KR100515979B1

KR100515979B1 - 프로브 가이드 조립체

Info

Publication number: KR100515979B1
Application number: KR1020050016149A
Authority: KR
Inventors: 박석희
Original assignee: 에스비텍(주)
Priority date: 2005-02-25
Filing date: 2005-02-25
Publication date: 2005-09-21
Also published as: WO2006091007A1

Abstract

본 발명은 프로브 가이드 조립체에 관한 것으로, 소정 길이를 갖는 몸체와, 이 몸체의 상단을 절곡시켜 형성된 상부탐침부와, 상기 몸체의 하단을 절곡시켜 형성된 하부탐침부로 구성된 다수개의 프로브와, 상기 다수개의 프로브가 장착되는 프로브 장착바와, 상기 프로브 장착바가 결합되는 프레임부와, 상기 프레임부와 체결되는 회로기판으로 구성된 프로브 가이드 조립체에 있어서, 다수개의 프로브들을 몸체와 하부탐침부를 연결하는 지지다리의 길이를 점차로 다르게 하여 제1그룹(10)을 형성시키고, 상기 제1그룹(10)의 후방에 설치되는 다수개의 프로브들은 그 하부탐침부를 각기 길이가 다르게 하되 상기 제1그룹(10)과 대향되도록 절곡시켜서 제2그룹(20)을 형성시키고, 상기 제1 및 제2그룹(10,20)을 1세트(S1)로 구성한 후 이를 교번시켜서 연속적으로 상기 프로브 장착바에 설치하여서 이루어진다.

Description

프로브 가이드 조립체 { probe guide assembly }

본 발명은 프로브 가이드 조립체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체의 전기적 특성을 테스트하기 위한 프로브 가이드 조립체에서 프로브의 구조를 개선함으로써 프로브와 회로기판의 접촉단자를 효율적으로 배열할 수 있어 협소한 공간에서도 프로브의 접지성능을 최적의 상태로 유지할 수 있도록 한 프로브 가이드 조립체에 관한 것이다.

일반적으로 반도체의 전기적 특성을 테스트하기 위해서 시험장치인 프로브 가이드 조립체가 요구되는데, 이러한 프로브 가이드 조립체는 대한민국 특허공개 10-2004-0000138호에 개시되어 있다.

즉, 프로브 가이드 조립체(A)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 박판형상의 전극판인 프로브(P')와, 상기 프로브(P')가 안정적으로 장착되는 프로브 장착바(4)와, 중앙에 개구부(20)가 형성되어 있고 그 개구부(20) 주위에 홈(22)이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바(4)의 양끝단이 상기 홈(22)에 끼워진 상태에서 상기 개구부(20)를 횡단하게 하여 장착되도록 한 프레임부(2)와, 그리고 상기 프레임부(2)와 체결되는 회로기판(8)을 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 프로브(P')는 도 2에 도시된 바와 같이, 소정 길이를 갖는 몸체(P1')와, 이 몸체(P1')의 상단을 일측으로 절곡시켜 형성되며 반도체 시험장치의 작동시 웨이퍼에 형성된 복수개의 전극 패드에 접촉하는 상부탐침부(P2')와, 상기 몸체(P1')의 하단을 타측으로 절곡시켜 형성되며 회로기판(8)에 접촉하는 하부탐침부(P4')로 구성된다.

상기 프로브(P')는, 상기 프로브 장착바(4)에 형성된 다수개의 슬릿(미도시)에 연속적으로 끼움결합됨으로써, 종래에는 상기 상부탐침부(P2') 및 하부탐침부(P4')에 직선방향으로 일렬로 배열된다.

따라서, 상기 하부탐침부(P4')가 접촉되는 회로기판(8)에는 이에 대응되는 다수개의 연결단자(82)가 형성되어야 하는데, 종래와 같이 다수개의 하부탐침부(P4')가 직선방향으로 일렬배열되면 그 간격이 매우 조밀하여 연결단자(82)를 형성하는 공정이 매우 어렵고, 자칫 연결단자(82) 간의 간섭에 의해 불량품이 발생되는 원인이 되었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 다수의 프로브의 몸체로부터 하부탐침부를 연결하는 지지다리의 위치 및 방향과 길이를 각기 다르게 형성시키고, 이들 프로브를 일정 갯수마다 교번시킴으로써 이에 대응되는 회로기판의 연결단자들이 간섭되지 않는 충분한 공간을 확보할 수 있어, 기기의 신뢰성을 증대시킬 수 있도록 한 프로브 가이드 조립체를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은,

소정 길이를 갖는 몸체와, 이 몸체의 상단을 절곡시켜 형성된 상부탐침부와, 상기 몸체의 하단을 절곡시켜 형성된 하부탐침부로 구성된 다수개의 프로브와, 상기 다수개의 프로브가 장착되는 프로브 장착바와, 상기 프로브 장착바가 결합되는 프레임부와, 상기 프레임부와 체결되는 회로기판으로 구성된 프로브 가이드 조립체에 있어서, 상기 다수개의 프로브들은, 몸체와 하부탐침부를 연결하는 지지다리의 출발점과 길이를 다르게 형성하여 제1그룹으로 형성시키고, 일정 갯수의 프로브들은 그 하부탐침부를 연결하는 지지다리의 출발점과 길이를 다르게 하여 상기 제1그룹과 대향되도록 타측으로 절곡시켜서 제2그룹을 형성하고, 상기 제1 및 제2그룹을 1세트로 하여 이를 교번시켜서 상기 프로브 장착바에 설치하여 이루어짐을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도면 중에서, 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 프로브 가이드 조립체에 대한 사시도이고, 도 5는 도 4의 B에 대한 저면에서 본 부분확대 사시도, 도 6은 도 5의 프로브에 대한 사시도이며, 종래 기술과 동일한 구성에 대해서는 도 1 및 도 2에서 사용한 구성부호를 사용한다.

본 발명의 실시예에서는 상기 1세트(S1)를 8개의 프로브(P)로 구성하였으며, 이를 기준으로 하여 설명하기로 하며, 설명의 편의상 도 5에 도시된 바와 같이, 다수개의 하부탐침부(P4)를 좌측에서 우측으로 식별번호를 부여하였다.

상기 제1그룹(10)은 도 5에 도시된 바와 같이, 제1하부탐침부에서부터 제3탐침부(P41~P43)로 구성되며, 제1하부탐침부에서 제3하부탐침부(P41~P43)로 갈수록 몸체(P1)와 연결된 출발점(F)의 위치와 지지다리(P12)의 길이를 같거나 또는 다르게 형성함으로써, 제1하부탐침부(P41)보다는 제3하부탐침부(P43)가 보다 길게 돌출되도록 형성시킨다.

상기 제2그룹(20)은, 제4하부탐침부(P44)에서부터 제8하부탐침부(P48)로 구성되며, 상기 제1그룹(10)과 마찬가지로 우측으로 갈수록 출발점(F)의 위치와 지지다리(P12)의 길이를 같거나 또는 다르게 형성함으로써, 제4하부탐침부(P44)보다는 제8하부탐침부(P48)가 보다 길게 돌출되도록 형성시킨다.

이때, 상기 제1그룹(10)의 하부탐침부(P41~P43)와, 제2그룹(20)의 하부탐침부(P44~P48)들은 서로 대향되게 절곡시킴으로써, 예를들어 제1그룹(10)의 하부탐침부(P41~P43)가 외측으로 절곡되었다면, 제2그룹(20)의 하부탐침부(P44~P48)는 내측으로 절곡되도록 함이 바람직하다(도 5 및 도 6 참조).

따라서, 상기 프로브(P)는 제1그룹(10)과 제2그룹(20)의 절곡방향이 대향적이고, 각 그룹의 하부탐침부(P41~P48)들의 출발점(F)의 위치와 지지다리(P12)의 길이를 같거나 다르게 형성함으로써 이에 대응되도록 회로기판(8)에 연결단자(82)를 형성할때 간섭되지 않도록 형성시킬 수 있게 된다.

상기 제1그룹(10)과 제2그룹(20)을 1세트(S1)로 구성하고, 이를 교번시켜서 프로브 장착바(4)에 구비시키게 된다.

한편, 본 발명의 실시예에서는 상기 8개의 프로브를 1세트(S1)로 설정하였으나, 상기 프로브의 수와 세트의 수는 반드시 이에 한정되지 않는다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 가이드 조립체는, 다수의 프로브의 몸체로부터 하부탐침부를 연결하는 출발점의 길이를 같거나 또는 다르게 형성하고, 지지다리(P12)의 길이를 같게 형성시키되, 이들 프로브를 일정 갯수마다 교번시킴으로써 이에 대응되는 회로기판의 연결단자들이 간섭되지 않는 충분한 공간을 확보할 수 있어, 기기의 신뢰성을 증대시킬 수 있는 장점이 제공된다.

도 1은, 종래 프로브 가이드 조립체에 대한 사시도이다.

도 2는, 도 1의 B에 대한 저면에서 본 부분확대 사시도이다.

도 3 및 도 4는, 본 발명에 따른 프로브 가이드 조립체에 대한 사시도이다.

도 5는, 도 4의 B에 대한 저면에서 본 부분확대 사시도이다.

도 6은, 도 5의 프로브에 대한 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

P : 프로브 P41 ~ P48 : 제1 내지 제8하부탐침부

P1 : 몸체 P2 : 상부탐침부

Claims

소정 길이를 갖는 몸체와, 이 몸체의 상단을 절곡시켜 형성된 상부탐침부와, 상기 몸체의 하단을 절곡시켜 형성된 하부탐침부로 구성된 다수개의 프로브와, 상기 다수개의 프로브가 장착되는 프로브 장착바와, 상기 프로브 장착바가 결합되는 프레임부와, 상기 프레임부와 체결되는 회로기판으로 구성된 프로브 가이드 조립체에 있어서,

몸체의 하단을 일측으로 절곡시키되, 하부탐침부의 최종위치를 점차로 다르게 하여 된 제1그룹(10)의 프로브와,

몸체의 하단을 상기 제1그룹(10)에 대향되도록 타측으로 절곡시키되, 상기 제1그룹(10)의 프로브와 연속되게 배열되며, 각 하부탐침부의 최종위치를 점차로 다르게 하여 된 제2그룹(20)의 프로브와,

상기 제1 및 제2그룹(10,20)의 프로브를 세트(S1)로 구성한 후 이러한 세트(S1)를 교번시켜서 연속되게 설치하여서 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 가이드 조립체.
제1항에 있어서,

상기 제1그룹(10)은, 제1 내지 제3탐침부(P41~P43)로 구성되며, 제1하부탐침부(P41)에서 제3하부탐침부(P43)로 갈수록 몸체와 연결된 출발점(F)의 위치와 지지다리(P12)의 길이를 같거나 다르게 형성시켜 최종위치가 다르게 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 가이드 조립체.
제1항에 있어서,

상기 제2그룹(20)은, 제4 내지 제8하부탐침부(P44~P48)로 구성되며, 제4하부탐침부에서 제8하부탐침부(p4~p8)로 갈수록 몸체와 연결된 출발점(F)의 위치와 지지다리(P12)의 길이를 같거나 다르게 형성시켜 최종위치가 다르게 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 가이드 조립체.