KR100552128B1 - 충격식 레이저 드릴링과 트리패닝 레이저 드릴링이 결합된 레이저 드릴링 공정 - Google Patents

충격식 레이저 드릴링과 트리패닝 레이저 드릴링이 결합된 레이저 드릴링 공정 Download PDF

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Abstract

소정의 직경보다 작은 직경의 중앙 구멍을, 초합금 부재를 통하여 충격식 레이저 드릴링하고, 그 후 소정의 직경에 대하여 구멍의 직경을 확장하기 위해 중앙 구멍 둘레를 트리패닝 레이저 드릴링하는 것에 의해, 초합금 부재에 비교적 크고 깊은 구멍을 레이저 드릴링하는 공정이 제공된다.

Description

충격식 레이저 드릴링과 트리패닝 레이저 드릴링이 결합된 레이저 드릴링 공정{COMBINED PERCUSSION AND TREPAN LASER DRILLING PROCESS}
본 발명은 부재 내에 구멍들을 레이저 드릴링(laser drilling)하는 공정에 관한 것이고, 보다 구체적으로는 초합금 부재 및 특히 터빈(turbine) 블레이드 및 날개와 같은 가스 터빈 부재에 비교적으로 크고 깊은 구멍들을 레이저 드릴링하는 공정에 관한 것이다.
터빈 블레이드 및 날개들과 같은 가스 터빈 부재 내에 냉각공(孔)과 같은 구멍들의 레이저 드릴링은 종래에 공지되었다. 레이저 재료 처리는 작업편의 표면 상으로 높은 전력 레이저 빔을 집중시키는 과정을 수반한다. 일부 빔은 흡수되고, 그 양은 재료 형태 및 표면 조건에 의존한다. 높은 전력(예를 들면, 250 와트)의 흡수에 의해 생성된 고강도(cm2당 107와트 정도) 및 0.010cm(0.004 인치) 내지 0.020cm(0.008 인치) 직경으로 빔을 집중시킴은 표면 재료의 가열, 용융 및 증발을 일으킨다.
레이저 드릴링은, 모든 아주 단단한 항공 우주용 합금에, 작은[예를 들면, 0.010cm(0.004 인치)] 직경 구멍들, 높은(>10:1) 종횡비(직경에 대한 깊이)를 가진 구멍들 및 표면으로부터 얕은 각(10°)의 구멍들을 만들기 위한 능력 때문에, 가장 주목할 만하다.
레이저 드릴링 공정에는 충격식(percussion) 드릴링 및 트리패닝 (trepanning)의 두 가지 형태가 있다. 충격식 레이저 드릴링 공정은 일반적으로 블레이드 및 노즐 가이드 날개들내에 냉각 구멍들의 드릴링을 위해 사용된다. 상기 공정은 재료의 두께를 관통하기 위한 일정한 빔 및 하나 이상의 펄스를 포함한다. 충격식 드릴링의 경우에, 구멍 직경은 빔 직경 및 전력 수준에 의해 결정된다.
트리패닝 레이저 드릴링은 구멍의 외형을 절삭하는 과정을 수반한다. 이 공정은, 일정한 집중 빔(즉, 충격식 드릴링에서 처럼)에 의해 만들어진 직경보다 큰 직경을 가진 구멍을 제조하기 위해, 원형 경로를 따른 빔의 이동을 포함한다. 레이저 빔과 동시에, 고압 불활성 또는 산화 가스가 노즐을 통하여 흘러, 레이저 용융 금속의 제거에 필요한 기계적 에너지를 제공한다. 트리패닝에 있어서, 상기 구멍 직경은 단지 작동 시스템 이동에 의해 제한된다.
상기 충격식 드릴링 및 트리패닝 공정은, 비교적으로 크고[예를 들면, 0.076cm(0.030 인치) 이상] 깊은[예를 들면, 0.76cm(0.30 인치) 이상] 구멍을 드릴링하는 경우에, 특히 Ni 및/또는 Co기 초합금에 구멍을 드릴링하는 경우에, 제한을 받는다. 상기 충격식 방법은, 구멍 직경이 약 0.076cm(0.030 인치)인 경우에, 슬래그가 쌓인 차단된 구멍을 효과적으로 드릴링할 수 있는 최대 종횡비가 약 10:1인 점에서 제한을 받는다. 추가로, 크고 깊은 구멍들이 충격식 드릴링되어질 때 형성된 구멍들은 테이퍼 경사진 상태, 즉 바닥부가 더 작은 상태로 관찰된다. 또한 크고 깊은 구멍들의 트래패닝은, 구멍들이 너무 깊게 되기 전에 슬래그가 구멍내에 축적되기 쉽고, 레이저 에너지가 부재에 의해 흡수되어 추가 드릴링을 방해하는 점에서 비효과적이다.
따라서 본 발명의 목적은 초합금 부재에 크고 깊은 구멍들을 레이저 드릴링하기 위한 공정을 제공하기 위한 것이다.
간단히 말해서, 니켈 및/또는 코발트기 초합금 부재에 구멍을 레이저 드릴링하기 위한 공정이 제공되고, 상기 구멍은 약 0.076cm(0.030 인치) 이상의 소정의 직경 및 약 10:1 이상의 직경에 대한 깊이 비율을 가지며, 상기 공정은 소정의 직경보다 작은 직경에 대한 초합금을 관통하는 중앙 구멍을 충격식 레이저 드릴링하는 단계와, 그 후 소정의 직경에 대하여 구멍의 직경을 확장하기 위해 중앙 구멍 둘레를 트리패닝 레이저 드릴링하는 단계를 포함한다. 상기 단계들은 균일한 구멍의 형성을 완성하기 위해 구멍 드릴링 공정시 필요한 만큼 되풀이된다.
일반적으로 레이저 드릴링은 CNC(컴퓨터 수치 제어)를 사용한 펄스 YAG 레이저로 실행된다. 상기 레이저는 일반적으로 약 250 와트의 평균 에너지를 가진 대략 0.020cm(0.004 인치) 내지 0.040cm(0.008 인치)의 빔을 생성한다. 광학 시스템은 드릴링될 부재의 표면위로 레이저 빔을 집중시키기 위한 렌즈를 포함한다. 상기 부재는 Ni 및/또는 Co기 초합금이다. 일반적인 초합금은 Mar-M509, IN-738, CMSX-4, IN-792, U520 및 X-40이다. 상기 부재들은 가스 터빈 부재, 예를 들면, 터빈 블레이드 및 날개가 될 수 있고, 구멍들은 일반적으로 피막 냉각 목적을 위해 드릴링되어진다. 드릴링되는 소정의 직경은, 약 10:1 이상의 직경에 대한 깊이의 비율을 가진 약 0.076cm(0.030 인치) 이상, 바람직하게 약 20:1 내지 30:1 이상의 직경에 대한 깊이의 비율을 가진 약 0.076cm(0.030 인치) 내지 0.25cm(0.10 인치)이다. 일반적으로, 구멍의 깊이는 1.0cm(0.4 인치) 내지 3.8cm(1.5 인치)의 범위이다.
상기 공정의 첫 번째 단계는 바람직한(소정의) 직경보다 작은 직경으로 초합금을 관통하는 중앙 구멍을 충격식 드릴링하는 것을 포함한다. 충격식 드릴링에 의해 형성된 중앙 구멍은 약 0.051cm(0.020 인치)까지의 직경, 바람직하게 0.025cm(0.01 인치) 내지 0.051cm(0.02 인치) 직경을 가진다. 20cm(8 인치) 초점 길이 렌즈는 중앙 구멍을 충격식 드릴링하는 데 사용될 수 있다. 일반적으로 충격식 레이저 드릴링시 4 내지 8 레이저 펄스/초가 사용된다. 상기 중앙 구멍 직경은 슬래그의 제거를 용이하게 하고 연속적인 트리패닝이 효율적으로 실행되도록 허용한다.
충격식 드릴링 후 트리패닝 레이저 드릴링은 중앙 구멍을 소정의 구멍으로 확장하기 위해 실행된다. 트리패닝은, 소정의 직경을 가진 구멍을 생성하기 위해 원형 경로를 따르는 레이저로 일련의 작은 원들을 레이저 드릴링하기 위한 것을 포함한다. 6 인치 초점 길이 렌즈는 트리패닝 원을 형성하기 위해 트리패닝시 사용될 수 있다. 트리패닝시 일반적으로 10 내지 15 레이저 펄스/초가 사용된다. 상기 부재에 대한 레이저 빔의 상대 운동은, 당해 분야에 공지된 방법들에 의해 레이저 빔 및/또는 부재를 이동시킴으로써 실행될 수 있다. 트리패닝시 만약 슬래그가 퇴적되어 드릴링을 방해한다면, 충격식 드릴링 단계가 반복된 후에 트리패닝 단계가 실시된다. 상기 두 개의 단계들은 소정의 구멍 직경이 초합금 재료의 충분한 깊이까지 균일하게 이루어질 때까지 되풀이된다.
레이저 드릴링 공정시 구멍의 후방부는 트리패닝동안 슬래그가 중앙 구멍을 통하여 배출될 수 있게 청결히 유지된다. 따라서, 장벽 재료(예를 들면, 수지)가 구멍의 출구에 인접하는 부위에는 사용되지 않는다. 그러나, 보호 장벽은 구멍의 출구에 대향하는 부재 벽의 부식을 방지하기 위해 바람직할 수 있다. 보호 장벽 재료(예를 들면, 수지)는, 레이저 빔의 경로내에 있는 부재의 표면이 기계 가공되거나 손상되는 것을 방지하기 위해, 구멍의 출구와 대향하는 부재의 벽 위에 사용될 수 있다.
일례
MAR M509 초합금으로 구성된 산업 터빈 날개의 2.3cm(0.9 인치) 두께 벽을 관통하는 0.11cm(0.045 인치) 직경 구멍을 생성하기 위해, M34 수렴 에너지 CNC 펄스된 YAG 레이저 기구를 사용하였다.
8 인치 초점 길이 렌즈를 사용하고 6 펄스/초의 레이저 펄스 속도의 조건을 사용하여, 부재를 관통하는 0.038cm(0.015 인치) 내지 0.051cm(0.020 인치) 직경의 중앙 구멍을 충격식 드릴링하였다. 6 인치 초점 길이 렌즈를 사용하고 12 펄스/초의 레이저 펄스 속도를 사용하여, 각 중앙 구멍 주위에 일련의 원형을 드릴링하는 트리패닝 레이저 드릴링을 실행하여 0.11cm(0.045 인치) 직경 구멍을 형성하였다. 트리패닝 동안 구멍내에 쌓인 슬래그가 중앙 구멍을 차단할 때, 중앙 구멍을 청결히 하기 위해 충격식 드릴링을 반복한 후에 트리패닝을 실시하였다. 0.11cm(0.045 인치) 직경 구멍이 2.3cm(0.9 인치) 깊이까지 도달할 때까지 반복하였다. 상기 구멍은 아주 작은 테이퍼를 가진 균일한 직경이다.

Claims (12)

  1. 니켈, 코발트 또는 니켈 및 코발트기 초합금 부재에, 0.076cm(0.030 인치) 이상의 소정의 직경, 1.0cm(0.4 인치) 이상의 구멍 깊이 및 10:1 이상의 깊이/직경 비율을 갖는 구멍을 레이저 드릴링하는 공정으로서,
    소정의 직경보다 작은 직경의 중앙 구멍을, 상기 부재를 관통하여 충격식 레이저 드릴링하는 단계,
    그 후 상기 구멍의 직경을 소정의 직경으로 확장하기 위해 중앙 구멍 둘레를 트리패닝 레이저 드릴링하는 단계, 및
    그 후 상기 구멍을 드릴링하기 위해 상기 충격식 레이저 드릴링 및 트리패닝 레이저 드릴링 단계를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 중앙 구멍은 직경이 0.051cm(0.020 인치) 이하인 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 구멍은 깊이/직경 비율이 20:1 내지 30:1인 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 소정의 직경은 0.076cm(0.030 인치) 내지 0.25cm(0.10 인치)인 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 구멍의 깊이는 1.0cm(0.4 인치) 내지 3.8cm(1.5 인치)인 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 구멍의 후미 출구에 인접하는 부위에 장벽 재료가 사용되지 않는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  7. 제 6 항에 있어서,
    구멍의 후미 출구에 대향하는 부재의 벽 위에 보호 장벽 재료가 사용되는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 부재는 가스 터빈 부재인 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 구멍이 냉각 구멍인 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  10. 제 1 항에 있어서,
    컴퓨터 수치 제어를 사용하여 상기 충격식 레이저 드릴링 및 상기 트리패닝 레이저 드릴링을 실행하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 충격식 드릴링을 4 내지 8 펄스/초로 실행하고, 상기 트리패닝을 10 내지 15 펄스/초로 실행하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링 공정.
  12. 삭제
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Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE59802893D1 (de) * 1998-03-23 2002-03-14 Alstom Nichtkreisförmige Kühlbohrung und Verfahren zur Herstellung derselben
US6359254B1 (en) * 1999-09-30 2002-03-19 United Technologies Corporation Method for producing shaped hole in a structure
US6362454B1 (en) 1999-10-01 2002-03-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for drilling circular holes with a laser beam
US6339208B1 (en) * 2000-01-19 2002-01-15 General Electric Company Method of forming cooling holes
US6501045B1 (en) 2000-04-06 2002-12-31 Resonetics, Inc. Method and apparatus for controlling the taper angle of the walls of laser machined features
WO2001076808A2 (en) 2000-04-11 2001-10-18 Gsi Lumonics Inc. A method and system for laser drilling
US6441341B1 (en) 2000-06-16 2002-08-27 General Electric Company Method of forming cooling holes in a ceramic matrix composite turbine components
US6420677B1 (en) * 2000-12-20 2002-07-16 Chromalloy Gas Turbine Corporation Laser machining cooling holes in gas turbine components
US6864459B2 (en) * 2001-02-08 2005-03-08 The Regents Of The University Of California High precision, rapid laser hole drilling
DE10106809A1 (de) * 2001-02-14 2002-09-19 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines Lochs in einem Körper, insbesondere eines Einspritzlochs in einem Kraftstoffinjektor
DE10144008A1 (de) * 2001-09-07 2003-03-27 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer Bohrung in einem Werkstück mit Laserstrahlung
GB2383769B (en) * 2001-10-06 2004-10-13 Rolls Royce Plc Method of laser drilling a hole
GB2381489B (en) * 2001-10-30 2004-11-17 Rolls Royce Plc Method of forming a shaped hole
US20040112881A1 (en) * 2002-04-11 2004-06-17 Bloemeke Stephen Roger Circle laser trepanning
US6749285B2 (en) * 2002-07-25 2004-06-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of milling repeatable exit holes in ink-jet nozzles
AU2003232000A1 (en) * 2002-07-25 2004-02-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inkjet nozzle and process of laser drilling a hole for use in inkjet nozzles
US6734390B1 (en) 2003-03-24 2004-05-11 Honeywell International, Inc. Laser cutting holes by trepanning on the fly
US7754999B2 (en) * 2003-05-13 2010-07-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Laser micromachining and methods of same
DE102004050047A1 (de) * 2004-10-14 2006-04-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Bohrungen mittels Laser
US7883320B2 (en) * 2005-01-24 2011-02-08 United Technologies Corporation Article having diffuser holes and method of making same
JP2007057008A (ja) * 2005-08-25 2007-03-08 Hitachi Metals Ltd 貫通孔を有する断面異形線材の製造方法
EP1806203A1 (de) 2006-01-10 2007-07-11 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung eines Lochs
JP2007326129A (ja) * 2006-06-08 2007-12-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP5177968B2 (ja) * 2006-07-04 2013-04-10 日東電工株式会社 貫通孔形成方法および配線回路基板の製造方法
FR2909297B1 (fr) 2006-11-30 2010-03-05 Snecma Procede de percage laser d'une piece en materiau composite a matrice ceramique, trou obtenu par ce procede, piece en materiau composite a matrice ceramique le comportant, turboreacteur comportant une telle piece.
US7812282B2 (en) * 2007-03-15 2010-10-12 Honeywell International Inc. Methods of forming fan-shaped effusion holes in combustors
JP4386137B2 (ja) * 2008-02-29 2009-12-16 トヨタ自動車株式会社 レーザ加工装置及びレーザ加工方法
EP2712700A1 (de) * 2010-05-04 2014-04-02 Siemens Aktiengesellschaft Laserbohren ohne Gratbildung
US9434025B2 (en) 2011-07-19 2016-09-06 Pratt & Whitney Canada Corp. Laser drilling methods of shallow-angled holes
US8631557B2 (en) * 2011-07-19 2014-01-21 Pratt & Whitney Canada Corp. Laser drilling methods of shallow-angled holes
US8624151B2 (en) * 2011-07-19 2014-01-07 Pratt & Whitney Canada Corp. Laser drilling methods of shallow-angled holes
US9931712B2 (en) 2012-01-11 2018-04-03 Pim Snow Leopard Inc. Laser drilling and trepanning device
WO2015108991A2 (en) 2014-01-17 2015-07-23 Imra America, Inc. Laser-based modification of transparent materials
US10077903B2 (en) 2014-10-20 2018-09-18 United Technologies Corporation Hybrid through holes and angled holes for combustor grommet cooling
US10087692B2 (en) 2015-07-17 2018-10-02 Saudi Arabian Oil Company Laser propelled tractor with laser operated logging tools
JP7325194B2 (ja) * 2019-02-19 2023-08-14 三菱重工業株式会社 溶接物製造方法、溶接物製造システム及び溶接物
JP7504135B2 (ja) 2019-06-17 2024-06-21 フラウンホーファー－ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン コンポーネントを穿孔する方法及び装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4169976A (en) * 1976-02-27 1979-10-02 Valfivre S.P.A. Process for cutting or shaping of a substrate by laser
JPS6182986A (ja) * 1984-09-28 1986-04-26 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ切断方法
US4737613A (en) * 1987-08-24 1988-04-12 United Technologies Corporation Laser machining method
US4873414A (en) * 1988-06-13 1989-10-10 Rolls Royce Inc. Laser drilling of components
GB2227965B (en) * 1988-10-12 1993-02-10 Rolls Royce Plc Apparatus for drilling a shaped hole in a workpiece
JPH02108484A (ja) * 1988-10-14 1990-04-20 Shibuya Kogyo Co Ltd レーザ光線による穴の形成方法
US5166493A (en) * 1989-01-10 1992-11-24 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus and method of boring using laser
GB8921040D0 (en) * 1989-09-16 1989-11-01 Rolls Royce Plc Laser barrier material
US5140127A (en) * 1989-09-20 1992-08-18 Rolls-Royce Plc Laser barrier material
DE3934587C2 (de) * 1989-10-17 1998-11-19 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Herstellen von mittels Laserstrahlung erzeugter, hochpräziser Durchgangsbohrungen in Werkstücken
GB2243320B (en) * 1990-04-26 1993-08-25 Ae Turbine Components Laser drilling
JPH0433788A (ja) * 1990-05-25 1992-02-05 Mitsubishi Electric Corp レーザ穴明け方法
GB2249279B (en) * 1990-10-17 1994-01-05 Rolls Royce Plc Improvements in or relating to drilling turbine blades
US5223692A (en) * 1991-09-23 1993-06-29 General Electric Company Method and apparatus for laser trepanning
FR2699844B1 (fr) * 1992-12-30 1995-02-03 Snecma Procédé et dispositif d'usinage par faisceau laser.
JP3162255B2 (ja) * 1994-02-24 2001-04-25 三菱電機株式会社 レーザ加工方法及びその装置
US5593606A (en) * 1994-07-18 1997-01-14 Electro Scientific Industries, Inc. Ultraviolet laser system and method for forming vias in multi-layered targets
US5609779A (en) * 1996-05-15 1997-03-11 General Electric Company Laser drilling of non-circular apertures

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