KR100462820B1 - 작업공구유닛의 배열을 이용한 가공기계장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 평면 또는 곡면 혹은 그들의 합성면을 갖는 어떠한 3차원적 몸체 위에, 다양한 작업기능을 가진 것으로, 선형 액츄에이터와, 상기 액츄에이터의 하측에 설치되며, 그 하부에 위치하는 작업물에 가하는 힘을 모니터하기 위한 로드 셀 또는 압전 동력계로 이루어지는 힘 센서로 이루어져, 상기 몸체에 설치하는 깊이를 조절 가능하도록 하는 작업공구유닛들을 상기 몸체와 부착되는 부분에 배열하여, 작업물을 독립적으로 또는 연속적으로 가공하는 것을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
- 중심부에 회전축이 설치되며, 원통형으로 형성되는 몸체와;상기 몸체의 일측단으로부터 원주 방향을 따라 바깥 방향을 향하여 일정 간격으로 적어도 한 열 이상 설치되는 것으로, 상기 몸체와 부착되는 부분에, 선형 액츄에이터와, 상기 액츄에이터의 하측에 설치되며, 그 하부에 위치하는 작업물에 가하는 힘을 모니터하기 위한 로드 셀 또는 압전 동력계로 이루어지는 힘 센서로 이루어져, 상기 몸체에 설치하는 깊이를 조절 가능하도록 하는 작업공구유닛으로 구성되어,실린더 보어면과 같은 개구면에 삽입되어 작업하도록 하는 것을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
- 내측이 비어있는 원통각 형상으로 형성되는 몸체와;상기 몸체의 일측단으로부터 원주 방향을 따라 공구가 상기 몸체의 내측 방향을 향하며, 일정 간격으로 적어도 한 열 이상 설치되는 것으로, 상기 몸체와 부착되는 부분에, 선형 액츄에이터와, 상기 액츄에이터의 하측에 설치되며, 그 하부에 위치하는 작업물에 가하는 힘을 모니터하기 위한 로드 셀 또는 압전 동력계로 이루어지는 힘 센서로 이루어져, 상기 몸체에 설치하는 깊이를 조절 가능하도록 하는 작업공구유닛으로 구성되어,상기 몸체의 내측에 작업물을 삽입하여 회전시키면서 작업할 수 있도록 함을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
- 중심부에 회전축이 설치된 판형의 몸체와;상기 몸체를 관통하여 상기 중심부에 대하여 원주방향 또는 상기 중심부로부터 방사상 패턴으로 적어도 한 열 이상 설치되는 작업공구유닛으로 구성되어,판형 또는 렌즈 및 거울형상의 등의 평면 및 완만한 곡면을 작업할 수 있도록 함을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 작업공구유닛은 상기 몸체와 부착되는 부분에, 선형 액츄에이터와, 상기 액츄에이터의 하측에 설치되며, 그 하부에 위치하는 작업물에 가하는 힘을 모니터하기 위한 로드 셀 또는 압전 동력계로 이루어지는 힘 센서로 구성되어,상기 몸체에 설치하는 깊이를 조절 가능함을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
- 제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 작업공구유닛은,상기 몸체의 일측에 원주 방향을 따라 적어도 한 열 이상 설치되는 연삭기계유닛과, 상기 연삭기계유닛에 이웃하여 상기 몸체의 원주 방향을 따라 바깥 방향을 향하여 일정 간격으로 적어도 한 열 이상 설치되는 연마기계유닛으로 구성되는 것을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
- 제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 작업공구유닛은,가공, 증착, 변형, 변질, 검사, 측정 기능을 가진 기계유닛 중 어느 하나 또는 그 이상을 선택적으로 배열하여 하나 또는 그 이상의 해당 작업들을 연속적으로 수행할 수 있도록 함을 특징으로 하는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치.
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
US5144711A (en) * | 1991-03-25 | 1992-09-08 | Westech Systems, Inc. | Cleaning brush for semiconductor wafer |
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US6299698B1 (en) * | 1998-07-10 | 2001-10-09 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge scrubber and method |
-
2001
- 2001-11-23 KR KR10-2001-0073280A patent/KR100462820B1/ko active IP Right Grant
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