KR960008412Y1 - 웨이퍼 제조장비의 공정가스 압력게이지 인터록 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 제조장비의 공정가스 압력게이지 인터록 장치

제1도는 종래의 공정가스 압력게이지가 설치된 상태도.

제2도는 본고안장치를 나타낸 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 공정가스이송라인 2 : 압력게이지

4 : 인푸트밸브 6 : 에어구동밸브

7,8 : 도체 9 : 지침

10 : 릴레이 스위치 11,13 : ＋전원

12 : 안내홈 14 : 도전체

19 : 솔레노이드밸브

본 고안은 웨이퍼 제조장비의 공정가스 압력게이지 인터록(Inter lock)장치에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 공정가스가 설정치를 벗어나게 공급될 경우에는 매스 플로우 콘트롤러(Mass Flow Controller)로 공급되는 공정가스를 차단시킬 수 있도록 한 것이다.

종래의 압력게이지 인터록 장치는 제1도에 도시한 바와 같이 공정가스이송라인(1)상에 설치되어 이송되는 공정가스의 압력을 나타내는 압력게이지(2)와, 상기 압력게이지의 일측으로 설치되어 공정가스의 공급량을 콘트롤하는 매스 플로우 콘트롤러(3)와, 상기 매스 플로우 콘트롤러의 양측에 설치되는 인푸트밸브(4)와 아우트푸트밸브(5)로 구성되어 있다.

따라서 공저가스가 공정가스이송라인(1)을 통해 이송됨에 따라 공정가스의 압력을 압력게이지(2)가 눈금으로 나타냄과 동시에 매스 플로우 콘트롤러(3)가 유량을 자동으로 조절하게 되므로 챔버(도시는 생략함)내의 웨이퍼를 가공(증착, 식각 등)하게 된다.

그러나 이러한 종래의 압력게이지(2)는 공정가스의 압력을 표시하는 표시 가능만을 하게 되어 있어 공정가스의 압력이 기준치를 벗어날 경우에도 이를 감지하지 못하게 되므로 공정가스가 매스 플로우 콘트롤러에 의해 유량이 다르게 조절된 상태로 챔버내로 공급되었고, 이에 따라 웨이퍼의 품질을 저하시키게 되었으므로 이를 방지하기 위해서는 주기적으로 작업자가 육안으로 압력게이지(2)를 점검하여야 되는 불편함이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 공정가스가 압력게이지의 설정압력치보다 높거나 낮게 공급될 경우에는 작업자가 압력게이지를 점검하지 않고도 자동으로 공정가스의 흐름을 차단시켜 불량 웨이퍼가 양상되는 것을 미연하에 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 공정가스이송라인에 설치된 압력게이지의 인푸트밸브 사이에 에어구동밸브를 설치하고 압력게이지에는 공정가스의 최저압력과 최고압력을 설정하기 위한 도체를 설치하여 상기 도체에 ＋전원이 인가되도록 함과 함께 공정가스의 압력을 눈금으로 표시하는 지침에는 전원공급부로부터 －전원을 공급받는 릴레이 스위치의 ＋전원을 연결하여 상기 도체에 지침이 접속됨에 따라 릴레이 스위치가 동작되도록 하고 상기 릴레이 스위치에는 공정가스라인에 설치된 에어구동밸브를 제어하는 솔레노이드밸브를 연결하여서 된 웨이퍼 제조장비의 공정가스 압력게이지 인터록 장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본고안장치를 나타낸 구성도로서, 본고안은 공정가스이송라인(1)에 설치된 압력게이지(2)와 인푸트밸브(4) 사이에 에어구동밸브(6)가 설치되어 있고 상기 압력게이지(2)에는 공정가스의 최저압력과 최고압력을 설정하여 주기 위한 도체(7)(8)가 설치되어 전원공급부의 ＋전원이 도체에 인가되도록 되어 있으며 공정가스의 압력을 눈금으로 표시하는 지침(9)에는 전원공급으로부터 －전원을 공급받아 릴레이 스위치(10)의 ＋전원선(11)이 연결되어 있다.

이때 지침(9)에 연결된 ＋전원선(11)은 지침배면에 얇은 테프론코팅(도시는 생략함)을 하여 ＋전원선이 처지는 것을 방지하도록 되어 있다.

상기 압력게이지(2)에 설치되는 도체(7)(8)는 이동 가능하게 설치하여야 공정가스의 공급압력에 따라 호환성 있게 사용할 수 있게 되는데, 이를 위해 본고안의 일실시에에서는 압력게이지(2)의 눈금내측으로 고리 형상의 안내홈(12)을 형성하여 상기 안내홈에 도체(7)(8)를 외부로 노출되게 설치하므로서 공정가스의 설정압력에 따라 가변시킬 수 있게 된다.

그리고 상기 도체(7)(8)에 전원공급부의 ＋전원을 인가시키기 위해 전원공급부와 연결된 ＋전원선(13)을 도체(7)(8)에 각각 연결하도록 되어 있고 지침(9)에는 끝부분, 즉 도체(7)(8)와 접속되는 부분만 도전체(14)로 하는 것이 바람직하다.

