KR100434408B1 - 컬러 평면 디스플레이용 소자 - Google Patents

Abstract

본 발명은 컬러 평면 디스플레이용 소자에 관한 것으로서, 본 발명은 전자빔의 충돌에 의해 형광체를 발광시키는 소자로서, 유리 재질의 전면판과, 상기 전면판의 상부에 형성되는 그라파이트층 및 형광체층과, 상기 그라파이트층 및 형광체층의 상부에 형성되는 수지 필름층과, 상기 수지필름층 위에 형성되는 알루미늄층을 포함하여 형성되는 스크린에 있어서, 상기 알루미늄층위에 철, 니켈, 크롬 중 적어도 1개 이상을 더 형성시킴으로써 형광체가 발광할 때 발생하는 2차 전자가 상기 스크린판으로 재돌입 하는 현상인 헤일레이션을 방지함과 더불어 상기 알루미늄층의 두께를 줄여 원가를 절감시킬 수 있도록 한 것이다.

Description

컬러 평면 디스플레이용 소자{ELEMENT FOR COLOR FLAT-TYPE DISPLAYS}

본 발명은 컬러 평면 디스플레이에 관한 것으로, 특히 전자빔을 이용한 표시 장치의 경우에 전면 판의 내측에 도포되는 디스플레이 소자에 새로운 금속 재료를 이용한 반사층을 형성시켜 형광체 후면으로부터의 산란 전자 재돌입에 의한 헤일레이션(Halation)을 없앰으로써 콘트라스트가 높은 양호한 화상 품질의 표시 장치를 얻기 위한 컬러 평면 디스플레이용 소자에 관한 것이다.

일반적으로, 컬러 텔레비젼의 화상 표시 소자로서는 브라운관이 주로 사용되어 왔는데, 상기 브라운관은 그 구조적 특성에 기인하여 화면의 전면 크기에 비해 그 전장(Depth)이 상당히 깊어 박형의 텔레비젼 수상기를 제작하는 것은 불가능했다.

그래서, 박형의 평판 화상 표시 장치로서 EL 표시 소자, 플라스마 표시 소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자를 사용하는 장치가 개발되고 있다. 그러나, 이들 모두 휘도, 콘트라스트 및 색 재현성 등의 성능면에서 상기 브라운관에 비하여 불충분한 문제점이 있었다.

따라서, 일본 특허 평3-184247과 평3-205751에서는 브라운관에 버금가는 고품질의 화상을 전자빔을 사용하는 평판 상의 장치에서 표시하는 것을 목적으로 하여, 스크린 상의 화면을 매트릭스 상의 구분으로 분할하고, 각각의 구분마다 전자빔을 편향 주사함으로써 형광체를 발광시켜, 전체적으로는 컬러 텔레비젼의 화면을구성하는 화상 표시 장치를 제시하였다.

이하, 도면을 참조하여 상술한 종래의 화상 표시 장치의 일례에 대해 설명한다.

도 1은 종래의 화상 표시 장치의 구성을 나타낸 것이다.

이에 도시된 바와 같이, 상기 화상 표시 장치는 후면 벽을 이루는 유리 재질의 글래스 용기(1)와, 이 글래스 용기(1)의 전방에 위치하는 평판형의 배면 전극(2)(Back Electrode)과, 이 배면 전극(2)의 전방에 복수본(本) 나열되어 전자를 방출하는 선 형상의 선음극(3)(Cathode Filament)과, 이 선음극(3)의 전방에 위치하고 복수개의 관통공이 소정의 간격으로 형성된 평판형의 전자빔 인출 전극(4)(Control Electrode)과, 이 전자빔 인출 전극(4)의 전방에 위치하여 상기 전자빔 인출 전극(4)의 관통공을 통과한 전자를 조절하는 복수개의 밴드 형상으로 나열된 신호 전극(5)(Signal Modulation Electrode)과, 이 신호 전극(5)의 전방에 위치하여 복수개의 슬롯이 소정의 간격으로 형성된 평판형의 집속 전극(6)(Focusing Electorde)과, 이 집속 전극(6)의 전방에 위치하여 빗(Comb)살 모양의 평판 2장이 수직으로 겹쳐 형성된 수평 편향 전극(7)(Horizontal Deflection Electrode)과, 이 수평 편향 전극(7)의 전방에 위치하여 빗(Comb)살 모양의 평판 2장이 수평으로 겹쳐 형성된 수직 편향 전극(8)(Vertical Deflection Electrode)과, 이 수직 편향 전극(8)의 전방에 위치하여 상기 글래스 용기(1)과 접합 결합됨으로써 상기 구성요소들을 모두 포함하고 그 내부를 진공으로 유지하는 전면 판(9)(Face plate)을 포함하여 구성된다.

