KR920010269A - 음향 단열 액체량 감지기 - Google Patents

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KR920010269A
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베이트스 켄 에스
쿤즈 케니스 엠
에이취. 로울레트 발튼
비. 장 데이비드
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완다 케이. 덴슨-로우
휴우즈 에어크라프트 캄파니
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Abstract

내용 없음

Description

음향 단열 액체량 감지기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 사용되는 액체량 감지기의 개략적인 블록도.
제2도는 감지기 내에 사용하기에 적합한 마이크로머신식 이중 스트레인 게이지 압력 변환기의 단순화된 단면도.

Claims (37)

  1. 공지된 체적 V2를 갖고 주 챔버이 표면과 배면 대 배면 구성으로 장착된 기준 챔버, 상기 각각의 주 기준 챔버 내의 기체 정압을 등화시키기 위한 수단, 상기 각각의 챔버 내에서 체적 변위를 생성하기 위해 상기 주 및 기준 챔버 사이에 장착되고 2개의 챔버를 분리하는 여기 변환기, 상기 여기 변환기를 구동하기 위해 여기 신호를 발생시키기 위한 여기 소오스, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 주 챔버 내의 미분 기압 △P1을 표시하는 주 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 주 챔버 내에 배치된 주 챔버 압력 변환기, 상기 체적 변위 의해 발생되는 상기 기준 챔버 내의 미분 기압 △P2를 표시하는 기준 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 기준 챔버 내에 배치된 기준 챔버 압력 변환기, 및 상기 주 챔버 내의 기에 체적 V1을 표시하기 위한 신호를 제공하기 위한 상기 주 및 검정 변환기 신호를 응답하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐된 주 챔버 내의 기체 체적 V1을 측정하기 위한 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 등화 수단이 상기 기준 챔버와 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는 하나 이상의 개방 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 여기 소오스가 사인파 변환기 구동 신호를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 여기 신호로부터 발생하는 상기 주 및 기준 챔버 내의 기체의 압축 및 희박화가 거의 단일 과정으로 일어나고 정상파 및 공명이 상기 챔버 내에서 여기되지 않도록 상기 여기 신호의 주파수 또는 주파수들이 선택되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 등화 수단이 상기 기준 챔버 및 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는, 특성 차단 주파수에 의해 특성화되는 하나 이상의 개방통로를 포함하고, 상기 주 챔버 내의 상기 기체 체적이 측정될 때의 시스템 측정 동작 모드 중에, 상기변환기 구동 신호가 상기 차단 주파수 보다 큰 주파수 성분에 의해 특성화되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 차단 주파수 이하의여기 주파수로 상기 여기 변환기를 여기시키기 위해 혼합 모드중 작동 가능하여, 상기 주 및 기준 챔버 사이의 증기를 혼합시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 압력 변환기가 각각 음향 마이크로폰을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 주 및 기준 변환기에 응답하는 상기 수단이 미분 기압 △P1및 △P2에 좌우되는 상기 주 챔버 내의 상기 체적 V1및 상기 기준 챔버의 상기 체적 V2를 계산하기 위한 수단을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 주 및 기준 신호에 응답하는 상기 수단이 관계식 V1=V2(△P2/△P1)에 따라 상기 신호를 제공하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 주 및 기준 변환기가 압력 요동에 따라 만곡하는 압전저항 실리콘 막을 포함하여 전기 저항을 요동시키는 실리콘 스트레인 릴리이프 압력 변환기를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 변환기가 모놀리식 실리콘 기판 상에 조립되고, 각 변화기가 다른 변환기에 의해 측정되는 특정 주 및 기준 챔버 내의 압력 요동의 효과로부터 각 변환기 막을 고립시키기 위한 변환기 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 주 및 기준 챔버 사이의 기체를 혼합시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  13. 공지된 공체적의 밀폐된 주 챔버 내의 액체, 파우더 또는 고체의 체적을 측정하기 위한 시스템에 있어서, 공지된 공체적 V2를 갖고 상기 주 챔버의 표면에 인접하여 장착된 기준 챔버, 상기 각각의 주 및 기준 챔버 내의 기체 정압을 등화시키기 위한 수단, 각각의 챔버 내의 체적 변위를 생성하기 위해 상기 주 및 기준 챔버 사이에 장착되고 두 챔버를 분리하는 여기 변환기, 상기 여기 변환기를 구동하기 위해 여기 신호를 발생시키기 위한 여기 소오스, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 주 챔버 내의 미분 기압△P1을 표시하는 주 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 주 챔버 내에 배치된 주 챔버 압력 변환기, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 기준 챔버 내의 미분 기압△P2를 표시하는 기준 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 기준 챔버 내에 배치된 기준 챔버 압력 변환기, 및 상기 공지된 공체적 및 상기 기준 챔버 체적 V2에 따라 상기 주 챔버 내의 상기물질의 기체 체적을 표시하는 신호를 제공하기 위해 상기 주 및 기준 변환기 신호에 응답하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 등화수단이 상기 기준 챔버와 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는 하나 이상의 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  15. 제13항에 있어서, 상기 여기 수단이 사인파 변환기 구동 신호를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  16. 