KR100560956B1

KR100560956B1 - Apparatus for manufacturing flat panel display

Info

Publication number: KR100560956B1
Application number: KR1020040009662A
Authority: KR
Inventors: 이영종; 최준영; 조생현
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2004-02-13
Filing date: 2004-02-13
Publication date: 2006-03-15
Also published as: KR20050081425A

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 공정 챔버가 복수개 구비되고, 로드락 챔버의 각 측면에 기판 지지부가 더 구비되어 장치가 차지하는 면적을 최소화할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, comprising a load lock chamber, a transfer chamber, and a process chamber, wherein a plurality of process chambers are provided, and a substrate support portion is further provided on each side of the load lock chamber. It relates to a flat panel display device manufacturing apparatus that can be provided to minimize the area occupied by the device.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송 챔버 및 상기 반송 챔버와 접촉되어 연결된 적어도 2개 이상의 공정 챔버를 갖는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 기판을 상기 로드락 챔버로 공급하고, 상기 로드락 챔버로부터 기판을 외부로 반출하는 기판 지지부가 상기 로드락 챔버의 측면 중 상기 반송챔버와 연결되는 면과 인접한 측면으로 출입하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device manufacturing apparatus including a load lock chamber, a transfer chamber, and at least two process chambers connected to and in contact with the transfer chamber. And a substrate support part for carrying out the substrate from the load lock chamber to the outside of the side surface of the load lock chamber, the side being adjacent to the surface connected to the transfer chamber.

평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 로드락 챔버, 기판 지지기구Flat Panel Display, Flat Panel Display Manufacturing Equipment, Load Lock Chamber, Substrate Support Mechanism

Description

Flat panel display device manufacturing apparatus {Apparatus for manufacturing flat panel display}

도 1은 일반적인 평판표시소자 제조장치의 챔버 배열 및 기판 이송 장치의 구조를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a chamber arrangement and a substrate transfer apparatus of a general flat panel display device manufacturing apparatus.

도 2는 평판표시소자 제조장치 중 하나의 반송챔버에 2개의 공정챔버가 결합된 구조를 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a structure in which two process chambers are coupled to one conveyance chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus.

도 3은 평판표시소자 제조장치 중 하나의 반송챔버에 3개의 공정챔버가 결합된 구조를 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a structure in which three process chambers are coupled to one transfer chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예의 구조를 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing the structure of the first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제 2 실시예의 구조를 나타내는 단면도이다.Fig. 5 is a sectional view showing the structure of the second embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 기판 지지부의 구조를 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view showing the structure of the substrate support of the present invention.

도 7은 본 발명의 다층형 기판 지지부의 구조를 나타내는 사시도이다.7 is a perspective view showing the structure of a multilayer substrate support of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100 : 로드락 챔버 110 : 기판 지지부100: load lock chamber 110: substrate support

120 : 기판 지지부재 130 : 이송부재120: substrate support member 130: transfer member

132 : 가이드 레일 134 : 가이드 블럭132: guide rail 134: guide block

200 : 반송챔버 210 : 반송 로봇200: conveying chamber 210: conveying robot

300 : 공정챔버 400 : 기판 반송기구300: process chamber 400: substrate transfer mechanism

500 : 기판 적재함500: substrate loading box

일반적으로 평판표시소자(Flat Panel Display ; FPD)를 제조하는 장치로는 도 1에 도시된 바와 같이, 로드락 챔버(100), 반송 챔버(200), 공정 챔버(300)가 순차적으로 연결되어 이루어지는 평판표시소자 제조장치가 많이 사용된다. In general, as a device for manufacturing a flat panel display (FPD), the load lock chamber 100, the transfer chamber 200, and the process chamber 300 are sequentially connected as shown in FIG. 1. A flat panel display device manufacturing apparatus is widely used.

