KR100450194B1 - Lighting Test and Repair Device for Plasma Display Panel - Google Patents

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KR100450194B1 KR10-2002-0024807A KR20020024807A KR100450194B1 KR 100450194 B1 KR100450194 B1 KR 100450194B1 KR 20020024807 A KR20020024807 A KR 20020024807A KR 100450194 B1 KR100450194 B1 KR 100450194B1
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노철래
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    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
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    • H01J9/50Repairing or regenerating used or defective discharge tubes or lamps

Abstract

리페어가공후의 열적인 손실을 최소화하여 인접 셀에 대한 영향과 유전체 등의 손상을 최소화하므로 플라즈마 디스플레이 패널의 안정성을 확보할 수 있도록, 검사하고자 하는 패널이 장착되고 점등검사를 시행하는 점등검사기와, 10∼20㎛의 미세 스폿을 갖는 레이저빔을 갈바노미터를 이용하여 정밀하게 제어하면서 주사하여 멸점 셀에 대한 리페어를 수행하는 레이저장치와, 레이저장치를 리페어를 행하기 위한 멸점 셀의 위치로 안내하는 이송장치와, 리페어를 행하는 부분을 확대하여 보여주는 확대표시장치를 포함한다. 상기에서 레이저장치는 DPSS 방식으로 이루어지는 레이저발생부와, 레이저빔의 경로를 변경시키는 복수의 미러부와, 미러부 사이에 설치되고 레이저빔을 확장시키는 빔확대부와, 레이저빔을 소정의 형상과 속도 및 중첩율 등을 갖고 주사되도록 유도하는 갈바노미터와, 레이저빔이 10∼20㎛의 미세 스폿을 가지면서 대상물에 조사되도록 안내하는 스캔렌즈를 포함한다.A lighting tester that is equipped with a panel to be inspected and performs a lighting test to ensure stability of the plasma display panel by minimizing thermal loss after repair processing and minimizing the effects on adjacent cells and damage of dielectrics. Laser device having a fine spot of ˜20 μm with a galvanometer for precise control while scanning to perform repair on the dark cell, and guiding the laser device to the position of the dark cell for repair It includes a conveying device and an enlarged display device for enlarging the repaired portion. The laser device includes a laser generating unit made of a DPSS system, a plurality of mirror units for changing the path of the laser beam, a beam expanding unit provided between the mirror units, and extending the laser beam, and the laser beam having a predetermined shape. And a galvanometer for guiding the scanning with a speed, an overlap ratio, and the like, and a scan lens for guiding the laser beam to the object while having a fine spot of 10 to 20 µm.

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치{Lighting Test and Repair Device for Plasma Display Panel}Lighting Test and Repair Device for Plasma Display Panel

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 리페어가공후 열적인 손실을 최소화하여 인접 셀에 대한 영향과 유전체 등의 손상을 최소화하므로 플라즈마 디스플레이 패널의 안정성을 확보할 수 있도록 점등검사를 행하는 상태에서 영상확대기를 통하여 이상방전셀을 보면서 레이저를 이용하여 리페어를 행하는 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel, and more particularly, to minimize the thermal loss after the repair process, thereby minimizing the effects on adjacent cells and damage to dielectrics, thereby ensuring stability of the plasma display panel. The present invention relates to a plasma display panel lighting inspection and repair apparatus which performs repair using a laser while watching an abnormal discharge cell through an image magnifier while the lighting inspection is performed.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(PDP; Plasma Display Panel)의 제조공정중에 점등을 시킨 상태에서 셀의 이상유무를 검사하는 점등검사공정이 있으며, 점등검사시에 셀이 깜박깜박하는 이상방전현상을 나타내는 불량(멸점불량)이 발견되는 경우가 많다.In general, there is a lighting test process that checks for abnormality of a cell while it is turned on during a manufacturing process of a plasma display panel (PDP; Plasma Display Panel). Defective spots) are often found.

상기와 같이 점등검사공정에서 멸점불량이 발견되는 경우에는 점등검사장치에 패널을 장착한 상태에서 작업자가 멸점의 위치를 확인하여 표시를 행하고, 점등검사장치를 소등하고 패널을 리페어장치로 이송하여 멸점에 대한 리페어를 행한 다음, 다시 점등검사장치로 이송하여 리페어 결과를 확인하는 과정을 거쳐 멸점을 암점화하여 양품화하는 리페어를 수행한다.If a defect is found in the lighting inspection process as described above, the operator checks the position of the blinking point while the panel is mounted on the lighting inspection device and displays it.The lighting inspection device is turned off and the panel is transferred to the repair device. After performing the repair on, the transfer to the lighting inspection device again to check the repair result through the process of darkening the dark spots to perform a repair.

종래의 리페어장치는 리페어가공에 사용되는 레이저빔의 스폿(spot) 크기가커서 인접하는 셀 및 가공후면에 위치하는 막에 손상을 줄 가능성이 크다.The conventional repair apparatus has a large spot size of the laser beam used for repair processing, which is likely to damage adjacent cells and films located on the rear surface of the processing.

그리고 종래에는 점등검사장치에서 멸점을 확인하여 표시하고, 리페어장치에서 리페어가공을 수행한 다음, 다시 점등검사장치에서 리페어 결과를 확인하는 과정을 거치므로, 점등검사장치와 리페어장치를 왕복하는 데 많은 시간이 소요되고, 생산성의 저하가 발생한다.In the prior art, the lighting inspection apparatus checks and displays the dark spot, repairs the repair apparatus, and then repairs the lighting inspection apparatus. It takes time and a decrease in productivity occurs.

또 리페어장치에서 패널에 점등을 행하여 멸점을 확인할 수 없으며, 점등검사장치에서만 멸점의 확인이 가능하므로, 작업자의 확인과 표시에 의하여 리페어를 수행하게 되고, 이로 인하여 리페어의 정확도가 저하되고, 품질의 편차가 매우 심하게 되며, 멸점에 인접된 양호한 부분에 대한 리페어를 수행하여 오히려 품질을 크게 훼손시키는 일이 발생한 가능성이 높다.In addition, it is impossible to check the dark spot by lighting on the panel in the repair device, and the dark spot can be confirmed only in the lighting inspection device. Therefore, the repair is performed by the operator's confirmation and indication, which reduces the accuracy of the repair and improves the quality. The deviation is very severe and there is a high possibility that the repair of the good parts adjacent to the dark spots is performed and the quality is largely damaged.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 패널을 점등한 상태로 멸점의 위치를 확인하면서 10∼20㎛의 미세 스폿을 갖는 레이저빔을 이용하여 리페어를 행하므로 열적인 손실을 최소화하여 인접 셀에 대한 영향과 유전체 등의 손상을 최소화할 수 있으며 플라즈마 디스플레이 패널의 안정성을 확보할 수 있고 정확도가 향상된 리페어가공을 수행할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above problems, while minimizing thermal loss since repairing is performed using a laser beam having a fine spot of 10 to 20 μm while confirming the position of the dark spot while the panel is turned on. It is to provide a lighting test and repair device for a plasma display panel that can minimize the effects on adjacent cells and damage to dielectrics, secure stability of the plasma display panel, and perform repair processing with improved accuracy. .

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예를 개략적으로 나타내는 블럭도이다.1 is a block diagram schematically showing an embodiment of a lighting test and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예를 개략적으로 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view schematically showing an embodiment of a lighting test and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예에 있어서 레이저장치의 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이다.3 is a conceptual diagram schematically showing the configuration of a laser device in one embodiment of a lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예에 있어서 레이저장치의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.Figure 4 is a perspective view schematically showing the configuration of a laser device in an embodiment of a lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예를 이용하여 패널에 리페어가공을 행하는 상태를 나타내는 부분확대 단면도이다.5 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating a state in which a repair process is performed on a panel by using an embodiment of a lighting test and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

도 6은 패널의 리페어가공영역을 설명하기 위한 패널의 부분확대 평면도이다.6 is a partially enlarged plan view of a panel for explaining a repair processing region of the panel.

도 7은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예를 이용하여 패널에 리페어가공을 행한 상태를 나타내는 부분확대 단면도이다.7 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating a state in which a repair process is performed on a panel by using an embodiment of a lighting test and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention.

본 발명이 제안하는 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치는 검사하고자 하는 패널이 장착되고 전원을 인가하여 점등검사를 시행하는 점등검사기와, 상기한 점등검사기에 장착된 패널에 10∼20㎛의 미세 스폿을 갖는 레이저빔을 갈바노미터(galvanometer)를 이용하여 정밀하게 제어하면서 주사하여 멸점 셀에 대한 리페어(repair)를 수행하는 레이저장치와, 상기한 레이저장치를 3축방향으로 이송하여 리페어를 행하기 위한 멸점 셀의 위치로 안내하는 이송장치와, 상기한 레이저장치의 헤드부에 장착되어 리페어를 행하는 부분을 확대하여 보여주는 확대표시장치를 포함하여 이루어진다.The lighting test and repair device for a plasma display panel proposed by the present invention includes a lighting tester for mounting a panel to be inspected and applying a power supply to perform a lighting test, and a panel having a size of 10 to 20 μm in the panel mounted to the lighting tester. A laser device that performs a repair on a dark spot cell by scanning a laser beam having a spot with a galvanometer with precise control, and transfers the laser device in three axes to perform repair. It includes a transfer device for guiding to the position of the dark cell to be enlarged, and an enlarged display device mounted on the head portion of the laser device to enlarge the portion to perform a repair.

상기한 레이저장치는 DPSS(diode pumped solid state) 방식으로 이루어지고 레이저빔을 발생시키는 레이저발생부와, 상기한 레이저발생부에서 발생된 레이저빔의 경로를 변경시키는 복수의 미러부와, 상기한 미러부 사이에 설치되고 상기한 레이저발생부에서 발생된 레이저빔을 확장시키는 빔확대부와, 상기한 빔확대부에서 확장되어 상기한 미러부를 통하여 안내되어 입사되는 레이저빔을 소정의 형상과 속도 및 중첩율 등을 갖고 주사되도록 유도하는 갈바노미터와, 상기한 갈바노미터를 통하여 유도되는 레이저빔이 10∼20㎛의 미세 스폿을 가지면서 대상물에 조사되도록 안내하는 스캔렌즈(scan lens)를 포함한다.The laser device includes a laser generating unit for generating a laser beam, a plurality of mirror units for changing a path of a laser beam generated by the laser generating unit, and a mirror as described above. A beam enlarger disposed between the sections and extending the laser beam generated by the laser generation section, and a laser beam extended from the beam enlargement section and guided through the mirror section and incident; A galvanometer for guiding the scan with a rate and the like, and a scan lens for guiding the laser beam guided through the galvanometer to be irradiated onto the object with a fine spot of 10 to 20 μm. .

또 상기한 레이저장치에는 상기한 스캔렌즈의 피사계심도(depth of focus)를 안정적으로 확보할 수 있도록 거리측정센서를 장착하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the laser device be equipped with a distance measuring sensor so as to secure a depth of focus of the scan lens.

상기한 확대표시장치는 광학계를 이용하여 이루어지며, 가공면을 다양한 배율로 확인할 수 있도록 구성한다.The enlarged display device is formed by using an optical system, and is configured to check a processing surface at various magnifications.

다음으로 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, a preferred embodiment of a lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

먼저 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 일실시예는 도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 검사하고자 하는 패널(2)이 장착되고 전원을 인가하여 점등검사를 시행하는 점등검사기(10)와, 상기한 점등검사기(10)에 장착된 패널(2)에 10∼20㎛의 미세 스폿을 갖는 레이저빔을 갈바노미터(46)를 이용하여 정밀하게 제어하면서 주사하여 멸점 셀에 대한 리페어를 수행하는 레이저장치(40)와, 상기한 레이저장치(40)를 3축방향으로 이송하여 리페어를 행하기 위한 멸점 셀의 위치로 안내하는 이송장치(20)와, 상기한 레이저장치(40)의 헤드부에 장착되어 리페어를 행하는 부분을 확대하여 보여주는 확대표시장치(30)를 포함하여 이루어진다.First, an embodiment of a lighting test and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention is a lighting tester for mounting a panel 2 to be inspected and applying a power to perform a lighting test as shown in FIGS. 1 to 4. (10) and a laser beam having a fine spot of 10 to 20 탆 on the panel 2 mounted on the lighting tester 10 described above with a galvanometer 46 while being precisely controlled and scanned on the flicker cell. A laser device 40 for performing a repair, a transport device 20 for guiding the laser device 40 in three axes, and guiding to a position of a dark cell for repairing, and the laser device ( And an enlarged display device 30 mounted on the head of 40 to enlarge and show a repaired portion.

상기한 점등검사기(10)는 일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널의 점등검사시에 사용하는 장치를 이용하여 실시하는 것이 가능하므로 상세한 설명은 생략한다.Since the lighting tester 10 can be generally implemented by using a device used for the lighting test of the plasma display panel, detailed description thereof will be omitted.

상기한 레이저장치(40)는 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, DPSS 방식으로 이루어지고 레이저빔을 발생시키는 레이저발생부(42)와, 상기한 레이저발생부(42)에서 발생된 레이저빔의 경로를 변경시키는 복수의 미러부(43)와, 상기한 미러부(43) 사이에 설치되고 상기한 레이저발생부(42)에서 발생된 레이저빔을 확장시키는 빔확대부(44)와, 상기한 빔확대부(44)에서 확장되어 상기한 미러부(43)를 통하여 안내되어 입사되는 레이저빔을 소정의 형상과 속도 및 중첩율 등을 갖고 주사되도록 유도하는 갈바노미터(46)와, 상기한 갈바노미터(46)를 통하여 유도되는 레이저빔이 10∼20㎛의 미세 스폿을 가지면서 대상물에 조사되도록 안내하는 스캔렌즈(48)를 포함한다.3 and 4, the laser device 40 is made of a DPSS method and generates a laser beam, and the laser beam generated by the laser generator 42 A plurality of mirror portions 43 for changing paths, a beam expanding portion 44 provided between the mirror portions 43 and extending the laser beam generated by the laser generation portion 42, and A galvanometer 46 which extends from the beam expanding unit 44 and guides the laser beam that is guided through the mirror unit 43 to be incident with a predetermined shape, speed and overlap ratio, and the like; It includes a scan lens 48 for guiding the laser beam guided through the galvanometer 46 to be irradiated to the object having a fine spot of 10 to 20㎛.

상기한 갈바노미터(46)와 미러부(43) 사이에는 필요에 따라 어퍼쳐(aperture)(45)를 설치하는 것도 가능하다.It is also possible to provide an aperture 45 between the galvanometer 46 and the mirror portion 43 as necessary.

또 상기한 레이저장치(40)에는 도면에 나타내지 않았지만, 상기한 스캔렌즈(48)의 피사계심도(DOF)를 안정적으로 확보할 수 있도록 거리측정센서를 장착하는 것도 가능하다.Although not shown in the drawings, the laser device 40 may be equipped with a distance measuring sensor so that the depth of field (DOF) of the scan lens 48 can be secured.

상기한 확대표시장치(30)는 일반적으로 측정장치나 검사장치에서 특정부분을 확대 관찰하기 위하여 사용하는 광학계를 이용하여 실시하는 것이 가능하므로 상세한 설명을 생략한다. 상기한 확대표시장치(30)는 리페어를 행하는 가공면을 다양한 배율로 확인할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.Since the enlarged display device 30 can be generally implemented using an optical system used for magnifying and observing a specific portion in a measuring device or an inspection device, a detailed description thereof will be omitted. It is preferable that the enlarged display device 30 is configured so that the repaired surface to be repaired can be checked at various magnifications.

상기한 이송장치(20)는 도 2에 나타낸 바와 같이, X축, Y축, Z축으로 레이저장치(40)를 3차원 이동시킬 수 있도록 구성되고, 일반적으로 자동화기기 등에서 주로 사용하는 LM가이드 등을 이용하여 실시하는 것이 가능하다.As shown in FIG. 2, the transfer device 20 is configured to move the laser device 40 three-dimensionally on the X-axis, Y-axis, and Z-axis, and generally includes an LM guide or the like mainly used in an automation device. It is possible to perform using.

상기한 이송장치(20)는 베이스프레임(21)과, 상기한 베이스프레임(21)에 소정의 간격(레이저장치(40)의 X축 이동거리에 대응하는 간격)을 두고 세워 설치되는 한쌍의 수직지지대(25)와, 상기한 수직지지대(25)의 윗부분에 가로질러 설치되는 수평지지대(23)와, 상기한 수평지지대(23) 및 베이스프레임(21)에 각각 X축방향(도 2에서 좌우방향)으로 설치되는 한쌍의 X축가이드(22)와, 상기한 한쌍의 X축가이드(22)에 각각 미끄럼이동이 가능하게 결합되는 한쌍의 X축이동대(24)에 의하여 지지되는 세로기둥(26)과, 상기한 세로기둥(26)에 Y축방향(도 2에서 상하방향)으로 설치되는 Y축가이드(27)와, 상기한 Y축가이드(27)에 미끄럼이동이 가능하게 결합되는 Y축이동대(28)에 Z축방향(도 2에서 전후방향)으로 미끄럼이동이 가능하게 결합되며 한쪽 끝부분에는 상기한 레이저장치(40)가 설치되는 Z축가이드(29)를 포함하여 이루어진다.The transfer device 20 is a pair of vertically installed in the base frame 21 and the base frame 21 at a predetermined interval (interval corresponding to the X-axis movement distance of the laser device 40). X-axis direction (left and right in Fig. 2) in the support 25, the horizontal support 23 is installed across the upper portion of the vertical support 25, and the horizontal support 23 and the base frame 21, respectively Direction) and a vertical column supported by a pair of X-axis guides 22 installed in a pair of X-axis guides 22 and the pair of X-axis guides 24 which are slidably coupled to the pair of X-axis guides 22, respectively. 26), the Y-axis guide 27 is installed in the vertical column 26 in the Y-axis direction (up and down direction in Figure 2), and the Y-axis guide 27 is coupled to the sliding movement so as to be possible A sliding movement in the Z-axis direction (front and rear direction in Figure 2) is coupled to the shaft movable table 28, and at one end of the laser device ( 40) comprises a Z-axis guide 29 is installed.

상기한 이송장치(20)는 유압(또는 공압)이나 모터 등을 이용하여 상기한 X축이동대(24)와 Y축이동대(28)의 작동을 제어하는 것에 의하여 상기한 레이저장치(40)의 위치를 정밀하게 제어하도록 이루어진다.The conveying apparatus 20 controls the operation of the X-axis moving table 24 and the Y-axis moving table 28 by using hydraulic pressure (or pneumatic) or a motor. It is made to precisely control the position of the.

다음으로 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 작동방법에 대하여 설명한다.Next, a method of operating the lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention configured as described above will be described.

먼저 상기한 점등검사기(10)에 패널(2)을 장착하고 점등스위치(도면에 나타내지 않음)를 온(on)으로 하면, 패널(2)에 전체적으로 발광이 이루어지고, 작업자는 깜빡깜빡하는 이상방전 현상의 불량 셀(멸점 셀)이 있는지를 검사하는 점등검사를 수행한다.First, when the panel 2 is mounted on the lighting tester 10 and the lighting switch (not shown) is turned on, the panel 2 emits light as a whole, and the operator blinks abnormally. A lighting test is performed to check whether there are defective cells (spot cells).

상기한 점등검사에서 멸점 셀이 있는 것으로 확인되는 경우에는, 상기한 이송장치(20)의 X축이동대(24)와 Y축이동대(28)를 작동시켜 레이저장치(40)를 멸점 셀의 위치로 이동시킨 다음, 상기한 레이저장치(40)에 설치되는 확대표시장치(30)를 통하여 멸점 셀의 정확한 위치를 확인하고, 레이저장치(40)를 멸점 셀의 정확한 위치에 위치시키고, 상기한 레이저장치(40)의 갈바노미터(46)에 멸점 셀을 리페어가공하기 위하여 레이저빔을 주사하기 위한 영역(도 6에서 R로 나타냄)을 설정한다.If it is confirmed in the lighting test that there is a flickering cell, the X-axis moving table 24 and the Y-axis moving table 28 of the transfer device 20 are operated to operate the laser device 40 of the flickering cell. After moving to a position, confirm the exact position of the fleck cell through the enlarged display device 30 installed in the laser device 40, and place the laser device 40 in the exact location of the flicker cell, In the galvanometer 46 of the laser device 40, a region (indicated by R in FIG. 6) for scanning a laser beam is set in order to repair the dark spot cell.

상기와 같은 상태에서 도 5와 같이 상기한 레이저장치(40)로부터 주사되는 레이저빔(L)을 설정된 영역에 스캔 주사하여 ITO간격(S)을 확대하는 리페어가공을 행한다. 이 때 레이저장치(40)의 갈바노미터(46)를 통하여 레이저빔(L)이 주사되는 영역을 설정된 영역에 맞추어 스캔 주사하도록 제어하고, 레이저빔(L)이 스캔 주사됨에 따라 리페어가공이 정상적으로 수행되었는지를 상기한 확대표시장치(30)를 통하여 확인한다. 즉 상기한 점등검사기(10)에 장착된 패널(2)에 점등이 된 상태에서 리페어가공을 행하므로 멸점 셀이 암점화되었는지의 여부에 따라 리페어가공의 정상적인 수행여부를 파악하는 것이 가능하다.In the above state, as shown in FIG. 5, the laser beam L scanned from the laser device 40 is scanned in the set area to perform repair processing for enlarging the ITO interval S. FIG. At this time, the scanning area is controlled to scan the laser beam L according to the set area through the galvanometer 46 of the laser device 40. As the laser beam L is scanned and scanned, repair processing is normally performed. It is checked through the enlarged display device 30 as described above. That is, since the repair process is performed while the panel 2 mounted on the lighting checker 10 is turned on, it is possible to determine whether the repair process is normally performed depending on whether the dark spot cell is darkened.

일반적으로 ITO간격(S)은 이웃하는 ITO전극(5) 사이의 간격으로 플라즈마 디스플레이 패널에서 리페어를 수행한다는 것은 이 ITO전극(5)의 일정 부분에 레이저빔(L)을 주사하여 ITO의 전기적인 성질을 개질시켜 전도성을 잃게하여 정상전압이 인가되는 경우에 해당 셀이 암점화되게 하는 것을 의미한다. 이 때에 있어서 조사되는 레이저빔(L)의 일부가 ITO전극(5)을 투과하여 유전체층(6), MgO층(9), 후면패널(4)의 격벽(7)을 손상시키지 않도록 주의할 필요가 있다. 본 실시예에서는 설정된 영역만 정확하게 리페어하도록 523㎚의 파장을 갖는 레이저빔(L)을 사용하며, 주사되는 스폿의 크기는 10∼20㎛의 범위에서 유지하도록 제어한다.In general, the ITO interval S performs repair in the plasma display panel at intervals between the neighboring ITO electrodes 5, so that the laser beam L is scanned on a portion of the ITO electrode 5 to electrically repair the ITO. This means that the cell is darkened when a steady voltage is applied by modifying the property to lose conductivity. At this time, it is necessary to take care that a part of the laser beam L irradiated penetrates the ITO electrode 5 and does not damage the dielectric layer 6, the MgO layer 9, and the partition wall 7 of the rear panel 4. have. In this embodiment, the laser beam L having a wavelength of 523 nm is used to accurately repair only the set area, and the size of the scanned spot is controlled to be maintained in the range of 10 to 20 µm.

상기와 같이 리페어가공을 행하면 도 7에 나타낸 바와 같이 ITO간격(S)이 도 5에 비하여 확대된다.When repairing is performed as described above, the ITO interval S is enlarged as shown in FIG.

도 5∼도 7에 있어서, 부호 (1)은 글래스를 나타내고, 부호 (3)은 전면패널을 나타내고, 부호 (4)는 후면패널을 나타내고, 부호 (8)은 어드레스전극을 나타낸다.5 to 7, reference numeral 1 denotes glass, reference numeral 3 denotes a front panel, reference numeral 4 denotes a rear panel, and reference numeral 8 denotes an address electrode.

상기에서는 점등검사기(10)를 수직으로 설치하고 상기한 레이저장치(40)를 수직면에 대하여 주사하도록 설치하는 것으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 점등검사기(10)를 수평으로 설치하고 상기한 레이저장치(40)를 수평면에 대하여 주사하도록 설치하는 구성으로 실시하는 것도 가능하다. 또 상기한 점등검사기(10)에 장착된 패널(2)을 직접 점등시키지 않고, 레이저장치(40)의 반대쪽에서 별도로 빛을 조사하여 검사 및 리페어를 수행하도록 구성하는 것도 가능하다.In the above description, the lighting tester 10 is installed vertically, and the laser device 40 is installed to scan the vertical plane. However, the present invention is not limited thereto, and the lighting tester 10 is installed horizontally. It is also possible to implement such a configuration that the laser device 40 is installed to scan the horizontal plane. In addition, the panel 2 mounted on the lighting tester 10 may be configured to perform inspection and repair by separately irradiating light from the opposite side of the laser device 40 without directly lighting the panel 2 mounted on the lighting tester 10.

그리고 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치는 패널(2)에 구동보드(도면에 나타내지 않음)를 결합한 상태에서 셀의 결함유무를 검사하고 리페어를 수행하도록 구성하는 것도 가능하다.In addition, the lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention may be configured to inspect a cell for defects and perform repair in a state in which a driving board (not shown) is coupled to the panel 2.

상기에서는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.In the above, a preferred embodiment of the lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention has been described, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. It is possible to implement, and this also belongs to the scope of the present invention.

상기와 같이 이루어지는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치에 의하면, 523㎚의 파장을 가지며 스폿의 크기가 10∼20㎛의 범위로 제어되는 레이저빔을 이용하여 리페어가공을 수행하므로, 유전체층 및 MgO층 등의 손상을 최소화하는 것이 가능하다. 또 갈바노미터를 이용하여 레이저빔의 스캔영역을 정밀하게 제어하는 것이 가능하며 확대표시장치를 통하여 멸점 셀의 정확한 위치를 확인하여 리페어가공을 행하므로, 인접 셀에 대한 영향을 최소화하는 것이 가능하다. 따라서 플라즈마 디스플레이 패널의 안정성을 확보할 수 있다.According to the lighting inspection and repair apparatus for a plasma display panel according to the present invention made as described above, since the repair processing is performed using a laser beam having a wavelength of 523 nm and the spot size is controlled in the range of 10 to 20 ㎛, It is possible to minimize damage to the dielectric layer and the MgO layer. In addition, it is possible to precisely control the scan area of the laser beam by using a galvanometer and to perform repair processing by checking the exact position of the dark spot cell through the enlarged display device, thereby minimizing the influence on the adjacent cells. . Therefore, the stability of the plasma display panel can be secured.

또 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치에 의하면, 점등검사기에 패널을 장착한 상태로 리페어가공을 수행하는 것이 가능하므로, 점등검사후 이동하여 리페어가공을 수행하고 다시 점등검사를 수행하는 종래에 비하여 작업공정이 간단하고 생산성이 크게 향상된다.In addition, according to the lighting test and repair apparatus for the plasma display panel according to the present invention, since the repair processing can be performed while the panel is mounted on the lighting tester, the repair processing is performed after the lighting test is performed, and the lighting test is performed again. Compared to the conventional one, the work process is simple and the productivity is greatly improved.

그리고 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치에 의하면, 구동보드를 패널에 장착하기 전 뿐만아니라 구동보드를 패널에 결합시킨 후에도 점등검사 및 리페어가공이 가능하므로 최종 제품의 양품율 및 품질이 향상된다.In addition, according to the lighting inspection and repair apparatus for the plasma display panel according to the present invention, the lighting inspection and repair processing is possible not only before the driving board is mounted on the panel but also after the driving board is coupled to the panel, so that the yield rate and quality of the final product This is improved.

Claims (3)

검사하고자 하는 패널이 장착되고 전원을 인가하여 점등검사를 시행하는 점등검사기와;A lighting tester equipped with a panel to be inspected and configured to perform a lighting test by applying power; 상기한 점등검사기에 장착된 패널에 갈바노미터에 의하여 제어되는 레이저빔을 주사하여 멸점 셀에 대한 리페어를 수행하는 레이저장치와;A laser device which scans a dark spot cell by scanning a laser beam controlled by a galvanometer on a panel mounted to the lighting tester; 상기한 레이저장치를 3축방향으로 이송하여 리페어를 행하기 위한 멸점 셀의 위치로 안내하는 이송장치; 및A conveying apparatus for conveying the laser apparatus in three axial directions to guide the position of a dark cell for repair; And 상기한 레이저장치의 헤드부에 장착되어 리페어를 행하는 부분을 확대하여 보여주는 확대표시장치를 포함하며,A magnified display device mounted on the head of the laser device to enlarge and show a repaired portion; 상기한 레이저장치는,The laser device described above, DPSS(Diod Pumoed Solid State) 방식으로 이루어지고 레이저빔을 발생시키는 레이저발생부와;A laser generation unit which is made of a DPSS (Diod Pumoed Solid State) method and generates a laser beam; 상기한 레이저발생부에서 발생된 레이저빔의 경로를 변경시키는 복수의 미러부와;A plurality of mirrors for changing a path of a laser beam generated by the laser generator; 상기한 미러부 사이에 설치되고 상기한 레이저발생부에서 발생된 레이저빔을 확장시키는 빔확대부와;A beam expanding unit installed between the mirror units and extending the laser beam generated by the laser generating unit; 상기한 빔확대부에서 확장되어 상기한 미러부를 통하여 안내되어 입사되는 레이저빔을 소정의 형상과 속도 및 중첩율 등을 갖고 주사되도록 유도하는 갈바노미터; 및A galvanometer that extends from the beam enlarger and guides the laser beam that is guided through the mirror to be incident with a predetermined shape, speed, and overlap rate; And 상기한 갈바노미터를 통하여 유도되는 레이저빔이 10∼20㎛의 미세 스폿을 가지며 523㎚의 파장을 가지면서 대상물에 조사되도록 안내하는 스캔렌즈A scan lens for guiding the laser beam guided through the galvanometer to be irradiated to the object with a fine spot of 10 to 20 µm and a wavelength of 523 nm. 를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치.Lighting inspection and repair device for a plasma display panel comprising a. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기한 이송장치는,The above transfer device, 베이스프레임과;A base frame; 상기한 베이스프레임에 소정의 간격을 두고 세워 설치되는 한쌍의 수직지지대와;A pair of vertical supports installed on the base frame at predetermined intervals; 상기한 수직지지대의 윗부분에 가로질러 설치되는 수평지지대와;A horizontal support installed across the upper portion of the vertical support; 상기한 수평지지대 및 베이스프레임에 각각 X축방향으로 설치되는 한쌍의 X축가이드와;A pair of X-axis guides installed in the X-axis direction on the horizontal support and the base frame, respectively; 상기한 한쌍의 X축가이드에 각각 미끄럼이동이 가능하게 결합되는 한쌍의 X축이동대에 의하여 지지되는 세로기둥과;A vertical column supported by a pair of X-axis moving tables that are slidably coupled to the pair of X-axis guides, respectively; 상기한 세로기둥에 Y축방향으로 설치되는 Y축가이드; 및A Y-axis guide installed in the Y-axis direction on the vertical column; And 상기한 Y축가이드에 미끄럼이동이 가능하게 결합되는 Y축이동대에 Z축방향으로 미끄럼이동이 가능하게 결합되며 한쪽 끝부분에는 상기한 레이저장치가 설치되는 Z축가이드Z-axis guide which is slidably coupled in the Z-axis direction to the Y-axis guide that is slidably coupled to the Y-axis guide, and one end of the Z-axis guide is installed 를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치.Lighting inspection and repair device for a plasma display panel comprising a.
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