KR100514040B1 - Marking apparatus - Google Patents

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KR100514040B1 KR10-2002-0004997A KR20020004997A KR100514040B1 KR 100514040 B1 KR100514040 B1 KR 100514040B1 KR 20020004997 A KR20020004997 A KR 20020004997A KR 100514040 B1 KR100514040 B1 KR 100514040B1
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Abstract

본 발명은 반도체 패키지 공정 중에 와이어의 개방과 단락 및 누설전류를 검출하여 불량마크를 표시함으로써 불량 인쇄회로보드의 식별 가능하게 하는 마킹장치에 관한 것이다.The present invention relates to a marking apparatus that makes it possible to identify a defective printed circuit board by displaying a defect mark by detecting an opening, a short circuit and a leakage current of a wire during a semiconductor package process.

이 마킹장치는 스트립 인쇄회로보드와; 수용성 잉크가 저장되는 저장부, 상기 저장부에 저장된 상기 수용성 잉크를 흡수하기 위한 흡수부재, 상기 스트립 인쇄회로보드와 접촉되어 상기 수용성 잉크를 상기 스트립 인쇄회로보드 상에 마킹하기 위한 마킹부, 및 상기 저장부와 상기 마킹부 사이에 형성되어 상기 흡수부재로부터 일정하게 공급되는 상기 수용성 잉크를 상기 마킹부에 공급하는 모세관을 포함하여 상기 스트립 인쇄회로보드 상에 상기 수용성 잉크를 마킹하기 위한 스탬프와; 상기 스탬프를 고정하기 위한 스탬프고정부와; 상기 스탬프고정부를 상승 및 하강시켜 상기 스탬프를 상기 스트립 인쇄회로보드에 접촉 및 분리시키기 위한 구동부를 구비한다. The marking device includes a strip printed circuit board; A storage unit for storing the water-soluble ink, an absorbing member for absorbing the water-soluble ink stored in the storage unit, a marking unit for contacting the strip printed circuit board to mark the water-soluble ink on the strip printed circuit board, and the A stamp for marking the water-soluble ink on the strip printed circuit board, including a capillary tube formed between a storage portion and the marking portion to supply the water-soluble ink uniformly supplied from the absorbing member to the marking portion; A stamp fixing part for fixing the stamp; And a driving part for raising and lowering the stamp fixing part to contact and separate the stamp from the strip printed circuit board.

이러한 구성에 의하여, 본 발명은 테스트장치에서 와이어 테스트 결과 불량으로 판정된 불량 스트립 인쇄회로보드에 불량마크를 표시함으로써 불량 인쇄회로보드를 식별 가능하게 한다.By such a configuration, the present invention makes it possible to identify a defective printed circuit board by displaying a defective mark on the defective strip printed circuit board which is determined to be defective in a test apparatus.

Description

마킹장치{MARKING APPARATUS} Marking Device {MARKING APPARATUS}

본 발명은 마킹장치에 관한 것으로, 특히 반도체 패키지 공정 중에 와이어의 개방과 단락 및 누설전류를 검출하여 불량마크를 표시함으로써 불량 인쇄회로보드의 식별 가능하게 하는 마킹장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a marking apparatus, and more particularly, to a marking apparatus capable of identifying a defective printed circuit board by displaying a defect mark by detecting an opening, a short circuit and a leakage current of a wire during a semiconductor package process.

과학 기술이 발전함에 따라 반도체 칩 제조 기술 또한 발전을 거듭하고 있으며, 반도체 칩의 발전에 관련하여 반도체 패키지 또한 발전을 거듭하고 있다. 이에 따라, 각종 전기/전자 제품의 크기가 소형화되는 추세에 따라 한정된 크기의 기판에 보다 많은 수의 칩을 실장하여 소형이면서도 고용량을 달성하고자 하는 연구가 전개되고 있다.As technology advances, semiconductor chip manufacturing technology is also developing, and semiconductor packages are also developing in relation to the development of semiconductor chips. Accordingly, in accordance with the trend of miniaturization of various electric / electronic products, studies are being conducted to achieve a small size and high capacity by mounting a larger number of chips on a limited sized substrate.

일반적으로 반도체 패키징 공정은 집적회로가 형성된 웨이퍼로부터 양호한 상태의 단위 반도체 칩(이하 "다이"라 함)을 분리하기 위한 다이 절단(Die Cutting)공정, 절단된 다이와 스트립 PCB(Strip Print Circuit Board)의 리드를 전기적으로 연결하는 와이어 본딩(wire bonding) 공정, 반도체 칩과 그에 전기적으로 연결된 부분을 성형 수지로 봉지하는 몰딩(molding) 공정 및 외부리드를 실장형태에 적합하도록 소정의 형태로 성형하는 트림(trim)/포옴(form) 공정을 진행하여 얻어질 수 있다. 여기서, 스트립 PCB이란 다이 본딩(Die Bonding), 와이어 본딩(Wire Bonding), 몰딩(Molding), 마킹(Marking) 등의 공정을 통해 동시에 다수의 반도체 패키지를 얻을 수 있도록 긴 직사각형 모양으로 형성된 리드프레임, 인쇄회로기판, 써킷필름 등을 지칭한다. 이러한 스트립 PCB는 통상 하나의 반도체 패키지에 해당하는 유닛이 일렬로 다수 연결된 형태를 하거나 또는 상기 유닛이 행과 열을 갖는 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 또한, 다이는 통상 외부기기와의 상호접속을 형성하는데 사용되는 접속패드를 포함하는 상부 금속층을 갖는다.In general, a semiconductor packaging process is a die cutting process for separating a unit semiconductor chip (hereinafter referred to as a “die”) from a wafer in which an integrated circuit is formed, and a die and strip printed circuit board (PCB) of the cut die. A wire bonding process for electrically connecting leads, a molding process for encapsulating a semiconductor chip and an electrically connected portion thereof with a molding resin, and a trim for molding an external lead into a predetermined shape so as to be suitable for mounting. It can be obtained by going through a trim / form process. Here, the strip PCB is a lead frame formed in a long rectangular shape to obtain a plurality of semiconductor packages at the same time through the process of die bonding, wire bonding, molding, marking, etc., It refers to a printed circuit board and circuit film. Such a strip PCB may have a form in which a plurality of units corresponding to one semiconductor package are connected in a row, or arranged in a matrix form in which the units have rows and columns. The die also has an upper metal layer that includes a connection pad that is typically used to form an interconnect with an external device.

도 1을 참조하여 종래의 반도체 패키지 공정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the conventional semiconductor package process with reference to Figure 1 as follows.

먼저, 복수개의 반도체 칩들이 형성되어 있는 웨이퍼를 다이아몬드 블레이드로 절단하여 다이를 개체화한다. (1S1)First, the die on which a plurality of semiconductor chips are formed is cut with a diamond blade. (1S1)

개체화된 다이를 진공 흡착하여 접착제가 도포되어 있는 스트립 PCB의 다이 패드 상에 다이를 본딩한다. (1S2) 즉, 다이본딩 공정에서는 스트립 PCB에 다이를 접합한다.The individualized die is vacuum adsorbed to bond the die onto the die pad of the strip PCB to which the adhesive is applied. (1S2) In other words, the die is bonded to the strip PCB in the die bonding process.

다이의 본딩 패드와 스트립 PCB의 내부리드를 도전성 와이어로 와이어 본딩한다. (1S3) 즉, 와이어 본딩에서는 와이어를 이용하여 스트립 PCB의 내부 리드와 다이를 연결시키게 된다.The bonding pads of the die and the inner leads of the strip PCB are wire bonded with conductive wires. (1S3) In other words, wire bonding connects the die to the internal leads of the strip PCB using wires.

와이어 본딩을 완료한 다음 도전성 와이어와 반도체 칩을 먼지, 이물질 등의 외부환경으로부터 보호할 수 있도록 열경화성수지로 몰딩한다. (1S4)After the wire bonding is completed, the conductive wire and the semiconductor chip are molded with a thermosetting resin to protect the external environment such as dust and foreign substances. (1S4)

이어서, 외부리드를 실장형태에 적합하도록 소정의 형태로 절단 및 소정(트림/포옴) 형상으로 굴곡한다. (1S5) Subsequently, the outer lead is cut into a predetermined shape and bent into a predetermined (trim / foam) shape to suit the mounting form. (1S5)

트림/포옴을 완료하면, 개별화되어 하나의 반도체 패키지로 완성되고, 완성된 반도체 패키지는 테스트 공정을 거쳐 최종 검사를 받은 다음 제품화된다.Once the trim / form is completed, it is individualized to complete a single semiconductor package, which is then tested and finalized before being commercialized.

이와 같은, 종래의 반도체 패키지 공정에서는 다이컷팅 공정, 다이본딩 공정, 와이어본딩 공정, 몰딩 공정 및 트림/포옴 공정 완료 후에 테스트 공정을 실시하기 때문에 반도체 패키지 공정 중 여러 가지 불량, 즉 다이에 대한 손상, 와이어 본딩상태 불량, 리드형상불량 등이 발생된다. 이 중에서는 특히 와이어에 의한 와이어 개방(Wire Open), 와이어 쇼트(Wire Short) 및 누설전류(Leakage)에 의해 발생되는 불량은 개별 이상동작이 발생할 수 있다. 이러한 불량은 실제 회로 상에서 주변회로를 쇼트시킬 수 있다. In the conventional semiconductor package process, since the test process is performed after the die cutting process, the die bonding process, the wire bonding process, the molding process, and the trim / foam process are completed, various defects during the semiconductor package process, that is, damage to the die, Poor wire bonding state, poor lead shape, etc. are generated. In particular, defects caused by wire open, wire short, and leakage by the wire may cause individual abnormal operation. This failure can short the peripheral circuits on the actual circuit.

이와 같은 반도체 패키지의 불량을 작업자가 식별할 수 있도록 반도체 패키징 상에 마킹하게 된다. 이러한, 불량마킹은 수작업에 의해 표시하게 되므로 공정시간을 증가시키게 된다.Such defects in the semiconductor package are marked on the semiconductor packaging so that an operator can identify the defect. Such a defect marking is displayed by manual labor, thereby increasing the processing time.

