KR100527789B1 - Air knife structure of a drier for LCD panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공기 분사 방식으로 건조시키는 LCD 패널의 건조 장치에서 에어나이프의 토출구를 통해 분사되는 공기의 일률성을 향상시킴과 동시에 조립 볼트공 부위에 발생되는 누출구멍으로 인해 분사 공기의 일률성 및 인입된 공기의 손실을 최소화하도록 하는 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife structure of an LCD panel drying apparatus, and more particularly, to improve the uniformity of the air injected through the outlet of the air knife in the drying apparatus of the LCD panel to be dried by the air blowing method, and at the same time assembling bolt holes It relates to an air knife structure of an LCD panel drying apparatus which minimizes the uniformity of injection air and the loss of incoming air due to leaking holes generated in the site.
이를 위한 본 발명은 공기를 강한 압력으로 분사시켜 LCD 패널 표면의 세척액 및 파티클을 제거하도록 하는 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 있어서, 컴프레서로부터 공급되는 압축공기를 내부로 유입시키도록 공기유입파이프를 양단에 설치하고, 유입된 공기를 유출시키도록 유출공을 하부면에 다수개 형성하여서 된 내부에 공간을 갖는 사각 형상의 공기유입블럭과, 공기유입블럭의 유출공과 연결되는 공기유도로를 다수개 형성하고, 공기유도로로부터 연장되면서 폭의 변화를 갖으며 다단으로 굴곡진 오리피스 경로를 형성하고, 오리피스 경로의 단부에 분사공을 형성하여서 된 공기분사블럭으로 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention for this purpose in the air knife structure of the LCD panel drying apparatus to remove the cleaning liquid and particles on the surface of the LCD panel by spraying the air at a high pressure, the air inlet pipe to introduce the compressed air supplied from the compressor to the inside It is installed at both ends and formed a plurality of outlet holes in the lower surface to let out the introduced air, and a plurality of square air inlet blocks having a space therein, and a plurality of air inflow paths connected to the outlet holes of the air inlet blocks. And an air injection block formed by extending from the air induction path, having a change in width, forming an orifice path curved in multiple stages, and forming an injection hole at an end of the orifice path.
Description
본 발명은 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공기 분사 방식으로 건조시키는 LCD 패널의 건조 장치에서 에어나이프의 토출구를 통해 분사되는 공기의 일률성을 향상시킴과 동시에 조립 볼트공 부위에 발생되는 누출구멍으로 인해 분사 공기의 일률성 및 인입된 공기의 손실을 최소화하도록 하는 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife structure of an LCD panel drying apparatus, and more particularly, to improve the uniformity of the air injected through the outlet of the air knife in the drying apparatus of the LCD panel to be dried by the air blowing method, and at the same time assembling bolt holes It relates to an air knife structure of an LCD panel drying apparatus which minimizes the uniformity of injection air and the loss of incoming air due to leaking holes generated in the site.
일반적으로, 반도체 부품 및 소자 등은 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는 것으로, 미세한 먼지 단 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다.In general, semiconductor components, devices, and the like react very sensitively to fine dust (particles), and only one fine dust influences the characteristics of a small component and a device.
상기와 같은 이유로 해서 반도체 제조 공정에서는 파티클을 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정작업을 반복하여 실시하고 있는 것이 보통이다.For the above reason, the semiconductor manufacturing process is focused on minimizing particles, and the cleaning operation is usually performed repeatedly according to the progress of the process.
