JPH07198779A - Ic loading/unloading method - Google Patents
Ic loading/unloading methodInfo
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- JPH07198779A JPH07198779A JP5336804A JP33680493A JPH07198779A JP H07198779 A JPH07198779 A JP H07198779A JP 5336804 A JP5336804 A JP 5336804A JP 33680493 A JP33680493 A JP 33680493A JP H07198779 A JPH07198779 A JP H07198779A
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- user tray
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣロード・アンロ
ード方法に関し、特に、マルチタスクＯＳを使用してト
ランアーム２個によりＩＣを高速に受け渡しするダイナ
ミックテストハンドラによるＩＣロード・アンロード方
法関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC loading / unloading method, and more particularly, to an IC loading / unloading method by a dynamic test handler that uses a multitasking OS to transfer an IC at high speed by two transarms. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＩＣ試験装置によるＩＣ試験の手順の概
要を図１および図２を参照して説明する。先ず、図２を
参照するに、ＩＣ試験は、ＩＣ試験装置の恒温室２０内
のテスト領域２１において実施されるのであるが、これ
に際して、先ず、ダイナミックテストハンドラ１０内の
ローダ部１１においてユーザトレイ１３に載置されてい
る試験前のＩＣを、試験の高／低温に耐えるテストトレ
イ１４に鎖線に示される通りに受け渡しする。試験前の
ＩＣが受け渡されたこのテストトレイ１４は、次いで恒
温室２０に送り込まれ、テスト領域２１においてＩＣの
高／低温試験が実施される。試験終了後、このテストト
レイ１４は恒温室２０からハンドラ１０内に送り込ま
れ、テストトレイ１４に載置される試験終了後のＩＣを
アンローダ部１２において今度はテストトレイ１４から
ユーザトレイ１３に鎖線に示される通りに受け渡しす
る。2. Description of the Related Art An outline of an IC test procedure by an IC test apparatus will be described with reference to FIGS. First, referring to FIG. 2, an IC test is performed in a test area 21 in a temperature-controlled room 20 of an IC test apparatus. At this time, first, in a loader unit 11 in a dynamic test handler 10, a user tray is used. The pre-test IC mounted on 13 is delivered to the test tray 14 that withstands the high / low temperature of the test as indicated by the chain line. The test tray 14 to which the IC before the test is delivered is then sent to the temperature-controlled room 20, and the high / low temperature test of the IC is performed in the test area 21. After the test, the test tray 14 is sent from the temperature-controlled room 20 into the handler 10, and the IC after the test mounted on the test tray 14 is chained from the test tray 14 to the user tray 13 in the unloader section 12. Deliver as shown.
【０００３】上述の受け渡しは図２における鎖線に示さ
れるところにおいて行なわれるのであるが、これは実際
は図１に示されるが如きＩＣ試験装置のローダ・アンロ
ーダにより行なわれる。以下、図１を参照してこれにつ
いて説明する。図１に示されるＩＣ試験装置のローダ・
アンローダは、トレイ収容部６０に収容されるユーザト
レイ１３を矢印如くポジション３のレベル迄駆動する
エレベータ５０より成るレーンを１０レーン具備してい
る。これらのレーンを必要に応じて適宜にローダ用とし
て指定し、或はアンローダ用として指定して使用するこ
とができる。例えば、レーン１をこれから試験測定しよ
うとするＩＣを装填するローダ部１１に割り当て、レー
ン２ないしレーン９の８レーンを試験の終了したＩＣを
試験結果のカテゴリ毎に収容するアンローダ部１２に割
り当てる。３０Lおよび３０R は一対のトランアームで
あり、ユーザトレイ１３を保持或は解放する部材３０F
を有している。このトランアーム３０はトランアーム駆
動装置（図示されず）により矢印の如くポジション３
のレベル或はポジション２のレベルに駆動されると共に
ポジション２のレベルにおいては矢印の如く水平方向
に配列されるレーン１ないしレーン１０に亘って水平駆
動されるものである。９０はローダトレイセットであ
り、矢印の如くテストトレイ駆動装置（図示されず）
によりポジション３のレベル或はポジション１のレベル
に駆動設定される。The above-mentioned delivery is carried out at the position shown by the chain line in FIG. 2, but this is actually carried out by the loader / unloader of the IC test apparatus as shown in FIG. Hereinafter, this will be described with reference to FIG. The loader of the IC test apparatus shown in FIG.