따라서, 본 발명의 목적은 반도체 패키지 공정 중에 와이어의 개방과 단락 및 누설전류를 검출하여 불량마크를 표시함으로써 불량 인쇄회로보드의 식별 가능하게 하는 마킹장치를 제공하는데 있다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a marking apparatus which makes it possible to identify a defective printed circuit board by detecting a opening mark, a short circuit and a leakage current and displaying a defective mark during a semiconductor package process.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마킹장치는 스트립 인쇄회로보드와; 수용성 잉크가 저장되는 저장부, 상기 저장부에 저장된 상기 수용성 잉크를 흡수하기 위한 흡수부재, 상기 스트립 인쇄회로보드와 접촉되어 상기 수용성 잉크를 상기 스트립 인쇄회로보드 상에 마킹하기 위한 마킹부, 및 상기 저장부와 상기 마킹부 사이에 형성되어 상기 흡수부재로부터 일정하게 공급되는 상기 수용성 잉크를 상기 마킹부에 공급하는 모세관을 포함하여 상기 스트립 인쇄회로보드 상에 상기 수용성 잉크를 마킹하기 위한 스탬프와; 상기 스탬프를 고정하기 위한 스탬프고정부와; 상기 스탬프고정부를 상승 및 하강시켜 상기 스탬프를 상기 스트립 인쇄회로보드에 접촉 및 분리시키기 위한 구동부를 구비한다. 상기 스탬프는 상기 스트립 인쇄회로보드에서 서로 다른 위치에 불량마크를 마킹하기 위한 제 1 및 제 2 스탬프를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 스탬프 각각은 상기 구동부에 의해 개별적 또는 동시에 구동된다. 상기 구동부는 구동원과, 상기 구동원과 상기 스탬프고정부를 연결시키기 위한 연결부를 구비한다. 상기 구동원은 에어실린더이다. In order to achieve the above object, the marking device according to the present invention and the strip printed circuit board; A storage unit for storing the water-soluble ink, an absorbing member for absorbing the water-soluble ink stored in the storage unit, a marking unit for contacting the strip printed circuit board to mark the water-soluble ink on the strip printed circuit board, and the A stamp for marking the water-soluble ink on the strip printed circuit board, including a capillary tube formed between a storage portion and the marking portion to supply the water-soluble ink uniformly supplied from the absorbing member to the marking portion; A stamp fixing part for fixing the stamp; And a driving part for raising and lowering the stamp fixing part to contact and separate the stamp from the strip printed circuit board. The stamp includes first and second stamps for marking defect marks at different positions on the strip printed circuit board, each of which is driven individually or simultaneously by the drive unit. The drive unit includes a drive source, and a connection unit for connecting the drive source and the stamp fixing unit. The drive source is an air cylinder.

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상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.With reference to Figures 2 to 10 will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 반도체 패키지 공정은 먼저, 복수개의 반도체 칩들이 형성되어 있는 웨이퍼를 다이아몬드 블레이드로 절단하여 다이를 개체화한다.(2S1)Referring to FIG. 2, in the semiconductor package process according to the first embodiment of the present invention, a die is first cut by cutting a wafer in which a plurality of semiconductor chips are formed with a diamond blade (2S1).

개체화된 다이를 진공 흡착하여 접착제가 도포되어 있는 스트립 PCB(Strip Print Circuit Board)의 다이(Dia) 패드 상에 다이를 본딩한다.(2S2) 즉, 다이본딩(Dia Bonding) 공정에서는 스트립 PCB에 다이를 접합한다.The die is vacuum-adsorbed to bond the die onto a die pad of a strip printed circuit board (SBS) to which an adhesive is applied (2S2). In other words, in a die bonding process, the die is bonded to a strip PCB. To the junction.

다이의 리드와 스트립 PCB의 내부리드를 도전성 와이어로 와이어 본딩한다.(2S3) 즉, 와이어 본딩(Wire Bonding)에서는 와이어를 이용하여 스트립 PCB의 내부리드와 다이를 연결시키게 된다.The lead of the die and the inner lead of the strip PCB are wire bonded with a conductive wire (2S3). In other words, in wire bonding, the die is connected to the inner lead of the strip PCB using a wire.

와이어 본딩 된 다이와 스트립 PCB에 전압을 인가하여 스트립 PCB의 내부리드 간에 연결된 와이어 및 다이 내부에 대해 와이어 개방(Wire Open), 와이어 단락(Wire Short) 및 누설전류(Leakage)를 테스트하게 된다.(2S4) 여기서, 와이어 개방은 리드와 와이어간의 개방된 것을 말하여, 와이어 단락은 인접한 와이어간에 연결된 것을 말한다. 또한, 와이어 누설전류는 인접한 와이어간에 누설전류가 흐를 수 있도록 미세하게 인접된 것을 말한다.Voltage is applied to the wire-bonded die and strip PCB to test the wire open, wire short, and leakage currents between the wire and the die connected between the internal leads of the strip PCB (2S4). Here, the wire opening refers to the opening between the lead and the wire, and the wire shorting refers to the connection between adjacent wires. In addition, the wire leakage current refers to the finely adjacent so that the leakage current flows between the adjacent wires.

이러한, 와이어 단락과 와이어 개방 및 누설전류는 소자의 입력핀과 출력핀에 있는 보호 다이오드 또는 자연적으로 발생되는 다이오드에 양단에 걸리는 전압강하를 이용하여 검출하게 된다. These short circuits, wire open and leakage currents are detected using voltage drops across the protection diodes or naturally occurring diodes at the input and output pins of the device.

예를 들어 와이어 개방, 와이어 단락 및 누설전류 테스트 공정(이하 "OS 테스트 공정"이라 함)에서는 모든 핀들을 로우상태로 만든 후 핀의 보호 다이오드에 전류를 인가하여 다이오드 턴온전압을 측정한다. 측정된 다이오드 턴온전압에 의해 소자의 불량 또는 양품 판정을 하게 된다. 또한, 와이어 누설전류는 와이어 단락 및 와이어 개방 테스트 결과 양품으로 판정된 스트립 PCB에 대하여 실시하게 된다. 이 때, 와이어 누설전류는 모든 핀들을 그라운드 전위로 만든 후 전압을 인가한 후 전류값을 측정한다. 측정된 전류값을 정상적일 때의 전류값과 비교하여 측정된 전류값이 크거나 작을 경우 불량으로 판정하게 된다.For example, in the wire open, wire short, and leakage current test process (hereinafter referred to as the "OS test process"), all pins are brought low and current is applied to the pin's protection diode to measure the diode turn-on voltage. The diode turn-on voltage is used to determine whether the device is defective or good. In addition, the wire leakage current is performed on the strip PCB which is judged to be good as a result of the wire short circuit and wire open test. At this time, the wire leakage current is made to all the pins to the ground potential, and then the voltage is applied to measure the current value. The measured current value is compared with the current value when it is normal to determine that the measured current value is large or small.

OS 테스트 공정에서 양품으로 판정된 스트립 PCB의 도전성 와이어와 다이 사이에 연결된 와이어를 먼지, 이물질 등의 외부환경으로부터 보호할 수 있도록 열경화성수지로 몰딩한다.(2S5)In the OS test process, the wire connected between the conductive wire of the strip PCB and the die, which is judged as good, is molded with thermosetting resin to protect it from dust, foreign substances, etc. (2S5).

몰딩된 스트립 PCB의 외부리드를 실장형태에 적합하도록 소정의 형태로 절단 및 소정(트림/포옴) 형상으로 굴곡한다.(2S6) 이에 따라, 스트립 PCB는 하나의 칩으로 개별화되어 제품화된다.The outer lead of the molded strip PCB is cut into a predetermined shape and bent into a predetermined (trim / foam) shape to suit the mounting form. (2S6) Accordingly, the strip PCB is individualized into one chip and commercialized.

그런 다음, 제품화된 칩에 대하여 전기적인(Electrical) 특성과 펑션 테스트(Function Test) 및 다이나믹(Dynamic) 통전 테스트를 포함하는 테스트 공정을 실시하게 된다.(2S7) 이러한, 테스트 공정에서 회로 특성 및 회로불량 등에 대한 테스트 결과 양품으로 판정된 칩은 최종적으로 제품화된다.Then, the commercialized chip is subjected to a test process including electrical characteristics, function tests, and dynamic energization tests. (2S7) In this test process, circuit characteristics and circuits are performed. Chips which are judged to be good as a result of tests for defects and the like are finally manufactured.

이와 같이, 반도체 패키지 공정에서 와이어 본딩 후에 OS 테스트 공정을 실시함으로써 간단하고 신속하게 불량 소자를 검출하여 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As such, by performing the OS test process after wire bonding in the semiconductor package process, it is possible to easily and quickly detect defective devices and improve productivity.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 반도체 패키지 공정은 먼저, 복수개의 반도체 칩들이 형성되어 있는 웨이퍼를 다이아몬드 블레이드로 절단하여 다이를 개체화한다.(3S1)Referring to FIG. 3, in the semiconductor package process according to the second embodiment of the present invention, a die is first cut by cutting a wafer on which a plurality of semiconductor chips are formed with a diamond blade (3S1).

개체화된 다이를 진공 흡착하여 접착제가 도포되어 있는 스트립 PCB의 다이 패드 상에 다이를 본딩한다.(3S2) 즉, 다이본딩 공정에서는 스트립 PCB에 다이를 접합한다.The die is vacuum adsorbed to bond the die onto the die pad of the strip PCB to which the adhesive is applied (3S2), i.e., the die is bonded to the strip PCB in the die bonding process.

다이의 패드와 스트립 PCB의 내부리드를 도전성 와이어로 와이어 본딩한다.(3S3) 즉, 와이어 본딩에서는 와이어를 이용하여 스트립 PCB의 내부리드와 다이를 연결시키게 된다.The pad of the die and the inner lead of the strip PCB are wire-bonded with a conductive wire (3S3). In other words, the wire is used to connect the die with the inner lead of the strip PCB.

와이어 본딩을 완료한 다음, 도전성 와이어와 다이 사이에 연결된 와이어를 먼지, 이물질 등의 외부환경으로부터 보호할 수 있도록 열경화성수지로 몰딩한다.(3S4)After the wire bonding is completed, the wire connected between the conductive wire and the die is molded with a thermosetting resin to protect the external environment such as dust and foreign matters (3S4).

몰딩공정이 완료되면, 스트립 PCB의 배면에 형성되는 접점들에 솔더 볼을 형성하게 된다. 솔더 볼은 스트립 PCB의 접점들에 납땜되어 시스템에 장착시 컨텍용으로 사용된다.When the molding process is completed, solder balls are formed at the contacts formed on the back side of the strip PCB. Solder balls are soldered to the contacts on the strip PCB and used for contact when mounted in the system.