특히, 최근 들어 반도체 산업 중 전자디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 대형 액정표시장치들이 선보이고 있는데, 이와 같은 액정표시장치즉, LCD의 패널(글라스)에 피막 형성 등의 많은 표면처리 공정이 진행되며 이때, 세정작업과 건조작업은 필수적이며, 이와 같은 건조작업은 건조 장치에 의해 이루어지는데, LCD 패널의 건조장치는 대부분 공기분사 방식을 채택하고 있으며, LCD 패널의 제조 과정에서 LCD 패널 표면 또는 회로 소자에 부착되는 파티클 등 불순물을 제거하는 세척 과정을 거친 후 잔류하는 세척액이나 불순물을 공기압으로 제거하도록 된 것이다.In particular, as the electronic display industry has developed rapidly in recent years, large-scale liquid crystal display devices have been introduced. Many liquid crystal display devices, that is, many surface treatment processes such as film formation on a panel (glass) of an LCD are in progress. Cleaning and drying operations are essential, and these drying operations are carried out by a drying apparatus. Most of the drying apparatuses of the LCD panel adopt an air spray method and are attached to the LCD panel surface or circuit elements during the manufacturing process of the LCD panel. After the washing process to remove impurities such as particles are to remove the remaining cleaning liquid or impurities by air pressure.
이와 같은 종래의 LCD 건조장치에서 공기를 분사하는 에어나이프는 첨부 도면 도 1에서 보는 바와 같이, 컴프레서로부터 공급되는 압축공기를 내부로 유입시키도록 하는 공기 토출공(12)이 다수개 형성된 소정의 길이를 갖는 공기유입파이프(11)와, 공기유입파이프(11) 외주연을 감싸도록 설치되는 공기유도공(14)이 길이방향으로 형성된 공기유도블럭(13)과, 공기유도블럭(13)의 외부를 역시 감싸도록 볼트에 의해 결합되는 일측 모서리에 토출공(18)이 형성된 토출블럭(15)으로 이루어져 있다.In the conventional LCD drying apparatus, the air knife for injecting air has a predetermined length in which a plurality of air discharge holes 12 are formed to allow the compressed air supplied from the compressor to be introduced therein, as shown in FIG. 1. An air induction pipe 11 having an air induction pipe 11, an air induction hole 14 installed to cover the outer periphery of the air inflow pipe 11, and an air induction block 13 having a lengthwise direction, and an outside of the air induction block 13. It also consists of a discharge block 15, the discharge hole 18 is formed in one side edge is coupled by a bolt to wrap.
상기와 같은 에어나이프(10)는 최근의 LCD 패널(g)의 면적을 고려할 때, 공기유입파이프(11)의 길이가 길어야 하며, 이에 따라 전체적으로 길이가 길어지게 되는데, 이는 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 공기가 유입되는 공기유입파이프(11)의 양측면은 공기의 압력이 높아 에어나이프(10) 외부로 토출되는 공기의 압력이 높은 반면, 중간 부분으로 갈수록 그 압력이 낮아져 토출 압력 역시 낮아 LCD 패널(g)의 중간 부분의 건조 및 파티클 제거 효과가 저하되는 문제점이 있는 것이다.(아래 그래프 참조)The air knife 10 as described above has to have a long length of the air inlet pipe 11 when considering the area of the LCD panel g in recent years, and thus the overall length thereof becomes long, which is shown in FIG. As described above, both sides of the air inflow pipe 11 into which the air is introduced have a high pressure of air, and thus the pressure of the air discharged to the outside of the air knife 10 is high, while the pressure decreases toward the middle portion, so that the discharge pressure is also low. There is a problem that the effect of drying and removing particles in the middle part of panel g is lowered (see graph below).
즉, 종래에는 상기와 같이, 사각 파이프 형상으로 에어 토출구의 가공을 정밀 레이저기술에 의지하여 그 정밀도를 유지함으로써, 불량의 발생 빈도수를 줄이는데 힘쓰며 특히 열변형및 취급의 부주의로 인해 불량품이 발생했을 경우, 재생이 불가능하며 내부 구조상 많은 양의 에어와 높은 압력이 수반되어야 만이 제 기능을 발휘 할 수 있었고, 차츰 LCD 패널(글라스)이 대면적화 되면서 제품의 사이즈가 길어지면서 유체의 흐름에 한계를 가져와 토출공(18)의 공기 토출 일률성이 불안정한 문제점이 있는 것이었다.That is, conventionally, as described above, by processing the air discharge port in the shape of a square pipe and maintaining the precision by relying on the precision laser technology, it strives to reduce the frequency of occurrence of defects, in particular, due to inadequate heat deformation and handling, In this case, it is impossible to regenerate, and the internal structure has to be accompanied by a large amount of air and high pressure to function properly, and as the LCD panel (glass) becomes larger in area, the size of the product becomes longer, which limits the flow of fluid. There was a problem that the air discharge uniformity of the discharge hole 18 was unstable.
