을 경우 슬릿밸브가 개방되어 발생할 수 있는 문제점을 압력 조절기로써 슬릿밸브의 동작 압력을 제어함으로써 해결할 수 있도록 한 것이다.

Description

슬릿밸브 제어시스템 및 그 제어방법{Slit valve control system and control method thereof}
도 1은 반도체 제조용 챔버 구조를 도시한 개략도이다.
도 2는 반도체 제조용 챔버에서 슬릿과 슬릿밸브의 설치상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 슬릿밸브 제어시스템을 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 구성요소가 포함된 본 발명에 따른 슬릿밸브 제어시스템의 첫 번째 실시예에 따라 도시한 블록 구성도이다.
도 5는 도 3의 구성요소가 포함된 본 발명의 슬릿밸브 제어시스템의 두 번째 실시예에 따라 도시한 블록 구성도이다.
도 6은 본 발명의 두 번째 실시예에 따른 슬릿밸브 제어방법을 도시한 순서도이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
40...제 1챔버
50...제 2챔버
60...슬릿밸브
100...압력 조절기
200...압력 표시기
300...동작 압력원
500...제어부
본 발명은 슬릿밸브 제어시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 다른 압력상태인 두 개의 챔버사이에 형성된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브의 동작을 제어하도록 한 슬릿밸브 제어시스템 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
일반적으로 반도체 제조장치는 진공상태로 공정이 수행되는 프로세스 챔버 외에 이 프로세스 챔버와 인접하여 설치된 기타 챔버를 구비하고 있다. 즉 웨이퍼가공 공정이 수행되는 프로세스 챔버, 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버 그리고 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는 트랜스퍼 챔버로 되어 있다.
그리고 이 각각의 챔버들 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 슬릿에는 슬릿밸브가 설치되어 슬릿의 개폐가 이루어지도록 되어 있다. 슬릿밸브는 주로 공압으로 작동하며, 그 구성은 밸브 플레이트와 이 밸브 플레이트를 동작시키는 액추에이터로 되어 있고, 이 액추에이터의 작동을 위한 동작 압력을 제공하는 동작 압력원이 반도체 제조장치에 구비된다.
이러한 슬릿밸브는 공정 진행 중 챔버와 챔버 사이의 압력이 맞추어진 상태에서 일반적으로 동작한다. 만약 챔버간의 압력이 크게 다르다면 이때의 압력차로 인하여 많은 문제를 유발시킨다. 즉 압력차로 인하여 챔버 내부에 위치한 웨이퍼의 쏠림과 파손 그리고 급작스런 진공상태의 훼손으로 인한 진공펌프의 파손 등이 발생할 수 있다.
따라서 이러한 문제점들 때문에 종래에는 일반적으로 두 챔버 사이의 압력이 맞추어진 상태에서 슬릿밸브가 개방되도록 하고, 이와 관련된 기술이 일본공개특허 1993-029263 에 개시되어 있다.
한편, 슬릿밸브는 수동조작으로도 동작이 가능하다. 다시 말해서 슬릿밸브는 공정진행시 자동조작에 의하여 동작이 이루어지지만, 반도체 제조장치의 정비 또는 공정 진행 중 인터락이 발생하였을 경우에는 작업자의 필요에 따라 수동조작으로도 동작이 이루어진다.
