KR100412153B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법 - Google Patents

반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 전방에 테스트할 반도체 소자를 공급 및 테스트 완료된 반도체 소자를 받는 버퍼셔틀이 구비되고, 후방에 반도체 소자를 접속시켜 테스트를 수행하는 테스트 소켓이 구비되며, 제 1인덱스장치와 제 2인덱스장치가 상기 버퍼셔틀과 테스트 소켓의 상측 사이를 교번으로 왕복 이동하면서 버퍼셔틀과 테스트 소켓에 반도체 소자를 로딩 및 언로딩시켜주도록 된 핸들러의 테스트 사이트에서 상기 제 1,2인덱스장치를 초기화시키는 방법에 있어서, 상기 테스트 사이트의 측면부에 전후방향으로 복수개의 전후 위치감지용 센서를 등간격으로 배치하고, 테스트 사이트의 전방 또는 후방에 상하방향으로 복수개의 상하 위치감지용 센서를 등간격으로 배치하는 단계; 상기 전후 위치감지용 센서와 상하 위치감지용 센서로 제 1,2인덱스장치 각각의 전후방향 위치 및 상하방향 위치를 감지하는 단계; 상기 단계에서 감지된 제 1,2인덱스장치의 위치를 근거로 핸들러의 인덱스장치 제어부에서 제 1,2인덱스장치의 이동 순서 및 방향을 결정하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법이 제공된다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법{Method for initializing of index robot in semiconductor test handler}
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 특히 핸들러의 테스트 사이트에서 테스트 대상 혹은 테스트 완료된 반도체 소자를 픽업하여 소정의 위치로 이송하여 주는 인덱스장치들을 초기화할 때 인덱스장치 간의 간섭 현상이 발생하지 않고 원활한 초기화작업이 이루어질 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법에 관한 것이다.
일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 되는데, 수평식 핸들러는 이러한 반도체 소자들 중 주로 비메모리 반도체 패키지인 QFP, BGA, PGA, SOP 등의 각종 로직 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 수평상태로 이송시키면서 수평하게 배치된 테스트 사이트에서 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하도록 된 것이다.
상기 테스트 사이트에서는 테스트할 반도체 소자들이 테스트용 소켓에 장착되며 전기적으로 접속되어 소정의 시간동안 테스트가 수행된 후 다시 주변에 대기하고 있는 트레이 또는 셔틀 등에 언로딩되는데, 이와 같이 테스트할 반도체 소자를 테스트소켓에, 그리고 테스트소켓의 테스트 완료된 반도체 소자를 언로딩 트레이 또는 언로딩 셔틀에 연속하여 자동으로 이송 및 장착하여 주는 작업을 수행하는 장치가 인덱스장치들로, 통상 핸들러의 테스트사이트에는 원활하고 신속한 작업을위해 2개의 인덱스장치가 구비된다.
이러한 인덱스장치는 핸들러의 반도체 소자 테스트에 소요되는 시간을 결정하는 주요 요소중 하나로, 최근의 인덱스장치는 인덱스장치에 의해 테스트할 반도체 소자를 테스트소켓으로 이송하여 장착하는 시간, 즉 인덱스타임을 최소화하는 것을 주목적으로 하여 개발이 이루어지고 있다.
그런데, 종래에는 상기와 같은 2개의 인덱스장치들의 각각의 로딩/언로딩위치(반도체 소자를 픽업 및 놓는 위치)와 테스트 소켓 접속위치가 다르게 구성되는 것이 일반적이므로 인덱스장치를 초기화하는데 문제가 없으나, 2개의 인덱스장치의 로딩/언로딩위치 및 접속위치가 동일하게 구성되는 경우에는 초기화작업시 인덱스장치들이 간섭을 일으켜 충돌되는 등의 문제가 있었다.
즉, 도 1에 도시된 것과 같이, 테스트할 반도체 소자를 공급하고 테스트된 반도체 소자를 받는 버퍼셔틀(2)이 핸들러의 테스트 사이트의 일측에 위치하며, 그 반대편에 반도체 소자를 전기적으로 접속시켜 테스트를 수행하는 테스트 소켓(3)이 위치하여, 2개의 제 1인덱스장치(4)와 제 2인덱스장치(5)가 상기 버퍼셔틀(2)과 테스트소켓(3) 사이를 교번으로 왕복 이동하면서 반도체 소자를 이송하도록 구성된 경우, 어떤 요인에 의해 테스트 작업이 중단되고 핸들러를 초기화시킬 때, 즉 제 1,2인덱스장치(4, 5)들을 테스트 사이트의 어느 한 위치로 보낼 때 제 1인덱스장치(4)와 제 2인덱스장치(5)가 서로 간섭을 일으키는 경우가 발생하였다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 인덱스장치를 초기화할 때 핸들러의 인덱스장치 제어부에서 각 인덱스장치들의 위치를 자동으로 인지하여 각 인덱스장치의 이동 순서와 방향을 지정할 수 있도록 함으로써 초기화시 인덱스장치들 간의 간섭 현상이 발생하는 방지하고, 이로써 원활한 초기화작업을 수행할 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법에 관한 것이다.