이는 지침(9)의 이동시 압력게이지(2)와 접속되어 쇼트되는 것을 방지하기 위함이다.

또한 지침(9)이 도체(7)(8)와 접속됨에 따라 동작되는 릴레이 스위치(10)에는 릴레이접점(15)이 내장되어 있고 그 일측에는 ＋, －전원이 인가됨에 따라 지장을 띠는 릴레이코일(16)이 내장되어 있으며 릴레이코일(16)의 일측에는 전원공급부의 －전원선(17)이 직접 연결되어 있다.

또, 상기 릴레이 스위치(10)의 릴레이 접점(15)과 전원공급부의 －전원선(18)이 솔레노이드밸브(19)와 연결되어 있고 상기 솔레노이드밸브(19)와 에어구동밸브(6) 사이에는 이송관(20)이 연결되어 솔레노이드밸브(19)의 동작에 따라 에어가 이송관(20)을 통해 에어구동밸브(6)로 공급되어 에어구동밸브를 제어하도록 이와 같이 구성된 본고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 압력게이지(2)에 공정가스의 최저압력과 최고압력을 설정할 수 있도록 설치된 도체(7)(8)를 이동시켜 설정값을 셋팅시킨 다음 전원을 인가하면 도체(7)(8)에 전원공급부의 ＋전원이 －전원선(13)을 통해 공급된다.

그 후 공정가스의 압력이 설정치 범위내에서 공급될 경우에는 릴레이 스위치(10)의 전원이 오프되어 공정가스 이송라인(1)상에 설치된 에어구동밸브(6)도 개방되므로 공정가스가 매스 플로우 콘트롤러(3)에서 흐름량이 조절되어 챔버(도시는 생략함)내로 공급된다.

그러나 공정가스의 공급시 공정가스의 압력이 설정치 범위를 벗어나게 되면 압력변화에 따라 압력게이지(2)의 지침(9)이 이동되어 도전체(14)가 어느 하나의 도체(7)(8)와 접속되므로 ＋전원선(13)으로 공급된 ＋전원이 어느 하나의 도체(7)(8)→지침의 도전체(14)→＋전원선(11)을 통해 릴레이코일(16)로 공급된다.

이에 따라 릴레이코일(16)에 도전체(14)와 도체(7)(8)의 접속으로 ＋전원이, 그리고 전원공급부에 의해 －전원이 공급되어 자장을 띠게 되므로 릴레이 접점을 상호 접속시키게 되므로 결국 솔레노이드밸브(19)에 전원을 공급하게 된다.

이와 같이 솔레노이드밸브(19)에 전원이 공급되어 솔레노이드밸브(19)가 동작되면 이송관(20)를 통해 에어가 공급되고, 이에 따라 공급되는 에어가 에어구동밸브(5)를 작동시켜 공정가스이송라인을 폐쇄시키게 되므로 인푸트벨브(4)를 통해 공급되는 공정가스의 흐름은 차단하다.

이와 동시에 장비에 설치되어 있는 인터록 알람(도시는 생략함)이 울리게 되므로 작업자가 이를 식별하여 응급조치를 취할 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이, 본고안장치는 공정가스가 일정 설정치를 벗어날 경우 압력게이지(2)가 감지하여 공정가스이송라인(1)에 설치된 에어구동밸브(6)를 자동으로 제어함과 동시에 이를 작업자에게 알리도록 되어 있으므로 공정가스의 압력변화로 인해 불량 웨이퍼가 양산되는 것을 미연에 방지할 수 있게 되는 효과를 가지게 된다.

Claims (4)

1. 공정가스이송라인의 압력게이지(2)와 인푸트밸브(4)사이에 설치되어 공정가스의 흐름을 개폐하는 에어구동밸브(6)와, 상기 공정가스라인의 가스압력이 한계 최저압력과 최고압력에 도달할 때 상기 압력게이지의 지침(9)과 접속되도록 압력게이지 내에 설치된 도체(7)(8)와, 상기 압력게이지의 지침과 도체에 연결되어 지침과 도체의 접속요부에 따라 작동하는 릴레이 스위칭(10)와, 상기 릴레이 스위치와 에어구동밸브 사이에 설치되어 릴레이 스위치와 연동하면서 에어구동밸브를 제어하는 솔레노이드밸브(19)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 제조장비의 압력게이지 인터록 장치.
2. 제1항에 있어서, 압력게이지(2)의 눈금내측으로 고리형상의 안내홈(12)을 형성하여 상기 안내홈에 도체(7)(8)를 이동가능하게 설치함을 특징으로 하는 웨이퍼 제조장비의 압력게이지 인터록 장치.
3. 제1항에 있어서, 지침(9)의 끝부분만을 도전체(14)로 하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 제조장비의 압력게이지 인터록 장치.
4. 제1항에 있어서, 도체(7)(8)에 전원공급부에서 공급되는 ＋전원선(13)을 각각 연결하여 지침(9)이 어느 하나의 도체와 연결되더라도 지침과 릴레이 스위치 사이에 연결된 ＋전원선(11)을 통해 릴레이 스위치(10)에 ＋전원이 공급되도록 하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 제조장비의 공정가스 압력게이지 인터록 장치.