KR100544174B1 - 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100544174B1
KR100544174B1 KR1019990023946A KR19990023946A KR100544174B1 KR 100544174 B1 KR100544174 B1 KR 100544174B1 KR 1019990023946 A KR1019990023946 A KR 1019990023946A KR 19990023946 A KR19990023946 A KR 19990023946A KR 100544174 B1 KR100544174 B1 KR 100544174B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magneto
coil
layer
optical recording
lens
Prior art date
Application number
KR1019990023946A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20010003589A (ko
Inventor
김운배
이병찬
신형재
연철성
이상훈
신종우
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1019990023946A priority Critical patent/KR100544174B1/ko
Priority to US09/599,500 priority patent/US6633513B1/en
Priority to JP2000189258A priority patent/JP3639504B2/ja
Priority to CNB001187597A priority patent/CN1220197C/zh
Priority to TW089112233A priority patent/TW512310B/zh
Publication of KR20010003589A publication Critical patent/KR20010003589A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100544174B1 publication Critical patent/KR100544174B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/122—Flying-type heads, e.g. analogous to Winchester type in magnetic recording
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10532—Heads
    • G11B11/10534—Heads for recording by magnetising, demagnetising or transfer of magnetisation, by radiation, e.g. for thermomagnetic recording
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/10552—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base
    • G11B11/10554—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base the transducers being disposed on the same side of the carrier
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/22—Apparatus or processes for the manufacture of optical heads, e.g. assembly
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/1058—Flying heads
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13725—Catadioptric lenses, i.e. having at least one internal reflective surface
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/17—Construction or disposition of windings
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/313—Disposition of layers

Abstract

자계변조용 코일의 구조 및 소형의 대물렌즈에 대한 취부 방법이 개선된 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법이 개시되어 있다.
이 개시된 장치는 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되며, 광자기 기록매체에 광스폿이 맺히도록 입사광을 집속시키는 렌즈와; 판 형상의 코일이 적어도 두 개층 이상 적층되고 각 층의 전기접점이 서로 연결된 복수의 코일층과, 코일층 사이에 개재되어 각 코일층을 전기적으로 절연시키는 절연층을 포함하는 코일부재와; 광자기 기록매체에 대면되는 렌즈의 일 면에 코일부재가 부착되도록 코일부재와 렌즈 사이에 개재된 접합부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 광자기헤드 제조방법은 기판 상에 희생층을 형성하는 단계와; 희생층 상에 복수층의 코일층과 절연층을 갖는 코일부재를 형성하는 단계와; 희생층과 코일부재에 패터닝에 의해 중공을 형성하는 단계와; 코일부재의 최상층 코일 상에 도금용 몰드를 형성하고, 솔더를 도금하여 솔더범프를 형성하는 단계와; 렌즈의 하면에 소정 형상의 금속박막을 코팅하는 단계와; 가열하여 코일부재 상에 렌즈가 융착되도록 하는 단계와; 희생층을 제거하여 기판을 렌즈 및 코일부재에서 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법{Magneto-optical head for magneto-optical recording and reading driver and method for manufacturing thereof}
도 1은 일반적인 광자기 기록재생장치를 보인 개략적인 평면도.
도 2는 종래의 광자기 기록재생장치의 광자기헤드를 보인 정면도.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에서 바라본 저면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드의 슬라이더에 탑재된 모습을 개략적으로 보인 정면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드를 개략적으로 보인 부분 단면도.
도 6은 도 5의 렌즈 저면을 개략적으로 보인 저면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드의 코일부재를 개략적으로 보인 분리 사시도.
도 8a 내지 도 8e 각각은 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법을 설명하기 위해 나타낸 도면.
도 9a 내지 도9k 각각은 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드의 코일부재 제조방법을 설명하기 위해 나타낸 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100...광자기 기록매체 110...슬라이더 120...렌즈
121...투과부 123...제1반사부 125...제2반사부
127...출사부 129...전도성 반사막 140...코일부재
141, 151...코일층 143...절연층 153...연결용 패턴
160...접합부재 161...솔더범프 200...기판
210...희생층 215...접착층 220...중공
230, 230'...제1도금기반층 231...제1절연용 그루브
240, 240'...제1도금틀 250, 250'...제2도금기반층
251...제2절연용 그루브 260, 260'...제2도금틀
본 발명은 자계변조용 코일의 구조 및 소형의 대물렌즈에 대한 취부 방법이 개선된 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 광자기 기록재생장치는 광자기 기록매체에 대해 자계변조를 통해 정보를 기록하고 기록된 정보를 광학식으로 재생하는 장치이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 광자기 기록재생장치는 베이스(10)에 대해 왕복 회전 가능하게 설치된 스윙암(21)과, 상기 스윙암(21)에 회전 구동력을 제공하는 액튜에이터(23)와, 공기동압에 의해 광자기 기록매체(1)에 대해 부상된 채로 광자 기 기록매체(1)의 트랙을 스캔할 수 있도록 상기 스윙암(21)의 단부에 설치된 슬라이더(25) 및, 이 슬라이더(25)에 설치되어 광학식으로 정보를 재생할 수 있도록 상기 광자기 기록매체(1)에 광스폿을 형성하는 대물렌즈(31)와 자계변조를 위한 코일을 구비한 광자기헤드(30)를 포함하여 구성된다.
