JP2007326129A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】樹脂材料基板に穴明け加工を施すレーザ加工装置において,レーザ光を発生するレーザ光源11と,レーザ光2を樹脂材料基板3の所定の位置に集光して照射するためのレーザ照射光学系12と,樹脂材料基板3を固定するステージ4と,ステージ4を移動させる移動手段と,を備え,ステージ4は,その内部に空気を吸引して空気の流れを発生させるための空洞を有し,ステージ上面に,樹脂材料基板3に前記レーザの穴明け加工による貫通穴に対応する位置にその穴径よりも大きいレーザ貫通用逃げ穴を有し,穴明け加工は,最初,目標穴径よりも小さい貫通下穴を開け,次に目標穴径の外形に沿ってレーザ照射光学系12を走査してレーザ光を樹脂材料基板3に照射する。
【選択図】図1
Description
また,レーザ光を照射する前段階で加工対象物を帯電させる事により,レーザ光によって飛散する飛散物が加工対象物に付着する事を防ぐ方法(特許文献3参照)やレーザ光を照射し,飛散物が飛散する経路に帯電極性とは逆極性のイオンを供給する方法(特許文献4参照)が行われている。
前記ステージの空洞の空気を吸引して空気の流れを発生させ穴あけ加工の際に発生する溶融飛散物を捕集する工程,とを備えることを特徴としたものである。
図4は,実施例1におけるステージ4の内部構造を説明するための図である。
図5(a),(b)は,穴明け加工時の飛散物が再付着する様子を説明するための図であり,図6(a),(b),(c)は,本発明の実施例における飛散物が再付着しない様子を説明するための図である。
図7,9は,レーザ加工装置において樹脂材料基板3を固定するステージ4に関する別の構成を書いたもの図であり,図8は,図7のステージ4の内部構造を説明するための図である。図10は本実施例のレーザ加工方法のフローチャートであり,図11は,本実施例にて使用するレーザ光のビームスポットの光強度をあらわした図である。
図12は,レーザ貫通用逃げ穴10を使用した穴明け加工9後の樹脂材料基板3の固定について説明するための図
図13,14は,従来方法の一例を示す図である。
吸引装置によるレーザ貫通用逃げ穴10からの吸引力により異なるが,シート厚さ0.1mm〜1mm程度の樹脂材料の場合,目標寸法の直径よりも0.5mm〜10mm程度大きいことが望ましい。本実施例においては目標寸法の穴径よりも3mm程度大きな穴をレーザ貫通用逃げ穴10とし,固定と煙や溶融飛散物15の吸引に使用する。
また,図6(b)に示す貫通穴90を形成する加工途中には,樹脂材料基板3には穴がないため,レーザ貫通用逃げ穴10の方向へ煙や溶融飛散物15を吸引することができず,図6(b)に示す加工後には,加工部周辺には再付着物16が発生してしまう場合がある。
(1)ステップS1にて,樹脂材料基板3をステージ4上の規定の位置に配置する。
(2)ステップS2では,ステップS1にてステージ4に配置された樹脂材料基板3を吸引装置とステージ4のレーザ貫通用逃げ穴10を使用して固定する。ステージ4の吸引口6吸引装置を動作させ,レーザ貫通用逃げ穴10によってステージ上面からステージ内部へ向けて吸引する力が発生するため,この吸引を使用して樹脂材料3をステージ4と密着固定する。
(3)ステップS3では,ステージ4に接続された移載手段7,8を用いてレーザ加工を行う所定の位置まで樹脂材料基板3を移動する。
(4)ステップS4では,目標寸法より小さな穴90を加工する。本実施例においては,目標寸法300μmの1/2である150μmの穴明け加工を定点照射にて加工を行う。
(5)ステップS5では,目標寸法300μmになるようにステップS4にて穴明け加工した150μmの穴を中心にその周りをレーザ装置1のレーザ光学系12,13を走査させ照射加工する。ステップS4にて加工した小さい穴90の中心にレーザ照射することで,ステップS5のレーザ照射にて発生する煙や溶融飛散物15は,ステージ4のレーザ貫通用逃げ穴10より吸引され,またステップS4の小さい穴90加工時に小さい穴90の加工部周辺に付着した付着物16もステップS5のレーザ照射にて除去されるため,貫通穴9加工後には,樹脂材料3に再付着することがない。
(6)ステップS6は,樹脂材料3のシート全体の加工が終了できたかどうかを確認し,シート全体の加工が終わっていなければ,ステップS3〜ステップS5の処理を行う
