KR100529445B1 - 마스크의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (33)
- 복수 종류의 패턴이 혼재하는 제 1 패턴과 해당 제 1 패턴의 요소보다도 치수가 작은 요소를 가지는 제 2 패턴을, 해당 제 1패턴이 해상되고 또 상기 제 2 패턴의 해상이 억제되도록 마스크 위에 배치하는 노광용 마스크 패턴을 상기 마스크 위에 형성하는 마스크 패턴의 형성방법에 있어서,직교하는 두 방향 중의 적어도 한쪽 방향으로 2개의 등 간격을 가지는 적어도 3개의 요소를 가지는 주기 패턴과, 상기 주기 패턴에 속하지 않고 상기 직교하는 두 방향 중의 적어도 한쪽 방향으로 정렬된 1쌍의 요소를 포함하는 고립 페어 패턴과, 상기 고립 페어 패턴에 속하지 않고, 상기 직교하는 두 방향 중의 어느 방향으로도 쌍을 이루는 일 없이 하나의 요소만을 포함하는 고립 요소 중의 하나로 상기 제 1패턴을 구분하는 공정과;상기 구분 공정에 따라 상기 제 1패턴에 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 1항에 있어서,상기 배치공정은,상기 고립 페어패턴에 대해서 상기 제 2패턴을 배치하는 공정과;상기 고립 요소에 대해서 상기 제 2패턴을 배치하는 공정과;상기 주기 패턴에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정 중의 적어도 하나의 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 고립 요소에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은,상기 고립 요소로부터 상기 고립 페어패턴까지의 사선의 벡터를 이용해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 고립 요소에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 상기 고립 요소의 폭을 이용해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 제 2 패턴이 제 1 요소 및 제 2 요소를 포함하고, 제 1 요소와 제 2 요소 사이의 간격이 소정의 거리 내에 있는 경우에, 제 1 요소 및 제 2 요소를 융합시키는 공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 제 2 패턴이 제 1 요소 및 제 2 요소를 포함하고, 제 1 요소와 제 2 요소 사이의 간격이 소정의 거리 내에 있는 경우에, 제 1 요소 및 제 2 요소 중의 하나의 요소 만을 배치하는 공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 6항에 있어서,상기 제 1 요소 및 제 2 요소는, 상기 고립 페어패턴, 상기 고립 요소 및 상기 주기 패턴의 순서로 우선적으로 제공되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 6항에 있어서,상기 제 1 요소 및 제 2 요소는, 상이한 주기를 가지는 두 패턴 중에서 작은 주기를 가지는 패턴에 우선적으로 제공되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 6항에 있어서,상기 제 1 요소 및 제 2 요소는, 상이한 두 고립 페어 패턴 중에서 작은 간격을 가지는 고립 페어패턴에 우선적으로 제공되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 6항에 있어서,상기 소정의 거리는, λ가 노광광의 파장이고, NA가 상기 마스크 패턴을 피노광체에 전사하는 투영광학계의 개구수일 때, λ/(4NA)를 단위로서 환산할 경우, 2 이하로 되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 6항에 있어서,상기 소정의 거리는, λ가 노광광의 파장이고, NA가 상기 마스크 패턴을 피노광체에 전사하는 투영광학계의 개구수일 때, λ/(4NA)를 단위로서 환산할 경우, 2개의 요소의 최근접 단부 사이의 거리가 1 이하로 되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 고립 페어패턴에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 상기 고립 페어패턴의 정렬 방향으로 상기 고립 페어패턴의 외측에 상기 고립 페어패턴의 간격으로 상기 제 2 패턴의 2개의 추가 요소를 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 12항에 있어서,상기 제 2 패턴의 2개의 추가요소를 배치하는 공정은, 상기 고립 페어패턴 내에서 한 쌍의 요소의 한쪽 방향으로부터 다른 쪽 방향으로 향하는 벡터를 이용하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 13항에 있어서,상기 제 2 패턴의 2개의 추가 요소를 배치하는 공정에서는, 상기 고립 페어 패턴 내에서 정렬방향으로 한 쌍의 요소의 최근접 단부 간의 간격이, λ가 노광광의 파장이고, NA가 상기 마스크 패턴을 피노광체에 전사하는 투영광학계의 개구수일 때, λ/(4NA)를 단위로서 환산할 때 약 1 이상인 경우에는, 두 추가요소의 무게 중심을 연결함으로써 형성된 벡터를 이용해서 상기 두 추가요소를 배치하고,상기 제 2 패턴의 2개의 추가 요소를 배치하는 공정에서는, 상기 고립 페어 패턴 내에서 정렬 방향으로 한 쌍의 요소의 최근접 단부간의 간격이 λ/(4NA)를 단위로서 환산할 때 약 1 이하인 경우에는, 상기 고립 페어 패턴의 정렬방향에 대해서 평행하고, 길이가 약 2이고, 요소 간격의 중앙에 대략 위치 결정된 중심을 포함하는 벡터를 이용해서 상기 추가요소를 배치하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 12항에 있어서,상기 고립 페어 패턴에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 상기 고립 페어 패턴의 외측에 배치된 상기 제 2 패턴의 외측에 상기 고립 페어 패턴의 정렬방향과 수직인 방향으로 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 12항에 있어서,상기 고립 페어 패턴에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 상기 고립 페어 패턴의 요소를 이용하여 상기 고립 페어 패턴의 외측에 상기 고립 페어 패턴의 정렬방향과 수직인 방향으로 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 주기 패턴에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 적어도 3개의 요소의 간격으로 상기 주기 패턴의 외측에 적어도 3개의 요소의 정렬방향으로 상기 제 2 패턴의 2개의 요소를 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 17항에 있어서,상기 주기 패턴에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 적어도 3개의 요소의 정렬방향과 수직인 방향으로 상기 고립 페어 패턴의 외측에 배치된 상기 제 2 패턴의 외측에 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,이미 배치된 상기 제 2 패턴을 이용하여 확장함으로써 상기 제 2 패턴을 배치하는 확장공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법
- 제 19항에 있어서,상기 확장 공정은, 이미 배치된 상기 제 2 패턴에 사용된 벡터를 이용하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 구분 공정은,제 1 패턴에 포함되는 대상 요소에 대해, 상기 직교하는 두 방향으로 최근접하는 다른 요소를 검출하는 공정과;상기 최근접요소를 검출한 경우에는, 검출된 방향으로, 상기 대상 요소로부터 상기 최근접 요소까지 제 1 벡터를 사용하여 상기 최근접 요소를 기점으로 한 소정의 위치에 또 다른 요소가 존재하는 지의 여부를 판별하는 공정과;검출된 방향의 역 방향으로, 상기 최근접 요소로부터 상기 대상 요소까지의 제 2 벡터를 사용하여 상기 최근접 요소를 기점으로 한 소정의 위치에 또 다른 요소가 존재하는 지의 여부를 판별하는 공정과;상기 대상 요소가 놓인 적어도 한 선을 따라서 두 방향으로, 2개 이상의 다른 요소가 검출되어 존재하는 경우에 상기 대상 요소가 상기 주기 패턴인 것으로 판별하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 21항에 있어서,상기 주기 패턴의 요소를 기점으로 해서, 상기 요소로부터의 적어도 한 방향으로 상기 제 1 벡터 또는 제 2 벡터의 연장상의 위치에 다른 요소가 존재하지 않는 경우, 상기 주기 패턴의 요소를 주기 패턴의 경계에서의 요소인 것으로 판별하는 공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 22항에 있어서.상기 경계부의 상기 요소로부터, 상기 제 1 벡터와 상기 제 2벡터를 사용하거나 또는 상기 제 1 벡터 혹은 상기 제 2 벡터를 사용하여, 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 22항에 있어서,한 방향으로 상기 제 1 벡터 또는 제2 벡터의 연장상의 위치에 그 외의 요소가 존재하지 않는 방향의 수가 한 개인 경우에, 상기 요소가 상기 주기 패턴의 상기 경계부의 변두리 요소인 것으로 판별하고, 또한 한 방향으로 상기 제 1 벡터 또는 제 2 벡터의 연장상의 위치에 그 외의 요소가 존재하지 않는 방향의 수가 두 개인 경우에, 상기 요소가 상기 주기 패턴의 정점 요소인 것으로 판별하는 공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 24항에 있어서,상기 정점 요소에 대해서, 이미 배치된 상기 제 2 패턴과 이미 배치된 상기 제 2 패턴을 배치하기 위해 사용된 것과는 다른 벡터를 이용하여 상기의 제 2 패턴을 배치하는 공정을 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 고립 페어 패턴의 정렬 방향으로 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정에서는, 상기 고립 페어 패턴 사이의 간격이 소정의 거리 이상인 경우에는, 상기 고립 페어 패턴 사이에 상기 제 2 패턴을 배치하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 26항에 있어서,상기 소정의 거리는, λ가 노광광의 파장이고, NA가 상기 마스크 패턴을 피노광체에 전사하는 투영광학계의 개구수일 때, λ/(4NA)를 단위로서 환산할 경우 약 4 이상인 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 26항에 있어서,상기 고립 페어 패턴에 대해서, 상기 고립 페어 패턴의 정렬방향으로 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은, 상기 고립 페어 패턴 중의 하나와 상기 고립 페어 패턴 사이에 배치된 제 2 패턴의 요소 사이의 간격으로 상기 정렬방향으로 상기 고립 페어 패턴의 외측에 상기 두 개의 제 2 패턴의 요소를 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 2항에 있어서,상기 구분 공정은, 상기 직교하는 두 방향 중의 어느 한 방향으로 정렬된 한 쌍의 요소 간의 간격이 소정의 거리 이상인 경우에는, 2개의 고립 요소가 존재하는 것으로 간주하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 29항에 있어서,상기 소정의 거리는, λ가 노광광의 파장이고, NA가 상기 마스크 패턴을 피노광체에 전사하는 투영광학계의 개구수일 때, λ/(4NA)를 단위로서 환산할 경우, 약 6 이상인 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 29항에 있어서,상기 고립 요소에 대해서 상기 제 2 패턴을 배치하는 공정은,상기 직교하는 두 방향 이외에서의 최근접 요소를 검출하는 공정과;상기 최근접 요소로부터 상기 고립 요소까지의 벡터를 상기 직교하는 두 방향으로 투영함으로써 제 3 벡터와 제 4 벡터를 산출하는 공정과;상기 고립 요소를 기점으로 해서, 제 3 벡터의 연장한 위치 및 제 4 벡터의 연장한 위치에, 상기 제 2 패턴의 요소를 배치하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 제 31항에 있어서,상기 최근접요소는 상기 고립페어 패턴에 속하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴의 형성방법.
- 복수 종류의 패턴이 혼재하는 제 1 패턴과 해당 제 1 패턴의 요소보다도 치수가 작은 요소를 가지는 제 2 패턴을, 제 1패턴이 해상되고 또 상기 제 2 패턴의 해상이 억제되도록 마스크 위에 배치하는 노광용 마스크 패턴을 상기 마스크 위에 형성하는 마스크 패턴의 형성방법에 의해 형성된 마스크 위의 제 1패턴을 기판에 노광하는 공정과;상기 노광된 대상에 대해서 소정의 처리를 수행하는 공정을 구비하고,상기 마스크 패턴의 형성방법은,직교하는 두 방향 중의 적어도 한쪽 방향으로 2개의 등 간격을 가지는 적어도 3개의 요소를 가지는 주기 패턴과, 상기 주기 패턴에 속하지 않고 상기 직교하는 두 방향 중의 적어도 한쪽 방향으로 정렬된 1쌍의 요소를 포함하는 고립 페어 패턴과, 상기 고립 페어 패턴에 속하지 않고, 상기 직교하는 두 방향 중의 어느 방향으로도 쌍을 이루는 일 없이 하나의 요소만을 포함하는 고립 요소 중의 하나로 상기 제 1패턴을 구분하는 공정과, 상기 고립 페어 패턴에 대해 상기 제 2패턴을 배치하는 공정과, 상기 고립 요소에 대해 상기 제 2패턴을 배치하는 공정과, 상기 주기 패턴에 대해 상기 제 2패턴을 배치하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법.
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