도 2 및 도 3를 참조하면, 종래의 광자기 기록재생장치의 광자기헤드(30)는 슬라이더(25)에 설치되어 입사된 레이저광을 광자기 기록매체(1)에 집속시키는 대물렌즈(31)와, 이 대물렌즈(31)와 광자기 기록매체(1) 사이에 위치되도록 상기 슬라이드(25)의 일측에 수평방향으로 설치된 한 쌍의 마그네틱 폴(33)(35)과, 상기 한 쌍의 마그네틱 폴(33)(35) 각각에 감긴 제1 및 제2코일(37)(39)을 포함한다. 여기서, 상기 마그네틱 폴(33)(35)은 상기 대물렌즈(31)를 통해 집속된 광이 통과할 수 있도록 상호 이격되게 배치되어 있으며, 상기 마그네틱 폴(33)(35)에 감긴 제1 및 제2코일(37)(39)은 서로 반대방향으로 감겨있다. 따라서, 상기 제1 및 제2코일(37)(39)에 인가된 전류의 방향에 따라 형성되는 수평자계에 의해 광자기 기록매체(1)에 정보를 기록한다.
이와 같은 구조의 광자기헤드(30)는 대물렌즈(31)의 하단부에 수평한 방향으로 설치된 마그네틱 폴(33)(35)에 제1 및 제2코일(37)(39)을 권선한 구조를 가짐으로 크기를 소형화하는데 한계가 있고, 수평자계에 의한 기록에 의해 기록밀도의 효율과 근접장 기록의 성능이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 제1 및 제2코일(37)(39)을 마그네틱 폴(33)(35)에 권선함으로써 조립성 및 비용, 수율 저하 등으로 의한 양산성이 떨어진다는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 자계변조용 코일을 반도체 공정에 의해 패턴닝하여 형성함으로써 초소형화하여 근접장 기록 성능을 개선함과 아울러, 코일의 초소형화에 따른 조립상의 난점을 해결할 수 있도록 된 구조의 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광자기방식으로 정보의 기록 및 재생할 수 있도록 된 광자기 기록재생장치의 광자기헤드에 있어서, 상기 슬라이더에 설치되며, 상기 광자기 기록매체에 광스폿이 맺히도록 입사광을 집속시키는 렌즈와; 나선형 구조로 권선된 판 형상의 코일이 적어도 두 개층 이상 적층되고 각 층의 전기접점이 서로 연결된 복수의 코일층과, 상기 코일층 사이에 개재되어 각 코일층을 전기적으로 절연시키는 절연층을 포함하는 코일부재와; 상기 광자기록매체에 대면되는 상기 렌즈의 일 면에 상기 코일부재가 부착되도록 함과 아울러 상기 코일층에 외부전원이 연결되도록 상기 코일부재와 상기 렌즈 사이에 개재된 접합부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 접합부재는 상기 코일부재의 최상층에 위치된 코일층에 대해 돌출 형성된 것으로, 열융착에 의해 상기 렌즈에 접합됨과 아울러 외부전원에 연결되도록 된 전도성 물질의 솔더범프로, 주석-납(Sn-Pb) 합금, 은-주석-납(Ag- Sn-Pb) 합금 및, 금-주석(Au-Sn) 합금으로 구성된 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법은 기판 상에 희생층을 형성하는 단계와; 상기 희생층 상에 복수층이 코일층과 절연층을 갖는 코일부재를 형성하는 단계와; 상기 희생층과 상기 코일부재에 패터닝에 의해 중공을 형성하는 단계와; 상기 코일부재의 최상층에 위치된 코일층 상에 도금용 몰드를 형성하고, 솔더를 도금하여 솔더범프를 형성하는 단계와; 광자기 기록매체 쪽으로 소정 길이 돌출된 출사부를 가지며 입사광을 집속시켜 상기 광자기 기록매체에 광스폿이 맺히도록 하는 렌즈를 마련하고, 상기 출사부를 제외한 상기 렌즈의 하면에 소정 형상의 금속박막을 코팅하는 단계와; 상기 출사부가 상기 중공에 끼워진 상태로 상기 렌즈를 상기 솔더범프 상에 위치시킨 후, 가열하여 상기 코일부재 상에 상기 렌즈가 융착되도록 하는 단계와; 상기 희생층을 제거하여 상기 기판을 상기 렌즈 및 코일부재에서 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 코일부재 형성단계는, 희생층 상에 도금기반층을 패터닝하는 단계와; 상기 패터닝 된 도금기반층 상에 소정 높이로 몰드를 도포한 후, 상기 몰드를 패터닝하여 도금틀을 형성하는 단계와; 상기 도금틀 사이에 금속을 도금하여 소정 두께로 일층의 코일을 형성하는 단계와; 상기 도금틀과 상기 코일 상에 절연층을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 절연층 상에 상기한 도금기반층 형성단계, 도금기반층 패터닝단계, 도금틀 형성단계, 코일 형성단계 및, 절연층 형성단계를 순서 대로 적어도 일 회 이상 반복하여, 각 코일 사이의 평탄성이 유지된 채로 각 층의 코일이 다층으로 적층되도록 된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법을 상세히 설명한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드는 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체(100) 상에서 움직이는 슬라이더(110)에 설치된다. 이 광자기헤드는 상기 슬라이더(110)에 설치되며 상기 광자기 기록매체(100)에 광스폿이 맺히도록 입사광을 집속시키는 렌즈(120)와, 상기 광자기 기록매체(100)에 대면되는 상기 렌즈(100)의 일면에 부착된 코일부재(140)와, 상기 코일부재(140)가 상기 렌즈(120)에 부착되도록 함과 아울러 상기 코일부재(140)에 외부전원이 연결되도록 하는 접합부재(160)를 포함하여 구성된다.