(7)ステップS7は,シート全体の加工が終了すれば,ステージ4と樹脂材料基板3の固定を解除するため,ステージ4に接続された吸引装置を停止し,レーザ貫通用逃げ穴10からの吸引を止め,樹脂材料基板3を搬出する。
2 レーザ光
3 樹脂材料基板
4 ステージ
5 樹脂材料を固定するための吸引口
6 ステージ4の内部に空気の流れを発生させるための吸引口
7 移戴手段
8 移戴手段
9 レーザ光2によって施された穴もしくは加工箇所
10 レーザ貫通用逃げ穴
11 レーザ光源
12 レーザ照射光学系
13 レーザ照射光学系
14 fθレンズ
15 煙や溶融飛散物
16 再付着した付着物
20 飛散物を吸引するための吸引口
21 空気噴出口
22 樹脂シート固定用溝
23 吸引調整穴
24 樹脂材料基板固定用穴
25 樹脂材料基板加工周辺部分
90 目標寸法より小さい寸法の貫通穴
Claims (8)
- レーザ光を照射して樹脂材料基板に穴明け加工するレーザ加工装置において,
レーザ光を発生するレーザ光源と,
レーザ光を前記樹脂材料基板の所定の位置に集光して照射するためのレーザ照射光学系と,前記樹脂材料基板を固定するステージと,
前記ステージを移動させる移動手段と,を備え,
前記ステージは,その内部に空気を吸引して空気の流れを発生させるための空洞を有し,
前記ステージ上面に,前記樹脂材料基板に前記レーザの穴明け加工による貫通穴に対応する位置に当該穴径よりも大きいレーザ貫通用逃げ穴を有し,
前記穴明け加工は,最初,目標穴径よりも小さい貫通下穴を開け,次に前記下穴周辺に沿って前記レーザ照射光学系を走査してレーザ光を前記樹脂材料基板に照射して規定の穴径の穴明けを行なうことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記ステージ空洞内部の空気の吸引により前記樹脂材料基板を当該ステージ上面に密着固定するとともに,前記空気の吸引にて発生する空気流により,前記穴あけ加工の際に発生する溶融飛散物を捕集することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記下穴径は,目標穴径の1/5〜2/3であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記ステージ面上に前記レーザ貫通用逃げ穴と干渉しない位置に溝を配置し,当該溝は,
前記ステージ内部で空気を吸引して前記樹脂材料基板を固定するためにステージ端面に設けられる吸引口と繋がっていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - ステージに樹脂材料基板を固定し,当該ステージ上面に穴加工される孔に対応する位置に貫通穴と,当該貫通穴に繋がり空気を吸引して空気の流れを発生させるための空洞とを有し,前記樹脂材料基板にレーザ光を照射して該樹脂材料基板に穴明け加工するレーザ加工方法において,
前記樹脂材料基板を前記ステージの空洞の空気を吸引してステージに密着固定させる工程,
前記樹脂材料基板に前記レーザ光を定点照射して目標穴径よりも小さい下穴を貫通加工する工程,
前記下穴を貫通加工する工程後,前記下穴周辺に沿って前記レーザ照射光学系を走査してレーザ光を照射する工程,
前記ステージの空洞の空気を吸引して空気の流れを発生させ穴あけ加工の際に発生する溶融飛散物を捕集する工程,
とを備えることを特徴とするレーザ加工方法 - 前記定点照射して穴明けする下穴は,目標穴径の中央に位置することを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工方法。
- 前記下穴径は,目標穴径の1/5〜2/3であることを特徴とする請求項6に記載のレーザ加工方法。
- 樹脂材料基板にレーザ光を照射して穴明け加工するレーザ加工方法において,
前記樹脂材料基板の加工すべき穴中心位置に前記レーザ光を定点照射して目標穴径よりも小さい下穴を貫通加工する第1の加工工程,
前記第1の加工工程後,前記下穴周辺に沿って前記レーザ照射光学系を走査してレーザ光を照射して目標穴径を貫通加工する第2の加工工程,
前記第2の加工工程は、前記下穴を通じて空気を吸引し空気の流れを発生させ穴あけ加工の際に発生する溶融飛散物を捕集することを特徴とするレーザ加工方法
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