KR100553992B1

KR100553992B1 - Test handler

Info

Publication number: KR100553992B1
Application number: KR1020050045089A
Authority: KR
Inventors: 심재균; 나윤성; 전인구
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2005-05-27
Filing date: 2005-05-27
Publication date: 2006-02-24
Also published as: KR20050055685A

Abstract

본 발명은, 반도체 디바이스를 반송하여 소정의 테스트 온도에서 테스트 장비의 테스트 헤드와 전기적으로 접속시킴으로써 테스트가 이루어지도록 하고, 테스트된 디바이스를 테스트 결과에 따라 분류하는 테스트 핸들러에 있어서, 복수의 디바이스가 선택적으로 적재 또는 하역된 상태로 상기 테스트 핸들러 내부를 순환하는 적어도 하나의 테스트 트레이와; 복수의 디바이스가 적재되어 있는 적어도 하나의 테스트 트레이를 수용하여, 상기 테스트 헤드가 상기 복수의 디바이스를 테스트할 수 있게 하는 테스트 챔버를 포함하며, 상기 테스트 챔버는 상기 디바이스의 테스트 온도를 유지하기 위한 덕트를 구비하고, 상기 덕트는, 조화공기를 유입하는 유입구와; 상기 유입구로 유입된 조화공기를 상기 테스트 챔버에 수용된 상기 테스트 트레이의 디바이스 각각에 대해 토출하는 다수의 토출홀을 가지는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러를 제공한다. The present invention provides a test handler which carries a semiconductor device and electrically connects it to a test head of test equipment at a predetermined test temperature, and classifies the tested device according to a test result, wherein a plurality of devices are optional. At least one test tray circulating inside the test handler in a loaded or unloaded state; A test chamber for receiving at least one test tray loaded with a plurality of devices, the test head allowing the test head to test the plurality of devices, the test chamber having a duct for maintaining a test temperature of the device It is provided with, The duct, and the inlet for introducing the harmonic air; And a plurality of discharge holes for discharging the roughened air introduced into the inlet to each of the devices of the test tray accommodated in the test chamber.

Description

Test handler

도 1은 종래의 테스트 핸들러를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional test handler.

도 2는 도 1에 도시된 테스트 핸들러의 챔버 배치를 나타낸 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating a chamber arrangement of the test handler illustrated in FIG. 1.

도 3은 종래의 테스트 핸들러의 작용을 설명하기 위한 테스트 트레이 흐름도이다.3 is a test tray flow chart for explaining the operation of the conventional test handler.

도 4는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로딩, 언로딩, 및 소팅용 직교좌표 로봇의 배치를 나타낸 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing the placement of a rectangular coordinate robot for loading, unloading, and sorting the test handler according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 테스트 핸들러를 테스트 트레이의 흐름 과정과 연계하여 도시한 사시도이다.5 is a perspective view illustrating the test handler in connection with the flow of the test tray according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 외관을 보여주는 사시도이다.6 is a perspective view showing the appearance of a test handler according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 스택커를 보여주는 정면도이다.7 is a front view showing a stacker of a test handler according to the present invention.

도 8은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 멀티 적재부를 보여주는 평면도이다.8 is a plan view showing a multi-loading part of the test handler according to the present invention.

도 9는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 챔버 배치를 보여주는 평면도이다.9 is a plan view showing a chamber arrangement of a test handler according to the present invention.

도 10은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 핸드를 보여주는 정면도이다.10 is a front view showing a hand of a test handler according to the present invention.

도 11은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 핸드를 보여주는 측면도이다.11 is a side view showing a hand of a test handler according to the present invention.

도 12는 본 발명에 따른 테스트 핸들러에서 디바이스를 테스트 트레이에 적 재하는 상태를 보여주는 정면도이다.12 is a front view illustrating a state in which a device is loaded on a test tray in a test handler according to the present invention.

도 13은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 작용을 설명하기 위한 테스트 트레이 흐름도이다.13 is a flowchart illustrating a test tray for explaining the operation of the test handler according to the present invention.

도 14는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 디바이스 언로딩 작용을 설명하기 위한 평면도이다.14 is a plan view illustrating a device unloading operation of the test handler according to the present invention.

도 15는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 인덱싱 메카니즘을 보여주는 정면도이다. 15 is a front view showing the indexing mechanism of the test handler according to the present invention.

도 16은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 인덱싱 메카니즘을 보여주는 측면도이다.16 is a side view showing the indexing mechanism of the test handler according to the present invention.

도 17은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 디속챔버 분리구조를 보여주는 측면도이다.17 is a side view illustrating a de-chamber separation structure of the test handler according to the present invention.

도 18은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 테스트 챔버를 도시한 분해 사시도이다. 18 is an exploded perspective view illustrating a test chamber of a test handler according to the present invention.

도 19a, b, c는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 반전수단의 구성과 그 작용상태를 도시한 도면이다.19a, b, c are views showing the configuration of the inverting means of the test handler according to the present invention and its working state.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

100...테스트 헤드 110...본체100 ... Test Head 110 ... Body

120...스택커 120a...유저트레이120 ... stacker 120a ... user tray

121...유저트레이 공급부 121a...보조 공급부121.User tray supply 121a ... Secondary supply

122...유저트레이 출하부 123...멀티 적재부122.User Tray Delivery Unit 123 ... Multi Load Unit

128...보조 출하부 131...로딩측 셋 플레이트128 ... Secondary Shipping Unit 131 ... Loading Side Set Plate

132...언로딩측 셋 플레이트 140...트렌스퍼암132 ... unloading set plate 140 ... transfer arm

141...제 1센서 142...제 2센서141 ... first sensor 142 ... second sensor

150...테스트 트레이 151...인서트150 ... Test Tray 151 ... Insert

153...위치결정장치 160...로딩측 트레이 정렬스테이션Positioning device 160 ... Loading tray alignment station

161...제 1트레이 반전수단 162...속챔버161 1st tray reversal means 162 inner chamber

163...테스트 챔버 164...디속챔버163 Test Chamber 164 Desorption Chamber

165...제 2트레이 반전수단 166...언로딩측 트레이 정렬스테이션165 2nd tray reversal means 166 Unloading tray alignment station

167...소터테이블 171...로더용 직교좌표 로봇167 Sorter table 171 Cartesian robot for loader

172...소팅용 제 1단축로봇 173...소팅용 제 2단축로봇172 ... 1st Single Axis Robot for Sorting 173 ... 2nd Single Axis Robot for Sorting

174...언로더용 직교좌표 로봇 180...핸드174 ... Cartesian Robot 180 ...

187...진공패드부 200...인덱싱 메카니즘187 Vacuum pad section 200 Indexing mechanism

201...전기장치 202...리니어 가이드201 ... Electrical device 202 ... Linear guide

본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 집적회로나 반도체 칩 등과 같은 전자부품의 테스트에 사용되는 테스트 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a test handler, and more particularly, to a test handler used for testing an electronic component such as an integrated circuit or a semiconductor chip.

반도체 디바이스의 제조 과정에서 소정의 조립 공정을 거쳐 제조된 디바이스는 최종적으로 특정기능을 발휘하는지 여부를 체크하는 테스트 공정을 거치게 된 다. 테스트 핸들러는 상기와 같은 테스트 공정에 사용되며, 일정수량의 반도체 디바이스를 반송하여 테스트 헤드와 접촉시킴으로써 테스트가 이루어지도록 하고, 이 테스트 결과에 따라 디바이스들을 등급별로 분류하여 적재한다. In the manufacturing process of a semiconductor device, a device manufactured through a predetermined assembly process is finally subjected to a test process for checking whether a specific function is performed. The test handler is used in the test process as described above, the test is carried out by carrying a certain amount of semiconductor devices and contact with the test head, and the devices are classified and loaded according to the test results.

이러한 테스트 핸들러는 32개 내지는 64개의 디바이스를 동시에 테스트할 수 있도록 디바이스들을 테스트 헤드로 반송하여 주고, 또 특수한 온도환경, 즉 저온 또는 고온의 환경에서 테스트를 진행할 수 있도록 한다.These test handlers return the devices to the test head for testing 32 or 64 devices at the same time, and allow testing in special temperature environments, either low or high temperatures.

종래의 테스트 핸들러에는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 핸들러 본체(1)의 전면부에 테스트할 디바이스가 담긴 복수의 유저트레이가 적재되는 유저트레이 공급부(10)와 테스트가 완료되어 등급별로 소팅된 디바이스가 담긴 유저트레이가 적재되는 유저트레이 출하부(20)가 각각 배치된다.In the conventional test handler, as illustrated in FIGS. 1 and 2, a user tray supply unit 10 in which a plurality of user trays containing devices to be tested are loaded on the front surface of the handler main body 1 is tested and sorted by grade. The user tray shipping unit 20 on which the user tray containing the device is loaded is disposed.

그리고 이들 유저트레이 공급부(10)와 유저트레이 출하부(20)의 상부에는 디바이스의 로딩 및 언로딩을 위한 대기장소인 로딩측 셋 플레이트(30) 및 언로딩측 셋 플레이트(40)가 각각 배치된다. In addition, a loading side set plate 30 and an unloading side set plate 40, which are waiting places for loading and unloading a device, are disposed on the user tray supply unit 10 and the user tray shipping unit 20, respectively. .

상기 유저트레이 공급부(10)에 적재된 유저트레이는 도시되지 않은 트렌스퍼암에 의해 상기 로딩측 셋 플레이트(30)로 순차적으로 이송되며, 상기 언로딩측 셋 플레이트(40)에 위치된 유저트레이 역시 상기한 트렌스퍼암에 의해 유저트레이 출하부(20)로 순차적으로 이송된다.The user tray loaded on the user tray supply unit 10 is sequentially transferred to the loading side set plate 30 by a transfer arm (not shown), and the user tray located on the unloading side set plate 40 is also The transfer arm is sequentially transferred to the user tray shipping unit 20.

또한, 상기 핸들러 본체(1)의 후방부 양측에는 속챔버(Soak chamber;50)와 디속챔버(Desoak chamber;60)가 각각 배치되며, 이 속챔버(50)와 디속챔버(60) 사이의 핸들러 본체(1)의 하측에는 테스트 챔버(미도시)가 배치된다. In addition, a soak chamber 50 and a desoak chamber 60 are disposed at both sides of the rear portion of the handler main body 1, respectively, and the handler between the inside chamber 50 and the desoak chamber 60. A test chamber (not shown) is disposed below the main body 1.

그리고 상기 테스트 챔버의 상부 측에는 도 2에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(70)가 위치하는 제 1, 제 2 및 제 3트레이 정렬 스테이션(80)(80')(80")이 배치된다. 테스트 트레이(70)는 상기 제 1트레이 정렬 스테이션(80)으로부터 속챔버(50), 2개의 테스트 챔버(미도시), 디속챔버(60), 제 2트레이 정렬 스테이션(80') 및 제 3트레이 정렬 스테이션(80")을 순차적으로 거치도록 순환된다.In addition, first, second and third tray alignment stations 80, 80 'and 80 "in which the test tray 70 is located are disposed on the upper side of the test chamber as shown in FIG. 70 is a chamber 50, two test chambers (not shown), a chamber 60, a second tray alignment station 80 'and a third tray alignment station from the first tray alignment station 80. Circulated sequentially through 80 ".

또한, 상기 핸들러 본체(1)의 상부에는 로딩측 셋 플레이트(30)에 위치한 유저트레이로부터 디바이스를 픽킹하여 제 1트레이 정렬 스테이션(80)에 위치한 테스트 트레이(70)로 이송시켜 주는 로더용 직교로봇(90)과 상기 제 2 및 제 3트레이 정렬 스테이션(80')(80")에 위치한 테스트 트레이(70)로부터 디바이스를 픽킹하여 언로딩측 셋 플레이트(40)에 위치한 유저트레이로 이송시켜 주는 2개의 언로더용 직교로봇(90')(90")이 설치된다.In addition, the orthogonal robot for the loader which picks the device from the user tray located on the loading side set plate 30 and transfers it to the test tray 70 located on the first tray alignment station 80 on the upper part of the handler body 1. Picking a device from the test tray 70 located at 90 and the second and third tray alignment stations 80 'and 80 "and transferring the device to a user tray located at the unloading side set plate 40; Four orthogonal robots 90 'and 90 "are installed.