또한, 또 다른 종래의 에어나이프(20)는 첨부 도면 도 3에서 보는 바와 같이, 컴프레서로부터 공급되는 압축공기를 내부로 유입시키도록 된 공기유입파이프(22)가 양단에 설치된 공기유입블럭(21)과, 공기유입파이프(22)로부터 유입된 공기를 토출공(25)을 통해 분사시킬 수 있도록 내부에 공기 유도구멍(24)이 형성된 공기토출블럭(23)으로 구성되어 있다.In addition, another conventional air knife 20 has an air inflow block 21 provided at both ends of an air inflow pipe 22 for introducing compressed air supplied from a compressor into the inside, as shown in FIG. And an air discharge block 23 having an air guide hole 24 formed therein so that the air introduced from the air inlet pipe 22 can be injected through the discharge hole 25.
상기와 같은 에어나이프(20) 역시, 에어나이프(10)와 동일한 문제점을 가지고 있는 것으로, 본원발명과 유사한 구조로 이루어져 있어 선행 기술 확인차원에서 참고적으로 종래 기술로 제시한 것이다.The air knife 20 as described above also has the same problems as the air knife 10, and has a structure similar to the present invention, which is presented in the prior art for reference in order to confirm the prior art.
상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 본 발명은 공기 분사 방식으로 건조시키는 LCD 패널의 건조 장치에서 에어나이프의 토출구를 통해 분사되는 공기의 일률성을 향상시킴과 동시에 조립 볼트공 부위에 발생되는 누출구멍으로 인해 분사 공기의 일률성 및 인입된 공기의 손실을 최소화하도록 하는 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조를 제공함을 기술적 과제로 삼는다. The present invention devised in consideration of the above problems is to improve the uniformity of the air injected through the discharge hole of the air knife in the drying apparatus of the LCD panel to dry by the air injection method at the same time as the leak hole generated in the assembly bolt hole It is a technical problem to provide an air knife structure of the LCD panel drying apparatus which minimizes the uniformity of the injected air and the loss of the introduced air.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은 공기를 강한 압력으로 분사시켜 LCD 패널 표면의 세척액 및 파티클을 제거하도록 하는 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 있어서, 컴프레서로부터 공급되는 압축공기를 내부로 유입시키도록 공기유입파이프를 양단에 설치하고, 유입된 공기를 유출시키도록 유출공을 하부면에 다수개 형성하여서 된 내부에 공간을 갖는 사각 형상의 공기유입블럭과, 공기유입블럭의 유출공과 연결되는 공기유도로를 다수개 형성하고, 공기유도로로부터 연장되면서 폭의 변화를 갖으며 다단으로 굴곡진 오리피스 경로를 형성하고, 오리피스 경로의 단부에 분사공을 형성하여서 된 공기분사블럭으로 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object in the air knife structure of the LCD panel drying apparatus to remove the cleaning liquid and particles on the surface of the LCD panel by spraying the air at a high pressure, so as to introduce the compressed air supplied from the compressor to the inside Air inlet pipes are installed at both ends, and a plurality of outlet holes are formed in the lower surface to allow the inflow of air to flow out, and a rectangular air inlet block having a space therein and an air induction connected to the outlet holes of the air inlet block. Forming a plurality of furnaces, extending from the air induction path has a change in width and forms a multi-stage curved orifice path, characterized in that consisting of the air injection block formed by forming the injection hole in the end of the orifice path.
