KR100542128B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커 - Google Patents

반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커에 관한 것으로, 트레이 스택커가 핸들러 본체에서 용이하게 인,입출 가능하도록 하는 가이드부재의 수를 최소화함으로써 구조를 단순화시키고, 비용을 절감할 수 있도록 한 것이다.
이를 위한 본 발명은, 핸들러 본체에 수평하게 설치되는 적어도 1개의 메인플레이트와; 상기 각 메인플레이트의 상면에 설치되며, 복수개의 트레이가 적층 상태로 지지되는 복수개의 트레이 적층부와; 상기 메인플레이트가 핸들러 본체에 대해 인입 및 인출 가능하도록 메인플레이트의 전,후진 이동을 안내하는 가이드부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커를 제공한다.
핸들러, 스택커, 메인플레이트, 트레이 적층부

Description

반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커{Tray Stacker for Semiconductor Test Handler}
도 1은 종래의 핸들러의 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 정면도
도 2는 본 발명에 따른 트레이 스택커의 일 실시예가 적용된 핸들러의 정면도
도 3은 도 2의 핸들러의 트레이 스택커의 구조를 나타내는 사시도
도 4는 도 3의 트레이 스택커의 정면도
도 5는 도 3의 트레이 스택커의 측면도
도 6은 도 3의 트레이 스택커의 요부 단면도
도 7과 도 8은 도 3의 트레이 스택커의 작동을 설명하는 평면도로, 도 7은 트레이 스택커가 인입된 상태의 도면이고, 도 8은 트레이 스택커가 인출된 상태의 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 핸들러 본체 20 : 트레이 스택커
21 : 메인플레이트 22 : 트레이 적층부
221 : 안착부재 222 : 가이드바아
23 : 슬라이드팩 231 : 아웃터레일
232 : 인너레일 24 : 클램핑장치
241 : 레버 242 : 후크부
243 : 후크걸림부
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 특히 반도체 소자를 수납하는 트레이들이 적층되는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커에 관한 것이다.
일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 되는 바, 핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 반도체 소자 이송용 픽커를 사용하여 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트사이트의 테스트소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 실행하도록 된 장비이다.
첨부된 도면의 도 1을 참조하여 일반적인 핸들러에서 이루어지는 테스트과정의 일례에 대해 더욱 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 핸들러의 베이스(1) 하부에 설치된 로딩스택커(5)에 테스트할 반도체 소자를 수납하는 트레이(T)들을 적재하고, 로딩스택커(5)의 일측에 설치된 언로딩 스택커(6)에는 테스트 완료된 반도체 소자를 수납하게 되는 빈 트레이(T)들을 적재한 후 핸들러를 가동시키면, 소자 이송용 픽커(8a, 8b)가 로딩위치(2)로 이송되어 놓여진 트레이(T)에서 반도체 소자들을 픽업하여 핸들러 후방의 테스트 사이트(미도시)로 공급하고, 테스트 사이트에서는 인덱스장치(미도시)가 공급된 반도체 소자들을 테스트소켓(미도시)으로 이송하여 전기적으로 접속시킴으로써 소정의 테스트를 수행한다.
테스트소켓에서 테스트 완료된 반도체 소자들은 소자 이송용 픽커(8a, 8b)에 의해 픽업되어 언로딩위치(3)에 위치된 트레이(T)에 테스트 결과별로 분류되어 재수납된다.
한편, 상기 로딩스택커(5)와 언로딩스택커(6)의 바로 상측에는 트레이(T)들을 픽업하여 이송하여 주는 트레이 트랜스퍼(9)가 수평이동하도록 설치되어 있다. 상기 트레이 트랜스퍼(9)들은 로딩스택커(5)와 언로딩스택커(6)의 트레이(T)들을 픽업하여 상측의 로딩위치(2)와 언로딩위치(3)에 설치된 엘리베이터(4)로 공급함과 더불어, 로딩위치(2)에서 반도체 소자가 모두 이송되어 빈 트레이(T)들을 로딩스택커(5) 일측에 마련된 트레이 스택커(7)로 이송하여 적재하여 주는 역할을 수행한다.
통상적으로 핸들러는 테스트 도중 로딩스택커(5)에 적재된 트레이의 반도체 소자의 검사가 종료되거나 언로딩스택커(6) 또는 트레이 스택커(7)에 트레이가 모두 채워지게 되면, 작업자가 핸들러의 가동을 일시 중지하고, 작업 대상 스택커를 핸들러 본체 외부로 인출하여 새로운 트레이를 적재하거나 작업 완료된 트레이를 외부로 빼내는 작업을 수행한다.
그런데, 상기와 같은 종래의 핸들러는 상기 스택커(5,6,7)들이 모두 개별적으로 핸들러 본체로부터 인출 및 인입이 가능하도록 구성되어 있는 바, 각 스택커의 인입출을 위해 스택커마다 별도의 가이드부재를 설치해 주어야 하므로 구성이 복잡하고 비용이 많이 소요되는 문제가 있었다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 스택커가 핸들러 본체에서 용이하게 인,입출 가능하도록 하는 가이드부재의 수를 최소화함으로써 구조를 단순화시키고, 비용을 절감할 수 있는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 핸들러 본체에 수평하게 설치되는 적어도 1개의 메인플레이트와; 상기 각 메인플레이트의 상면에 설치되며, 복수개의 트레이가 적층 상태로 지지되는 복수개의 트레이 적층부와; 상기 메인플레이트가 핸들러 본체에 대해 인입 및 인출 가능하도록 메인플레이트의 전,후진 이동을 안내하는 가이드부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 트레이 스택커가 적용된 핸들러 구성의 일례를 나타 낸 것으로, 핸들러 본체(10)의 전방부에는 복수개의 트레이 적층부(22)가 일렬로 설치된 트레이 스택커(20)가 배치되고, 상기 트레이 스택커(20)의 상측에 테스트할 반도체 소자들이 수납된 트레이가 놓여지는 로딩위치(31)와 테스트 완료된 반도체소자들이 수납될 트레이가 놓여지는 언로딩위치(32)가 배치된다.
상기 트레이 스택커(20)와 로딩위치(31) 및 언로딩위치(32) 사이에는 트레이 스택커(20)의 각 트레이를 로딩위치(31)와 언로딩위치(32)로 반송하여 주는 엘리베이터(40) 및, 트레이를 상기 엘리베이터(40)와 트레이 적층부(22)로 반송하여 주는 복수개의 트레이 트랜스퍼(50)가 설치된다.
핸들러 본체(10)의 후방부에는 상기 로딩위치(31)에서 이송된 반도체 소자를 테스트 소켓(미도시)에 전기적으로 접속시켜 성능 테스트를 수행하는 테스트사이트(미도시)가 배치된다.
그리고, 핸들러 본체(10)의 상부에는 상기 로딩위치(31)로부터 테스트사이트로, 테스트사이트에서 언로딩위치(32) 등으로 반도체 소자를 흡착하여 이송하는 복수개의 소자 이송용 픽커(80)가 설치된다.
한편, 상기 트레이 스택커(20)의 트레이 적층부(22)들은 용도에 따라 사용자가 임의로 지정할 수 있다. 예컨대 좌측 2열의 트레이 적층부(22)를 새로 테스트할 반도체 소자가 수납된 트레이들이 적층되는 로딩스택커로 지정하고, 이 로딩스택커의 바로 옆 트레이 적층부(22)를 공트레이 스택커로 지정하며, 우측 3열의 트레이 적층부(22)를 테스트 완료된 반도체 소자들을 수납하는 트레이들이 적층되는 언로딩스택커로 지정할 수 있다.
그리고, 도면에 나타내지는 않았으나, 상기 트레이 스택커(20)의 각 트레이 적층부(22)의 하단부에는 적층된 트레이들을 상하로 한 스텝씩 상승 및 하강시키는 복수개의 승강블록이 설치되고, 이들 각 승강블록(미도시)은 트레이 스택커(20) 후방에 설치된, 예컨대 볼스크류와 서보모터 및 엘엠가이드와 같은 승강수단(미도시)에 의해 상하로 이동한다.
한편, 상기 트레이 스택커(20)는 도 3 내지 도 8에 도시된 것과 같이, 핸들러 본체(10) 상면에 전후진 가능하게 설치되는 메인플레이트(21)와, 상기 메인플레이트(21)의 상면에 일렬로 배열된 복수개의 트레이 적층부(22)와, 상기 메인플레이트(21)의 양측부에 전후방향으로 설치되어 메인플레이트(21)의 전,후진 이동을 안내하는 슬라이드팩(23)으로 구성된다.
상기 트레이 적층부(22)는 상기 메인플레이트(21)의 상면에 고정되며 트레이의 각 모서리가 안착되는 'ㄷ'자형의 안착부재(221)와, 상기 안착부재(221)의 각 모서리부에 상하방향으로 수직하게 설치되어 트레이(T)의 각 모서리부를 지지하는 복수개의 'L'자형 가이드바아로 구성된다.
상기 안착부재(221) 중앙의 개방된 부분에는 상기 승강블록(미도시)이 위치되어, 상기 안착부재(221) 상에 안착된 트레이를 상하로 이동시키게 된다.
그리고, 상기 슬라이드팩(23)은, 핸들러 본체(10)에 전후방향으로 고정되게 설치되는 'L'자형 고정브라켓(25)에 고정되는 아웃터레일(231)과, 상기 메인플레이트(21)의 양측면부에 고정되며 상기 각 아웃터레일(231)을 따라 슬라이딩 이동하는 인너레일(232)로 이루어진다.
물론, 이 실시예와는 다르게 상기 메인플레이트(21)의 이동을 안내하기 위한 가이드부재로서 슬라이드팩(23) 대신에 엘엠가이드레일 및 엘엘블록으로 이루어진 엘엠가이드를 사용할 수 있으며, 이외에도 다양한 공지의 선형 운동 가이드부재를 사용할 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 메인플레이트(21)의 전방부에는 사용자가 메인플레이트(21)를 손으로 잡고 쉽게 인입출 작동을 할 수 있도록 손잡이(미도시)가 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 메인플레이트(21)가 핸들러 본체에 인입된 상태에서 핸들러 본체에 대해 메인플레이트를 고정하여 주는 클램핑장치(clamping mechanism)(24)가 추가로 구비되는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 클램핑장치(24)가 손잡이의 역할도 겸할 수 있으므로 별도의 손잡이를 구성해주지 않아도 되는 이점도 얻을 수 있다.
상기 클램핑장치는 종래의 핸들러의 트레이 스택커에 적용된 구조를 그대로 응용하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 메인플레이트(21)의 전방에 90도씩 선회하도록 설치되는 레버(241)와, 상기 레버의 내측 단부에 형성되는 후크부(242)와, 핸들러 본체에 고정되어 상기 후크부와 대응하여 결합되는 후크 걸림부(243)로 클램핑장치를 구성할 수 있을 것이다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 트레이 스택커는 다음과 같이 작동한다.
핸들러에서 반도체 소자를 테스트하는 도중 스택커에 새로운 트레이를 투입하거나, 사용 완료된 트레이를 인출할 필요가 발생하면, 작업자가 핸들러의 가동을 일시 중지하고, 클램핑장치(24)의 레버(241)를 돌려 후크부(242)와 후크 걸림부 (243) 간의 고정 상태를 해제한다.
그런 다음, 상기 레버(241)를 잡고 당기면, 메인플레이트(21) 양측의 인너레일(232)이 아웃터레일(231)을 따라 슬라이딩하면서 메인플레이트(21)가 핸들러 본체(10) 외측으로 인출된다.
작업자가 트레이 스택커(20)의 메인플레이트(21)를 인출하여 트레이 적층부(22)에 소정의 트레이들을 안착시키거나 트레이를 빼내는 작업을 완료한 다음, 다시 레버(241)를 잡고 메인플레이트(21)를 밀어 넣으면 상기 슬라이드팩(23)의 인너레일(232)이 아웃터레일(231)을 따라 후진하면서 메인플레이트(21)가 핸들러 본체(10) 내로 인입된다.
메인플레이트(21)가 완전히 인입되면, 작업자는 상기 레버(241)를 돌려 후크부(242)와 후크 걸림부(243)를 결합시킴으로써 메인플레이트(21)의 위치를 고정시키고, 소정의 테스트 작업을 진행한다.
한편, 전술한 트레이 스택커의 실시예의 설명에서는 하나의 메인플레이트 상에 모든 트레이 적층부가 구성되어 있으나, 이와 다르게 메인플레이트를 2개로 분할하고, 각각의 메인플레이트 상에 복수개의 트레이 적층부를 구성하여 줄 수도 있을 것이다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 메인플레이트 상에 복수개의 트레이 적층부가 구성되어 있기 때문에 각각의 트레이 스택커를 개별적으로 인입출시켜야하는 종래의 트레이 스택커보다 가이드부재의 수를 대폭 감소시킬 수 있으며, 따라서 스택커의 구조가 단순화되고, 제작 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 핸들러 본체에 수평하게 설치되는 적어도 1개의 메인플레이트와;
    상기 각 메인플레이트의 상면에 설치되며, 복수개의 트레이가 적층 상태로 지지되는 복수개의 트레이 적층부와;
    상기 메인플레이트가 핸들러 본체에 대해 인입 및 인출 가능하도록 핸들러 본체에 대해 메인플레이트의 전,후진 이동을 안내하는 가이드부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 가이드부재는 2개가 메인플레이트의 양측면부에 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 가이드부재는 핸들러 본체에 전후방향으로 고정되게 설치되는 아웃터레일과, 상기 메인플레이트의 양측면부에 고정되며 상기 각 아웃터레일을 따라 슬라이딩 이동하는 인너레일로 이루어진 슬라이드팩인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 가이드부재는, 핸들러 본체에 전후방향으로 고정되게 설치되는 한 쌍의 엘엠가이드레일과, 상기 메인플레이트의 양측면부에 고정되며 상기 엘엠가이드레일을 따라 이동하는 엘엠블록으로 구성된 엘엠가이 드(LM Guide)인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 각 트레이 적층부는, 상기 메인플레이트의 상면에 고정되며 트레이의 각 모서리가 안착되는 안착부재와, 상기 안착부재의 각 모서리부에 상하방향으로 수직하게 설치되어 트레이의 각 모서리부를 지지하는 복수개의 가이드바아로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 메인플레이트의 전방부에 사용자가 손으로 잡을 수 있도록 설치된 손잡이를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 메인플레이트가 핸들러 본체에 인입된 상태에서 핸들러 본체에 대해 메인플레이트를 고정하여 주는 클램핑장치를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 스택커.
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