여기서 상기 속챔버(50)는 테스트 트레이(70)에 담긴 디바이스를 원하는 온도로 가열 또는 냉각시켜 주는 부분으로, 테스트 트레이(70)를 엘리베이팅-다운시켜 테스트 챔버로 공급한다. 테스트 챔버는 일정 온도환경을 유지하며 디바이스와 테스트 헤드(100)(100')를 접속시킴으로써 테스트가 이루어지도록 하는 부분으로, 제 1테스트 챔버(미도시)에서 32개의 디바이스에 대한 테스트가 진행되고, 제 2테스트 챔버(미도시)에서 나머지 32개의 디바이스에 대한 테스트가 진행된다.Here, the inner chamber 50 is a portion for heating or cooling the device contained in the test tray 70 to a desired temperature, and elevating-down the test tray 70 to supply the test chamber. The test chamber is a part that allows the test to be performed by maintaining a constant temperature environment and connecting the device and the test heads 100 and 100 '. A test is performed on 32 devices in a first test chamber (not shown). In the second test chamber (not shown), the remaining 32 devices are tested.

디속챔버(60)는 가열되거나 냉각된 디바이스를 상온상태로 환원시키는 부분으로, 속챔버(50)와는 반대로 테스트 트레이(70)를 엘리베이팅-업시켜 제 3트레이 정렬 스테이션(80")까지 공급한다.The desorption chamber 60 is a portion for reducing a heated or cooled device to a room temperature state, and in contrast to the inner chamber 50, the desorption chamber 60 is provided to elevate-up the test tray 70 to the third tray alignment station 80 ″. .

또한 상기 직교로봇들(90)(90')(90")은 디바이스를 흡착하는 복수의 핸드(미도시)를 구비하며, 서보모터와 타이밍 벨트에 의해 구동하면서 유저트레이와 테스트 트레이(70) 사이를 연속적이면서도 반복적으로 이동한다. 이에 의해 디바이스가 유저트레이에서 테스트 트레이(70)로, 또는 테스트 트레이(70)에서 유저트레이로 이송된다.The orthogonal robots 90, 90 ′ and 90 ″ also have a plurality of hands (not shown) that adsorb the device, and are driven between the user tray and the test tray 70 while being driven by a servomotor and timing belt. Is continuously and repeatedly moved, thereby transferring the device from the user tray to the test tray 70 or from the test tray 70 to the user tray.

한편, 도면에서는 도시를 생략하고 있으나, 테스트 핸들러는 테스트 트레이(70)를 로더영역, 테스트 영역 및 언로딩영역으로 순환시켜 주는 구동 장치 및 상기 장치들의 제어를 위한 제어회로를 갖춘 메인 컨트롤러를 구비한다.On the other hand, although not shown in the drawings, the test handler includes a main controller having a driving device for circulating the test tray 70 into a loader area, a test area and an unloading area, and a control circuit for controlling the devices. .

이와 같이 구성된 종래의 테스트 핸들러의 작동은 도 3에 도시된 바와 같이 트렌스퍼암에 의해 유저트레이 공급부(10)에 적재된 하나의 유저트레이가 로딩측 셋 플레이트(30)로 이송된다. In the operation of the conventional test handler configured as described above, one user tray loaded in the user tray supply unit 10 is transferred to the loading side set plate 30 by the transfer arm as shown in FIG. 3.

상기 유저트레이 상의 다수의 디바이스들은 로더용 직교로봇(90)에 의해 프리사이저(31)에서 테스트 트레이(70) 내부의 소켓 위치와 정확히 일치되도록 프리사이징 동작이 수행된 후, 제 1트레이 정렬 스테이션(80)에 위치된 테스트 트레이(70)로 이송 적재된다.(단계 ①)After the presizing operation is performed by the orthogonal robot 90 for the loader, the presizing operation is performed to exactly match the position of the socket in the test tray 70 at the presizer 31, and then the first tray alignment station. Transferred to the test tray 70 located at 80. (Step ①)

그리고 다수의 디바이스가 담긴 테스트 트레이(70)는 속챔버(50)로 이송되어 하강하면서 테스트 조건의 온도로 가열 또는 냉각된 후 테스트 챔버로 이송된다.(단계 ②와 단계 ③) The test tray 70 containing a plurality of devices is transferred to the inner chamber 50 while being lowered and heated or cooled to the temperature of the test condition and then transferred to the test chamber. (Step ② and Step ③)

테스트 챔버에서는 테스트 트레이(70) 상의 복수의 디바이스와 테스트 헤드(100)(100')의 소켓이 접속되어 테스트가 진행되며(단계 ④), 테스트가 완료된 테 스트 트레이는 디속챔버(60)로 이송된다. In the test chamber, a plurality of devices on the test tray 70 and the sockets of the test heads 100 and 100 'are connected and a test is performed (step ④), and the completed test tray is transferred to the desorption chamber 60. do.

그리고 디속챔버(60)를 통과하면서 상온으로 환원된(단계 ⑤) 테스트 트레이(70)는 제 2 및 제 3트레이 정렬 스테이션(80')(80")으로 이송되고, 이곳에서 각각의 디바이스는 2개의 언로더용 직교로봇(90')(90")에 의해 테스트 결과에 따라 그 등급이 분류되면서 언로딩측 셋 플레이트(40)에 위치된 빈 트레이로 이송 적재된다.(단계 ⑥)(단계 ⑥')Then, the test tray 70 reduced to room temperature while passing through the desorption chamber 60 (step ⑤) is transferred to the second and third tray alignment stations 80 'and 80 ", where each device is 2 The orthogonal robots 90 'and 90 "for the unloader are classified according to the test result and transported to the empty tray located on the unloading side set plate 40. (Step ⑥) (Step ⑥ ')

상기 언로딩측 셋 플레이트(40)에 위치된 빈 트레이에 디바이스가 가득 차게 되면, 이 빈 트레이는 트렌스퍼암에 의해 등급별로 유저트레이 출하부(20)로 이송되어 적재된다. 이후 트렌스퍼암은 새로운 빈 트레이를 언로딩측 셋 플레이트(40)로 이송시켜 주며, 1롯트의 검사가 종료될 때가지 상기 동작을 반복한다.When the device is filled in the empty tray located on the unloading side set plate 40, the empty tray is transferred to the user tray shipping unit 20 for each grade by the transfer arm and loaded. The transfer arm then transfers the new empty tray to the unloading side set plate 40, and repeats the above operation until the inspection of one lot is completed.

그러나 상기한 바와 같은 종래의 테스트 핸들러는 도 3에 도시된 테스트 트레이 흐름도에서 보는 바와 같이, 테스트 트레이(70)가 1열로 이송될 뿐만 아니라 제 1 및 제 2테스트 챔버를 차례로 통과하여야만 하나의 테스트 트레이(70)에 담긴 64개의 디바이스에 대한 테스트가 완료되도록 되어 있기 때문에 테스트 트레이(70)의 인덱스 타임이 길어짐으로써 단위 시간당 처리할 수 있는 디바이스의 수량이 적어진다는 문제점이 있다.However, in the conventional test handler as described above, as shown in the test tray flow chart shown in FIG. 3, not only the test tray 70 is transferred to one row but also one test tray must pass through the first and second test chambers in order. Since the test for the 64 devices contained in 70 is completed, the index time of the test tray 70 becomes long, which causes a problem that the number of devices that can be processed per unit time is reduced.

또한, 종래의 테스트 핸들러는 유저트레이상의 디바이스를 테스트 트레이(70)로 로딩하는데 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라 테스트가 완료된 테스트 트레이(70)상의 디바이스를 유저트레이로 언로딩함에 있어서도 언로딩용 직교 로봇(90')(90")이 소팅을 병행하여 진행하기 때문에, 디바이스의 언로딩에 비교적 많은 시간이 소요됨으로써 단위시간당 처리할 수 있는 디바이스의 수량이 적어진다는 문제점이 있다.In addition, the conventional test handler not only takes a long time to load the device of the user tray or more into the test tray 70, but also unloads the orthogonal robot for unloading the device on the test tray 70 that has been tested to the user tray. Since 90 ') and 90 " proceed in sorting in parallel, there is a problem in that the amount of devices that can be processed per unit time is reduced because the unloading of the device takes a relatively long time.

또한, 종래의 테스트 핸들러는 테스트 트레이(70)가 핸들러 본체(1)에 대하여 수평으로 이송되면서 테스트 헤드(100)(100')와 도킹되는 구조로 되어 있기 때문에 핸들러 본체(1)의 내부에 테스트 헤드(100)(100')의 진입/진출을 위한 경로를 확보하여야 하므로, 핸들러의 크기가 비효율적으로 커진다는 문제점이 있다.In addition, the conventional test handler has a structure in which the test tray 70 is docked with the test heads 100 and 100 'while being transported horizontally with respect to the handler body 1. Since the path for entry / exit of the heads 100 and 100 'must be secured, there is a problem that the size of the handler becomes inefficient.

더욱이 종래의 테스트 핸들러는 상기와 같은 테스트 트레이(70)와 테스트 헤드(100)(100')간의 수평식 도킹 구조로 인해 사용되는 테스트 헤드(100)(100')가 극히 제한된다는 문제가 있으며, 또 테스트 핸들러 본체(1)의 내부에 테스트 헤드(100)(100')가 위치됨으로써 유저트레이 공급부(10)나 유저트레이 출하부(20)의 공간이 협소하여 많은 수의 유저트레이를 적재시킬 수 없기 때문에 1회에 런닝시킬 수 있는 롯트의 크기가 한정되어 장비 가동률이 저하된다는 문제점이 있다.Furthermore, the conventional test handler has a problem in that the test heads 100 and 100 'are extremely limited due to the horizontal docking structure between the test tray 70 and the test heads 100 and 100'. In addition, since the test heads 100 and 100 'are positioned inside the test handler main body 1, the space of the user tray supply unit 10 or the user tray shipment unit 20 is narrow so that a large number of user trays can be loaded. Since there is no problem that the size of the lot that can be run at a time is limited, the equipment utilization rate is lowered.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제를 해소하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 테스트 트레이의 2열 동시 이송 시스템을 채용함과 아울러 테스트 헤드의 수직 도킹구조를 채용함으로써 테스트 트레이의 인덱싱 타임을 단축시킬 수 있는 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to reduce the indexing time of the test tray by employing a two-row simultaneous transfer system of the test tray and by employing a vertical docking structure of the test head. This is to provide a test handler.

본 발명의 다른 목적은 하나의 테스트 헤드에 2개의 테스트 트레이를 동시에 컨텍시켜 테스트를 진행함으로써 단위시간당 처리할 수 있는 디바이스의 수량을 배가시킬 수 있는 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a test handler that can double the number of devices that can be processed per unit time by conducting a test by simultaneously contacting two test trays in one test head.

본 발명의 또 다른 목적은, 로더용 직교 로봇의 핸드 구조를 개선하여 한번에 16개의 디바이스를 픽킹함으로써 디바이스의 로딩 타임을 단축시킨 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a test handler which shortens the loading time of a device by improving the hand structure of the orthogonal robot for a loader and picking 16 devices at a time.

본 발명의 또 다른 목적은 테스트 트레이 및 테스트 트레이에서의 디바이스 위치결정장치의 구조를 개선하여 디바이스의 프리사이징 동작을 제거함으로써 디바이스의 로딩 타임을 단축시킨 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a test handler which reduces the loading time of a device by improving the structure of the test tray and the device positioning device in the test tray, thereby eliminating the presizing operation of the device.

본 발명의 또 다른 목적은 디바이스의 언로딩을 소팅파트와 언로딩파트의 2단계로 나누어 실행함으로써 디바이스 언로딩 타임을 단축시켜 단위시간당 처리할 수 있는 디바이스의 수량을 증가시킬 수 있는 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a test handler capable of increasing the number of devices that can be processed per unit time by shortening the device unloading time by dividing the device into two stages of sorting part and unloading part. It is to.

본 발명의 또 다른 목적은 트렌스퍼암의 상하방향으로 이송하는 2개의 핸드 유닛에 각각 2개의 센서를 장착함으로써 초기의 트레이 적재단수를 체크하는 동작 소요시간을 단축할 수 있는 테스트 핸들러를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a test handler which can shorten the operation time required to check the initial tray stacking stage by mounting two sensors to each of two hand units that are transported in the vertical direction of the transfer arm.

본 발명의 또 다른 목적은 테스트 헤드의 수직 도킹구조에서의 테스트 트레이의 외부 컨택 메카니즘을 채용함으로써 핸들러 본체의 내부에 테스트 헤드의 진입/진출을 위한 별도의 공간을 마련할 필요가 없도록 하여 외관 크기를 줄일 수 있도록 한 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to adopt an external contact mechanism of the test tray in the vertical docking structure of the test head so that it is not necessary to provide a separate space for entry / exit of the test head in the inside of the handler body, thereby improving the appearance size. It is intended to provide a test handler that can be reduced.

본 발명의 또 다른 목적은, 테스트 헤드가 핸들러 본체의 외부에 위치하여 테스트 트레이와 도킹함으로써 체인지 키트의 간단한 변경 등으로 다양한 종류의 테스트 헤드와 조합하여 사용할 수 있는 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a test handler which can be used in combination with various kinds of test heads by simple change of a change kit by docking with a test tray located outside the handler body.

본 발명의 또 다른 목적은, 유저트레이 공급부 및 출하부를 상, 하부 2단으로 구성함으로써 보다 많은 수의 유저트레이를 적재할 수 있어, 1회에 런닝시킬 수 있는 롯트의 사이즈를 배가시키고, 본체가 정지하지 않고도 하단의 트레이의 적재, 배출이 가능하여 롯트 사이를 무한대로 확장하여 운영할 수 있으므로 장비 가동률을 향상시킬 수 있는 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to configure the user tray supply unit and the delivery unit in the upper and lower two stages, which allows a larger number of user trays to be loaded, thereby doubling the size of the lot that can be run at a time. The lower tray can be loaded and unloaded without stopping, so that the operation can be extended infinitely between the lots, and to provide a test handler that can improve the equipment utilization rate.

본 발명의 또 다른 목적은, 멀티 적재부를 사용함으로써 테스트 및 분류가 완료된 디바이스가 담긴 트레이의 적재 가능한 종류를 5종에서 11종으로 배가시킬 수 있는 테스트 핸들러를 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a test handler capable of doubling the stackable types of trays containing devices that have been tested and classified from five to eleven by using a multi stacker.

본 발명의 또 다른 목적은, 디속챔버를 분리형으로 함으로써, 헤드의 분리없이 테스트 챔버 내부 및 기타 배선 정비가 가능한 테스트 핸들러를 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a test handler capable of maintaining the inside of the test chamber and other wiring maintenance without detaching the head by separating the de-chamber chamber.

전술한 목적들을 달성하기 위한 본 발명은 복수의 반도체 디바이스를 반송하여 테스트 헤드와 접속시킴으로써 테스트가 이루어지도록 하고, 테스트 된 복수의 상기 반도체 디바이스를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 적재하는 테스트 핸들러에 있어서, 본체; 상기 본체 내부에 마련되며 테스트할 일정수량의 상기 디바이스가 담긴 복수개의 상기 유저트레이가 적재되는 유저트레이 공급부와 테스트의 결과에 따라 등급별로 분류된 상기 디바이스가 담긴 복수개의 유저트레이가 적재되는 유저트레이 출하부가 구획되어 마련된 스택커; 상기 디바이스의 테스트를 위한 이동방향을 따라 배치된 복수개의 테스트 트레이; 상기 유저트레이 공급부의 상기 유저트레이로부터 상기 테스트 트레이로 상기 디바이스를 이동시키기 위한 디바이스 로딩수단; 상기 디바이스가 담긴 수평한 상태의 상기 테스트 트레이를 수직하게 세우는 제 1트레이 반전수단; 상기 제 1트레이 반전수단에 의해 수직하게 세워진 상기 테스트 트레이를 순차적으로 받아 소정의 단계로 이송시키면서 원하는 테스트 온도조건을 조성하고, 상기 테스트 트레이를 상하로 수직 2열로 정열하여 배출하는 속챔버; 상기 속챔버로부터 배출되는 2개의 상기 테스트 트레이에 있는 상기 디바이스를 상기 테스트 헤드와 접속시키고 테스트 온도조건을 유지한 상태에서 테스트가 이루어지도록 하기 위한 테스트 챔버; 상기 테스트 챔버로부터 2열로 배출되는 상기 테스트 트레이를 1열로 정열받아 상기 디바이스의 온도를 환원시키는 디속챔버; 상기 디속챔버로부터 수직한 상태로 배출되는 상기 테스트 트레이를 수평한 상태로 반전시키는 제 2트레이 반전수단; 상기 제 2트레이 반전수단에 의해 수평한 상태로 된 상기 테스트 트레이 상의 상기 디바이스들을 테스트 결과에 따라 분류하여 다수의 빈 유저트레이로 이동시키는 디바이스 언로딩수단을 구비한다.The present invention for achieving the above object is a test handler for carrying out a test by carrying a plurality of semiconductor devices connected to the test head, and classifying and loading the plurality of the tested semiconductor devices by class according to the test results , main body; The user tray is provided inside the main body, and a user tray supply unit in which a plurality of user trays containing a predetermined amount of the device to be loaded is loaded, and a user tray including a plurality of user trays containing the devices classified by grades according to the test results are shipped. A stacker provided with an additional compartment; A plurality of test trays disposed along a moving direction for testing the device; Device loading means for moving the device from the user tray of the user tray supply portion to the test tray; First tray inverting means for vertically standing the test tray in a horizontal state in which the device is loaded; An inner chamber configured to receive the test trays vertically set by the first tray inverting means and sequentially transfer the test trays to a predetermined step, and to arrange the test trays vertically and vertically in two rows; A test chamber for connecting the devices in the two test trays discharged from the inner chamber with the test head and allowing the test to be performed while maintaining a test temperature condition; A de-chamber for receiving the test trays discharged in two rows from the test chamber in one row and reducing the temperature of the device; Second tray inverting means for inverting the test tray discharged in a vertical state from the de-chamber chamber in a horizontal state; And a device unloading means for classifying the devices on the test tray, which are in a horizontal state by the second tray inverting means, according to a test result and moving them to a plurality of empty user trays.

그리고 바람직하게 상기 스택커는 복수개의 상기 유저트레이를 구분하여 보관해 주는 멀티 적재부를 구비한다.And preferably, the stacker is provided with a multi-loading unit for storing a plurality of the user tray.

또한, 바람직하게 상기 멀티 적재부는 모터와 상기 모터에 의해 회전하는 볼스크류와 상기 볼스크류에 의하여 상하로 이동하며 분류된 상기 유저트레이를 적재받는 다수의 블록을 포함한다.Preferably, the multi stacking unit includes a motor, a ball screw rotating by the motor, and a plurality of blocks receiving the sorted user trays moving up and down by the ball screw.

또한, 바람직하게 상기 멀티 적재부는 상기 블록을 외부로 배출시킬 수 있는 배출실린더와 상기 배출실린더의 구동으로 상기 블록의 외부 배출을 안내하는 이송 가이드를 구비한다.In addition, the multi-loading unit is preferably provided with a discharge cylinder capable of discharging the block to the outside and a transport guide for guiding the external discharge of the block by driving the discharge cylinder.

또한, 바람직하게 상기 스택커는 테스트 동작 중에 상기 유저트레이의 공급 및 출하가 가능하도록 상기 유저트레이 공급부의 하부에 마련되어 상기 유저트레이 공급부에서 상기 유저트레이가 소비되면 상기 유저트레이 공급부로 새로운 유저트레이를 올려 적재하는 보조 공급부와, 상기 유저트레이 출하부의 하부에 마련되어 상기 유저트레이 출하부에 상기 유저트레이가 적재되면 상기 유저트레이 출하부의 상기 유저트레이가 이송되어 적재되는 보조 출하부를 구비한다.Preferably, the stacker is provided under the user tray supply unit to enable supply and shipment of the user tray during a test operation. When the user tray is consumed by the user tray supply unit, the stacker raises a new user tray to the user tray supply unit. And an auxiliary supply unit to be loaded, and an auxiliary shipping unit provided below the user tray shipping unit, wherein the user tray is transported and loaded when the user tray is loaded in the user tray shipping unit.

또한, 바람직하게 상기 디바이스 로딩수단은 상기 유저트레이 공급부의 상측에 배치되며, 상기 디바이스의 로딩을 위한 상기 유저트레이가 위치되는 수개의 로딩측 셋 플레이트; 상기 로딩측 셋 플레이트로 상기 유저트레이 공급부에 있는 상기 유저트레이를 순차적으로 이동시키는 트렌스퍼암; 상기 로딩측 셋 플레이트와 상기 테스트 트레이가 위치된 로딩측 트레이 정렬 스테이션간을 반복적으로 이동하여 상기 유저트레이 상의 상기 디바이스를 상기 테스트 트레이로 이송 적재시키는 로딩측 직교좌표 로봇을 포함한다.In addition, the device loading means is preferably disposed on the upper side of the user tray supply unit, several loading side set plate on which the user tray for loading the device is located; A transfer arm for sequentially moving the user tray in the user tray supply unit to the loading side set plate; And a loading side Cartesian robot which repeatedly moves between the loading side set plate and the loading side tray alignment station where the test tray is located to transfer and load the device on the user tray to the test tray.

또한, 바람직하게 상기 디바이스 로딩수단은 상기 테스트 트레이에 유동 가능하게 장착된 인서트의 고정홀에 삽입되어 상기 인서트를 상기 테스트 트레이에 고정시키는 위치결정핀과 상기 테스트 트레이에 이송 적재되는 상기 디바이스가 상기 인서트에 삽입되는 것을 안내하도록 전후좌우에 테이퍼진 가이드벽이 형성된 위치결정핀을 가진 위치결정장치를 포함한다.In addition, the device loading means is preferably inserted into the fixing hole of the insert that is fluidly mounted to the test tray and the positioning pin for fixing the insert to the test tray and the device to be transferred to the test tray and the insert And a positioning device having positioning pins formed with tapered guide walls in front, rear, left and right to guide the insertion into the door.

또한, 바람직하게 상기 트렌스퍼암은 상부 측면에 설치된 제 1센서와 상면에 설치된 제 2센서가 구비하여 상기 제 1센서가 상기 유저트레이의 위치를 감지할 때까지 소정속도로 이동하고, 상기 제 1센서가 상기 유저트레이의 위치를 감지하면 상기 제 2센서가 상기 유저트레이를 감지할 수 있도록 상기 소정속도 보다 느리게 이동하도록 마련된다.In addition, the transfer arm is preferably provided with a first sensor installed on the upper side and a second sensor provided on the upper surface is moved at a predetermined speed until the first sensor detects the position of the user tray, the first sensor When detecting the position of the user tray is provided so that the second sensor moves slower than the predetermined speed to detect the user tray.

또한, 바람직하게 상기 제 1직교좌표 로봇은 1회에 16개의 상기 디바이스를 픽킹할 수 있도록 각각에 8개의 진공패드가 장착된 전, 후렬과 상기 진공패드 간의 간격을 조절하는 핸드 및 상기 핸드를 구동시키는 이동수단을 구비한다.Further, preferably, the first Cartesian coordinate robot drives the hand and the hand for adjusting the distance between the front and rear and the vacuum pad, each of which is equipped with eight vacuum pads so that each of the 16 devices can be picked at a time. It has a moving means to make.

또한, 바람직하게 상기 이동수단은 상기 전, 후렬을 전후로 이동시켜 간격을 조절하는 전후이동부와, 상기 진공패드를 상하로 이동시키면서 각각의 상기 진공패드간의 간격을 조절하는 좌우이동부로 구성된다.In addition, the moving means preferably comprises a front and rear moving unit for adjusting the interval by moving the front and rear rows back and forth, and the left and right moving unit for adjusting the interval between the respective vacuum pad while moving the vacuum pad up and down.

또한, 바람직하게 상기 좌우이동부는 각각의 상기 패드가 이동할 수평거리에 맞추어 장공이 형성된 캠플레이트를 구비하고, 상기 각각의 패드에는 상기 캠플레이트의 승하강시 상기 패드간의 간격이 조절되도록 상기 캠플레이트의 상기 장공에 삽입되는 캠 팔로우어를 구비한다.In addition, the left and right moving unit has a cam plate formed with a long hole in accordance with the horizontal distance to move each of the pads, each of the pads of the cam plate to adjust the spacing between the pads when the ascending and descending of the cam plate It has a cam follower inserted into the long hole.

또한, 바람직하게 상기 속챔버는 상기 테스트 트레이가 상하 2열로 수직 배치되어 탑재되는 가이드바와; 상기 가이드바에 탑재된 상하의 상기 테스트 트레이를 테스트 위치와 배출위치로 선택적으로 이동시키는 푸셔를 갖는다.Preferably, the inner chamber may include: a guide bar on which the test trays are vertically arranged in two rows; And a pusher for selectively moving the test trays mounted on the guide bar to the test position and the discharge position.

또한, 바람직하게 상기 테스트 헤드는 상기 본체의 외부에 위치한다.Also preferably the test head is located outside of the body.

또한, 바람직하게 상기 테스트 챔버는 외부로부터 조화공기가 유입되는 유입구와 상기 유입구로 유입된 공기를 일면으로 토출하는 다수의 토출홀을 구비하고, 상기 테스트 챔버의 상기 토출홀이 형성된 면에는 상기 테스트 트레이의 상기 디바이스로 상기 토출홀에서 토출된 공기를 직접 공급하도록 하는 다수의 관통홀이 형성된 메칭플레이트가 설치된다.In addition, the test chamber preferably includes a plurality of discharge holes for discharging the air introduced into the inlet and the air introduced into the inlet to one surface, the test tray on the surface formed with the discharge hole Matching plates are formed in which a plurality of through holes are formed so as to directly supply the air discharged from the discharge holes to the device.

또한, 바람직하게 상기 디속챔버의 하단에는 리니어 가이드가 장착되고, 상기 본체에는 상기 리니어 가이드와 결합되어 상기 디속챔버가 상기 본체의 외부로 인출될 수 있도록 하는 리니어 블록이 장착된다.In addition, preferably, a linear guide is mounted on a lower end of the de-cooling chamber, and a linear block is mounted to the main body so that the de-cooling chamber can be drawn out of the main body.

또한, 바람직하게 상기 디바이스 언로딩수단은 언로딩측 트레이 정렬 스테이션에 위치된 상기 테스트 트레이 상의 상기 디바이스를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 이송 적재시키기 위한 제 1 및 제 2단축로봇과; 상기 제 1 및 제 2단축로봇에 의해 이송 적재되는 상기 디바이스를 단위수량별, 판정등급별로 보관하기 위한 적어도 2개 이상의 소터테이블과; 상기 소터테이블에 보관된 상기 디바이스를 단위수량별, 판정등급별로 소정위치에 이송 적재하기 위한 언로딩측 직교좌표로봇과; 상기 유저트레이 출하부의 상측에 배치되며, 상기 언로딩측 직교좌표로봇에 의해 이송 적재되는 상기 디바이스를 수납하기 위한 다수의 빈 유저트레이가 위치되는 다수의 언로딩측 셋 플레이트 및; 상기 언로딩측 셋 플레이트에 위치된 상기 빈 유저트레이에 상기 디바이스가 소정량 적재되면 상기 빈 유저트레이를 상기 유저트레이 출하부로 이동시키는 트렌스퍼암을 포함한다.Preferably, the device unloading means comprises: first and second single-axis robots for classifying and transporting the devices on the test trays located at the unloading side tray alignment station according to the test results according to the class; At least two sorter tables for storing the devices transported and stacked by the first and second single axis robots by unit quantity and judgment grade; An unloading side rectangular coordinate robot for transporting and loading the device stored in the sorter table at a predetermined position according to a unit quantity and a determination class; A plurality of unloading side set plates disposed above the user tray shipping portion, in which a plurality of empty user trays for storing the device transported and loaded by the unloading side rectangular coordinate robot are located; And a transfer arm for moving the empty user tray to the user tray shipping unit when a predetermined amount of the device is loaded into the empty user tray located on the unloading side set plate.

또한, 바람직하게 상기 제 1트레이 반전수단과 상기 제 2트레이 반전수단은 상기 테스트 트레이가 내부로 진입하도록 중간부분에 인서트홀이 형성된 반전플레이트와 상기 반전플레이트의 일측 단부에 결합된 승강실린더와 상기 반전플레이트 의 하면에 돌출 형성되며 전후방향으로 장공이 형성된 브라켓과 상기 브라켓에 단부가 축 결합되어 상기 반전플레이트를 전방으로 밀어주는 전후실린더를 구비한다.Preferably, the first tray inverting means and the second tray inverting means may include an inverted plate having an insert hole formed in an intermediate portion of the first tray inverting means and an elevating cylinder coupled to one end of the inverting plate, and the inverting portion. Protruding on the lower surface of the plate is provided with a front and rear cylinder for forming a long hole in the longitudinal direction and the end is coupled to the bracket to push the reverse plate forward.

또한, 바람직하게 상기 인서트홀 내부에는 상기 인서트홀에 삽입된 상기 테스트 트레이를 락킹 지지하는 락킹핀과 상기 락킹핀을 작동시키는 락킹실린더가 마련된다.In addition, preferably the locking hole is provided with a locking pin for locking and supporting the test tray inserted into the insert hole and the locking cylinder for operating the locking pin.

또한, 바람직하게 상기 디바이스 언로딩수단은 상기 디바이스를 테스트 결과에 따라 소팅하는 소팅파트와 소팅된 상기 디바이스를 상기 소팅파트로부터 이송 적재하는 언로딩파트로 된 것을 특징으로 한다.The device unloading means may be a sorting part for sorting the device according to a test result and an unloading part for transporting and loading the sorted device from the sorting part.

이하에서는 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 핸들러 본체(110)와 이 핸들러 본체(110)의 전방부에 스택커(120)가 설치된다. 이 스택커(120)는 테스트할 디바이스가 담긴 복수의 유저트레이(120a)가 적재되는 유저트레이 공급부(121)와 테스트되어 등급별로 소팅된 디바이스가 담긴 복수의 유저트레이(120a)가 적재되는 유저트레이 출하부(122)와 여러 종류의 유저트레이(120a)를 구분하여 보관할 수 있는 멀티 적재부(123)로 나뉘어진다. As shown in FIG. 5, the test handler according to the present invention is provided with a handler body 110 and a stacker 120 at the front of the handler body 110. The stacker 120 includes a user tray supply unit 121 in which a plurality of user trays 120a containing devices to be tested are loaded, and a user tray in which a plurality of user trays 120a containing devices sorted according to grades are loaded. The shipping unit 122 is divided into a multi-loading unit 123 that can be stored separately from the various types of user tray (120a).

여기서 상기 유저트레이 공급부(121)는 2개 내지 3개의 트레이 적재부로 구성될 수 있으며, 상기 유저트레이 출하부는 분류 등급별로 11개 내지 12개로 구성될 수 있다.Here, the user tray supply unit 121 may be composed of two to three tray loading unit, the user tray shipping unit may be composed of 11 to 12 by classification class.

또한, 상기 유저트레이 공급부(121)의 하부에는 도 5와 도 7에 도시된 바와 같이 보조 공급부(121a)가 배치되어 유저트레이 공급부(121)에 적재된 유저트레이(120a)를 다 소비하면 보조 공급부(121a)에서 항시 새로운 유저트레이(120a)를 공급해주므로, 핸들러 본체(110)의 작동을 멈추지 않고, 계속해서 유저트레이를 공급할 수 있도록 한다.In addition, as shown in FIGS. 5 and 7, the auxiliary supply unit 121a is disposed below the user tray supply unit 121 to exhaust the user tray 120a loaded in the user tray supply unit 121. Since the new user tray 120a is always supplied at 121a, the user tray can be continuously supplied without stopping the operation of the handler main body 110.

즉, 핸들러 본체(110)의 전면 하부에는 도 6에 도시된 바와 같이 언제나 사용자가 열 수 있는 보조도어(125)가 설치되고, 버튼을 누르면 자동으로 보조도어(125)가 열리고, 도 7에 도시된 바와 같이 진입 실린더(126a)가 장착된 전면 이동부(126)에 의해 보조 공급부(121a)가 전면으로 이동되어 사용자가 편리하게 유저트레이(120a)를 적재할 수 있고, 적재가 완료되면 다시 원위치로 복귀된다.That is, the auxiliary door 125 that can be opened by the user at any time is installed in the lower part of the front surface of the handler body 110, and when the button is pressed, the auxiliary door 125 is automatically opened, and is shown in FIG. As described above, the auxiliary supply part 121a is moved to the front side by the front moving part 126 equipped with the entry cylinder 126a so that the user can conveniently load the user tray 120a. Return to.

그리고 상부에 배치된 유저트레이 공급부(121)에 유저트레이(120a)가 다 소비되면 보조 공급부(121a)는 자동으로 승하강 실린더(127a)가 장착된 상하 이동부(127)에 의해 적재된 유저트레이(120a)를 유저트레이 공급부(121)로 올려 적재한다. When the user tray 120a is exhausted by the user tray supply unit 121 disposed above, the auxiliary supply unit 121a is automatically loaded by the vertical movement unit 127 on which the elevating cylinder 127a is mounted. 120a is mounted on the user tray supply unit 121 and loaded.

또한 유저트레이 출하부(122)에도 보조 출하부(128)가 보조 공급부(121a)와 동일한 구조로 하부에 배치되어 유저트레이 출하부(122)에 적재 완료된 유저트레이(120a)를 보조 출하부(128)로 하강시켜 본체(110)를 정지하지 않으면서 항시 출하할 수 있어 1회에 런닝시킬 수 있는 롯트의 사이즈를 배가시키거나 무한대로 커지게 할 수 있어 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.In addition, in the user tray shipping unit 122, the auxiliary shipping unit 128 is disposed in the lower portion in the same structure as the auxiliary supply unit 121a to load the user tray 120a, which has been loaded in the user tray shipping unit 122, in the auxiliary shipping unit 128. It can be shipped at any time without stopping the main body 110 by lowering) to increase the size of the lot that can be run at a time, or to increase indefinitely to improve the equipment utilization rate.

그리고 도 4에 도시된 바와 같이 스택커(120)의 측방에는 멀티적재부(123)가 마련된다. 이 멀티적재부(123)는 도 8에 도시된 바와 같이 한 종류의 유저트레이 (120a)를 적재할 수 있는 공간에 7종류의 유저트레이(120a)를 보관할 수 있도록 복수의 적재부(129)가 설치되고, 적재부(129)들은 하부에 장착된 모터구동부(129a)와 이 모터구동부(129a)에 의하여 동작하는 볼스크류(129e)에 의해 상하로 이동되어 미리 규정된 유저트레이(120a)를 원하는 위치에서 적재받을 수 있다. 또한 적재부(129)들은 3개 내지는 4개의 블록(129b)으로 연결되어 적재가 완료되면 배출 실린더(129c)와 이송가이드(129d)에 의해 본체(110) 외부로 배출되어 작업자가 용이하게 유저트레이(120a)를 꺼낼 수 있다.4, the multi-loading unit 123 is provided on the side of the stacker 120. As shown in FIG. 8, the multi-loading unit 123 includes a plurality of loading units 129 to store seven types of user trays 120a in a space in which one type of user tray 120a can be loaded. The mounting portions 129 are moved up and down by a motor driver 129a mounted below and a ball screw 129e operated by the motor driver 129a, so that the user tray 120a desired in advance is defined. Can be loaded in position. In addition, the loading unit 129 is connected to the three or four blocks (129b) when the loading is completed is discharged to the outside of the main body 110 by the discharge cylinder (129c) and the transfer guide (129d) to facilitate the user tray 120a can be taken out.

한편, 도 5와 도 9에 도시된 바와 같이 상기 핸들러 본체(110)의 스택커(120) 상부 측에는 테스트할 디바이스가 담긴 유저트레이(120a)의 대기장소인 수개의 로딩측 셋 플레이트(131)와 테스트되어 등급별로 소팅된 디바이스를 담기 위한 빈 트레이의 대기장소인 수개의 언로딩측 셋 플레이트(132)가 배치된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 5 and 9, the upper side of the stacker 120 of the handler body 110 includes several loading side set plates 131 which are waiting places of the user tray 120a containing the device to be tested. Several unloading side set plates 132 are arranged, which are waiting places of empty trays to hold the devices tested and sorted by grade.

따라서 상기 유저트레이 공급부(121)에 있는 테스트할 디바이스가 담긴 유저트레이(120a)는 트렌스퍼암(140)에 의해 순차적으로 상기 로딩측 셋 플레이트(131)에 이동된다. 즉 트렌스퍼암(140)은 유저트레이 공급부(121)로 하강하면서 유저트레이(120a)가 어느 정도의 높이까지 적재되어 있는지 감지하는데, 측면에 장착된 제 1센서(141)로 대략 위치를 감지할 때까지 빠르게 하강한다. Therefore, the user tray 120a containing the device to be tested in the user tray supply unit 121 is sequentially moved to the loading side set plate 131 by the transfer arm 140. That is, the transfer arm 140 descends to the user tray supply unit 121 and detects to what height the user tray 120a is loaded, and when detecting the approximate position by the first sensor 141 mounted on the side. Descends quickly.

그리고 제 1센서(141)가 감지하면 천천히 하강하면서 상면에 설치된 제 2센서(142)가 유저트레이(120a)를 정확히 감지하여 픽킹하고, 상기 로딩측 셋 플레이트(131)로 이동시킨다. 또한 상기 트렌스퍼암(140)은 로딩측 셋 플레이트(131)에 위치된 빈 트레이에 디바이스가 가득 차게 되면, 이를 유저트레이 출하부(122)의 적재부로 이동시키는 역할을 한다.When the first sensor 141 senses it, the second sensor 142 installed on the upper surface of the first sensor 141 detects and picks the user tray 120a accurately and moves to the loading side set plate 131. In addition, when the device is filled in the empty tray located on the loading side set plate 131, the transfer arm 140 serves to move the transfer arm 140 to the loading part of the user tray shipping part 122.

그리고 본 발명에 의한 테스트 핸들러는 도 5에 도시된 바와 같이 핸들러 본체(110)의 테스트 작동방향을 따라 이동하도록 배치된 복수의 테스트 트레이(150)를 구비한다. 이 테스트 트레이(150)는 초기에 로딩측 트레이 정렬 스테이션(160)에 위치되며, 이곳에서 복수의 테스트할 디바이스를 이송 적재 받는다. 그리고 하나의 테스트 트레이(150)에는 64개의 디바이스가 수용된다. In addition, the test handler according to the present invention includes a plurality of test trays 150 arranged to move along the test operation direction of the handler body 110 as shown in FIG. 5. The test tray 150 is initially located in the loading side tray alignment station 160, where the plurality of devices to be tested are loaded and loaded. In addition, 64 devices are accommodated in one test tray 150.

한편, 도 4와 도 9에 도시된 바와 같이 로더용 직교좌표 로봇(171)은 상기 로딩측 셋 플레이트(131)와 상기 로딩측 트레이 정렬 스테이션(160)과의 사이들 연속적이면서도 반복적으로 이동하면서 로딩측 셋 플레이트(131)에 위치된 유저트레이(120a)로부터 디바이스를 픽킹하여 테스트 트레이(150)로 이송 적재시킨다. 이 로더용 직교좌표 로봇(171)은 1회의 동작에 16개의 디바이스를 픽킹하는 핸드(180)를 구비한다.Meanwhile, as shown in FIGS. 4 and 9, the Cartesian robot 171 for the loader is loaded while continuously and repeatedly moving between the loading side set plate 131 and the loading side tray alignment station 160. The device is picked from the user tray 120a located on the side set plate 131 and transferred to the test tray 150. The loader Cartesian robot 171 includes a hand 180 for picking 16 devices in one operation.

여기서, 핸드(180)는 도 10과 도 11에 도시된 바와 같이 전열(193)에 8개의 진공패드(187a)와 후렬(194)의 8개 진공패드(187a), 이 전렬(193)과 후열(194)을 전후로 이동시켜 간격을 조절하는 전후이동부(181), 캠플레이트(189)를 상하로 이동시키면서 각각의 진공패드(187a)와의 간격을 조절하는 좌우이동부(184)로 구성된다.Here, the hand 180 has eight vacuum pads 187a on the heat transfer 193 and eight vacuum pads 187a on the rear row 194 as shown in FIGS. 10 and 11, and the front row 193 and the rear row. The front and rear moving parts 181 for moving the front and rear sides 194 to adjust the gap, and the left and right moving parts 184 for adjusting the gap with the respective vacuum pads 187a while moving the cam plate 189 up and down.

전후이동부(181)는 제 1실린더(182)와 제 1가이드레일(183)을 장착하여 전렬(193)과 후렬(194)의 진공패드(187a)를 이동시키고, 또한 좌우이동부(184)는 제 2실린더(185)를 양측에 장착하여 패드부(187)가 수평 이동 가능하게 결합된 플레이 트(186)를 상하로 이동시킨다. 그리고 패드부(187) 전면에는 각각의 진공패드(187a)가 이동할 상하거리와 수평거리에 맞추어 장공(188)이 형성된 캠플레이트(189)가 결합된다.The front and rear movement unit 181 mounts the first cylinder 182 and the first guide rail 183 to move the vacuum pads 187a of the front row 193 and the rear row 194, and the left and right moving unit 184 is formed of a first cylinder 182 and a first guide rail 183. The two cylinders 185 are mounted on both sides to move the plate 186 to which the pad unit 187 is horizontally movable. A cam plate 189 having a long hole 188 is coupled to the pad part 187 in front of the vertical distance and the horizontal distance to which the respective vacuum pads 187a are moved.

이때 각각의 진공패드(187a)에는 캠 팔로우어(190)가 돌출되어 캠플레이트(189)의 장공(188)에 삽입되고, 또한 각각의 진공패드(187a) 상부에는 베어링(191)이 장착되면서 베어링(191)을 관통하는 수평축(192)으로 연결된다.At this time, the cam follower 190 protrudes from each of the vacuum pads 187a and is inserted into the long hole 188 of the cam plate 189, and the bearings 191 are mounted on the respective vacuum pads 187a. It is connected to the horizontal axis 192 penetrating through (191).

따라서 유저트레이(120a)로부터 디바이스를 픽킹할 때는 핸드(180)의 전렬(193)과 후열(194)의 간격이 좁혀지고, 패드부(187)가 하강하여 각각의 진공패드(187a)가 밀착된 상태로 있게 된다. 그리고 픽킹 후 테스트 트레이(150)로 이송 적재할 때는 테스트 트레이(150)의 간격에 맞게 전후이동부(181)의 제 1실린더(182)가 작동하여 핸드(180)의 전렬(193)과 후렬(194)이 벌려지고, 좌우이동부(184)의 제 2실린더(185)의 작동으로 패드부(187)의 캠 팔로우어(190)가 캠플레이트(189) 장공(188)의 안내를 받아 각각의 진공패드(187a)가 일정간격으로 넓혀진다.Therefore, when picking a device from the user tray 120a, the distance between the front row 193 and the rear row 194 of the hand 180 is narrowed, and the pad unit 187 is lowered so that the respective vacuum pads 187a are in close contact with each other. Will be in a state. In addition, when picking up and transporting the test tray 150 to the test tray 150, the first cylinder 182 of the front and rear moving unit 181 may operate in accordance with the interval of the test tray 150 so that the front row 193 and the rear row 194 of the hand 180 may be operated. ), The cam follower 190 of the pad unit 187 is guided by the hole 188 of the cam plate 189 by the operation of the second cylinder 185 of the left and right moving unit 184. 187a is widened at regular intervals.

한편, 핸드(180)로 픽킹된 디바이스를 테스트 트레이(150)로 이송 적재할 때에 종래에는 일단 프리사이징 장치로 이송 적재하고 그 위치를 정확하게 잡은 다음 다시 픽킹하여 테스트 트레이(150)로 이송 적재한다. On the other hand, when transporting the device picked by the hand 180 to the test tray 150, conventionally transported and loaded into the presizing apparatus once, accurately positioned and then picked again to transfer to the test tray 150.

그러나 본 발명은 프리사이징 장치를 없애고 바로 테스트 트레이(150)로 정확하게 이송 적재한다. 즉 도 12에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(150)에 유동 가능하게 장착된 인서트(151)가 복수개 결합되어 있고, 핸드(180)가 디바이스(156)를 픽킹하여 테스트 트레이(150)에 안착시킬 때 테스트 트레이(150) 하부에 배치된 위치결정장치(153)가 상승하여 인서트(151)의 고정홀(152)에 위치결정핀(154)을 삽입하여 인서트(151)를 정확하게 위치 고정시킨다. However, the present invention removes the presizing device and directly transfers and loads the test tray 150 accurately. That is, when a plurality of inserts 151 fluidly mounted to the test tray 150 are coupled as shown in FIG. 12, and the hand 180 picks the device 156 to rest on the test tray 150. The positioning device 153 disposed below the test tray 150 is raised to insert the positioning pin 154 into the fixing hole 152 of the insert 151 to fix the insert 151 accurately.

그리고, 디바이스가 인서트(151)에 삽입될 때는 핸드(180)에서 잡고 있는 디바이스(156)가 다소 어긋나더라도 내부 방향으로 테이퍼진 위치결정장치(153)의 가이드벽(155)이 전후 좌우로 디바이스(156)를 안내하여 정확하게 인서트(151)에 안착되게 된다.When the device is inserted into the insert 151, the guide wall 155 of the positioning device 153 tapered inwardly is moved back and forth, even if the device 156 held by the hand 180 is slightly shifted. Guide 156 is to be seated on the insert 151 correctly.

그리고 도 5와 도 9에 도시된 바와 같이 상기 핸들러 본체(110)의 테스트 작동방향 상에는 제 1트레이 반전수단(161)과 속챔버(162), 그리고 테스트 챔버(163)와 디속챔버(164) 및 제 2트레이 반전수단(165)과 언로딩측 트레이 정렬스테이션(166) 그리고 소터테이블(167)이 구성되어 있다.5 and 9, the first tray reversing means 161, the inner chamber 162, the test chamber 163, the descheduling chamber 164, and the test operation direction of the handler main body 110 are provided. The second tray inverting means 165, the unloading side tray alignment station 166, and the sorter table 167 are constituted.

상기 제 1트레이 반전수단(161)은 로딩측 트레이 정렬스테이션(160)에서 복수의 디바이스(156)를 이송 적재받은 테스트 트레이(150)를 수직하게 세워 속챔버(162)로 공급되게 하는 것이다.The first tray inverting means 161 is to vertically erect the test tray 150 transported and loaded by the plurality of devices 156 from the loading side tray alignment station 160 to be supplied to the inner chamber 162.

상기 제 1트레이 반전수단(161)의 구성은 도 19a와 도 19b 그리고 도 19c에 도시된 바와 같이 테스트 트레이(150)가 실린더에 의하여 작동하는 이송암(161a)에 의하여 진입하도록 중간부분에 인서트홀(161b)이 형성된 반전플레이트(161c)와 이 인서트홀(161b) 내부에 설치되어 인서트홀(161b)에 삽입된 테스트 트레이(150)를 락킹 지지하는 락킹핀(161d) 및 락킹핀(161d)을 작동시키는 락킹실린더(161e)를 구비한다. The first tray reversing means 161 has an insert hole in the middle portion thereof so that the test tray 150 enters by the transfer arm 161a operated by the cylinder as shown in FIGS. 19A, 19B, and 19C. Locking pins (161d) and locking pins (161d) installed inside the inverted plate (161c) and the insert hole (161b) having the (161b) formed to lock and support the test tray 150 inserted into the insert hole (161b). A locking cylinder 161e for operating is provided.

또한 이 반전플레이트(161c)의 일측 단부에 결합된 승강실린더(161f)와 반전 플레이트(161c)의 하면에 돌출 형성되며 전후방향으로 장공(161h)이 형성된 브라켓(161g)을 구비하고, 이 브라켓(161g)에 단부가 축 결합되어 반전플레이트(161c)를 전방으로 밀어주는 전후실린더(161i)를 구비하고 있다. In addition, a lifting cylinder 161f coupled to one end of the inversion plate 161c and a bracket 161g protruding from the bottom surface of the inversion plate 161c and having a long hole 161h formed in the front-rear direction are provided. An end portion is axially coupled to 161g and includes a front and rear cylinder 161i for pushing the inversion plate 161c forward.

그리고 상기 속챔버(162)는 상기 제 1트레이 반전수단(161)에 의해 수직하게 세워진 테스트 트레이(150)를 수용하여 앞쪽으로부터 뒤쪽으로 소정의 단계로 이동시키면서 디바이스(156)를 테스트 온도 조건으로 가열하거나 냉각시킨다. 이를 위하여 속챔버(162)의 하부에는 가열을 위한 히터와 냉각을 위한 냉각장치가 장착되어 있으며, 수평 이동을 위한 실린더로 된 이송장치가 장착되어 있다.The inner chamber 162 heats the device 156 to a test temperature condition while receiving the test tray 150 that is vertically erected by the first tray inverting means 161 and moving it from the front to the back in a predetermined step. Or cool. To this end, a lower part of the inner chamber 162 is equipped with a heater for heating and a cooling device for cooling, and a conveying device made of a cylinder for horizontal movement.

이러한 속챔버(162)에서의 테스트 트레이(150)의 이송은 테스트 트레이(150)에 마련된 각각의 수납홈에 디바이스(156)를 지지하는 인서트(151)가 구비되어 있기 때문에, 테스트 트레이(150)가 수직하게 세워져도 디바이스(156)가 테스트 트레이(150)로부터 이탈되는 일이 없다. Since the transfer of the test tray 150 in the inner chamber 162 is provided with an insert 151 for supporting the device 156 in each receiving groove provided in the test tray 150, the test tray 150 is provided. Is vertically placed, the device 156 is not released from the test tray 150.

그리고 도 15와 도 16에 도시된 바와 같이 상기 속챔버(162)로부터 배출되는 테스트 트레이(150)는 최종적으로 상하의 2열 수직 배치된 가이드바(195)에 탑재되어 이동축(196)과 이동수단(197)에 결합된 푸셔(198)로 상하의 테스트 트레이(150)를 밀면서 테스트 헤드로 이동시키며, 동시에 테스트 완료된 테스트 트레이(150)를 배출시키는 인덱싱 메카니즘(200)을 갖는다. 15 and 16, the test tray 150 discharged from the inner chamber 162 is finally mounted on the guide bars 195 vertically arranged in two rows of upper and lower moving shafts 196 and moving means. The pusher 198 coupled to 197 moves the upper and lower test trays 150 to the test head, and simultaneously has an indexing mechanism 200 for discharging the tested test trays 150.

이에 따라 테스트가 완료된 테스트 트레이(150)를 배출한 후 다시 속챔버(162)에 위치한 테스트 트레이(150)를 다시 테스트 챔버로 이동시키는 종래의 방식에 비해 이동시간이 상당히 단축시킬 뿐만 아니라 복잡한 이동장치들을 단순화하여 원가절감과 설비고장의 원인들이 제거된다.Accordingly, compared to the conventional method of discharging the completed test tray 150 and then moving the test tray 150 located in the inner chamber 162 back to the test chamber, the moving time is considerably shortened and complicated moving device. By simplifying these steps, the causes of cost reduction and equipment failure are eliminated.

테스트 챔버(163)는 상기와 같은 상하의 2열 수직 배치로 공급되는 테스트 트레이(150)를 테스트 조건의 온도로 가열 또는 냉각된 상태로 유지하고, 이러한 상태로 테스트 트레이(150)를 수용하여 이 테스트 트레이(150)에 있는 128개의 디바이스(156)와 도 9에 도시된 테스트 헤드(100)를 전기적으로 접속시켜 테스트가 이루어지도록 한다. 즉, 테스트 헤드(100)와 테스트 트레이(150)가 수직으로 도킹하여 1회의 테스트 동작에 128개의 디바이스(156)에 대한 테스트가 동시에 이루어지는 것이다.The test chamber 163 maintains the test tray 150 supplied in the two rows of vertical arrangement as described above heated or cooled to the temperature of the test condition, and receives the test tray 150 in this state to receive the test. The test is performed by electrically connecting the 128 devices 156 in the tray 150 with the test head 100 shown in FIG. 9. That is, the test head 100 and the test tray 150 are vertically docked to test 128 devices 156 simultaneously in one test operation.

이러한 테스트 챔버(163)는 도 18에 도시된 바와 같이 사각의 함체 형상으로 되며 상측으로 외부의 공조장치로부터 공조가 이루어진 공기가 유입되는 유입구(163a)가 형성된 덕트(163b)와 이 덕트(163b)의 전방 측으로 설치되며 덕트(163b)와 함께 실린더에 의하여 전후 이동이 가능하게 된 매치플레이트(163c)를 구비하고 있다. The test chamber 163 has a rectangular enclosure shape as shown in FIG. 18, and the duct 163b and the duct 163b formed with an inlet 163a through which air that has been air-conditioned from an external air conditioner is introduced upward. It is provided on the front side of the duct 163b and has a match plate 163c which can be moved back and forth by the cylinder.

여기서 덕트(163b)의 표면에는 테스팅 될 디바이스 숫자만큼의 공기 토출홀(163d)이 형성되어 있고, 이 토출홀(163d)에 대응하는 매치플레이트(163c)에도 다수의 관통홀(163e)이 형성되어 있다. 따라서 덕트(163b)와 매치플레이트(163c)가 전진하여 매치플레이트(163c)에 형성된 각각의 관통홀(163e)이 테스트 트레이(150)의 디바이스(156)에 접하게 되면 덕트(163b)로부터 공급된 공기는 직접 디바이스(156)에 공급되게 됨으로써 종래의 단순 공기 순환구조에 비하여 보다 뛰어난 테스트 온도유지가 가능해지게 된다.Here, the air discharge holes 163d corresponding to the number of devices to be tested are formed on the surface of the duct 163b, and a plurality of through holes 163e are also formed in the match plate 163c corresponding to the discharge holes 163d. have. Therefore, when the duct 163b and the match plate 163c are advanced and each through hole 163e formed in the match plate 163c comes into contact with the device 156 of the test tray 150, the air supplied from the duct 163b is provided. Since is directly supplied to the device 156 it is possible to maintain a better test temperature than the conventional simple air circulation structure.

그리고 도 9에 도시된 바와 같이 본 발명은 테스트 트레이(150)가 수직하게 세워진 상태에서 이송되어, 테스트 헤드(100)가 핸들러 본체(110)의 외부에 설치되기 때문에, 종래의 수평으로 헤드가 도킹하는 방식에서 핸들러 본체(110)가 차지하던 공간을 스택커(120)의 공간으로 활용하여 상기의 보조 공급부(121a)와 보조 출하부(128)의 배치가 가능하게 된다.As shown in FIG. 9, in the present invention, since the test tray 150 is vertically transferred and the test head 100 is installed outside the handler body 110, the head is docked in a conventional horizontal manner. By using the space occupied by the handler body 110 as a space of the stacker 120 in the manner it is possible to arrange the auxiliary supply unit 121a and the auxiliary shipping unit 128.

계속해서 디속챔버(154)는 상기 테스트 장비로부터 공급되는 테스트 트레이(150)를 다시 1열로 정렬하여 수용하는데, 테스트 트레이(150)를 뒤쪽에서부터 앞쪽에서 소정의 단계로 이송시키면서 디바이스의 온도를 상온으로 환원시킨다. 이때의 온도의 환원은 냉각된 디바이스의 경우는 히터로 가열하여 환원시키고, 가열된 디바이스의 경우는 외부 공기 송풍으로 환원시킨다. 이를 위해 도면에 도시되지 않았지만 히터와 팬이 내부에 장착되어 있다.Subsequently, the de-chamber chamber 154 receives the test trays 150 supplied from the test equipment in a single row again, and transfers the test trays 150 to a predetermined step from the rear to the predetermined stages at room temperature. Reduce. In this case, the temperature is reduced by heating with a heater in the case of a cooled device and reduced by external air blowing in the case of a heated device. For this purpose, although not shown in the drawings, a heater and a fan are mounted therein.

여기서, 테스트 챔버(163)나 디속챔버(164)의 내부에는 주요 전기적, 기계적 장치들이 복잡하게 장착되는데, 종래에는 고장이 나면 테스트 헤드를 분리하고 좁은 공간에서 보수를 하여 작업성이 매우 나빴다. Here, the main electrical and mechanical devices are complexly mounted inside the test chamber 163 or the desorption chamber 164. In the past, when a failure occurred, the test head was separated and repaired in a narrow space, and thus the workability was very bad.

본 발명은 도 17에 도시된 바와 같이 디속챔버(164)를 핸들러 본체(110)의 측면으로 간단히 이동시켜, 정비할 수 있는 공간을 확보해 주므로 유지 보수가 용이하다. In the present invention, as shown in FIG. 17, the main chamber 164 is simply moved to the side of the handler main body 110 to secure a space for maintenance, thereby facilitating maintenance.

즉, 디속챔버(164)의 하단에는 리니어 가이드(202)를 장착하고, 본체(110)에는 리니어 블록(203)을 장착하여 고정시 작업자가 간단히 볼트를 풀고 디속챔버(164)를 측면으로 밀면 디속챔버(164)가 리니어 블록(203)을 타고 본체(110)의 측 면으로 빠져나오게 되어 작업자가 본체(110) 내부에 들어가 각종 기계장치 또는 전기장치(201)들의 유지보수를 용이하게 실시 할 수 있어 보수시간이 획기적으로 단축될 수 있다.That is, the linear guide 202 is mounted on the lower end of the desucine chamber 164, and the linear block 203 is mounted on the main body 110. The chamber 164 is taken out of the linear block 203 to the side of the main body 110 so that an operator can enter the main body 110 to easily perform maintenance of various mechanical devices or electrical devices 201. The maintenance time can be significantly shortened.

한편 제 2트레이 반전수단(165)은 제 1트레이 반전수단(161)과 같은 동일한 구성으로 된 것으로 제 1트레이 반전수단(161)과 반대방향으로 테스트 트레이(150)를 이송시킨다. 따라서 상기 디속챔버(164)로부터 배출되는 테스트 트레이(150)를 다시 수평하게 뉘이게 된다. 그러므로 제 2트레이 반전수단(165)에 의하여 수평으로 뉘어진 테스트 트레이(150)는 언로딩측 트레이 정렬스테이션(166)으로 이송되어 위치하게 된다.Meanwhile, the second tray inverting means 165 has the same configuration as that of the first tray inverting means 161 and transfers the test tray 150 in the opposite direction to the first tray inverting means 161. Therefore, the test tray 150 discharged from the de-chamber chamber 164 is horizontally laid again. Therefore, the test tray 150 horizontally divided by the second tray inverting means 165 is transferred to the unloading side tray alignment station 166 and positioned.

그리고 소터테이블(167)은 상기 언로딩측 트레이 정렬 스테이션(166)에 위치된 테스트 트레이(150) 상의 디바이스들을 그 등급별로 분류하여 일시 보관하는 역할을 한다. 이때, 상기 테스트 트레이(150)에 있는 복수의 디바이스에 대한 소팅 및 소터테이블(167)로의 이송 적재는 2개의 단축로봇(172)(173)에 의해 이루어진다. The sorter table 167 sorts and temporarily stores the devices on the test tray 150 positioned in the unloading side tray alignment station 166 according to their class. At this time, the sorting and transfer of the plurality of devices in the test tray 150 to the sorter table 167 are performed by two single-axis robots 172 and 173.

상기 2개의 단축로봇(172)(173)은 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 언로딩측 트레이 정렬스테이션(166)에서 상기 소터테이블(167) 사이를 연속하여 반복적으로 이동하도록 설치되어 언로딩측 트레이 정렬스테이션(166)에 위치된 테스트 트레이(150) 상에서 디바이스를 픽킹하여 그 등급별로 소터테이블(167)로 이재시킨다. 이에 따라, 소터테이블(167)에는 테스트가 완료된 디바이스가 등급별로 분류되어 단위수량별로 수납되게 된다.As shown in FIG. 9, the two single axis robots 172 and 173 are installed to continuously and repeatedly move between the sorter table 167 in the unloading side tray alignment station 166. The devices are picked on the test tray 150 located in the tray alignment station 166 and transferred to the sorter table 167 for each class. Accordingly, the sorted device is sorted by class in the sorter table 167 and stored in unit quantity.

그리고 상기 소터테이블(167)에 임시로 보관된 소팅된 디바이스들은 일정수량이 되면, 상기 소터테이블(167)과 상기 언로딩측 셋 플레이트(132) 사이를 연속적이면서 반복적으로 이동하도록 설치된 언로더용 직교좌표 로봇(174)에 의해 상기 언로딩측 셋 플레이트(132)에 위치된 복수의 빈 트레이 중의 지정위치로 이송 적재하게 된다. And the sorted devices temporarily stored in the sorter table 167, when a certain amount, orthogonal to the unloader installed to move continuously and repeatedly between the sorter table 167 and the unloading side set plate 132 The coordinate robot 174 transfers and loads to a designated position among a plurality of empty trays located on the unloading side set plate 132.

즉, 본 발명은 테스트된 디바이스를 언로딩 함에 있어서, 디바이스를 테스트 결과에 따라 소팅하는 소팅파트와 소팅된 디바이스를 소터테이블(167)로부터 단순 이송 적재하는 언로딩파트의 2단계로 진행하도록 구성함으로써 디바이스 언로딩 타임을 혁신적으로 단축시킬 수 있는 것이다.That is, the present invention is configured to proceed in two stages of unloading the tested device, the sorting part for sorting the device according to the test result and the unloading part for simply transporting the sorted device from the sorter table 167. This can drastically reduce device unloading time.

상기의 과정에 의해 언로딩측 셋 플레이트(132)에 위치된 빈 트레이에 디바이스가 가득 차게 되면, 해당하는 빈 트레이는 트렌스퍼암(140)에 의해 유저트레이 출하부(122)에 해당하는 트레이 적재부로 이동된다.When the device is filled in the empty tray located on the unloading side set plate 132 by the above process, the corresponding empty tray is transferred to the tray stacking unit corresponding to the user tray shipping unit 122 by the transfer arm 140. Is moved.

또한 도면에서는 구체적으로 도시를 생략하고 있으나 본 발명에 의한 테스트 핸들러는 상기 테스트 트레이(150)를 로더 영역, 속챔버(162), 테스트 챔버(163), 디속챔버(164) 및 트레이 정렬스테이션으로 이동시키기 위한 이송기구를 구비하며, 이의 구동원 및 상기 장치들의 제어를 위한 장치가 내장된 메인 컨트롤러를 구비한다.In addition, although specifically illustrated in the drawings, the test handler according to the present invention moves the test tray 150 to the loader region, the inner chamber 162, the test chamber 163, the descheduling chamber 164 and the tray alignment station. And a main controller in which a driving source thereof and a device for controlling the devices are embedded.

또한, 본 발명에 의한 테스트 핸들러는 전술한 바와 같이 테스트 챔버(163)로 이동되어 테스트 트레이(150)에 수납된 복수의 디바이스들이 테스트 헤드(100) 상의 소켓에 원활히 접속될 수 있도록 함과 동시에 직접 디바이스에 공조공기를 공 급하도록 하는 매치플레이트(163c)를 구비하고 있다.In addition, the test handler according to the present invention may be moved to the test chamber 163 as described above so that a plurality of devices accommodated in the test tray 150 may be smoothly connected to the socket on the test head 100 and at the same time directly. A match plate 163c is provided for supplying air conditioning air to the device.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 테스트 핸들러의 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 테스트 핸들러 본체(110)의 스택커(120)에 위치된 유저트레이 공급부(121)에는 테스트할 디바이스가 담긴 복수의 유저트레이(120a)가 적재되어 있으며, 가동을 시작하면 우선 트렌스퍼암(140)의 제 1센서(141)와 제 2센서(142)에 의해 유저트레이 공급부(121)에 어느 정도의 유저트레이(120a)들이 적재되었는가를 파악한다.In the user tray supply unit 121 located in the stacker 120 of the test handler main body 110 according to the present invention, a plurality of user trays 120a containing devices to be tested are loaded. The first sensor 141 and the second sensor 142 of 140 determine how much user tray 120a is loaded in the user tray supply unit 121.

그런 다음 트렌스퍼암(140)에 의해 유저트레이(120a)가 순차적으로 로딩측 셋 플레이트(131)로 이동되고, 테스트 트레이(150)는 로딩측 트레이 정렬스테이션(160)에 위치된다.Then, the user tray 120a is sequentially moved to the loading side set plate 131 by the transfer arm 140, and the test tray 150 is positioned at the loading side tray alignment station 160.

상기와 같은 상태에서 로드용 직교좌표 로봇(171)이 작동하면서 로딩측 셋 플레이트(131)에 위치된 유저트레이(120a)로부터 디바이스를 픽킹하여 테스트 트레이(150)로 이송 적재시킨다. In the above state, while the rectangular Cartesian robot 171 is operated, the device is picked from the user tray 120a located on the loading side set plate 131 and transferred to the test tray 150.

그리고 픽킹시는 16개의 진공패드(187a)가 장착된 핸드(180)로 유저트레이(120a)에서 16개의 디바이스를 한번에 픽킹하여 테스트 트레이(150)로 이송하고, 적재시에는 전후이동부(181)와 좌우이동부(184)를 이용하여 전렬(193)과 후렬(194)을 넓히고, 각각의 진공패드(187a)의 간격을 벌려 테스트 트레이(150)의 간격에 맞게 디바이스의 거리를 조절한 후 적재한다.When picking, the hand 180 equipped with 16 vacuum pads 187a is picked 16 devices at a time from the user tray 120a and transferred to the test tray 150 at the time of loading. The front row 193 and the rear row 194 are widened by using the left and right moving units 184, and the distance between the vacuum pads 187a is widened to adjust the distance of the device to fit the gap of the test tray 150 and then load the loaded rows.

그리고 테스트 트레이(150)에는 인서트(151)가 유동 가능하게 결합되어 있 고, 이송 적재시 테스트 트레이(150)의 하부에 배치된 위치결정장치(153)가 상승하여 인서트(151)의 고정홀(152)에 위치결정핀(154)을 삽입하여 인서트(151)를 정확하게 위치 고정시키고, 또한 내부 방향으로 테이퍼진 위치결정장치(153)의 가이드벽(155)이 전후 좌우로 디바이스(156)를 안내하여 정확하게 인서트(151)에 안착시킨다.In addition, the insert 151 is movably coupled to the test tray 150, and the positioning device 153 disposed below the test tray 150 ascends to raise the fixing hole of the insert 151. The positioning pin 154 is inserted into the 152 to accurately position the insert 151, and the guide wall 155 of the positioning device 153 tapered inwards guides the device 156 from front to back, left to right. It is seated on the insert 151 accurately.

이후 계속된 동작상태를 도 13을 참조하여 설명하면, 테스트 트레이(150)에 디바이스가 가득 차면(단계 ①) 테스트 트레이(150)는 제 1트레이 반전수단(161)에 의해 수직하게 세워져 속챔버(162)로 공급된다.(단계 ②, 단계 ③) 13, the test tray 150 is erected vertically by the first tray inverting means 161 when the device is filled in the test tray 150 (step 1). 162). (Step ②, Step ③)

그리고 속챔버(162)에서 소정의 테스트 온도 조건으로 가열 또는 냉각된 테스트 트레이(150)는 최종 적으로 상하의 2열 수직 배치로 정렬되어 테스트 챔버(163)로 공급된다.(단계 ④) Then, the test tray 150 heated or cooled to a predetermined test temperature condition in the inner chamber 162 is finally supplied to the test chamber 163 aligned in two vertical rows up and down (step ④).

계속해서 테스트 챔버(163)에서는 테스트 온도조건으로 가열 또는 냉각상태를 유지하며 2열 수직 정렬되어 공급된 테스트 트레이(150)에 있는 128개의 디바이스와 테스트 헤드(100)를 접속시켜 테스트가 이루어지도록 하며(단계 ⑤, 단계 ⑤'), 테스트가 완료된 테스트 트레이(150)는 다시 1열로 정렬되어 디속챔버(164)로 공급된다.(단계 ⑥) In the test chamber 163, the test head 163 is connected to the test head 100 and the 128 devices in the test tray 150, which are heated and cooled under the test temperature conditions and are vertically aligned in two rows. (Step ⑤, Step ⑤ '), the test tray 150, which has been tested, is again arranged in one row and supplied to the de-chamber chamber 164. (Step ⑥)

여기서 인덱싱 메카니즘(200)에 의해 상기 속챔버(162)로부터 배출되는 테스트 트레이(150a)와 테스트 챔버(163)에서 테스트가 완료된 테스트 트레이(150b)는 상하의 2열 수직 배치된 가이드바(195)에 탑재되어 이동축(196)과 이동수단(197)에 결합된 푸셔(198)로 동시에 이동시켜 속챔버(162)에 위치한 테스트 트레이(150a)를 밀면서 테스트 헤드(100)로 이동시키고, 또한 테스트 완료된 테스트 트레이(150b)를 배출시킨다.Here, the test tray 150a discharged from the inner chamber 162 and the test tray 150b completed in the test chamber 163 by the indexing mechanism 200 are disposed on the guide bars 195 disposed vertically in two rows. Simultaneously moved to the pusher 198 mounted on the moving shaft 196 and the moving means 197 to move to the test head 100 while pushing the test tray 150a located in the inner chamber 162, and the test was completed. The test tray 150b is discharged.