이때 상기 로드락 챔버(100)는 외부와 연결되며, 외부에서 공정이 처리될 새로운 기판을 반입하거나 평판표시소자 제조장치 내에서 공정 처리가 완료된 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 그 내부는 진공 상태와 대기압 상태를 반복적으로 유지하면서 외부와 접촉된다. At this time, the load lock chamber 100 is connected to the outside, and serves to bring in a new substrate to be processed from the outside, or to take out the substrate that has been processed in the flat panel display device manufacturing apparatus to the outside, the inside of the vacuum It keeps in contact with the outside while repeatedly maintaining its state and atmospheric pressure.

또한 상기 반송챔버(200)는 상기 로드락 챔버(100) 및 공정챔버(300)와 연결되며, 도 1에 도시된 바와 같이 내부에 반송로봇(210)이 구비되어 있어서, 상기 로드락 챔버(100)와 공정 챔버(300) 간에 기판을 반입하거나 반출하는 중간 통로로 기능하며, 항상 진공분위기로 유지되어 공정챔버(300) 내의 기판을 반출하거나 공정챔버(300) 내로 기판을 반입하는 때에도 상기 공정챔버(300) 내부의 분위기가 진 공분위기로 유지될 수 있도록 한다. In addition, the transfer chamber 200 is connected to the load lock chamber 100 and the process chamber 300, as shown in Figure 1 is provided with a transport robot 210 therein, the load lock chamber 100 ) Serves as an intermediate passage for carrying in or taking out a substrate between the process chamber 300 and the process chamber 300, and is always maintained in a vacuum atmosphere even when the substrate in the process chamber 300 is taken out or brought into the process chamber 300. (300) The atmosphere inside can be maintained in a vacuum atmosphere.

또한 상기 공정챔버(300)는 소정의 처리장치(도면에 미도시)가 구비되어 있어서 기판 상에 소정의 처리를 실시하는 공간으로서 진공분위기하에서 식각 등의 처리를 한다. In addition, the process chamber 300 is provided with a predetermined processing apparatus (not shown in the drawing), and performs processing such as etching under a vacuum atmosphere as a space for performing a predetermined processing on a substrate.

그런데 종래에는 상기 로드락 챔버(100)에 기판을 공급하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 로드락 챔버에 인접한 위치에 대기압에서 구동되며, 기판을 운반할 수 있는 기판 운송기구(400)를 설치하고, 상기 기판 운송기구(400)가 그에 인접한 위치에 설치된 기판 적재함(500)에 적재된 기판을 상기 로드락 챔버(100)에 공급하는 방식을 취하고 있다. However, conventionally, as shown in FIG. 1, in order to supply a substrate to the load lock chamber 100, a substrate transport mechanism 400 driven at atmospheric pressure in a position adjacent to the load lock chamber and capable of transporting the substrate is provided. And the substrate loaded in the substrate stacking box 500 installed at a position adjacent to the substrate transport mechanism 400 to the load lock chamber 100.

그러나 로드락 챔버(100)에 상술한 방식에 의하여 기판을 공급하는 경우에는 클린룸 내에서 평판표시소자 제조장치가 설치되는 면적이 넓어져서, 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린룸의 크기가 확대되며, 평판표시소자 제조장치의 설치단가가 높아지는 문제점이 있다. 물론 상기 평판표시소자 제조장치에 의하여 제조되는 기판의 제조단가도 상승한다. However, in the case of supplying the substrate to the load lock chamber 100 by the above-described method, the area in which the flat panel display device manufacturing apparatus is installed in the clean room is enlarged, so that the size of the clean room in which the flat panel display device manufacturing apparatus is installed is expanded. The installation cost of the flat panel display device manufacturing apparatus is increased. Of course, the manufacturing cost of the substrate manufactured by the flat panel display device manufacturing apparatus also increases.

특히, 최근에는 상기 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리되는 평판표시소자가 대형화되면서 상기 평판표시소자 제조장치를 이루는 각 챔버의 부피도 병행하여 확대되고 있어서 상술한 문제점이 더욱 심각해지고 있다. In particular, in recent years, as the flat panel display device processed by the flat panel display device manufacturing apparatus is enlarged in size, the volume of each chamber constituting the flat panel display device manufacturing apparatus is also increased in parallel.

또 하나의 평판표시소자 제조장치가 차지하는 면적을 감소시키기 위하여 도 2 또는 도 3에 도시된 바와 같이 하나의 반송챔버(200)에 다수개의 공정 챔버(300)를 설치하는 경우에도 여전히 로드락 챔버(100) 주위의 공간이 낭비되는 문제점이 있으므로 이를 해결하기 위한 방안이 요구되고 있다. In order to reduce the area occupied by another flat panel display device manufacturing apparatus, even when a plurality of process chambers 300 are installed in one transport chamber 200 as shown in FIG. 100) Since there is a problem that the space around is wasted, there is a need for a solution to solve this problem.

본 발명의 목적은 평판표시소자 제조장치가 설치되는 공간을 효율적으로 이용할 수 있도록 로드락 챔버의 측면에 기판 지지부가 구비된 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다. An object of the present invention is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus having a substrate support on the side of the load lock chamber to efficiently use the space in which the flat panel display device manufacturing apparatus is installed.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송 챔버 및 상기 반송 챔버와 접촉되어 연결된 적어도 2개 이상의 공정 챔버를 갖는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 기판을 상기 로드락 챔버로 공급하고, 상기 로드락 챔버로부터 기판을 외부로 반출하는 기판 지지부가 상기 로드락 챔버의 측면 중 상기 반송챔버와 연결되는 면과 인접한 측면으로 출입하도록 구비되는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device manufacturing apparatus including a load lock chamber, a transfer chamber, and at least two process chambers connected to and in contact with the transfer chamber. And a substrate support part configured to supply the load lock chamber and to carry out the substrate from the load lock chamber to the side adjacent to the side of the load lock chamber connected to the transfer chamber.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성, 작용 및 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration, operation and embodiment of the present invention.

도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버(100), 반송 챔버(200), 공정 챔버(300)로 구성되되, 상기 공정 챔버(300)는 상기 반송 챔버(200)와 유기적으로 연결되며, 하나의 평판표시소자 제조장치에 적어도 2개 이상 구비되는 것이 바람직하다. 그리고 상기 로드락 챔버(100) 에는 기판을 상기 로드락 챔버(100)로 공급하고, 상기 로드락 챔버(100)로부터 기판을 외부로 반출하는 기판 지지부(110)가 상기 로드락 챔버(100)의 측면 중 상기 반송챔버(200)와 연결되는 면과 인접한 측면으로 출입되도록 구비된다. 종래에는 상기 로드락 챔버(100)의 면 중 상기 반송 챔버(200)와 연결되는 면과 마주보는 면에 외부에서 기판이 공급될 수 있는 도어를 형성시키고, 상기 로드락 챔버(100), 반송 챔버(200), 공정 챔버(300)가 연결된 방향으로 기판을 공급하였으나, 본 발명에서는 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 공정 챔버(300)와 로드락 챔버(100)에 인접하여 형성되는 여분의 공간 방향으로 기판 지지부(110)가 출입하도록 형성시켜 평판표시소자 제조장치가 설치되는 공간의 이용 효율을 극대화하는 것이다. As shown in Figure 4 or 5, the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is composed of a load lock chamber 100, the transfer chamber 200, the process chamber 300, the process chamber 300 Organically connected to the transfer chamber 200, preferably at least two or more in one flat panel display device manufacturing apparatus. In addition, a substrate support 110 for supplying a substrate to the load lock chamber 100 and carrying a substrate from the load lock chamber 100 to the outside is provided in the load lock chamber 100. It is provided to enter and exit the side adjacent to the surface connected to the conveying chamber 200 of the side. Conventionally, a door through which a substrate can be supplied from the outside is formed on a surface of the load lock chamber 100 facing the surface connected to the transfer chamber 200, and the load lock chamber 100 and the transfer chamber The substrate 200 is supplied in the direction in which the process chamber 300 is connected. However, in the present invention, as shown in FIG. 4 or 5, the substrate is formed adjacent to the process chamber 300 and the load lock chamber 100. The substrate support 110 is formed to enter and exit in an extra space direction to maximize the use efficiency of the space where the flat panel display device manufacturing apparatus is installed.

