KR920010269A - 음향 단열 액체량 감지기 - Google Patents
음향 단열 액체량 감지기 Download PDFInfo
- Publication number
- KR920010269A KR920010269A KR1019910020119A KR910020119A KR920010269A KR 920010269 A KR920010269 A KR 920010269A KR 1019910020119 A KR1019910020119 A KR 1019910020119A KR 910020119 A KR910020119 A KR 910020119A KR 920010269 A KR920010269 A KR 920010269A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- chamber
- transducer
- volume
- main
- signal
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/14—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measurement of pressure
- G01F23/18—Indicating, recording or alarm devices actuated electrically
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
- G01F23/296—Acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F17/00—Methods or apparatus for determining the capacity of containers or cavities, or the volume of solid bodies
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 사용되는 액체량 감지기의 개략적인 블록도.
제2도는 감지기 내에 사용하기에 적합한 마이크로머신식 이중 스트레인 게이지 압력 변환기의 단순화된 단면도.
Claims (37)
- 공지된 체적 V2를 갖고 주 챔버이 표면과 배면 대 배면 구성으로 장착된 기준 챔버, 상기 각각의 주 기준 챔버 내의 기체 정압을 등화시키기 위한 수단, 상기 각각의 챔버 내에서 체적 변위를 생성하기 위해 상기 주 및 기준 챔버 사이에 장착되고 2개의 챔버를 분리하는 여기 변환기, 상기 여기 변환기를 구동하기 위해 여기 신호를 발생시키기 위한 여기 소오스, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 주 챔버 내의 미분 기압 △P1을 표시하는 주 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 주 챔버 내에 배치된 주 챔버 압력 변환기, 상기 체적 변위 의해 발생되는 상기 기준 챔버 내의 미분 기압 △P2를 표시하는 기준 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 기준 챔버 내에 배치된 기준 챔버 압력 변환기, 및 상기 주 챔버 내의 기에 체적 V1을 표시하기 위한 신호를 제공하기 위한 상기 주 및 검정 변환기 신호를 응답하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐된 주 챔버 내의 기체 체적 V1을 측정하기 위한 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 등화 수단이 상기 기준 챔버와 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는 하나 이상의 개방 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 여기 소오스가 사인파 변환기 구동 신호를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 여기 신호로부터 발생하는 상기 주 및 기준 챔버 내의 기체의 압축 및 희박화가 거의 단일 과정으로 일어나고 정상파 및 공명이 상기 챔버 내에서 여기되지 않도록 상기 여기 신호의 주파수 또는 주파수들이 선택되는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제4항에 있어서, 상기 등화 수단이 상기 기준 챔버 및 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는, 특성 차단 주파수에 의해 특성화되는 하나 이상의 개방통로를 포함하고, 상기 주 챔버 내의 상기 기체 체적이 측정될 때의 시스템 측정 동작 모드 중에, 상기변환기 구동 신호가 상기 차단 주파수 보다 큰 주파수 성분에 의해 특성화되는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제5항에 있어서, 상기 차단 주파수 이하의여기 주파수로 상기 여기 변환기를 여기시키기 위해 혼합 모드중 작동 가능하여, 상기 주 및 기준 챔버 사이의 증기를 혼합시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 압력 변환기가 각각 음향 마이크로폰을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 주 및 기준 변환기에 응답하는 상기 수단이 미분 기압 △P1및 △P2에 좌우되는 상기 주 챔버 내의 상기 체적 V1및 상기 기준 챔버의 상기 체적 V2를 계산하기 위한 수단을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제8항에 있어서, 상기 주 및 기준 신호에 응답하는 상기 수단이 관계식 V1=V2(△P2/△P1)에 따라 상기 신호를 제공하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 주 및 기준 변환기가 압력 요동에 따라 만곡하는 압전저항 실리콘 막을 포함하여 전기 저항을 요동시키는 실리콘 스트레인 릴리이프 압력 변환기를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제10항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 변환기가 모놀리식 실리콘 기판 상에 조립되고, 각 변화기가 다른 변환기에 의해 측정되는 특정 주 및 기준 챔버 내의 압력 요동의 효과로부터 각 변환기 막을 고립시키기 위한 변환기 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 주 및 기준 챔버 사이의 기체를 혼합시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 공지된 공체적의 밀폐된 주 챔버 내의 액체, 파우더 또는 고체의 체적을 측정하기 위한 시스템에 있어서, 공지된 공체적 V2를 갖고 상기 주 챔버의 표면에 인접하여 장착된 기준 챔버, 상기 각각의 주 및 기준 챔버 내의 기체 정압을 등화시키기 위한 수단, 각각의 챔버 내의 체적 변위를 생성하기 위해 상기 주 및 기준 챔버 사이에 장착되고 두 챔버를 분리하는 여기 변환기, 상기 여기 변환기를 구동하기 위해 여기 신호를 발생시키기 위한 여기 소오스, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 주 챔버 내의 미분 기압△P1을 표시하는 주 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 주 챔버 내에 배치된 주 챔버 압력 변환기, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 기준 챔버 내의 미분 기압△P2를 표시하는 기준 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 기준 챔버 내에 배치된 기준 챔버 압력 변환기, 및 상기 공지된 공체적 및 상기 기준 챔버 체적 V2에 따라 상기 주 챔버 내의 상기물질의 기체 체적을 표시하는 신호를 제공하기 위해 상기 주 및 기준 변환기 신호에 응답하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 등화수단이 상기 기준 챔버와 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는 하나 이상의 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 여기 수단이 사인파 변환기 구동 신호를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 여기 신호로부터 기인하는 상기 주 및 기준 챔버 내의 기체의 압축 및 희박화가 거의 단열과정으로 일어나고 정상파 및 공명이 여기되지 않도록 상기 여기 신호의 주파수 또는 주파수들이 선택되는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기등화수단이 상기 기준 챔버 및 상기 주 챔버 사이를 통하게 하고 특성 차단 주파수에 의해 특성화되는 하나 이상의 개방 통로를 포함하고, 상기 주 챔버 내의 상기 기체의 상기 체적이 측정될 때의 시스템 측정 동작 모드 중에, 상기 변환기 구동 신호의 주파수 또는 주파수들이 상기 차단 주파수보다 큰 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제17항에 있어서, 상기 주 및 기준 챔버 사이를 증기를 혼합하기 위해 상기 차단 주파수 이하의 여기 주파수로 상기 여기 변환기를 여기시키기 위한 기체 혼합 모드 동안 작동가능한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제14항에 있어서, 상기 변환기 구동 신호가 1Hz내지 500Hz주파수 영역 내에 존재하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 압력 변환기가 각 음향 마이크로폰을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 주 및 기준 변화기가 압력 요동에 따라 만곡하는 압전저항 실리콘 막을 포함하여 전기 저항을 요동시키는 실리콘 스트레인 릴리이프 압력 변환기를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제21항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 변환가 모놀리식 실리콘 기판 상에 조립되고, 각 변환기가 다른 변환기에 의해 측정되는 특정 주 및 기준 챔버 압력 요동의 효과로부터 각 변환기 막을 고립시키기 위한 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 주 및 기준 변환기에 응답하는 상기 수단이 상기 미분 전압 △P1및 △P2에 좌우되는 상기 주 챔버 내의 상기 체적 V1및 상기 기준 챔버의 상기 체적 V2를 계산하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 주 및 기준 신호에 응답하는 상기 수단이 관계식 V1=V2(△P2/△P1)에 따라 상기 신호를 제공하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 주 챔버 내의기체 체적 V1을 결정하기 위한 수단, 및 상기 주 챔버 내의 상기물질의 체적을 계산하기 위해 상기 주 챔버의 상기 공지된 공체적으로부터 상기 기체 체적 V1을 빼기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 주 및 기준 챔버를 사이에서 기체를 혼합시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 공지된 체적 V2를 갖고 주 챔버의 표면과 배면 대 배면 구성으로 장착된 기준 챔버, 상기 각 주 및 기준 챔버 내의 기체 정압을 등화시키기 위한 수단, 상기 각 챔버 내에서 체적 변위를 생성하기 위해 상기 주 및 기준 챔버 사이에 장착되고 두 챔버를 분리하는 여기 변환기, 상기 여기 변환기를 구동하기 위해 여기 신호를 발생시키기 위한 여기 소오스, 상기 체적 변위에 의해 발생되는 상기 주 챔버 내의 미분 기압 △P1을 표시하는 주 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 주 챔버 내에 배치된 주 챔버 압력 변환기, 상기 체적 변위 의해 발생되는 상기 기준 챔버 내의 미분 기압 △P2를 표시하는 기준 변환기 신호를 제공하기 위해 상기 기준 챔버 내에 배치된 기준 챔버 압력 변환기, 및 상기 주 챔버 의 상기 공지된 공체적 및 상기 체적 V2에 따라 상기 주 챔버 내의 연료량을 표시하는 연료량 신호를 제공하기 위해 상기 주 및 기준 변환기 신호에 응답하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 공지된 공체적을 갖는 밀폐된 주 챔버 내의 액체 연료의 체적을 측정하기 위한 액체 연료량 게이지 시스템.
- 제27항에 있어서, 연료량 신호를 제공하기 위한 상기 수단이, 상기 주 챔버 내의 기체 체적 V1을 결정하기 위한 수단, 및 상기 주 챔버 내의 액체 연료의 체적을 결정하기 위해 상기 주 챔버의 상기 공지된 공체적으로부터 상기 체적 V1을 빼기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 기체 체적 V1을 결정하기 위한 상기 수단이 상기 미분 전압 △P1및 △P2에 좌우되는 상기 체적 V1및 상기 기준 챔버의 상기 체적 V2를 결정하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제29항에 있어서, 상기 기체 체적 V1을 결정하기 위한 상기 수단이 관계식 V1=V2(△P2/△P1)에 따라 상기 체적 V1을 결정하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 등화수단이 상기 기준 챔버와 상기 주 챔버 사이를 통하게 하는 하나 이상의 개방 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 변환기가 음향 스피커를 포함하고, 상기 여기 수단이 사인파 변환기 구동 신호를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 각각의 주 및 기준 압력 변환기기 각각 음향 마이크로폰을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 변환기 구동 신호가 1Hz 내지 500Hz의 주파수 영역 내에 존재하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 챔버 내의 액체량을 표시하는 가시적인 디스플레이를 제공하기 위해 상기 연료량 신호에 응답하는 가시적인 디스플레이 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 기준 챔버가 상기 주 챔버의 상부 표면과 배면 대 배면 구성으로 장착되는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제27항에 있어서, 상기 양 챔버의 기체가 실질적으로 같은 연료 증기 내용물을 갖도록 상기 주 및 기준 챔버 사이에서 기체를 혼합시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US61361590A | 1990-11-14 | 1990-11-14 | |
US613,615 | 1990-11-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR920010269A true KR920010269A (ko) | 1992-06-26 |
Family
ID=24458009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019910020119A KR920010269A (ko) | 1990-11-14 | 1991-11-13 | 음향 단열 액체량 감지기 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7114384B1 (ko) |
EP (1) | EP0486264A3 (ko) |
JP (1) | JPH04268416A (ko) |
KR (1) | KR920010269A (ko) |
CA (1) | CA2053948A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100574485B1 (ko) * | 1999-12-30 | 2006-04-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 프로세스 챔버내의 압력조절장치 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5531111A (en) * | 1994-04-28 | 1996-07-02 | Nippondenso Co., Ltd. | Structure of a volumetric measuring apparatus |
SE0004140D0 (sv) * | 2000-11-13 | 2000-11-13 | Siemens Elema Ab | Acoustic Gas Analyser |
JP4905619B2 (ja) * | 2001-06-21 | 2012-03-28 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 微小重力用体積計測装置 |
US20050095141A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-05 | Deka Products Limited Partnership | System and method for pumping fluid using a pump cassette |
US7347089B1 (en) * | 2005-08-30 | 2008-03-25 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Gas volume contents within a container, smart volume instrument |
US8561459B2 (en) * | 2009-05-06 | 2013-10-22 | Stratec Biomedical Usa, Inc. | Volume gauge |
US8353209B1 (en) * | 2009-09-30 | 2013-01-15 | United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration | Radio frequency tank eigenmode sensor for propellant quantity gauging |
EP2710202B1 (en) * | 2011-05-16 | 2019-07-24 | Diversified Foam Products, Inc. | Luxury vinyl tile flooring system |
JP5946176B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2016-07-05 | 矢崎総業株式会社 | 内容量推定装置及びそれを有する内容量推定システム |
US10405534B2 (en) | 2014-12-02 | 2019-09-10 | Cnh Industrial America Llc | System and method for electronic fluid measurement |
NZ776411A (en) | 2015-10-09 | 2023-09-29 | Deka Products Lp | Fluid pumping and bioreactor system |
US11299705B2 (en) | 2016-11-07 | 2022-04-12 | Deka Products Limited Partnership | System and method for creating tissue |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3237451A (en) * | 1962-10-16 | 1966-03-01 | Acoustica Associates Inc | Volumetric measurement system |
US3357245A (en) * | 1965-04-14 | 1967-12-12 | Acoustica Associates Inc | System for volumetric analysis |
US3411351A (en) * | 1965-10-23 | 1968-11-19 | Simmouds Prec Products Inc | Fluid measuring system |
US3596510A (en) * | 1970-02-04 | 1971-08-03 | Nasa | Resonant infrasonic gauging apparatus |
SU432344A1 (ru) * | 1972-06-21 | 1974-06-15 | Куйбышевский политехнический институт В. В. Куйбышева | Устройство для измерения объема жидкости |
SU587333A2 (ru) * | 1976-08-01 | 1978-01-05 | Кубышевский Политехнический Институт Им.В.В.Куйбышева | Устройство дл измерени объема жидкости |
US4226125A (en) * | 1979-07-26 | 1980-10-07 | The Singer Company | Digital pressure sensor system with temperature compensation |
JPH0233084B2 (ja) * | 1983-03-11 | 1990-07-25 | Yasushi Ishii | Yosekikei |
SU1204943A1 (ru) * | 1984-07-05 | 1986-01-15 | Казанский Ордена Трудового Красного Знамени И Ордена Дружбы Народов Авиационный Институт Им.А.Н.Туполева | Устройство дл измерени объема вещества в емкости |
US4704902A (en) * | 1984-12-04 | 1987-11-10 | Doshi Navin H | Acoustical volume/pressure measurement device |
SE450295B (sv) * | 1984-12-21 | 1987-06-15 | Enpece Ab | Sett och anordning for metning av volymen av en gas i en behallare |
SU1377595A2 (ru) * | 1986-04-09 | 1988-02-28 | Куйбышевский политехнический институт им.В.В.Куйбышева | Устройство дл измерени объема жидкости |
JP2533306B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1996-09-11 | 泰 石井 | 体積計 |
JPS63246620A (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-13 | Saburo Kenjo | 気体式体積計測器 |
US4991433A (en) * | 1989-09-21 | 1991-02-12 | Applied Acoustic Research | Phase track system for monitoring fluid material within a container |
-
1991
- 1991-10-22 CA CA002053948A patent/CA2053948A1/en not_active Abandoned
- 1991-11-12 EP EP19910310431 patent/EP0486264A3/en not_active Withdrawn
- 1991-11-13 KR KR1019910020119A patent/KR920010269A/ko not_active Application Discontinuation
- 1991-11-14 JP JP3299311A patent/JPH04268416A/ja active Pending
-
1993
- 1993-02-09 US US08/015,665 patent/US7114384B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100574485B1 (ko) * | 1999-12-30 | 2006-04-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 프로세스 챔버내의 압력조절장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2053948A1 (en) | 1992-05-15 |
EP0486264A2 (en) | 1992-05-20 |
JPH04268416A (ja) | 1992-09-24 |
US7114384B1 (en) | 2006-10-03 |
EP0486264A3 (en) | 1993-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR920010269A (ko) | 음향 단열 액체량 감지기 | |
CN106507262B (zh) | 一种带有受控激励源的扬声器振膜测试仪 | |
EP0467657A1 (en) | Low Frequency acoustic fuel sensor | |
US20090038397A1 (en) | Vibration sensor | |
US3520191A (en) | Strain gage pressure transducer | |
US2539418A (en) | Apparatus for testing piezoelectric pressure gauges | |
Wobschall | Bilayer membrane elasticity and dynamic response | |
JPH11509695A (ja) | 音響強度較正装置 | |
US3425281A (en) | Vacuum gauge apparatus | |
JPH04504620A (ja) | 圧電差圧渦センサー | |
JPS59164916A (ja) | 容積計 | |
JPH07174651A (ja) | 圧力センサ | |
US6079266A (en) | Fluid-level measurement by dynamic excitation of a pressure- and fluid-load-sensitive diaphragm | |
US2785567A (en) | Densimeter | |
US4572003A (en) | Sidetone generator flowmeter | |
JP2001004481A (ja) | 漏れ量計測装置、および漏れ検査装置 | |
RU2017100C1 (ru) | Датчик давления | |
GB880361A (en) | Dual string force transducer | |
EP1297317B1 (en) | Quasi-static viscometer | |
Warshawsky | Piston manometer as an absolute standard for vacuum-gauge calibration | |
CA1183594A (en) | Absolute pressure sensor | |
JPH0658275B2 (ja) | 動水圧の測定方法及び動水圧計 | |
JPH07103838A (ja) | 微圧センサ | |
Swift et al. | Two methods for absolute calibration of dynamic pressure transducers | |
DE BOER | Absolute sound-pressure measurements |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |