KR100543275B1 - 전기 광학 장치 및 전자 기기 및 투사형 표시 장치 - Google Patents

Abstract

전기 광학 장치는, 전기 광학 물질을 사이에 유지하여 이루어지는 한 쌍의 기판을 구비하고 있다. 해당 전기 광학 장치는 더욱이, 한쪽 기판에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측에 대전 방지성 재료로 이루어지는 코팅 부재를 구비하고 있다.

이것에 의해, 전기 광학 장치의 표면에 대한 분진(粉塵)의 부착, 또는 분진의 투영 문제를 해결하여 고품질의 화상을 표시하는 것을 가능하게 한다.

Description

전기 광학 장치 및 전자 기기 및 투사형 표시 장치{ELECTRO-OPTICAL DEVICE, ELECTRONIC APPARATUS AND PROJECTIVE DISPLAY DEVICE}

도 1은 본 발명의 실시예의 전기 광학 장치에 있어서의 TFT 어레이 기판을, 그 위에 형성된 각 구성 요소와 함께 대향 기판측으로부터 본 평면도,

도 2는 도 1의 H-H' 단면도,

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 도 2에 나타내는 부호 CR을 부여한 원 내부를 확대하여 나타내는 단면도,

도 4는 도 3과 동일 취지의 도면이지만, 본 발명의 제 2 실시예에 따른, 동 도면과는 방진 유리가 마련되어 있는 점에서 상이한 도면,

도 5는 도 3과 동일 취지의 도면이지만, 본 발명의 제 3 실시예에 따른, 동 도면과는 AR 코트의 구조가 상이한 도면,

도 6은 도 3과 동일 취지의 도면이지만, 본 발명의 제 4 실시예에 따른, 동 도면과는 코팅 부재 등이 분리 광학 요소의 일부를 구성하고 있는 점에서 상이한 도면,

도 7은 투사형 표시 장치의 일례인 컬러 액정 프로젝터의 일례를 나타내는 도식적 단면도,

도 8은 본 발명의 실시예의 전기 광학 장치에 있어서의 화상 표시 영역을 구성하는 매트릭스 형상의 복수의 화소에 마련된 각종 소자, 배선 등의 등가 회로를 나타내는 회로도,

도 9는 본 발명의 실시예의 전기 광학 장치에 있어서의 데이터선, 주사선, 화소 전극 등이 형성된 TFT 어레이 기판의 서로 인접하는 복수의 화소군의 평면도,

도 10은 도 9의 A-A' 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : TFT 어레이 기판 20 : 대향 기판

50 : 액정 401 : 코팅 부재

403 : ITO 층(「코팅 부재」의 일례)

404, 404a, 404b, 404c : (AR 코트의 일부를 구성하는) 코팅 부재

500, 501 : AR 코트 502 : 제 1 지르코니아층

503 : 실리카층 504 : 제 2 지르코니아층

701 : 편광판 1100 : 컬러 액정 프로젝터

100R, 100G, 100B : 광밸브 1141 : 송풍 팬

본 발명은 전기 광학 장치 및 전자 기기의 기술 분야에 속하는 것으로, 특히, 전자 기기의 일례인 투사형 표시 장치의 광밸브에 적용되어 바람직한 전기 광학 장치, 및, 투사형 표시 장치 그 자체의 기술 분야에 속하는 것이다.

액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치로서는, 예컨대, 매트릭스 형상으로 배열된 화소 전극 및 해당 전극의 각각에 접속된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 적절히,「TFT」라고 함), 해당 TFT의 각각에 접속되어, 행 및 열 방향으로 평행하게 각각 마련된 주사선 및 데이터선 등을 구비하는 것에 의해, 소위 액티브 매트릭스 구동이 가능한 것이 알려져 있다.

이러한 전기 광학 장치는, 예컨대 투사형 표시 장치의 광밸브로서 널리 사용되고 있다. 투사형 표시 장치란, 광원으로부터 발생된 광을 상기 광밸브에 인도하는 광학계 및 해당 광밸브를 투과한 광을 영사막으로 인도하는 광학계 등을 구비하여 이루어진다. 이 때, 전기 광학 장치의 내부에서는, 화소마다 광의 투과율이 제어되는 것에 의해, 영사막상에 화상을 표시하는 것이 가능해진다. 또한, 투사형 표시 장치 그 자체는 소형임에도 불구하고, 상기 광학계에 의해서 광의 확대를 실현할 수 있으므로, 비교적 큰 크기의 화상을 표시시킬 수 있다.

더욱이, 이러한 투사형 표시 장치로서는, 컬러 표시 가능한 것도 이미 널리 알려져 있다. 이것은, 상기 광밸브, 즉 전기 광학 장치를 3개 준비하고, 또한 이들 3개의 전기 광학 장치에 대하여, 예컨대 적색광, 청색광 및 녹색광 등의 독립된 삼색을 각각 투사하고, 또한 이것을 적당한 프리즘 등에 의해서 합성하는 것에 의해, 컬러 화상을 얻을 수 있는 장치이다.

그러나, 종래에 있어서의 전기 광학 장치, 특히 해당 전기 광학 장치를 광밸브로서 이용한 투사형 표시 장치에 있어서는, 다음과 같은 문제점이 있었다. 즉, 상술한 투사형 표시 장치에서는, 광밸브의 표면에 티끌이나 먼지 등(이하, 간단히 「분진」이라고 함)이 부착되면, 영사막상에 그 분진의 상(像)도 또한 투영되어 버려, 화상의 품질을 저하시킬 가능성이 있었던 것이다.

그래서, 종래에 있어서는, 이러한 문제점에 대처하기 위해서, 광밸브의 표면에 소정의 두께를 갖는 방진 유리를 붙이는 것이 행해지고 있었다. 이것에 의해, 분진이 부착되는 면은 해당 방진 유리의 표면이어서, 이에 따라 분진이 화상상에 투영되는 것을 방지하는 것이 가능해지는 것이다. 물론, 상기 광학계 등에 의해서, 광원으로부터 발생된 광은 광밸브중의 소정의 개소(예컨대, 액정층)에 초점을 맺도록 집광된 후, 확대되는 것이 일반적이므로, 소정의 두께를 갖는 방진 유리상에 부착된 티끌 등은, 상기 초점으로부터 벗어난 위치에 존재(즉, 디포커스(defocus))하게 되어, 이것이 영사막상에 투영되는 일이 없어지기 때문이다.

그러나, 이러한 방진 유리를 이용하는 해결 수단에 있어서는, 해당 방진 유리는, 상기「소정의 두께」를 갖는 것이 필수적이다. 왜냐하면, 방진 유리가 이 소정의 두께보다도 얇으면, 상술한 디포커스의 효과가 충분히 얻어질 수 없기 때문이다. 그리고, 여기에 말하는 「소정의 두께」는, 일반적으로 비교적 큰 값(예컨대 2mm, 경우에 따라 수 mm 정도의 두께)로 된다.

이것은, 투사형 표시 장치 내지 전기 광학 장치의 소형화·고세밀화가 일반적으로 요구되고 있다는 점에서 보면, 그것에 역행하는 조치라고 하지 않을 수가 없다. 예컨대, 전기 광학 장치의 일례인 액정 표시 장치에 있어서는, 액정층을 사이에 두고 대향 배치되는 2장의 기판간의 거리, 즉 소위 셀 갭이, 오늘날, 3∼5㎛ 내지 그 이하의 정밀도로 제조되는 단계에 이르고 있는데도, 그것을 훨씬 넘는 상기 소정의 두께를 갖는 방진 유리를 별도로 마련하는 것은, 모처럼의 소형화·고세밀화를 무의미한 것으로 해버린다.

또한, 상술한 바와 같은「두꺼운」방진 유리를 마련하게 되면, 전기 광학 장치로부터 발생되는 열을 그 외측으로 방산하는 것이 어려워지는 점도 문제로 된다. 전기 광학 장치 내부에 허용되는 이상의 열이 축적되어 버리면, 장치 전체의 안정적인 동작이 불가능하게 되어버리기 때문이다. 이러한 문제는, 당해 전기 광학 장치가 상기 투사형 표시 장치의 광밸브로서 사용될 때에, 특히 우려된다. 왜냐하면, 투사형 표시 장치에 있어서는, 상기 광원으로서 비교적 강력한 것을 사용하는 것이 일반적이고, 전기 광학 장치 내부에 있어서의 축열(蓄熱)은 보다 발생하기 쉬운 상황에 있다고 할 수 있기 때문이다.

이러한 것을 감안하여, 방진 유리만으로 분진의 투영 문제를 해결하는 것은, 충분히 바람직한 해결책이라고는 말할 수 없는 것임을 알 수 있다.

본 발명은, 상기 문제점을 감안한 것으로, 분진의 투영 문제를 해결하여 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능하고, 또한 그에 더하여 소형화를 도모할 수 있으며, 또한, 그 내부에 열을 축적시키는 것과 같은 일 없이 안정적인 동작이 가능 한 전기 광학 장치, 및 해당 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다. 또한, 본 발명은, 전자 기기의 일례인 투사형 표시 장치를 제공하는 것도 과제로 한다.

본 발명의 전기 광학 장치는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 전기 광학 물질을 사이에 유지하여 이루어지는 한 쌍의 기판과, 해당 한 쌍의 기판 중 한쪽 기판상에 마련된 표시용 전극과, 해당 표시용 전극에 스위칭 소자를 거쳐서 또는 직접적으로 접속된 배선과, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측에 대전(帶電) 방지성 재료로 이루어지는 코팅 부재를 구비하여 이루어진다.

본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 한 쌍의 기판상에 형성된 표시용 전극에 배선을 통하여 적당한 전압을 부가하는 것에 의해, 전기 광학 물질에 대하여 전계를 인가할 수 있어, 그 상태를 변화시키는 것이 가능해진다. 이 때, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측으로부터, 다른쪽에 있어서의 그것으로 빠져나가는 광을 투사하는 것에 의해, 화상을 표시할 수 있다. 이는, 전기 광학 물질의 상태 변화에 따라 투과율이 변화되고 있는 것에 의해, 그것에 따른 계조 표시가 가능하기 때문이다.

여기서 특히, 본 발명에 있어서는, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 있어서의 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측에, 대전 방지성 재료로 이루어지는 코팅 부재를 구비하고 있다. 이것에 의해, 상술한 배경 기술에서 설명한 바와 같은 분진의 투영 문제를 유효하게 해결할 수 있다.

이것은, 종래에 자주 나타나던 분진의 부착이, 통상, 해당 분진이 정전기를 띠고 있는 것을 원인으로 하여 발생하는 것에 기인한다. 즉, 부착되는 측이 절연성이 높은 재료로 이루어지는 경우에 있어서는, 당해 재료와 분진의 사이에 정전기력이 작용하는 것에 의해, 그 부착이 대단히 발생하기 쉬운 것이다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 상술한 바와 같이, 대전 방지성 재료로 이루어지는 코팅 부재를 구비하고 있는 것이므로, 정전기를 띤 분진이 그 표면에 부착되는 것을 미연에 방지하는 것이 가능해지는 것이다.

따라서, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 의하면, 분진의 상이 투영되는 등의 사태를 미연에 방지하는 것이 가능하여, 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능해지는 것이다. 더구나, 이러한 것이 가능해지는 것은, 전기 광학 장치에 대한 분진의 부착 그 자체를 미연에 방지하기 때문이다. 이는, 종래의 발상(예컨대, 디포커스하는 등)과는 한 획을 긋는 것이다.

또한, 이러한 것으로부터, 본 발명에 있어서는, 종래 이용되고 있었던 방진 유리를 반드시 마련할 필요가 없어지므로, 그 만큼의 비용을 삭감할 수 있고, 전기 광학 장치의 소형화도 실현할 수 있다. 또한, 전기 광학 장치의 내부에 축적되어 가는 열을 외부로 방산하는 것도 용이해진다. 본 발명에 따른 이들 작용 효과는, 종래의 방진 유리가, 앞서 설명한 바와 같이 일반적으로 두께가 두꺼운 것이 이용되는 경우가 많았다는 점에서 특기할만하다.

또, 「대전성 방지 재료로 이루어지는 코팅 부재」의, 보다 구체적인 형태로서는, 해당 코팅 부재의 전체가 대전성 방지 재료로 이루어지는 경우를 포함하는 것 외에, 예컨대, 해당 코팅 부재의 표면에 대전성 방지 재료로 이루어지는 분말을 도포하는 것 같은 형태 등도 포함한다.

또한, 본 발명에 말하는 「표시용 전극」으로서는, 한 쌍의 기판 중 한쪽 기판상에 있어서는, 매트릭스 형상으로 배열된 화소 전극이, 그 다른쪽 기판상에 있어서는, 그 전면(全面)에 형성된 대향 전극(공통 전극)이, 각각 해당된다고 생각할 수 있고, 「스위칭 소자」는, TFT, 또는 박막 다이오드(TFD)가 해당된다고 생각할 수 있다. 이것에 의하면, 액티브 매트릭스 구동이 가능해진다.

더욱이, 「표시용 전극」의 다른 예로서는, 한 쌍의 기판 각각의 위에 형성되어, 서로 교차하는 관계에 있는 스트라이프 형상의 전극이, 그것에 해당된다고 생각할 수도 있다. 이것에 의하면, 패시브 매트릭스 구동이 가능해진다.

본 발명의 전기 광학 장치의 일형태에서는, 상기 코팅 부재는, 상기 한 쌍의 기판 중 다른쪽 기판상에 구비되어 있다.

이 형태에 의하면, 코팅 부재는, 예컨대 상술한 액티브 매트릭스 구동이 가능한 전기 광학 장치에 있어서, 그 소위 대향 기판상에 형성되는 것으로 되므로, 전형적으로는, 광의 입사측에 배치되는 것으로 된다. 따라서, 본 형태에 의하면, 광의 입사측에 관한 분진의 부착을 방지하는 것이 가능해진다.

이 형태에서는 특히, 상기 코팅 부재는, 상기 다른쪽 기판상에 형성된 방진 유리상에 구비되어 있도록 하면 좋다.

이러한 구성에 의하면, 본 발명에 따른 코팅 부재 외에, 종래 이용되어온 방진 유리도 더불어 갖는다. 따라서, 본 형태에서는, 코팅 부재에 의한 분진 부착 방지 작용을 기대할 수 있고, 또한, 가령 분진이 부착되었다고 해도, 상술한 디포커스 효과의 이득도 얻을 수 있게 되어, 분진의 투영에 관한 문제는 더욱 잘 발생되지 않는 상황으로 되어, 더욱 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능해진다.

여기서, 본 형태에서 말하는 「방진 유리」는, 기본적으로, 종래 이용되어온 그것과 마찬가지의 재료 내지 구성으로 하여도 좋지만, 그 두께는, 종래의 그것에 비교하여, 보다 작게 하는 것이 가능하다. 왜냐하면, 본 형태에서는, 코팅 부재가 마련되어 있기 때문이다. 따라서, 본 형태에 있어서도, 상술한 바와 같은, 전기 광학 장치의 제조 비용 삭감 또는 그 소형화, 또는 해당 전기 광학 장치의 내부의 열 방산 등을, 그에 상응하여 실현할 수 있다.

또, 이러한 사정으로부터, 본 형태에서는, 분진의 투영 방지에 따른 작용 효과와, 전기 광학 장치의 소형화, 또는 열의 방산에 따른 작용 효과는, 트레이드오프(trade off)의 관계에 있다고 생각된다. 즉, 방진 유리의 두께를 크게 하면, 전자(前者)의 작용 효과는 보다 확실하게 되지만, 후자의 작용 효과는 약해지고, 해당 두께를 작게 하면, 그 반대로 된다. 본 형태의 방진 유리의 두께는, 이러한 사정을 감안하여 결정되게 된다. 보다 구체적으로는, 이론적, 경험적, 실험적 또는 시뮬레이션 등에 의해서 적절히 결정하면 좋다.

발명의 전기 광학 장치의 다른 형태에서는, 상기 코팅 부재는, 무반사 코트의 적어도 일부를 구성한다.

이 형태에 의하면, 통상, 전기 광학 물질의 외측의 구성 요소로서 접착되어 이루어지는 무반사 코트의 적어도 일부에, 전술한 코팅 부재가 포함되어 이루어지 는 것이므로, 장치 구성 전체의 간략화·효율화를 도모할 수 있다.

또, 이 무반사 코트는, 예컨대 공기와 유리 기판과의 사이와 같이, 굴절율이 변하는 계면에 놓여지는 부재로, 해당 계면에 있어서의 광의 반사를 가급적 발생시키지 않고서, 공기로부터 유리 기판, 또는 유리 기판으로부터 공기라는 광의 인도를 효율적으로 행하기 위한 광학 요소이다. 본 실시예에 있어서, 이 무반사 코트의 구체적인 실시예로서, 일반적으로 알려져 있는 여러 가지의 구성을 채용하는 것이 가능하다.

또한, 본 형태에서는, 무반사 코트의 「적어도 일부」가 코팅 부재이면 되기 때문에, 경우에 따라서는, 무반사 코트의 전부가 코팅 부재인 경우, 즉 해당 무반사 코트 전체가 코팅 부재의 역할을 담당할 수도 있다고 하는 구성으로 하여도 좋다.

더욱이, 본 실시예를 보다 구체적으로 말하면, 무반사 코트가 도전성 재료로 이루어지는 경우라든가, 또는 무반사 코트가 대전 방지성 재료로 이루어지는 경우 등을 생각할 수 있다.

이 형태에서는 특히, 상기 무반사 코트는, 다층 구조를 갖도록 하면 좋다.

이러한 구성에 의하면, 코팅 부재를, 다층 구조중의 임의의 1층으로 하거나, 또는 2층 이상으로 마련하는 것이 가능해진다.

보다 구체적인 형태로서는, 예컨대, 광의 입사측으로부터 순서대로, 예컨대, ZrO₂, ITO 등으로 이루어지는 코팅 부재, SiO₂ 및 ZrO₂와 같은 4층으로 이루어지는 구성을 채용하는 것이 가능하다.

또, 일반적으로는, 광입사측을 최상층으로 하면, 그 최상층의 하나 앞의 층에 있어서, 본 발명에 따른 코팅 부재를 포함하고 있는 쪽이 바람직하다고 할 수 있다(상술한 구체적 형태는 그 일례임). 이러한 경우에는, 무반사 코트 본래의 기능과 코팅 부재가 발휘해야 할 기능과의 협조적인 조화가 도모될 수 있기 때문이다.

본 발명의 전기 광학 장치의 다른 형태에서는, 상기 코팅 부재는, 투명 도전성 재료로 이루어진다.

이 형태에 의하면, 코팅 부재가 투명 재료이므로, 전기 광학 장치 전체로서의 투명성 내지 그 투과율을 손상하지 않고서, 분진의 부착을 방지하는 코팅 부재를 구성할 수 있다.

또, 본 실시예에서 말하는 「투명 도전성 재료」로서, 구체적으로는, ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide) 등이 생각된다.

이 형태에서는 특히, 상기 투명 도전성 재료로 이루어지는 상기 코팅 부재는, 그라운드 전위로 되어 있도록 하면 좋다. 이러한 구성에 의하면, 분진 부착 방지 작용을, 보다 확실하게 발휘시킬 수 있기 때문이다. 또한, 코팅 부재를 부유(浮遊)(floating) 전위로 해 놓으면, 필요없는 용량 커플링(coupling)을 생기게 할 가능성이 있는 등, 전기 광학 장치의 동작에 있어서 바람직하지 못한 영향을 미치게 할 가능성이 있지만, 본 형태에서는, 그와 같은 우려를 할 필요도 없다.

본 발명의 전기 광학 장치의 다른 형태에서는, 당해 전기 광학 장치로부터 간격을 띄워 마련된 광학 요소를 더 구비하고, 상기 코팅 부재는, 상기 광학 요소에 마련되어 있다.

이 형태에 의하면, 전기 광학 장치의 외측의 구성으로서 통상 마련되는, 편광판 또는 위상차판 등의 광학 요소가, 당해 전기 광학 장치로부터 간격을 띄워 마련되고, 또한, 해당 광학 요소에는 상기 코팅 부재가 마련되어 있게 된다. 이것에 의해, 다음과 같은 작용 효과가 나타나게 된다.

즉, 상기한 편광판 또는 위상차판 등도 또한, 화상 구성에 기여하는 광을 투과시키는 광학 요소의 하나라는 점에서 보면, 해당 광학 요소의 표면 등에 분진 등이 부착되는 것은, 분진의 투영 문제를 효율적으로 해소할 수 없게 된다. 그런데, 본 형태에 있어서는, 코팅 부재도 또한, 당해 편광판 또는 당해 위상차판 등에 대하여 접착되어 이루어지는 구성 등을 채용하는 것이 가능해지므로, 편광판 또는 위상차판 등의 표면에 대해서도, 그것에 대한 분진의 부착이라는 사상(事象)을 발생시키지 않도록 하고, 나아가 분진의 화상상으로의 투영 문제를 보다 유효하게 해소하는 것이 가능해지는 것이다.

이러한 작용 효과는, 본 형태에서 말하는 광학 요소에 평행광을 투사하는 경우에 있어서 특히 유효하다. 평행광에서는, 광학 요소가 분리되어 있었다고 해도, 디포커스 효과가 충분하게는 발휘되지 않기 때문이다.

또, 본 형태에 있어서는, 전기 광학 장치로부터 간격을 띄워 코팅 부재를 마련한다고 해도, 이것과 더불어, 전기 광학 장치를 구성하는 한쪽 기판 또는 다른쪽 기판 중 적어도 하나의 위에 직접적으로 첨부되는 코팅 부재를 별도로 구비하는 형 태로 하여도 아무런 문제는 없다. 즉, 예컨대, 전기 광학 장치의 양면에 접착된 코팅 부재와, 상술한 편광판 또는 위상차판 등의 양면에 접착된 코팅 부재의 양자가 존재(이 경우, 총 4개의 코팅 부재가 존재하게 됨)하는 형태로 하여도 좋다. 물론 경우에 따라서는, 간격을 띄워 마련된 광학 요소에만 코팅 부재가 마련되는 형태로 하여도 좋은 것은 물론이다.

또한, 상술한 바와 같이, 편광판 또는 위상차판 등을 전기 광학 장치와는 간격을 띄워 마련하는 형태에 의하면, 그 자체에 근거하는 다음과 같은 작용 효과도 얻어진다.

즉, 만약, 편광판 또는 위상차판 등의 광학 요소를, 전기 광학 장치를 구성하는 한쪽 기판 또는 다른쪽 기판면에 직접적으로 붙이는 것 같은 형태를 취하면, 해당 광학 요소내에 비교적 큰 핀홀 등이 존재하는 경우, 분진의 투영 문제와 마찬가지로 하여, 핀홀 등의 투영 문제가 발생해 버린다. 그러나, 본 형태에 있어서는, 그와 같은 우려가 거의 없는 것이다. 왜냐하면, 편광판 또는 위상차판 등은, 전기 광학 장치로부터「간격을 띄워」마련되어 있어, 그 만큼의 디포커스 효과가 기대되기 때문이다. 이것은, 복수의 광학 요소를 마련하는 경우에 있어, 이들을 적당한 접착제 등에 의해 접착하는 경우에도 마찬가지로 적합하다. 당해 접착제 등에 분진이 혼입되면, 상술과 마찬가지로, 그 접착제중의 분진이 투영된다고 하는 문제가 발생할 가능성이 있기 때문이다.

이상에 의해 결국, 본 형태에 의하면, 당해 편광판 또는 당해 위상차판 등의 광학 요소에 관한 설계 룰을 완화하는 것이 가능해지는 것이다. 즉, 비교적 큰 핀 홀 등이 당해 광학 요소내에 존재했다고 해도, 또한, 복수의 광학 요소 사이(예컨대, 편광판 및 위상차판 사이)에 분진이 혼입되었다고 해도, 상기 디포커스 효과에 의해서, 그들이 화상상에 투영되는 일은 없는 것이다. 따라서, 본 실시예에 의하면, 전체적으로 저렴한 전기 광학 장치를 제공하는 것이 가능해진다.

본 발명의 전기 광학 장치의 다른 형태에서는, 상기 코팅 부재의 전기 저항값은, 10¹²〔Ω〕 이하이다.

이 형태에 의하면, 코팅 부재의 전기 저항값은, 대전 방지 영역, 도전성 영역 및 도체 영역 중 어느 하나에 속하는 것이 되므로, 상술한 바와 같은 분진 부착 방지 작용을 보다 확실히 기대할 수 있다.

또한, 본 발명의 전기 광학 장치는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 전기 광학 물질을 사이에 유지하여 이루어지는 한 쌍의 기판과, 해당 한 쌍의 기판 중 한쪽 기판상에 마련된 표시용 전극과, 해당 표시용 전극에 스위칭 소자를 거쳐서 또는 직접적으로 접속된 배선과, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측의, 그의 적어도 표면에 있어서 계면 활성제를 포함하는 코팅 부재를 구비하여 이루어진다.

본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 상술한 전기 광학 장치와 마찬가지로, 전기 광학 물질에 대한 전계 인가, 그로 인해 야기되는 해당 전기 광학 물질의 상태 변화를 통하여, 화상을 표시하는 것이 가능해진다.

여기서 본 발명에 있어서는 특히, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 있어 서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측의, 그의 적어도 표면에 있어서 계면 활성제를 포함하는 코팅 부재를 구비하고 있다. 여기서, 계면 활성제는, 마이너스 이온의 아니온(anion)계, 플러스 이온의 카티온(cation)계로 대별할 수 있지만, 본 발명에서는 어느 쪽을 사용하도록 하더라도 좋다. 어떠한 경우에도, 본 발명에 의하면, 이 계면 활성제의 작용에 의해, 분진의 부착을 미연에 방지하는 것이 가능해진다. 이것은, 전술한 바와 같이, 해당 분진의 부착이, 대부분의 경우, 정전기력에 기인하여 발생하기 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 의해서도, 분진의 상이 투영되는 등의 사태를 미연에 방지하는 것이 가능하여, 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능해지는 것이다.

본 발명의 전자 기기는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 상술한 본 발명의 전기 광학 장치(단, 그 각종 형태를 포함함)를 구비하여 이루어진다.

본 발명의 전자 기기에 의하면, 상술한 본 발명의 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지므로, 분진의 투영의 문제에 대하여 거의 우려할 바가 없는 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능한, 액정 텔레비젼, 휴대 전화, 전자 수첩, 워드 프로세서, 뷰 파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 워크스테이션, 텔레비젼 전화, POS 단말, 터치 패널 등의 각종 전자 기기를 실현할 수 있다.

본 발명의 투사형 표시 장치는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 상술한 본 발명의 전기 광학 장치(단, 그 각종 형태를 포함함)로 이루어지는 광밸브와, 해당 광밸브에 투사광을 입사시키는 광원과, 해당 광밸브로부터 출사된 상기 투사광을 투사하는 광학계와, 상기 광밸브에 대한 송풍을 행하는 송풍 팬을 구비하고 있다.

본 발명의 투사형 표시 장치에 의하면, 광원으로부터 발생된 광은, 광밸브로서의 전기 광학 장치에 투사되어, 해당 전기 광학 장치를 출사한 후, 이것을 광학계에 의해서 확대하는 것에 의해, 비교적 큰 화상을 영사막 등의 위에 표시하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 상기 광밸브에 대한 송풍을 행하는 송풍 팬이 구비되어 있다. 이 송풍 팬에 의하면, 광밸브의 냉각이 가능해진다.

그리고 본 발명에서는 특히, 이 송풍 팬에 관해서 다음과 같은 작용 효과가 얻어진다. 즉, 본 발명에 있어서의 투사형 표시 장치에서는, 광밸브가 상술한 본 발명의 전기 광학 장치로 이루어지기 때문에, 앞서 설명한 바와 같이, 방진 유리의 설치 불필요, 또는 그 두께의 감소에 기인하여, 해당 광밸브로부터의 열의 방산이 용이한 것이다. 따라서, 본 발명에 따른 송풍 팬에는, 특별히 큰 출력을 갖는 것이 요구되지 않는다. 그렇지 않더라도 충분한 냉각이 행해질 수 있기 때문이다.

따라서, 본 발명에 의하면, 송풍 팬에 필요로 되는 소비 전력의 삭감이 가능해지고, 또한, 출력을 저하시켜도 되기 때문에, 팬에 의한 소위 바람 소리를 작게 하는 것이 가능해져, 조용한 투사형 표시 장치를 제공하는 것이 가능해지는 것이다.

또한, 본 발명에 따른 송풍 팬에 의하면, 광밸브의 표면에 부착되려고 하는 분진을, 그 부착전에 불어 날려버리는 것이 가능해진다. 특히, 본 발명에 따른 광밸브는, 상술한 본 발명의 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지므로, 이것만으로도 상당 정도로 높은 확실도로 분진의 부착이 발생하지 않을 뿐 아니라, 상기 송풍 팬에 의하면, 이러한 작용 효과를 보다 확실히 할 수 있게 되는 것이다.

따라서, 본 발명에 따른 투사형 표시 장치에 의하면, 보다 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능해진다.

본 발명의 이러한 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시예로부터 분명하게 된다.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 이하의 실시예는, 본 발명의 전기 광학 장치를 액정 장치에 적용한 것이다.

(제 1 실시예)

우선, 제 1 실시예에 따른 전기 광학 장치의 전체 구성을, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 또, 도 1은 TFT 어레이 기판을 그 위에 형성된 각 구성 요소와 함께 대향 기판(20)측으로부터 본 평면도이며, 도 2는 도 1의 H-H' 단면도이다. 또한, 도 3은 도 2에 있어서 부호 CR를 부여한 원 내부를 확대한 단면도이다. 또, 도 3에 있어서는, 각 층·각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 해당 각 층·각 부재마다 축척을 다르게 하고 있다.

도 1 및 도 2에 있어서, 제 1 실시예에 따른 전기 광학 장치에서는, TFT 어레이 기판(10)과 대향 기판(20)이 대향 배치되어 있다. TFT 어레이 기판(10)과 대향 기판(20)의 사이에는, 액정(50)이 봉입되어 있고, TFT 어레이 기판(10)과 대향 기판(20)은, 화상 표시 영역(10a)의 주위에 위치하는 밀봉 영역에 마련된 밀봉재(52)에 의해 서로 접착되어 있다.

여기서, 액정(50)은, 예컨대 일종 또는 수종류의 네마틱 액정을 혼합한 액정으로 이루어지며, 후술하는 한 쌍의 배향막 사이에서, 소정의 배향 상태를 취하는 것이다.

또한, 화상 표시 영역(10a)은, TFT 어레이 기판(10)상에 있어서, 매트릭스 형상으로 배열된 화소 전극(9a), 해당 화소 전극(9a)의 각각에 접속된 TFT, 해당 TFT에 접속된 주사선 및 데이터선(모두, 도 8 내지 도 10을 참조하여 후술함) 등이 마련된 영역, 또는 해당 영역에 대향하고 또한 대향 기판(20)상에 있어서 대향 전극(21)이 마련된 영역의 것인, 도 1에 있어서 "ㅁ"자 형상을 갖는 프레임 차광막(53)에 의해서 규정되는 영역인 것이다.

이 화상 표시 영역(10a)에서는, 공간적으로 보아 도 1의 지면을 향하여 위에서 아래쪽에 이르는(즉, 대향 기판(20)측으로부터 TFT 어레이 기판(10)측에 이르는) 광의 투과가 가능하게 되어 있어, 화상의 표시에 기여하는 것으로 된다. 또, 광의 투과가 가능하게 되는 것은, 상기 화소 전극(9a) 또는 그 일부, 혹은 대향 전극(21)이 투명 재료로 이루어지고, 또한 해당 화소 전극(9a)의 각각에 대한 전계의 인가에 의해서 상기 액정(50)의 상태가 변경을 받기 때문이다. 또한, 화소 전극(9a)의 하나 및 상기 TFT의 하나를 적어도 포함하는 것을 1 단위로 하여, 1 화소가 정의된다.

더욱이, 밀봉재(52)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 화상 표시 영역(10a)의 주위를 둘러싸도록 마련되어 있다. 단, TFT 어레이 기판(10)과 대향 기판(20) 사 이에 끼워진 간극내에 액정을 인도하기 위해서, 밀봉재(52)의 일부에 있어서는, 도 1의 아래쪽에 도시하는 바와 같이, 절결부가 형성되어 액정 주입구(52a)가 마련되어 있다. 또한, 완성된 전기 광학 장치에 있어서는, 액정 주입구(52a)가 존재하는 부분에 대응하여, 상기 간극에 도입된 액정(50)이 외부로 새어나가지 않도록 하기 위해서, 예컨대 자외선 경화형 아크릴계 수지로 이루어지는 봉지재(54)가 마련되어 있다.

이러한 밀봉재(52)를 구성하는 재료로서는, 예컨대, 자외선 경화 수지, 열경화 수지 등을 들 수 있다. TFT 어레이 기판(10) 및 대향 기판(20)을 접합하는데 있어서는, 적당한 압력을 가하여 양 기판(10 및 20)을 압착하고, 또한 밀봉재가 자외선 경화 수지로 이루어지는 것이면 해당 밀봉재에 대하여 자외선을 조사하는 것에 의해, 또한, 열경화 수지로 이루어지는 것이면 가열을 행하는 것 등에 의해, 경화시키고 있다.

또한, 이 밀봉재(52)중에는, 양 기판(10 및 20) 사이의 간극의 간격, 즉 셀 갭을 소정값으로 하기 위해서, 스페이서의 일종인 갭재(도시하지 않음)가 산포되어 있다. 이 갭재는, 예컨대 유리 섬유, 또는 유리 비즈 등으로 이루어지며, 대략 구형상의 형상을 갖고 있는 것이 일반적이다.

또한, 도 2에 있어서, TFT 어레이 기판(10)상에는, 화소 스위칭용의 TFT나 주사선, 데이터선 등의 배선이 형성된 후의 화소 전극(9a)상에, 배향막(16)이 형성되어 있다. 한편, 대향 기판(20)상에는, 화소 전극(9a)이 형성되는 영역에 거의 대응하는 개구 영역을 규정하기 위해서 격자 형상으로 배치된 상측 차광막(23)이, 및, 해당 상측 차광막(23)상에 ITO 등의 투명 재료로 이루어지는 대향 전극(21)이 형성되며, 더욱이 그 상측에 도포 공정, 소성 공정, 러빙(rubbing) 처리 공정 등이 실시된 배향막(22)이 형성되어 있다.

그리고, 제 1 실시예에서는 특히, 도 2 및 그 일부 확대도인 도 3에 도시하는 바와 같이, 대향 기판(20)에 있어서의 액정(50)에 대향하지 않는 측(도 3 중, 상측)에, 해당 대향 기판(20) 쪽으로부터 보아, AR(Anti Reflection; 무반사) 코트(500), 편광판(701) 및 코팅 부재(401)가 순차적으로 마련되어 있다.

이 중, AR 코트(500)는, 예컨대 지르코니아(ZrO₂), 실리카(SiO₂) 등의 단층, 또는 복수층으로 이루어진다. 예컨대, 지르코니아, 실리카, 지르코니아, 실리카라고 하는 4층 구조로 하거나, 이것에 계속하여, 또한 지르코니아, 실리카를 반복하여, 보다 다층의 구조를 갖도록 하더라도 좋다. 이것에 의해, 예컨대, 공기층(도 3 중 상방)으로부터 대향 기판(20)내(도 3 중 하방)의 서로 다른 굴절율을 갖는 부재사이에 있어서, 필요없는 반사에 의한 손실(loss)을 피하는 것이 가능해져, 당해 부재 사이에 걸쳐 효율적인 도광이 가능해진다. 또한, 편광판(701)은, 액정(50)에 입사시킬 광을 적당한 편광 상태로 한다. 이것에 의해, 액정(50)의 배향 상태를 적당히 정함으로써, 해당 편광 상태와 해당 배향 상태가 일정한 관계에 있는 경우에는, 편광광인 입사광이 거의 완전히 투과하는 상태로 되고, 거기에서 연속적으로, 해당 입사광이 거의 완전히 차폐되는 상태에 이르기까지의 조정을 행하는 것이 가능해진다.

그리고, 제 1 실시예에 있어서 특징적인 코팅 부재(401)는, 투명 도전성 재료의 일례인 ITO로 이루어진다. 또한, 이 코팅 부재(401)는, 그의 적어도 일부에 있어서 전기적인 배선이 접속되어, 그라운드 전위로 떨어져 있다.

이상과 같은 구성 외에, 도 1 내지 도 3에 있어서는, 밀봉재(52)의 외측 영역에, 후술하는 데이터선에 화상 신호를 소정의 타이밍으로 공급하는 것에 의해 해당 데이터선을 구동하는 데이터선 구동 회로(101) 및 외부 회로 접속 단자(102)가 TFT 어레이 기판(10)의 1변을 따라 마련되어 있는 한편, 후술하는 주사선에 주사 신호를 소정의 타이밍으로 공급하는 것에 의해 해당 주사선을 구동하는 주사선 구동 회로(104)가, 이 1변에 인접하는 2변을 따라 마련되어 있다. 또, 주사선에 공급되는 주사 신호 지연이 문제로 되지 않는다면, 주사선 구동 회로(104)는 한 쪽만 있어도 되는 것은 물론이다. 또한, 데이터선 구동 회로(101)를 화상 표시 영역(10a)의 변을 따라 양측에 배열하더라도 좋다.

TFT 어레이 기판(10)의 남는 1변에는, 화상 표시 영역(10a)의 양측에 마련된 주사선 구동 회로(104) 사이를 잇기 위한 복수의 배선(105)이 마련되어 있다. 또한, 대향 기판(20)의 코너부의 적어도 1개소에 있어서는, TFT 어레이 기판(10)과 대향 기판(20)의 사이에서 전기적으로 도통을 취하기 위한 상하 도통재(106)가 마련되어 있다.

또, TFT 어레이 기판(10)상에는, 이들 데이터선 구동 회로(101), 주사선 구동 회로(104) 등에 부가하여, 복수의 데이터선(6a)에 화상 신호를 소정의 타이밍으로 인가하는 샘플링 회로, 복수의 데이터선(6a)에 소정 전압 레벨의 프리차지 신호 를 화상 신호에 선행하여 각각 공급하는 프리차지 회로, 제조 도중이나 출하시의 당해 전기 광학 장치의 품질, 결함 등을 검사하기 위한 검사 회로 등을 형성하더라도 좋다.

이상과 같은 구성을 갖는 제 1 실시예의 전기 광학 장치에서는, 상술한 코팅 부재(401)의 존재에 의해, 다음과 같은 작용 효과가 나타나게 된다.

우선, 제 1 실시예에 있어서는, 투명 도전성 재료의 일례인 ITO로 이루어지는 코팅 부재(401)를 구비하고 있었던 것에 의해, 전기 광학 장치의 가장 외측 표면(도 3 중 최상면)에 있어서의 분진의 부착이 거의 발생하지 않는다. 이것은, 코팅 부재(401)가, 도전성을 갖고 있기 때문에, 대전된 분진이 정전기력에 의해서 부착된다고 하는 사상의 발생을, 미연에 방지하는 것이 가능하기 때문이다. 따라서, 제 1 실시예에 의하면, 분진의 투영 문제가 거의 발생되지 않아, 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능해진다.

또한, 제 1 실시예의 전기 광학 장치에 의하면, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 방진 유리를 마련할 필요가 없다. 이것은, 코팅 부재(401)에 있어서, 상술한 바와 같은 작용이 발휘됨으로써, 이제는 분진의 부착에 대하여 거의 우려할 필요가 없기 때문이다. 따라서, 제 1 실시예에 의하면, 분진의 화상상의 투영 문제를 해결하기 위해서, 비교적 두께가 두꺼운 방진 유리를 마련하고 있었던 것에 기인하는 종래의 문제점을 일으키는 일이 없다. 즉 첫째로, 방진 유리를 마련하지 않아도 되는 것에 의한 비용 삭감이 가능하다. 또한 둘째로, 전기 광학 장치 전체의 소형화를 실현할 수 있다. 그리고 셋째로, 전기 광학 장치의 내부에 축적되는 열을 외부로 방산하는 것이 용이하여, 전기 광학 장치의 정확한 동작을 실현하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 제 1 실시예에 의하면, 상술한 바와 같은 각종 작용 효과가 나타나게 되는 것이다.

또, 위에 있어서는, 코팅 부재(401)가, ITO로 이루어진다고 했었지만, 이것 대신에, 투명 도전성 재료의 다른 예인 IZO를 사용하더라도 좋다. 또한, 코팅 부재(401)는, 반드시 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 것으로 할 필요는 없고, 대전된 분진의 부착을 방지하는 작용이라는 관점으로부터, 적어도 「대전 방지성 재료」로 이루어지도록 해두면 좋다. 그러한 재료로서는 여러 가지가 생각되지만, 보다 구체적으로는, 해당 코팅 부재(401)의 전기 저항값이 10¹²〔Ω〕이하인 것 같은 것을 선택하면, 상응의 분진 부착 방지 작용의 발휘를 기대할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서는, 상술한 바와 같은 구성 대신에 또는 부가하여, 코팅 부재의 표면에 계면 활성제를 포함시키더라도 좋다. 이러한 형태이더라도, 상술과 대략 마찬가지의 작용 효과가 나타난다. 이러한 것도, 계면 활성제에는, 대전 방지 작용을 갖는 것(예컨대 특히, 마이너스 이온의 아니온계)이 알려져 있고, 이것을 코팅 부재의 표면에 마련하는 것에 의하면, 대전된 분진의 부착을 방지하는 작용을 기대할 수 있기 때문이다.

부가하여, 도 2 및 도 3에 있어서는, 코팅 부재(401)가 대향 기판(20)측에만 마련된 형태를 도시하였지만, 본 발명은, 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니다. 경우에 따라서는, TFT 어레이 기판(10)측에만, 또는 TFT 어레이 기판(10) 및 대향 기판(20)의 양측에, 코팅 부재(401) 등을 마련하는 것 같은 구성으로 하여도 좋다.

또한, 도 2 및 도 3에 있어서는, 편광판(701)이 구비되어 있었지만, 이것을 반드시 마련할 필요는 없다. 즉, 그러한 경우에 있어서는, 도 3의 아래로부터 순서대로, 대향 기판(20), AR 코트(500) 및 코팅 부재(401)라고 하는 구성으로 된다. 이 경우 또한, 편광판(701)을 마련하는 것이면, 그것은, 전기 광학 장치 본체로부터는 분리하여 마련하는 것 같은 형태로 하여도 좋다(후술의 제 4 실시예 참조).

아울러, 상술한 바와 같은 각종 변형 실시예에 관한 것은, 이하에 설명하는 각종 실시예에 있어서도, 그대로, 또는 적절히 변형하여 적합하게 할 수 있으며, 그러한 것도 본 발명의 범위내에 있음은 말할 필요도 없다.

(제 2 실시예)

이하에서는, 본 발명의 제 2 실시예에 대하여, 도 4를 참조하면서 설명한다. 여기서, 도 4는 도 3과 동일 취지의 도면이고, 동 도면과는 그 형태가 상이한 것을 나타내는 것이다. 또, 도 4에 있어서 도시되어 있는 구성에 있어서, 도 3과 동일의 부호가 부여되어 있는 구성에 대해서는, 상기 제 1 실시예와 마찬가지이기 때문에, 그 설명을 생략하는 것으로 한다. 이것은, 이하에 설명하는 제 3 실시예 이후에 대해서도 마찬가지이다.

제 2 실시예에서는, 상기 제 1 실시예와 비교하여, 방진 유리(901)가 마련되어 있는 점이 다르다. 즉, 대향 기판(20)측으로부터 순서대로, 방진 유리(901), AR 코트(500), 편광판(701) 및 코팅 부재(401)가 마련된 구성으로 되어 있다. 여기서 방진 유리(901)는, 예컨대 적당한 유리 재료로 이루어지는 것으로 하면 좋다.

이러한 제 2 실시예에 의하면, 상술한 코팅 부재(401)에 의한 분진 부착 방지 작용과 맞물려, 방진 유리(901)에 의한 디포커스에 따른 작용 효과도 기대할 수 있어, 분진의 화상상의 투영 문제는, 보다 발생하기 어렵게 된다. 즉, 도 4에 있어서의 도면 중 최상층에 있어서 가령 분진이 부착하는 것 같은 일이 있더라도, 그 위치는, 초점 위치로부터 상당 정도 벗어나 있기 때문에, 해당 분진의 상이 영사막상에 나타나는 것을 미연에 방지하는 것이 가능해지는 것이다.

또, 이 경우에 있어서의 방진 유리(901)의 두께는, 종래에 비교하여, 얇게 하는 것이 가능하다. 예컨대 구체적으로는, 종래, 충분한 디포커스 효과를 얻기 위해서는, 방진 유리의 두께로서는, 2mm 이상인 것이 필요했던 것에 비교해, 제 2 실시예에서는, 그 정도의 두께는 필요없게 된다. 따라서, 그 감소분 만큼에 따른 전기 광학 장치의 소형화나 열 방산의 용이성은, 제 2 실시예에 있어서도 누릴 수 있다.

(제 3 실시예)

이하에서는, 본 발명의 제 3 실시예에 대하여, 도 5를 참조하면서 설명한다. 여기서, 도 5는 도 3과 동일 취지의 도면이고, 동 도면과는 그 형태가 상이한 것을 나타내는 것이다.

제 3 실시예에서는, 상기 제 1 실시예와 비교하여, AR 코트(501)의 구성에 특징이 있는 점에서 다르다. 즉, 도 5에 도시하는 바와 같이, 제 3 실시예에 따른 AR 코트(501)는, 4층 구조로 되어 있고, 도면 중 아래쪽으로부터 순서대로, 제 1 지르코니아층(502), 실리카층(503), ITO 층(403) 및 제 2 지르코니아층(504)이라는 구조를 갖고 있다. 이 중, ITO 층(403)은, 본 발명에서 말하는 「코팅 부재」의 일례에 해당하고 있다. 즉, 제 3 실시예에 있어서는, AR 코트(501) 그 자체가, 도전성을 갖도록 되어 있는 것이다.

이러한 형태이더라도, 상술한 제 1 실시예와 대략 마찬가지의 작용 효과가 발휘되는 것이 명백하다.

또, 본 발명은, 상술한 바와 같은 AR 코트(501)의 구성 외에, 기타 여러 가지의 구성을 취할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 예컨대, 지르코니아층 및 실리카층이 교대로 나타나는 다층 구조중, 그 중의 임의의 1층 또는 2층 이상이, 코팅 부재인 ITO 층 등이어서 좋다. 단, 일반적으로는, 최상층의 하나 앞의 층에 있어서, 본 발명에 따른 대전 방지성 재료로 이루어지는 코팅 부재를 포함하고 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, AR 코트(501)가 본래 가져야 되는 반사 방지 작용과 분진 부착 작용을 가장 효과적으로 발휘시키는 것이 가능해지기 때문이다.

(제 4 실시예)

이하에서는, 본 발명의 제 4 실시예에 대하여, 도 6을 참조하면서 설명한다. 여기서, 도 6은 도 3과 동일 취지의 도면이고, 동 도면과는 그 형태가 상이한 것을 나타내는 것이다.

제 4 실시예는, 상기 제 3 실시예의 변형 실시예이다. 즉, 도 6에 있어서는, 도 5에 도시한 바와 같은, 코팅 부재(404a)를 포함하는 AR 코트(501A) 및 코팅 부재(404b)를 포함하는 AR 코트(501B), 및, 이들 2장의 AR 코트(501A 및 501B)에 사이에 유지된 편광판(701)(이하, 이들 일체를「분리 광학 요소」라고 함)이, 대향 기판(20)의 표면으로부터는 간격을 띄워 설치되어 있다. 이러한 형태이면, 당해 분리 광학 요소에 있어서 코팅 부재(404a 및 404b)에 의한 분진 부착 방지 작용이 발휘되는 것 외에, 방진 유리를 마련하지 않더라도, 분리 광학 요소는, 전기 광학 장치 본체로부터「간격을 띄워」 설치되어 있는 것이므로, 소정의 디포커스 효과를 얻는 것이 가능해진다.

따라서, 제 4 실시예에 있어서도, 분진의 화상상으로의 투영 문제는 거의 발생하지 않아, 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능해진다.

또, 도 6에 있어서는, 분리 광학 요소중에 포함되는 코팅 부재(404a 및 404b)가 존재하는 것 외에, 전기 광학 장치 그 자체에 대해서도 대향 기판(20)상에 코팅 부재(404c)가 존재하고 있다. 이 코팅 부재(404c)도 또한, 제 3 실시예에서 도시한 바와 같이, AR 코트(501C)의 일부를 구성하고 있는 것이다. 본 발명에 있어서는, 이와 같이, 전기 광학 장치와는 떨어져서 코팅 부재를 마련하는 형태에 있어서도, 당해 전기 광학 장치에 접착하여 이루어지는 코팅 부재를 마련하는 것 같은 형태로 해도 아무런 문제는 없다. 오히려 분진의 투영 문제의 해소라는 점에서 보면, 보다 바람직한 형태라고 할 수 있다.

또한, 상술에서는, 분리 광학 요소는, AR 코트(501A 및 501B) 및 편광판(701)으로 구성되어 있지만, 본 발명은, 그러한 형태에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 도 6에 나타내는 구성 요소에 부가하여, 위상차판 등을 추가하는 경우도 생각된다.

더욱이, 도 6에 있어서는, 제 3 실시예의 변형 실시예만을 나타내었지만, 제 2 내지 제 4 실시예에 대해서도, 도 6과 마찬가지로, 「이격」된 분리 광학 요소를 마련하는 구성으로 하면 되는 것은 물론이다.

(제 5 실시예)

이하에서는, 본 발명의 제 5 실시예에 대하여, 도 7을 참조하면서 설명한다. 제 5 실시예는, 상술한 각종 실시예에 따른 전기 광학 장치를, 전자 기기의 일례인 투사형 표시 장치에 적용한 경우에 관한 것이고, 도 7은 그 투사형 표시 장치의 일례인 컬러 액정 프로젝터를 나타내는 도식적 단면도이다.

도 7에 있어서, 제 5 실시예에 있어서의 투사형 표시 장치의 일례인 액정 프로젝터(1100)는, 구동 회로가 TFT 어레이 기판상에 탑재된 액정 장치를 포함하는 액정 모듈을 3개 준비하여, 각각 RGB 용의 광밸브(100R, 100G 및 100B)로서 이용한 프로젝터로서 구성되어 있다. 여기서, 이들 3개의 광밸브(100R, 100G 및 100B)로서, 상기 각종 실시예에 따른 전기 광학 장치가 사용되고 있다.

액정 프로젝터(1100)에서는, 메탈 할라이드 램프 등의 백색 광원의 램프 유닛(1102)으로부터 투사광이 발생하면, 3장의 미러(1106) 및 2장의 다이클로익 미러(1108)에 의해서, RGB의 삼원색에 대응하는 광성분 R, G 및 B로 나누어지고, 각 광에 대응하는 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 각각 인도된다. 이 때 특히, B 광은, 긴 광로에 의한 광손실을 막기 위해서, 입사 렌즈(1122), 릴레이 렌즈(1123) 및 출사 렌즈(1124)로 이루어지는 릴레이 렌즈계(1121)를 거쳐서 인도된다. 그리고, 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 의해 각각 변조된 삼원색에 대응하는 광성분은, 다이클로익 프리즘(1112)에 의해 재차 합성된 후, 투사 렌즈(1114)를 거쳐서 스크린(1120)에 컬러 화상으로서 투사된다.

또한, 이 투사형 컬러 표시 장치에서는, 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 대한 송풍을 행하는 송풍 팬(1141)이 장착되어 있다. 이 송풍 팬(1141)은, 램프 유닛(1102)으로부터 발생하는 강력한 광을 주된 원인으로 하는, 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 있어서의 열의 축적을 완화하는 목적을 갖고 있다. 또, 상술한 각종 구성은, 전체적으로, 몰드(1151)내에 수용되어 이루어진다.

이러한 구성으로 이루어지는 제 5 실시예에 있어서는, 우선, 상술한 각종 실시예에 따른 전기 광학 장치가, 상기 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 적용되어 있는 것이므로, 해당 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 있어서, 상술과 대략 마찬가지의 분진 부착 방지에 따른 작용 효과가 나타나게 된다. 특히, 제 5 실시예에서는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 다이클로익 프리즘(1112)에 있어서의 광합성 후, 투사 렌즈(1114)에 의한 확대 표시가 이루어져 있으므로, 분진 부착이 발생하지 않는다는 것에 의해 향수되는 작용 효과는 특히 크다.

또한, 상기 광밸브(100R, 100G 및 100B)가, 상기 각종 실시예에 따른 전기 광학 장치로 이루어진다는 것은, 해당 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 있어서, 방진 유리의 생략 내지 그 두께 감소에 의한 열의 방산이 효율적으로 행하여지는 것을 의미하므로, 제 5 실시예에서는, 송풍 팬(1141)이 특별히 큰 출력을 가질 필요가 없다. 따라서, 종래에 비교하여, 소비 전력을 작고, 또한, 조용한 투사형 컬러 표시 장치를 제공하는 것이 가능해진다. 또, 송풍 팬(1141)의 존재에 의해서, 광밸브(100R, 100G 및 100B)에 부착되는 것 같은 분진 등은, 소위 불면 날라가는 것이므로, 송풍 팬(1141)이 마련된다는 것은, 그 점에 있어서도 바람직한 효과를 낳는다.

또, 상술에 있어서는, 전자 기기의 일례로서 투사형 표시 장치에 적용한 예를 설명했지만, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 이미 기술한 바와 같이, 전자 기기의 다른 예로서의, 휴대 전화나 퍼스널 컴퓨터 등의 액정 표시 장치에 적용 가능한 것은 말할 필요가 없다.

(전기 광학 장치내의 보다 상세한 구성)

이하에서는, 상술에서는 언급할 수 없었던 전기 광학 장치의 내부의 구성, 즉 TFT, 화소 전극, 주사선 및 데이터선 등의 구성, 또는 이들의 동작 등에 대하여, 정리하여 설명한다.

우선, 본 발명의 실시예에 있어서의 전기 광학 장치의 화소부에 있어서의 구성에 대하여, 도 8 내지 도 10을 참조하여 설명한다. 여기서, 도 8은 전기 광학 장치의 화상 표시 영역을 구성하는 매트릭스 형상으로 형성된 복수의 화소에 있어서의 각종 소자, 배선 등의 등가 회로이다. 또한, 도 9는 데이터선, 주사선, 화소 전극 등이 형성된 TFT 어레이 기판의 서로 인접하는 복수의 화소군의 평면도이며, 도 10은 도 9의 A-A' 단면도이다. 또, 도 10에 있어서는, 각 층·각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 해당 각 층·각 부재마다 축척을 다르게 하고 있다.

도 8에 있어서, 본 실시예에 있어서의 전기 광학 장치의 화상 표시 영역을 구성하는 매트릭스 형상으로 형성된 복수의 화소에는, 각각, 화소 전극(9a)과 당해 화소 전극(9a)을 스위칭 제어하기 위한 TFT(30)가 형성되어 있고, 화상 신호가 공급되는 데이터선(6a)이 당해 TFT(30)의 소스에 전기적으로 접속되어 있다. 데이터선(6a)에 기록하는 화상 신호 S1, S2, …, Sn은, 이 순서대로 선순차적으로 공급하더라도 상관없고, 서로 인접하는 복수의 데이터선(6a) 끼리에 대하여, 그룹마다 공급하도록 하더라도 좋다.

또한, TFT(30)의 게이트에 주사선(3a)이 전기적으로 접속되어 있고, 소정의 타이밍으로, 주사선(3a)에 펄스적으로 주사 신호 G1, G2, …, Gm을, 이 순서대로 선순차적으로 인가하도록 구성되어 있다. 화소 전극(9a)은, TFT(30)의 드레인에 전기적으로 접속되어 있고, 스위칭 소자인 TFT(30)를 일정 기간만 그 스위치를 닫는 것에 의해, 데이터선(6a)으로부터 공급되는 화상 신호 S1, S2, …, Sn을 소정의 타이밍으로 기입한다.

화소 전극(9a)을 거쳐서 전기 광학 물질의 일례로서의 액정에 기입된 소정 레벨의 화상 신호 S1, S2, …, Sn은, 대향 기판에 형성된 대향 전극과의 사이에서 일정 기간 유지된다. 액정은, 인가되는 전압 레벨에 의해 분자 집합의 배향이나 질서가 변화되는 것에 의해, 광을 변조하여, 계조 표시를 가능하게 한다. 노멀리 화이트 모드이면, 각 화소의 단위로 인가된 전압에 따라 입사광에 대한 투과율이 감소되고, 노멀리 블랙 모드이면, 각 화소의 단위로 인가된 전압에 따라 입사광에 대한 투과율이 증가되어, 전체로서 전기 광학 장치로부터는 화상 신호에 따른 콘트라스트를 갖는 광이 출사된다.

여기서 유지된 화상 신호가 리크하는 것을 막기 위해서, 화소 전극(9a)과 대향 전극의 사이에 형성되는 액정 용량과 병렬로 축적 용량(70)을 부가한다. 이 축적 용량(70)은, 주사선(3a)에 나란히 마련되며, 고정 전위측 용량 전극을 포함하고, 또한 정전위에 고정된 용량선(300)을 포함하고 있다.

이하에서는, 상기 데이터선(6a), 주사선(3a), TFT(30) 등에 의한, 상술한 바와 같은 회로 동작이 실현되는 전기 광학 장치의, 보다 현실적인 구성에 대하여, 도 9 및 도 10을 참조하여 설명한다. 또, 도 10에 있어서는, 도 2 내지 도 6에 도시한 바와 같은 코팅 부재 등의 도시는 생략하고 있다.

우선, 본 실시예에 따른 전기 광학 장치는, 도 9의 A-A' 선단면도인 도 10에 도시하는 바와 같이, 투명한 TFT 어레이 기판(10)과, 이것에 대향 배치되는 투명한 대향 기판(20)을 구비하고 있다. TFT 어레이 기판(10)은, 예컨대, 석영 기판, 유리 기판, 실리콘 기판으로 이루어지고, 대향 기판(20)은, 예컨대 유리 기판이나 석영 기판으로 이루어진다.

도 10에 도시하는 바와 같이, TFT 어레이 기판(10)에는, 화소 전극(9a)이 마련되어 있고, 그 상측에는, 배향막(16)이 마련되어 있다. 화소 전극(9a)은, 예컨 대 ITO(Indium Tin Oxide)막 등의 투명 도전성막으로 이루어진다. 한편, 대향 기판(20)에는, 그 전면에 걸쳐 대향 전극(21)이 마련되어 있고, 그 하측에는, 배향막(22)이 마련되어 있다. 이 중 대향 전극(21)도 또한, 상술한 화소 전극(9a)과 마찬가지로, 예컨대 ITO 막 등의 투명 도전성막으로 이루어진다.

한편, 도 9에 있어서, 상기 화소 전극(9a)은, TFT 어레이 기판(10)상에, 매트릭스 형상으로 복수 마련되어 있고(점선부(9a')에 의해 윤곽이 도시되어 있음), 화소 전극(9a)의 종횡의 경계를 각각 따라 데이터선(6a) 및 주사선(3a)이 마련되어 있다. 또한, 주사선(3a)은, 반도체층(1a) 중 도면중 우측 상향의 사선 영역에서 나타낸 채널 영역(1a')에 대향하도록 배치되어 있고, 주사선(3a)은 게이트 전극으로서 기능한다. 즉, 주사선(3a)과 데이터선(6a)의 교차하는 개소에는 각각, 채널 영역(1a')에 주사선(3a)의 본선부가 게이트 전극으로서 대향 배치된 화소 스위칭용의 TFT(30)가 마련되어 있다.

TFT(30)는, 도 10에 도시하는 바와 같이, LDD(Lightly Doped Drain) 구조를 갖고 있고, 그 구성 요소로서는, 상술한 바와 같이 게이트 전극으로서 기능하는 주사선(3a), 예컨대 폴리실리콘막으로 이루어지고 주사선(3a)으로부터의 전계에 의해 채널이 형성되는 반도체층(1a)의 채널 영역(1a'), 주사선(3a)과 반도체층(1a)을 절연하는 게이트 절연막을 포함하는 절연막(2), 반도체층(1a)에 있어서의 저농도 소스 영역(1b) 및 저농도 드레인 영역(1c) 및 고농도 소스 영역(1d) 및 고농도 드레인 영역(1e)을 구비하고 있다.

또, TFT(30)는, 바람직하게는 도 10에 도시한 바와 같이 LDD 구조를 갖는데, 저농도 소스 영역(1b) 및 저농도 드레인 영역(1c)에 불순물의 주입을 행하지 않는 오프셋 구조로 하여도 좋고, 주사선(3a)의 일부로 이루어지는 게이트 전극을 마스크로서 고농도로 불순물을 주입하여, 자기정합적으로 고농도 소스 영역 및 고농도 드레인 영역을 형성하는 셀프얼라인형의 TFT 이더라도 좋다. 또한, 본 실시예에서는, 화소 스위칭용 TFT(30)의 게이트 전극을, 고농도 소스 영역(1d) 및 고농도 드레인 영역(1e) 사이에 1개만 배치한 단일(single) 게이트 구조로 했지만, 이들의 사이에 2개 이상의 게이트 전극을 배치하더라도 좋다. 더욱이, TFT(30)를 구성하는 반도체층(1a)은 비단결정층이더라도 단결정층이더라도 상관없다. 단결정층의 형성에는, 접합법 등의 공지의 방법을 이용할 수 있다. 반도체층(1a)을 단결정층으로 함으로써, 특히 주변 회로의 고성능화를 도모할 수 있다.

한편, 도 10에 있어서는, 축적 용량(70)이, TFT(30)의 고농도 드레인 영역(1e) 및 화소 전극(9a)에 접속된 화소 전위측 용량 전극으로서의 중계층(71)과, 고정 전위측 용량 전극으로서의 용량선(300)의 일부가, 유전체막(75)을 거쳐서 대향 배치되는 것에 의해 형성되어 있다. 이 축적 용량(70)에 의하면, 화소 전극(9a)에 있어서의 전위 유지 특성을 현저히 높이는 것이 가능해진다.

중계층(71)은, 도전성의 막으로 이루어지며 화소 전위측 용량 전극으로서 기능한다. 단, 중계층(71)은, 후술하는 용량선(300)과 마찬가지로, 금속 또는 합금을 포함하는 단일층막 또는 다층막으로 구성하더라도 좋다. 중계층(71)은, 화소 전위측 용량 전극으로서의 기능 외에, 콘택트 홀(83 및 85)을 거쳐서, 화소 전극(9a)과 TFT(30)의 고농도 드레인 영역(1e)을 중계 접속하는 기능을 갖는다. 용량선(300)은, 예컨대 금속 또는 합금을 포함하는 도전막으로 이루어지며 고정 전위측 용량 전극으로서 기능한다. 이 용량선(300)은, 평면적으로 보면, 도 9에 도시하는 바와 같이, 주사선(3a)의 형성 영역에 겹쳐져 형성되어 있다. 보다 구체적으로는 용량선(300)은, 주사선(3a)을 따라 연장하는 본선부와, 도면 중, 데이터선(6a)과 교차하는 각 개소로부터 데이터선(6a)을 따라 위쪽으로 각기 돌출한 돌출부와, 콘택트 홀(85)에 대응하는 개소가 약간 오목한 오목부를 구비하고 있다. 이 중 돌출부는, 주사선(3a)상의 영역 및 데이터선(6a) 아래의 영역을 이용하여, 축적 용량(70)의 형성 영역의 증대에 공헌한다.

이러한 용량선(300)은, 바람직하게는 고융점 금속을 포함하는 도전성 차광막으로 이루어지고, 축적 용량(70)의 고정 전위측 용량 전극으로서의 기능 외에, TFT(30)의 상측에 있어서 입사광으로부터 TFT(30)를 차광하는 차광층으로서의 기능을 갖는다. 또한, 용량선(300)은, 바람직하게는, 화소 전극(9a)이 배치된 화상 표시 영역(10a)으로부터 그 주위로 연장되어, 정전위원과 전기적으로 접속되어, 고정 전위로 된다. 유전체막(75)은, 도 10에 도시하는 바와 같이, 예컨대 막두께 5∼200nm 정도의 비교적 얇은 HTO(High Temperature Oxide)막, LTO(Low Temperature Oxide)막 등의 산화 실리콘막, 또는 질화 실리콘막 등으로 구성된다. 도 9 및 도 10에 있어서는, 상기의 외에, TFT(30)의 하측에, 하측 차광막(11a)이 마련되어 있다. 하측 차광막(11a)은, 격자 형상으로 패터닝되어 있고, 이것에 의해 각 화소의 개구 영역을 규정하고 있다. 또, 개구 영역의 규정은, 도 9 중의 데이터선(6a)과, 이것에 교차하도록 형성된 용량선(300)에 의해서도, 될 수 있다. 또한, 하측 차광막(11a)에 대해서도, 전술한 용량선(300)의 경우와 마찬가지로, 그 전위 변동이 TFT(30)에 대하여 악영향을 미치게 하는 것을 피하기 위해서, 화상 표시 영역으로부터 그 주위로 연장하여 정전위원에 접속하면 좋다.

또한, TFT(30) 아래에는, 하지 절연막(12)이 마련되어 있다. 하지 절연막(12)은, 하측 차광막(11a)으로부터 TFT(30)를 층간 절연하는 기능 외에, TFT 어레이 기판(10)의 전면에 형성되는 것에 의해, TFT 어레이 기판(10)의 표면 연마시에 있어서의 거칠거칠함이나, 세정후에 남는 오염 등으로 화소 스위칭용의 TFT(30)의 특성 변화를 방지하는 기능을 갖는다.

부가하여, 주사선(3a)상에는, 고농도 소스 영역(1d)으로 통하는 콘택트 홀(81) 및 고농도 드레인 영역(1e)으로 통하는 콘택트 홀(83)이 각각 개공된 제 1 층간 절연막(41)이 형성되어 있다.

제 1 층간 절연막(41)상에는, 중계층(71) 및 용량선(300)이 형성되어 있고, 이들의 위에는 고농도 소스 영역(1d)으로 통하는 콘택트 홀(81) 및 중계층(71)으로 통하는 콘택트 홀(85)이 각각 개공된 제 2 층간 절연막(42)이 형성되어 있다.

또, 본 실시예에서는, 제 1 층간 절연막(41)에 대하여는, 약 1000℃의 소성을 행하는 것에 의해, 반도체층(1a)이나 주사선(3a)을 구성하는 폴리실리콘막에 주입된 이온의 활성화를 도모하더라도 좋다. 한편, 제 2 층간 절연막(42)에 대하여는, 이러한 소성을 행하지 않는 것에 의해, 용량선(300)의 계면 부근에 발생하는 스트레스의 완화를 도모하도록 하더라도 좋다.

제 2 층간 절연막(42)상에는, 데이터선(6a)이 형성되어 있고, 이들의 위에는 중계층(71)으로 통하는 콘택트 홀(85)이 형성된 제 3 층간 절연막(43)이 형성되어 있다.

제 3 층간 절연막(43)의 표면은, CMP(Chemical Mechanical Polishing) 처리 등에 의해 평탄화되어 있어, 그 아래쪽으로 존재하는 각종 배선이나 소자 등에 의한 단차에 기인하는 액정층(50)의 배향 불량을 저감한다. 단, 이와 같이 제 3 층간 절연막(43)에 평탄화 처리를 실시하는 대신에, 또는 부가하여, TFT 어레이 기판(10), 하지 절연막(12), 제 1 층간 절연막(41) 및 제 2 층간 절연막(42) 중 적어도 하나에 홈을 파, 데이터선(6a) 등의 배선이나 TFT(30) 등을 매립하는 것에 의해, 평탄화 처리를 행하더라도 좋다.

본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 청구의 범위 및 명세서 전체로부터 파악되는 발명의 요지, 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하고, 그와 같은 변경을 따르는 전기 광학 장치 및 전자 기기 및 투사형 표시 장치도 또한, 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.

본 발명에 따르면, 분진의 투영 문제를 해결하여 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능하고, 또한 그에 더하여 소형화를 도모할 수 있으며, 또한, 그 내부에 열을 축적시키지 않고서 안정적인 동작이 가능한 전기 광학 장치, 전자 기기 및 투사형 표시 장치를 제공할 수 있다.

Claims (14)

1. 전기 광학 물질을 사이에 유지하여 이루어지는 한 쌍의 기판과, 해당 한 쌍의 기판에 마련된 표시용 전극을 구비하는 전기 광학 장치로서,

   상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 측에 마련된 다층 구조를 갖는 무반사 코트와,

   상기 다층 구조를 갖는 무반사 코트의 층간에 배치된 ITO층

   을 구비하되,

   상기 무반사 코트의 상기 다층 구조에 있어서 상기 무반사 코트가 마련된 기판으로부터 가장 떨어진 층의 한층 앞에 상기 ITO층이 배치되어 있는

   것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 한 쌍의 기판중 한쪽 기판상에 스위칭 소자가 마련되고,

   상기 ITO층은 상기 한 쌍의 기판 중 다른쪽 기판상에 구비되어 있는 것

   을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 ITO층은 상기 다른쪽 기판상에 형성된 방진(防塵) 유리상에 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 ITO층은 그라운드 전위로 되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   당해 전기 광학 장치로부터 간격을 띄워 마련된 광학 요소를 더 구비하고,

   상기 ITO층은 상기 광학 요소에 마련되어 있는 것

   을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 ITO층은 전기 저항값은 10¹²〔Ω〕 이하인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
10. 삭제
11. 전자 기기로서,

    전기 광학 물질을 사이에 유지하여 이루어지는 한 쌍의 기판과, 해당 한 쌍의 기판에 마련된 표시용 전극을 갖는 전기 광학 장치를 구비하며,

    상기 전기 광학 장치는, 상기 한 쌍의 기판중 적어도 한쪽에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 쪽에 마련된 다층 구조를 갖는 무반사 코트와, 상기 다층 구조를 갖는 무반사 코트의 층간에 배치된 ITO층을 갖되, 상기 ITO층은 상기 무반사 코트의 상기 다층 구조에서의 상기 무반사 코트가 마련된 기판으로부터 가장 떨어진 층의 한층 앞에 마련되어 있는 것

    을 특징으로 하는 전자 기기.
12. 삭제
13. 투사형 표시 장치로서,

    전기 광학 물질을 사이에 유지하여 이루어지는 한 쌍의 기판과, 해당 한 쌍의 기판에 마련된 표시용 전극을 갖는 광밸브와,

    해당 광밸브에 투사광을 입사시키는 광원과,

    해당 광밸브로부터 출사(出射)된 상기 투사광을 투사하는 광학계와,

    상기 광밸브에 대한 송풍을 행하는 송풍 팬(fan)

    을 구비하며,

    상기 광밸브는 상기 한 쌍의 기판중 적어도 한쪽에 있어서의, 상기 전기 광학 물질에 대향하지 않는 쪽에 마련된 다층 구조를 갖는 무반사 코트와, 상기 다층 구조를 갖는 무반사 코트의 층간에 배치된 ITO층을 갖되, 상기 ITO층은 상기 무반사 코트의 상기 다층 구조에서의 상기 무반사 코트가 마련된 기판으로부터 가장 떨어진 층의 한층 앞에 마련되어 있는 것

    을 특징으로 하는 투사형 표시 장치.
14. 삭제

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