KR100522089B1 - Sorting Handler for Burn-In-Tester and A Controlling Method Thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 공정에 따라 보조버퍼를 탈/부착할 수 있는 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법에 관한 것이다. The present invention relates to a sorting handler for a burn-in tester which can detach / attach an auxiliary buffer according to a process and a control method thereof.
본 발명은 메인프레임과; 메인프레임의 일측에 설치되어 디바이스가 채워진 트레이가 로딩되는 로딩부와; 로딩부의 타측에 설치되어 빈트레이가 언로딩되는 언로딩부와; 로딩/언로딩부의 사이에 설치된 DC테스트부와, DC테스트부의 하부에 설치되는 로딩버퍼와, DC테스트부의 일측에 설치된 BIB와, BIB의 일측에 설치된 언로딩버퍼와, 로딩버퍼의 일측에 설치된 소팅부로 이루어진 테스트부와; 로딩/언로딩부의 상부에 설치되며, 로딩/언로딩로봇과 인서트/리무브로봇이 설치되어 있는 슬라이더와, 슬라이더의 일측에 설치되며 소팅로봇이 설치되어 있는 X-Y축으로 이루어진 이송부로 구성되며, 상기 BIB의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼가 더 포함되어 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명은 보조버퍼의 탈/부착에 의해 1대의 장비를 이용하여 디바이스의 다양한 테스트를 수행할 수 있다.The present invention and the mainframe; A loading unit installed at one side of the main frame and loaded with a tray filled with devices; An unloading part installed at the other side of the loading part to unload the bin tray; DC test unit installed between loading / unloading unit, loading buffer installed under DC test unit, BIB installed on one side of DC test unit, unloading buffer installed on one side of BIB, and sorting installed on one side of loading buffer A test unit consisting of parts; It is installed on top of the loading / unloading part, and consists of a slider on which a loading / unloading robot and an insert / removing robot are installed, and a transfer part made up of one side of the slider and an XY axis on which a sorting robot is installed. It is further configured to further include an auxiliary buffer that can be attached / detached on top of the BIB. The present invention configured as described above can perform various tests of the device by using one piece of equipment by detaching / attaching the auxiliary buffer.
Description
본 발명은 생산 완료된 반도체 디바이스(Device)의 전기적인 특성을 테스트시에 사용되는 소팅(Sorting) 핸들러(Handler)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 번인 테스터(burn-in-tester)용 소팅 핸들러에서 디바이스의 테스트공정에 따라 보조버퍼를 탈/부착할 수 있는 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sorting handler used when testing electrical characteristics of a manufactured semiconductor device, and more particularly, to a sorting handler for a burn-in-tester. The present invention relates to a sorting handler for a burn-in tester that can remove / attach an auxiliary buffer according to a test process of a device, and a control method thereof.
도 1은 종래 번인 테스터용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 종래의 번인 테스터용 핸들러에서 이송수단의 동작을 설명하기 위한 개략도로서, 그 구성을 설명하면 다음과 같다.1 is a plan view schematically showing the configuration of a sorting handler for a burn-in tester according to the related art, and FIG. 2 is a schematic view for explaining the operation of the transfer means in the handler for the burn-in tester according to the related art.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(1)의 상부 일측에 번인보드 로더부(2)와, 번인보드 언로더부(3)가 설치되어 있고, 그 일측에는 DC리젝트부(4)와, 트레이 로더부(5) 및 DC테스트부(6)가 설치되어 있으며, 그 일측 저면에는 90°회전하는 턴리턴 장치부(7)가 설치된 Y테이블(8)이 설치되어 있고, 그 일측에는 빈포켓부(9) 및 트레이 언로더부(10) 그리고, 소팅부(11)가 차례로 설치되어 있다.1 and 2, a burn-in board loader 2 and a burn-in board unloader 3 are provided at an upper side of the main body 1, and a DC reject portion 4 is provided at one side thereof. ), A tray loader section 5 and a DC test section 6, and a Y table 8 provided with a turn return device section 7 that rotates 90 degrees on one side of the bottom surface thereof. The empty pocket part 9, the tray unloader part 10, and the sorting part 11 are provided in this order.
그리고, DC리젝트부(4)와 트레이 로더부(5) 및 DC테스트부(6)의 상부에는 서보모터에 의해 좌, 우, 상, 하로 작동하는 1번툴(12)이 설치되어 있고, DC테스트부(6)와 턴리턴 장치부(7)가 설치된 Y테이블(8)의 상측에는 그 간격사이에서 작동되는 2번툴(13)이 설치되어 있다.And, on the upper part of the DC reject part 4, the tray loader part 5, and the DC test part 6, the 1st tool 12 which operates left, right, up, and down by a servo motor is provided, and DC On the upper side of the Y table 8 in which the test section 6 and the turn return device section 7 are provided, a second tool 13 that is operated between the gaps is provided.
또한, Y테이블(8)과 빈포켓부(9) 및 트레이 언로더부(10)의 상부에는 그 간격 사이에서 작동되는 3번툴(14)이 설치되어 있고, 빈포켓부(9)와 소팅부(11)의 상측에는 그 간격사이에서 작동되는 4번툴(15)이 설치되어 있다.Further, on the upper part of the Y table 8, the empty pocket portion 9, and the tray unloader portion 10, a third tool 14 operated between the gaps is provided, and the empty pocket portion 9 and the sorting portion are provided. On the upper side of (11), the 4th tool 15 which operates between the spaces is provided.
따라서, 번인 테스트할 디바이스(미도시됨)가 채워진 트레이(미도시됨)를 트레이 로더부(5)에 놓은 다음 번인보드 로더부(2)에는 번인 테스트 완료된 디바이스가 테스트소켓(미도시됨)에 삽입되어 있는 번인보드(미도시됨)를 놓는다.Therefore, the tray (not shown) filled with the device to be burned-in (not shown) is placed in the tray loader section 5, and the burn-in tested device is placed in the test socket (not shown) in the burn-in board loader section (2). Place the inserted burn-in board (not shown).
상기와 같이 번인보드 로더부(2)에 번인보드가 위치되면 번인보드는 Y테이블(8)의 상부에 설치되어 있는 회전판(미도시됨)에 위치됨과 동시에 핸들러의 컨넥터에 결합된 상태가 되므로, Y테이블(8)로 이송되는 턴리턴장치부(7)에 의해 90°회전하게 된다.When the burn-in board is located in the burn-in board loader unit 2 as described above, the burn-in board is located on the rotating plate (not shown) installed at the top of the Y table 8 and at the same time coupled to the connector of the handler. It rotates 90 degrees by the turn return device part 7 conveyed to the Y table 8.
상기한 바와 같이, 회전판이 90°회전하면 서보모터에 의해 볼스크류가 회전하게 되므로 Y테이블(8)은 1,2,3번툴(12,13,14)이 작동하는 프로세스라인까지 이동하게 된다.As described above, when the rotating plate rotates by 90 °, the ball screw is rotated by the servo motor, so that the Y table 8 moves to the process line where the tools 1, 2, 3, 12, 13, and 14 operate.
따라서, 번인 테스트가 끝난 상태로 번인보드의 테스트소켓에 꽃혀 있던 4개의 디바이스는 상부에 설치되어 있는 3번툴(14)에 의해 동시에 꺼내져 등급에따라 빈포켓부(9)나 트레이 언로더부(10)로 이송되며, 불량으로 판정된 디바이스는 4번툴(15)에 의해 빈포켓부(9)에서 소팅부(11)로 이송된다.Therefore, the four devices which have been burned in the test socket of the burn-in board after the burn-in test are taken out at the same time by the tool No. 3 installed on the upper side, and the empty pocket 9 or the tray unloader section ( 10), the device determined to be defective is transferred from the empty pocket portion 9 to the sorting portion 11 by the tool 4 (15).
한편, 상기한 바와 같은 작동으로 번인보드의 테스트소켓에 삽입되어 있던 번인 테스트 완료된 디바이스가 빠져나가면 트레이 로더부(5)의 트레이에 있는 4개의 디바이스를 1번툴(12)이 작동하여 DC테스트부(6)로 이송하여 DC테스트를 실시하게 되는데, 그 이전에 DC테스트부에 있던 디바이스는 2번툴(13)에 의해 번인보드상의 테스트소켓에 삽입된다.On the other hand, when the burn-in test-completed device inserted into the test socket of the burn-in board exits as described above, the first tool 12 operates four devices in the tray of the tray loader section 5 to operate the DC test section ( 6), the DC test is carried out, and the device in the DC test section is inserted into the test socket on the burn-in board by the tool 2 (13).
즉, 번인보드의 테스트소켓에 꽂혀져 있던 디바이스는 번인 테스트가 완료된 것으로, 그 등급별로 3번툴(14)과 4번툴(15)에 의해 이송되어 분류되고, 3번툴(14)과 4번툴(15)에 의해 테스트소켓으로부터 디바이스가 빠져나가면 그 빈 공간에 1, 2번툴(12)(13)이 작동하여 DC테스트를 실시하여 양품으로 판정된 디바이스를 삽입하므로써 디바이스의 로딩 및 언로딩작업이 이루어지게 되는 것이다.That is, the devices that are plugged into the test sockets of the burn-in board are burn-in tests completed, and are transported and classified by the tool 3 and the tool 15 by the grade, and the tool 3 and the tool 4 (15). When the device is pulled out of the test socket by 1), tool 1 and 2 (12) are operated in the empty space to perform DC test and insert the device judged as good product, so that the device loading and unloading operation is performed. Will be.
그러나, 반도체 공정을 살펴보면, 각 공정(FAB공정, 테스트공정 등)의 작업이 순차적으로 진행되어야만 효율적인 생산성을 계획대로 진행할 수 있다.However, when looking at the semiconductor process, efficient productivity can proceed as planned only when the operations of each process (FAB process, test process, etc.) are performed sequentially.
즉, FAB공정은 빠르게 진행되어 생산량이 많으나, 테스트공정이 늦게 진행되어 정체가 발생된다면 FAB공정이 아무리 빠르게 진행되더라도 최종 생산되는 디바이스의 양이 적어지게 되는 폐단이 발생된다.In other words, the FAB process proceeds quickly and produces a lot, but if the test process is delayed and congestion occurs, no matter how fast the FAB process proceeds, there is a shortage in which the amount of the final device is reduced.
따라서, 각 공정간의 작업량을 조절하기 위해 번인 테스트공정에서는 통상 월초에 번인보드에 번인 테스트할 디바이스를 로딩하는 공정만을 진행하고, 월말에는 번인 테스트가 완료된 디바이스를 번인보드로부터 언로딩하여 트레이에 담는 공정만을 진행하게 된다.Therefore, in order to control the amount of work between the processes, the burn-in test process usually processes only the loading of the device to be burn-in test on the burn-in board at the beginning of the month, and at the end of the month, the unloaded device is loaded from the burn-in board and put in the tray. Only proceed.
그러나, 종래의 소팅 핸들러는 작업흐름이 일방향, 즉, 로더부(5)에서 언로더부(10)측으로만 작업이 이루어지므로 인해 DC테스트 완료된 디바이스를 번인보드내에 신속하게 로딩하지 못하거나, 테스트 완료된 디바이스를 번인보드로부터 언로딩하지 못하게 되므로 반도체(디바이스) 생산에 따른 전체적인 생산 공정을 계획대로 진행하는데 커다란 문제점을 대두되었다.However, in the conventional sorting handler, since the work flow is performed only in one direction, that is, from the loader part 5 to the unloader part 10, the DC-tested device cannot be quickly loaded into the burn-in board, or the test is completed. Unable to unload the device from the burn-in board, a major problem has arisen in the planned production process of the semiconductor (device) production.
즉, 번인보드내의 디바이스를 로딩시에는 1, 2번툴(12)(13)만 사용하고 3, 4번툴(14)(15)은 사용하지 않고, 이와는 반대로 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 디바이스를 언로딩시에는 3, 4번툴(14)(15)만 사용하고 1, 2번툴(12)(13)은 사용하지 않게 되므로 생산량을 증대시키기 위해서는 많은 대수의 장비가 필요하게 되고, 많은 대수의 장비를 설치하기 위해서는 많은 면적의 공간을 필요로 하게 되므로 설비의 증설로 인한 비용 부담이 가중되었다.In other words, when loading the device in the burn-in board, only the tool 1 and 2 tools 12 and 13 are used, and the tool 3 and 4 tools 14 and 15 are not used. On the contrary, the burn-in tested device is unloaded from the burn-in board. In the case of using tools 3 and 4 (14) and 15 only, and tools 1 and 2 (12 and 13) are not used, a large number of equipments are needed to increase the production volume, and a large number of equipments are installed. In order to do so, a large area of space is required, which adds to the cost burden due to the expansion of facilities.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 번인테스터용 소팅 핸들러에 적용되는 보조버퍼를 탈/부착할 수 있어, 이에 의해 공정에 따라 1대의 장비로 2대의 장비의 작업능률을 얻을 수 있는 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법을 제공하는 점에 있다.The present invention has been made to solve such a problem in the prior art, it is possible to remove / attach the auxiliary buffer applied to the sorting handler for the burn-in tester, thereby improving the work efficiency of two equipment with one equipment according to the process An object of the present invention is to provide a sorting handler for a burn-in tester and a control method thereof.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러는 메인프레임과; 상기 메인프레임의 일측에 설치되어 디바이스가 채워진 트레이가 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부의 타측에 설치되어 빈트레이가 언로딩되는 언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부의 사이에 설치된 DC테스트부와, 상기 DC테스트부의 하부에 설치되는 로딩버퍼와, 상기 DC테스트부의 일측에 설치된 번인보드(BIB : burn in board)와, 상기 BIB의 일측에 설치된 언로딩버퍼와, 상기 언로딩버퍼의 일측에 설치된 소팅부로 이루어진 테스트부와; 상기 로딩/언로딩부의 상부에 설치되며, 로딩/언로딩로봇과 인서트/리무브로봇이 X방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 일측에 설치되며, 소팅로봇이 XY방향으로 이동가능하게 설치되어 있는 X-Y축으로 이루어진 이송부로 구성되며, 상기 BIB의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼가 더 포함되어 구성된다.In order to achieve the above object, a sorting handler for a burn-in tester of the present invention includes a mainframe; A loading unit installed at one side of the main frame to load a tray filled with a device; An unloading unit installed at the other side of the loading unit to unload the bin tray; A DC test unit installed between the loading / unloading unit, a loading buffer installed under the DC test unit, a burn-in board (BIB: burn in board) installed at one side of the DC test unit, and installed at one side of the BIB A test unit comprising an unloading buffer and a sorting unit installed at one side of the unloading buffer; The slider is installed on the loading / unloading part, and the loading / unloading robot and the insert / removing robot are movably installed in the X direction, and are installed on one side of the slider, and the sorting robot moves in the XY direction. It is composed of a transfer unit consisting of the XY axis that is possibly installed, and further comprises an auxiliary buffer that can be attached / detached on top of the BIB.
상기 번인테스터용 소팅 핸들러는 DC테스트만 수행할 경우에는 BIB의 상부에 보조버퍼가 설치시킬 수 있고, DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 로딩 및 소팅이 함께 이루어질 경우에는 상기 보조버퍼를 해제시킬 수 있다.The burn-in tester sorting handler may be installed with an auxiliary buffer on the upper part of the BIB when performing the DC test only. When the loading and sorting by the DC test unit and the BIB and the unloading buffer are performed together, the auxiliary buffer is released. You can.
상기 번인 테스터용 소팅 핸들러는 DC테스트를 수행하지 않고, BIB에서 디바이스의 로딩 및 소팅을 수행할 경우 DC테스트부의 로딩버퍼를 선택적으로 사용할 수 있다.The sorting handler for the burn-in tester may selectively use the loading buffer of the DC test unit when performing the loading and sorting of the device in the BIB without performing the DC test.
상기 복수개의 테스트트레이가 설치된 소팅부는 불량 판정된 디바이스를 각각의 테스트트레이에 등급별로 나누어 순차적으로 적재할 수 있다.The sorting unit in which the plurality of test trays are installed may be sequentially loaded by dividing a device determined to be defective in each test tray.
상기 소팅부는 복수개의 테스트트레이 중 어느 하나만을 선택적으로 사용할 수 있다.The sorting unit may selectively use any one of a plurality of test trays.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 메인프레임의 양측에 디바이스가 채워진 트레이와 빈트레이를 로딩부와 언로딩부에 위치시키는 단계와; 로딩로봇에 의해 디바이스가 DC테스트부로 이송되어 DC테스트부에 의해 디바이스의 양/불이 판정되는 단계와; DC테스트부에서 양품으로 판정된 디바이스는 인서트로봇에 의해 BIB로 이송되고, 불량품으로 판정된 디바이스는 소팅로봇에 의해 등급별로 복수개의 테스트트레이에 순차적으로 채워지는 단계와; BIB에서 번인테스트된 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼로 이동되어 양/불판정되는 단계와; 언로딩버퍼에서 양품으로 판정된 디바이스가 언로딩로봇에 의해 빈트레이에 채워지는 단계와; 언로딩버퍼에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇에 의해 등급별로 복수개의 테스트트레이에 순차적으로 채워지는 단계로 이루어진 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 제공한다.According to another aspect of the invention, the present invention comprises the steps of placing the tray and the bin tray filled with the device on both sides of the main frame loading and unloading unit; Transferring the device to the DC test unit by the loading robot to determine whether the device is defective or not by the DC test unit; The device determined as good in the DC test unit is transferred to the BIB by the insert robot, and the device determined as defective is sequentially filled in the plurality of test trays for each grade by the sorting robot; Moving the device burn-in tested in the BIB to the unloading buffer by a limb robot and determined to be positive / undetermined; A device determined as good in the unloading buffer is filled in the empty tray by the unloading robot; Provided is a control method of a sorting handler for a burn-in tester comprising a step in which a device determined as defective in an unloading buffer is sequentially filled in a plurality of test trays for each grade by a sorting robot.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 번인테스터용 소팅 핸들러의 일측에 설치되어 있는 BIB의 상부에 보조버퍼를 설치하는 단계와; 메인프레임의 양측에 디바이스가 채워진 트레이와 빈트레이를 로딩부와 언로딩부에 위치시키는 단계와; 로딩로봇에 의해 디바이스가 DC테스트부로 이송되어, DC테스트부에 의해 디바이스의 양/불이 판정되는 단계와; DC테스트부에서의 디바이스를 인서트로봇에 의해 BIB의 상부에 설치된 보조버퍼로 이송되는 단계와; 보조버퍼에서 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼로 이동되는 단계와; 언로딩버퍼에서 양품으로 판정된 디바이스가 언로딩로봇에 의해 빈트레이에 채워지는 단계와; 언로딩버퍼에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇에 의해 복수개의 테스트트레이에 등급별로 순차적으로 적재되는 단계로 이루어진 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 제공한다.According to another feature of the invention, the present invention comprises the steps of installing an auxiliary buffer on top of the BIB is installed on one side of the sorting handler for the burn-in tester; Placing trays and bin trays filled with devices on both sides of the mainframe, the loading and unloading units; Transferring the device to the DC test unit by the loading robot, and determining whether the device is defective or not by the DC test unit; Transferring the device in the DC test unit to an auxiliary buffer installed on the upper part of the BIB by an insert robot; Moving the device from the auxiliary buffer to the unloading buffer by the remove robot; A device determined as good in the unloading buffer is filled in the empty tray by the unloading robot; Provided is a control method of a sorting handler for a burn-in tester, comprising a step in which a device determined to be defective in an unloading buffer is sequentially loaded into a plurality of test trays by a sorting robot.
이하, 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법을 첨부된 도면을 이용하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a sorting handler for a burn-in tester and a control method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러이고, 도 4는 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러의 일부를 확대하여 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명에 적용된 DC테스트부와 로딩버퍼를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 보조버퍼를 나타낸 사시도이다.3 is a sorting handler for a burn-in tester to which the present invention is applied, and FIG. 4 is a perspective view showing an enlarged portion of the sorting handler for burn-in tester to which the present invention is applied, and FIG. 5 shows a DC test unit and a loading buffer applied to the present invention. 6 is a perspective view of the auxiliary buffer of the present invention.
먼저, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러는 크게 메인프레임(100)과 로딩부(200)와 언로딩부(300)와 테스트부(400)와 이송부(500)로 구성되어 있다.First, as shown in FIGS. 3 and 4, the sorting handler for the burn-in tester according to the present invention has a main frame 100, a loading unit 200, an unloading unit 300, a test unit 400, and a transfer unit ( 500).
상기 로딩부(200)는 그 중앙에 트레이(미도시됨)가 로딩될 수 있는 로딩위치(210)가 형성되어 있고, 상기 로딩위치(210)의 전방에는 테스트될 디바이스(미도시됨)가 채워진 트레이가 적재될 수 있는 전방스택커(220)가 설치되어 있고, 상기 로딩위치(210)의 후방에는 상기 디바이스를 이송시키고 난 빈트레이가 적재될 수 있는 후방스택커(230)가 설치되어 있다.The loading unit 200 has a loading position 210 in which a tray (not shown) can be loaded at the center thereof, and a device (not shown) to be tested is filled in front of the loading position 210. A front stacker 220 for loading a tray is installed, and a rear stacker 230 for loading a bin tray for transporting the device is installed at the rear of the loading position 210.
상기 언로딩부(300)는 그 중앙에 트레이가 언로딩될 수 있는 언로딩위치(310)가 형성되어 있고, 상기 언로딩위치(310)의 후방에는 빈트레이가 적재될 수 있는 후방스택커(330)가 설치되어 있고, 상기 언로딩위치(310)의 전방에는 상기 빈트레이에 양품의 디바이스가 채워진 트레이가 적재될 수 있는 전방스택커(320)가 설치되어 있다.The unloading unit 300 has an unloading position 310 in which a tray can be unloaded at the center thereof, and a rear stacker in which a bin tray can be loaded at the rear of the unloading position 310. 330 is installed, and the front stacker 320 is installed in front of the unloading position 310 to load the tray filled with the good device in the bin tray.
상기 로딩 및 언로딩부(200)(300)의 전방 및 후방에 설치되는 전방 및 후방스택커(220,320)(230,330)의 사이에는 트레이가 슬라이딩 되면서 이송될 수 있는 가이드레일(240)(340)이 설치되어 있다.Between the front and rear stackers 220, 320, 230, 330 installed at the front and rear of the loading and unloading unit 200, 300, guide rails 240 and 340 may be transported while the tray is slid. It is installed.
상기 테스트부(400)는 상기 메인프레임(100)의 일측에 설치되는 DC테스트부(410)와, 상기 DC테스트부(410)의 하부에 설치되는 로딩버퍼(420)와, 상기 DC테스트부(130)의 일측에 설치되는 번인보드(BIB : burn in board)(430)와, 상기 BIB(430)의 일측에 설치되는 소팅부(440)와, 상기 소팅부(440)의 일측에 설치되는 언로딩버퍼(450)와, BIB(430)의 상부에 탈/부착될 수 있는 보조버퍼(460)(도 6참조)로 구성되어 있다.The test unit 400 may include a DC test unit 410 installed at one side of the main frame 100, a loading buffer 420 installed below the DC test unit 410, and the DC test unit ( Burn in board (BIB) (430) installed on one side of the 130, the sorting unit 440 is installed on one side of the BIB 430, and the frozen portion is installed on one side of the sorting unit 440 It is composed of a loading buffer 450, and an auxiliary buffer 460 (see Fig. 6) that can be attached / detached on top of the BIB (430).
상기 DC테스트부(410)(도 5참조)는 그 상부에 복수개의 디바이스가 채워질 수 있는 복수개의 소켓(411)이 형성되어 있고, 상기 DC테스트부(410)의 하부에는 베이스플레이트(412)가 설치되어 있다. The DC test unit 410 (refer to FIG. 5) has a plurality of sockets 411 formed therein for filling a plurality of devices, and a base plate 412 is formed below the DC test unit 410. It is installed.
그리고, 상기 베이스플레이트(412)는 그 하부에 설치된 가이드레일(413)을 따라 슬라이딩 가능하게 되어 있고, 상기 베이스플레이트(412)는 그 일측에 설치된 제1실린더(414)와 제2실린더(415)에 의해 구동될 수 있으며, 상기 DC테스트부(410)는 그 하부에 설치된 제3실린더(416)의 구동에 의해 상/하 작동되면서 소켓(411)을 폐쇄/개폐 할 수 있다.In addition, the base plate 412 is slidable along the guide rail 413 installed at the bottom thereof, and the base plate 412 is provided with a first cylinder 414 and a second cylinder 415 installed at one side thereof. The DC test unit 410 may be operated by the third cylinder 416 installed on the lower portion of the DC test unit 410 to close / open the socket 411.
상기 로딩버퍼(420)는 그 상부에는 복수개의 디바이스를 로딩할 수 있는 복수개의 버퍼(421)가 형성되어 있다.The loading buffer 420 has a plurality of buffers 421 are formed thereon for loading a plurality of devices.
상기 DC테스트부(410)와 로딩버퍼(420)는 제2실린더(415)의 구동에 의해 전/후진되어 DC테스트 모드나, 로딩버퍼 모드 작업위치에 위치될 수 있고, DC테스트 모드시 테스트가 완료된 후에 불량으로 판정된 디바이스가 있을 시 제1실린더(414)가 구동하여 소팅로봇(570)에 의해 불량 디바이스가 소팅부(440)에 이송될 수 있도록 작업위치에 위치될 수 있다. The DC test unit 410 and the loading buffer 420 may be moved forward / backward by the driving of the second cylinder 415 to be located in the DC test mode or the loading buffer mode working position, and the test is performed in the DC test mode. When there is a device that is determined to be defective after completion, the first cylinder 414 may be driven to be positioned at the working position so that the defective device may be transferred to the sorting unit 440 by the sorting robot 570.
상기 BIB(430)는 복수개의 디바이스를 테스트할 수 있는 복수열의 소켓(431)이 형성되어 있다.The BIB 430 is provided with a plurality of sockets 431 in which a plurality of devices can be tested.
상기 소팅부(440)는 불량 판정된 디바이스를 등급별로 적재할 수 있는 복수개의 테스트트레이(441)가 설치되어 있다.The sorting unit 440 is provided with a plurality of test trays 441 for loading the devices determined to be defective.
상기 언로딩버퍼(450)는 복수개의 버퍼블럭(451)이 형성되어 있고, 이는 BIB에서 번인 테스트된 디바이스가 리무브로봇에 의해 언로딩버퍼(450)에 이송되면, 양으로 판정된 디바이스는 언로딩로봇(540)에 의해 빈트레이에 채워지고, 불량으로 판정된 디바이스는 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 이동될 수 있도록 각각의 버퍼블럭(451)이 위치하게 된다.The unloading buffer 450 is provided with a plurality of buffer blocks 451. When the tested device burned in the BIB is transferred to the unloading buffer 450 by the remove robot, the positively determined device is unloaded. Each buffer block 451 is positioned to be filled in the bin tray by the loading robot 540 and to be moved to the sorting unit 440 by the sorting robot 570.
상기 보조버퍼(460)(도 6참조)는 복수개의 버퍼블럭(461)이 형성되어 있으며, 상기 보조버퍼(460)는 BIB(430)의 상부에 체결부재(462)에 의해 설치 및 분리될 수 있다.The auxiliary buffer 460 (see FIG. 6) is formed with a plurality of buffer blocks 461, and the auxiliary buffer 460 may be installed and separated by a fastening member 462 on the upper side of the BIB 430. have.
상기 이송부(500)에는 상기 메인프레임(100)의 상부에 X방향으로 슬라이더(510)가 설치되어 있고, 상기 슬라이더(510)로부터 소정거리 이격되어 X축방향으로 X-Y축(520)이 설치되어 있다.The transfer part 500 is provided with a slider 510 in the X direction on the upper part of the main frame 100, XY axis 520 is provided in the X-axis direction spaced apart from the slider 510 by a predetermined distance. .
상기 슬라이더(510)에는 로딩 및 언로딩로봇(530)(540)이 X축방향으로 이동가능하게 설치되고, 상기 로딩 및 언로딩로봇(530)(540)의 사이에는 인서트로봇(550)과 리무브로봇(560)이 X축방향으로 동시 또는 각각 이동가능하게 설치되어 있다.Loading and unloading robots 530 and 540 are installed in the slider 510 so as to be movable in the X-axis direction. Between the loading and unloading robots 530 and 540, an insert robot 550 and a reloader are mounted. The robotless 560 is provided to be movable simultaneously or individually in the X-axis direction.
상기 인서트로봇(550)이 상기 DC테스트부(410)나 로딩버퍼(420)에서 디바이스를 로딩할 때, 상기 리무브로봇(560)은 상기 BIB(430)에서 소팅할 디바이스를 로딩할 수 있고, 그리고, 인서트로봇(550)이 BIB(430)에 번인테스트할 디바이스를 로딩할 때, 상기 리무브로봇(560)은 BIB(430)에서 언로딩버퍼(450)로, 번인테스트 후 소팅할 디바이스를 이송할 수 있다.When the insert robot 550 loads the device in the DC test unit 410 or the loading buffer 420, the remove robot 560 may load a device to be sorted in the BIB 430, Then, when the insert robot 550 loads the device to burn-in test to the BIB 430, the remove robot 560 from the BIB 430 to the unloading buffer 450, the device to sort after the burn-in test Can be transported
상기 X-Y축(520)에는 소팅로봇(570)이 X-Y방향으로 이동가능하게 설치되어 있으며, 상기 소팅로봇(570)은 불량 판정된 디바이스를 소팅부(440)의 테스트트레이(441)에 순차적으로 적재시킬 수 있다.(도 3참조)The sorting robot 570 is installed on the XY axis 520 so as to be movable in the XY direction, and the sorting robot 570 sequentially loads a device determined to be defective in the test tray 441 of the sorting unit 440. (See Fig. 3).
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows.
먼저, 로딩부(200)의 전방에 설치된 전방스택커(220)에서 디바이스가 채워진 트레이가 로딩위치(210)로 위치되고, 이때, 로딩부(200)의 타측에 설치된 언로딩부(300)에서도 후방스택커(330)에서 빈트레이가 언로딩위치(310)로 위치된다.First, the tray filled with the device in the front stacker 220 installed in front of the loading unit 200 is located in the loading position 210, at this time, also in the unloading unit 300 installed on the other side of the loading unit 200 In the rear stacker 330, the bin tray is positioned to the unloading position 310.
그리고, 슬라이더(510)에 설치된 로딩로봇(530)에 의해 디바이스가 테스트부(400)로 이송되며, 이때, 트레이에 채워져 있던 디바이스가 전부 이송되면 빈트레이는 메인프레임(100)의 후방에 설치된 후방스택커(230)나 혹은 언로딩부(300)의 후방스택커(330), 혹은 언로딩부(300)의 전방스택커(320)로 이송되어 적재된다.Then, the device is transferred to the test unit 400 by the loading robot 530 installed on the slider 510. At this time, when all the devices filled in the tray are transferred, the bin tray is installed at the rear of the main frame 100. The stacker 230 or the rear stacker 330 of the unloading unit 300 or the front stacker 320 of the unloading unit 300 is transferred and loaded.
또한, 언로딩위치(310)에 위치되어 있던 빈트레이에 테스트가 완료된 디바이스가 전부 채워지면 디바이스가 채워진 트레이는 메인프레임(100)의 전방에 설치된 전방스택커(320)로 이송되어 적재된다.In addition, when the test device is completely filled in the bin tray located at the unloading position 310, the tray filled with the device is transferred to the front stacker 320 installed in front of the main frame 100 and loaded.
상기 로딩로봇(530)에 의해 이송된 디바이스는 DC테스트부(410)로 이송되고, DC테스트부(410)의 소켓(411)에서 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.The device transferred by the loading robot 530 is transferred to the DC test unit 410, the device is tested in the socket 411 of the DC test unit 410 is determined whether or not.
그리고, 상기 디바이스가 DC테스트를 하지 않을 경우, 상기 DC테스트부(410)가 후진하여 로딩버퍼(420)의 상부를 개방시키면 로딩버퍼(420)에서 디바이스가 인서트로봇(550)에 의해 이송된다.When the device does not perform the DC test, when the DC test unit 410 moves backward to open the upper portion of the loading buffer 420, the device is transferred by the insert robot 550 in the loading buffer 420.
그리고, DC테스트부(410)에서 양품 판정된 디바이스는 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)로 이송되고, 불량품 판정된 디바이스는 상기 DC테스트부(410)가 전진하여 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)로 이송되어 소팅부(440)의 테스트트레이(441)에 등급별로 나뉘어서 적재된다. In addition, the device determined as good in the DC test unit 410 is transferred to the BIB 430 by the insert robot 550, and the device determined as defective is moved to the sorting robot 570 by the DC test unit 410 moving forward. By the transfer to the sorting unit 440 is divided into the test tray 441 of the sorting unit 440 for each grade is loaded.
상기 BIB(430)로 이송된 디바이스는 테스트된 후, 리무브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송되어, 언로딩버퍼(450)의 각각의 버퍼블럭(451)에 삽입된다. 그리고, BIB(430)에서 기 테스트되어진 디바이스의 양/불에 따라 소팅할 수 있게 한다.The device transferred to the BIB 430 is tested and then transferred to the unloading buffer 450 by the remove robot 560 and inserted into each buffer block 451 of the unloading buffer 450. In addition, the BIB 430 may sort according to the amount / fire of the device that has been previously tested.
언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스는 언로딩로봇(540)에 의해 언로딩위치(310)에 위치되어 있는 빈트레이에 채워지게 되고, 양품의 디바이스가 채워진 트레이는 전방스택커(320)에 적재된다.The device determined to be good in the unloading buffer 450 is filled in the bin tray positioned at the unloading position 310 by the unloading robot 540, and the tray in which the good device is filled is the front stacker 320. Are loaded).
또한, 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스는 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 설치되어 있는 테스트트레이(441)에 등급별로 나뉘어서 채워지게 된다.In addition, the device determined as defective in the unloading buffer 450 is divided into the test tray 441 installed in the sorting unit 440 by the sorting robot 570, and is filled by grade.
이와 같이, 구성된 본원 발명에 의하면 DC테스트와 BIB에 디바이스 로딩/소팅 등의 작업을 동시에 혹은 각각 실시할 수 있다.As described above, according to the present invention configured, the DC test and the device loading / sorting and the like can be performed simultaneously or separately in the BIB.
한편, DC테스트만을 수행할 경우에는 다음과 같다.On the other hand, when only the DC test is performed as follows.
먼저, BIB보드(430)의 상부에 체결부재(462)를 이용하여 보조버퍼(460)를 설치한다.First, the auxiliary buffer 460 is installed using the fastening member 462 on the upper part of the BIB board 430.
그리고, DC테스트부(410)의 하부에 설치된 실린더(415)가 구동하여 상기 DC테스트부(410)가 전진하면서 그 하부에 설치되어 있는 로딩버퍼(420)를 폐쇄함과 동시에 DC테스트부(410)는 테스트준비를 완료한다.In addition, the cylinder 415 installed at the lower portion of the DC test unit 410 is driven to close the loading buffer 420 installed at the lower portion of the DC test unit 410 while advancing the DC test unit 410 and at the same time, the DC test unit 410 ) Completes the test preparation.
이때, 로딩부(200)의 전방에 설치된 전방스택커(220)에서 디바이스가 채워진 트레이가 로딩위치(210)로 위치되고, 이때, 로딩부(200)의 타측에 설치된 언로딩부(300)에서도 후방스택커(330)에서 빈트레이가 언로딩위치(310)로 위치된다.At this time, the tray filled with the device in the front stacker 220 installed in front of the loading unit 200 is located in the loading position 210, at this time, in the unloading unit 300 installed on the other side of the loading unit 200 In the rear stacker 330, the bin tray is positioned to the unloading position 310.
그리고, 슬라이더(510)에 설치된 로딩로봇(530)에 의해 디바이스가 DC테스트부(410)로 이송되며, 이때, 트레이에 채워져 있던 디바이스가 전부 이송되면 빈트레이는 메인프레임(100)의 후방에 설치된 언로딩부(300)의 후방스택커(330)로 이송되어 적재된다.Then, the device is transferred to the DC test unit 410 by the loading robot 530 installed on the slider 510. At this time, when all the devices filled in the tray are transferred, the bin tray is installed at the rear of the main frame 100. Transferred to the rear stacker 330 of the unloading unit 300 is loaded.
또한, 언로딩위치(310)에 위치되어 있던 빈트레이에 DC테스트가 완료된 디바이스가 전부 채워지면 디바이스가 채워진 트레이는 메인프레임(100)의 전방에 설치된 전방스택커(320)로 이송되어 적재된다.In addition, when the DC tray has been completely filled in the bin tray located at the unloading position 310, the tray filled with the device is transferred to the front stacker 320 installed in front of the main frame 100 is loaded.
상기 로딩로봇(530)에 의해 이송된 디바이스는 DC테스트부(410)로 이송되고, DC테스트부(410)의 소켓(411)에서 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.The device transferred by the loading robot 530 is transferred to the DC test unit 410, the device is tested in the socket 411 of the DC test unit 410 is determined whether or not.
상기 디바이스는 DC테스트부(410)에서 테스트된다. 그리고, DC테스트부(410)에서 테스트된 디바이스는 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)의 상부에 설치된 보조버퍼(460)로 이송된다.The device is tested in the DC test unit 410. In addition, the device tested in the DC test unit 410 is transferred to the auxiliary buffer 460 installed on the BIB 430 by the insert robot 550.
상기 보조버퍼(460)로 이송된 디바이스는 리무브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송되고, 언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스는 언로딩로봇(540)에 의해 언로딩위치(310)에 위치되어 있는 빈트레이에 채워지게 되고, 양품의 디바이스가 채워진 트레이는 전방스택커(320)에 적재된다.The device transferred to the auxiliary buffer 460 is transferred to the unloading buffer 450 by the limb robot 560, and the device determined as good in the unloading buffer 450 is unloaded by the robot 540. The empty tray located at the unloading position 310 is filled, and a tray filled with a good device is loaded on the front stacker 320.
또한, 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스는 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 설치되어 있는 테스트트레이(441)에 등급별로 나뉘어서 채워지게 된다.In addition, the device determined as defective in the unloading buffer 450 is divided into the test tray 441 installed in the sorting unit 440 by the sorting robot 570, and is filled by grade.
상기와 같이, 구성된 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같이 이루어진다.As described above, the control method of the sorting handler for the burn-in tester of the present invention configured as described above will be described as follows.
도 7은 본 발명에서 DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 DC테스트와 BIB에 디바이스 로딩/소팅이 함께 이루어지는 과정을 나타낸 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a process in which a DC test unit and a BIB and an unloading buffer perform a device loading / sorting process together with the DC test unit in the present invention.
먼저, 도 7에 도시된 바와 같이, DC테스트와 BIB(430)와 언로딩버퍼(450)에 의한 DC테스트와 BIB(430)에 디바이스 로딩/소팅이 함께 이루어질 경우의 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법은 다음과 같다. First, as shown in FIG. 7, the DC test and the DC test by the BIB 430 and the unloading buffer 450 and the control of the burn-in tester sorting handler when the device loading / sorting are performed in the BIB 430 together. The method is as follows.
메인프레임(100)의 양측의 로딩부(200)와 언로딩부(300)에 복수개의 디바이스가 채워진 트레이와 복수개의 디바이스가 채워질 빈트레이가 각각의 가이드레일(240)(340)을 따라 이송장치(미도시됨)에 의해 이송되어 로딩위치(210)와 언로딩위치(310)에 위치된다.(S1)A tray in which a plurality of devices are filled in the loading unit 200 and the unloading unit 300 on both sides of the main frame 100, and a bin tray in which the plurality of devices are filled, is transported along the respective guide rails 240 and 340. It is transported by (not shown) and positioned in the loading position 210 and the unloading position 310. (S1)
이때, 메인프레임(100)의 상부에 X축방향으로 설치된 슬라이더(510)에 설치되어 X축방향으로 이동 가능한 로딩로봇(530)에 의해 복수개의 디바이스가 로딩부(200)의 트레이에서 DC테스트부(410)로 이송되어 DC테스트부(410)에 의해 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.(S2)In this case, a plurality of devices are installed in the slider 510 installed in the X-axis direction on the upper part of the main frame 100 and are moved by the loading robot 530 in the X-axis direction. Transferred to 410, the device is tested by the DC test unit 410 to determine whether or not (S2).
그리고, DC테스트부(410)에서 양품으로 판정된 디바이스는 상기 슬라이더(510)에 설치되며, 상기 로딩로봇(530)의 일측에 위치된 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)로 이송되어 상기 BIB(430)에 형성된 복수열의 소켓(431)에 순차적으로 채워진다. In addition, the device determined to be good in the DC test unit 410 is installed in the slider 510, and is transferred to the BIB 430 by the insert robot 550 located on one side of the loading robot 530, The sockets 431 of the plurality of rows formed in the BIB 430 are sequentially filled.
또한, DC테스트부(410)에서 불량품으로 판정된 디바이스는 상기 슬라이더(510)의 일측에 설치되어 있는 X-Y축(520)에 X축방향과 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된 소팅로봇(570)에 의해 등급별로 나뉘어 소팅부(440)의 복수개의 테스트트레이(441)에 순차적으로 채워지게 된다.(S3)In addition, the device determined as defective by the DC test unit 410 is a sorting robot 570 installed on the XY axis 520 installed on one side of the slider 510 so as to be movable in the X axis direction and the Y axis direction. By dividing by the grade is sequentially filled in the plurality of test trays 441 of the sorting unit 440. (S3)
BIB(430)에서 테스트된 복수개의 디바이스가 상기 인서트로봇(550)의 일측에 설치된 리무브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송되어 상기 언로딩버퍼(450)의 버퍼블럭(451)에 채워진다.(S4)A plurality of devices tested in the BIB 430 are transferred to the unloading buffer 450 by a remove robot 560 installed on one side of the insert robot 550 to buffer buffers 451 of the unloading buffer 450. ) Is filled in (S4)
언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스가 상기 리무브로봇(560)의 일측에 설치된 언로딩로봇(540)에 의해 언로딩부(300)의 언로딩위치(310)에 위치되어 있는 빈트레이에 채워지고, 빈트레이에 복수개의 디바이스가 전부채워지면 상기 트레이는 가이드레일(340)을 따라 전방스택커(320)에 적재된다.(S5)The bin which is determined to be good in the unloading buffer 450 is located at the unloading position 310 of the unloading unit 300 by an unloading robot 540 installed at one side of the removable robot 560. When the tray is filled and the plurality of devices are filled in the bin tray, the tray is loaded on the front stacker 320 along the guide rail 340. (S5)
한편, 로딩부(200) 로딩위치(210)에 위치된 트레이에서 디바이스가 모두 이송되면 상기 트레이는 가이드레일(240)을 따라 언로딩부(300)의 후방스택커(330)에 적재된다.On the other hand, when all of the devices are transferred from the tray located at the loading position 210 of the loading unit 200, the tray is loaded on the rear stacker 330 of the unloading unit 300 along the guide rail 240.
또한, 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스가 상기 언로딩버퍼(450)의 버퍼블럭(451)에서 X축방향과 Y축방향으로 이동 가능한 소팅로봇(570)에 의해 등급별로 나뉘어 소팅부(440)의 복수개의 테스트트레이(441)에 순차적으로 채워지게 된다.(S5)In addition, the device determined as defective in the unloading buffer 450 is sorted by the sorting robot by the sorting robot 570 which is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction in the buffer block 451 of the unloading buffer 450. The plurality of test trays 441 of the unit 440 is sequentially filled (S5).
한편, 디바이스에 대한 DC테스트만 이루어질 경우의 번인테스터용 소팅 핸들러의 제어방법을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, the control method of the sorting handler for the burn-in tester when only the DC test is performed on the device will be described with reference to the accompanying drawings.
도 8은 DC테스트만 이루어지는 과정을 나타낸 순서도이다.8 is a flowchart illustrating a process of performing only a DC test.
먼저, 도 8에 도시된 바와 같이, 번인테스터용 소팅 핸들러의 일측에 설치되어 있는 BIB(430)의 상부에 복수개의 디바이스가 채워질 수 있는 복수개의 버퍼블럭(461)이 형성되어 있는 보조버퍼(460)를 체결부재(462)를 이용하여 설치한다.(S11)First, as illustrated in FIG. 8, the auxiliary buffer 460 having a plurality of buffer blocks 461 in which a plurality of devices may be filled is formed on the top of the BIB 430 installed on one side of the sorting handler for the burn-in tester. ) Is installed using the fastening member 462. (S11)
메인프레임(100)의 양측의 로딩부(200)와 언로딩부(300)에 복수개의 디바이스가 채워진 트레이와 복수개의 디바이스가 채워질 빈트레이가 각각의 가이드레일(240)(340)을 따라 이송장치에 의해 이송되어 로딩위치(210)와 언로딩위치(310)에 위치된다.(S12)A tray in which a plurality of devices are filled in the loading unit 200 and the unloading unit 300 on both sides of the main frame 100, and a bin tray in which the plurality of devices are filled, is transported along the respective guide rails 240 and 340. It is transported by and is positioned at the loading position 210 and the unloading position 310. (S12)
이때, 메인프레임(100)의 상부에 X축방향으로 설치된 슬라이더(510)에 설치되어 X축방향으로 이동 가능한 로딩로봇(530)에 의해 복수개의 디바이스가 로딩부(200)의 트레이에서 DC테스트부(410)로 이송되어 DC테스트부(410)에 의해 디바이스는 테스트되어 양/불 판정된다.(S13)In this case, a plurality of devices are installed in the slider 510 installed in the X-axis direction on the upper part of the main frame 100 and are moved by the loading robot 530 in the X-axis direction. Transferred to 410, the device is tested by the DC test unit 410 is determined whether or not (S13).
그리고, DC테스트부(410)에서 양품으로 판정된 디바이스는 상기 슬라이더(510)에 설치되며, 상기 로딩로봇(530)의 일측에 위치된 인서트로봇(550)에 의해 BIB(430)의 상부에 설치된 보조버퍼(460)로 이송된다.(S14)In addition, the device determined to be good in the DC test unit 410 is installed on the slider 510, and is installed on the top of the BIB 430 by the insert robot 550 located on one side of the loading robot 530. It is transferred to the auxiliary buffer 460. (S14)
상기 보조버퍼(460)로 이송된 디바이스는 리부브로봇(560)에 의해 언로딩버퍼(450)로 이송된다.(S15)The device transferred to the auxiliary buffer 460 is transferred to the unloading buffer 450 by the rebubot 560. (S15)
상기 언로딩버퍼(450)에서 양품으로 판정된 디바이스가 상기 슬라이더(510)에 설치된 언로딩로봇(540)에 의해 빈트레이에 채워지고, 상기 디바이스가 모두 채워진 트레이는 가이드레일(340)을 따라 이송되어 전방스택커(320)에 적재된다.(S16)The device determined as good in the unloading buffer 450 is filled in the bin tray by the unloading robot 540 installed in the slider 510, and the trays in which the devices are all filled are transferred along the guide rail 340. And is loaded on the front stacker 320. (S16)
상기 언로딩버퍼(450)에서 불량품으로 판정된 디바이스가 소팅로봇(570)에 의해 소팅부(440)에 설치된 복수개의 테스트트레이(441)에 등급별로 분류되어 순차적으로 채워진다.(S17)Devices that are determined to be defective in the unloading buffer 450 are classified into grades and sequentially filled in the plurality of test trays 441 installed in the sorting unit 440 by the sorting robot 570. (S17)
이와 같이, 구성된 본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법은 디바이스가 이송부에 의해 테스트부로 이송되어, 테스트부에 의해 테스트된 디바이스는 양/불 판정되어 디바이스 각각이 등급별로 나뉘어 적재될 수 있다.As described above, the sorting handler for the burn-in tester and the control method thereof according to the present invention may be transferred to the test unit by the transfer unit, and the device tested by the test unit may be determined as good or bad, and each of the devices may be divided and loaded in each class. .
본 발명의 번인테스터용 소팅 핸들러 및 그 제어방법은 보조버퍼의 탈/부착이 용이하여 공정에 따른 장비를 추가적으로 구비하지 않고, 1대의 장비로 2대의 작업능률을 얻을 수 있는 이점이 있다.The sorting handler for the burn-in tester and the control method thereof according to the present invention have the advantage that the work buffer can be easily removed / attached without additional equipment according to the process and two work efficiency can be obtained with one equipment.
도 1은 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도,1 is a plan view schematically showing the configuration of a sorting handler for a conventional burn-in tester,
도 2는 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러에서 이송수단의 동작을 설명하기 위한 개략도,Figure 2 is a schematic diagram for explaining the operation of the transfer means in the sorting handler for a burn-in tester of the prior art,
도 3은 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러,3 is a sorting handler for a burn-in tester to which the present invention is applied,
도 4는 본 발명이 적용된 번인테스터용 소팅 핸들러의 일부를 확대하여 나타낸 사시도,4 is an enlarged perspective view illustrating a part of a sorting handler for a burn-in tester to which the present invention is applied;
도 5는 본 발명에 적용된 DC테스트부와 로딩버퍼를 나타낸 사시도,5 is a perspective view showing a DC test unit and a loading buffer applied to the present invention;
도 6은 본 발명의 보조버퍼를 나타낸 사시도,Figure 6 is a perspective view of the auxiliary buffer of the present invention,
도 7은 본 발명에서 DC테스트부와 BIB와 언로딩버퍼에 의한 DC테스트와 BIB에 디바이스 로딩/소팅이 함께 이루어지는 과정을 나타낸 순서도,FIG. 7 is a flowchart illustrating a process of performing device loading / sorting in a DC test unit and a BIB by a DC test unit, a BIB, and an unloading buffer in the present invention; FIG.
도 8은 DC테스트 과정을 나타낸 순서도이다.8 is a flowchart illustrating a DC test process.
<주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts>
100 : 메인프레임 200,300 : 로딩, 언로딩부100: mainframe 200,300: loading, unloading unit
210,310 : 로딩, 언로딩위치 220,320 : 전방스택커210,310: loading, unloading position 220,320: front stacker
230,330 : 후방스택커 240,340 : 가이드레일230,330: Rear stacker 240,340: Guide rail
400 : 테스트부 410 : DC테스트부400: test unit 410: DC test unit
420 : 로딩버퍼 430 : BIB420: loading buffer 430: BIB
440 : 소팅부 450 : 언로딩버퍼440: sorting unit 450: unloading buffer
500 : 이송부 510 : 슬라이더500: transfer unit 510: slider
520 : X-Y축 530,540 : 로딩, 언로딩로봇520: X-Y axis 530,540: loading, unloading robot
550 : 인서트로봇 560 : 리무브로봇550: insert robot 560: remove robot
570 : 소팅로봇570: Sorting Robot
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