제13항에 있어서, 상기 여기 신호로부터 기인하는 상기 주 및 기준 챔버 내의 기체의 압축 및 희박화가 거의 단열과정으로 일어나고 정상파 및 공명이 여기되지 않도록 상기 여기 신호의 주파수 또는 주파수들이 선택되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  17. 제13항에 있어서, 상기등화수단이 상기 기준 챔버 및 상기 주 챔버 사이를 통하게 하고 특성 차단 주파수에 의해 특성화되는 하나 이상의 개방 통로를 포함하고, 상기 주 챔버 내의 상기 기체의 상기 체적이 측정될 때의 시스템 측정 동작 모드 중에, 상기 변환기 구동 신호의 주파수 또는 주파수들이 상기 차단 주파수보다 큰 것을 특징으로 하는 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 상기 주 및 기준 챔버 사이를 증기를 혼합하기 위해 상기 차단 주파수 이하의 여기 주파수로 상기 여기 변환기를 여기시키기 위한 기체 혼합 모드 동안 작동가능한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  19. 제14항에 있어서, 상기 변환기 구동 신호가 1Hz내지 500Hz주파수 영역 내에 존재하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  20. 제13항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 압력 변환기가 각 음향 마이크로폰을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  21. 제13항에 있어서, 상기 주 및 기준 변화기가 압력 요동에 따라 만곡하는 압전저항 실리콘 막을 포함하여 전기 저항을 요동시키는 실리콘 스트레인 릴리이프 압력 변환기를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 변환가 모놀리식 실리콘 기판 상에 조립되고, 각 변환기가 다른 변환기에 의해 측정되는 특정 주 및 기준 챔버 압력 요동의 효과로부터 각 변환기 막을 고립시키기 위한 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  23. 제13항에 있어서, 상기 주 및 기준 변환기에 응답하는 상기 수단이 상기 미분 전압 △P1및 △P2에 좌우되는 상기 주 챔버 내의 상기 체적 V1및 상기 기준 챔버의 상기 체적 V2를 계산하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  24. 제23항에 있어서, 상기 주 및 기준 신호에 응답하는 상기 수단이 관계식 V1=V2(△P2/△P1)에 따라 상기 신호를 제공하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  25. 제13항에 있어서, 상기 주 챔버 내의기체 체적 V1을 결정하기 위한 수단, 및 상기 주 챔버 내의 상기물질의 체적을 계산하기 위해 상기 주 챔버의 상기 공지된 공체적으로부터 상기 기체 체적 V1을 빼기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  26. 제13항에 있어서, 상기 주 및 기준 챔버를 사이에서 기체를 혼합시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  27. 공지된 체적 V2를 갖고 주 챔버의 표면과 배면 대 배면 구성으로 장착된 기준 챔버, 상기 각 주 및 기준 챔버 내의 기체 정압을 등화시키기 위한 수단, 상기 각 챔버 내에서 체적 변위를 생성하기 위해 상기 주 및 기준 챔버 사이에 장착되고 두 챔버를 분리하는 여기 변환기, 상기 여기 변환기를 구동하기 위해 여기 신호를 발생시키기 위한 여기 소오스, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 주 챔버 내의 미분 기압 △P1을 표시하는 주 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 주 챔버 내에 배치된 주 챔버 압력 변환기, 상기 체적 변위 의해 발생되는 상기 기준 챔버 내의 미분 기압 △P2를 표시하는 기준 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 기준 챔버 내에 배치된 기준 챔버 압력 변환기, 및 상기 주 챔버 의 상기 공지된 공체적 및 상기 체적 V2에 따라 상기 주 챔버 내의 연료량을 표시하는 연료량 신호를 제공하기 위해 상기 주 및 기준 변환기 신호에 응답하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 공지된 공체적을 갖는 밀폐된 주 챔버 내의 액체 연료의 체적을 측정하기 위한 액체 연료량 게이지 시스템.
  28. 제27항에 있어서, 연료량 신호를 제공하기 위한 상기 수단이, 상기 주 챔버 내의 기체 체적 V1을 결정하기 위한 수단, 및 상기 주 챔버 내의 액체 연료의 체적을 결정하기 위해 상기 주 챔버의 상기 공지된 공체적으로부터 상기 체적 V1을 빼기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  29. 제27항에 있어서, 상기 기체 체적 V1을 결정하기 위한 상기 수단이 상기 미분 전압 △P1및 △P2에 좌우되는 상기 체적 V1및 상기 기준 챔버의 상기 체적 V2를 결정하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  30. 제29항에 있어서, 상기 기체 체적 V1을 결정하기 위한 상기 수단이 관계식 V1=V2(△P2/△P1)에 따라 상기 체적 V1을 결정하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  31. 제27항에 있어서, 상기 등화수단이 상기 기준 챔버와 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는 하나 이상의 개방 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  32. 제27항에 있어서, 상기 변환기가 음향 스피커를 포함하고, 상기 여기 수단이 사인파 변환기 구동 신호를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  33. 제27항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 압력 변환기기 각각 음향 마이크로폰을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  34. 제27항에 있어서, 상기 변환기 구동 신호가 1Hz 내지 500Hz의 주파수 영역 내에 존재하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  35. 제27항에 있어서, 상기 챔버 내의 액체량을 표시하는 가시적인 디스플레이를 제공하기 위해 상기 연료량 신호에 응답하는 가시적인 디스플레이 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  36. 제27항에 있어서, 상기 기준 챔버가 상기 주 챔버의 상부 표면과 배면 대 배면 구성으로 장착되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  37. 제27항에 있어서, 상기 양 챔버의 기체가 실질적으로 같은 연료 증기 내용물을 갖도록 상기 주 및 기준 챔버 사이에서 기체를 혼합시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100574485B1 (ko) * 1999-12-30 2006-04-27 주식회사 하이닉스반도체 프로세스 챔버내의 압력조절장치