그런데, 어느 한 챔버의 정비가 필요하면 정비가 필요한 챔버를 대기압 상태로 만들고 해당 챔버에 대한 정비를 수행한다. 이때 주변의 다른 챔버에 웨이퍼가 수납된 상태일 경우 작업자의 실수로 슬릿밸브는 동작시키게 되면, 챔버간의 압력차로 인하여 웨이퍼의 쏠림과 파손 그리고 진공펌프의 파손과 같은 문제가 발생한다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 챔버들 사이에 설치된 슬릿밸브가 두 챔버 사이의 압력이 다를 때 작업자가 실수로 슬릿밸 브 개방스위치를 누르더라도 슬릿밸브가 개방되는 것을 방지되도록 한 슬릿밸브 제어 시스템 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
전술한 목적과 관련된 본 발명의 다른 목적은 슬릿밸브로 동작 압력을 제공하는 동작 압력원과 슬릿밸브 사이에 압력 조절기를 설치하여 어느 한 챔버가 진공상태이고, 다른 한 챔버가 대기압 상태일 때에 슬릿밸브를 동작시킬 수 있는 동작 압력 이하의 압력이 슬릿밸브에 가해지도록 한 슬릿밸브 제어 시스템 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
전술한 목적과 관련된 본 발명의 또 다른 목적은 두 개의 챔버 내부의 압력을 감지하여 감지된 압력 차이가 사전에 설정되어 입력된 압력 차이 보다 높을 경우 슬릿밸브에 이때의 압력차를 극복할 수 있는 압력 미만의 동작 압력을 가하도록 한 슬릿밸브 제어 시스템 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 슬릿밸브 제어시스템은 제 1챔버와 제 2챔버 사이에 설치된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브, 슬릿밸브에 동작 압력을 제공하는 동작 압력원, 슬릿밸브와 동작 압력원을 서로 연결하는 압력 공급유로, 공급유로 상에 설치되어 동작 압력원으로부터 슬릿밸브로 공급되는 압력을 조절하는 압력 조절기를 구비한다.
그리고 바람직하게 압력 조절기의 일측에는 동작 압력원으로부터 슬릿밸브로 공급되는 압력을 표시하는 압력 표시기가 설치된다.
또한 바람직하게 압력 조절기는 제 1챔버가 진공상태이고, 제 2챔버가 대기 압 상태일 때에 슬릿밸브의 동작에 필요한 압력 미만의 동작 압력이 공급되도록 한다.
또한 바람직하게 슬릿밸브는 제 1챔버와 제 2챔버 사이에 압력 차이가 있을 때에 압력 차이가 미리 설정된 압력차이 이상일 경우 슬릿밸브의 동작에 필요한 압력 미만의 동작 압력이 공급되도록 한다.
또한 제 1챔버는 진공상태이고, 제 2챔버는 대기압 상태일 수 있고, 압력 조절기는 전동식으로 구비된다.
또한 바람직하게 제 1챔버에는 제 1압력감지센서가 설치되고, 제 2챔버에는 제 2압력감지센서가 설치되어 제 1압력감지센서와 제 2압력감지센서에서 감지된 압력의 차이가 이미 설정된 압력 차이 이상인 경우 압력 조절기가 압력 차이 미만의 동작 압력이 슬릿밸브에 공급되도록 하는 제어부를 구비한다.
또한 바람직하게 공급유로 상의 압력 조절기와 슬릿밸브 사이에는 방향제어밸브가 설치되고, 방향제어밸브와 슬릿밸브 사이에는 전진유로와 후진유로가 각각 마련되고, 압력 조절기는 후진유로 측에 설치된다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 슬릿밸브 제어방법은 제 1챔버와 제 2챔버 사이에 설치된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브에 있어서, 제 1챔버의 압력을 제 1압력감지센서로 감지하는 단계; 제 2챔버의 압력을 제 2압력감지센서로 감지하는 단계; 제 1압력감지센서와 제 2압력감지센서에서 감지한 압력값을 비교하여 압력 차이값을 산출하는 단계; 압력 차이값과 이미 설정된 압력값을 비교하는 단계; 압력 차이값이 설정된 압력값 이상인 경우 슬릿밸브로 공급되는 동작 압력을 압력 차이값을 가질 때 슬릿밸브를 동작시키기 위하여 필요한 압력 미만으로 조절하는 단계로 구비된다.
그리고 제 1챔버는 진공 상태이고, 제 2챔버는 대기압 상태일 수 있다. 그리고 바람직하게 슬릿밸브에 동작 압력을 제공하는 동작 압력원과 슬릿밸브 사이에는 슬릿밸브로 공급되는 동작 압력을 조절하는 압력 조절기가 설치된다.
또한 바람직하게 압력 조절기의 일측에는 동작 압력원으로부터 슬릿밸브로 공급되는 압력을 표시하는 압력 표시기가 설치된다.
이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 본 발명의 슬릿밸브 제어시스템은 이하의 실시예에서와 같이 반도체 제조장치에 적용된다.
이하에서는 두 가지의 실시예를 설명한다. 이 두 실시예는 첫 번째 실시예를 기본 구성으로 하고, 두 번째 실시예는 첫 번째 실시예에 추가적인 구성이 포함된 것이다.
먼저 첫 번째 실시예와 두 번째 실시예에 함께 포함되는 본 발명에 따른 슬릿밸브 제어시스템이 채용된 반도체 제조장치의 구성을 설명하면 도 1에 도시된 바와 같이 진공상태로 웨이퍼에 대한 가공 공정이 수행되는 프로세스 챔버(10)와 이 프로세스 챔버(10)와 인접하여 설치되며, 웨이퍼를 프로세스 챔버(10)로 입출시키기 위한 이송로봇(미도시)이 설치된 트랜스퍼 챔버(20)를 구비하고, 이 트랜스퍼 챔버(20)로 가공 전후의 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩 되는 로드락 챔버(30)을 구비한다.
그리고 트랜스퍼 챔버(20), 프로세스 챔버(10), 및 로드락 챔버(30)가 접하는 경계면에는 도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼와 이송로봇의 이송암이 함께 입출되는 슬릿(21)이 형성된다. 또한 도 3에 도시된 바와 같이 각각의 슬릿(21)을 개폐하는 다수개의 슬릿밸브(60)가 트랜스퍼 챔버(20)에 설치된다.
계속해서 도 3을 참조하여 설명하면 슬릿밸브(60)는 슬릿(21)이 형성된 트랜스퍼 챔버(20)의 내측 바닥에 형성된 설치부(22)에 장착된다. 이 슬릿밸브(60)는 슬릿(21)에 접하는 밸브 플레이트(62)와 이 밸브 플레이트(62)를 전, 후진 동작시키는 액추에이터(61)로 되어 있다.
액추에이터(61)는 공압이 제공되는 실린더(61a)와 이 실린더(61a)로 공급된 공압으로 전, 후진 동작하는 피스톤 로드(61b)로 되어 있다. 액추에이터(61)는 설치부(22)를 관통하여 트랜스퍼 챔버(20)의 하부 외측에 장착된다.
한편, 슬릿밸브(60)로 압축공기를 공급하기 위한 동작 압력원(300)이 마련된다. 이 동작 압력원(300)은 일반적으로 공압 액추에이터에 사용되는 에어 공급원이다. 따라서 도면에서와 같이 압축공기가 저장된 봄베(bomb)로 구성되거나 또는 도시하지 않았지만 고압 펌프로 구성될 수 있다.
그리고 슬릿밸브(60)와 동작 압력원(300) 사이에는 에어 공급유로(70)가 구비되고, 이 공급유로(70) 상에는 압력 표시기(200)와 압력 조절기(100)가 설치된다. 압력 조절기(100)는 압력 표시기(200)에 표시된 압력상태에 따라 슬릿밸브(60)의 액추에이터(61)로 공급되는 동작 압력을 조절할 수 있도록 하기 위한 것이다.
또한 압력 조절기(100)와 슬릿밸브(60) 사이에는 방향제어밸브(80)가 설치되 고, 방행제어밸브(80)와 슬릿밸브(60) 사이에는 슬릿밸브(60)를 전진시키기 위한 전진유로(71)와 슬릿밸브(60)를 후진시키기 위한 후진유로(72)가 각각 마련된다.
이하에서는 두 개의 챔버 사이에 설치된 슬릿밸브(60)의 구성과 작용상태에 대하여 두 가지 실시예를 각각 설명한다. 그리고 도시되지 않은 구성에 대한 도면의 참조는 이미 언급한 도 1, 도 2 그리고 도 3을 참조한다.
이들 두 실시예는 이미 설명한 슬릿밸브(60) 제어시스템의 구성을 모두 포함한다. 또한 이하의 실시예에서 설명하는 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50)는 각각이 트랜스퍼 챔버(20), 로드락 챔버(30), 그리고 프로세스 챔버(10)일 수 있다.
첫 번째 실시예
도 4에 도시된 바와 같이 서로 다른 영역을 가지며 독립적으로 압력제어가 이루어지는 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50)를 구비한다. 그리고 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50) 사이에는 슬릿(21)이 형성되고, 이 슬릿(21)에는 슬릿(21)을 개폐하기 위한 슬릿밸브(60)가 장착된다. 또한 슬릿밸브(60)의 동작을 위한 에어를 공급하는 동작 압력원(300)이 구비되고, 이 동작 압력원(300)으로부터 슬릿밸브(60)로 에어의 공급을 안내하는 공급유로(70)가 구비된다.
그리고 공급유로(70) 상에는 압력 조절기(100)와 압력 표시기(200)가 설치되어 있는데, 압력 표시기(200)는 압력 조절기(100)에서 조절하여 공급하는 에어의 압력을 표시한다. 또한 압력 조절기(100)와 슬릿밸브(60) 사이에는 방향제어밸브(80)가 설치되고, 방행제어밸브(80)와 슬릿밸브(60) 사이에는 전진유로(71)와 후진유로(72)가 각각 마련된다.
여기서 도면에 별도로 도시하지 않았지만 압력 조절기(100)는 후진유로(72) 측에 설치될 수 있다. 즉 슬릿밸브(60)의 개방시에 발생하는 문제점을 해결하기 위한 것이 본 발명의 목적이므로 압력 조절기(100)를 후진유로(72) 측에 설치할 경우에도 본 발명의 목적을 달성할 수 있다.
이와 같이 구성된 슬릿밸브 제어시스템은 만약 제 1챔버(40)는 진공상태이고, 제 2챔버(50)가 대기압 상태일 때에 슬릿밸브(60)가 개방될 경우 종래와 같이 두 챔버(40)(50) 사이의 다른 압력에 의한 문제점을 유발시킨다. 따라서 이를 방지하기 위하여 압력조절이 수행된다.
압력조절은 압력 조절기(100)에서 이루어지고, 압력 조절기(100)의 조작은 작업자가 직접 수행한다. 그리고 압력 조절기(100)는 전동식 또는 수동식이 선택적으로 채용될 수 있다.
압력조절에 대한 하나의 예를 이하에서 설명하면, 제 1챔버(40)가 대기압 상태이고, 제 2챔버(50)가 진공상태인 경우 두 챔버(40)(50) 사이의 압력차에 대한 힘은 1기압이다. 이는 압력 단위로 101,325 Pa(N/m2)이 된다.
그리고 슬릿밸브(60)의 밸브 플레이트(62)의 단면적인 0.0077m2 이라고 할 경우 대기압 상태인 제 1챔버(40)와 진공상태인 제 2챔버(50) 사이에 설치된 슬릿밸브(60)의 밸브 플레이트(62)를 동작시키기 위해서는 101,325 N/m2 ㅧ 0.0077m2 = 780.20 N 이 필요하다.
그리고 슬릿밸브(60)의 실린더(61a) 내경이 80mm 이고, 피스톤 로드(61b)의 직경이 25mm라고 한다면 피스톤 로드(61b)의 후진시 실린더(61a)의 단면적은 (0.08m2 ×
Figure 112004036569401-pat00001
)/4 - (0.025m2 ×
Figure 112004036569401-pat00002
)/4 = 0.0045 m2 가 된다.
따라서 슬릿밸브(60)를 동작시키기 위한 동작 압력은 780.20 N / 0.0045 m2 = 172,101 Pa 즉 1,291 Torr (mmHg) 가 필요하게 된다.
이에 따라 압력 조절기(100)는 슬릿밸브(60)로 공급되는 동작 압력을 172,101 Pa 미만으로 공급하도록 설정하면 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50) 사이의 압력차가 있을 때 작업자가 실수로 슬릿밸브(60)를 온시키는 동작스위치를 누르더라도 슬릿밸브(60)는 동작을 하지 않게 되어 종래와 같은 문제점이 발생하지 않게 된다.
두 번째 실시예
도 5에 도시된 바와 같이 서로 다른 영역을 가지며 독자적으로 압력제어가 이루어지는 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50)를 구비한다. 그리고 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50) 사이에는 슬릿이 형성되고, 이 슬릿에는 슬릿을 개폐하기 위한 슬릿밸브(60)가 장착된다. 또한 슬릿밸브(60)의 동작을 위한 에어를 공급하는 동작 압력원(300)이 구비되고, 이 동작 압력원(300)으로부터 슬릿밸브(60)로 에어의 공급을 안내하는 공급유로가 구비된다.
공급유로에는 압력 조절기(100)와 압력 표시기(200)가 설치되어 있는데, 압력 표시기(200)는 압력 조절기(100)에서 조절하여 공급하는 에어의 압력을 표시한다. 그리고 첫 번째 실시예와 같이 압력 조절기(100)와 슬릿밸브(60) 사이에는 방 향제어밸브(80)가 설치되고, 방향제어밸브(80)와 슬릿밸브(60) 사이에는 전진유로(71)와 후진유로(72)가 각각 마련되고, 또한 압력 조절기(100)는 후진유로(72) 측에 설치될 수 있다.
그리고 제 1챔버(40)에는 제 1압력감지센서(400)가 설치되고, 제 2챔버(50)에는 제 2압력감지센서(410)가 설치된다. 그리고 압력 조절기(100), 압력 표시기(200) 그리고 제 1, 2압력감지센서(400)(410)를 제어하기 위한 제어부(500)가 포함된다. 여기서 각각의 압력감지센서(400)(410)는 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50)의 펌핑부 측에 설치된 일명 BPS(Barometric Pressure Sensor)로 구비될 수 있다.
이와 같이 구성된 두 번째 실시예에 따른 슬릿밸브(60) 제어시스템의 제어방법을 도 6을 참조하여 설명하면, 최초 제어부(500)에 소정의 압력값을 설정하여 설정 압력값을 입력한다.(S100) 이 설정 압력값은 두 챔버(40)(50) 사이의 압력차이가 있을 경우에 슬릿밸브(60)가 동작하더라도 웨이퍼의 쏠림과 파손 그리고 펌핑부의 파손과 같은 종래의 문제가 발생하지 않을 정도의 압력차이를 미리 측정하고, 이 측정값에 따라 두 챔버(40)(50) 사이의 압력차이를 산출한 값이다.
이후 제 1챔버(40)의 압력을 제 1압력감지센서(400)로 감지하고(S200), 제 2챔버(50)의 압력을 제 2압력감지센서(410)로 감지한다(S300). 그러면 이 각각의 챔버(40)(50)에서 감지된 압력값은 제어부(500)로 송신되고, 제어부(500)에서는 이 각각의 챔버(40)(50)에서 감지된 압력값이 비교하여 압력 차이값을 산출한다(S400). 그런 다음 이 압력 차이값과 이미 설정되어 입력된 설정 압력값을 비교한다.(S500)
그리고 압력 차이값이 설정된 압력값 이상인 경우에는 압력 조절기(100)로 신호를 송신하여 슬릿밸브(60)로 공급되는 동작 압력을 조절한다(S600). 이를 위하여 압력 조절기(100)는 전동식으로 구비되는 것이 바람직하다.
이때의 동작 압력의 조절은 감지된 압력 차이값에서 슬릿밸브(60)가 온동작 가능한 압력값 미만으로 조절하는 것을 말한다.
예를 들어서 제 1챔버(40)는 진공 상태이고, 제 2챔버(50)가 대기압 상태인 경우 위의 첫 번째 실시예와 같이 두 챔버(40)(50) 사이의 압력 차이값은 1기압, 즉 101,325 Pa가 된다. 그리고 슬릿밸브(60)의 동작을 위한 최소 압력은 172,101 Pa가 된다.
그리고 제어부(500)에 미리 설정된 압력값은 100 Pa 라고 한다면, 두 챔버(40)(50) 사이의 압력 차이값은 100Pa 이상이 될 것이다. 이와 같은 경우 제어부(500)는 압력 조절기(100)에 신호를 송신하여 압력 조절기(100)가 172,101 Pa 미만의 압력을 슬릿밸브(60)로 공급하도록 한다. 이러한 상태에서 작업자가 실수로 슬릿밸브(60) 온스위치를 누르더라도 슬릿밸브(60)는 열리지 않게 된다.
다른 동작예로 두 챔버(40)(50) 사이에 압력차이가 존재한 상태에서 제 1챔버(40) 또는 제 2챔버(50) 중 어느 하나의 정비가 필요하여 작업자가 정비가 수행되는 챔버를 대기압 상태로 전환하였다고 한다면, 이때 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50) 사이에는 압력차이가 발생한다. 그리고 작업자의 측정에 의하여 안전한 압력 차이값이 100 Pa로 측정되었을 경우 작업자는 제어부(500)에 측정된 100 Pa을 설정하여 입력한다.
이러한 상태에서 제 1압력감지센서(400)와 제 2압력감지센서(410)가 측정한 두 챔버(40)(50) 사이의 압력차이가 1,000 Pa로 측정되었다고 한다면, 첫 번째 실시예와 같은 사양의 슬릿밸브(60)를 채용하였을 경우 슬릿밸브(60)의 밸브 플레이트에 작용하는 힘은 1,000 N/m2 ㅧ 0.0077m2 = 7,7 N 이 된다. 따라서 슬릿밸브(60)를 동작시키기 위한 최소 동작 압력은 7.7 N / 0.0045 m2 = 1711,11 Pa 가 된다.
이에 따라 제어부(500)는 압력 조절기(100)로 신호를 송신하여 슬릿밸브(60)로 공급되는 동작 압력을 1711,11 Pa 미만으로 공급하도록 조절하면 제 1챔버(40)와 제 2챔버(50) 사이의 압력차가 있을 때 작업자가 실수로 슬릿밸브(60) 온스위치를 누르더라도 슬릿밸브(60)는 동작을 하지 않게 되어 종래와 같은 문제점이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
전술한 바와 같은 본 발명은 슬릿밸브의 오작동에 의한 개방을 방지하도록 두 챔버 사이의 압력차에 대한 슬릿밸브의 최소 동작 압력 미만의 압력이 수동 또는 자동으로 설정되도록 하여 작업자의 실수에 의한 슬릿밸브의 개방을 방지하도록 한 것으로, 이상의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상에 대한 구체적인 실시예를 설명하고 있다.
언급된 실시예의 구성요소는 필요에 따라 일부 변형될 수 있다. 그리고 필요에 따라서는 또 다른 종류의 압력 형성장치에도 채용될 수 있을 것이다. 그러나 구성이 변형되거나 또는 다른 종류의 압력 형성장치에 적용되더라도 변형된 구성이나 실시상태가 본 발명의 필수구성요소들을 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.
이상과 같은 본 발명에 따른 슬릿밸브 제어시스템 및 그 제어방법은 두 개 또는 그 이상의 챔버들 사이에 설치된 슬릿밸브가 두 챔버 사이의 압력이 다르고, 또한 두 챔버가 서로 연통되었을 때 심각한 문제가 유발할 수 있을 경우 작업자의 실수에 의하여 슬릿밸브가 개방되는 것을 방지하도록 슬릿밸브의 개방에 필요한 압력 미만의 동작 압력이 슬릿밸브에 가해지도록 함으로써 두 챔버 사이의 압력차이로 인하여 발생할 수 있는 웨이퍼의 쏠림과 파손 그리고 진공펌프가 파손되는 것을 방지하여 장치의 사용안정성과 효율을 보다 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (15)

  1. 제1 압력을 갖는 제 1챔버와 제2 압력을 갖는 제 2챔버 사이에 설치된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브;
    상기 슬릿밸브에 동작 압력을 제공하는 동작 압력원;
    상기 슬릿밸브와 상기 동작 압력원을 서로 연결하는 압력 공급유로;
    상기 공급유로 상에 설치되어 상기 제1 및 제2 압력의 차이에 따라 상기 동작 압력원으로부터 상기 슬릿밸브의 동작을 위해 상기 슬릿밸브로 공급되는 압력을 조절하는 압력 조절기를 구비한 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 압력 조절기의 일측에는 상기 동작 압력원으로부터 상기 슬릿밸브로 공급되는 압력을 표시하는 압력 표시기가 설치된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 압력 조절기는 상기 제 1챔버가 진공상태이고, 상기 제 2챔버가 대기압 상태일 때에 상기 슬릿밸브의 동작에 필요한 압력 미만의 동작 압력이 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 슬릿밸브는 상기 제 1챔버와 상기 제 2챔버 사이에 압력 차이가 있을 때에 상기 압력 차이가 미리 설정된 압력차이 이상일 경우 상기 슬릿밸브의 동작에 필요한 압력 미만의 동작 압력이 공급되도록 하는 것을 특징으 로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제 1챔버는 진공상태이고, 상기 제 2챔버는 대기압 상태인 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 압력 조절기는 전동식인 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 제 1챔버에는 제 1압력감지센서가 설치되고, 상기 제 2챔버에는 제 2압력감지센서가 설치되어 상기 제 1압력감지센서와 상기 제 2압력감지센서에서 감지된 압력의 차이가 이미 설정된 압력 차이 이상인 경우 상기 압력 조절기가 상기 압력 차이 미만의 동작 압력이 상기 슬릿밸브에 공급되도록 하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 공급유로 상의 압력 조절기와 상기 슬릿밸브 사이에는 방향제어밸브가 설치되고, 상기 방향제어밸브와 상기 슬릿밸브 사이에는 전진유로와 후진유로가 각각 마련된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 압력 조절기는 후진유로 측에 설치된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어시스템.
  10. 제 1챔버와 제 2챔버 사이에 설치된 슬릿을 개폐하는 슬릿밸브에 있어서,
    상기 제 1챔버의 압력을 제 1압력감지센서로 감지하는 단계;
    상기 제 2챔버의 압력을 제 2압력감지센서로 감지하는 단계;
    상기 제 1압력감지센서와 상기 제 2압력감지센서에서 감지한 압력값을 비교하여 압력 차이값을 산출하는 단계;
    산출된 상기 압력 차이값과 이미 설정된 압력값을 비교하는 단계;
    상기 압력 차이값이 상기 설정된 압력값 이상인 경우 상기 슬릿밸브로 공급되는 동작 압력을 상기 압력 차이값을 가질 때 상기 슬릿밸브를 동작시키기 위하여 필요한 압력 미만으로 조절하는 단계로 된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어방법.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 제 1챔버는 진공 상태이고, 상기 제 2챔버는 대기압 상태인 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어방법.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 슬릿밸브에 동작 압력을 제공하는 동작 압력원과 상기 슬릿밸브 사이에는 상기 슬릿밸브로 공급되는 동작 압력을 조절하는 압력 조절기가 설치된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어방법.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 압력 조절기의 일측에는 상기 동작 압력원으로부터 상기 슬릿밸브로 공급되는 압력을 표시하는 압력 표시기가 설치된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어방법.
  14. 제 11항에 있어서, 상기 압력 조절기와 상기 슬릿밸브 사이에는 방향제어밸브가 설치되고, 상기 방향제어밸브와 상기 슬릿밸브 사이에는 전진유로와 후진유로가 각각 마련된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어방법
  15. 제 14항에 있어서, 상기 압력 조절기는 후진유로 측에 설치된 것을 특징으로 하는 슬릿밸브 제어방법.
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