상기 선 음극(3)은 수평 방향으로 일정하게 분포하는 전자빔을 발생시키도록 수평 방향으로 설치되어 있고, 이러한 선 음극(3)은 적당 간격을 유지하며 수직 방향으로 복수 본(本)(여기서는 4본(本)만 나타내고 있다)설치되어 있다. 이들 선 음극(3)은, 예를 들어 텅스텐 선의 표면에 산화물 음극 재료가 도포되어 구성된다.

상기 배면 전극(2)은 평판상의 도전 재료로 되어 있고, 선 음극(3)에 대해 평행으로 설치되어 있다.

상기 전자빔 인출 전극(4)는 선 음극(3)의 전방쪽 스크린 방향에 위치하며 상기 배면 전극(2)과 대향하고, 수평 방향으로 적당 간격으로 설치된 관통공(4a)의 열들이 각 선 음극(3)에 대향하는 수평선 상에 위치하도록 형성된 도전판으로 되어 있다.

상기 신호 전극(5)은 상기 인출 전극(4)에 형성된 관통공(4a)들 각각에 서로 대향하는 위치에 소정의 간격으로 복수개 배치된 수직 방향으로 가늘고 긴 도전판의 열로 되어 있다. 각 도전판은 상기 인출 전극(4)의 관통공(4a)에 서로 대향하는 위치에 복수개의 동일한 모양의 관통공(5a)을 가지고 있다.

상기 집속 전극(6)은 상기 신호 전극(5)의 관통공(5a) 각각에 대향하는 위치에 관통공(6a)을 갖는다.

상기 수평 편향 전극(7)은 동일 평면에 소정의 간격으로, 수직 방향으로, 서로 맞물린 2매의 빗(Comb) 형상의 단부로 연결된 도전판으로 구성되어 있다.

상기 수직 편향 전극(8)은 동일 평면에 소정의 간격으로, 수평 방향으로, 서로 맞물린 2매의 빗(Comb) 형상의 단부로 연결된 도전판으로 구성되어 있다.

상기 전면 판(9)의 내면에는 전자빔의 조사에 의해 발광하는 형광체가 도포어 스크린(20)을 이루게 된다.

그리고, 상기 스크린(20)은, 도 3 에 도시된 바와 같이, 일반적으로 상기 전면 판(9)의 상부에 그라파이트층(21) 및 형광체층(22)이 도포되고, 상기 그라파이트층 및 형광체층 상부에 알루미늄층(23)을 도포하여 구성된다.

또한, 전술한 인출 전극(4), 신호 전극(5), 집속 전극(6) 및 수평 편향 전극(7), 수직 편향 전극(8)은 각각 절연성의 접착제(미도시)로 접합되어 있다.

즉, 상기한 구성 요소들이 일정한 간격으로 화상 표시 장치의 내부에 배열되어 있다.

이하, 상기한 화상 표시 장치의 동작에 대하여 설명한다.

도 1을 참고하여, 먼저, 상기 선 음극(3)에는 전자의 방출을 용이하게 하기 위하여 전류를 흘려 가열한다. 상기 선 음극(3)이 가열된 상태에서 상기 배면 전극(2), 선 음극(3) 및 인출 전극(4)에 적당한 전압을 인가함으로써 상기 선 음극(3) 표면으로부터 시트-상(Sheet-Phase)의 전자빔이 방출된다.

상기 시트-상 전자빔은 상기 인출 전극(4)의 관통공(4a)에 의해 복수 개로 분할되어 다수의 전자빔 류(流)(11)(Bundle)(제 1 도에는 1개의 전자빔류만 표현)로 형성된다.

그리고, 상기 전자빔 류(11)은 신호 전극(5)에 인가되는 영상 신호에 대응하여 상기 신호 전극(5)에 의해 그 통과량이 제어되어 각 전자빔 류(11) 개별로 조절된다.

다음으로, 상기 신호 전극(5)을 통과한 전자빔은 집속 전극(6)의 관통공(6a)의 정전 렌즈 효과에 의해 집속, 정형된 후 수평 편향 전극(7)의 서로 인접하는 도전판 및 수직 편향 전극(8)의 서로 인접하는 도전판에 가해지는 전위차에 의해 수평 및 수직으로 편향된다.

그리고, 상기 스크린(20)의 그라파이트 층(21)에는 고전압(예를 들어 10kV)이 인가됨으로 인해 상기 전자빔은 고 에너지로 가속되어 상기 그라파이트 층(21)에 충돌하여 상기 전면판의 내면에 형성된 형광체를 발광시킨다.

더 상세히 설명하면, 상기 텔레비젼의 화면을 매트릭스 형태로 분할하고, 상기 화면을 그 구분된 소구분(10)의 집합체로 설정했을 때, 각 소구분(10)에 대해 상술한 것과 같이 하여 분리된 전자빔을 각 1본 씩 대응시킴으로써 상기 전자빔을 각 소구분 내에만 편향, 주사하는 것에 의해 표현하고자 하는 전체 화면을 스크린(20) 상에 비추어 내는 것이 가능하다.

또한, 각 화상에 대응하는 적색(R),녹색(G),청색(B)의 영상 신호를 상기 신호 전극(5)으로 제어하는 것에 의해 텔레비젼 동화상을 재현하는 것이 가능하다.

그러나, 종래 평판형 화상 표시 장치에서는 평판형 표시 장치의 양극부에 전자빔을 조사시킬 경우에 상기 전자빔이 조사된 부분의 주위가 희미하게 빛나는 헤일레이션(Halation) 현상이 발생한다.

상기 헤일레이션 현상은 상기 스크린(20)을 이루는 형광체층에 상기 전자빔이 충돌하여 발광한 후, 안착된 전자빔의 일부가 재차 상기 형광층에 재돌입함으로 인해 발생한다.

특히, 양극의 전압이 높을 경우에는 그 현상이 더욱 현저하게 나타난다. 이 때문에 상기 화상 표시 장치의 콘트라스트가 저하되고 선명한 화상을 얻을 수 없게 되어 화상 성능면에 있어서 큰 문제점으로 대두되고 있다.

상기한 바와 같은 해결 방법으로서, 종래의 특허로는 일본 특허 특개평5-314392, 특개평6-231701, 특개평7-141998이 개시되어 있다.

먼저, 일본 특허 특개평5-314932에서는 형광체층의 상부에 알루미늄 층을 형성하고, 이 알루미늄 층의 두께를 조정하는 것에 의하여 전자빔의 돌입 시에 발생하는 2차 전자빔의 재돌입 효율을 30% 이하까지 억제한다. 그리고, 페이스 플레이트 위의 알루미늄 층의 전압이 10kV인 경우 두께가 2000Å∼3500Å, 9kV의 경우 1500Å∼3000Å, 8kV인 경우 1500Å∼2000Å이 되도록 구성하는 것을 개시하였다.

그리고, 일본 특허 특개평6-231701에서는 페이스 유리의 내면에 형광체와 알루미늄 막과 탄소막 또는 붕소 합유막이 적층되고, 상기 알루미늄 막의 형광체측에 대향하는 면에 미소한 요철이 형성됨을 개시하고 있다.

그리고, 상기 탄소막 또는 붕소 함유막의 두께는 알루미늄 막의 두께보다 두꺼워야 하며 상기 탄소막에는 가스 배기 구멍이 형성되고 이 가스 배기 구멍은 블랙 매트릭스의 흑연과 대응하여 형성됨을 개시하고 있다.

또한, 상기 탄소막의 평균 입자 직경은 1㎛ 이하의 흑연 입자를 1㎛ 이하의 두께로 적층시켜야 하며, 상기 탄소막 대신 붕소막을 증착 및 스퍼터링 등에 의해형성하는 것을 개시하고 있다.

그리고, 또한 상기 적층막 중 알루미늄 층을 소정의 필름 위에 미리 형성시키는 전사법을 이용하여 상기 형광층 위에 형성시키는 것을 개시하고 있다.

그리고, 일본 특허 특개평 7-141998에서는 알루미늄 층위에 적층되는 탄소막이 두께와 지름의 비가 1:10 이상으로 구성되고, 구(Sphere) 체적 환산 평균 입경이 2㎛ 이하인 흑연 미립자의 적층에 의해 형성되어 구성됨을 개시하고 있다.

그리고, 또한 상기 탄소층은 흑연미립자를 단위 면적당 20㎍/㎠∼220㎍/㎠의 양으로 적층하는 방법에 대하여 개시하고 있다.

상기 특허들의 대표적인 실시예는, 도 3에 도시된 구성과 같다.

그러나, 상기한 특허들은 위에 제기된 헤일레이션 현상과 같은 문제점을 해결하는 데에는 미약하였다.

상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 도출된 본 발명은 페이스 유리위에 적층된 형광체 층위에 종래의 탄소나 붕소 대신에 철이나 니켈 등의 재료를 형성시켜 전자빔을 이용한 표시 장치의 형광체로부터의 후면 산란전자의 재돌입에 의한 헤일레이션을 없애고 콘트라스트가 높은 컬러 평면 디스플레이용 소자를 제공하는 데에 있다.

도 1은 일반적인 컬러 평면 디스플레이 장치의 구성을 나타낸 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 소자의 부분 단면도.

도 3은 종래 컬러 평면 디스플레이에 포함되는 디스플레이 소자의 단면을 나타낸 개략 단면도

도 4는 본 발명 컬러 평면 디스플레이 소자의 제 1 실시예를 나타낸 개략 단면도.

도 5는 본 발명 컬러 평면 디스플레이 소자의 제 2 실시예를 나타낸 개략 단면도.

도 6은 본 발명 컬러 평면 디스플레이 소자를 제작하는 방법의 제 2 실시예를 나타낸 개략 단면도.도 7은 본 발명 컬러 평면 디스플레이 소자를 제작하는 방법의 제 3 실시예를 나타낸 개략 단면도.

도 8은 종래의 스크린과 본 발명 컬러 평면 디스플레이용 소자가 적용된 스크린에 있어서 알루미늄 층의 두께의 감소를 나타낸 개략도.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

9 : 전면 벽 200 : 스크린

210 : 그라파이트 층 220 : 형광체층

230 : 수지 필름층 231 : 이형 수지 필름층

240 : 알루미늄층 250 : 철

260 : 니켈 300 : PET 필름

400 : 수지 접착제 500 : 제 1 서브 스크린

600 : 제 2 서브 스크린 700 : 펠릿

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 전자빔의 충돌에 의해 형광체를 발광시키는 소자로서, 유리 재질의 전면판과, 상기 전면판의 상부에 형성되는 그라파이트 층과, 상기 그라파이트 층의 상부에 형성되는 형광체층과, 상기 형광체층의 상부에 형성되는 수지 필름층과, 상기 수지필름층 위에 형성되는 알루미늄층을 포함하여 형성되는 스크린에 있어서, 상기 알루미늄층위에 철, 니켈, 크롬 중 적어도 1개 이상이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자가 제공된다.

이하, 본 발명 컬러 평면 디스플레이용 소자를 첨부한 도면에 근거하여 상세히 설명한다.

본 발명은, 특히 도 1에 기재된 구성요소 중, 실질적으로 화면이 형성된 전면 판(9)(Face plate)의 내측면에 도포된 스크린(20)에 관련된다.

이하, 본 발명 컬러 평면 디스플레이용 소자인 스크린(200)의 구성 실시예에 대하여 상세히 설명한다.

상기 스크린(200) 구성의 첫 번째 실시 예는, 도 4에 도시된 바와 같이, 유리 재질의 전면판(9) 위에 그라파이트층(210) 및 형광체층(220)과, 그 위에 도포되는 수지 필름층(230)과, 그위에 도포되는 알루미늄층(240)과, 그위에 도포되는 철(250)이 상기 순서대로 적층되어 구성된다.

상기 스크린(200) 구성의 두 번째 실시 예는, 도 5에 도시된 바와 같이, 유리 재질의 전면판(9) 위에 그라파이트층(210) 및 형광체층(220)과, 그 위에 도포되는 수지 필름층(230)과, 그위에 도포되는 알루미늄층(240)과, 그위에 도포되는 니켈(260)이 상기 순서대로 적층되어 구성된다.

상기 철(250) 및 니켈(260)은 크롬 재질로 대체하여 사용할 수 도 있다.

이하, 본 발명 컬러 평면 디스플레이용 소자인 스크린(200)을 제작하는 방법의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.

먼저, 상기 스크린(200) 구성의 첫번째 실시예와 두번째 실시예를 제작하는 방법의 첫번째 실시예로서 전면 판(9)위에 적층된 그라파이트 층(210)위에 형광체 층(220)을 적층시킨 후, 그 위에 다시 수지필름층(230)을 적층시킨 후 알루미늄 층(240)을 증착법 또는 스퍼터링법으로 형성시킨다. 그리고, 2차 전자의 방사 억제 물질인 철(250) 또는 니켈(260)을 상기 알루미늄층(240) 위에 증착법 또는 스퍼터링법으로 각각 형성시킨다.

다음으로, 상기 스크린(200)을 제작하는 방법의 두 번째 실시예는, 도 6에 도시된 바와 같이, 먼저, 유리 재질의 전면 판(9)위에 적층된 그라파이트 층(210), 형광체 층(220) 및 수지필름층(230)을 적층시켜 제 1 서브 스크린(500)을 형성시킨다.

그 후, 전사필름인 PET 필름(300)위에 이형수지층(231)을 형성하고 철(250) 또는 니켈(260)을 증착법 또는 스퍼터링법으로 형성시킨 후, 그 위에 다시 알루미늄 층(240)을 증착법 또는 스퍼터링법으로 형성시킨 후, 그 위에 접착제(400)를 0.5∼5.0㎛ 두께로 도포하여 제 2 서브 스크린(600)을 형성시킨다.

다음으로, 상기 제 1 서브 스크린(500)과 상기 제 2 서브 스크린(600)을 미리 도포된 상기 접착제(400)를 이용하여 접합시킨다.

마지막으로, 상기 제 2 서브 스크린(600)에 형성된 PET 필름(300)을 제거한다.

다음으로, 상기 스크린(200)을 제작하는 방법의 세 번째 실시예는, 도 7에 도시된 바와 같이, 유리 재질의 전면 판(9) 위에 그라파이트 층(210)과, 그 위에 형광체 층(220)과, 그 위에 수지 필름층(230)층을 적층하고, 그 위에 적층될 알루미늄 층(240)과 철(250) 또는 니켈(260)을 알루미늄과 철 또는 알루미늄과 니켈 또는 알루미늄과 크롬(미도시)으로 클래드(Cladded)된 펠릿(Pellet)(700)을 이용하여 증착법 또는 스퍼터링법으로 연속하여 형성시킨다.

상기와 같은 방법으로 제작된 2차 전자 재돌입 방지막을 포함하는 스크린(200)은 철(250) 또는 니켈(260) 또는 크롬(미도시) 등의 금속층을 형성하는 것에 의해 상기 스크린(200)에 전자빔이 입사할 때 발생하는 2차 전자의 스크린판으로의 재돌입이 방지된다.

따라서 종래에 비하여 더 얇은 알루미늄 층(240)의 두께만으로도 헤일레이션 현상을 방지할 수 있게 되어 상기 스크린(200)에 사용되는 알루미늄 층(240)의 사용량을 억제시켜 원가 절감의 효과를 갖게 된다.

즉, 전자빔의 재돌입 율을 30% 이하로 억제할 수 있는 알루미늄 층의 두께는 다음과 같이 종래에 비하여 감소하게 된다.

즉, 전면 판(9) 위의 알루미늄 층의 전압이 11kV인 경우 상기 알루미늄층의 두께는 1000Å∼2500Å, 10.0∼10.9 kV의 경우 500Å∼2000Å, 9.0∼9.9kV인 경우 500Å∼1000Å, 8.0∼8.9kV인 경우 300∼700Å으로 형성된다.

도 8은 종래의 스크린과 본 발명 컬러 평면 디스플레이용 소자가 적용된 스크린에 있어서, 알루미늄 층(240)의 두께의 감소를 나타낸 개략도이다.

본 발명의 효과는 전자빔을 이용한 표시장치의 형광체로부터의 후면 산란 전자의 재돌입에 의한 헤일레이션을 없애고 콘트라스트가 높은 양호한 화상 품질의 표시 장치를 용이하게 얻을 수 있으므로 공정 및 품질 개선과 재료비 절감이 가능하다.

Claims (11)

1. 전자빔의 충돌에 의해 형광체를 발광시키는 소자로서, 유리 재질의 전면판과, 상기 전면판의 상부에 형성되는 그라파이트층 및 형광체층과, 상기 그라파이트층 및 형광체층의 상부에 형성되는 수지 필름층과, 상기 수지필름층 위에 형성되는 알루미늄층을 포함하여 형성되는 스크린에 있어서,

   상기 알루미늄층위에 금속층이 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 금속층은 주성분이 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr)중 적어도 하나 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자.
3. 제 1 항에 있어서, 전면 판 위의 알루미늄 층에 인가되는 전압이 11kV인 경우에는 상기 알루미늄층의 두께를 1000Å 이상 2500Å 이하로 형성되고,

   10.0∼10.9kV인 경우에는 500Å 이상 2000Å이하로 형성되고,

   9.0∼9.9kV인 경우에는 500Å 이상 1000Å 이하로 형성되고,

   8.0∼8.9kV인 경우에는 300Å 이상 700Å 이하로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자.
4. 전자빔의 충돌에 의해 형광체를 발광시키는 소자로서, 스크린은 유리 재질의 전면판위에 그라파이트 층, 형광체층, 수지 필름층, 알루미늄층, 금속층이 형성되고, 상기 금속층은 알루미늄층위에 증착법 또는 스퍼터링법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 금속층은 주성분이 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr)중 적어도 하나 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.
6. 전자빔의 충돌에 의해 형광체를 발광시키는 소자로서, 유리 재질의 전면판위에는 그라파이트 층, 형광체 층을 적층시켜 제 1 서브 스크린을 형성하는 단계와;

   PET 필름위에 금속층을 증착법 또는 스퍼터링법으로 형성시킨 후, 그 위에 다시 알루미늄 층을 증착법 또는 스퍼터링법으로 형성시킨 후, 그 위에 접착제를 0.5∼5.0㎛ 두께로 도포하여 제 2 서브 스크린을 형성하는 단계와;

   상기 제 1 서브 스크린과 상기 제 2 서브 스크린을 미리 도포된 상기 접착제를 이용하여 접합시키는 단계와;

   상기 제 2 서브 스크린에 형성된 PET 필름을 제거하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 금속층은 주성분이 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr)중 적어도 하나 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자.
8. 제 6 항에 있어서, 상기 PET 필름은 전사 필름인 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.
9. 전자빔의 충돌에 의해 형광체를 발광시키는 소자로서, 스크린은 유리 재질의 전면판위에 그라파이트 층, 형광체층, 수지 필름층, 알루미늄층, 금속층이 형성되고,

   상기 금속층은 수지필름층 위에 클래드된 펠릿을 이용하여 증착법 또는 스퍼터링법으로 연속적으로 형성하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 클래드된 팰릿은 알루미늄과 철 또는 알루미늄과 니켈 또는 알루미늄과 크롬중 적어도 하나 이상으로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.
11. 제 4 항, 제 6 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 형성되는 알루미늄 층은 그것에 인가되는 전압이 11kV인 경우에는 상기 알루미늄층의 두께를 1000Å 이상 2500Å 이하로 형성하고,

    10.0∼10.9kV인 경우에는 500Å 이상 2000Å이하로 형성하고,

    9.0∼9.9kV인 경우에는 500Å 이상 1000Å 이하로 형성하고,

    8.0∼8.9kV인 경우에는 300Å 이상 700Å 이하로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러 평면 디스플레이용 소자의 제조 방법.