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5531111A (en) * 1994-04-28 1996-07-02 Nippondenso Co., Ltd. Structure of a volumetric measuring apparatus
SE0004140D0 (sv) * 2000-11-13 2000-11-13 Siemens Elema Ab Acoustic Gas Analyser
JP4905619B2 (ja) * 2001-06-21 2012-03-28 独立行政法人産業技術総合研究所 微小重力用体積計測装置
US20050095141A1 (en) * 2003-10-30 2005-05-05 Deka Products Limited Partnership System and method for pumping fluid using a pump cassette
US7347089B1 (en) * 2005-08-30 2008-03-25 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Gas volume contents within a container, smart volume instrument
US8561459B2 (en) * 2009-05-06 2013-10-22 Stratec Biomedical Usa, Inc. Volume gauge
US8353209B1 (en) * 2009-09-30 2013-01-15 United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration Radio frequency tank eigenmode sensor for propellant quantity gauging
EP2710202B1 (en) * 2011-05-16 2019-07-24 Diversified Foam Products, Inc. Luxury vinyl tile flooring system
JP5946176B2 (ja) * 2012-07-13 2016-07-05 矢崎総業株式会社 内容量推定装置及びそれを有する内容量推定システム
US10405534B2 (en) 2014-12-02 2019-09-10 Cnh Industrial America Llc System and method for electronic fluid measurement
NZ776411A (en) 2015-10-09 2023-09-29 Deka Products Lp Fluid pumping and bioreactor system
US11299705B2 (en) 2016-11-07 2022-04-12 Deka Products Limited Partnership System and method for creating tissue

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3237451A (en) * 1962-10-16 1966-03-01 Acoustica Associates Inc Volumetric measurement system
US3357245A (en) * 1965-04-14 1967-12-12 Acoustica Associates Inc System for volumetric analysis
US3411351A (en) * 1965-10-23 1968-11-19 Simmouds Prec Products Inc Fluid measuring system
US3596510A (en) * 1970-02-04 1971-08-03 Nasa Resonant infrasonic gauging apparatus
SU432344A1 (ru) * 1972-06-21 1974-06-15 Куйбышевский политехнический институт В. В. Куйбышева Устройство для измерения объема жидкости
SU587333A2 (ru) * 1976-08-01 1978-01-05 Кубышевский Политехнический Институт Им.В.В.Куйбышева Устройство дл измерени объема жидкости
US4226125A (en) * 1979-07-26 1980-10-07 The Singer Company Digital pressure sensor system with temperature compensation
JPH0233084B2 (ja) * 1983-03-11 1990-07-25 Yasushi Ishii Yosekikei
SU1204943A1 (ru) * 1984-07-05 1986-01-15 Казанский Ордена Трудового Красного Знамени И Ордена Дружбы Народов Авиационный Институт Им.А.Н.Туполева Устройство дл измерени объема вещества в емкости
US4704902A (en) * 1984-12-04 1987-11-10 Doshi Navin H Acoustical volume/pressure measurement device
SE450295B (sv) * 1984-12-21 1987-06-15 Enpece Ab Sett och anordning for metning av volymen av en gas i en behallare
SU1377595A2 (ru) * 1986-04-09 1988-02-28 Куйбышевский политехнический институт им.В.В.Куйбышева Устройство дл измерени объема жидкости
JP2533306B2 (ja) * 1986-12-27 1996-09-11 泰 石井 体積計
JPS63246620A (ja) * 1987-04-01 1988-10-13 Saburo Kenjo 気体式体積計測器
US4991433A (en) * 1989-09-21 1991-02-12 Applied Acoustic Research Phase track system for monitoring fluid material within a container

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100574485B1 (ko) * 1999-12-30 2006-04-27 주식회사 하이닉스반도체 프로세스 챔버내의 압력조절장치

Also Published As

Publication number Publication date
CA2053948A1 (en) 1992-05-15
EP0486264A2 (en) 1992-05-20
JPH04268416A (ja) 1992-09-24
US7114384B1 (en) 2006-10-03
EP0486264A3 (en) 1993-05-12

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