상기 렌즈(120)는 근접장 기록시에는 레이저 등의 입사광을 광자기 기록매체(100)에 집속시켜 광스폿이 형성되도록 한다. 이에 따라, 광자기 기록매체(100)의 광스폿이 형성된 부분이 큐리 온도 이상으로 가열되고, 상기 코일부재(140)를 통하여 수직자계를 발생시킴으로써 자기적으로 정보를 기록한다. 재생시에는 상기 렌즈(120)를 통해 집속 형성된 광스폿이 큐리온도 보다 낮은 온도를 가지도록 하고, 형성된 자기적 정보의 방향에 따른 편광방향의 변화하는 성질 즉, 커 효과(Kerr's Effect)를 이용하여 재생한다.
이를 위하여, 상기 렌즈(120)는 투과부(121), 제1반사부(123), 제2반사부(125), 출사부(127) 및, 전도성 반사막(129)을 포함하여 구성된다. 상기 투과부(121)는 입사광(L)을 발산투과시키도록 오목하게 형성된다. 상기 제1반사부(123)는 상기 투과부(121)에 대향되게 배치된 평면으로 입사된 광을 상기 투과부(121) 주변에 위치된 제2반사부(125)로 반사시킨다. 상기 제2반사부(125)는 상기 제1반사부(123)에서 반사되어 입사된 광을 집속 반사시키도록 상기 투과부(121) 주변에 오목반사경 구조로 형성된다. 상기 출사부(127)는 상기 제1반사부(123)의 중앙에 대해 외측으로 소정 길이 돌출 형성된 것으로, 상기 제2반사부(125)에서 집속된 광을 투과시켜 상기 광자기 기록매체(100)에 맺히도록 한다. 상기 출사부(127)는 기록 재생시 상기 광자기 기록매체(100)에 대해 소정 간격 부상된 채로 마주하게 배치된다. 상기 전도성 반사막(129)은 도 6에 도시된 바와 같이, 외부전원의 단자가 전기적으로 결합되도록 적어도 두 부분(129a)(129b)으로 분리된 상태로 상기 제1반사부(123)의 외측면에 형성되어 있다. 이 전도성 반사막(129)은 상기 접합부재(160)가 융착되어, 외부전원 단자를 통해 공급된 전류가 상기 코일부재(140)에 전달되도록 한다. 또한, 상기 제1반사부(123)에 입사된 광이 상기 제2반사부(125)로 전반사되도록 한다.
상기 코일부재(140)는 나선형 구조로 권선된 판 형상의 코일이 적어도 두 개층 이상 적층되고 각 층의 전기접점이 서로 연결된 복수의 코일층(141)(151)과, 상기 코일층(141)(151) 사이에 개재되어 각 코일층(141)(151)을 전기적으로 절연시키는 절연층(143)을 포함한다. 도 4 및 도 5는 이층의 코일층 구조를 갖는 경우를 예로 들어 나타낸 것으로, 제1층코일(141) 및 제2코일층(151)과 상기 절연층(143)은 도 7에 도시된 바와 같다.
도 7을 참조하면, 제1층코일(141)은 상기 렌즈(120)의 출사부(127) 주변의 소정 범위 내에 일 방향 예컨대 반시계 방향으로 권선된 나선형 구조를 가진다. 이 제1층코일(141)은 권선된 코일의 내측 단부에 형성된 제1접점(141a)과, 외측에 위치된 제2접점(141b)을 가지며, 이 제1 및 제2접점(141a)(141b)은 상기 절연층(143)을 관통하여 상기 제2층코일(151) 및 상기 전도성 반사막(129)에 전기적으로 연결된다. 제2층코일(151)은 상기 절연층(143)에 의해 구분된 채로 제1층코일(141) 상에 적층 형성되는 것으로, 상기 제1층코일(141)의 권선방향과 동일 권선방향으로 감긴 나선형 구조를 가진다. 상기 제2층코일(151)은 상기 제1접점(141a)에 연결되는 제3접점(151a)과, 상기한 접합부재(160)를 통해 상기 전도성 반사막(129)에 연결되는 제4접점(151b)을 가진다. 또한, 이 제2층코일(151)의 주변에는 상기 제2층코일(151)과는 전기적으로 절연되고 상기 전도성 반사막(129)을 통해 공급된 전류가 상기 제1층코일(141)에 전달되도록 연결하는 연결용 패턴(153)이 형성되어 있다. 따라서, 전도성 반사막의 두 부분(129a)(129b)과 상기 제1 및 제2층코일(141)(151) 사이에 폐회로가 구성된다. 즉, 상기 전도성 반사막(129)의 일 부분(129b)은 상기 연결용 패턴(153)을 통해 상기 제1층코일(141)의 제2접점(141b)에 연결되고 상기 제1층코일(141) 전체를 경유한 후, 제1접점(141a) 및 제3접점(151a)을 통해 제2층코일(151)에 연결된다. 그리고, 상기 제2층코일(151) 전체를 경유한 후 상기 제4접점(151b)을 통해 상기 전도성 반사막(129)의 다른 부분(129a)에 연결된다.
상기 절연층(143)은 상기 제1 및 제2층코일(141)(151) 자체의 전기적 절연과 상기 제1층코일(141)과 제2층코일(151) 사이의 전기적 절연을 위하여 마련된 것으로, 상기 제1접점(141a)과 제3접점(151a) 사이의 전기적 연결 및 제2접점(141b)과 연결용 패턴(153) 사이의 전기적 연결을 위하여 형성된 관통공(143a)(143b)을 가진다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 광자기 기록매체(100) 상에서 상기 슬라이더(110)가 부상되어 움직일 때, 상기 코일부재(140)가 상기 광자기 기록매체(100)에 접촉되지 않도록, 상기 렌즈(120)의 출사부(127)의 길이는 상기 코일부재(140) 및 접합부재(160)의 전체 높이 보다 상대적으로 길게 형성된 것이 바람직하다.