그리고 상기 2열 수직 배치로 정렬되어 진행하는 테스트 트레이(150)는 핸들러 본체(110)의 상황에 따라 상, 하열중 한곳, 즉 1열로 진행하여 속챔버(162)에서 테스트 챔버(163)로 이동하여 테스트 헤드(100)에서 테스트를 거치기도 한다.In addition, the test tray 150 aligned in the two-row vertical arrangement proceeds to one of the upper and lower rows, that is, the first row according to the condition of the handler body 110 and moves from the inner chamber 162 to the test chamber 163. The test head 100 is also tested.

디속챔버(164)를 거치면서 상온에 가깝게 환원된 테스트 트레이(150)는 제 2트레이 반전수단(165)에 의해 다시 수평하게 뉘어져서(단계 ⑦) 언로딩측 트레이 정렬스테이션(166)으로 이송되어 위치된다.(단계 ⑧)The test tray 150 reduced near to room temperature while passing through the de-chamber chamber 164 is horizontally re-divided by the second tray reversing means 165 (step ⑦) and transferred to the unloading side tray alignment station 166. (Step ⑧)

이후 제 1 및 제 2단축로봇(172)(173)이 작동하여 언로딩측 트레이 정렬스테이션(166)에 위치된 테스트 트레이(150) 상의 디바이스들을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 소터테이블(167)로 이재시킨다. Thereafter, the first and second single axis robots 172 and 173 operate to sort the devices on the test tray 150 located at the unloading side tray alignment station 166 according to the test result, and sort the devices according to the test result. Transfer to.

디바이스의 이송 적재가 완료되면, 빈 테스트 트레이(150)는 하강한 후, 소터테이블(167)의 하단부를 통과하여 로딩측 트레이 정렬스테이션(160)으로 이동된다.(단계 ⑨) When the transfer stacking of the device is completed, the empty test tray 150 is lowered and then moved to the loading side tray alignment station 160 through the lower end of the sorter table 167. (Step ⑨)

그리고 상기 소터테이블(167)에 일시로 보관된 소팅된 디바이스들은 일정 수량에 도달하면 언로더용 직교좌표 로봇(174)의 작동에 의해 단위 수량별, 종류별, 및 등급별로 언로딩측 셋 플레이트(132)에 위치된 해당하는 빈 트레이로 이송 적재되며, 디바이스가 가득찬 빈 트레이는 트렌스퍼암(140)에 의해 최종적으로 유저트레이 출하부(122)로 이동되어 적재된다.When the sorted devices temporarily stored in the sorter table 167 reach a predetermined quantity, the unloading side set plate 132 by unit quantity, type, and grade is operated by the operation of the unloading Cartesian robot 174. The empty tray filled with the device is finally moved to the user tray shipping unit 122 by the transfer arm 140 and loaded.

또한 여러 가지 기준에 따라 불량품으로 분류된 디바이스는 7종류의 유저트 레이(120a)를 보관할 수 있도록 복수의 적재부(129)가 설치된 멀티 적재부(123)에 적재된다. 즉 모터구동부(129a)와 볼스크류(129e)에 의해 복수의 적재부(129)가 상하로 이동되어 소팅된 디바이스를 미리 규정된 적재부(129)의 유저트레이(120a)에 적재한다.In addition, devices classified as defective according to various criteria are loaded in the multi stacking unit 123 in which a plurality of stacking units 129 are installed to store 7 types of user trays 120a. That is, the plurality of mounting portions 129 are moved up and down by the motor driving portion 129a and the ball screw 129e, and the sorted device is loaded in the user tray 120a of the predetermined loading portion 129.

그러나 사용자가 작동 프로그램을 일부 변경함으로써 적재부(129)는 그 용도를 바꾸어 사용할 수 있다.However, when the user partially changes the operation program, the loading unit 129 can change its use.

이와 같은 과정이 1롯트의 검사가 종료될 때까지 반복적으로 진행되는데, 본 발명은 테스트 트레이(150)가 2열의 수직 배치로 정렬되어 테스트 챔버(163)로 이송되고, 여기에 2개의 테스트 트레이(150)에 있는 128개의 디바이스가 테스트 헤드(100)와 동시에 접속되어 테스트가 이루어진다.This process is repeated until the inspection of one lot is completed. In the present invention, the test trays 150 are arranged in two vertical rows and transferred to the test chamber 163, and the two test trays ( The 128 devices in 150 are simultaneously connected with the test head 100 for testing.

또한 본 발명의 디바이스의 언로딩 과정이 제 1 및 제 2단축로봇(172)(173)에 의한 소팅단계와, 언로더용 직교좌표 로봇(174)에 의한 로딩단계의 2단계로 진행되므로, 종래의 핸들러에 비해 디바이스 언로딩 타입이 현저하게 단축될 수 있다.In addition, since the unloading process of the device of the present invention proceeds to two stages, a sorting step by the first and second single axis robots 172 and 173 and a loading step by the orthogonal coordinate robot 174 for the unloader. The device unloading type can be significantly shortened compared to the handler of.

더욱이 디속챔버(164)가 하단의 리니어 가이드(202)를 이용하여 핸들러 본체(110)의 측면으로 간단히 분리되어 전기적 장치들의 유지보수를 용이하게 실시할 수 있어 보수기간이 획기적으로 단축될 수 있다.In addition, the de-chamber chamber 164 is simply separated to the side of the handler body 110 by using the linear guide 202 at the lower side, so that the maintenance of electrical devices can be easily performed, and the maintenance period can be significantly shortened.

이상과 같은 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 테스트 트레이가 2열의 수직 배치로 정렬되어 동시에 테스트 헤드로 공급되고, 이와 같이 공급되는 2개의 테스 트 트레이가 테스트 헤드에 동시에 접속되어 테스트가 진행되기 때문에 단위시간당 테스트 할 수 있는 디바이스의 수량이 배가될 수 있고, 따라서 생산량을 증대시킬 수 있다.In the test handler according to the present invention as described above, the test trays are arranged in a vertical arrangement of two rows, and are simultaneously supplied to the test heads. The number of devices that can be tested can be doubled, thus increasing production.

또한, 본 발명은 테스트 헤드는 수직 도킹구조이므로 테스트 헤드가 핸들러본체의 외부에 위치되어 디바이스와 접속되기 때문에, 종래와 같이 핸들러의 내부에 테스트 헤드를 위한 공간을 마련할 필요가 없어, 핸들러를 보다 콤팩트하게 구성할 수 있다. 더욱이 상기와 같은 이유로 기존의 테스트 헤드가 위치하는 공간을 유저트레이가 적재되는 스택커의 공간으로 활용할 수 있기 때문에, 보조 공급부나 출하부를 구비함으로써 2회에 런닝시킬 수 있는 롯트의 사이즈를 크게 할 수 있어 장비의 가동률을 극대화할 수 있다고 하는 효과도 있다.In addition, in the present invention, since the test head is a vertical docking structure, the test head is located outside the handler body and connected to the device, so that there is no need to provide a space for the test head inside the handler as in the prior art. It can be configured compactly. In addition, since the space where the existing test head is located can be used as the space of the stacker where the user tray is loaded, the size of the lot that can be run twice can be increased by providing the auxiliary supply unit or the shipping unit. As a result, the utilization rate of the equipment can be maximized.

또한 본 발명은 테스트 헤드가 핸들러 본체의 외부에 위치하기 때문에 체인지 카드 등을 교환하는 간단한 방법으로 보다 다양한 종류의 테스트 헤드와 조합하여 사용할 수 있는 등 장비의 호환성 측면에서 매우 유리한 효과가 있다.In addition, the present invention has a very advantageous effect in terms of compatibility of the equipment, such as the test head is located outside the handler body can be used in combination with a wider variety of test head in a simple way to replace the change card.

또한, 본 발명은 로더용 직교좌표 로봇의 핸드가 1회의 동작에 16개의 디바이스를 픽킹함과 아울러 디바이스의 프리사이징 동작이 필요없이 직접 인서트 내부에 디바이스를 안착시킬 수 있기 때문에, 디바이스 로딩타임을 단축시킬 수 있으며, 또한 디바이스의 언로딩 과정이 소팅파트와 언로딩파트로 분리되어 이루어지기 때문에 디바이스 언로딩 타임을 현저하게 단축시킬 수 있다. 따라서 단위시간당 처리할 수 있는 디바이스의 수량이 증대되어, 생산성 향상을 도모할 수 있다고 하는 효과도 있다.In addition, the present invention shortens the device loading time since the hand of the Cartesian coordinate robot for the loader picks 16 devices in one operation and can directly mount the device inside the insert without the need for the presizing operation of the device. In addition, since the device unloading process is divided into a sorting part and an unloading part, the device unloading time can be significantly shortened. As a result, the number of devices that can be processed per unit time is increased, and the productivity can be improved.

또한, 본 발명은 테스트 헤드에 의한 테스트 완료후 테스트 챔버와 매치플레이트가 후퇴하면서 즉시 테스트 완료된 트레이의 배출과 새로운 트레이의 진입이 동시에 이루어지므로 인덱싱 타임이 현저히 단축되어 생산성 향상을 도모할 수 있다.In addition, since the test chamber and the match plate retreat after completion of the test by the test head, the discharge of the tested tray and the entry of a new tray are simultaneously performed, thereby significantly reducing the indexing time and improving productivity.

또한, 본 발명은 보수유지를 위하여 디속챔버 하부의 리니어 가이드를 이용하여 디속챔버를 측면에서 분리해 낼 수 있으므로, 테스트 챔버 내부의 정비 및 본체 중앙부의 배선 체크가 용이하다.In addition, the present invention can separate the de-chamber chamber from the side by using the linear guide under the de-chamber chamber for maintenance, it is easy to maintain the inside of the test chamber and check the wiring of the central portion of the main body.

또한 본 발명은 내장 타입의 멀티 적재부를 사용하여 별도의 장치없이 용이하게 11종 이상의 디바이스를 분류 수납할 수 있다.In addition, the present invention can easily classify and store 11 or more types of devices without a separate device using a multi-loading unit of the built-in type.

이상과 같은 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 본 발명에서 청구하고 있는 청구범위의 요지를 벗어나지 않고도 당해의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로 본 발명의 기술보호범위는 상술한 실시예에 한정되지 않는다.As described above, the test handler according to the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art without departing from the gist of the claims claimed in the present invention. It is not limited to one embodiment.

Claims

A test handler which carries a semiconductor device and electrically connects it to a test head of test equipment at a predetermined test temperature, and tests the test device to classify the tested device according to the test result.

At least one test tray circulating inside the test handler with a plurality of devices selectively loaded or unloaded,

A test chamber for receiving at least one test tray loaded with a plurality of devices, the test head allowing the test head to test the plurality of devices,

The test chamber may include a duct for introducing air to the air, and supplying the plurality of semiconductor devices loaded in the test tray, and a match plate for connecting the device of the test tray to the socket of the test head. Equipped in,

The match plate has a plurality of through holes corresponding one to one with a plurality of semiconductor devices to be tested,

The duct is formed with an inlet through which air has been air-conditioned and a plurality of air discharge holes corresponding to the through plate of the match plate one to one, so that the match plate and the duct move together toward the test tray during the test. And the through hole of the match plate is in contact with the semiconductor element of the test tray.

delete

The method of claim 1,

The match plate may be replaced according to the type of semiconductor device to be tested.

The method according to claim 1 or 3,

And the match plate is free to detach from the duct.

The method according to claim 1 or 3,

And the duct and the match plate are arranged to be movable back and forth together by a cylinder.

delete

The method of claim 1,

Harmonic air flowing into the inlet of the duct is a test handler, characterized in that the air is blown by air conditioning from the external air conditioning device.