열경화성수지에 의해 몰딩된 다이와 스트립 PCB에 전압을 인가하여 스트립 PCB의 내부리드 간에 연결된 와이어 및 다이 내부에 대하여 상술한 와이어 개방, 와이어 단락 및 누설전류를 테스트하게 된다.(3S5)Voltages are applied to the die and strip PCB molded by the thermosetting resin to test the wire open, wire short and leakage currents on the inside of the die and the wires connected between the inner leads of the strip PCB (3S5).

이와 같은 OS 테스트 공정에서는 스트립 PCB의 배면에 솔더 볼이 형성된 경우에는 솔더 볼을 통해 전압을 인가하여 테스트하게 되고, 스트립 PCB의 배면에 솔더 볼이 형성되지 않은 경우에는 스트립 PCB의 배면에 형성된 접점들을 통해 전압을 인가하여 테스트하게 된다.In the OS test process, when solder balls are formed on the back side of the strip PCB, voltage is applied through the solder balls. When solder balls are not formed on the back side of the strip PCB, the contacts formed on the back side of the strip PCB are applied. The test is applied by applying a voltage.

OS 테스트 공정에서 양품으로 판정된 스트립 PCB의 외부리드를 실장형태에 적합하도록 소정의 형태로 절단 및 소정(트림/포옴) 형상으로 굴곡한다.(3S6) 이에 따라, 스트립 PCB는 하나의 칩으로 개별화되어 제품화된다.In the OS test process, the external lead of the strip PCB, which is judged to be good, is cut into a predetermined shape and bent into a predetermined (trim / form) shape so as to be suitable for the mounting type. And become a product.

그런 다음, 제품화된 칩에 대하여 전기적인 특성과 펑션 테스트 및 다이나믹 통전 테스트를 포함하는 테스트 공정을 실시하게 된다.(3S7) 이러한, 테스트 공정에서 회로 특성 및 회로불량 등에 대한 테스트 결과 양품으로 판정된 칩은 최종적으로 제품화된다.Then, a test process including electrical characteristics, function tests, and dynamic energization tests is performed on the commercialized chips. (3S7) In the test process, the chips determined to be satisfactory as a result of the test on circuit characteristics and circuit defects. Is finally productized.

이와 같이, 반도체 패키지 공정에서 몰딩 후에 OS 테스트 공정을 실시함으로써 간단하고 신속하게 불량 소자를 검출하여 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As such, by performing the OS test process after molding in the semiconductor package process, it is possible to easily and quickly detect defective devices and improve productivity.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 반도체 패키지 공정은 먼저, 복수개의 반도체 칩들이 형성되어 있는 웨이퍼를 다이아몬드 블레이드로 절단하여 다이를 개체화한다.(4S1)Referring to FIG. 4, in the semiconductor package process according to the third embodiment of the present invention, a die is first cut by cutting a wafer on which a plurality of semiconductor chips are formed with a diamond blade (4S1).

개체화된 다이를 진공 흡착하여 접착제가 도포되어 있는 스트립 PCB의 다이 패드 상에 다이를 본딩한다.(4S2) 즉, 다이본딩 공정에서는 스트립 PCB에 다이를 접합한다.The individualized die is vacuum adsorbed to bond the die onto the die pad of the strip PCB to which the adhesive is applied (4S2), i.e., the die is bonded to the strip PCB in the die bonding process.

다이의 본딩 패드와 스트립 PCB의 내부리드를 도전성 와이어로 와이어 본딩한다.(4S3) 즉, 와이어 본딩에서는 와이어를 이용하여 스트립 PCB의 내부리드와 다이를 연결시키게 된다.The bonding pad of the die and the inner lead of the strip PCB are wire-bonded with conductive wires (4S3). In other words, the wire bonding is used to connect the die with the inner lead of the strip PCB.

와이어 본딩에 의해 다이와 스트립 PCB에 전압을 인가하여 스트립 PCB의 내부리드 간에 연결된 와이어 및 다이 내부에 대하여 제 1 차 OS 테스트를 상술한 방법과 같이 실시하게 된다.(4S4) By applying voltage to the die and the strip PCB by wire bonding, the first OS test is performed on the inside of the die and the wire connected between the inner leads of the strip PCB as described above. (4S4)

제 1 차 OS 테스트에 의해 양품으로 판정된 스트립 PCB의 도전성 와이어와 다이 사이의 연결된 와이어를 먼지, 이물질 등의 외부환경으로부터 보호할 수 있도록 열경화성수지로 몰딩한다.(4S5)The connected wire between the conductive wire of the strip PCB and the die which is judged to be good by the first OS test and the die is molded with a thermosetting resin so as to protect it from the external environment such as dust and foreign matter. (4S5)

몰딩공정이 완료되면, 스트립 PCB의 배면에 형성되는 접점들에 솔더 볼을 형성하게 된다. 솔더 볼은 스트립 PCB의 접점들에 납땜되어 시스템에 장착시 컨텍용으로 사용된다.When the molding process is completed, solder balls are formed at the contacts formed on the back side of the strip PCB. Solder balls are soldered to the contacts on the strip PCB and used for contact when mounted in the system.

열경화성수지에 의해 몰딩된 다이와 스트립 PCB에 전압을 인가하여 스트립 PCB의 내부리드 간에 연결된 와이어 및 다이 내부에 대하여 제 2 차 OS 테스트를 상술한 방법과 같이 실시하게 된다.(4S6)The second OS test is performed on the inside of the die and the wire connected between the die and the strip PCB molded by the thermosetting resin and the inside lead of the strip PCB as described above. (4S6)

이와 같은 2차 OS 테스트에서는 스트립 PCB의 배면에 솔더 볼이 형성된 경우에는 솔더 볼을 통해 전압을 인가하여 테스트하게 되고, 스트립 PCB의 배면에 솔더 볼이 형성되지 않은 경우에는 스트립 PCB의 배면에 형성된 접점들을 통해 전압을 인가하여 테스트하게 된다.In the second OS test, when solder balls are formed on the back side of the strip PCB, the test is applied by applying a voltage through the solder balls. If no solder balls are formed on the back side of the strip PCB, the contacts are formed on the back side of the strip PCB. The test is performed by applying a voltage through them.

제 2 차 OS 테스트에 의해 양품으로 판정된 스트립 PCB의 외부리드를 실장형태에 적합하도록 소정의 형태로 절단 및 소정(트림/포옴) 형상으로 굴곡한다.(4S7) 이에 따라, 스트립 PCB는 하나의 칩으로 개별화되어 제품화된다.The external lead of the strip PCB, which is judged to be good by the second OS test, is cut into a predetermined shape and bent into a predetermined (trim / foam) shape to fit the mounting form. (4S7) Accordingly, the strip PCB is divided into one Individualized into chips and commercialized.

그런 다음, 제품화된 칩에 대하여 전기적인 특성과 펑션 테스트 및 다이나믹 통전 테스트를 포함하는 테스트 공정을 실시하게 된다.(4S8) 이러한, 테스트 공정에서 회로 특성 및 회로불량 등에 대한 테스트 결과 양품으로 판정된 칩은 최종적으로 제품화된다.Then, a test process including electrical characteristics, function tests, and dynamic energization tests is performed on the commercialized chips. (4S8) In the test process, the chips determined to be good as a result of the test on circuit characteristics and circuit defects are performed. Is finally productized.

이와 같은, 본 발명에 따른 반도체 패키지 공정에 의해 도 5에 도시된 바와 같이 스트립 PCB(501)이 제조된다.As described above, the strip PCB 501 is manufactured by the semiconductor package process according to the present invention.

도 5를 참조하면, 스트립 PCB(501)는 스트립 PCB(501)의 내부배선과 다이(506)의 패드가 와이어 본딩에 의해 연결된 유닛(510)이 직렬로 다수 연결된다. 또한, 스트립 PCB(501)는 각 유닛(510)의 일측부에 형성된 인덱싱 홀들(Indexing Hole; 502)과, 각 유닛(510)의 모서리에 형성된 얼라인 홀들(504)과, 각 유닛(510)의 내부배선 각각을 외부로 노출시키기 위해 배면에 형성되는 다수의 접점들(508)을 구비한다.Referring to FIG. 5, the strip PCB 501 has a plurality of units 510 connected in series with the internal wiring of the strip PCB 501 and the pads of the die 506 connected by wire bonding. In addition, the strip PCB 501 may include indexing holes 502 formed at one side of each unit 510, alignment holes 504 formed at corners of each unit 510, and each unit 510. It has a plurality of contacts 508 formed on the rear surface to expose each of the internal wiring of the outside.

인덱싱 홀들(502)은 스트립 PCB(501)를 이송시킬 경우에 사용되며, 얼라인 홀들(504)은 스트립 PCB(501)를 얼라인시킬 경우에 사용된다. 접점들(508)은 후술되는 테스트장치의 소켓핀들과 전기적으로 접촉되어 테스트 검사신호를 인가받는다.Indexing holes 502 are used when transferring the strip PCB 501, and alignment holes 504 are used when aligning the strip PCB 501. The contacts 508 are electrically contacted with the socket pins of the test apparatus described later to receive a test test signal.

이와 같이 스트립 PCB(501)에 대한 와이어 테스트 공정을 실시하기 위한 와이어 테스트장치는 도 6에 도시된 바와 같이 지지프레임(600)의 일측부에 설치되어 스트립 PCB(501)를 로딩시키는 로딩장치(610)와, 로딩장치(610)로부터 로딩되는 스트립 PCB(501)에 대해 와이어 단락과 와이어 개방 및 와이어 누설전류를 검사하여 양품 및 불량을 판정하는 테스트장치(640)와, 와이어 테스트의 판정 결과에 따라 스트립 PCB(501)를 분리하여 언로딩시키기 위한 언로딩장치(670)와, 테스트장치(640)와 언로딩장치(670) 사이에 설치되어 불량으로 판정된 스트립 PCB(501)에 식별 가능하도록 불량마크를 표시하기 위한 마킹장치(650)를 구비한다.As such, a wire test apparatus for performing a wire test process on the strip PCB 501 is installed on one side of the support frame 600 as shown in FIG. 6 to load the strip PCB 501. And a test apparatus 640 for inspecting a short circuit, a wire opening, and a wire leakage current of the strip PCB 501 loaded from the loading apparatus 610 to determine good quality and defects, and according to the determination result of the wire test. The unloading device 670 for separating and unloading the strip PCB 501 and the unloading device 670 installed between the test device 640 and the unloading device 670 are defective so as to be distinguished from the strip PCB 501 which is determined to be bad. A marking device 650 for displaying a mark is provided.

로딩장치(610)는 도 5에 도시된 스트립 PCB(501)를 유닛의 길이에 대응되는 소구간 단위로 이송시키거나 스트립 PCB(501)의 길이에 대응되는 대구간 단위로 이송시켜 테스트장치(640)에 로딩시킨다.The loading device 610 transfers the strip PCB 501 shown in FIG. 5 to a small section unit corresponding to the length of the unit or to a large section unit corresponding to the length of the strip PCB 501. ).

테스트장치(640)는 로딩되는 스트립 PCB(501)에 제 1 전압을 인가하여 와이어 단락 및 와이어 개방을 테스트하게 된다. 그런 다음 와이어 테스트 결과 양품으로 판정된 스트립 PCB(501)에 제 2 전압을 인가하여 와이어 누설전류를 테스트하여 최종적인 양품 또는 불량을 판정하게 된다. The test apparatus 640 applies a first voltage to the loaded strip PCB 501 to test wire shorting and wire opening. Then, a second voltage is applied to the strip PCB 501, which is determined to be good, as a result of the wire test, to test the wire leakage current to determine a final good or bad.

마킹장치(650)는 테스트장치(640)에서 불량으로 판정된 스트립 PCB(501)에 식별 가능하도록 불량 마크를 표시하게 된다. 언로딩장치(670)는 와이어 테스트가 완료된 스트립 PCB(501)를 양품 및 불량으로 분리하여 언로딩시킨다.The marking device 650 displays a defect mark so as to be distinguishable from the strip PCB 501 determined as defective in the test apparatus 640. The unloading device 670 separates and unloads the strip PCB 501 having completed the wire test into good and bad.

로딩장치(610)는 다수의 스트립 PCB(501)가 적층된 매거진들을 수납하는 매거진 컨베이어(602)와, 매거진 컨베이어(602)에 수납된 매거진을 픽업하기 위한 매거진 홀더(608)와, 상기 매거진 홀더(608)를 상승 및 하강시키기 위한 로딩 엘리베이터(609)와, 매거진 홀더(608)에 픽업된 매거진에서 스트립 PCB(501)를 인출시키기 위한 스트립 PCB 푸쉬어(Pusher)(604)와, 스트립 PCB 푸쉬어(604)에 의해 인출된 스트립 PCB(501)를 테스트장치(640)로 이송시키기 위한 스트립 PCB 피딩(Feeding)장치(612)를 구비한다.The loading device 610 includes a magazine conveyor 602 for storing magazines in which a plurality of strip PCBs 501 are stacked, a magazine holder 608 for picking up a magazine stored in the magazine conveyor 602, and the magazine holder. A loading elevator 609 for raising and lowering 608, a strip PCB pusher 604 for withdrawing strip PCB 501 from a magazine picked up in magazine holder 608, and a strip PCB pusher A strip PCB feeding device 612 for transferring the strip PCB 501 drawn by the sheer 604 to the test device 640.

매거진 컨베이어(602)에는 다수의 매거진들이 작업자에 의해 수납된다. 다수의 매거진 각각에는 다수의 스트립 PCB들(501)이 적층된다.The magazine conveyor 602 stores a number of magazines by a worker. A plurality of strip PCBs 501 are stacked on each of the plurality of magazines.

매거진 홀더(608)는 매거진 컨베이어(602)에서 스트립 PCB(501)들이 적층된 매거진을 수직방향으로 픽업함과 아울러 빈 매거진을 매거진 컨베이어(602)에서 언로딩시키는 역할을 한다. 이러한, 매거진 홀더(608)는 매거진의 크기에 대응된다.The magazine holder 608 serves to pick up a magazine in which the strip PCBs 501 are stacked in the magazine conveyor 602 in a vertical direction, and to unload an empty magazine in the magazine conveyor 602. The magazine holder 608 corresponds to the size of the magazine.

로딩 엘리베이터(609)는 스텝 모터에 의해 구동되며, 매거진 홀더(608)가 매거진을 픽업할 수 있도록 매거진 홀더(608)를 하강 및 상승시킴과 아울러 픽업된 매거진을 한 스텝씩 상승시키는 역할을 한다.The loading elevator 609 is driven by a stepper motor. The loading elevator 609 lowers and raises the magazine holder 608 so that the magazine holder 608 can pick up the magazine, and raises the picked-up magazine by one step.

스트립 PCB 푸쉬어(604)는 매거진 홀더(608)에 픽업된 매거진에 적층된 스트립 PCB(501)를 하나씩 스트립 PCB 피딩장치(612) 쪽으로 밀게 된다. 즉, 매거진에 적층된 스트립 PCB(501)는 스트립 PCB 푸쉬어(604)에 의해 하나씩 인출되어 스트립 PCB 피딩장치(612)에 로딩된다.The strip PCB pusher 604 pushes the strip PCB 501 stacked on the magazine picked up in the magazine holder 608 one by one toward the strip PCB feeding device 612. That is, the strip PCB 501 stacked in the magazine is drawn out one by one by the strip PCB pusher 604 and loaded into the strip PCB feeding device 612.

스트립 PCB 피딩장치(612)는 로딩되는 스트립 PCB(501)를 테스트장치(640)로 안정되게 이송시키는 장치이다. 이를 위해, 스트립 PCB 피딩장치(612)는 스트립 PCB(501)가 안착되는 이송레일(614)과, 이송레일(614)에 안착된 스트립 PCB(501)를 테스트장치(640)로 이송시키기 위한 제 1 인덱싱 유닛(616)과, 제 1 인덱싱 유닛(616)을 구동시키기 위한 로딩 트랜스퍼(618)를 추가로 구비한다.The strip PCB feeding device 612 is a device for stably transferring the loaded strip PCB 501 to the test device 640. To this end, the strip PCB feeding device 612 is a material for transferring the transfer rail 614 on which the strip PCB 501 is seated, and the strip PCB 501 seated on the transport rail 614 to the test apparatus 640. It further comprises a first indexing unit 616 and a loading transfer 618 for driving the first indexing unit 616.

이송레일(614)은 스트립 PCB 푸쉬어(604)에 의해 로딩되는 스트립 PCB(501)를 안정되게 이송되도록 "L"자 형태로 절곡됨과 아울러 정전기 등의 손상으로부터 스트립 PCB(501)를 보호한다.The transfer rail 614 is bent in an “L” shape to stably transport the strip PCB 501 loaded by the strip PCB pusher 604 and protects the strip PCB 501 from damage such as static electricity.

이러한, 이송레일(614)은 스트립 PCB(501)의 크기에 대응되도록 이송레일(614)의 크기를 자동으로 가변시키기 위한 레일가변장치(620)를 추가로 구비한다. The transfer rail 614 further includes a rail variable device 620 for automatically changing the size of the transfer rail 614 to correspond to the size of the strip PCB 501.

레일가변장치(620)는 로딩되는 스트립 PCB(501)의 크기를 검출하여 검출된 신호에 의해 스텝 모터를 구동시켜 이송레일(614)의 크기를 자동으로 가변시킨다.The rail variable system 620 detects the size of the strip PCB 501 to be loaded and drives the step motor according to the detected signal to automatically change the size of the transfer rail 614.

로딩 트랜스퍼(618)에는 제 1 인덱싱 유닛(616)이 설치된다. 이 로딩 트랜스퍼(618)는 스텝 모터에 의해 제 1 인덱싱 유닛(616)을 수평으로 구동시키는 역할을 한다. 또한, 로딩 트랜스퍼(618)에는 제 1 인덱싱 유닛(616)이 스트립 PCB(501)를 인덱싱 할 경우 인덱싱 미스시 스트립 PCB(501)를 보호하기 위한 도시하지 않은 안전장치들이 설치된다.The loading transfer 618 is provided with a first indexing unit 616. The loading transfer 618 serves to drive the first indexing unit 616 horizontally by a step motor. In addition, the loading transfer 618 is provided with safety devices (not shown) for protecting the strip PCB 501 when the first indexing unit 616 indexes the strip PCB 501.

제 1 인덱싱 유닛(616)은 이송레일(614) 상에 안착된 스트립 PCB(501)를 인덱싱 하기 위한 제 1 인덱싱 핀(Indexing Pin)과, 제 1 인덱싱 핀을 상승 및 하강시키기 위한 서보모터를 추가로 구비한다.The first indexing unit 616 adds a first indexing pin for indexing the strip PCB 501 seated on the transfer rail 614 and a servomotor for raising and lowering the first indexing pin. It is provided with.

제 1 인덱싱 핀은 서보모터에 의해 하강하여 이송레일(614) 상에 안착된 스트립 PCB(501)를 인덱싱하여 이송레일(614)을 따라 이송시킨다. 즉, 제 1 인덱싱 핀은 서보모터에 의해 하강되어 스트립 PCB(501)의 인덱싱 홀(502)에 인덱싱된다.The first indexing pin is lowered by the servo motor to index the strip PCB 501 seated on the transport rail 614 and transported along the transport rail 614. That is, the first indexing pin is lowered by the servomotor and indexed into the indexing hole 502 of the strip PCB 501.

테스트장치(640)는 로딩장치(600)로부터 로딩된 스트립 PCB(501)에 대하여 도 5에 도시된 유닛(510)의 길이에 대응하는 소구간 단위로 테스트하거나 스트립 PCB(501)의 길이에 대응하는 대구간 단위로 테스트하게 된다. The test apparatus 640 tests the strip PCB 501 loaded from the loading apparatus 600 in small sections corresponding to the length of the unit 510 shown in FIG. 5 or corresponds to the length of the strip PCB 501. Will be tested in units of units.

이를 위해, 테스트장치(640)는 로딩된 스트립 PCB(501)에 대하여 와이어 테스트하기 위한 테스터(715)와, 테스터(715)에 로딩되는 스트립 PCB(501) 상에 본딩된 다이의 유무를 검출하기 위한 도시하지 않은 다이 센싱유닛과, 와이어 테스트가 완료된 스트립 PCB(501)를 이송시키기 위한 제 2 인덱싱 유닛(667)과, 상기 제 2 인덱싱 유닛(667)을 구동하기 위한 스텝 트랜스퍼(665)를 추가로 구비한다.To this end, the test apparatus 640 detects the tester 715 for wire testing the loaded strip PCB 501 and the presence of a die bonded on the strip PCB 501 loaded in the tester 715. Adds a die sensing unit (not shown), a second indexing unit 667 for transferring the wire-tested strip PCB 501, and a step transfer 665 for driving the second indexing unit 667. It is provided with.

테스터(715)는 스트립 PCB(501)의 배면에 형성된 접점들을 개별적으로 선택하기 위한 다수의 핀카드(716)와, 핀카드(716)를 제어함과 아울러 와이어 개방, 와이어 단락 및 와이어 누설전류를 검사하기 위한 전압을 스트립 PCB(501)에 인가하는 도시되지 않은 메인보드를 구비한다.The tester 715 controls a plurality of pincards 716 and pincards 716 for individually selecting the contacts formed on the back surface of the strip PCB 501, and also controls wire opening, wire shorting and wire leakage current. A main board, not shown, is applied to the strip PCB 501 for inspection.

핀카드(716)는 스트립 PCB(501)의 배면에 형성된 접점들을 개별적으로 선택하여 메인보드로부터 전압을 스트립 PCB(501)에 공급한다. 이 때, 핀카드(716)는 스트립 PCB(501)의 크기에 따라 배면에 형성된 접점들의 수가 달라지기 때문에 다라지는 접점들에 대응되도록 다수를 구비한다. 이는 스트립 PCB(501)의 접점들이 128개라면 하나의 핀카드(716)를 필요로 하고, 스트립 PCB(501)의 접점들이 256개라면 두개의 핀카드(716)를 필요로 하기 때문이다.The pin card 716 individually selects the contacts formed on the back side of the strip PCB 501 to supply a voltage from the main board to the strip PCB 501. At this time, the pin card 716 is provided with a plurality so as to correspond to the different contacts because the number of contacts formed on the back side varies depending on the size of the strip PCB (501). This is because if there are 128 contacts of the strip PCB 501, one pin card 716 is required, and if there are 256 contacts of the strip PCB 501, two pin cards 716 are required.

소켓은 스트립 PCB(501) 단위로 와이어 테스트 할 경우에는 스트립 PCB(501) 상의 도 5에 도시된 유닛(510)의 개수에 대응되도록 다수의 핀군들을 구비하고, 스트립 PCB(501)의 유닛(510) 단위로 와이어 테스트 할 경우에는 유닛(510)의 접점에 대응되도록 핀들을 구비한다. 소켓의 핀들 각각에는 탄성력을 가지는 스프링이 설치되어 핀들이 스트립 PCB(501)에 지나치게 가해지는 장력을 완충하게 된다.The socket has a plurality of pin groups so as to correspond to the number of units 510 shown in FIG. 5 on the strip PCB 501 when the wire test is performed in the unit of the strip PCB 501, and the unit 510 of the strip PCB 501. In case of wire test by unit, pins are provided to correspond to the contacts of the unit 510. Each of the pins of the socket is provided with a spring having an elastic force to cushion the pins excessively applied to the strip PCB (501).

다이 센싱유닛은 테스트장치(640)에 로딩되는 스트립 PCB(501) 상에 다이(506)의 본딩 여부를 검출하게 된다. 스트립 PCB(501) 상에 다이(506)가 장착되지 않은 유닛(510)의 경우에 다이 센싱유닛이 이를 검출하여 스트립 PCB(501) 전체를 불량으로 처리하게 된다.The die sensing unit detects whether the die 506 is bonded on the strip PCB 501 loaded in the test apparatus 640. In the case of the unit 510 in which the die 506 is not mounted on the strip PCB 501, the die sensing unit detects this and treats the entire strip PCB 501 as defective.

이와 같이 테스트장치(640)에서 와이어 테스트된 스트립 PCB(501)는 스텝 트랜스퍼(665)로 이송된다.As such, the strip PCB 501 wire-tested by the test apparatus 640 is transferred to the step transfer 665.

스텝 트랜스퍼(665)에 안착된 스트립 PCB(501)는 제 2 인덱싱 유닛(667)에 의해 스트립 PCB(501) 단위로 이송되거나 유닛(510) 단위로 이송된다. 즉, 제 2 인덱싱 유닛(667)은 스트립 PCB(501)를 유닛의 길이에 대응하는 소구간 단위로 이송하거나, 스트립 PCB(501)의 길이에 대응하는 대구간 단위로 이송한다.The strip PCB 501 seated on the step transfer 665 is transferred to the strip PCB 501 unit by the second indexing unit 667 or to the unit 510 unit. That is, the second indexing unit 667 transfers the strip PCB 501 in a small section corresponding to the length of the unit or in a large section corresponding to the length of the strip PCB 501.

이를 위해, 제 2 인덱싱 유닛(667)은 스텝 트랜스퍼(665) 상에 안착된 스트립 PCB(501)를 인덱싱 하기 위한 제 2 인덱싱 핀과, 제 2 인덱싱 핀을 상승 및 하강시키기 위한 실린더를 추가로 구비한다.To this end, the second indexing unit 667 further includes a second indexing pin for indexing the strip PCB 501 seated on the step transfer 665 and a cylinder for raising and lowering the second indexing pin. do.

제 2 인덱싱 핀은 실린더에 의해 하강하여 스텝 트랜스퍼(665) 상에 안착된 스트립 PCB(501)를 인덱싱하여 마킹장치(650)로 이송시킨다. 즉, 제 2 인덱싱 핀은 실린더에 의해 하강되어 도 5에 도시된 스트립 PCB(501)의 인덱싱 홀(502)을 삽입된다.The second indexing pin is lowered by the cylinder and indexes the strip PCB 501 seated on the step transfer 665 to be transferred to the marking device 650. That is, the second indexing pin is lowered by the cylinder to insert the indexing hole 502 of the strip PCB 501 shown in FIG.

본 발명의 실시 예에 따른 마킹장치(650)는 테스트장치(640)에서 와이어 테스트 결과 불량으로 판정된 스트립 PCB(501)에 불량마크를 표시하는 역할을 한다. 즉, 마킹장치(650)는 와이어 개방일 경우에는 스트립 PCB(501) 상의 제 1 부분에 표시하고, 와이어 단락일 경우에는 스트립 PCB(501) 상의 제 2 부분에 표시하고, 누설전류가 발생할 경우에는 스트립 PCB(501) 상의 제 3 부분에 표시하여 식별가능하게 한다.The marking device 650 according to an embodiment of the present invention serves to display a defect mark on the strip PCB 501 determined as a result of a wire test in the test apparatus 640. That is, the marking device 650 is displayed on the first part on the strip PCB 501 when the wire is open, and on the second part on the strip PCB 501 when the wire is shorted, and when a leakage current occurs. The third portion on the strip PCB 501 is marked for identification.

이러한, 마킹장치(650)를 도 7 및 도 8과 결부하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Such a marking device 650 will be described in detail with reference to FIGS. 7 and 8 as follows.

마킹장치(650)는 이송레일(614)을 사이에 두고 대면되는 제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704)와, 제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704) 각각에 의해 상승 및 하강하여 스트립 PCB에 와이어 단락과 와이어 개방 및 와이어 누설전류의 불량마크를 표시하기 위한 제 1 및 제 2 스탬프부(732, 742)를 구비한다.The marking device 650 is raised and lowered by the first and second double acting cylinders 702 and 704 facing each other with the transfer rail 614 interposed therebetween, and the first and second double acting cylinders 702 and 704 respectively. The strip PCB is provided with first and second stamp portions 732 and 742 for marking a short circuit of the wire and a defect mark of the wire opening and the wire leakage current.

제 1 복동실린더(702)는 유압 또는 공기압이 주입되는 제 1 및 제 2 주입구(705, 706)와, 제 1 및 제 2 주입구(705, 706)로부터 주입되는 유압 또는 공기압에 의해 상승 및 하강하는 제 1 실린더로드(710)와, 제 1 스탬프부(750)가 설치되는 제 1 스탬프장착부(714)를 구비한다.The first double-acting cylinder 702 is raised and lowered by the first and second inlets 705 and 706 to which hydraulic or pneumatic pressure is injected, and the hydraulic or pneumatic pressure injected from the first and second inlets 705 and 706. The 1st cylinder rod 710 and the 1st stamp mounting part 714 with which the 1st stamp part 750 is provided are provided.

제 1 및 제 2 주입구(705, 706) 중 어느 하나에 주입되는 유압 또는 공기압은 제 1 실린더로드(710)를 상승시키고, 나머지 하나에 주입되는 유압 또는 공기압은 제 1 실린더로드(710)를 하강시킨다. 이 때, 제 1 및 제 2 주입구(705, 706)에 주입되는 유압 또는 공기압은 도시하지 않은 콤프레샤에 의해 주입되는데, 콤프레샤는 테스트장치에서 와이어 테스트 결과를 저장하고 있는 호스트 시스템에 의해 제어된다.Hydraulic or pneumatic pressure injected into either one of the first and second inlets 705 and 706 raises the first cylinder rod 710, and hydraulic or pneumatic pressure injected into the other lowers the first cylinder rod 710. Let's do it. At this time, the hydraulic pressure or air pressure injected into the first and second injection ports 705 and 706 is injected by a compressor (not shown), which is controlled by a host system that stores the wire test results in the test apparatus.

제 1 실린더로드(710)는 제 1 복동실린더(702)에 삽입되어 제 1 및 제 2 주입구(705, 706)로부터 주입되는 유압 또는 공기압에 의해 상승 및 하강된다.The first cylinder rod 710 is inserted into the first double acting cylinder 702 and raised and lowered by hydraulic or pneumatic pressure injected from the first and second injection holes 705 and 706.

제 1 실린더로드(710)의 수직운동을 제 1 스탬프부(750)에 전달하기 위하여, 제 1 실린더로드(710)의 끝단에는 제 1 실린더브라켓(711)이 설치된다. 또한, 제 1 실린더브라켓(711)과 제 1 스탬프장착부(714) 사이에 제 1 플레이판(712)이 설치된다. 도시되지 않은 나사를 제 1 스탬프장착부(714) 및 제 1 플레이판(712)을 관통하여 제 1 실린더브라켓(711)에 체결함으로써, 제 1 스탬프장착부(714)는 제 1 실린더브라켓(711)에 고정되어 제 1 실린더로드(710)에 의해 상승 및 하강된다.In order to transfer the vertical movement of the first cylinder rod 710 to the first stamp portion 750, a first cylinder bracket 711 is installed at the end of the first cylinder rod 710. In addition, a first play plate 712 is installed between the first cylinder bracket 711 and the first stamp mounting portion 714. By screwing the screw (not shown) to the first cylinder bracket 711 through the first stamp mounting portion 714 and the first play plate 712, the first stamp mounting portion 714 is connected to the first cylinder bracket 711. It is fixed and raised and lowered by the first cylinder rod 710.