도 1은 종래의 핸들러의 인덱스장치가 설치된 테스트 사이트의 구성을 개략적으로 나타낸 평면 구성도
도 2는 도 1의 테스트 사이트의 측면 구성 및 인덱스장치들의 작동을 개략적으로 나타낸 도면
도 3은 본 발명에 따른 인덱스장치 초기화방법이 적용된 테스트 사이트의 측면 구성도
도 4는 도 3의 테스트 사이트의 평면 구성도
도 5는 도 3의 테스트 사이트의 정면 구성도
도 6은 본 발명의 인덱스장치 초기화방법을 나타낸 순서도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 베이스판 2 : 버퍼셔틀
3 : 테스트 소켓 4 : 제 1인덱스장치
4a, 5a : 센서감지용 도그 5 : 제 2인덱스장치
6 : 전후 위치감지센서 7 : 상하 위치감지센서
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전방에 테스트할 반도체 소자를 공급 및 테스트 완료된 반도체 소자를 받는 버퍼셔틀이 구비되고, 후방에 반도체 소자를 접속시켜 테스트를 수행하는 테스트 소켓이 구비되며, 제 1인덱스장치와 제 2인덱스장치가 상기 버퍼셔틀과 테스트 소켓의 상측 사이를 교번으로 왕복 이동하면서 버퍼셔틀과 테스트 소켓에 반도체 소자를 로딩 및 언로딩시켜주도록 된 핸들러의 테스트 사이트에서 상기 제 1,2인덱스장치를 초기화시키는 방법에 있어서, 상기 테스트 사이트의 측면부에 전후방향으로 복수개의 전후 위치감지용 센서를 등간격으로 배치하고, 테스트 사이트의 전방 또는 후방에 상하방향으로 복수개의 상하 위치감지용 센서를 등간격으로 배치하는 단계; 상기 전후 위치감지용 센서와 상하 위치감지용 센서로 제 1,2인덱스장치 각각의 전후방향 위치 및 상하방향 위치를 감지하는 단계; 상기 단계에서 감지된 제 1,2인덱스장치의 위치를 근거로 핸들러의 인덱스장치 제어부에서 제 1,2인덱스장치의 이동 순서 및 방향을 결정하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 인덱스장치의 초기화방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 인덱스장치 초기화방법이 적용되는 핸들러의 테스트 사이트의 구성을 나타낸 것이고, 도 6은 본 발명의 인덱스장치 초기화방법을 나타낸 순서도이다.
먼저 도 3 내지 도 5에 도시된 것과 같이, 테스트 사이트의 전방에는 핸들러 전방으로부터 테스트할 반도체 소자를 받아 테스트 사이트로 공급하고 테스트 완료된 반도체 소자를 받아 핸들러 전방으로 공급하는 버퍼셔틀(2)이 위치되고, 테스트 사이트의 후방에는 반도체 소자를 전기적으로 접속시켜 일정 시간동안 테스트를 수행하는 테스트 소켓(3)이 위치된다.
그리고, 테스트 사이트의 양측편으로 수직하게 베이스(1)이 대향되게 설치되고, 각각의 베이스(1)에는 상기 버퍼셔틀(2)과 테스트소켓(3) 사이를 교번으로 왕복 이동하면서 반도체 소자를 픽업하여 버퍼셔틀(2)과 테스트 소켓(3)으로 이송하여 주는 제 1인덱스장치(4)와 제 2인덱스장치(5)가 수평 및 상하로 이동가능하게 설치된다.
한편, 상기 각 베이스(1)의 상측에는 제 1인덱스장치(4)와 제 2인덱스장치(5)의 전후방향 위치를 감지하기 위하여 복수개의 전후 위치감지센서(6)가 베이스(1)의 전후방향으로 등간격으로 배치되고, 각 베이스(1)의 전방부에는 제 1,2인덱스장치(4, 5)의 상하방향 위치를 감지하기 위하여 복수개의 상하 위치감지센서(7)가 베이스(1)의 상하방향으로 등간격으로 배치된다.
그리고, 상기 제 1,2인덱스장치(4, 5)의 일측편, 즉 베이스(1)을 향한 면에 상기 전후/상하 위치감지센서(6, 7)들에 의해 감지되는 센서감지용 도그(4a, 5a)(dog)가 설치된다.
상기 전후 위치감지센서(6)들은 상기 센서감지용 도그(4a, 5a)의 폭보다 작거나 같은 크기의 간격으로 배치되고, 상하 위치감지센서(7)들은 센서감지용 도그(4a, 5a)의 높이보다 작거나 같은 크기의 간격으로 배치되어, 제 1,2인덱스장치(4, 5)가 테스트 사이트의 어느 위치에 존재하든지 상기 전후/상하 위치감지센서(6, 7)들중 어느 하나 이상에 의해 감지될 수 있도록 되어 있다.
따라서, 상기와 같이 테스트 사이트에 구성된 위치감지센서(6, 7)들에 의해 제 1,2인덱스장치(4, 5)의 위치가 인식되면, 이러한 감지신호가 핸들러의 제 1,2인덱스장치(4, 5)의 제어부(미도시)로 전달되고, 상기 제어부에서는 초기화작업시 전달된 감지신호를 근거로 하여 제 1,2인덱스장치(4, 5)의 위치를 판정하여 이동 순서를 결정하게 된다.
이해를 돕기 위하여 핸들러의 초기화작업에 대해 좀 더 상세히 설명하면, 핸들러의 초기 구동시 제 1,2인덱스장치(4, 5)는 테스트사이트의 전방 끝부분의 버퍼셔틀(2) 상측에 함께 위치하다가 테스트 작업이 시작되면 제 1,2인덱스장치(4, 5)가 순차적으로 버퍼셔틀(2)의 반도체 소자를 테스트 소켓(3)으로 이송하여 테스트를 수행하게 되는데, 이러한 테스트 작업이 수행되는 도중 정전 등의 요인에 의해 테스트 가동이 중단된 후 다시 가동을 하고자 할 경우에는 제 1,2인덱스장치(4, 5)를 비롯하여 핸들러의 모든 구성요소들을 핸들러 구동 초기 위치로 보내는 초기화작업을 수행해야 한다.
그런데, 예를 들어 제 1,2인덱스장치(4, 5)가 도 3에 도시된 것과 같은 위치에서 정지된 후 초기화작업을 수행할 때, 만약 핸들러의 제어부에서 제 1,2인덱스장치(4, 5)의 위치를 인지하고 있지 않을 경우에 제어부에서 제 1인덱스장치(4)가 먼저 이동하도록 명령을 내리게 되면 제 1인덱스장치(4)가 이동하다가 제 2인덱스장치(5)에 충돌해버리게 된다.
그러나, 본 발명에 따르면, 제 1인덱스장치(4)는 그의 센서감지용 도그(4a)가 전후 위치감지센서(6)들중 제 2센서(62)와 제 3센서(63)에 의해 감지됨과 동시에 상하 위치감지센서(7)들중 제 1센서(71)에 의해 감지되며, 제 2인덱스장치(5)는 그의 센서감지용 도그(5a)가 전후 위치감지센서(6)들중 제 4센서(64)에 의해 감지됨과 동시에 상하 위치감지센서(7)들중 제 3센서(73)에 의해 감지되므로, 핸들러의 제어부에서는 이러한 전후/상하 위치감지센서(6, 7)들에 의해 전달된 정보에 따라 제 1,2인덱스장치(4, 5) 위치를 판단한 후 제 2인덱스장치(5)를 먼저 초기 위치, 즉 테스트 사이트 전방위치로 보내고, 그 다음 제 1인덱스장치(4)를 초기 작업높이 만큼 상측으로 이동시켜 테스트 사이트 전방의 초기 위치로 이동시키게 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 테스트 사이트 내에서 인덱스장치들의 위치를 자동으로 인식하여 초기화작업을 수행하게 되므로 초기화작업시 인덱스장치들이 서로 간섭을 일으키지 않게 되므로 원활한 초기화작업의 진행을 보장함과 더불어 장비의 파손을 방지할 수 있다.

Claims (2)

  1. 전방에 테스트할 반도체 소자를 공급 및 테스트 완료된 반도체 소자를 받는 버퍼셔틀이 구비되고, 후방에 반도체 소자를 접속시켜 테스트를 수행하는 테스트 소켓이 구비되며, 제 1인덱스장치와 제 2인덱스장치가 상기 버퍼셔틀과 테스트 소켓의 상측 사이를 교번으로 왕복 이동하면서 버퍼셔틀과 테스트 소켓에 반도체 소자를 로딩 및 언로딩시켜주도록 된 핸들러의 테스트 사이트에서 상기 제 1,2인덱스장치를 초기화시키는 방법에 있어서,
    상기 테스트 사이트의 측면부에 전후방향으로 복수개의 전후 위치감지용 센서를 등간격으로 배치하고, 테스트 사이트의 전방 또는 후방에 상하방향으로 복수개의 상하 위치감지용 센서를 등간격으로 배치하는 단계;
    상기 전후 위치감지용 센서와 상하 위치감지용 센서로 제 1,2인덱스장치 각각의 전후방향 위치 및 상하방향 위치를 감지하는 단계;
    상기 단계에서 감지된 제 1,2인덱스장치의 위치를 근거로 핸들러의 인덱스장치 제어부에서 제 1,2인덱스장치의 이동 순서 및 방향을 결정하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법.
  2. 제 1항에 있어서, 제 1,2인덱스장치의 일편에 상기 각 위치감지용 센서에 의해 감지되는 센서감지용 도그(dog)가 설치되고, 상기 전후 위치감지용 센서는 상기 센서감지용 도그의 폭보다 작거나 같은 간격으로 배치되며, 상기 상하 위치감지용센서는 상기 센서감지용 도그의 높이보다 작거나 같은 간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 인덱스장치 초기화방법.
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