KR100574485B1

KR100574485B1 - 프로세스 챔버내의 압력조절장치

Info

Publication number: KR100574485B1
Application number: KR1019990066619A
Authority: KR
Inventors: 박정우
Original assignee: 주식회사 하이닉스반도체
Priority date: 1999-12-30
Filing date: 1999-12-30
Publication date: 2006-04-27
Also published as: KR20010059229A

Abstract

본 발명에 따른 프로세스 챔버내의 압력조절장치를 제고하는 것에 관한 것으로서, 프로세스 챔버내에 모터의 회전축에 나사결합되어 회전하고, 일정한 간격으로 다수의 회전이동공이 형성된 회전판을 형성하여, 이 회전판의 회전이동공에 동일한 크기 및 간격을 갖는 고정이동공을 갖는 고정판을 시일링부재를 개재시킨 상태에서 서로 겹쳐서 회전시키므로 프로세스 챔버내를 이동하는 유체의 량을 효율적으로 조절하도록 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다. 또한, 밸브의 역할을 하는 회전판이 회전하므로 장치의 동작 거리가 없어지게 되어 이물질의 발생을 줄여주며, 회전판이 회전하므로 진동의 발생이 적은 장점을 지닌 발명에 관한 것이다.

모터 고정판 회전판 시일러 반응챔버

Description

프로세스 챔버내의 압력조절장치 { Device For Controling The Pressure In The Process Chamber }

도 1은 종래의 프로세스 챔버내에서 유체의 흐름을 개폐하는 장치의 일실시예의 방식을 보인 도면이고,

도 2는 종래의 프로세스 챔버내에서 유체의 흐름을 개폐하는 장치의 다른 실시예의 방식을 보인 도면이며,

도 3은 본 발명에 따른 프로세스 챔버내에 설치된 압력조절장치의 구성의 분해 사시도이고,

도 4는 본 발명에 따른 압력조절장치의 평면 상태를 보인 도면이고,

도 5는 본 발명에 따른 압력조절장치의 사용 상태를 보인 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

20 : 프로세스챔버 22 : 공간부

30 : 고정판 32 : 외부시일러

34 : 통공 36 : 고정이동공

40 : 모터 42 : 회전축

44 : 나사부 50 : 밀봉시일러

52 : 끼움공 54 : 개방홈부

60 : 회전판 62 : 나사홈

64 : 회전이동공

본 발명은 프로세스 챔버내에서 유체 이동을 조절하는 밸브장치에 관한 것으로서, 특히, 프로세스 챔버내에 모터의 회전축에 나사결합되어 회전하고, 일정한 간격으로 다수의 회전이동공이 형성된 회전판을 형성하여, 이 회전판의 회전이동공에 동일한 크기 및 간격을 갖는 고정이동공을 갖는 고정판을 시일링부재를 개재시킨 상태에서 서로 겹쳐서 회전시키므로 프로세스 챔버내를 이동하는 유체의 량을 적절하게 조절하도록 하는 반응 챔버내의 압력조절장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체소자를 제조하는 데 있어 사용되는 가스를 이동시켜서 반응시키도록 하는 프로세스챔버 내에서 이동하는 가스등과 같은 유체위 이동량을 조절하기 위하여 모터를 구동하여 회전축을 시계추 방식으로 흔들면서 개폐하는 펜들럼방식 혹은 모터를 회전시켜 가이드핸들을 수평으로 이동하면서 유체를 이동시키는 방식을 주로 사용하였다.

도 1은 종래의 프로세스 챔버내에서 유체의 흐름을 개폐하는 장치의 일실시예의 방 식을 보인 도면으로서, 일실시예의 구성을 살펴 보면, 직육면체 형상의 공간을 갖고, 상하로 관통되는 이동공(8)을 갖는 하우징(1)과, 상기 하우징(1)내에서 회전하는 모터(2)와; 상기 모터(2)의 회전축(3)에 고정되는 안내돌기(4)에 가이드홈(6)이 삽설되어 상기 하우징(1)의 이동공(8)을 개폐하도록 오링(7)을 갖는 가이드밸브(5)로 구성된다.

상기 구성은 모터(2)가 회전하면서 원형으로 회전축(3)이 회전하면, 안내돌기(4)가 가이드홈(6)을 따라 이동함에 따라 가이드밸브(5)가 하우징(1)의 홈부를 따라 이동하면서 이동공(8)을 개방하거나 밀폐하면서 유체의 이동량을 조절하게 된다.

그리고, 도 2는 종래의 프로세스 챔버내에서 유체의 흐름을 개폐하는 장치의 다른 실시예의 방식을 보인 도면으로서, 다른 실시예의 구성은, 원뿔 형상을 갖고, 상,하로 관통하는 이동공(18)을 갖는 하우징(10)과; 상기 하우징(10)의 내붸 설치되어 회전하는 동력을 발생하는 모터(15)와; 상기 모터(15)의 회전축(16)에 연결되어 시계추 운동을 하면서 하우징(10)의 이동공(18)을 개폐하는 오링(14)을 갖는 회전밸브(12)로 구성된다.

상기한 구성은 모터(15)가 회전하여 회전밸브(12)가 하우징(10)의 이동공 (18)을 차단하거나 개방하면서, 프로세스 챔버로 공급되는 유체의 이동량을 제어하게 된다.

그런데, 상기한 바와 같이, 종래의 구성은 가이드밸브(5) 혹은 회전밸브(12)를 정확하고 균일하게 회전시키는 것이 어려우므로 유체의 흐름이 균일하지 않을 뿐만아니라 밸브의 개폐시에 동작하는 거리가 길어서 이물질의 발생이 많으며, 밸브의 동 작시 진동이 심한 문제점을 지니고 있었다.

본 발명의 목적은 이러한 점을 감아하여 안출한 것으로서, 프로세스 챔버내에 모터의 회전축에 나사결합되어 회전하고, 일정한 간격으로 다수의 회전이동공이 형성된 회전판을 형성하여, 이 회전판의 회전이동공에 동일한 크기 및 간격을 갖는 고정이동공을 형성하는 고정판을 시일링부재를 개재시킨 상태에서 서로 겹쳐서 회전시키므로 프로세스 챔버내를 이동하는 유체의 량을 적절하게 조절하는 것이 목적이다.

이러한 목적은 내부에 공간부를 갖는 프로세스 챔버에서, 상기 프로세스 챔버내에 고정되어 중심부에 상,하로 관통된 통공을 형성하고, 상,하로 유체를 이동하도록 하는 고정이동공을 형성하는 고정판과; 상기 고정판의 상부면에 설치되어 중심부에 나사홈을 형성하고, 상기 고정이동공의 크기와 설치위치를 갖도록 회전이동공을 형성하는 회전판과; 상기 고정판의 통공 및 회전판의 삽입공에 삽입되어 끝단에 형성된 나사부가 회전판의 나사홈에 체결되어 회전판을 일정각도로 회전시키는 모터로 구성된 프로세스 챔버내의 압력조절장치를 제공함으로써 달성된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예의 구성에 대해 상세하게 설명하도록 한다.

본 발명의 구성을 살펴 보면, 내부에 공간부(22)를 갖는 프로세스 챔버(20)에서, 상기 프로세스 챔버(20)내에 고정되어 중심부에 상,하로 관통된 통공(34)을 형성하고, 상,하로 유체를 이동하도록 하는 고정이동공(36)을 형성하는 고정판(30)과; 상기 고정판(30)의 상부면에 설치되어 중심부에 나사홈(62)을 형성하고, 상기 고정이동공(36)의 크기와 설치위치를 갖도록 회전이동공(64))을 형성하는 회전판 (60)과; 끝단에 형성된 나사부(44)가 상기 고정판(30)의 통공(34) 및 회전판(60)의 나사홈(62)에 삽입, 체결되어 회전판(60)을 일정각도로 회전시키는 모터(40)로 구성된다.

그리고, 상기 고정판(30)의 외주면에는 밀봉을 위한 외부시일러(32)가 형성된다.

또한, 상기 고정판(30)의 상부면과 상기 회전판(60)의 저면 사이에는 고정이동공(36)과 회전이동공(64)의 크기 보다 약간 큰 개방홈부(54)를 형성하는 밀봉시일러(50)를 설치하여 고정판(30)과 회전판(60)사이의 밀봉을 수행하도록 한다.

그리고, 상기 고정판(30)의 고정이동공(36)과 회전판(60)의 회전이동공(64)의 갯수를 적절하게 조절하도록 하고, 대략적으로 이등변 삼각형상으로 형성하여 꼭지점이 중심으로 향하도록 한다.

이하, 첨부도면에 의거하여 본 발명의 작용 및 효과를 살펴 보도록 한다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 장치가 프로세스 챔버(20)의 내부에 설치된 상태에서 상부로 부터 가스등과 같은 유체가 이동하여 오는 경우, 하부로 이동하는 유체의 량을 조절하기 위하여 모터(40)를 구동한다.

상기 모터(40)의 회전축(42)에 고정된 회전판(60)이 프로세스 챔버(20)의 내벽면에 결합된 고정판(30)에 대하여 소정의 각도로 회전하여 고정판(30)의 고정이동공(36)에 대하여 회전판(60)의 회전이동공(64)이 서로 어긋나면서 유체의 이동경로를 간격을 제어하여 유체의 공급량을 조절하게 된다.

한편, 상기 외부시일러(32)와 밀봉시일러(50)에 의하여 회전판(60)과 고정판 (30) 사이가 밀봉되므로 유체가 회정이동공(64)과 고정이동공(36)의 간극사이로 이동하는 것을 방지하게 된다.

상기 모터(40)은 저속으로 회전하는 저속모터를 사용하도록 하고, 모터(40)의 회전 각도는 고정판(30)의 고정이동공(36)과 회전판(60)의 회전이동공(64)의 크기 및 간극을 고려하여 정하도록 한다.

상기 모터(40)가 일정각도 회전한 후에 복귀하면서 간극을 조절하거나 혹은 계속하여 일방향으로 회전하여 유체의 공급량을 조절하도록 시스템을 구성하는 것이 가능하다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 프로세스 챔버내의 압력조절장치를 이용하게 되면, 프로세스 챔버내에 모터의 회전축에 나사결합되어 회전하고, 일정한 간격으로 다수의 회전이동공이 형성된 회전판을 형성하여, 이 회전판의 회전이동공에 동일한 크기 및 간격을 갖는 고정이동공을 형성하는 고정판을 시일링부재를 개재시킨 상태에서 서로 겹쳐서 회전시키므로 프로세스 챔버내를 이동하는 유체의 량을 효율적으로 조절하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.

또한, 밸브의 역할을 하는 회전판이 회전하므로 장치의 동작 거리가 없어지게되어 이물질의 발생을 줄여주며, 회전판이 회전하므로 진동의 발생이 적은 장점을 지닌 발명이다.

Claims

내부에 공간부를 갖는 프로세스 챔버에 있어서,

상기 프로세스 챔버내에 고정되어 중심부에 상,하로 관통된 통공을 형성하고, 상,하로 유체를 이동하도록 하는 고정이동공을 형성하는 고정판과;

상기 고정판의 상부면에 설치되어 중심부에 나사홈을 형성하고, 상기 고정이동공의 크기와 설치위치를 갖도록 회전이동공을 형성하는 회전판과;

끝단에 형성된 나사부가 상기 고정판의 통공 및 회전판의 나사홈에 삽입, 체결되어 회전판을 일정각도로 회전시키는 모터로 구성된 것을 특징으로 하는 프로세스 챔버내의 압력조절장치.
제 1 항에 있어서, 상기 고정판의 외주면에는 밀봉을 위한 외부시일러가 형성되는 것을 특징으로 하는 프로세스 챔버내의 압력조절장치.
제 1 항에 있어서, 상기 고정판의 상부면과 상기 회전판의 저면 사이에는 고정이동공과 회전이동공의 크기 보다 약간 큰 개방홈부를 형성하는 밀봉시일러를 설치하는 것을 특징으로 하는 프로세스 챔버내의 압력조절장치.