KR20000038674A - 웨이퍼 에칭 시스템 및 그의 제어 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 에칭 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것으로, 종래의 기술에 있어서 웨이퍼의 에칭시 에칭 제어 장비와 온도 유지 장비간의 인터페이스 장치가 구비되어 있지 않음으로써, 상기 온도 유지 장비에 전원이 공급되지 않아 칠러 트립(Chiller Trip)발생시 챔버 내의 진행중이던 웨이퍼가 급격한 표면 온도 상승으로 과도하게 에칭(Overeching)되어 상기 웨이퍼가 소손되는 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 웨이퍼의 에칭시 온도 유지 장비 전원이 공급되지 않으면 에칭 제어 장비를 인터락(Interlock)시킴으로써, 챔버 내의 진행중이던 상기 웨이퍼의 급격한 표면온도 상승을 방지함과 아울러 과도한 오버에칭에 의한 웨이퍼의 소손을 방지하여 효과가 있다.

Description

웨이퍼 에칭 시스템 및 그의 제어 방법

본 발명은 웨이퍼 에칭 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 에칭함에 있어서 온도 유지 장치(Temperature Control Unit)에 전원이 공급되지 못할 경우 에칭 제어 장비를 인터락(Interlock)시키도록 한 웨이퍼 에칭 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것이다.

도 1은 종래 웨이퍼 에칭 시스템의 구성을 보인 블록도로서, 이에 도시된 바와 같이 가스 유입을 제어받아 웨이퍼를 식각하는 챔버(10)와; 상기 챔버(10) 내의 온도를 일정하게 유지시키는 온도 유지 장비(20)와; 상기 챔버(10) 내의 에칭을 제어하는 에칭 제어 장비(30)로 구성되며, 상기 에칭 제어 장비(30)는 상기 챔버(10)에 공급되는 가스의 위험 요소를 감지하여 가스를 배출시키는 스크러버 스위치부(Scrubber Switch)(31)와; 상기 챔버(10) 내외부 도어의 개폐 여부를 확인하여 인터락신호를 출력하는 가스 박스 인터락 스위치부(Gas Box Interlock Switch)(32)와; 상기 챔버(10)내 가스의 유입량을 제어함과 아울러 상기 스크러버 스위치부(31)와 가스 박스 인터락 스위치부(32)의 출력신호를 입력받아 가스 유입을 차단시키는 가스 패널 마더보드(Gas Panel Motherboard)(33)를 포함하여 구성되며, 이와 같이 구성된 종래 기술에 따른 동작과정을 상세히 설명한다.

챔버(10)에서 가스를 유입받아 웨이퍼를 에칭을 하는 경우, 에칭 제어 장비(30)내 가스 박스 인터락 스위치부(32)에서 상기 챔버(10)의 내외부 도어의 개폐를 확인하여 이상이 없으면, 이를 가스 박스 인터락 스위치단(12A)(12B)으로 입력받은 가스 패널 마더보드(33)에 의해 가스 유입량을 제어받은 상기 챔버(10)는 상기 웨이퍼를 식각하게 된다.

여기서, 상기 챔버(10)는 온도 유지 장비(20)를 통해 설정 온도(약 20℃)를 갖고 한정된 범위(±5℃)안에서 일정하게 온도를 유지하게 된다.

그리고, 상기 웨이퍼를 에칭시 스크러버 스위치부(31)는 상기 챔버(10)내에 공급되는 가스의 위험 요소를 감지하여 위험 요소가 확인되면, 상기 가스 패널 마더보드(33)의 스크러버 스위치단(6A)(6B)을 통해 위험 신호를 출력하여 상기 웨이퍼의 에칭을 중단시키고, 상기 챔버(10) 내의 가스를 배출시킨다.

상기와 같이 종래의 기술에 있어서 웨이퍼의 에칭시 에칭 제어 장비와 온도 유지 장비간의 인터페이스 장치가 구비되어 있지 않음으로써, 상기 온도 유지 장비 전원이 공급되지 않아 칠러 트립(Chiller Trip)발생시 챔버 내의 진행중이던 웨이퍼가 급격한 표면 온도 상승으로 과도하게 에칭(Overeching)되어 상기 웨이퍼가 소손되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 온도 유지 장치에 전원이 공급되지 못할 경우 에칭 제어 장비를 인터락(Interlock)시키도록 한 웨이퍼 에칭 시스템 및 그의 제어 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래 웨이퍼 에칭 시스템의 구성을 보인 블록도.

도 2는 본 발명 웨이퍼 에칭 시스템의 구성을 보인 블록도.

도 3은 도 2에서 온도 유지 장비의 동작흐름도.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***

10 : 챔버 20 : 온도 유지 장비

30 : 에칭 제어 장비 31 : 스크러버 스위치

33 : 가스 패널 마더보드

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 가스 유입을 제어받아 웨이퍼를 식각하는 챔버와; 상기 챔버내의 온도를 일정하게 유지시킴과 아울러 상기 챔버내의 제1,제2 채널에 전원이 공급되지 않으면 에러 신호를 출력하는 온도 유지 장비와; 상기 챔버 내의 에칭을 제어함과 아울러 가스 박스 인터락 스위치단을 통해 상기 온도 유지 장비의 에러 신호를 입력받아 상기 챔버에서의 웨이퍼 에칭을 중단시키는 에칭 제어 장비로 구성하여 된 것을 특징으로 한다.