상기 접합부재(160)는 상기 코일부재(140)의 최상층에 위치된 코일층 예컨대 제2층코일(151)에서 돌출 형성된 것으로, 열융착에 의해 상기 전도성 반사막(129)에 상기 코일부재(140)를 접합시킴과 아울러, 상기 전도성 반사막(129)에 상기 제1 및 제2코일층(141)(151)이 전기적으로 연결되도록 하는 전도성 물질인 솔더범프(161)인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 솔더범프(161)의 재질은 주석-납(Sn-Pb) 합금, 은-주석-납(Ag-Sn-Pb) 합금 및, 금-주석(Au-Sn) 합금으로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 솔더범프(161)는 상기 양분된 전도성 반사막(129a)(129b) 각각에 대해 상기 제1층코일(141)과 제2층코일(151)이 독립적으로 연결되도록 배열된다. 즉, 솔더범프(161)와 전도성 반사막(129) 사이의 소정의 접촉면적 확보와 전도성 반사막 (161) 사이의 전극분리를 위하여 제2층코일(151)의 상부에 패턴을 형성한 후 도금에 의해 배열한다. 이와 같이 형성된 솔더범프(161)에는 자연 산화막이 존재하며 이는 융착을 방해한다. 이를 감안하여 상기 솔더범프(161)에 대한 상기 렌즈(120)의 열 융착은 플럭스리스 리플로우 솔더링(fluxless reflow soldering) 방식으로 고순도 질소분위기 또는 진공 분위기에서 융제(flux)없이 열에 의해 수행된다. 즉, 고순도 질소 또는 진공 분위기에서 고온에 의한 솔더범프(161)의 표면에 산화막이 형성되는 것을 방지함과 아울러 자연산화막의 파단을 용이하게 하여 접착력을 향상시킬 수 있다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 광자기 기록재생장치용 광자기헤드의 제조방법을 상세히 설명한다.
도 8a 내지 도 8e는 2층박막적층 구조의 코일부재를 갖는 광자기헤드의 제조공정을 개략적으로 보인 것이다.
도 8a에 도시된 바와 같이, 실리콘 웨이퍼 등으로 된 기판(200)을 준비하고, 이 기판(200) 상에 희생층(210)을 형성한다. 그리고, 상기 희생층(210) 상에 복수층 예컨대 2층의 코일층과 절연층을 갖는 코일부재(140)를 형성한 후, 도 4에 도시된 바와 같은 렌즈(120)의 출사부(127)가 위치될 중공(220)을 형성한다.
상기 렌즈(120)의 출사부(127)가 상기 코일부재(140)의 두께보다 길게 형성되도록 상기 중공(127)은 상기 코일부재(140)와 희생층(120)을 관통하여 형성된다.
상기 희생층(120)은 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 포토레지스트 등의 재질로 구성된다. 여기서, 상기 희생층(120)을 포토레지스트로 구성한 경우는 후공정에 의 해 제거가 용이하다는 이점이 있고, 티타늄(Ti) 또는 크롬(Cr)으로 구성한 경우는 후술하는 도금기반층(230)의 형성이 용이하다는 이점이 있다.
이어서, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 코일부재(140)의 최상층에 위치된 코일층 예컨대 제2층코일(도 7의 151) 상에 도금용 몰드를 형성하고, 솔더를 도금하여 솔더범프(161)를 형성한다. 바람직하게는 상기 솔더범프(161)는 주석-납(Sn-Pb) 합금, 은-주석-납(Ag-Sn-Pb) 합금 및, 금-주석(Au-Sn) 합금으로 구성된 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진다.
그리고, 도 8c에 도시된 바와 같이, 광자기 기록매체(도 4의 100) 쪽으로 소정 길이 돌출된 출사부(127)를 가지며 입사광을 집속시켜 상기 광자기 기록매체(100)에 광스폿이 맺히도록 하는 렌즈(120)를 마련하고, 이 렌즈(120)의 출사부(127)를 제외한 하면 즉, 제1반사부(123)에 대향되는 면에 코팅에 의해 금속박막으로 된 전도성 반사막(129)을 형성한다.
이후, 도 8d에 도시된 바와 같이, 상기 출사부(129)가 중공(210)에 끼워진 상태로 렌즈(120)를 솔더범프(161) 상에 위치시킨 후, 코일부재(124) 상에 상기 렌즈(120)가 융착되도록 가열한다. 여기서, 상기 솔더범프(161)에 대한 상기 렌즈(120)의 열 융착은 플럭스리스 리플로우 솔더링(fluxless reflow soldering) 방식으로 순수 질소분위기 또는 진공 분위기에서 융제없이 열에 의해 수행된다. 이에 따라, 고순도 질소 또는 진공 분위기에서 고온에 의한 솔더범프(161)의 표면에 산화막이 형성되는 것을 방지함과 아울러 자연산화막의 파단을 용이하게 하여 접착력을 향상시킬 수 있다.
마지막으로, 도 8d에 도시된 희생층(210)을 제거하여 상호 융착된 상기 렌즈 (120) 및 코일부재(140)를 기판(200)에서 분리함으로써 도 8e에 도시된 바와 같은 구조의 광자기헤드가 제조된다.