이때 상기 기판 지지부(110)는 상기 로드락 챔버(100)의 측면 중 상기 반송 챔버(200)와 연결되는 면과 인접한 2개의 면 모두로 출입하도록 구비될 수도 있고, 어느 한 면으로만 출입하도록 구비될 수도 있다. In this case, the substrate support 110 may be provided to enter and exit from both sides adjacent to the surface of the load lock chamber 100 connected to the transfer chamber 200, and may be provided to enter or exit from only one surface. May be

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(300)가 2개 구비되는 평판표시소자 제조장치에 있어서는 로드락 챔버(100)의 한쪽 측면으로만 기판 지지부(110)가 출입하도록 하나의 기판 지지부(110)를 로드락 챔버(100) 내부에 형성시키고, 도 5에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(300)가 3개 구비되는 평판표시소자 제조장치에 있어서는 로드락 챔버(100)의 양면으로 기판 지지부(110)가 출입하도록 로드락 챔버(100)에 2개의 기판 지지부(110)를 형성시키는 것이 바람직하다. That is, as shown in FIG. 4, in the flat panel display device manufacturing apparatus including two process chambers 300, one substrate support unit allows the substrate support unit 110 to enter and exit only one side of the load lock chamber 100. In the flat panel display device manufacturing apparatus in which the 110 is formed inside the load lock chamber 100 and three process chambers 300 are provided, the substrate is formed on both sides of the load lock chamber 100. It is preferable to form two substrate supports 110 in the load lock chamber 100 so that the supports 110 enter and exit.

이때, 2개의 기판 지지부(110)를 형성시키는 경우에는 상기 로드락 챔버(100)의 면 중 상기 기판 지지부(110)가 출입하는 측면에는 각각 기판 지지부(110)가 통과하는 통과로(140)및 그 통과로(140)를 차단할 수 있는 도어(도면에 미도시)를 각각 구비시키고, 상기 로드락 챔버(100)의 일측면으로 출입하는 기판 지지부(110)가 구동되는 경우에는 반대편 측면에 구비되어 있는 도어는 그 면에 형성된 통과로(140)를 밀폐하도록 제어되도록 하여야 한다. 즉, 로드락 챔버(100) 내부에 진공분위기를 형성시키기 위하여 한 면으로 기판 지지부(110)를 구동시키는 경우에는 다른 면은 밀폐되어야 하므로 도어를 이용하여 밀폐하도록 기판 지지부(110)와 반대편의 도어가 연동되도록 제어하는 것이 바람직하다. At this time, in the case of forming the two substrate support 110, a passage path 140 through which the substrate support 110 passes, respectively, on the side of the load lock chamber 100, the substrate support 110 enters and exits; Each of the doors (not shown in the figure) may be provided to block the passage path 140, and the substrate support part 110 may be provided at an opposite side when the substrate support part 110 is driven in and out of one side of the load lock chamber 100. The door is to be controlled to seal the passageway 140 formed on its face. That is, when the substrate support 110 is driven to one side to form a vacuum atmosphere in the load lock chamber 100, the other side should be sealed so that the door opposite to the substrate support 110 to be sealed by using the door. It is preferable to control so as to interlock.

상기 기판 지지부(110)는 기판을 지지하는 지지면이 구비된 기판 지지부재(120)와 상기 기판 지지부재(120)를 상기 로드락 챔버(100)의 외부와 내부로 왕복하여 이송시키는 이송부재(130)로 구성되며, 외부에서 기판을 수취하여 로드락 챔버(100) 내부로 반입하고, 로드락 챔버(100) 내부의 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다. The substrate support unit 110 may include a substrate support member 120 having a support surface for supporting a substrate and a transfer member configured to reciprocate the substrate support member 120 to the outside and the inside of the load lock chamber 100. 130, and receives a substrate from the outside to bring it into the load lock chamber 100 and to carry the substrate inside the load lock chamber 100 to the outside.

이때 상기 이송부재(130)는 슬라이딩(sliding) 방식으로 구성되는 것이 바람직한데, 슬라이딩 방식이란 먼저 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 로드락 챔버(100) 내부에 가이드 레일(132)을 형성시키고, 상기 가이드 레일(132)을 따라 움직이는 가이드 블럭(134)을 구비시킨다. 그리고 상기 가이드 블럭(134)은 상기 기판 지지부재(120)와 결합하여 상기 기판 지지부재(120)를 지지하며, 기판 지지부재(120)를 이송시키는 역할을 한다. At this time, the transfer member 130 is preferably configured in a sliding (sliding) method, the sliding method is first shown in Figure 6, to form a guide rail 132 inside the load lock chamber 100, The guide block 134 moves along the guide rail 132. The guide block 134 is coupled to the substrate support member 120 to support the substrate support member 120 and to transfer the substrate support member 120.

상기 이송부재(130)를 상술한 바와 같이 슬라이딩 방식으로 구성하는 경우에 는 기판 지지부(110)가 상기 가이드 레일(132)에 의하여 정해진 경로만을 이동하므로 그 제어가 용이하고 운동 방향이 단순하여 운송과정에서 기판이 파손될 가능성이 낮아지며, 기판의 운송에 소비되는 시간이 단축되는 장점이 있다. When the conveying member 130 is configured in a sliding manner as described above, since the substrate support 110 moves only a path defined by the guide rail 132, the control is easy and the direction of movement is simple. In the case that the substrate is less likely to break, there is an advantage that the time spent in transporting the substrate is shortened.

그리고 상기 기판 지지부재(120)는 그 상부면에 기판을 지지할 수 있도록 다수개의 기판 지지팔(122)이 구비된 구조를 취하며, 소정 간격으로 기판 지지구(124)를 형성시켜 실제로 기판과 접촉되는 면적을 최소화함과 동시에, 기판의 운송과정 중 지지된 기판이 움직이지 않도록 한다. In addition, the substrate support member 120 has a structure in which a plurality of substrate support arms 122 are provided to support the substrate on the upper surface thereof. While minimizing the contact area, the supported substrate is not moved during the transportation of the substrate.

또한 상기 기판 지지부재(120)는 도 7에 도시된 바와 같이 동시에 다수개의 기판을 지지할 수 있도록 다층형 기판 지지부재로 형성될 수도 있다. In addition, the substrate support member 120 may be formed as a multilayer substrate support member to support a plurality of substrates at the same time as shown in FIG.

이하에서는 상술한 구조를 가지는 기판 지지부(110)에 기판을 전달하거나, 기판 지지부(110)로부터 기판을 전달 받는 방법을 설명한다. Hereinafter, a method of transferring the substrate to the substrate support 110 having the above-described structure or receiving the substrate from the substrate support 110 will be described.

먼저 평판표시소자 제조장치를 클러스터 방식으로 설치하는 경우에는 상기 기판 지지부(110)에 기판 또는 기판이 적재된 카세트를 이송하는 기판 반송기구(400)를 로드락 챔버(100)와 인접한 위치에 더 구비시키고, 기판 반송기구(400)가 기판 지지부(110)에 기판을 반입하거나 기판 지지부(110)에 적재된 기판을 반출하도록 하는 방식이 가능하다. 이때 기판 반송기구(400)는 도 1에 도시된 바와 같은 로봇 구조를 취하는 것이 바람직하다. 즉, 기판 반송기구(400)를 다관절 로봇으로 형성시키고, 그 말단에는 상부면에 기판을 지지할 수 있는 지지면을 가진 엔드 이펙터(end effector)를 구비시켜서 로봇의 운동에 의하여 기판을 반 송하도록 하는 것이다. First, when the flat panel display device manufacturing apparatus is installed in a cluster manner, a substrate transfer mechanism 400 for transferring a substrate or a cassette on which the substrate is loaded is further provided at a position adjacent to the load lock chamber 100 in the substrate support 110. In addition, the substrate conveyance mechanism 400 may carry out a substrate into the substrate support 110 or may carry out a substrate loaded on the substrate support 110. At this time, the substrate transfer mechanism 400 preferably takes the robot structure as shown in FIG. That is, the substrate conveyance mechanism 400 is formed by an articulated robot, and at the end thereof, an end effector having a support surface capable of supporting the substrate on its upper surface is provided to convey the substrate by the movement of the robot. To do that.

또한 평판표시소자 제조장치를 인라인 방식으로 설치하는 경우에는, 상기 기판 지지부에 기판을 전달하거나 상기 기판 지지부로부터 기판을 전달받기 위한 기판 전달 컨베이어 시스템을 상기 로드락 챔버(100) 주위에 구비시키고, 상기 기판 전달 컨베이어 시스템이 상기 기판 지지부로 기판을 반입하거나 반출하도록 하는 것이다. In addition, when the flat panel display device manufacturing apparatus is installed in an in-line manner, a substrate transfer conveyor system for transferring a substrate to or receiving the substrate from the substrate support is provided around the load lock chamber 100, The substrate transfer conveyor system allows the substrate to be loaded or unloaded into the substrate support.

그리고 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 대형 기판을 처리하기 위한 장치에 적합하므로 증착 장치 또는 식각 장치인 것이 바람직하다. In addition, since the apparatus for manufacturing a flat panel display device of the present invention is suitable for an apparatus for processing a large substrate, the flat panel display device manufacturing apparatus is preferably a deposition apparatus or an etching apparatus.

본 발명의 기판 지지부를 이용하면 로드락 챔버로의 기판의 반입이나 로드락 챔버로부터의 기판의 반출에 소요되는 시간이 절약되며, 기판의 반송에 사용되는 장비의 구조가 간단해지는 장점이 있다. The use of the substrate support of the present invention saves the time required for bringing the substrate into the load lock chamber and for carrying the substrate out of the load lock chamber, and has the advantage of simplifying the structure of equipment used for conveying the substrate.

또한 본 발명에 의하면 평판표시소자 제조장치의 대형화에도 불구하고, 평판표시소자 제조장치의 설치 장소 이용에 있어서, 평판표시소자 제조장치가 설치되는 공간의 효율성을 극대화할 수 있는 장점이 있다. In addition, according to the present invention, in spite of the increase in size of the flat panel display device manufacturing apparatus, there is an advantage of maximizing the efficiency of the space in which the flat panel display device manufacturing apparatus is installed in using the installation location of the flat panel display device manufacturing apparatus.

Claims

A flat panel display device manufacturing apparatus having a load lock chamber, a transfer chamber, and at least one process chamber connected to and in contact with the transfer chamber,

A substrate support portion for supplying a substrate to the load lock chamber and for carrying out the substrate from the load lock chamber to the side adjacent to the side of the load lock chamber connected to the transfer chamber,

The substrate support portion,

A substrate support member having a support surface for supporting a substrate;

A guide rail formed inside the load lock chamber, and a guide block moving along the guide rail and coupled to the substrate support member to reciprocate the substrate support member to the outside and the inside of the load lock chamber. Conveying member for conveying;

And a door which is provided at the end of the transfer member and moves together, and opens and closes a substrate transfer path of the load lock chamber.

The method of claim 1,

And two substrate support portions provided in the load lock chamber to allow the substrate support portions to enter and exit from two side surfaces of the load lock chamber that are adjacent to the surface of the load lock chamber.

delete

The method of claim 1, wherein the substrate support member,

Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that formed of a multi-layer substrate support member to support a plurality of substrates at the same time.

The method of claim 1,

The flat panel display device manufacturing apparatus may further include a substrate transfer device for transferring a substrate or a cassette on which the substrate is loaded, to a position adjacent to the load lock chamber, to bring the substrate into or out of the substrate support. Flat panel display device manufacturing apparatus.

The method of claim 1,

The flat panel display device manufacturing apparatus includes a substrate transfer conveyor system for transferring a substrate to or receiving a substrate from the substrate support, and the substrate transfer conveyor system loads or unloads a substrate into the substrate support. Flat panel display device manufacturing apparatus.

The flat panel display device manufacturing apparatus according to claim 1,

Flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the deposition apparatus or an etching apparatus.

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