The unloader is equipped with 10 lanes including an elevator 50 that drives the user trays 13 accommodated in the tray accommodating portion 60 to the level of position 3 as indicated by the arrow. These lanes can be appropriately designated as a loader or can be designated as an unloader for use. For example, lane 1 is assigned to the loader unit 11 in which an IC to be tested and measured is loaded, and eight lanes of lanes 2 to 9 are assigned to the unloader unit 12 that accommodates the ICs that have undergone the test for each category of test results. 30 L and 30 R are a pair of trans arms, which are members 30 F for holding or releasing the user tray 13.
have. This trans arm 30 is moved to position 3 as shown by an arrow by a trans arm driving device (not shown).
Or at the level of position 2 and at the level of position 2 it is driven horizontally over lanes 1 to 10 arranged in the horizontal direction as shown by the arrow. Reference numeral 90 denotes a loader tray set, which is a test tray drive device (not shown) as indicated by an arrow.
Is set to the level of position 3 or the level of position 1.
【０００４】ここで、図１および図２を参照してＩＣ試
験装置のローダ・アンローダの動作およびＩＣの受け渡
しについて説明する。 （１） ユーザトレイのロードについて 第１． ローダトレイセット９０上のユーザトレイ１３
に載置されるＩＣをＩＣ吸着用ピック＆プレイスにより
テストトレイ１４に受け渡し処理する。この受け渡し処
理において、ＩＣ吸着用ピック＆プレイスはＩＣを１回
に例えば４個づつ吸着し、ユーザトレイ１３からテスト
トレイ１４に受け渡す。ユーザトレイ１３が３２個のＩ
Ｃを載置するするトレイであるものとすると、この受け
渡し動作を８回繰り返す訳である。このユーザトレイ１
３はＩＣの受け渡し処理がやがて終了して空となる。The operation of the loader / unloader of the IC test apparatus and the delivery of the IC will now be described with reference to FIGS. 1 and 2. (1) Loading of user tray 1. User tray 13 on loader tray set 90
The IC placed on the IC tray is transferred to the test tray 14 by the IC suction pick & place. In this transfer process, the IC suction pick & place sucks, for example, four ICs at a time, and transfers the ICs from the user tray 13 to the test tray 14. I with 32 user trays 13
If it is a tray on which C is placed, this transfer operation is repeated eight times. This user tray 1
In the case of 3, the IC delivery process ends before it becomes empty.
【０００５】第２． ＩＣの受け渡し処理が終了してユ
ーザトレイ１３が空となったところで、トランアーム３
０L によりローダ部１１のトレイ収容部６０1 に収容さ
れるＩＣの載置された新規のユーザトレイ１３を把持し
て取り出す（そのまま把持した状態にある）。 第３． 第１において空となったユーザトレイ１３をロ
ーダトレイセット９０からトランアーム３０R により把
持して除去する（そのまま把持している。Second. When the user tray 13 becomes empty after the IC transfer processing is completed, the transarm 3
With 0 L, the new user tray 13 on which the IC accommodated in the tray accommodating portion 60 1 of the loader portion 11 is gripped and taken out (in the gripped state as it is). Third. The first empty user tray 13 is gripped and removed from the loader tray set 90 by the trans arm 30 R (the gripping is performed as it is.
【０００６】第４． 第２においてトランアーム３０L
により取り出して把持した状態にある新規のユーザトレ
イ１３をローダトレイセット９０上に供給する。 第５． 第３において把持した状態にある空となったユ
ーザトレイ１３を空トレイ収容部４０に収容する。 第１． ここで、第１の受け渡し処理に戻り、再び、ピ
ック＆プレイスによりローダトレイセット９０上のユー
ザトレイ１３に載置されるＩＣをテストトレイ１４に受
け渡し処理をすることができる。Fourth. At the second trans arm 30 L
The new user tray 13 that has been taken out and gripped is supplied onto the loader tray set 90. Fifth. The empty user tray 13 in the third gripped state is housed in the empty tray housing section 40. First. Here, returning to the first transfer processing, the IC mounted on the user tray 13 on the loader tray set 90 can be transferred to the test tray 14 again by pick and place.
【０００７】（２） ユーザトレイのアンロードについ
て 上述したユーザトレイのロードに対比して以下の通りに
ほぼ同様に説明することができる。 第１． テストトレイ１４に載置される試験終了したＩ
Ｃをピック＆プレイスによりアンローダトレイセット９
０上のユーザトレイ１３に対してソートする。ユーザト
レイ１３に対してソートはやがて終了し、テストトレイ
１４は空となるに到る。(2) Unloading of the user tray In comparison with the above-described loading of the user tray, the following can be explained in almost the same manner. First. I that has been tested and is placed on the test tray 14
Unloader tray set 9 by picking and picking C
The user tray 13 on 0 is sorted. Sorting of the user tray 13 is completed, and the test tray 14 becomes empty.
【０００８】第２． トランアーム３０R は次にＩＣを
ソートするユーザトレイを何れかのアンローダ部から把
持して取り出す。 第３． トランアーム３０L によりアンローダトレイセ
ット９０上の空になったユーザトレイ１３を除去する。 第４． トランアーム３０R により第２において取り出
されたユーザトレイ１３をアンローダトレイセット９０
上に供給する。Second. The transarm 30 R then grips and takes out the user tray for sorting ICs from any of the unloaders. Third. The empty user tray 13 on the unloader tray set 90 is removed by the trans arm 30 L. Fourth. The user tray 13 taken out in the second by the trans arm 30 R is set in the unloader tray set 90.
Supply on.
【０００９】第５． トランアーム３０L により空にな
ったユーザトレイ１３を空トレイ収容部４０に収容す
る。ここで、第１に戻る。Fifth. The empty user tray 13 is accommodated in the empty tray accommodating portion 40 by the transaction arm 30 L. Now, return to the first.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】以上の通りのＩＣ試験
装置のローダ・アンローダの動作およびＩＣの受け渡し
において、第１においてＩＣの受け渡し処理が終了して
ユーザトレイ１３が空となったところで、これを第２に
より取り出したＩＣの載置された新規のユーザトレイ１
３と交換する必要がある。新規のユーザトレイ１３を取
り出すには、受け渡し処理が終了してユーザトレイ１３
が空となった時点においてトランアーム３０L を起動せ
しめる信号を発生する。In the operation of the loader / unloader of the IC test apparatus and the IC transfer as described above, when the IC transfer processing is completed and the user tray 13 becomes empty in the first step, The new user tray 1 on which the IC is taken out by the second
Need to replace with 3. To take out a new user tray 13, the delivery process is completed and the user tray 13 is removed.
A signal for activating the transarm 30 L is generated at the time when is empty.
【００１１】ここで、ユーザトレイ１３の載置し得るＩ
Ｃの数が少数であると、ローダトレイセット９０におい
てユーザトレイ１３の交換を頻繁に実施しなければなら
ないことになる。ユーザトレイ１３を交換している間は
ピック＆プレイスは停止している訳であるが、ユーザト
レイ１３の交換が頻繁であればそれだけ、ピック＆プレ
イスの停止時間は長くなり、結局ＩＣ試験装置の稼動効
率は低下するに到る。Here, the I on which the user tray 13 can be placed
If the number of C's is small, the user tray 13 must be frequently replaced in the loader tray set 90. The pick and place is stopped while the user tray 13 is being replaced. However, if the user tray 13 is frequently replaced, the pick and place stop time will be longer, and eventually the IC tester The operating efficiency will decrease.
【００１２】ソートする場合も、ユーザトレイ１３の交
換が頻繁であればＩＣ試験装置の稼動効率が低下するこ
とは同様である。この発明は、上述の通りの問題を解消
するＩＣロード・アンロード方法を提供するものであ
る。In the case of sorting as well, if the user tray 13 is frequently replaced, the operating efficiency of the IC test apparatus is similarly lowered. The present invention provides an IC loading / unloading method that solves the above problems.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】ダイナミックテストハン
ドラ１０内のローダ部１１においてユーザトレイ１３に
載置される試験前のＩＣをテストトレイ１４に受け渡
し、試験前のＩＣが受け渡されたテストトレイ１４をテ
スト領域２１に送り込み、試験終了後のＩＣが載置され
るテストトレイ１４をテスト領域２１からハンドラ１０
内に送り込み、テストトレイ１４に載置される試験終了
後のＩＣをアンローダ部１２においてユーザトレイ１３
に受け渡しするＩＣロード・アンロード方法において、
ユーザトレイ１３およびテストトレイ１４間におけるピ
ック＆プレイスによるＩＣ受け渡し処理終了直前に新規
のトレイを要求する信号を発生せしめるＩＣロード・ア
ンロード方法を構成した。A pre-test IC placed on a user tray 13 in a loader section 11 of a dynamic test handler 10 is delivered to a test tray 14, and the test tray 14 to which the pre-test IC has been delivered. To the test area 21, and the test tray 14 on which the IC after the test is mounted is placed from the test area 21 to the handler 10.
The post-test ICs that have been fed into the test tray 14 are placed in the user tray 13 in the unloader unit 12.
In the IC loading / unloading method to deliver to
An IC loading / unloading method for generating a signal for requesting a new tray just before the completion of the IC transfer processing by the pick & place between the user tray 13 and the test tray 14 is configured.
【００１４】[0014]
【実施例】ここで、図１および図２を参照してＩＣ試験
装置のローダ・アンローダの動作およびＩＣの受け渡し
を、ユーザトレイからテストトレイに対してロードする
場合を例として説明する。 第１． ローダトレイセット９０上のユーザトレイ１３
に載置されるＩＣを、ＩＣ吸着用ピック＆プレイスを使
用してテストトレイ１４に受け渡し処理する。ここで、
ＩＣ吸着用ピック＆プレイスとしてＩＣを１回につき例
えば４個づつ吸着することができるものを使用し、ユー
ザトレイ１３が２４個のＩＣを載置することができるト
レイであるものとする。この場合、ピック＆プレイスは
ユーザトレイ１３に載置されるＩＣを４個吸着し、これ
を吸着した状態でテストトレイ１４にまで運搬してこの
上に受け渡す。ピック＆プレイスはユーザトレイ１３に
戻り、再びこれに載置されるＩＣを４個吸着し、これを
吸着した状態でテストトレイ１４にまで運搬してこの上
に受け渡す。ここまでにおいて、この受け渡し動作は２
サイクル終了したことになるが、これを後４サイクル繰
り返して、合計６サイクル実行することによりユーザト
レイ１３上の２４個のＩＣはすべてテストトレイ１４に
受け渡し処理され、ユーザトレイ１３は空になる訳であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The operation of a loader / unloader of an IC testing apparatus and the delivery of ICs will be described with reference to FIGS. 1 and 2 as an example of loading from a user tray to a test tray. First. User tray 13 on loader tray set 90
The IC placed on the IC tray is transferred to the test tray 14 by using the IC suction pick and place. here,
It is assumed that the pick and place for picking up an IC is one that can pick up, for example, four ICs at a time, and the user tray 13 is a tray on which 24 ICs can be placed. In this case, the pick-and-place picks up four ICs placed on the user tray 13, transports them to the test tray 14 in a state where the ICs are picked up, and transfers them onto the test tray 14. The pick-and-place returns to the user tray 13 and again picks up four ICs to be placed thereon, transports them to the test tray 14 in a state of picking them up, and transfers them onto this. Up to this point, this transfer operation is 2
This means that the cycle has been completed. By repeating this for another 4 cycles and executing a total of 6 cycles, all 24 ICs on the user tray 13 are transferred to the test tray 14 and the user tray 13 becomes empty. Is.
【００１５】第２． ＩＣの受け渡し処理が終了してユ
ーザトレイ１３が空になったところで、この空になった
ユーザトレイ１３をＩＣの載置された新規のユーザトレ
イ１３に置換しなければならない。この新規のユーザト
レイ１３をローダ部１１のトレイ収容部６０1 に取りに
行く。具体的には、トランアーム３０L を起動せしめて
これによりローダ部１１のトレイ収容部６０1 に収容さ
れるＩＣの載置された新規のユーザトレイ１３を把持し
て取り出す。トランアーム３０L を起動せしめるには、
トランアーム３０L 起動信号を発生せしめる。Second. When the user tray 13 is emptied after the IC transfer process is completed, the emptied user tray 13 must be replaced with a new user tray 13 on which the IC is placed. The new user tray 13 is taken to the tray accommodating section 60 1 of the loader section 11. Specifically, the trans-arm 30 L is activated so that the new user tray 13 on which the IC accommodated in the tray accommodating portion 60 1 of the loader portion 11 is gripped and taken out. To activate the Tran Arm 30 L ,
Transarm 30 L Generates a start signal.
【００１６】ここで、この発明は、このトランアーム３
０L 起動信号を発生する時点を、テストトレイ１４に対
してピック＆プレイスにより現に受け渡し処理を実施し
ているユーザトレイ１３の受け渡し処理が終了する例え
ば１サイクル前において発生せしめる様に構成する。 第３． 第１において空となったユーザトレイ１３をト
ランアーム３０R を起動してこれによりローダトレイセ
ット９０から把持して除去する。トランアーム３０R を
起動せしめるには、同様にトランアーム３０R起動信号
を発生せしめるのであるが、これを発生する時点は、ピ
ック＆プレイスが実施されているユーザトレイ１３が空
になったことを示す受け渡し終了信号とトランアーム３
０L による新規のユーザトレイ１３の把持の完了したこ
とを示す信号のＡＮＤ出力の得られた時点とする。以
下、従来例と同様である。The present invention is based on this trans arm 3
The 0 L start signal is generated at a time, for example, one cycle before the transfer processing of the user tray 13 that is currently performing the transfer processing by the pick and place for the test tray 14 is completed. Third. The first empty user tray 13 is removed from the loader tray set 90 by activating the transarm 30 R and thereby gripping it. In order to activate the transarm 30 R , similarly, a transarm 30 R activation signal is generated, but the time when this occurs indicates that the user tray 13 on which the pick and place is performed is empty. Delivery end signal and transarm 3
It is assumed that the AND output of the signal indicating that the grip of the new user tray 13 by 0 L is completed is obtained. Hereinafter, it is the same as the conventional example.
【００１７】第４． 第２においてトランアーム３０L
により取り出して把持している新規のユーザトレイ１３
をローダトレイセット９０上に供給する。 第５． 第３においてトランアーム３０R が把持してい
る空となったユーザトレイ１３を空トレイ収容部４０に
収容する。 第１． ここで、第１の受け渡し処理に戻り、再び、ピ
ック＆プレイスによりローダトレイセット９０上のユー
ザトレイ１３に載置されるＩＣをテストトレイ１４に受
け渡し処理をすることができる。Fourth. Second run arm 30L
The new user tray 13 taken out and gripped by
Are supplied onto the loader tray set 90. Fifth. In the third, the empty user tray 13 held by the transaction arm 30 R is stored in the empty tray storage section 40. First. Here, returning to the first transfer processing, the IC mounted on the user tray 13 on the loader tray set 90 can be transferred to the test tray 14 again by pick and place.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上の通りであって、この発明において
は、ピック＆プレイスが実施されているユーザトレイ１
３が空になった受け渡し終了信号発生の少し前にトラン
アーム３０L 起動信号を発生してトランアーム３０L を
起動せしめる構成を採用した。この様にすることによ
り、トランアーム３０L を起動せしめる信号をピック＆
プレイスが実施されているユーザトレイ１３が空になっ
た時点において発生する従来例と比較して、ユーザトレ
イ１３が空になってからＩＣの載置された新規のユーザ
トレイ１３が到着する迄の時間を短縮することができ、
ＩＣ試験装置の稼動率を大いに向上することができる。As described above, according to the present invention, the user tray 1 in which the pick and place is carried out.
A configuration was adopted in which the transarm 30 L start signal was generated shortly before the delivery end signal when 3 was emptied to start the transarm 30 L. By doing this, pick and pick up the signal that activates the trans arm 30 L.
Compared with the conventional example that occurs when the user tray 13 in which the place is placed becomes empty, the time from when the user tray 13 becomes empty until a new user tray 13 on which an IC is placed arrives Save time,
The operating rate of the IC test apparatus can be greatly improved.
【図１】この発明の実施例を説明する図。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention.
【図２】ＩＣ試験装置の概要を説明する図。FIG. 2 is a diagram illustrating an outline of an IC test apparatus.
１０ テストハンドラ １１ ローダ部 １２ アンローダ部 １３ ユーザトレイ １４ テストトレイ ２１ テスト領域 10 Test Handler 11 Loader Section 12 Unloader Section 13 User Tray 14 Test Tray 21 Test Area
Claims (1)
部においてユーザトレイに載置される試験前のＩＣをテ
ストトレイに受け渡し、試験前のＩＣが受け渡されたテ
ストトレイをテスト領域に送り込み、試験終了後のＩＣ
が載置されるテストトレイをテスト領域からハンドラ内
に送り込み、テストトレイに載置される試験終了後のＩ
Ｃをアンローダ部においてユーザトレイに受け渡しする
ＩＣロード・アンロード方法において、ユーザトレイお
よびテストトレイ間におけるピック＆プレイスによるＩ
Ｃ受け渡し処理終了直前に新規のトレイを要求する信号
を発生せしめることを特徴とするＩＣロード・アンロー
ド方法。1. An IC before a test placed on a user tray in a loader section in a dynamic test handler is delivered to the test tray, the test tray to which the IC before the test is delivered is sent to a test area, and after the test is completed. IC
The test tray on which is placed is sent from the test area into the handler, and is placed on the test tray.
In the IC loading / unloading method of transferring C to the user tray in the unloader section, I by pick and place between the user tray and the test tray
C An IC loading / unloading method characterized in that a signal for requesting a new tray is generated immediately before the completion of the transfer processing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336804A JPH07198779A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Ic loading/unloading method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336804A JPH07198779A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Ic loading/unloading method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198779A true JPH07198779A (en) | 1995-08-01 |
Family
ID=18302844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5336804A Withdrawn JPH07198779A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Ic loading/unloading method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198779A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100522089B1 (en) * | 2003-01-29 | 2005-10-18 | 미래산업 주식회사 | Sorting Handler for Burn-In-Tester and A Controlling Method Thereof |
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| DE112005003767T5 (en) | 2005-11-21 | 2008-11-13 | Hirata Corp. | Tray holding device |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP5336804A patent/JPH07198779A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |