KR100480476B1

KR100480476B1 - Xenon inspection method of glass substrates

Info

Publication number: KR100480476B1
Application number: KR10-2003-0035068A
Authority: KR
Inventors: 이창하; 조기성; 김성철; 황정훈; 이영진
Original assignee: 삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority date: 2003-05-31
Filing date: 2003-05-31
Publication date: 2005-04-07
Also published as: KR20040103145A

Abstract

본 발명은 유리 기판의 제논 검사방법에 관한 것으로서, 복수의 유리 기판이 상측으로부터 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착된 카세트를 제논라이트의 빔이동경로상의 하측에 위치시키는 단계와, 복수의 유리 기판을 카세트에 장착된 상태를 유지한 채 카세트로부터 빼내서 제논라이트의 빔이동경로상에 고정시키는 단계와, 제논라이트로부터 복수의 유리 기판을 향해 빔을 조사시키는 단계와, 제논라이트로부터 조사되어 복수의 유리 기판을 통과한 빔에 의해 스크린에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하는지를 판단하는 단계와, 스크린에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하면 복수의 유리기판을 하나씩 움직여서 결함의 이미지가 움직일 때 움직였던 유리 기판에 결함이 있는 것으로 결정하는 단계와, 스크린에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하지 않거나 결함이 존재하는 유리 기판의 결정을 마치면 복수의 유리 기판을 카세트에 장착하는 단계를 포함한다. 따라서 본 발명은, 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키며, 유리 기판이 대형이더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.The present invention relates to a method for inspecting a xenon of a glass substrate, comprising: placing a cassette in which a plurality of glass substrates are mounted side by side to be spaced apart from each other in a vertical state from an upper side thereof under the beam movement path of the xenon light, Removing the cassette from the cassette while being mounted on the cassette and fixing the beam on the xenon light beam path; irradiating the beam from the xenon light toward the plurality of glass substrates; Determining whether an image of a defect exists in an image projected on the screen by a beam passing through the beam; and when a defect image exists in an image projected on the screen, a plurality of glass substrates are moved one by one to move when the image of the defect moves. Determining that the glass substrate is defective, and determining the image projected on the screen. The implications image does not exist After the determination of the glass substrate of the defect is a step of mounting a plurality of glass substrates in the cassette. Therefore, the present invention increases the productivity by reducing the time and personnel required for inspection by simultaneously inspecting multiple glass substrates and reflecting the IN-LINE trend of the process, and easily inspects even when the glass substrate is large It can prevent the occurrence of defects during handling.

Description

Xenon inspection method of glass substrate {XENON INSPECTION METHOD OF GLASS SUBSTRATES}

본 발명은 유리 기판의 제논 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축하는 유리 기판의 제논 검사방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a xenon inspection method of a glass substrate, and more particularly, to a xenon inspection method of a glass substrate that shortens the time and personnel required for inspection by enabling inspection of several glass substrates at the same time.

일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리 기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되어 일차 규격에 맞도록 절단되고, 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 세정공정을 실시한다.Generally, glass substrates used in the manufacture of flat panel displays such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL) are glass melting furnaces. It is manufactured by supplying the dissolved glass to the melt molding machine, cut to meet the primary standard, and performs a cleaning process to remove the foreign matter adhering to the surface.

세정공정을 마친 유리 기판은 내부에 마이크로 보이드(Micro void), 마이크로 크랙(Micro crack), 불순물 등과 같은 결함이 존재하는지를 판단하기 위하여 제논 검사를 실시하게 된다.After the cleaning process, the glass substrate is subjected to xenon inspection to determine whether there are defects such as micro voids, micro cracks, and impurities.

종래의 유리 기판의 제논 검사시스템에 대하여 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.A xenon inspection system of a conventional glass substrate will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 기술에 따른 유리 기판의 제논 검사시스템을 도시한 개략도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 유리 기판의 제논 검사시스템은 양측에 각각 제논라이트(10)와 스크린(20)을 설치한 후 제논라이트(10)와 스크린(20)사이에 작업자가 한 장의 유리 기판(1)을 파지하여 위치시킨 다음 제논라이트(10)로부터 유리 기판(1)을 향해 빔을 조사함으로써 유리 기판(1)을 통과한 빔에 의해 스크린(20)에 투영된 이미지로부터 결함을 나타내는 이미지가 존재하는지를 판단하여 유리 기판(1)의 결함을 검사하였다.1 is a schematic diagram illustrating a xenon inspection system of a glass substrate according to the prior art. As shown in the drawing, the xenon inspection system of a conventional glass substrate is provided with a xenon light 10 and a screen 20 on both sides, respectively, and an operator separates a single glass substrate between the xenon light 10 and the screen 20. An image representing a defect from an image projected onto the screen 20 by a beam passing through the glass substrate 1 by holding and positioning 1) and then irradiating the beam toward the glass substrate 1 from the xenon light 10. The defect of the glass substrate 1 was examined by judging whether it exists.

그러나, 이와 같은 종래의 유리 기판(1)의 제논 검사시스템은 유리 기판(1)을 한 장씩 검사함으로 인해 유리 기판(1)의 제논 검사를 실시하는데 많은 시간과 인원이 필요할 뿐만 아니라 공정의 IN-LINE 추세에 역행하게 되어 생산성을 저하시키는 문제점을 가지고 있었다.However, such a conventional xenon inspection system of the glass substrate 1 requires a lot of time and personnel to perform the xenon inspection of the glass substrate 1 by inspecting the glass substrate 1 one by one, as well as IN- of the process. The company has had a problem of lowering productivity by reversing the LINE trend.

또한, 유리 기판(1)을 한 장씩 검사시 시간 단축을 위해 여러 대의 유리 기판의 제논 검사시스템을 마련할 경우 한정된 클린룸내에 많은 공간을 차지하게 되는 문제점을 가지고 있었다.In addition, when providing a xenon inspection system of a plurality of glass substrates in order to reduce the time when inspecting the glass substrate 1 one by one had a problem that takes up a lot of space in a limited clean room.

특히, 유리 기판(1)이 대형화됨에 따라 수작업으로는 검사가 어려울 뿐만 아니라 수작업에 따른 취급시 불량의 발생 빈도를 증가시키는 원인이 되었다.In particular, as the glass substrate 1 is enlarged, not only is it difficult to inspect by hand but also causes the frequency of occurrence of defects in handling by manual labor.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있으며, 유리 기판이 대형이더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지하는 유리 기판의 제논 검사방법을 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, the object of the present invention is to reduce the time and personnel required for inspection by simultaneously inspecting multiple glass substrates at the same time reflects the IN-LINE trend of the process This increases productivity, minimizes the area occupied in the clean room, reduces the cost of securing the installation space, and enables easy inspection even if the glass substrate is large, thus preventing the occurrence of defects during handling. To provide a test method.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 제논라이트부터 조사되어 유리 기판을 통과시키는 빔에 의해 스크린에 투영되는 이미지로부터 결함을 검출하는 유리 기판의 제논 검사방법에 있어서, 복수의 유리 기판이 상측으로부터 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착된 카세트를 제논라이트의 빔이동경로상의 하측에 위치시키는 단계와, 복수의 유리 기판을 카세트에 장착된 상태를 유지한 채 카세트로부터 빼내서 제논라이트의 빔이동경로상에 고정시키는 단계와, 제논라이트로부터 복수의 유리 기판을 향해 빔을 조사시키는 단계와, 제논라이트로부터 조사되어 복수의 유리 기판을 통과한 빔에 의해 스크린에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하는지를 판단하는 단계와, 스크린에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하면 복수의 유리기판을 하나씩 움직여서 결함의 이미지가 움직일 때 움직였던 유리 기판에 결함이 있는 것으로 결정하는 단계와, 스크린에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하지 않거나 결함이 존재하는 유리 기판의 결정을 마치면 복수의 유리 기판을 카세트에 장착하는 단계를 포함한다.The present invention for achieving the above object is a xenon inspection method of a glass substrate for detecting defects from an image projected onto a screen by a beam irradiated from xenon light and passing through the glass substrate, wherein a plurality of glass substrates are formed from above. Placing the cassettes mounted side by side spaced apart from each other in a vertical state below the beam moving path of the xenon light, and removing a plurality of glass substrates from the cassette while keeping the mounted state on the cassette, Fixing the beam, irradiating the beam toward the plurality of glass substrates from the xenon light, and determining whether there is an image of a defect in the image projected on the screen by the beam irradiated from the xenon light and passing through the plurality of glass substrates. Step and a plurality of free radicals if an image of a defect exists in the image projected on the screen To determine that the glass substrate that was moved when the image of the defect was moved by one by one, and that the image of the defect is not present in the image projected on the screen or that the glass substrate in which the defect is present is determined. Mounting the cassette to the cassette.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 도시한 흐름도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치를 도시한 정면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치를 도시한 평면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 플레이트고정수단을 도시한 측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 어퍼가이드를 도시한 정면도이고, 도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 보조사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고, 도 9는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치에서 카세트가 상승된 상태를 도시한 정면도이고, 도 10은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치에서 복수의 유리 기판이 상승된 상태를 도시한 정면도이다.2 is a flowchart illustrating a xenon inspection method of a glass substrate according to the present invention, FIG. 3 is a front view illustrating a loading / unloading apparatus of a glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention. Figure 4 is a plan view showing a glass substrate loading / unloading apparatus for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention, Figure 5 is a glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention Figure 6 is a side view showing the plate fixing means of the loading / unloading apparatus of Figure 6 is a front view showing the upper guide of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention, 7a and 7b is a front view showing the operation of the side guide of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention, Figures 8a and 8b is a front view showing the operation of the auxiliary side guide of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention, Figure 9 is carried out a xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention 10 is a front view illustrating a state in which a cassette is raised in a glass substrate loading / unloading apparatus, and FIG. 10 illustrates a plurality of glass substrate loading / unloading apparatuses for performing a xenon inspection method of a glass substrate according to the present invention. It is a front view which shows the state in which the glass substrate was raised.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법은 복수의 유리 기판(1)이 장착된 카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상의 하측에 위치시키는 단계(S10)와, 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 고정시키는 단계(S20)와, 제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 복수의 유리 기판(1)을 향해 빔을 조사시키는 단계(S30)와, 스크린(20; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하는지를 판단하는 단계(S40)와, 스크린(20; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하면 결함이 있는 유리 기판(1)을 결정하는 단계(50)와, 복수의 유리 기판(1)을 카세트에 장착하는 단계(S60)를 포함한다.As shown, the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention allows the cassette 2 on which the plurality of glass substrates 1 are mounted to be positioned below the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). Step S10, fixing the plurality of glass substrates 1 on the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1), and a plurality of Xenon lights 10 (shown in FIG. 1) Irradiating a beam toward the glass substrate 1 (S30), determining whether an image of a defect exists in the image projected on the screen 20 (shown in FIG. 1) (S40), and the screen 20; If there is an image of a defect in the image projected in FIG. 1), determining the defective glass substrate 1 (50), and mounting the plurality of glass substrates 1 to the cassette (S60) Include.

복수의 유리 기판(1)이 장착된 카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상의 하측에 위치시키는 단계(S10)에서는 복수의 유리 기판(1)이 상측으로부터 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착된 카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상의 하측에 위치시킨다.In the step S10 of placing the cassette 2 on which the plurality of glass substrates 1 are mounted on the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1), the plurality of glass substrates 1 are perpendicular to the upper side. The cassettes 2 mounted side by side to be spaced apart from each other in a state are positioned below the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1).

제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에는 유리 기판의 로딩/언로딩장치가 설치되며, 복수의 유리 기판(1)이 장착된 카세트(2)는 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 카세트지지플레이트(200)상에 놓여진다.A glass substrate loading / unloading device is installed on the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1), and the cassette 2 on which the plurality of glass substrates 1 is mounted is loaded / unloading device of the glass substrate. Is placed on the cassette support plate 200.

본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치는 도 3 내지 도 10에서 나타낸 바와 같이, 제논라이트(10; 도 1에 도시)와 스크린(20; 도 1에 도시) 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되는 프레임(100)과, 프레임(100)과 함께 회전하도록 프레임(100)의 내부 하측에 설치되는 카세트플레이트(200)와, 카세트플레이트(200)에 설치되어 카세트(2)를 고정시키는 카세트고정수단(300)과, 카세트플레이트(200)를 상승시키거나 하강시키는 카세트승강수단(400)과, 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하도록 지지함과 아울러 복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착시키는 유리기판승강수단(500)과, 프레임(100)에 설치됨과 아울러 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하는 복수의 유리 기판(1)을 지지하는 유리기판지지수단(600)을 포함한다.An apparatus for loading / unloading a glass substrate for carrying out the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention, as shown in FIGS. 3 to 10, includes a xenon light 10 (shown in FIG. 1) and a screen 20; Frame 100 that is rotatably installed on the ground between the frame 100, the cassette plate 200 is installed in the lower side of the frame 100 to rotate together with the frame 100, and the cassette plate 200 The cassette fixing means 300 for fixing the cassette 2, the cassette lifting means 400 for raising or lowering the cassette plate 200, and the plurality of glass substrates 1; A glass substrate lifting means 500 for supporting a plurality of glass substrates 1 on the cassette 2 and supporting the beam paths in the beam path, and the xenon light 10; A plurality of glass substrates 1 positioned in the beam path of FIG. 1) are supported. It includes a glass substrate holding means 600.

프레임(100)은 제논라이트(10; 도 1에 도시)와 스크린(20; 도 1에 도시) 사이의 지면에 회전 가능하게 설치되고, 상측에 카세트플레이트(200)가 결합되는 하부프레임(110)과 하부프레임(110)의 양측에 수직되게 결합되어 측부를 각각 이루는 한 쌍의 측부프레임(120)과 측부프레임(120)의 상단에 양단이 결합되는 상부프레임(130)으로 이루어지며, 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이 내부 상측을 통과한다.The frame 100 is rotatably installed on the ground between the xenon light 10 (shown in FIG. 1) and the screen 20 (shown in FIG. 1), and the lower frame 110 on which the cassette plate 200 is coupled. And a pair of side frames 120 which are vertically coupled to both sides of the lower frame 110 to form side portions, and an upper frame 130 at which both ends are coupled to an upper end of the side frame 120. 10; the beam of FIG. 1 passes through the inner upper side.

카세트플레이트(200)는 프레임(110)과 함께 회전하도록 프레임(110)의 내부 하측, 즉 하부프레임(110)의 상측에 설치되며, 상측으로부터 복수의 유리 기판(1)을 수직상태로 서로 이격되게 나란히 장착한 카세트(2)가 상측면에 안착된다.The cassette plate 200 is installed on the inner lower side of the frame 110, that is, the upper side of the lower frame 110 so as to rotate together with the frame 110, and the plurality of glass substrates 1 are spaced apart from each other in a vertical state from the upper side. The cassettes 2 mounted side by side are seated on the upper side.

카세트플레이트(200)는 도 5에서 나타낸 바와 같이, 카세트(2)를 상측면의 일측으로부터 정렬위치로 구름운동에 의해 이동시키는 복수의 롤러(210)가 회전가능하게 설치된다. 따라서, 카세트(2)를 카트(Cart; 미도시)에 의해 카세트플레이트(200)의 일측으로 이동시킨 후 작업자가 카세트(2)를 카세트플레이트(200)로 밀면 복수의 롤러(210)의 구름운동에 의해 카세트플레이트(200)의 후측에 수직되게 결합되는 수직플레이트(311)에 밀착되어 정렬위치에 위치한다.As shown in FIG. 5, the cassette plate 200 is rotatably provided with a plurality of rollers 210 which move the cassette 2 by rolling motion from one side of the upper side to the alignment position. Therefore, after the cassette 2 is moved to one side of the cassette plate 200 by a cart (not shown), when the operator pushes the cassette 2 to the cassette plate 200, rolling motion of the plurality of rollers 210 is performed. By close contact with the vertical plate 311 which is vertically coupled to the rear of the cassette plate 200 is located in the alignment position.

카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상의 하측, 즉 카세트플레이트(200)의 정렬위치에 위치하게 되면(S10), 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 고정시킨다(S20).When the cassette 2 is positioned below the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1), that is, at the alignment position of the cassette plate 200 (S10), the plurality of glass substrates 1 may be removed. 10; fixed to the beam movement path of the (Fig. 1) (S20).

복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 고정시키는 단계(S20)는 복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착된 상태를 유지한 채 카세트(2)로부터 빼내서 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 고정시키게 된다.The step S20 of fixing the plurality of glass substrates 1 on the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1) maintains the plurality of glass substrates 1 mounted on the cassette 2. The cassette is removed from the cassette 2 and fixed on the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1).

복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 고정시키는 단계(S20)는 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상의 하측에 위치한 카세트(2)를 카세트플레이트(200)의 정렬위치로 이동시켜 고정시키는 단계(S21)와, 카세트플레이트(200)를 수직 상승시켜 카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치시키는 단계(S22)와, 카세트플레이트(200)의 중심부로부터 분리되는 유리기판지지플레이트(510)가 복수의 유리 기판(1)의 하단을 지지함과 아울러 어퍼가이드(610)가 복수의 유리 기판(1)의 상단을 지지한 상태에서 카세트플레이트(200)를 하강시켜 카세트(2)만을 하측으로 이동시키는 단계(S23)를 포함한다.The step S20 of fixing the plurality of glass substrates 1 on the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1) is a cassette located below the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). Moving (2) to the alignment position of the cassette plate 200 to fix it (S21), and vertically raising the cassette plate 200 to move the cassette 2 to the beam of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). Positioning on the path (S22) and the glass substrate support plate 510 separated from the center of the cassette plate 200 supports the lower ends of the plurality of glass substrates 1 and the upper guide 610 is a plurality And lowering the cassette plate 200 while supporting the upper end of the glass substrate 1 to move only the cassette 2 downward (S23).

카세트(2)를 카세트플레이트(200)의 정렬위치로 이동시켜 고정시키는 단계(S21)는 카세트(2)를 카세트고정수단(300)에 의해 카세트플레이트(200)의 정렬위치에 고정시킨다. Moving and fixing the cassette 2 to the alignment position of the cassette plate 200 (S21) fixes the cassette 2 to the alignment position of the cassette plate 200 by the cassette fixing means 300.

카세트(2)를 카세트플레이트(200)의 정렬위치에 고정시키는 카세트고정수단(300)은 카세트플레이트(200)에 설치되며, 카세트플레이트(200)상의 정렬위치로 이송된 카세트(2)를 고정시키는 것으로, 카세트플레이트(200)의 후측에 결합되는 수직플레이트(311)의 전면에 일정 간격을 두고 각각 수평되게 설치되며, 수직플레이트(311)로부터 좌우로 이동하여 카세트(2)의 양측면을 고정시키는 한 쌍의 카세트그립퍼(Cassette griper; 310)이다.Cassette fixing means 300 for fixing the cassette 2 to the alignment position of the cassette plate 200 is installed in the cassette plate 200, and fixed to the cassette 2 transferred to the alignment position on the cassette plate 200. To be installed horizontally at a predetermined interval on the front of the vertical plate 311 coupled to the rear side of the cassette plate 200, so as to move from side to side from the vertical plate 311 to fix both sides of the cassette (2) Pair of cassette grippers (310).

카세트그립퍼(310)는 공압실린더(미도시) 또는 모터(미도시)에 의해 그 끝단이 전후좌우로 이동함으로써 사이에 위치하는 카세트(2)의 양측면과 전면의 모서리 부위를 지지하여 카세트(2)를 카세트플레이트(200)상에 고정시킨다.The cassette gripper 310 is supported by a pneumatic cylinder (not shown) or a motor (not shown) so that the ends thereof move forward, backward, left, and right, and support the edge portions of both sides and the front side of the cassette 2 located therebetween. Is fixed on the cassette plate 200.

카세트고정수단(300)은 카세트그립퍼(310)와 함께 카세트(2)를 고정시키기 위하여 카세트플레이트(200)에 복수의 카세트클램프(320)를 구비할 수 있다.The cassette fixing means 300 may include a plurality of cassette clamps 320 on the cassette plate 200 to fix the cassette 2 together with the cassette gripper 310.

카세트클램프(320)는 카세트플레이트(200)의 상측면에 설치되고, 상측에 고정홈(321)이 형성되며, 상측으로 돌출되어 고정홈(321)에 카세트(2)의 하단이 끼워짐으로써 카세트플레이트(200)상의 정렬위치에 카세트(2)를 고정시킨다.Cassette clamp 320 is installed on the upper side of the cassette plate 200, the fixing groove 321 is formed on the upper side, and protrudes upwards to insert the lower end of the cassette 2 in the fixing groove 321 cassette The cassette 2 is fixed in the alignment position on the plate 200.

카세트플레이트(200)상의 정령위치에 카세트(2)가 고정되면(S21) 카세트플레이트(200)를 수직 상승시켜 카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치시킨다(S22).When the cassette 2 is fixed at the predetermined position on the cassette plate 200 (S21), the cassette plate 200 is vertically raised to position the cassette 2 on the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). (S22).

카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치시키기 위하여 카세트승강수단(400)에 의해 카세트(2)가 놓여진 카세트플레이트(200)를 수직으로 상승시킨다.In order to position the cassette 2 on the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1), the cassette plate 200 on which the cassette 2 is placed is vertically lifted by the cassette lift means 400.

카세트승강수단(400)은 제 1 승강축(410)이 카세트플레이트(200)의 하측에 수직되게 고정됨과 아울러 하부프레임(110) 하측에 상하로 이동가능하게 설치되고, 제 1 승강축(410)의 하부에 제 1 수직이동볼스크루(Ball screw; 420)가 연결되며, 제 1 수직리드스크루(430)가 제 1 수직이동볼스크루(420)에 나사결합되어 하부프레임(110) 하측에 회전가능하게 수직되게 설치되고, 제 1 승강모터(440)가 제 1 수직리드스크루(430)에 기계적으로 연결된다.Cassette lifting means 400 is the first lifting shaft 410 is vertically fixed to the lower side of the cassette plate 200 and is installed to be movable up and down under the lower frame 110, the first lifting shaft 410 The first vertical movable ball screw (420) is connected to the lower portion of the, the first vertical lead screw 430 is screwed to the first vertical movable ball screw 420 can be rotated below the lower frame (110) Vertically installed, the first lifting motor 440 is mechanically connected to the first vertical lead screw 430.

제 1 승강축(410)은 복수로 이루어지며, 제 1 수직이동볼스크루(420)가 고정되는 제 1 고정플레이트(421)에 의해 복수의 제 1 승강축(410) 하부는 서로 연결되어 제 1 수직이동볼스크루(420)와 함께 제 1 승강축(410)은 수직이동된다.The first lifting shaft 410 is made of a plurality, the lower portion of the plurality of first lifting shafts 410 are connected to each other by the first fixing plate 421 to which the first vertical movable ball screw 420 is fixed The first lifting shaft 410 along with the vertical moving ball screw 420 is vertically moved.

제 1 수직리드스크루(430)는 하단에 결합되는 타이밍풀리(Timing pulley: 431)와 제 1 승강모터(440)의 회전축(미도시)에 결합되는 타이밍풀리(441)가 타이밍벨트(Timing belt: 미도시)에 의해 연결됨으로써 제 1 승강모터(440)의 구동에 의해 회전한다.The first vertical lead screw 430 has a timing pulley 441 coupled to a lower end thereof and a timing pulley 441 coupled to a rotating shaft (not shown) of the first lifting motor 440. It is connected by the rotation of the first lifting motor 440 by being connected by (not shown).

카세트승강수단(400)이 카세트플레이트(200)를 카세트(2)와 함께 수직 상승시 유리기판승강수단(500)의 유리기판지지플레이트(510)도 함께 수직 상승된다.When the cassette lifting means 400 vertically lifts the cassette plate 200 together with the cassette 2, the glass substrate supporting plate 510 of the glass substrate lifting means 500 is also vertically raised.

유리기판승강수단(500)은 카세트승강수단(400)에 의해 상승된 후 하강하는 카세트(2)에 장착된 복수의 유리 기판(1)을 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하도록 지지하며, 검사후 복수의 유리 기판(1)을 하강시켜 카세트(2)에 장착시킨다.The glass substrate elevating means 500 includes a plurality of glass substrates 1 mounted on the cassette 2 which is raised and lowered by the cassette elevating means 400 on the beam path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). It is supported so as to be positioned, and after inspection, the plurality of glass substrates 1 are lowered and mounted on the cassette 2.

유리기판승강수단(500)은 유리기판지지플레이트(510)가 카세트플레이트(200)의 정렬위치에 위치하는 카세트(2)의 하단에 형성된 개구(2a)를 통과할 수 있도록 카세트플레이트(200)의 중심부에 삽입되고, 복수의 유리 기판(1)의 하단이 각각 삽입되어 고정되는 복수의 고정홈(521)이 일정 간격으로 전후로 형성되는 한 쌍의 고정홈어레이(520)가 유리기판지지플레이트(510)의 상측면 양측에 각각 설치되며, 제 2 승강축(530)이 유리기판승강플레이트(510)의 하측에 수직되게 고정됨과 아울러 하부프레임(110)의 하측에 상하로 이동가능하게 설치되고, 제 2 수직이동볼스크루(540)가 제 2 승강축(530)의 하부에 연결되며, 제 2 수직리드스크루(550)가 제 2 수직이동볼스크루(540)에 나사결합되어 회전가능하도록 수직되게 설치되며, 제 2 승강모터(560) 제 2 수직리드스크루(550)에 기계적으로 연결된다.The glass substrate lifting means 500 is configured to allow the glass substrate support plate 510 to pass through the opening 2a formed at the lower end of the cassette 2 located at the alignment position of the cassette plate 200. The glass substrate supporting plate 510 includes a pair of fixing groove arrays 520 inserted into the center portion and having a plurality of fixing grooves 521 inserted and fixed at lower ends of the plurality of glass substrates 1, respectively, at predetermined intervals. The second lifting shaft 530 is fixed to the lower side of the glass substrate lifting plate 510 and is installed on the lower side of the lower frame 110 so as to be movable up and down, respectively. 2 vertical movable ball screw 540 is connected to the lower portion of the second lifting shaft 530, the second vertical lead screw 550 is screwed to the second vertical movable ball screw 540 to be installed vertically rotatable And the second lifting motor 560 to the second vertical lead screw 550. Mechanically connected.

제 2 승강축(530)은 복수로 이루어지며, 제 2 수직이동볼스크루(540)가 고정되는 제 2 고정플레이트(541)에 의해 복수의 제 2 승강축(530) 하부는 서로 연결되어 제 2 수직이동볼스크루(540)와 함께 제 2 승강축(530)은 수직이동된다.The second lifting shaft 530 is formed of a plurality, the lower portion of the plurality of second lifting shaft 530 is connected to each other by the second fixing plate 541, the second vertical movable ball screw 540 is fixed to the second The second lifting shaft 530 along with the vertical moving ball screw 540 is vertically moved.

제 2 수직리드스크루(550)는 하단에 결합되는 타이밍풀리(Timing pulley: 551)와 제 2 승강모터(560)의 회전축(미도시)에 결합되는 타이밍풀리(561)가 타이밍벨트(Timing belt: 미도시)에 의해 연결됨으로써 제 2 승강모터(560)의 구동에 의해 회전한다.The second vertical lead screw 550 includes a timing pulley 551 coupled to a lower end and a timing pulley 561 coupled to a rotation shaft (not shown) of the second lifting motor 560. It is rotated by the driving of the second lifting motor 560 by being connected by.

카세트(2)를 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치하도록 이동시키기 위하여 제 1 및 제 2 승강모터(440,560)의 구동에 의해 제 1 및 제 2 수직리드스크루(430,550)가 각각 회전하여 제 1 및 제 2 수직이동볼스크루(420,540)가 상방으로 각각 이동함으로써 제 1 및 제 2 승강축(410,530)이 카세트플레이트(200)와 유리기판지지플레이트(510)를 상승시켜 카세트(2)를 복수의 유리 기판(1)과 함께 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치하도록 이동시킨다.First and second vertical lead screws 430 and 550 by driving the first and second lifting motors 440 and 560 to move the cassette 2 to the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). ) Rotates, respectively, so that the first and second vertical movement ball screws 420 and 540 move upward, respectively, so that the first and second lifting shafts 410 and 530 raise the cassette plate 200 and the glass substrate support plate 510. The cassette 2 is moved together with the plurality of glass substrates 1 so as to be positioned on the beam movement path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1).

카세트승강수단(400)과 유리기판승강수단(500)에 의해 카세트(2)가 복수의 유리 기판(1)과 함께 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상으로 이동하여 카세트(2)에 장착된 복수의 유리 기판(1) 각각의 상단은 한 쌍의 어퍼가이드(610)의 제 1 지지홈어레이(611)의 지지홈(611a)에 각각 삽입됨과 동시에 제 1 기판감지센서(710)에 의해 복수의 유리 기판(1)이 한 쌍의 어퍼가이드(610)에 도달됨을 감지함으로써 카세트승강수단(400)과 유리기판승강수단(500)의 제 1 및 제 2 승강모터(440,560)의 구동을 정지시킨다.By the cassette lifting means 400 and the glass substrate lifting means 500, the cassette 2 is moved along the plurality of glass substrates 1 on the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1) and the cassette ( The upper ends of the plurality of glass substrates 1 mounted on 2) are respectively inserted into the support grooves 611a of the first support groove array 611 of the pair of upper guides 610, and at the same time, the first substrate detection sensor ( The first and second lifting motors 440 and 560 of the cassette lifting means 400 and the glass substrate lifting means 500 by detecting that the plurality of glass substrates 1 reach the pair of upper guides 610 by 710. Stops driving.

카세트(2)가 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 위치되면(S22), 복수의 유리 기판(1)을 지지하여 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔이동경로상에 고정시킨 다음 카세트(2)만을 하측으로 이동시킨다(S23)When the cassette 2 is positioned on the beam moving path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1) (S22), the plurality of glass substrates 1 are supported to move the beam of the xenon light 10 (shown in FIG. 1). After fixing on the path, only the cassette 2 is moved downward (S23).

카세트(2)만을 하측으로 이동시키는 단계(S23)는 복수의 유리 기판(1) 하단을 카세트플레이트(200)의 중심부로부터 분리되는 유리기판지지플레이트(510)가 지지함과 아울러 복수의 유리 기판(1)의 상단을 어퍼가이드(610)가 지지한 상태에서 카세트승강수단(400)이 카세트플레이트(200)를 하강시켜 카세트(2)만을 하측으로 이동시키게 된다.Moving only the cassette 2 downward (S23) is supported by the glass substrate support plate 510 which is separated from the center of the cassette plate 200 by supporting the lower end of the plurality of glass substrates (1) The cassette lifting means 400 lowers the cassette plate 200 while the upper guide 610 supports the upper end of 1) to move only the cassette 2 downward.

카세트플레이트(200)를 하강시키기 위하여 카세트승강수단(400)의 제 1 승강모터(440)가 구동하여 제 1 수직리드스크루(430)를 회전시킴으로써 제 1 수직이동볼스크루(420)와 제 1 승강축(410)이 카세트플레이트(200)와 함께 하측으로 이동하여 카세트(2)를 원위치시킨다.In order to lower the cassette plate 200, the first elevating motor 440 of the cassette elevating means 400 is driven to rotate the first vertical lead screw 430 to move the first vertical moving ball screw 420 and the first elevating. The shaft 410 moves downward with the cassette plate 200 to return the cassette 2 to its original position.

복수의 유리 기판(1)의 상단을 지지하는 어퍼가이드(610)는 프레임(100)에 설치되어 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로에 위치하는 복수의 유리 기판(1)을 지지하는 유리기판지지수단(600)으로서, 한 쌍으로 이루어져 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로상에 위치하는 복수의 유리 기판(1) 상단을 지지하도록 프레임(100)의 상단, 즉 상부프레임(130)의 양측에 각각 설치된다.Upper guides 610 for supporting the upper ends of the plurality of glass substrates 1 are installed in the frame 100 and positioned in the beam path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1) by the glass substrate lifting means 500. A glass substrate supporting means (600) for supporting a plurality of glass substrates (1), comprising a pair of glass substrate lifting means (500) and positioned on the beam path of the xenon light (10 (shown in FIG. 1)). The upper side of the frame 100, that is, the upper side of the frame 130 so as to support the upper surface of the glass substrate 1, respectively.

어퍼가이드(610)는 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 유리 기판(1)의 상단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 지지홈(611a)이 형성되는 제 1 지지홈어레이(611)가 고정브라켓(612)에 의해 상부프레임(130)에 결합된다.As illustrated in FIG. 6, the upper guide 610 includes a first support groove array 611 in which a plurality of support grooves 611a are formed at predetermined intervals before and after the upper ends of the glass substrates 1 are inserted. It is coupled to the upper frame 130 by a fixing bracket 612.

어퍼가이드(610)의 제 1 지지홈어레이(611)의 전후 길이방향의 양단에 각각 한 쌍의 제 1 기판감지센서(710)가 제 1 센서브라켓(711)에 의해 장착되어 제 1 지지홈어레이(611)에 지지되는 복수의 유리 기판(1)을 감지한다.A pair of first substrate detecting sensors 710 are mounted by the first sensor bracket 711 at both ends of the front and rear longitudinal directions of the first supporting groove array 611 of the upper guide 610, respectively. A plurality of glass substrates 1 supported by 611 are sensed.

한 쌍의 제 1 기판감지센서(710)는 일정한 파장의 빔을 출력하는 발광소자와 발광소자로부터 출력되는 빛을 수신받아 유리 기판(1)을 감지하여 감지신호를 장비의 제어부(미도시)로 출력하는 수광소자로 이루어지며, 발광소자는 발광다이오드를 수광소자는 포토다이오드를 사용함이 바람직하다.The pair of first substrate detection sensors 710 receives a light emitting device for outputting a beam of a predetermined wavelength and light output from the light emitting device, detects the glass substrate 1, and transmits a detection signal to a controller (not shown) of the equipment. It consists of a light-receiving element for output, it is preferable that the light emitting element uses a light emitting diode and the light receiving element uses a photodiode.

유리기판지지수단(600)은 상부프레임(130)의 양측에 각각 설치되며, 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로상에 위치함과 아울러 어퍼가이드(610)가 지지하는 복수의 유리 기판(1)의 규격, 예컨대 1000mm × 1200mm와 다른 규격, 예컨대 730mm × 920mm을 가지는 복수의 유리 기판(3)의 상단을 지지하는 한 쌍의 보조어퍼가이드(640)를 포함할 수 있다.The glass substrate supporting means 600 is installed on both sides of the upper frame 130, and is positioned on the beam path of the xenon light 10 (shown in FIG. 1) by the glass substrate lifting means 500, and the upper guide. A pair of auxiliary upper guides 640 supporting the upper ends of the plurality of glass substrates 3 having a specification different from, for example, 1000 mm × 1200 mm, such as 730 mm × 920 mm, supported by the 610. ) May be included.

보조어퍼가이드(640)는 도 6에서 나타낸 바와 같이, 복수의 유리 기판(3) 상단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 지지홈(641a)이 형성되는 제 2 지지홈어레이(641)가 회전고정브라켓(642)의 일단에 결합되며, 회전고정브라켓(642)은 제 2 지지홈어레이(641)를 상부프레임(130)을 기준으로 상측에 고정시키거나 하측으로 이동시켜 복수의 유리 기판(3) 상단을 지지하도록 타단이 상부프레임(130)에 회전가능하게 고정된다. 따라서, 회전고정브라켓(642)의 일단을 하방으로 회전시켜 고정시킴으로써 제 2 지지홈어레이(641)가 어퍼가이드(610)의 제 1 지지홈어레이(611)를 대신하여 규격이 다른 복수의 유리 기판(3) 상단을 각각 지지한다.As shown in FIG. 6, the auxiliary upper guide 640 rotates the second support groove array 641 in which the plurality of support grooves 641a are formed at predetermined intervals before and after the plurality of glass substrates 3 are inserted. It is coupled to one end of the fixing bracket 642, the rotating fixing bracket 642 is fixed to the upper side or moved to the lower side of the second support groove array 641 based on the upper frame 130 a plurality of glass substrate (3) The other end is rotatably fixed to the upper frame 130 to support the top. Accordingly, by rotating one end of the rotation fixing bracket 642 to be fixed downward, the second support groove array 641 replaces the first support groove array 611 of the upper guide 610 with a plurality of glass substrates having different specifications. (3) Support the upper ends respectively.

카세트(2)만을 하측으로 이동시키는 단계(S23)에서 카세트플레이트(200)의 하강이 시작되면 사이드가이드(620)에 의해 복수의 유리 기판(1)의 양측단을 지지함이 바람직하다. 따라서 카세트(2)가 하측으로 이동할 때 복수의 유리 기판(1)이 진동하는 것을 방지한다.When the cassette plate 200 starts to descend in the step S23 of moving only the cassette 2 downward, the side guides 620 may support both ends of the plurality of glass substrates 1. Thus, the plurality of glass substrates 1 are prevented from vibrating when the cassette 2 moves downward.

복수의 유리 기판(1)의 양측단을 지지하는 사이드가이드(620)는 유리기판지지수단(600)에 포함되고, 한 쌍으로 이루어지며, 유리기판승강수단(500)에 의해 제논라이트(10; 도 1에 도시)의 빔경로상에 위치하는 복수의 유리 기판(1)의 양측단을 각각 가이드하도록 프레임(100)의 양측부, 즉 측부프레임(120)마다 각각 설치된다.Side guides 620 supporting both side ends of the plurality of glass substrates 1 are included in the glass substrate supporting means 600, and are formed in pairs, and the xenon light 10 is formed by the glass substrate lifting means 500; It is provided for each side part of the frame 100, that is, each side frame 120 to guide both side ends of the plurality of glass substrates 1 located on the beam path of FIG. 1, respectively.

사이드가이드(620)는 도 7a 및 도 7b에서 나타낸 바와 같이, 측부프레임(120)에 결합되는 제 1 가이드블럭(621)에 제 1 수평리드스크루(622)가 수평방향으로 관통하여 양단이 회전가능하게 고정되고, 제 1 수평리드스크루(622)를 회전시키기 위하여 제 1 수평리드스크루(622)의 일단에 제 1 가이드구동모터(미도시)의 모터축(미도시)이 기계적으로 연결되며, 제 1 수평리드스크루(622)에 제 1 수평이동볼스크루(623)가 나사결합되고, 제 1 수평이동볼스크루(623)에 일단이 연결되는 복수의 제 1 가이드축(624)이 제 1 가이드블럭(621)에 제 1 수평리드스크루(622)와 나란하게 슬라이딩 가능하게 삽입되며, 복수의 제 1 가이드축(624)의 타단에 가이드홈어레이(625)가 결합된다.As shown in FIGS. 7A and 7B, the side guides 620 may be rotated at both ends by passing the first horizontal lead screw 622 horizontally through the first guide block 621 coupled to the side frame 120. Is fixed, and a motor shaft (not shown) of the first guide driving motor (not shown) is mechanically connected to one end of the first horizontal lead screw 622 to rotate the first horizontal lead screw 622. A plurality of first guide shafts 624 having a first horizontal movable ball screw 623 screwed to the horizontal lead screw 622 and one end thereof connected to the first horizontal movable ball screw 623 are provided in the first guide block. The guide groove array 625 is coupled to the other end of the plurality of first guide shafts 624 and slidably inserted parallel to the first horizontal lead screw 622.

제 1 가이드블럭(621)은 양단에 제 1 수평리드스크루(622)를 회전가능하게 고정시키기 위하여 제 1 회전지지부(621a,621b)가 각각 구비된다.The first guide block 621 is provided with first rotation support portions 621a and 621b, respectively, to rotatably fix the first horizontal lead screw 622 at both ends.

제 1 수평이동볼스크루(623)와 복수의 제 1 가이드축(624)의 일단이 연결되도록 제 1 수평이동볼스크루(623)가 고정되는 제 1 연결부재(623a)가 복수의 제 1 가이드축(624)의 일단에 결합된다. 따라서, 제 1 수평이동볼스크루(623)와 복수의 제 1 가이드축(624)은 함께 수평이동된다.A plurality of first guide shafts include a first connecting member 623a to which the first horizontal movable ball screw 623 is fixed so that one end of the first horizontal movable ball screw 623 and the plurality of first guide shafts 624 are connected. Is coupled to one end of 624. Accordingly, the first horizontal moving ball screw 623 and the plurality of first guide shafts 624 are horizontally moved together.

가이드홈어레이(625)는 일측면에 복수의 유리 기판(1)의 측단이 각각 삽입되도록 전후 일정 간격으로 복수의 가이드홈(625a)이 형성된다.The guide groove array 625 is formed with a plurality of guide grooves 625a at regular intervals before and after the side ends of the plurality of glass substrates 1 are inserted into one side thereof.

사이드가이드(620)는 도 7b에서 도시된 바와 같이, 미도시된 제 1 가이드구동모터의 구동에 의해 제 1 수평리드스크루(622)가 회전하여 제 1 수평이동볼스크루(623)가 복수의 제 1 가이드축(624)을 수평이동시킴으로써 복수의 제 1 가이드축(624)의 타단에 결합된 가이드홈어레이(625)가 복수의 유리 기판(1) 각각의 측단을 지지한다.As shown in FIG. 7B, the side guides 620 are rotated by the first horizontal lead screw 622 by the driving of the first guide driving motor, which is not illustrated. The guide groove array 625 coupled to the other ends of the plurality of first guide shafts 624 supports the side ends of the plurality of glass substrates 1 by horizontally moving the one guide shaft 624.

사이드가이드(620)는 측부프레임(120)에서 높이 조절이 가능하도록 측부프레임(120)에 일정 간격을 두고 수직되게 상단과 하단이 고정브라켓(626)에 의해 각각 고정되는 제 1 수직가이드바(627)에 제 1 가이드블럭(621)이 상하로 슬라이딩 가능하게 결합되어 고정된다. 이 때, 제 1 가이드블럭(621) 내측에는 제 1 수직가이드바(627)를 따라 수직으로 이동하여 원하는 위치에서 고정되도록 공압에 의해 작동하는 공압실린더(미도시)를 구비함이 바람직하다.The side guide 620 is a first vertical guide bar 627, which is fixed by the fixing bracket 626, the top and the bottom of the side frame 120 to be vertically spaced at a predetermined distance so that the height can be adjusted in the side frame 120 ) Is coupled to the first guide block 621 so as to be slidable up and down. At this time, the first guide block 621 is preferably provided with a pneumatic cylinder (not shown) which is operated by pneumatic to move vertically along the first vertical guide bar 627 to be fixed at a desired position.

사이드가이드(620)에는 어퍼가이드(610) 대신에 보조어퍼가이드(640)에 의해 지지되는 복수의 유리 기판(3)을 감지하는 제 2 기판감지센서(720)가 구비됨이 바람직하다.The side guide 620 is preferably provided with a second substrate detection sensor 720 for detecting a plurality of glass substrates 3 supported by the auxiliary upper guide 640 instead of the upper guide 610.

제 2 기판감지센서(720)는 한 쌍으로 이루어지며, 사이드가이드(620)의 가이드홈어레이(625)의 전후 길이방향의 양단에 제 2 센서브라켓(721)에 의해 각각 장착되어 가이드홈어레이(625)에 지지되는 복수의 유리 기판(3)을 감지한다.The second substrate detecting sensor 720 is formed in a pair, and each of the second substrate detecting sensors 720 is mounted by the second sensor bracket 721 at both ends in the longitudinal direction of the guide groove array 625 of the side guide 620 to guide groove arrays. A plurality of glass substrates 3 supported by 625 are sensed.

한 쌍의 제 2 기판감지센서(720)는 일정한 파장의 빔을 출력하는 발광소자와 발광소자로부터 출력되는 빛을 수신받아 유리 기판(3)을 감지하여 감지신호를 장비의 제어부(미도시)로 출력하는 수광소자로 이루어지며, 발광소자는 발광다이오드를 수광소자는 포토다이오드를 사용함이 바람직하다.The pair of second substrate detection sensors 720 receives a light emitting device that outputs a beam of a predetermined wavelength and light output from the light emitting device, detects the glass substrate 3, and transmits a detection signal to a controller (not shown) of the equipment. It consists of a light-receiving element for output, it is preferable that the light emitting element uses a light emitting diode and the light receiving element uses a photodiode.

복수의 유리 기판(1)의 제논빔라이트의 이동경로상에 고정시킨후 카세트(2)만을 하측으로 원위치시키면(S23) 제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 복수의 유리 기판(1)을 향해 빔을 조사시킨다.After fixing the xenon beam light on the moving paths of the plurality of glass substrates 1 and only the cassette 2 is moved downward (S23), the plurality of glass substrates 1 are removed from the xenon lights 10 (shown in FIG. 1). Irradiate the beam toward.

제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 빔을 조사시키는 단계(S30)는 제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 빔을 조사하여 복수의 유리 기판(1)을 통과한 빔이 스크린(20; 도 1에 도시)에 이미지로 투영되도록 한다. 따라서, 복수의 유리 기판(1)중 어느 하나의 유리 기판(1)에 결함이 존재하면 제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 조사된 빔에 의해 스크린(20; 도 1에 도시)에 결함의 이미지로 투영된다.The step S30 of irradiating the beam from the xenon light 10 (shown in FIG. 1) is performed by irradiating the beam from the xenon light 10 (shown in FIG. 1) and passing through the plurality of glass substrates 1 to the screen 20. (Shown in FIG. 1) as an image. Therefore, if a defect exists in any one of the plurality of glass substrates 1, the defect is caused to the screen 20 (shown in FIG. 1) by the beam irradiated from the xenon light 10 (shown in FIG. 1). Is projected as an image.

제논라이트(10; 도 1에 도시)로부터 복수의 유리 기판(1)을 향해 조사된 빔에 의해 스크린(20; 도 1에 도시)에 이미지가 투영되면(S30), 스크린(20; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하는지를 판단한다(S40).When an image is projected onto the screen 20 (shown in FIG. 1) by a beam irradiated from the xenon light 10 (shown in FIG. 1) toward the plurality of glass substrates 1 (S30), the screen 20 (see FIG. 1). In operation S40, it is determined whether an image of a defect exists in the projected image.

스크린(20; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하는지 검사자는 육안관찰에 의해 판단하며, 이 때 프레임(100)을 회전시킴으로써 복수의 유리 기판(1)을 회전시키게 되면 결함의 이미지가 스크린(20; 도 1에 도시)에 보다 선명하게 투영된다.The inspector judges by visual observation whether an image of a defect exists in the image projected on the screen 20 (shown in FIG. 1), and when the plurality of glass substrates 1 are rotated by rotating the frame 100, the defect Is projected more clearly on the screen 20 (shown in FIG. 1).

스크린(20; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하면 결함이 있는 유리 기판(1)을 결정하는 단계(S50)를 실시한다.If an image of a defect exists in the image projected on the screen 20 (shown in FIG. 1), a step S50 of determining the defective glass substrate 1 is performed.

복수의 유리 기판(1)중 어느 유리 기판(1)에 결함이 존재하는지 결정하기 위하여 복수의 유리기판(1)을 하나씩 움직여서 결함의 이미지가 움직일 때 움직였던 유리 기판(1)에 결함이 있는 것으로 결정한다.To determine which glass substrate 1 of the plurality of glass substrates 1 is present, the glass substrate 1 that is moved when the image of the defect is moved by moving the plurality of glass substrates one by one to be defective. Decide

스크린(20; 도 1에 도시)에 투영된 이미지에 결함의 이미지가 존재하지 않거나 결함이 존재하는 유리 기판(1)의 결정을 마치면(S50) 복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착한다(S60). When the image of the defect is not present in the image projected on the screen 20 (shown in FIG. 1) or the determination of the glass substrate 1 in which the defect is present is completed (S50), the plurality of glass substrates 1 are placed on the cassette 2. Mount (S60).

복수의 유리 기판(1)을 카세트(2)에 장착시키기 위하여 제 1 가이드구동모터(미도시)가 구동함으로써 제 1 지지홈어레이(611)가 복수의 유리 기판(1)의 측단으로부터 이격됨과 아울러 유리기판승강수단(500)의 제 2 승강모터(560)가 구동하여 제 2 수직리드스크루(550)가 회전함으로써 제 2 수직이동볼스크루(540)가 복수의 제 2 승강축(530)과 함께 하측으로 이동하여 유리기판지지플레이트(510)를 하강시킨다.The first guide drive motor (not shown) is driven to mount the plurality of glass substrates 1 to the cassette 2, so that the first support groove array 611 is spaced apart from the side ends of the plurality of glass substrates 1. As the second vertical lead screw 550 rotates by driving the second lifting motor 560 of the glass substrate lifting means 500, the second vertical moving ball screw 540 together with the plurality of second lifting shafts 530. The glass substrate support plate 510 is lowered by moving downward.

복수의 유리 기판(1)이 유리기판승강수단(500)에 의해 카세트(2)에 장착될 때 보조사이드가이드(630)에 하강하는 복수의 유리 기판(1)은 보조사이드가이드(630)에 의해 측단이 가이드되어 카세트(2)에 장착되는 것이 바람직하다.When the plurality of glass substrates 1 are attached to the cassette 2 by the glass substrate lifting means 500, the plurality of glass substrates 1 descending to the auxiliary side guide 630 may be formed by the auxiliary side guides 630. It is preferable that the side ends are guided and mounted in the cassette 2.

보조사이드가이드(630)는 유리기판지지수단(600)에 포함되고, 한 쌍으로 이루어지며, 유리기판승강수단(500)에 의해 하강하여 카세트(2)에 장착되는 복수의 유리 기판(1)의 양측단을 각각 가이드하여 유리 기판(1)이 카세트(2) 내측에 형성된 유리기판장착홈(미도시)에 정확하게 끼워지도록 측부프레임(120)마다 각각 설치된다.The auxiliary side guides 630 are included in the glass substrate supporting means 600, and are formed in pairs, and are lowered by the glass substrate lifting means 500 so as to be mounted on the cassette 2 of the plurality of glass substrates 1. Each side end is guided to each side frame 120 so that the glass substrate 1 is correctly fitted into the glass substrate mounting groove (not shown) formed inside the cassette 2.

보조사이드가이드(630)는 도 8a 및 도 8b에서 나타낸 바와 같이, 측부프레임(120)에 결합되는 제 2 가이드블럭(631)에 제 2 수평리드스크루(632)가 수평방향으로 관통하여 양단이 회전가능하게 고정되고, 제 2 수평리드스크루(632)를 회전시키기 위하여 제 2 수평리드스크루(632)의 일단에 제 2 가이드구동모터(미도시)의 모터축(미도시)이 기계적으로 연결되며, 제 2 수평리드스크루(632)에 제 2 수평이동볼스크루(633)가 나사결합되고, 제 2 수평이동볼스크루(633)에 일단이 연결되는 복수의 제 2 가이드축(634)이 제 2 가이드블럭(631)에 제 2 수평리드스크루(632)와 나란하게 슬라이딩 가능하게 삽입되며, 복수의 제 2 가이드축(634)의 타단에 복수의 유리 기판(1)의 측단 각각을 가이드하는 가이드부(635)가 결합된다.As shown in FIGS. 8A and 8B, the auxiliary side guide 630 rotates in both directions by passing the second horizontal lead screw 632 horizontally through the second guide block 631 coupled to the side frame 120. The motor shaft (not shown) of the second guide driving motor (not shown) is mechanically connected to one end of the second horizontal lead screw 632 so as to be fixed and to rotate the second horizontal lead screw 632. The second horizontal movable ball screw 633 is screwed to the second horizontal lead screw 632, a plurality of second guide shaft 634, one end of which is connected to the second horizontal movable ball screw 633, the second guide A guide part is inserted into the block 631 so as to be slidable in parallel with the second horizontal lead screw 632, and guides each side end of the plurality of glass substrates 1 to the other end of the plurality of second guide shafts 634 ( 635 is combined.

제 2 가이드블럭(631)은 양단에 제 2 수평리드스크루(632)를 회전가능하게 고정시키기 위하여 제 2 회전지지부(631a,631b)가 각각 구비된다.The second guide block 631 is provided with second rotation support parts 631a and 631b to rotatably fix the second horizontal lead screw 632 at both ends thereof.

제 2 수평이동볼스크루(633)와 복수의 제 2 가이드축(634)의 일단이 연결되도록 제 2 수평이동볼스크루(633)가 고정되는 제 2 연결부재(633a)가 복수의 제 2 가이드축(634)의 일단에 결합된다. 따라서, 제 2 수평이동볼스크루(633)와 복수의 제 2 가이드축(634)은 함께 수평이동된다.A plurality of second guide shafts include a second connecting member 633a to which the second horizontal movable ball screw 633 is fixed so that one end of the second horizontal movable ball screw 633 and the plurality of second guide shafts 634 are connected. Is coupled to one end of 634. Accordingly, the second horizontal moving ball screw 633 and the plurality of second guide shafts 634 are horizontally moved together.

가이드부(635)는 복수의 제 2 가이드축(634)의 타단에 결합되는 결합부재(635a)에 단면이 "ㄴ"자 형상으로 형성되는 가이드부재(635b)의 중심이 상하로 회전가능하게 힌지결합되고, 가이드부재(635b)의 상단과 하단에 복수의 가이드롤러(635c)가 복수의 유리 기판(1)의 측단을 각각 지지하도록 전후 길이방향으로 일정 간격으로 회전가능하게 결합되며, 복수의 가이드롤러(635c)중 상측에 위치하는 복수의 가이드롤러(635c)가 하측에 위치하는 복수의 가이드롤러(635c)에 비해 유리 기판(1)의 측단을 향해 돌출되도록 결합부재(635a)와 가이드부재(635b)사이에 코일스프링 등의 탄성부재(635d)가 설치된다.The guide part 635 is hinged so that the center of the guide member 635b, which is formed in a "b" shape in cross section, is coupled to the coupling member 635a coupled to the other ends of the plurality of second guide shafts 634. Coupled to the top and bottom of the guide member 635b, the plurality of guide rollers 635c are rotatably coupled at predetermined intervals in the front and rear longitudinal directions so as to respectively support side ends of the plurality of glass substrates 1, and a plurality of guides. The coupling member 635a and the guide member (ie, the plurality of guide rollers 635c positioned on the upper side of the roller 635c protrude toward the side ends of the glass substrate 1 as compared to the plurality of guide rollers 635c positioned on the lower side). An elastic member 635d such as a coil spring is provided between the 635b.

보조사이드가이드(630)는 도 8b에서 도시된 바와 같이, 미도시된 제 2 가이드구동모터의 구동에 의해 제 2 수평리드스크루(632)가 회전함으로써 제 2 수 평이동볼스크루(633)가 복수의 제 2 가이드축(634)을 수평이동시킴으로써 복수의 제 2 가이드축(634)의 타단에 결합된 가이드부(635)가 복수의 유리 기판(1) 각각의 측단을 가이드하여 복수의 유리 기판(1)이 카세트(2)내의 장착홈(미도시)에 정확하게 장착되도록 한다.As shown in FIG. 8B, the auxiliary side guide 630 rotates the second horizontal lead screw 632 by the driving of the second guide driving motor, which is not shown. The guide portion 635 coupled to the other end of the plurality of second guide shafts 634 by horizontally moving the second guide shaft 634 of the plurality of glass substrates 1 guides the side ends of the plurality of glass substrates ( 1) to be correctly mounted in the mounting groove (not shown) in the cassette (2).

보조사이드가이드(630)는 측부프레임(120)에서 높이 조절이 가능하도록 측부프레임(120)에 일정 간격을 두고 수직되게 상단과 하단이 고정브라켓(636)에 의해 각각 고정되는 제 2 수직가이드바(637)에 제 2 가이드블럭(631)이 상하로 슬라이딩 가능하게 결합되어 고정된다. 이 때, 제 2 가이드블럭(631) 내측에는 제 2 수직가이드바(637)를 따라 수직으로 이동하여 원하는 위치에서 고정되도록 공압에 의해 작동하는 공압실린더(미도시)를 구비함이 바람직하다.Auxiliary side guide 630 is a second vertical guide bar that is fixed by the fixing bracket 636 top and bottom vertically at a predetermined interval to the side frame 120 so that the height can be adjusted in the side frame 120 ( The second guide block 631 is slidably coupled to and fixed to the upper and lower portions 637. At this time, the second guide block 631 is preferably provided with a pneumatic cylinder (not shown) operated by pneumatic to move vertically along the second vertical guide bar 637 to be fixed at a desired position.

복수의 유리 기판(1)이 카세트(2)에 장착(S60)되면 카세트고정수단(300)을 구동시켜 카세트플레이트(200)로부터 카세트(2)의 고정을 해제하고, 카세트(2)를 후속공정을 위해 카트(Cart; 미도시)로 이송시키게 된다.When the plurality of glass substrates 1 are mounted on the cassette 2 (S60), the cassette fixing means 300 is driven to release the cassette 2 from the cassette plate 200, and the cassette 2 is subsequently processed. For transportation to a cart (not shown).

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있으며, 유리 기판이 대형, 예컨대 1900mm × 2200mm의 규격을 가지더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지한다.According to the preferred embodiment of the present invention as described above, it is possible to test several glass substrates at the same time to shorten the time and personnel required for inspection and to increase the productivity by reflecting the IN-LINE trend of the process, clean By minimizing the area occupied in the room, it is possible to reduce the cost of securing the installation space. Even if the glass substrate has a large size, for example, 1900 mm × 2200 mm, it can be easily inspected to prevent the occurrence of defects during handling.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법은 여러 장의 유리 기판을 동시에 검사할 수 있도록 함으로써 검사에 소요되는 시간과 인원을 단축함과 아울러 공정의 IN-LINE 추세를 반영함으로써 생산성을 증가시키고, 클린룸내에 차지하는 면적을 최소화하여 설치공간의 확보에 따른 비용을 절감할 수 있으며, 유리 기판이 대형이더라도 용이하게 검사할 수 있어 취급시 불량의 발생을 방지하는 효과를 가지고 있다.As described above, the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention enables the inspection of several glass substrates at the same time, reducing the time and personnel required for inspection and reflecting the IN-LINE trend of the process to improve productivity. In addition, it is possible to reduce the cost of securing the installation space by minimizing the area occupied in the clean room, and the glass substrate can be easily inspected even if the glass substrate is large, thereby preventing the occurrence of defects during handling.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for carrying out the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiment, and as claimed in the following claims, the present invention Without departing from the gist of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains to the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

도 1은 종래의 기술에 따른 유리 기판의 제논 검사시스템을 도시한 개략도이고,1 is a schematic diagram showing a xenon inspection system of a glass substrate according to the prior art,

도 2는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 도시한 흐름도이고,2 is a flowchart illustrating a xenon inspection method of a glass substrate according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치를 도시한 정면도이고,3 is a front view showing a loading / unloading apparatus of a glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치를 도시한 평면도이고,Figure 4 is a plan view showing a loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 플레이트고정수단을 도시한 측면도이고,5 is a side view showing the plate fixing means of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 어퍼가이드를 도시한 정면도이고,6 is a front view showing an upper guide of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention;

도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고,7a and 7b is a front view showing the operation of the side guide of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention,

도 8a 및 도 8b는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치의 보조사이드가이드의 작동을 나타낸 정면도이고,8a and 8b is a front view showing the operation of the auxiliary side guide of the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention,

도 9는 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치에서 카세트가 상승된 상태를 도시한 정면도이고,9 is a front view showing a state in which a cassette is raised in the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention;

도 10은 본 발명에 따른 유리 기판의 제논 검사방법을 실시하기 위한 유리 기판의 로딩/언로딩장치에서 복수의 유리 기판이 상승된 상태를 도시한 정면도이다.10 is a front view illustrating a state in which a plurality of glass substrates are raised in the loading / unloading apparatus of the glass substrate for performing the xenon inspection method of the glass substrate according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 프레임 200 : 카세트플레이트100: frame 200: cassette plate

210 : 롤러 300 : 카세트고정수단210: roller 300: cassette fixing means

310 : 카세트그립퍼 320 : 카세트클램프 310: cassette gripper 320: cassette clamp

400 : 카세트승강수단 500 : 유리기판승강수단400: cassette lifting means 500: glass substrate lifting means

510 : 유리기판지지플레이트 600 : 유리기판지지수단510: glass substrate support plate 600: glass substrate support means

610 : 어퍼가이드 620 : 사이드가이드610: Upper guide 620: Side guide

630 : 보조사이드가이드 640 : 보조어퍼가이드630: auxiliary side guide 640: auxiliary upper guide

Claims

In the xenon inspection method of a glass substrate which detects a defect from the image projected on a screen by the beam which irradiates from a xenon light and passes a glass substrate,

Positioning a cassette having a plurality of glass substrates mounted side by side so as to be spaced apart from each other in a vertical state from an upper side thereof under the beam movement path of the xenon light,

Removing the plurality of glass substrates from the cassette while keeping the plurality of glass substrates mounted on the cassette, and fixing the plurality of glass substrates on the beam moving path of the xenon light;

Irradiating a beam from the xenon light toward the plurality of glass substrates;

Determining whether an image of a defect exists in an image projected onto the screen by a beam irradiated from the xenon light and passed through the plurality of glass substrates;

If the image of the defect is present in the image projected on the screen, moving the plurality of glass substrates one by one to determine that there is a defect in the glass substrate that was moved when the image of the defect moved;

Mounting the plurality of glass substrates to the cassette when the image of the defect is not present in the image projected on the screen or when the determination of the glass substrate in which the defect exists is completed;

Xenon inspection method of the glass substrate comprising a.

The method of claim 1, wherein the fixing of the plurality of glass substrates on the beam movement path of the xenon light,

Moving the cassette located below the beam moving path of the xenon light to an alignment position of the cassette plate and fixing the cassette;

Vertically raising the cassette plate to position the cassette on a beam movement path of the xenon light;

A glass substrate support plate separated from the center of the cassette plate supports the lower ends of the plurality of glass substrates, and the cassette plate is lowered while the upper guide supports the upper ends of the plurality of glass substrates. Step to move

Xenon inspection method of the glass substrate comprising a.

The method of claim 2, wherein in the step of moving only the cassette downwards,

When the cassette plate begins to descend, the guide guides on both sides of the plurality of glass substrates by side guides to prevent vibration of the plurality of glass substrates, characterized in that the glass substrate.

The method of claim 1, wherein in the step of mounting the plurality of glass substrates in the cassette,

When the image of the defect is not present in the image projected on the screen or when the determination of the glass substrate in which the defect is present is completed, a plurality of side surfaces of the descending glass substrates are guided by the guide side to be mounted on the cassette. Xenon inspection method of a glass substrate to be.