본 발명의 설명에 참고가 되는 첨부 도면 도 4는 본 발명의 구성을 보인 측 단면도이고, 도 5는 본 발명의 세부 구성을 보인 요부 부분 단면도이고, 도 6은 본 발명의 작동상태를 보인 단면 사시도이며, 도 7은 본 발명의 설치 상태를 보인 설치 상태 단면도로서, 이중 도면 부호 100은 본 발명인 에어나이프를 나타낸 것이다.Figure 4 is a side cross-sectional view showing the configuration of the present invention, Figure 5 is a partial partial cross-sectional view showing a detailed configuration of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional perspective view showing an operating state of the present invention 7 is an installation state sectional view showing the installation state of the present invention, double reference numeral 100 denotes an air knife according to the present invention.
본 발명은 첨부 도면 도 4 및 도 5에서 보는 바와 같이, 컴프레서로부터 공급되는 압축공기를 내부로 유입시키도록 공기유입파이프(111)를 양단에 설치하고, 유입된 공기를 유출시키도록 유출공(112)을 하부면에 다수개 형성하여서 된 내부에 공간을 갖는 사각 형상의 공기유입블럭(110)과, 상기 공기유입블럭(110)과 일측단이 결합되고 타측단에는 분사공이 형성된 공기 분사블럭(120)으로 구성되어, 공기를 강한 압력으로 분사시켜 LCD 패널 표면의 세척액 및 파티클을 제거하도록 하는 LCD 패널 건조장치의 에어나이프 구조에 있어서, 상기 공기 분사블럭(120)에 공기유입블럭(110)의 유출공(112)과 연결되는 공기유도로(121)를 다수개 형성하고, 공기유도로(121)로부터 연장되면서 폭의 변화를 갖으며 다단으로 굴곡져서, 다수의 에지부(E)가 형성된 오리피스 경로(122)를 형성하되, 오리피스 경로(122)의 단부에 분사공(123)을 형성하여서 된 것이다.4 and 5, the air inlet pipe 111 is installed at both ends to introduce the compressed air supplied from the compressor to the inside, and the outflow hole 112 is provided to allow the introduced air to flow out. Square air inlet block 110 having a space therein by forming a plurality of the bottom surface, and the air inlet block 110 and one side end are combined, and the other end is an air injection block 120 having injection holes formed therein. In the air knife structure of the LCD panel drying apparatus to remove the cleaning liquid and particles on the surface of the LCD panel by injecting air at a high pressure, the outflow of the air inlet block 110 to the air injection block 120 Orifice paths formed with a plurality of air induction paths 121 connected to the ball 112, extending from the air induction path 121 and having a change in width and being bent in multiple stages, have a plurality of edge portions E formed therein. (122 ), But is formed by forming the injection hole 123 at the end of the orifice path (122).
상기, 공기유입블럭(110)과 공기분사블럭(120)은 볼트(미도시) 결합되며, 공기분사블럭(120)은 길이방향으로 양분되어 볼트(미도시) 결합되는 것으로, 각 볼트 결합부위에는 공기의 누출을 막도록 실링 가능한 오링 또는 패킹(고무 또는 실리콘 재질) 등이 삽입 설치되어 있으나, 이는 일반적인 굘합 구조이므로, 도면에서도 생략하였으며, 명세서의 설명에서도 크게 비중을 두지 않음을 밝혀두는 바이다.The air inlet block 110 and the air injection block 120 are bolted (not shown), the air injection block 120 is divided into two longitudinally bolted (not shown), each bolt coupling portion is Sealing O-ring or packing (rubber or silicone material) and the like is inserted and installed to prevent the leakage of air, but this is a general combination structure, it is omitted in the drawings, it is to be noted that the weight is not placed in the description of the specification.
이와 같이 구성된 본 발명은 첨부 도면 도 4 및 도5에서 보는 바와 같이, 컴프레서로부터 공급되는 압축공기가 공기유입파이프(111)를 통해 공기유입블럭(110)의 공간으로 유입되면 다수개의 유출공(112)을 통해 공기분사블럭(120)의 공기유도로(121)를 거쳐 오리피스 경로(122)에 이르게 되는데, 이때, 오리피스 경로(122)의 다단 절곡된 부분 즉, 에지(E) 부분을 통과하면서 공기의 난류 현상이 발생됨과 동시에, 공기가 바로 분사공(123)을 통해 분사되지 않고 체류(지연)되면서 압력이 높아진 상태에서 분사되므로, 더욱 강한 압력으로 공기를 분사시킬 수 있으며, 분사공(123)의 전반적인 부분에서 일률적인 압력으로 분사가 이루어지게 된다.(아래 그래프 참조)4 and 5, the compressed air supplied from the compressor is introduced into the space of the air inlet block 110 through the air inlet pipe 111. Through the air inlet 121 of the air injection block 120 leads to the orifice path 122, at this time, the air passing through the multi-stage bent portion of the orifice path 122, that is, the edge (E) The turbulent phenomenon of the air at the same time, the air is not injected directly through the injection hole (123), so it is injected in a state where the pressure is high while staying (delayed), it is possible to inject air at a stronger pressure, the injection hole (123) The injection is carried out at a uniform pressure throughout the whole of the system (see graph below).
즉, 기체는 크게 난류와 층류로 구분 할 수 있는데 층류는 기체가 아주 일정하게 유체들이 섞이지 않고 흐르는 것이고, 난류는 유체의 흐름이 불규칙하게 뒤섞이는 것을 말하며, 본 발명의 구조는 공기분사블럭(120) 내부에 That is, the gas can be largely divided into turbulent flow and laminar flow. Laminar flow means that the gas flows without constant mixing, and the turbulent flow refers to the irregular mixing of the flow of the fluid. 120) inside
다단식 오리피스 경로(122)가 난류를 발생시킴과 동시에, 압력은 낮추고 유속은 급격히 증가시키는 등 공기를 최대한 확산시켜, 공기가 흐르는 경로의 길이 방향으로 고르게 분포시킨 후, 마지막 에지(E)부에서 유속의 증가와 함께 층류에 의한 분사가 이루어지게 된다. The multi-stage orifice path 122 generates turbulence, at the same time lowers the pressure and rapidly increases the flow rate, spreading the air as much as possible. With the increase of the injection by the laminar flow is made.
이러한 결과는 유량이 일정하면, 모든 위치에서의 운동에너지, 압력 에너지, 위치에너지의 합은 일정하다는 즉, "파이프 직경이 변하면, 속도가 변화하나, 에너지는 소멸되거나 생성될 수 없기 때문에 동 역학적 에너지가 증가하거나 감소한다." 라는 베르누이의 원리를 이용한 것이다.The result is that if the flow rate is constant, the sum of kinetic energy, pressure energy, and potential energy at all positions is constant, ie, "kinetic energy because the velocity changes when the pipe diameter changes, but the energy cannot be dissipated or produced. Increases or decreases. " Bernoulli's principle is used.
상기와 같이되는 본 발명은 첨부 도면 도 6 및 도 7에서 보는 바와 같이, 이송롤러(R)를 타고 이송되는 LCD 패널(G)의 인출 통로인 인입부(210)와 배출부(220)가 양 측면에 형성되고, 하단에 흘러내리는 파티클을 포함한 세척액을 배출시키도록 된 드레인(230)이 형성된 건조장치(200)의 내부 상단과 하단에 설치 즉, 이송되는 LCD 패널(G)을 사이에 두고 상부면과 하부면에 설치되어 세척과정을 거친 후 이송되는 LCD 패널(G)의 표면에 공기를 분사(분사공(123) 전반에 걸쳐 일률적으로 분사)하여 건조시키게 되는 것으로, 이때, 건조와 함께 파티클(미세 먼지)을 날려 제거하게 된다. The present invention as described above is as shown in Figure 6 and Figure 7, the inlet portion 210 and the discharge portion 220, which is the draw passage of the LCD panel (G) to be transported by the transfer roller (R) is both It is formed on the side, the upper portion of the inside of the drying apparatus 200 is formed on the upper and lower ends of the drying apparatus 200 formed to discharge the cleaning liquid including particles flowing down at the lower end, that is, the LCD panel (G) is transferred between It is installed on the surface and the lower surface and the air is sprayed on the surface of the LCD panel (G) to be transported after the cleaning process (the uniform spraying throughout the injection hole 123) to be dried, in this case, with the particles It will blow off (fine dust).
이와 같이 되는 본 발명은 공기 분사 방식으로 건조시키는 LCD 패널의 건조 장치에서 에어나이프의 토출구를 통해 분사되는 공기의 일률성을 향상시킴과 동시에 조립 볼트공 부위에 발생되는 누출구멍으로 인해 분사 공기의 일률성 및 인입된 공기의 손실을 최소화하도록 하는 효과를 갖는다.The present invention as described above improves the uniformity of the air injected through the outlet of the air knife in the drying apparatus of the LCD panel to dry by the air injection method and at the same time the uniformity of the injection air due to the leak holes generated in the assembly bolt hole area and Has the effect of minimizing the loss of entrained air.
또한, 정밀 가공기술이 아닌 일반 가공 기술로도 에어나이프 자체를 제작할 수 있는 구조와 사이즈에 한계를 주지 않는 형상으로 재생 가능하며, 제작의 단순함으로 제조원가의 절감 효과는 물론, 적은 압력과 적은 공기의 양으로 높은 효율을 얻을 수 있는 효과를 갖는다. In addition, it is possible to reproduce the structure and size that the air knife itself can be manufactured by using general processing technology instead of precision processing technology.The simplicity of manufacturing reduces the manufacturing cost, It has the effect that a high efficiency can be obtained by quantity.
도 1은 종래 LCD 패널의 건조장치에서 에어나이프의 구조를 보인 측 단면도1 is a side cross-sectional view showing the structure of an air knife in a drying apparatus of a conventional LCD panel
도 2는 종래 LCD 패널의 건조장치에서 에어나이프의 구조를 보인 정 단면도Figure 2 is a front cross-sectional view showing the structure of the air knife in the drying apparatus of the conventional LCD panel
도 3은 종래 또 다른 LCD 패널의 건조장치에서 에어나이프의 구조를 보인 부분 단면도Figure 3 is a partial cross-sectional view showing the structure of the air knife in the conventional drying apparatus of another LCD panel
도 4는 본 발명의 구성을 보인 측 단면도Figure 4 is a side cross-sectional view showing the configuration of the present invention
도 5는 본 발명의 세부 구성을 보인 요부 부분 단면도5 is a partial cross-sectional view showing a detailed configuration of the present invention.
도 6은 본 발명의 작동상태를 보인 단면 사시도Figure 6 is a cross-sectional perspective view showing an operating state of the present invention
도 7은 본 발명의 설치 상태를 보인 설치 상태 단면도 Figure 7 is an installation state sectional view showing the installation state of the present invention
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>
100 : 에어나이프 110 : 공기유입블럭100: air knife 110: air inlet block
111 : 공기유입파이프 112 : 유출공111: air inlet pipe 112: outflow hole
120 : 공기분사블럭 121 : 공기유도로120: air injection block 121: air induction road
122 : 오리피스 경로 123 : 분사공122: orifice path 123: injection hole
200 : 건조장치 210 : 인입부200: drying apparatus 210: inlet
220 : 배출부 230 : 드레인220: discharge portion 230: drain
E : 에지 G : LCD 패널(글라스)E: Edge G: LCD Panel (Glass)
R : 이송롤러 R: Feed Roller
Claims (1)
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| KR10-2003-0046026A KR100527789B1 (en) | 2003-07-08 | 2003-07-08 | Air knife structure of a drier for LCD panel |
Applications Claiming Priority (1)
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