여기서, 도 8a를 참고로 설명된 코일부재 형성단계를 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
우선, 도 9a에 도시된 바와 같이, 기판(200) 상부에 형성된 희생층(210) 상에 제1도금기반층(230)을 형성한다. 상기 제1도금기반층(230)는 제1층코일(도 9c의 141)의 도금 증착을 위한 층으로, 구리 등의 전기 전도성이 우수한 물질을 진공 증착함으로써 형성된다. 여기서, 상기 희생층(210)이 포토레지스트로 형성된 경우는 상기 제1도금기반층(230)의 증착 형성시 접착성을 고려하여 상기 희생층(210) 상에 크롬, 티타늄 등으로 된 접착층(215)을 먼저 증착한 후, 상기 제1도금기반층(230)을 증착하는 것이 바람직하다. 상기 제1도금기반층(230)은 크롬-구리(Cr-Cu) 합금 또는 티타늄-구리(Ti-Cu) 합금로 이루어진 것이 바람직하다.
그리고, 도 9b에 도시된 바와 같은 형상으로, 도금될 제1층코일(141)의 형상에 대응되게 제1도금기반층(230')를 패터닝한다. 즉, 후술하는 제1도금틀(240)에 대향되는 부분을 제거하여 제1절연용 그루브(231)를 형성한다. 이는 제1도금틀(240)의 제거없이 마이크로코일을 제조하여 제2층코일의 기반이 되는 절연층의 평탄성을 유지하기 위함이다.
이어서, 도 9c에 도시된 바와 같이 상기 패터닝된 제1도금기반층(230') 상에 소정 높이로 몰드를 도포한 후, 상기 몰드를 제1층코일(141)의 형상에 대응되는 네 거티브 형상으로 도금용 몰드를 패터닝하여 제1도금틀(240)을 완성한다. 여기서, 상기 제1도금기반층(230')은 대략 1000Å 정도의 얇은 막이므로, 그 상부에 상기한 도금용 몰드를 스핀코팅과 같은 방법으로 도포하는 경우 도금용 몰드의 상부면이 평탄성을 유지하게 된다. 이 제1도금틀(240)은 포토레지스트 등의 절연물질로 이루어진다. 이 경우, 한 번의 사진식각으로 패터닝이 가능하다는 이점이 있다.
이후, 도 9d에 도시된 바와 같이, 패터닝에 의해 형성된 제1도금틀(240) 사이에 금속을 도금하여 소정 선폭의 나선형 구조를 갖는 제1층코일(141)을 소정 두께로 형성한다. 여기서, 제1층코일(141)은 많은 전류를 흘리는 용도로 사용되는 것으로 비교적 두꺼운 금속막이므로 도금에 의해 형성하는 것이 바람직하다. 여기서, 도금 방법은 전기도금법과 무전해도금법 모두 이용가능하다.
이어서, 도 9e에 도시된 바와 같이, 상기 제1도금틀(240)을 열처리한다. 이는 상기 제1도금틀(240)에 남아있는 용제를 완전히 제거하여, 열처리된 제1도금틀(240')이 열적으로 변형되는 것을 최소화하기 위함이다. 여기서, 열처리 단계를 거치는 경우, 제1도금층(240')의 높이가 낮아지게 된다. 이를 감안하여, 도 9d에 도시된 바와 같이 상기 제1도금틀(240)의 높이를 상기 제1층코일(141)의 두께 보다 상대적으로 높게 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대, 열처리 후의 제1도금틀(240')의 높이가 열처리 전 높이에 비해 70% 정도로 낮아지는 경우에는 상기 제1도금틀(240)의 높이를 상기 제1층코일(141)의 두께에 대해 대략 140% 높이로 형성하면, 열처리단계 후의 상기 제1도금틀(240')과 상기 제1층코일(141)의 상면높이를 도 9e에 도시된 바와 같이, 유사하거나 동일하게 맞출 수 있다.
상기 열처리는 오븐, 판가열장치, 자외선경화장치, 전자빔 열처리장치 등을 통하여 가능하다.
다음으로, 도 9f에 도시된 바와 같이 제1도금틀(240')과 제1층코일(141)의 상면에 상기 제1층코일(141)과 후술하는 제2층코일(도 9j의 151) 사이의 전기적 절연을 위한 절연층(143)을 형성한다. 이와 같이, 절연층(143)을 형성하는 경우 절연층(143)의 상면이 평탄성을 유지한다. 여기서, 상기 절연층(143)에는 상기 제1층코일(141)의 제1 및 제2접점이 제2층코일(151) 및 전도성 반사막(123)과 전기적으로 도통되도록 하기 위하여 형성된 관통홈(143a)(143b)을 가진다. 여기서, 상기 절연층(143)은 실리카산화물(
Figure 111999006683395-pat00001
) 및 실리카질화물(
Figure 111999006683395-pat00002
)로 구성된 유전체 재질 및, 포토레지스트 및 폴리이미드로 구성된 폴리머 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것이 바람직하다.
이후, 도 9g에 도시된 바와 같이, 상기 절연층(143) 상에 제2도금기반층(250)을 형성한다. 상기 제2도금기반층(250)는 제2층코일(151)의 도금 증착을 위한 층으로, 구리 등의 전기 전도성이 우수한 물질을 진공 증착 함으로써 형성된다. 여기서, 상기 제2도금기반층(250)을 이루는 물질 일부는 상기 관통홈(143a)(143b)에 채워져 상기 제1층코일(141)과 제2층코일(151)의 접점이 전기적으로 도통되도록 한다.
다음으로, 도 9h에 도시된 바와 같이 도금될 제2층코일(151)의 형상에 대응되게 상기 제2도금기반층(250)를 패터닝한다. 즉, 후술하는 제2도금틀(도 9i의 260)에 대향되는 부분을 제거하여 제2절연용 그루브(251)를 형성한다. 상기 제2도 금기반층(250)의 재질은 앞서 설명된 제1도금기반층()의 재질과 같이 크롬-구리(Cr-Cu) 합금 또는 티타늄-구리(Ti-Cu) 합금으로 구성된다.
이어서, 도 9i에 도시된 바와 같이 상기 패터닝된 제1도금기반층(250') 상에 소정 높이로 몰드를 도포한 후, 상기 몰드를 제2층코일(151)의 형상에 대응되는 네거티브 형상으로 도금용 몰드를 패터닝하여 제2도금틀(260)을 완성한다.
이후, 도 9j에 도시된 바와 같이, 패터닝에 의해 형성된 제2도금틀(260) 사이에 금속을 도금하여 소정 선폭의 나선형 구조를 갖는 제2층코일(151)을 소정 두께로 형성한다. 여기서, 제2층코일(151)은 많은 전류를 흘리는 용도로 사용되므로, 비교적 두꺼운 금속막이므로 도금에 의해 형성하는 것이 바람직하다. 도금법으로는 전기도금법과 무전해도금법 모두 이용가능하다.
이어서, 도 9k에 도시된 바와 같이, 상기 제2도금틀(260)을 열처리한다. 이는 상기 제2도금틀(260)에 남아있는 용제를 완전히 제거하여, 열처리된 제2도금틀(260')이 열적으로 변형되는 것을 최소화하기 위함이다. 여기서, 열처리 단계를 거치는 경우, 제2도금층(260')의 높이가 낮아지게 되는 점을 고려하여, 도 9j에 도시된 바와 같이 상기 제2도금틀(260)의 높이를 상기 제2층코일(151)의 두께 보다 상대적으로 높게 형성하여, 열처리단계 후의 상기 제2도금틀(260')과 상기 제2층코일(151)의 상면높이를 도 9k에 도시된 바와 같이, 유사하거나 동일하게 맞출 수 있다. 이후, 렌즈(도 8d의 120)의 출사부가 위치되는 부분 A를 제거하여 중공을 마련하는 것으로, 코일부재의 형성이 완료된다.
상기한 바와 같이, 구성된 본 발명에 따른 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 는 솔더 범프를 통해 렌즈에 일면에 박막형 마이크로코일을 접착함으로써, 접착 및 접착 유지가 용이하고, 별도의 배선이 불필요함으로 조립공수를 절감할 수 있다.
또한, 박막형 마이크로코일을 사용함으로써 소형화 할 수 있어서 광자기헤드의 소형화가 가능하며, 반도체 공정을 이용한 박막 및 도금공정으로 수율을 높일 수 있고 비용을 절감할 수 있다.
또한, 광자기 헤드용 코일부재를 상기한 바와 같은 제조방법에 따라 제조함으로써, 마이크로코일은 한 층의 코일의 제조공정이 완료된 후에도 제작된 코일의 상부면이 평탄성을 유지하므로, 다음층의 코일 제작시에도 도금기반층의 형성공정시, 노광용 광학계의 초점심도를 유지하도록 함으로써 패턴의 해상도를 유지할 수 있고, 제2도금기반층을 이루는 금속이 끊기는 문제점을 근본적으로 방지할 수 있다. 따라서, 일 층 코일 상에 형성된 다른 층의 코일의 선폭과, 코일 사이의 간격을 소망하는 범위내에서 유지할 수 있어서 다층의 박막적층형 마이크로코일의 제조를 용이하게 할 수 있다는 이점이 있다.

Claims (15)

  1. 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광학식으로 정보를 재생하고 자계변조를 통해 정보를 기록할 수 있도록 된 광자기 기록재생장치의 광자기헤드에 있어서,
    상기 슬라이더에 설치되며, 상기 광자기 기록매체에 광스폿이 맺히도록 입사광을 집속시키는 렌즈와;
    나선형 구조로 권선된 판 형상의 코일이 적어도 두 개층 이상 적층되고 각 층의 전기접점이 서로 연결된 복수의 코일층과, 상기 코일층 사이에 개재되어 각 코일층을 전기적으로 절연시키는 절연층을 포함하는 코일부재와;
    상기 광자기 기록매체에 대면되는 상기 렌즈의 일 면에 상기 코일부재가 부착되도록 함과 아울러 상기 코일층에 외부전원이 연결되도록 상기 코일부재와 상기 렌즈 사이에 개재된 접합부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접합부재는,
    상기 코일부재의 최상층에 위치된 코일층에 돌출 형성된 것으로, 열융착에 의해 상기 렌즈에 접합됨과 아울러 외부전원에 연결되도록 전도성 물질로 된 솔더범프인 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 솔더범프는,
    주석-납(Sn-Pb) 합금, 은-주석-납(Ag-Sn-Pb) 합금 및, 금-주석(Au-Sn) 합금으로 구성된 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드.
  4. 제1항에 있어서, 상기 코일부재를 이루는 복수의 코일층 각각은 동일방향의 나선형 구조로 권선된 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 렌즈는,
    입사광을 발산투과시키는 투과부와; 상기 투과부에 대향되게 배치되어 입사광을 발산 반사시키는 제1반사부와; 상기 투과부 주변에 형성되어 상기 제1반사부에서 반사되어 입사된 광을 집속시키는 제2반사부와; 상기 제2반사부에서 집속된 광을 투과시키도록 상기 제1반사부의 중앙영역에 소정 길이로 돌출 형성된 출사부와; 외부전원의 단자가 전기적으로 결합되도록 적어도 양분된 상태로 상기 제1반사부의 외측면에 형성되며 상기 접합부재가 융착되는 전도성 반사막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드.
  6. 제5항에 있어서, 상기 출사부의 길이가 상기 코일부재의 높이 보다 상대적으로 길게 형성되어, 상기 광자기 기록매체 상에서 상기 슬라이더가 부상되어 움직일 때, 상기 코일부재가 상기 광자기 기록매체에 접촉되지 않도록 된 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드.
  7. 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더에 설치되어 광학식으로 정보를 재생하고 자계변조를 통해 정보를 기록할 수 있도록 된 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법에 있어서,
    기판 상에 희생층을 형성하는 단계와;
    상기 희생층 상에 복수층의 코일층과 절연층을 갖는 코일부재를 형성하는 단계와;
    상기 희생층과 상기 코일부재에 패터닝에 의해 중공을 형성하는 단계와;
    상기 코일부재의 최상층에 위치된 코일층 상에 도금용 몰드를 형성하고, 솔더를 도금하여 솔더범프를 형성하는 단계와;
    상기 광자기 기록매체 쪽으로 소정 길이 돌출된 출사부를 가지며 입사광을 집속시켜 상기 광자기 기록매체에 광스폿이 맺히도록 하는 렌즈를 마련하고, 상기 출사부를 제외한 상기 렌즈의 하면에 소정 형상의 금속박막을 코팅하여 전도성 반사막을 형성하는 단계와;
    상기 출사부가 상기 중공에 끼워진 상태로 상기 렌즈를 상기 솔더범프 상에 위치시킨 후, 가열하여 상기 코일부재 상에 상기 렌즈가 융착되도록 하는 단계와;
    상기 희생층을 제거하여 상기 기판을 상기 렌즈 및 코일부재에서 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 코일부재 형성단계는,
    상기 희생층 상에 도금기반층을 패터닝하는 단계와;
    상기 패터닝된 도금기반층 상에 소정 높이로 몰드를 도포한 후, 상기 몰드를 패터닝하여 도금틀을 형성하는 단계와;
    상기 도금틀 사이에 금속을 도금하여 소정 두께로 일층의 코일을 형성하는 단계와;
    상기 도금틀과 상기 코일 상에 절연층을 형성하는 단계;를 포함하며,
    상기 절연층 상에 상기한 도금기반층 형성단계, 도금기반층 패터닝단계, 도금틀 형성단계, 코일 형성단계 및, 절연층 형성단계를 순서대로 적어도 일 회 이상 반복하여, 각 코일 사이의 평탄성이 유지된 채로 각 층의 코일이 다층으로 적층되도록 된 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 코일 형성단계 이후에 상기 도금틀을 열처리하는 단계를 더 포함하여, 도금틀에 남아있는 용제를 제거하고 도금틀이 열적으로 안정되도록 하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 도금틀의 열처리 후에 상기 코일과 상기 도금틀의 상면 높이가 동일 내지 유사하도록 상기 도금틀의 높이를 상기 코일의 두께 보다 상대적으로 높게 형성하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도금기반층은,
    크롬-구리(Cr-Cu) 합금 또는 티타늄-구리(Ti-Cu) 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  12. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절연층은,
    실리카산화물(
    Figure 111999006683395-pat00003
    ) 및 실리카질화물(
    Figure 111999006683395-pat00004
    )로 구성된 유전체 재질 및, 포토레지스트 및 폴리이미드로 구성된 폴리머 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  13. 제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 희생층은,
    티타늄(Ti), 포토레지스트 및 크롬(Cr)으로 구성된 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  14. 제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 솔더범프는,
    주석-납(Sn-Pb) 합금, 은-주석-납(Ag-Sn-Pb) 합금 및, 금-주석(Au-Sn) 합금으로 구성된 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
  15. 제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 솔더범프에 대한 상기 렌즈의 열 융착은, 플럭스리스 리플로우 솔더링(fluxless reflow soldering) 방식으로 질소분위기에서 융제없이 열에 의해 융착되는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 제조방법.
KR1019990023946A 1999-06-24 1999-06-24 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법 KR100544174B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990023946A KR100544174B1 (ko) 1999-06-24 1999-06-24 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법
US09/599,500 US6633513B1 (en) 1999-06-24 2000-06-23 Magneto-optical head for magneto-optical reading and writing system
JP2000189258A JP3639504B2 (ja) 1999-06-24 2000-06-23 光磁気記録再生装置の光磁気ヘッド及びその製造方法
CNB001187597A CN1220197C (zh) 1999-06-24 2000-06-26 磁光读和写系统的磁光头及该磁光头的制造方法
TW089112233A TW512310B (en) 1999-06-24 2000-09-20 Magneto-optical head for magneto-optical reading and writing system and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990023946A KR100544174B1 (ko) 1999-06-24 1999-06-24 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010003589A KR20010003589A (ko) 2001-01-15
KR100544174B1 true KR100544174B1 (ko) 2006-01-23

Family

ID=19594899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990023946A KR100544174B1 (ko) 1999-06-24 1999-06-24 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6633513B1 (ko)
JP (1) JP3639504B2 (ko)
KR (1) KR100544174B1 (ko)
CN (1) CN1220197C (ko)
TW (1) TW512310B (ko)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7102992B1 (en) * 2000-07-27 2006-09-05 Termstar Corporation Contact optical head for data storage
US6781926B2 (en) * 2000-10-10 2004-08-24 Hitachi Maxell, Limited Magneto-optical head having heat sink layer
US20030067860A1 (en) * 2001-10-10 2003-04-10 Industrial Technology Research Institute Near-field optical flying head
JP3668189B2 (ja) * 2001-12-27 2005-07-06 富士通株式会社 光学ヘッドおよび光情報処理装置
US20030198146A1 (en) 2002-04-18 2003-10-23 Seagate Technology Llc Heat assisted magnetic recording head with multilayer electromagnetic radiation emission structure
US7215629B2 (en) * 2002-06-20 2007-05-08 Seagate Technology Llc Magnetic recording device for heat assisted magnetic recording
JP4073793B2 (ja) 2003-01-23 2008-04-09 富士通株式会社 光磁気ヘッド及び光磁気記憶装置
KR100626049B1 (ko) * 2004-12-11 2006-09-21 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 제조 방법, 플라즈마디스플레이 패널의 전극 제조에 사용되는 몰드 플레이트및, 그에 의해 제조된 전극을 구비한 플라즈마 디스플레이패널
BRPI0622088A2 (pt) * 2005-04-06 2011-07-12 Mallinckrodt Inc sistemas e métodos para o gerenciamento de informações referentes a fluidos médicos e recipientes para os mesmos
JP4710746B2 (ja) * 2005-09-28 2011-06-29 コニカミノルタホールディングス株式会社 熱アシスト磁気記録ヘッド及び磁気記録装置
US20080033368A1 (en) * 2006-04-04 2008-02-07 Mallinckrodt Inc. Systems and methods for managing information relating to medical fluids and containers therefor
KR20160144672A (ko) * 2015-06-09 2016-12-19 주식회사 에스에프에이반도체 보이스 코일 제조방법
KR101736087B1 (ko) 2015-08-10 2017-05-17 주식회사 에스에프에이반도체 보이스 코일 제조방법
US11062731B1 (en) * 2020-05-11 2021-07-13 Western Digital Technologies, Inc. Solder bump height stabilization for micro and fine pitch electrode pads

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5293360A (en) * 1989-03-09 1994-03-08 Canon Kabushiki Kaisha Magnetic field generating device
TW409248B (en) * 1996-05-01 2000-10-21 Terastor Corp Flying head with solid immersion lens
US6407884B1 (en) * 1998-04-28 2002-06-18 Terastor Corporation Optical head with solid immersion lens and varying cross section coil
US5986995A (en) * 1998-07-06 1999-11-16 Read-Rite Corporation High NA catadioptric focusing device having flat diffractive surfaces
US6069853A (en) * 1998-08-21 2000-05-30 Terastor Corporation Head including a heating element for reducing signal distortion in data storage systems
JP2000113484A (ja) * 1998-10-07 2000-04-21 Sony Corp 光学ヘッド用スライダ
US6094803A (en) * 1999-01-21 2000-08-01 Read-Rite Corporation Wafer processing techniques for near field magneto-optical head
US6130864A (en) * 1999-03-04 2000-10-10 Terastor Corporation Method and apparatus for generating magnetic field for magneto-optic recording system
US6307832B1 (en) * 1999-05-04 2001-10-23 Terastor Corporation Optical storage system with head cleaning mechanism based on a position-controllable optical interfacing surface in an optical head

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010003589A (ko) 2001-01-15
CN1287356A (zh) 2001-03-14
US6633513B1 (en) 2003-10-14
JP3639504B2 (ja) 2005-04-20
TW512310B (en) 2002-12-01
CN1220197C (zh) 2005-09-21
JP2001035039A (ja) 2001-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100544174B1 (ko) 광자기 기록재생장치의 광자기헤드 및 그 제조방법
US6519075B2 (en) Packaged MEMS device and method for making the same
US6806992B2 (en) Micro mirror unit including mirror substrate and wiring substrate spaced by conductive spacer
US20040233553A1 (en) Form variable mirror element and method for producing form variable mirror element and form variable mirror unit and optical pick-up
WO2005091036A1 (ja) 光モジュールおよびその製造方法
JP2002141576A (ja) ピエゾ素子と電極との接合方法及び該接合方法を使用したピエゾマイクロアクチュエータ
US20040026756A1 (en) Hybrid optical element and photodetector device
CN101814700B (zh) 发光装置及其制造方法
JP3972814B2 (ja) 半導体集積装置
JPS63237490A (ja) 半導体レ−ザ装置
KR100544173B1 (ko) 박막적층형 마이크로코일 제조방법
JPH11126946A (ja) 半導体レーザモジュール
US5324387A (en) Method of fabricating asymmetric closely-spaced multiple diode lasers
US7494286B2 (en) Laser module and method for manufacturing the same
JP4586896B2 (ja) 光学モジュール及び光ピックアップ装置
KR100667733B1 (ko) 광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법
US6778568B1 (en) Semiconductor module and method of mounting semiconductor laser element on the same
JP4073793B2 (ja) 光磁気ヘッド及び光磁気記憶装置
JP3984501B2 (ja) 光スイッチの製造方法
KR100601628B1 (ko) 근접장 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법
JP2003141792A (ja) 光学ヘッドおよびその製造方法
JPH08148723A (ja) 光プリントヘッド及びその製造方法
JPH08315388A (ja) 光ディスク装置の対物レンズ駆動装置
JP2859627B2 (ja) バイアス磁界発生器
JP2002299855A (ja) 電子部品実装基板装置及び光ピックアップ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20081224

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee