KR100543587B1

KR100543587B1 - 전자파 차폐 필터 제조 방법

Info

Publication number: KR100543587B1
Application number: KR1020030090143A
Authority: KR
Inventors: 김경구; 차홍래
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2003-12-11
Filing date: 2003-12-11
Publication date: 2006-01-20
Also published as: KR20050057921A

Abstract

본 발명은 전자파 차폐 필터 제조 방법에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은 도전성의 금속박을 형성하는 단계와, 포토레지스트를 도포하는 단계, 포토레지스트가 도포된 영역을 다수로 나누어 순차적으로 노광하는 단계, 및 포토레지스트를 현상하고 금속박을 에칭하여 금속박의 메쉬를 형성하는 단계를 포함한다. 또한 본 발명은 도전성의 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 단계와, 포토레지스트가 도포된 영역을 다수로 나누어 노광하는 단계, 포토레지스트를 현상하여 금속막의 메쉬를 형성하는 단계, 및 금속막의 메쉬를 떼어내고 기지 필름 상에 부착하는 단계를 포함한다.

본 발명에 의하면,PDP 필터의 제작 공정이 단순화 되어 제조비용을 줄일 수 있다.

플라즈마, 디스플레이, 패널, PDP, 필터, 전자파, 차폐

Description

전자파 차폐 필터 제조 방법{Making Method of Electromagnetic Wave Shielding Filter}

도 1은 종래 기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면에 형성된 글라스 필터의 구조를 나타낸 개략도.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면에 부착되는 필터 구조를 나타낸 도.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 필터 제조 방법을 개략적으로 나타낸 도.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 필터 제조 방법을 개략적으로 나타낸 도.

도 6은 도 4 및 도 5에 도시된 전자파 차폐 필터 제조 공정을 평면적으로 나타낸 도.

***** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *****

41: 기지 필름 42: 도전성 금속박

43: 포토레지스트 44: 포토마스크

100: PDP 200: 전면 필터

210: AR 필름층 220: 칼라 다이 필름층

230: 전자파 차폐 필름층

본 발명은 전자파 차폐 필터에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 플라즈마 디스플레이 패널 구동시 발생되는 전자파를 차단하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 필터 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: 이하, PDP라 함.)은 소다라임(Soda-lime) 글라스로 된 전면 글라스와 후면 글라스 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루고, 각 셀 내에는 헬륨-크세논(He-Xe), 헬륨-네온(He-Ne) 등과 같은 불활성 가스가 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 진공자외선(Vacuum Ultraviolet rays)이 발생되어 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상을 구현하는 장치이다. 이와 같은 PDP는 단순구조에 의한 제작성 용이와, 외형이 박형이며 낮은 소비전력 등의 특징을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로 현재 각광을 받고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 PDP의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, PDP(100)는 화상이 디스플레이되는 표시면인 전면 글라스(10)와 후면을 이루는 후면 글라스(20)가 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다. 전면 글라스(10)는 하방에 하나의 화소에서 상호 방전에 의해 셀의 발광을 유지하기 위한 유지전극(11), 즉 투명한 ITO 물질로 형성된 투명전극(11a)과 금속재질로 제작된 버스전극(11b)으로 구비된 유지전극(11)이 쌍을 이뤄 형성된다. 상기 유지전극(11)은 방전전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 유전층(12)에 의해 덮여지고, 유전층(12) 상면에는 방전조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(13)이 형성된다. 후면 글라스(20)는 복수개의 방전공간 즉, 셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입(또는 웰 타입)의 격벽(21)이 평행을 유지하여 배열되고 상기 유지전극(11)과 교차되는 부위에서 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키게 되는 다수의 어드레스 전극(22)이 격벽(21)에 대해 평행하게 배치된다. 또한, 후면 글라스의 상측면은 어드레스 방전시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광층(23)이 도포되고, 격벽 상측면에는 전면 글라스(10) 외부에서 발생하는 외부광을 흡수하여 반사를 줄여주는 광 차단의 기능과 전면 글라스(10)의 색순도(Purity) 및 콘트라스트를 향상시키는 등의 기능을 하는 블랙 매트릭스(21a)가 배열되어 구성된다.

이와 같은 구조를 갖는 PDP는 플라즈마 방전을 위한 고전압 및 고주파를 인가하여 화상을 구현하기 때문에 패널 글라스 전면으로 전자파가 칼라 음극선관(CRT)이나 액정 디스플레이 패널(LCD)보다 더욱 많이 방출하는 문제점이 있다. 또한, 플라즈마 디스플레이 패널은 Ne, Xe과 같은 불활성 가스로부터 유도되는 근적외선(NIR)을 방출하게 되는데, 이러한 근적외선은 가전제품의 리모트 컨트롤러의 파장과 매우 가까워 오작동을 일으키는 문제점이 있다.

이와 같은 이유로 종래에는 PDP 전면에 소정의 기능을 갖는 글라스 필터(Glass Filter)나 필름형 필터(Film Filter)를 설치하여 상술한 문제점들을 해결 하고자 하였다.

도 2는 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 PDP 전면에 형성된 글라스 필터의 구조를 나타낸 개략도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 글라스 필터(200)는 PDP(100)와 일정간격으로 이격되어 자외선 차단 및 외부 반사광을 줄이기 위한 반사방지 필름(AR Film, 210a)과, 근적외선(NIR)차단 및 색을 조절하는 칼라 다이 필름(Color-dye Film, 220a)과, 전자파 차단을 위한 전자파 차폐 필름(EMI Film, 230a)이 단위 필름층(210,220,230)을 이뤄 형성된다. 더욱 자세하게는 글라스 필터(200)는 반사방지, 색조절, 전자파 차폐와 같은 기능을 갖는 각 필름들 사이 중 적어도 어느 한 부분에 글라스(240)가 형성되고, 상기 각 필름은 폴리에틸렌테레플타이트(PET)나 트리아세틸셀룰로스(TAC)와 같은 물질의 기재(Base Film, 210b, 220b, 230b)에 부착되어 단위 필름층을 형성하고, 각 단위 필름층은 점착제(210c, 220c, 230c)에 의하여 상호 결합된다.

상술한 글라스 필터(200)에서 전자파 차폐 필름(230a)을 더욱 자세히 살펴보면, 일반적으로 전자파 차폐 필름(230a)은 도전성 물질을 사용하여 메쉬(mesh)타입이나 도전막 타입으로 PET나 TAC인 기재(230b)에 부착하여 형성된다. 여기서 메쉬 타입의 경우는 구리(Cu)와 같이 도전성이 높은 물질을 에칭하여 메쉬막을 형성한 후 점착제(230c)를 이용하여 기재(230b)에 부착하여 전자파 차폐 필름층을 형성한다. 도전막 타입의 경우는 Ag나 ITO와 같은 금속 산화물을 스퍼터링(Sputtering)하여 다수의 층을 형성하여 전자파 차폐 필름층을 형성하게 된다.

한편, 필름형 필터의 경우는 글라스 필터에 사용되는 글라스가 제외되고, 전자파 차폐 기능을 포함한 소정의 기능을 갖는 필름들이 열 압착이나 라미네이팅 공정을 통하여 필터를 형성하게 된다. 이러한 필름형 필터는 광 특성이나 제조비용 등의 여러 가지 측면에서 글라스 필터보다 더욱 우수하여 앞으로 필터의 추세라 할 수 있다.

그러나 상술한 글라스 필터나 필름형 필터는 제조공정이 모두 복잡하여 수율이 떨어지는 문제점이 있고, 이에 따라 제조비용이 상승하는 문제점을 가지고 있다. 특히, 메쉬 타입으로 형성된 글라스 필터의 전자파 필름층은 전형적인 포토리소(Photolitho) 공정과 에칭(Etching) 공정을 통하여 형성된다. 즉, 도전성 물질인 금속막을 유리기판 상에 도포하고, 금속막 상부에 포토레지스터를 도포하여 노광 및 현상하여 일정한 패턴을 형성한 후, 에칭공정을 통해 제조되어진다. 이러한 전자파 차폐 필름층은 PDP가 대형화로 갈수록 공정이 어려워지고, 노광, 현상 및 에칭에 관련된 장비가 대형화되어야 하므로 수율하락 뿐만 아니라 장비의 가격이 높아지게 되는 문제점을 가지고 있다.

따라서 본 발명은 별도의 제조비용 부담 없이 용이하게 큰 치수의 전자파 차폐 필터를 제조할 수 있는 전자파 차폐 필터 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 전자파 차폐 필터 제조 방법은 플라즈마 투명한 기지 필름 상에 기능성 필터를 제조하는 방법에 있어서, 투명한 기지 필름 상에 도전성의 금속박을 형성하는 단계와; 상기 금속박 상에 감광성 포토레지스트를 도포하는 단계; 상기 포토레지스트가 도포된 영역을 다수로 나누어, 포토 마스크를 놓고 자외선을 조사하여, 순차적으로 노광하는 단계; 및 상기 포토레지스트중 자외선이 조사되지 않은 포토레지스트를 현상하여 제거하고, 제거된 영역의 금속박을 에칭하여 금속박의 메쉬를 형성하는 단계를 포함한다.
이와 같은 특징에 있어서, 상기 도전성의 금속박을 형성하는 단계는 구리(Cu), 니켈(Ni), 은(Ag) 중 적어도 어느 하나 이상의 금속박을 형성한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 전자파 차폐 필터 제조 방법은 투명한 기지 필름 상에 기능성 필터를 제조하는 방법에 있어서, 도전성의 기판 상에 감광성 포토레지스트를 도포하는 단계와; 상기 포토레지스트가 도포된 영역을 다수로 나누어, 포토 마스크를 놓고 자외선을 조사하여, 순차적으로 노광하는 단계; 상기 포토레지스트중 자외선이 조사되지 않은 포토레지스트를 현상하여 제거하고, 제거된 영역에 금속막의 메쉬를 형성하는 단계; 및 상기 금속막의 메쉬를 떼어내어 라미네이팅법으로 투명한 기지 필름 상에 부착하는 단계를 포함한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면에 부착되는 필터 구조를 나타낸 도면이다.
본 발명의 도면에 도시된 부호는 종래 PDP의 필터에서 동일한 기능을 갖는 수단들에 표시된 도면부호와 동일하게 표현한다. 도 3을 살펴보면, 소정의 기능을 갖는 PDP의 전면 필터(200)는 PDP(100)와 일정한 간격으로 이격되어 위치된다. 전면 필터(200)는 소정의 기능을 갖는 기능성 필름층이 복수개로 형성되며, 이와 같은 기능성 필름층은 외부광에 의한 눈부심 방지 기능을 갖는 AR 필름층(Anti-Reflection Film, 210)과 화질의 특성인 콘트라스트나 색순도 향상을 위한 색조절 필름층(Color-dye Film, 220)과, PDP 구동시 발생되는 전자파를 차폐하기 위한 전자파 차폐 필름층(230)이 하나 이상으로 형성된다. 더욱 자세하게는 AR 필름층(210), 색조절 필름층(220), 전자파 차폐 필름층(230)은 각 기능을 갖는 필름(미도시)들이 폴리에틸렌테레플타이트(PET)나 트리아세틸셀룰로스(TAC)와 같은 물질의 기재(Base Film, 미도시)에 부착되고, 각 필름들은 점착제(미도시)에 의하여 상호 결합된다.

이와 같이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 필터는 소정의 제작공정을 통하여 각 기능성 필름층이 형성된다. 특히, 기능성 필름층 중 전자파 차폐 필름층을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 필터 제조방법은 다음과 같다.

<제1실시예>

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 필터 제조방법을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차페 필름층(230)은 먼저, 폴리에틸렌테레플타이트(PET)나 트리아세틸셀룰로스(TAC)와 같은 투명한 기지 필름(41)상에 도전성 금속박(42)을 형성한다(310). 이때, 도전성 금속박(42)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 은(Ag) 중 적어도 어느 하나 이상의 물질을 사용하게 된다. 이어서, 도전성 금속박(42) 상부에 감광성 물질인 포토레지스트(Photoresist, 43)를 도포한다(320). 계속해서, 도포된 포토레지스트 면을 소정의 개수로 분할하여 분할영역을 설정한다(330). 여기서 분할영역의 개수는 가능하면 적게 설정하여 이후 노광공정을 적은 횟수로 하는 것이 바람직하지만 대형화된 플라즈마 디스플레이 패널의 경우는 적어도 둘 이상의 영역으로 분할하여 노광하여야 전체 전차파 차폐 필름층을 형성할 수 있게 된다. 이후, 포토레지스트의 분할된 소정의 제 1영역에 포토 마스크(44)를 놓고, 자외선(UV)을 조사하여 제 1노광을 행한다. 이어서 상기 포토레지트의 분할된 제 1영역 이외의 나머지 영역(제 2영역)에 대하여 포토 마스크(44)를 놓고, 자외선을 조사하여 제 2노광공정을 행한다(350). 이와 같이 모든 영역에 대해 노광이 이루어지면, 현상 공정을 수행하여 미경화된 포토레지스트를 제거한다(360). 그리고, 에칭 공정을 수행하여 포토레지스트가 제거된 영역의 도전성 금속박을 제거한다(370). 마지막으로 투명 기지필름(41)의 도전성 금속박(42)의 상면에 남아있는 포토레지스트를 제거하고, 건조하여 전자파 차폐 필름층을 형성한다(380).

<제2실시예>

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 필터 제조방법을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 전자파 차폐 필름층은 상술한 제1실시예와 거의 동일한 과정으로 형성된다. 먼저, 도전성을 띄는 원통형태의 기판위에 감광성 물질인 포토레지스트를 도포한다(410). 그리고 포토레지스트가 도포된 면을 소정의 개수로 분할하여 분할영역을 설정한다(420). 이후, 제1 및 제2노광 공정과 현상 공정을 본 발명의 제1실시예와 동일한 방법으로 수행한다(430, 440, 450). 계속해서 일렉트로 포밍(Electro Forming)법을 이용하여 현상된 기판 상에 도전성 금속막을 원하는 형상(즉, 메쉬)으로 형성한다(460). 이와 같이 형성된 도전성 금속막을 떼어내어 라미네이팅법을 이용하여 폴리에틸렌테레플타이트(PET)나 트리아세틸셀룰로스(TAC) 같은 투명한 기지 필름상에 부착(470)하면 전자파 차폐 필름층(230)이 완성된다.

도 6은 도 4 및 도 5에 도시된 전자파 차폐 필터 제조 공정을 평면적으로 나타낸 도면이다. 도 6의 (a)는 포토레지스 면을 4분할하여 제조하는 공정을 나타낸 것이고, 도 6의 (b)는 포토레지스트 면을 2분할하여 제조하는 공정을 나타낸 것이다. 이와 같이 포토레지스트 면을 분할하여 노광을 행하게 되면, 플라즈마 디스플레이 패널이 대형화 되더라도 필터 제조에 필요한 대형의 노광 장비가 필요없게 되어 제조공정비용을 줄일 수 있게 된다.

이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널이 대형화되면서 발생되는 필터 제작공정의 어려운 점을 손쉽게 해결할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 PDP 필터의 제작 공정이 단순화 되어 제조비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims

투명한 기지 필름 상에 기능성 필터를 제조 방법에 있어서,

투명한 기지 필름 상에 도전성의 금속박을 형성하는 단계와;

상기 금속박 상에 감광성 포토레지스트를 도포하는 단계;

상기 포토레지스트가 도포된 영역을 다수로 나누어, 포토 마스크를 놓고 자외선을 조사하여, 순차적으로 노광하는 단계; 및

상기 포토레지스트중 자외선이 조사되지 않은 포토레지스트를 현상하여 제거하고, 제거된 영역의 금속박을 에칭하여 금속박의 메쉬를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필터 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 도전성의 금속박을 형성하는 단계는 구리(Cu), 니켈(Ni), 은(Ag) 중 적어도 어느 하나 이상의 금속박을 형성하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필터 제조 방법.
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투명한 기지 필름을 포함하는 기능성 필터의 제조 방법에 있어서,

도전성의 기판 상에 감광성 포토레지스트를 도포하는 단계와;

상기 포토레지스트가 도포된 영역을 다수로 나누어, 포토 마스크를 놓고 자외선을 조사하여, 순차적으로 노광하는 단계;

상기 포토레지스트중 자외선이 조사되지 않은 포토레지스트를 현상하여 제거하고, 제거된 영역에 금속막의 메쉬를 형성하는 단계; 및

상기 금속막의 메쉬를 떼어내어 라미네이팅법으로 투명한 기지 필름 상에 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 차폐 필터 제조 방법.
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