전원을 인가받아 제1 채널에 전원이 공급되는지를 판단하는 제1 단계와; 상기 제1 단계의 판단결과 전원이 공급되면 제2 채널에 전원이 공급되는지를 판단하는 제2 단계와; 상기 제1 단계의 판단결과 전원이 공급되지 않으면 에러신호를 송출하고 종료하는 제3 단계와; 상기 제2 단계의 판단결과 전원이 공급되면 정상적인 동작을 수행하고, 계속할 것인가를 판단하여 상기 제1 단계의 동작을 반복수행하는 제4 단계와; 상기 제2 단계의 판단결과 전원이 공급되지 않으면 상기 제3 단계의 동작을 수행하는 제5 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 일실시예에 대한 동작과 작용효과를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명 웨이퍼 에칭 시스템의 구성을 보인 블록도로서, 이에 도시한 바와 같이 가스 유입을 제어받아 웨이퍼를 식각하는 챔버(10)와; 상기 챔버(10) 내의 온도를 일정하게 유지시킴과 아울러 상기 챔버(10)내의 제1,제2 채널(미도시)의 펌프에 전원이 공급되지 않으면 24V의 에러 신호를 출력하는 온도 유지 장비(20)와; 상기 챔버(10)의 에칭을 제어함과 아울러 가스 박스 인터락 스위치단(12A)(12B)을 통해 상기 온도 유지 장비(20)의 에러 신호를 입력받아 상기 챔버(10)에서의 웨이퍼 에칭을 중단시키는 에칭 제어 장비(30)로 구성하며, 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 동작과정을 첨부한 도 3의 동작흐름도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

챔버(10)에서 가스를 유입받아 웨이퍼를 에칭을 하는 동작은 종래 도 1과 동일하게 동작한다.

여기서, 상기 챔버(10)에서 에칭을 제어하는 에칭 제어 장비(30)는 온도 유지 장비(10)로부터 에러 신호를 입력받아 상기 에칭 동작을 중단시킨다.

즉, 전원을 인가받은 상기 온도 유지 장비(20)는 피엘씨 프로그램(PLC Program)을 수정하여 00411 어드레스에 추가적으로 03100 어드레스에서 제1 채널의 펌프에 전원이 공급되는지를 판단하고, 전원이 공급되면 03200 어드레스에서 제2 채널의 펌프에 전원이 공급되는지를 판단한다.

여기서, 상기 제1,제2 채널의 펌프중 하나라도 전원이 인가되지 않으면, 상기 온도 유지 장비(20)는 상기 에칭 제어 장비(30)내 가스 패널 마더보드(33)의 가스 박스 인터락 스위치단(12A)(12B)으로 전원전압레벨(24V)이 동일한 에러 신호를 송출하고, 이를 입력받은 상기 에칭 제어 장비(30)는 알람 레벨(Alarm Level)을 레드(red)로 변경하여 상기 챔버(10)의 웨이퍼 에칭동작을 중단시키고, 에러 메시지("TCU FAILED DUE TO AC OFF AT LEAST 1 CHANNEL")를 송출한다.

그러나, 상기 제1,제2 채널의 펌프에 전원이 정상적으로 인가되는 경우, 상기 온도 유지 장비(20)는 정상적인 동작을 계속 수행하고 계속할 것인지를 판단하여 상기 동작을 반복수행한다.

상기에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은 웨이퍼의 에칭시 온도 유지 장비 전원이 공급되지 않으면 에칭 제어 장비를 인터락시킴으로써, 챔버 내의 진행중이던 상기 웨이퍼의 급격한 표면온도 상승을 방지함과 아울러 과도한 오버에칭에 의한 웨이퍼의 소손을 방지하여 효과가 있다.

Claims (2)

1. 가스 유입을 제어받아 웨이퍼를 식각하는 챔버와; 상기 챔버내의 온도를 일정하게 유지시킴과 아울러 상기 챔버내의 제1,제2 채널에 전원이 공급되지 않으면 에러 신호를 출력하는 온도 유지 장비와; 상기 챔버 내의 에칭을 제어함과 아울러 가스 박스 인터락 스위치단을 통해 상기 온도 유지 장비의 에러 신호를 입력받아 상기 챔버에서의 웨이퍼 에칭을 중단시키는 에칭 제어 장비로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 시스템.
2. 전원을 인가받아 제1 채널에 전원이 공급되는지를 판단하는 제1 단계와; 상기 제1 단계의 판단결과 전원이 공급되면 제2 채널에 전원이 공급되는지를 판단하는 제2 단계와; 상기 제1 단계의 판단결과 전원이 공급되지 않으면 에러신호를 송출하고 종료하는 제3 단계와; 상기 제2 단계의 판단결과 전원이 공급되면 정상적인 동작을 수행하고, 계속할 것인가를 판단하여 상기 제1 단계의 동작을 반복수행하는 제4 단계와; 상기 제2 단계의 판단결과 전원이 공급되지 않으면 상기 제3 단계의 동작을 수행하는 제5 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 시스템의 제어 방법.