제 1 스탬프부(750)는 제 1 스탬프장착부(714)에 고정되는 제 1 링크(734)와, 제 1 링크(734)를 관통하여 고정되는 제 1 스탬프(732)와, 제 1 링크(734)의 배면을 관통된 제 1 스탬프(732)를 제 1 링크(734)에 고정시키기 위한 제 1 너트(736)를 구비한다.The first stamp part 750 includes a first link 734 fixed to the first stamp mounting part 714, a first stamp 732 fixed through the first link 734, and a first link 734. And a first nut 736 for securing the first stamp 732 penetrated through the back of the) to the first link 734.

제 1 링크(734)는 나사(716)에 의해 제 1 스탬프장착부(714)에 고정되고, 제 1 스탬프(732)는 제 1 링크(734)를 관통하여 제 1 너트(736)에 의해 제 1 링크(734)에 고정된다.The first link 734 is fixed to the first stamp mount 714 by a screw 716, and the first stamp 732 penetrates the first link 734 to the first by the first nut 736. Secured to link 734.

제 1 스탬프(732)는 도 9에 도시된 바와 같이 내부가 통공되어 점성 잉크가 저장되는 제 1 저장부(770)와, 점성 잉크가 유출되어 마킹되는 제 1 마킹부(772)와, 제 1 저장부(770)의 점성 잉크를 제 1 마킹부(772)로 일정하게 공급하기 위한 제 1 모세관(774)과, 제 1 저장부(770)에 저장되는 점성 잉크를 흡수하여 일정한 양으로 제 1 모세관(774)에 공급하기 위한 제 1 스폰지(Sponge; 776)를 구비한다.As shown in FIG. 9, the first stamp 732 includes a first storage unit 770 through which the inside is penetrated to store the viscous ink, a first marking unit 772 on which the viscous ink is leaked and marked, and a first stamp 732. The first capillary 774 for uniformly supplying the viscous ink of the storage 770 to the first marking part 772 and the viscous ink stored in the first storage 770 are absorbed to form a first amount. A first sponge 776 for supplying the capillary 774 is provided.

제 1 저장부(770)에 저장되는 점성 잉크는 스트립 PCB 상에 표시된 마킹된 후 지울 수 있도록 수용성 잉크를 사용하는 것이 바람직하다. 제 1 저장부(770)에 점성 잉크가 주입된 후 제 1 저장부(770)의 상단은 제 1 캠(730)에 의해 밀봉된다. The viscous ink stored in the first reservoir 770 is preferably water-soluble ink so that it can be erased after being marked on the strip PCB. After the viscous ink is injected into the first reservoir 770, the upper end of the first reservoir 770 is sealed by the first cam 730.

제 1 모세관(774)은 제 1 저장부(770)에 저장된 점성 잉크를 제 1 마킹부(772)에 일정한 양씩 공급하게 된다. 이 때, 제 1 마킹부(772)에 공급되는 점성 잉크는 제 1 스폰지(776)에 흡수되어 일정한 양씩 공급된다.The first capillary tube 774 supplies viscous ink stored in the first storage unit 770 to the first marking unit 772 by a predetermined amount. At this time, the viscous ink supplied to the first marking portion 772 is absorbed by the first sponge 776 and supplied in a constant amount.

제 1 마킹부(772)는 제 1 복동실린더(702)에 의해 하강시 스트립 PCB의 표면에 접촉되어 제 1 모세관(774)으로부터 공급되는 점성 잉크를 스트립 PCB 상에 마킹한 후 상승된다. 이러한, 제 1 마킹부(772)는 평상시 제 1 홀더(738)가 삽입되어 외부로부터의 파손이 방지된다.The first marking portion 772 contacts the surface of the strip PCB by the first double-acting cylinder 702 at the time of lowering and is raised after marking the viscous ink supplied from the first capillary 774 on the strip PCB. The first marking part 772 is normally inserted into the first holder 738 to prevent damage from the outside.

이와 같은, 제 1 복동실린더(702)는 테스트장치에서 와이어 단락을 테스트한 결과 와이어 단락의 불량을 표시하기 위한 것으로, 마킹장치(650) 상에 와이어 단락된 불량 스트립 PCB가 로딩될 경우 제 1 복동실린더(702)의 제 1 주입구(705)에 공기압 또는 유압이 주입되어 제 1 실린더로드(710)가 하강함에 따라 제 1 스탬프부(750)가 하강하여 제 1 마킹부(772)가 로딩된 와이어 단락된 불량 스트립 PCB 상의 일측부에 와이어 단락을 나타내는 불량마크를 표시하게 된다.As described above, the first double-acting cylinder 702 is for displaying a defect of a wire short circuit as a result of a test of a wire short circuit in the test apparatus, and the first double-acting cylinder is loaded when the defective short strip PCB is loaded on the marking apparatus 650. As air pressure or hydraulic pressure is injected into the first injection hole 705 of the cylinder 702 and the first cylinder rod 710 descends, the first stamp part 750 descends and the wire to which the first marking part 772 is loaded. A defective mark indicating a short circuit of wires is displayed on one side of the shorted defective strip PCB.

그런 다음, 제 1 복동실린더(702)의 제 2 주입구(706)에 공기압 또는 유압이 주입되어 제 1 실린더로드(710)가 상승하게 된다.Then, air pressure or hydraulic pressure is injected into the second injection hole 706 of the first double-acting cylinder 702 to raise the first cylinder rod 710.

제 2 복동실린더(704)는 유압 또는 공기압이 주입되는 제 3 및 제 4 주입구(707, 708)와, 제 3 및 제 4 주입구(707, 708)로부터 주입되는 유압 또는 공기압에 의해 상승 및 하강하는 제 2 실린더로드(720)와, 제 2 스탬프부(760)가 설치되는 제 2 스탬프장착부(724)를 구비한다.The second double-acting cylinder 704 is raised and lowered by the third and fourth inlets 707 and 708 to which hydraulic or pneumatic pressure is injected, and the hydraulic or pneumatic pressure injected from the third and fourth inlets 707 and 708. The 2nd cylinder rod 720 and the 2nd stamp mounting part 724 with which the 2nd stamp part 760 is provided are provided.

제 3 및 제 4 주입구(707, 708) 중 어느 하나에 주입되는 유압 또는 공기압은 제 2 실린더로드(720)를 상승시키고, 나머지 하나에 주입되는 유압 또는 공기압은 제 2 실린더로드(720)를 하강시킨다. 이 때, 제 3 및 제 4 주입구(707, 708)에 주입되는 유압 또는 공기압은 도시하지 않은 콤프레샤에 의해 주입되는데, 콤프레샤는 테스트장치에서 와이어 테스트 결과를 저장하고 있는 호스트 시스템에 의해 제어된다.Hydraulic or pneumatic pressure injected into one of the third and fourth inlets 707 and 708 raises the second cylinder rod 720, and hydraulic or pneumatic pressure injected into the other lowers the second cylinder rod 720. Let's do it. At this time, the hydraulic pressure or air pressure injected into the third and fourth injection ports 707 and 708 is injected by a compressor (not shown), which is controlled by a host system that stores wire test results in a test apparatus.

제 2 실린더로드(720)는 제 2 복동실린더(704)에 삽입되어 제 3 및 제 4 주입구(707, 708)로부터 주입되는 유압 또는 공기압에 의해 상승 및 하강된다.The second cylinder rod 720 is inserted into the second double acting cylinder 704 and raised and lowered by hydraulic or pneumatic pressure injected from the third and fourth injection holes 707 and 708.

제 2 실린더로드(720)의 수직운동을 제 2 스탬프부(760)에 전달하기 위하여, 제 2 실린더로드(720)의 끝단에는 제 2 실린더브라켓(721)이 설치된다. 또한, 제 2 실린더브라켓(721)과 제 2 스탬프장착부(724) 사이에 제 2 플레이판(722)이 설치된다. 도시되지 않은 나사를 제 2 스탬프장착부(724) 및 제 2 플레이판(722)을 관통하여 제 2 실린더브라켓(721)에 체결함으로써, 제 2 스탬프장착부(724)는 제 2 실린더브라켓(721)에 고정되어 제 2 실린더로드(720)에 의해 상승 및 하강된다.In order to transfer the vertical movement of the second cylinder rod 720 to the second stamp portion 760, a second cylinder bracket 721 is installed at the end of the second cylinder rod 720. In addition, a second play plate 722 is installed between the second cylinder bracket 721 and the second stamp mounting portion 724. By screwing the screw (not shown) to the second cylinder bracket 721 through the second stamp mounting portion 724 and the second play plate 722, the second stamp mounting portion 724 is attached to the second cylinder bracket 721. It is fixed and raised and lowered by the second cylinder rod 720.

제 2 스탬프부(760)는 제 2 스탬프장착부(724)에 고정되는 제 2 링크(744)와, 제 2 링크(744)를 관통하여 고정되는 제 2 스탬프(742)와, 제 2 링크(744)의 배면을 관통된 제 2 스탬프(742)를 제 2 링크(744)에 고정시키기 위한 제 2 너트(746)를 구비한다.The second stamp portion 760 includes a second link 744 fixed to the second stamp mounting portion 724, a second stamp 742 fixed through the second link 744, and a second link 744. And a second nut 746 for securing the second stamp 742 penetrated to the second link 744 through the back side of the).

제 2 링크(744)는 나사(726)에 의해 제 2 스탬프장착부(724)에 고정되고, 제 2 스탬프(742)는 제 2 링크(744)를 관통하여 제 2 너트(746)에 의해 제 2 링크(744)에 고정된다.The second link 744 is fixed to the second stamp mount 724 by screws 726, and the second stamp 742 penetrates through the second link 744 to form a second by the second nut 746. Secured to link 744.

제 2 스탬프(742)는 도 9에 도시된 바와 같이 내부가 통공되어 점성 잉크가 저장되는 제 2 저장부(780)와, 점성 잉크가 유출되어 마킹되는 제 2 마킹부(782)와, 제 2 저장부(780)의 점성 잉크를 제 2 마킹부(782)로 일정하게 공급하기 위한 제 2 모세관(784)과, 제 2 저장부(780)에 저장되는 점성 잉크를 흡수하여 일정한 양으로 제 2 모세관(784)에 공급하기 위한 제 2 스폰지(786)를 구비한다.As shown in FIG. 9, the second stamp 742 may include a second storage part 780 through which the inside of the viscous ink is stored, a second marking part 782 through which the viscous ink is leaked and marked, and a second stamp 742. The second capillary tube 784 for uniformly supplying the viscous ink of the storage unit 780 to the second marking unit 782 and the viscous ink stored in the second storage unit 780 are absorbed in the second amount in a constant amount. A second sponge 786 for supplying the capillary 784.

제 2 저장부(780)에 저장되는 점성 잉크는 스트립 PCB 상에 표시된 마킹된 후 지울 수 있도록 수용성 잉크를 사용하는 것이 바람직하다. 제 2 저장부(780)에 점성 잉크가 주입된 후 제 2 저장부(780)의 상단은 제 2 캠(740)에 의해 밀봉된다. The viscous ink stored in the second reservoir 780 is preferably water-soluble ink so that it can be erased after being marked on the strip PCB. After the viscous ink is injected into the second reservoir 780, the upper end of the second reservoir 780 is sealed by the second cam 740.

제 2 모세관(784)은 제 2 저장부(780)에 저장된 점성 잉크를 제 2 마킹부(782)에 일정한 양씩 공급하게 된다. 이 때, 제 2 마킹부(782)에 공급되는 점성 잉크는 제 2 스폰지(786)에 흡수되어 일정한 양씩 공급된다.The second capillary tube 784 supplies viscous ink stored in the second storage unit 780 to the second marking unit 782 by a predetermined amount. At this time, the viscous ink supplied to the second marking portion 782 is absorbed by the second sponge 786 and supplied in a constant amount.

제 2 마킹부(782)는 제 2 복동실린더(704)에 의해 하강시 스트립 PCB의 표면에 접촉되어 제 2 모세관(784)으로부터 공급되는 점성 잉크를 스트립 PCB 상에 마킹한 후 상승된다. 이러한, 제 2 마킹부(782)는 평상시 제 2 홀더(748)가 삽입되어 외부로부터의 파손이 방지된다.The second marking portion 782 is raised by marking on the strip PCB the viscous ink supplied from the second capillary 784 in contact with the surface of the strip PCB by the second double-acting cylinder 704 when lowered. The second marking portion 782 is usually inserted into the second holder 748 to prevent damage from the outside.

이와 같은, 제 2 복동실린더(704)는 테스트장치에서 와이어 개방을 테스트한 결과 와이어 개방의 불량을 표시하기 위한 것으로, 마킹장치(650) 상에 와이어 개방된 불량 스트립 PCB가 로딩될 경우 제 2 복동실린더(704)의 제 3 주입구(707)에 공기압 또는 유압이 주입되어 제 2 실린더로드(720)가 하강함에 따라 제 2 스탬프부(760)가 하강하여 제 2 마킹부(782)가 로딩된 와이어 개방된 불량 스트립 PCB 상의 일측부 반대쪽에 와이어 개방을 나타내는 불량마크를 표시하게 된다.As described above, the second double acting cylinder 704 is for indicating a defective wire opening as a result of the test of the wire opening in the test apparatus, and the second double acting cylinder is loaded when the defective strip PCB is opened on the marking apparatus 650. As the air pressure or hydraulic pressure is injected into the third injection hole 707 of the cylinder 704 and the second cylinder rod 720 descends, the second stamp portion 760 descends and the wire to which the second marking portion 782 is loaded. On the opposite side of the open defective strip PCB, a defect mark indicating the wire opening is displayed.

그런 다음, 제 2 복동실린더(704)의 제 4 주입구(707)에 공기압 또는 유압이 주입되어 제 2 실린더로드(720)가 상승하게 된다.Then, air pressure or hydraulic pressure is injected into the fourth injection hole 707 of the second double acting cylinder 704 to raise the second cylinder rod 720.

한편, 테스트장치에서 와이어 누설전류가 발생하여 불량으로 판정된 불량 스트립 PCB의 경우에는 1 및 제 2 복동실린더(702, 704)가 상술한 바와 같이 동시에 구동되어 제 1 및 제 2 스탬프(732, 742)에 의해 와이어 누설전류가 발생된 불량 스트립 PCB 상에 와이어 누설전류를 나타내는 두개의 불량마크를 표시하게 된다.On the other hand, in the case of the defective strip PCB which is determined to be defective due to the wire leakage current occurring in the test apparatus, the first and second double acting cylinders 702 and 704 are simultaneously driven as described above, so that the first and second stamps 732 and 742 ), Two defective marks indicating the wire leakage current are displayed on the defective strip PCB in which the wire leakage current is generated.

다시 말하여, 제 1 스탬프(732)에 의해 불량 스트립 PCB 상의 일측부에 불량마크가 표시될 경우에는 와이어 단락을 나타내고, 제 2 스탬프(742)에 의해 일측부 반대쪽에 불량마크가 표시될 경우에는 와이어 개방을 나타낸다. 또한, 제 1 및 제 2 스탬프(732, 742)에 의해 불량 스트립 PCB 상의 일측부 및 일측부 반대쪽 모두 불량마크가 표시될 경우에는 와이어 누설전류를 나타낸다.In other words, when the defect mark is displayed on one side of the defective strip PCB by the first stamp 732, a wire short circuit is shown, and the defect mark is displayed on the opposite side of the one side by the second stamp 742. Indicates wire open. In addition, when the first and second stamps 732 and 742 display the defect marks on one side and the opposite side of the defective strip PCB, the wire leakage current is indicated.

언로딩장치(670)는 도 6에 도시된 바와 같이 테스트장치(640)에서 와이어 테스트 결과에 따라 스트립 PCB를 분리하여 언로딩시키기 위한 리젝트 레일(680)과, 양품으로 판정된 스트립 PCB를 언로딩시키기 위한 언로딩 트랜스퍼(684)와, 불량으로 판정된 스트립 PCB를 언로딩시키기 위한 리젝트 트랜스퍼(685)와, 언로딩 트랜스퍼(684)로부터 이송되는 양품 스트립 PCB(501)를 적층하는 언로딩 매거진(686)과, 언로딩 매거진(686)에서 하나의 매거진을 픽업하기 위한 언로딩 엘리베이터(688)와, 불량 스트립 PCB(501)를 적층하는 리젝트 매거진(660)을 구비한다.As shown in FIG. 6, the unloading apparatus 670 unloads the reject rail 680 for separating and unloading the strip PCB according to the wire test result from the test apparatus 640, and the strip PCB determined as good. Unloading to stack the unloading transfer 684 for loading, the reject transfer 685 for unloading the strip PCB determined to be defective, and the good strip PCB 501 conveyed from the unloading transfer 684. A magazine 686, an unloading elevator 688 for picking up one magazine from the unloading magazine 686, and a reject magazine 660 for stacking the defective strip PCB 501.

리젝트 레일(680)은 안착된 불량 스트립 PCB(501)를 리젝트 트랜스퍼(685)로 이송시킬 경우에만 도시하지 않은 호스트 시스템에 의해 리젝트 트랜스퍼(685) 쪽으로 수평 이동한다. The reject rail 680 is horizontally moved towards the reject transfer 685 by a host system, not shown, only when the seated defective strip PCB 501 is transferred to the reject transfer 685.

언로딩 트랜스퍼(684)는 리젝트 레일(680) 상에 있는 양품 스트립 PCB(501)를 픽업하기 위한 도시하지 않은 그리퍼와, 그리퍼에 픽업된 스트립 PCB(501)를 언로딩 매거진(686)에 적층되도록 푸싱하는 도시하지 않은 푸쉬어를 추가로 구비한다.The unloading transfer 684 stacks an unillustrated gripper for picking up the good strip PCB 501 on the reject rail 680 and a strip PCB 501 picked up by the gripper on the unloading magazine 686. It is further provided with a pusher not shown which pushes as much as possible.

그리퍼는 도시하지 않은 구동장치에 의해 리젝트 레일(680) 상의 스트립 PCB(501)를 픽킹한 후 언로딩 매거진(686)에 근접되게 이송된다. 스트립 PCB(501)가 언로딩 매거진(686)에 근접되면 그리퍼가 상승되어 스트립 PCB(501)의 뒤쪽으로 이송됨에 따라 푸쉬어는 스트립 PCB(501)의 뒤쪽에 위치하게 된다. 스트립 PCB(501)의 뒤쪽에 위치한 푸쉬어는 스트립 PCB(501)를 푸싱하여 언로딩 매거진(686)의 매거진에 스트립 PCB(501)를 적층한다.The gripper is transported in proximity to the unloading magazine 686 after picking the strip PCB 501 on the reject rail 680 by a drive not shown. As the strip PCB 501 approaches the unloading magazine 686, the pusher is positioned behind the strip PCB 501 as the gripper is raised and transported to the back of the strip PCB 501. A pusher located behind the strip PCB 501 pushes the strip PCB 501 to stack the strip PCB 501 in the magazine of the unloading magazine 686.

이를 위해, 언로딩 매거진(686)에는 푸쉬어에 의해 푸싱되는 다수의 스트립 PCB(501)가 적층되는 매거진을 구비한다. 언로딩 엘리베이터(688)는 매거진 홀더를 이용하여 언로딩 매거진(686)의 매거진을 상승 및 하강시켜 스트립 PCB(501)들이 매거진에 적층될 수 있도록 한다.To this end, the unloading magazine 686 is provided with a magazine in which a plurality of strip PCBs 501 are pushed by the pusher. The unloading elevator 688 uses a magazine holder to raise and lower the magazine of the unloading magazine 686 so that the strip PCBs 501 can be stacked in the magazine.

리젝트 트랜스퍼(685)는 리젝트 레일(680) 상의 불량 스트립 PCB(501)를 푸싱하기 위한 푸쉬어를 구비한다.The reject transfer 685 has a pusher for pushing the bad strip PCB 501 on the reject rail 680.

푸쉬어는 도시하지 않은 제 1 및 제 2 실린더에 의해 구동된다. 제 1 및 제 2 실린더는 리젝트 레일(680)의 레일에 안착된 스트립 PCB(501)를 리젝트 매거진(660) 쪽으로 무리하게 푸싱하는 것을 방지하기 위한 푸쉬어의 푸싱력을 완충하게 된다.The pusher is driven by the first and second cylinders not shown. The first and second cylinders buffer the pushing force of the pusher to prevent excessively pushing the strip PCB 501 seated on the rail of the reject rail 680 toward the reject magazine 660.

리젝트 트랜스퍼(685) 쪽으로 이송된 불량 스트립 PCB(501)는 리젝트 레일(680)의 앞쪽에 설치된 푸쉬어에 의해 리젝트 매거진(660)의 매거진에 적층된다. The defective strip PCB 501 transferred to the reject transfer 685 is laminated to the magazine of the reject magazine 660 by a pusher installed in front of the reject rail 680.

이와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 마킹장치의 구동을 도 10을 참조하여 설명하면 다음과 같다. The driving of the marking apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 10 as follows.

도 6에 도시된 로딩장치에 의해 스트립 PCB가 테스트장치(640)에 로딩된다. (10S1)The strip PCB is loaded into the test apparatus 640 by the loading apparatus shown in FIG. (10S1)

테스트장치(640)에 로딩된 스트립 PCB는 테스터(715)로부터 인가되는 전압에 의해 와이어 단락 및 와이어 개방을 테스트한 후, 와이어 테스트 결과 양품으로 판정된 스트립 PCB에 대하여 와이어 누설전류를 테스트하게 된다. (10S2)The strip PCB loaded in the test apparatus 640 tests the wire short circuit and the wire opening by the voltage applied from the tester 715, and then tests the wire leakage current against the strip PCB which is determined to be good as a result of the wire test. (10S2)

테스트장치(640)에서 와이어 테스트 결과 양품으로 판정된 양품 스트립 PCB는 언로딩장치에 의해 언로딩 매거진으로 이송되어 언로딩 엘리베이터에 픽업된 매거진에 적층된다. (10S3, 10S4)The good strip PCB, which is determined to be good by the wire test result in the test apparatus 640, is transferred to the unloading magazine by the unloading apparatus and stacked on the magazine picked up by the unloading elevator. (10S3, 10S4)

그러나, 테스트장치(640)에서 와이어 테스트 결과 불량으로 판정된 불량 스트립 PCB는 스텝 트랜스퍼(665)에 의해 마킹장치(650)에 이송된다. 불량 스트립 PCB가 마킹장치(650)에 이송되면 도 8에 도시된 제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704)가 구동된다. (10S5) 이 때, 제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704)는 테스트장치(640)에서 와이어 테스트 결과 불량으로 판정된 와이어 단락과 와이어 개방 및 와이어 누설전류에 따라 구동된다. 즉, 와이어 단락의 경우에는 제 1 복동실린더(702)가 구동되고, 와이어 개방의 경우에는 제 2 복동실린더(704)가 구동된다. 또한, 와이어 누설전류의 경우에는 제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704) 모두가 구동된다.However, the defective strip PCB that is determined to be defective in the test apparatus 640 is transferred to the marking apparatus 650 by the step transfer 665. When the defective strip PCB is transferred to the marking device 650, the first and second double acting cylinders 702 and 704 shown in FIG. 8 are driven. At this time, the first and second double acting cylinders 702 and 704 are driven in accordance with the wire short circuit and the wire opening and the wire leakage current which are determined to be defective in the test apparatus 640 as a result of the wire test. That is, in the case of a wire short circuit, the first double acting cylinder 702 is driven, and in the case of wire open, the second double acting cylinder 704 is driven. In the case of a wire leakage current, both the first and second double acting cylinders 702 and 704 are driven.

제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704)가 구동됨에 따라 제 1 및 제 2 스탬프(732, 742)가 하강된다. (10S6)As the first and second double acting cylinders 702 and 704 are driven, the first and second stamps 732 and 742 are lowered. (10S6)

제 1 및 제 2 스탬프(732, 742)가 하강됨에 따라 제 1 및 제 2 스탬프(732, 742)의 점성잉크가 불량 스트립 PCB 상에 마킹된다. (10S7)As the first and second stamps 732 and 742 are lowered, the viscous ink of the first and second stamps 732 and 742 is marked on the defective strip PCB. (10S7)

제 1 및 제 2 스탬프(732, 742)는 불량 스트립 PCB 상에 불량마크를 표시한 후 제 1 및 제 2 복동실린더(702, 704)에 의해 상승된다. (10S8)The first and second stamps 732 and 742 are raised by the first and second double acting cylinders 702 and 704 after marking the defect mark on the defective strip PCB. (10S8)

그런 다음, 불량마크가 표시된 불량 스트립 PCB는 언로딩장치에 의해 리젝트 레일 상으로 이송된다.(10S9)Then, the defective strip PCB marked with the defect mark is transferred onto the reject rail by the unloading device (10S9).

리젝트 레일 상에 이송된 불량 스트립 PCB는 리젝트 매거진의 매거진에 적층된다.(10S10)The defective strip PCB transferred on the reject rail is laminated to the magazine of the reject magazine (10S10).

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마킹장치는 테스트장치에서 와이어 테스트 결과 불량으로 판정된 불량 스트립 인쇄회로보드에 불량마크를 표시함으로써 불량 인쇄회로보드를 식별가능하게 한다.As described above, the marking apparatus according to the present invention makes it possible to identify the defective printed circuit board by displaying the defective mark on the defective strip printed circuit board which is determined to be defective in the test apparatus.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

도 1은 종래의 반도체 패키지 공정을 단계적으로 순서도.1 is a step by step flowchart of a conventional semiconductor package process.

도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 반도체 패키지 공정을 단계적으로 나타내는 순서도.2 is a flowchart illustrating a semiconductor package process step by step according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 반도체 패키지 공정을 단계적으로 나타내는 순서도.3 is a flowchart illustrating a semiconductor package process step by step according to a second embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 반도체 패키지 공정을 단계적으로 나타내는 순서도.4 is a flowchart illustrating a semiconductor package process step by step according to a third embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 스트립 인쇄회로보드를 나타내는 평면도 및 배면도.5 is a plan view and a rear view of a strip printed circuit board according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 와이어 테스트장치를 개략적으로 나타내는 사시도.Figure 6 is a perspective view schematically showing a wire test apparatus according to the present invention.

도 7은 도 6에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 마킹장치를 나타내는 사시도.7 is a perspective view showing a marking apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG.

도 8은 도 7에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 마킹장치를 나타내는 분해사시도.8 is an exploded perspective view showing a marking apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG.

도 9는 도 8에 도시된 마킹장치의 스탬프를 나타내는 단면도.9 is a cross-sectional view showing a stamp of the marking device shown in FIG.

도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 마킹장치의 구동을 나타내는 순서도.10 is a flowchart illustrating driving of a marking apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

501 : 스트립 PCB 502 : 인덱싱홀501: Strip PCB 502: Indexing Hole

504 : 얼라인홀 506 : 다이504: alignment hole 506: die

508 : 접점들 510 : 유닛508: contacts 510: unit

602 : 매거진 컨베이어 604 : 스트립 PCB 푸쉬어602: Magazine Conveyor 604: Strip PCB Pusher

608 : 매거진 홀더 609 : 로딩 엘리베이터608: magazine holder 609: loading elevator

610 : 로딩장치 640 : 테스트장치610: loading device 640: testing device

650 : 마킹장치 670 : 언로딩장치650: marking device 670: unloading device

680 : 리젝트 레일 680 : 언로딩 트랜스퍼680: reject rail 680: unloading transfer

660 : 리젝트 매거진 686 : 언로딩 메거진660: Reject Magazine 686: Unloading Magazine

702, 704 : 복동실린더 710, 720 : 실린더로드702, 704: Double acting cylinders 710, 720: Cylinder rod

732, 742 : 스탬프732, 742: stamp

Claims (5)

스트립 인쇄회로보드와;A strip printed circuit board; 수용성 잉크가 저장되는 저장부, 상기 저장부에 저장된 상기 수용성 잉크를 흡수하기 위한 흡수부재, 상기 스트립 인쇄회로보드와 접촉되어 상기 수용성 잉크를 상기 스트립 인쇄회로보드 상에 마킹하기 위한 마킹부, 및 상기 저장부와 상기 마킹부 사이에 형성되어 상기 흡수부재로부터 일정하게 공급되는 상기 수용성 잉크를 상기 마킹부에 공급하는 모세관을 포함하여 상기 스트립 인쇄회로보드 상에 상기 수용성 잉크를 마킹하기 위한 스탬프와;A storage unit for storing the water-soluble ink, an absorbing member for absorbing the water-soluble ink stored in the storage unit, a marking unit for contacting the strip printed circuit board to mark the water-soluble ink on the strip printed circuit board, and the A stamp for marking the water-soluble ink on the strip printed circuit board, including a capillary tube formed between a storage portion and the marking portion to supply the water-soluble ink uniformly supplied from the absorbing member to the marking portion; 상기 스탬프를 고정하기 위한 스탬프고정부와;A stamp fixing part for fixing the stamp; 상기 스탬프고정부를 상승 및 하강시켜 상기 스탬프를 상기 스트립 인쇄회로보드에 접촉 및 분리시키기 위한 구동부를 구비하며, A driving part for raising and lowering the stamp fixing part to contact and separate the stamp from the strip printed circuit board, 상기 스탬프는 상기 스트립 인쇄회로보드에서 서로 다른 위치에 불량마크를 마킹하기 위한 제 1 및 제 2 스탬프를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 스탬프 각각은 상기 구동부에 의해 개별적 또는 동시에 구동되는 것을 특징으로 하는 마킹장치.The stamp includes first and second stamps for marking defect marks at different positions on the strip printed circuit board, each of the first and second stamps being individually or simultaneously driven by the driving unit. Marking device. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동부는,The driving unit, 구동원과,Drive source, 상기 구동원과 상기 스탬프고정부를 연결시키기 위한 연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마킹장치.Marking device characterized in that it comprises a connection for connecting the drive source and the stamp fixing portion. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 구동원은 에어실린더인 것을 특징으로 하는 마킹장치.Marking device, characterized in that the drive source is an air cylinder.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62293124A (en) * 1986-06-12 1987-12-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspection instrument for printed board
JPH0226042A (en) * 1988-07-15 1990-01-29 Hitachi Ltd Marking device
KR920003409U (en) * 1990-07-21 1992-02-25 현대전자산업 주식회사 Package marking device
KR970019782U (en) * 1995-10-07 1997-05-26 Package Marking Device
KR20000002457A (en) * 1998-06-19 2000-01-15 김영건 Marking head for semiconductor
JP2001185587A (en) * 1999-12-27 2001-07-06 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Defect marking apparatus for electronic components mounting film carrier tape

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62293124A (en) * 1986-06-12 1987-12-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspection instrument for printed board
JPH0226042A (en) * 1988-07-15 1990-01-29 Hitachi Ltd Marking device
KR920003409U (en) * 1990-07-21 1992-02-25 현대전자산업 주식회사 Package marking device
KR970019782U (en) * 1995-10-07 1997-05-26 Package Marking Device
KR20000002457A (en) * 1998-06-19 2000-01-15 김영건 Marking head for semiconductor
JP2001185587A (en) * 1999-12-27 2001-07-06 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd Defect marking apparatus for electronic components mounting film carrier tape

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