KR100398599B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법 및 이를위한 레이저 가공 장치 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법 및 이를위한 레이저 가공 장치 Download PDF

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Abstract

플라즈마 디스플레이 패널의 깜빡이거나 항시 발광하는 불량 셀을 보수하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은, 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀의 위치를 찾는 단계와, 발견된 불량 셀에 레이저 빔을 조사하여 불량 셀이 더 이상 발광하지 않도록 불량 셀의 유지전극을 제거하는 단계와, 불량 셀이 발광하지 않는지를 확인하는 단계를 포함한다. 그리고, 상술한 본 발명의 방법을 수행하기에 적합한 레이저 가공 장치가 개시된다. 개시된 장치는, 공작물이 그 상면에 로딩되는 테이블과, 레이저 빔을 출사하는 레이저와, 테이블의 상부에 설치되어 레이저로부터 전송된 레이저 빔을 공작물 표면의 소정 위치에 조사하는 헤드와, 헤드를 적어도 수평 방향으로 이동시키는 헤드 이동 수단과, 레이저와 헤드 사이에 연결되어 레이저로부터 출사된 레이저 빔을 헤드까지 전송하는 광섬유와, 레이저의 빔 출사와 헤드의 이동을 제어하는 제어 유니트를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 효과적이고 용이하게 보수할 수 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법 및 이를 위한 레이저 가공 장치{Method and laser machining apparatus for repairing bad cells of plasma display panel}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법 및 이를 위한 레이저 가공 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 레이저 빔을 조사하여 보수하는 방법 및 이 방법에 사용하기에 적합하도록 그 구조가 개선된 레이저 가공 장치에 관한 것이다.
전기적 방전을 이용하여 화상을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma display panel; PDP)은 휘도나 시야각 등의 표시 성능이 우수하여 그 사용이 날로 증대되고 있다. 이러한 플라즈마 디스플레이 패널은 그 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류되며, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형과 면 방전형으로 분류될 수 있다.
도 1에는 종래의 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널의 일례가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 상호 대면하는 배면기판(10)과 전면기판(20)을 구비한다. 배면기판(10) 위에는 다수의 어드레스 전극(11)이 형성되어 있으며, 이 어드레스 전극(11)들은 유전체층(12)에 의해 매립되어 있다. 그리고, 유전체층(12)의 상면에는 셀(cell)간의 전기적, 광학적 간섭을 방지하는 다수의 격벽(13)들이 서로 소정 간격을 두고 형성되어 있다. 이 격벽(13)들에 의해 구획된 방전공간들에는 각각 적(R), 녹(G), 청색(B)의 형광체층(14)이 소정 두께 도포되어 있다. 이 방전공간들에는 Ne, Xe 또는 이들이 혼합된 방전가스가 주입된다.한편, 전면기판(20)은 투명기판으로서 주로 유리로 만들어지며, 그 저면에는 광이 투과될 수 있도록 주로 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명한 도전성 재료로 이루어지는 유지전극(26, 27)들이 쌍을 이루며 형성되어 있고, 유지전극(26, 27)들의 각 쌍의 사이에는 블랙 스트립(24)들이 형성되어 있다. 유지전극(26, 27)들의 저면에는 이보다 폭을 좁게하여 버스(bus) 전극(28)들이 형성되어 있다. 이러한 유지전극(26, 27)들, 버스 전극(28)들 및 블랙 스트립(24)들은 유전체층(22)에 의해 매립되어 있으며, 유전체층(22)의 저면에는 산화마그네슘(MgO)과 같은 재료로 된 보호층(23)이 형성되어 있다.
이와 같은 구성의 플라즈마 디스플레이 패널의 구동은 크게 어드레스 방전을 위한 구동과 유지 방전을 위한 구동으로 나뉜다. 어드레스 방전은 어드레스 전극(11)과 하나의 유지전극(26) 사이에서 일어나며, 이 때 벽전하가 형성된다. 유지 방전은 벽전하가 형성된 방전공간에 위치되는 유지전극(26, 27)들 사이의 전위차에 의해서 일어난다. 이 유지 방전시에 방전가스로부터 발생되는 자외선에 의해 해당 방전공간의 형광체층(14)이 여기되어 발광되며, 이 광이 전면판(20)을 통해 출사되면서 사용자가 인식할 수 있는 화상을 형성하게 된다.
그런데, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정 중에 방전을 위한 유지전극이나 형광체층의 불량, 방전가스의 인접한 다른 셀로의 유입 등에 의하여 깜빡이거나 항시 발광하거나 또는 아예 발광하지 못하는 불량 셀이 발생할 수 있다. 이때, 발광하지 않는 셀인 경우에는 주위의 정상 셀들에 의해 보완이 되지만, 깜빡이거나 항시 발광하는 셀들은 화상의 품질에 치명적인 영향을 미친다. 불량 셀들이 이러한문제점을 가지고 있슴을 인식할 수 있는 때에는 이미 패널의 배면판과 전면판이 접착되어 있는 상태이기 때문에 이들을 보수하기가 곤란하게 된다. 따라서, 플라즈마 디스플레이 패널에 깜빡이거나 항시 발광하는 불량 셀들이 기준 이상 존재하게 되면, 종래에는 별다른 보수 방법이 없어서 불량 패널로 판정하여 폐기시키므로 생산 수율을 떨어뜨리게 되는 문제점이 있었다.
한편, 도 2에는 종래의 레이저 가공 장치의 구성 요소가 개략적으로 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 레이저 가공 장치는 공작물(1)이 그 상면에 장착되는 테이블(30)과, 테이블(30)의 상부에 설치되어 테이블(30) 상의 공작물(1)을 향하여 레이저 빔을 출사하여 공작물(1)을 소정의 방식으로 가공하는 레이저(40)를 구비하고 있다. 테이블(30) 상의 공작물(1)의 전체 면에 레이저 빔이 조사될 수 있도록 하기 위해, 일반적으로 레이저(40)는 고정 설치되는 반면에 테이블(30)은 수평 이동이 가능하도록 되어 있다.
그런데, 이와 같은 종래의 레이저 가공장치에 있어서, 공작물(1)의 크기가 큰 경우, 예컨대 공작물(1)이 30인치에서 60인치 정도의 크기를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널인 경우, 공작물(1)의 전체 면에 레이저 빔이 조사될 수 있도록 하기 위해서는 테이블(30)이 공작물(1)의 가로 및 세로 길이의 각각 두 배까지 이동할 수 있어야 하므로, 이를 위해 확보되어야 하는 공간이 불필요하게 커지는 단점이 있었다. 이러한 단점을 해소하기 위해서는, 테이블(30)을 고정시키고 레이저(40)를 이동시키며 가공할 수도 있으나, 이 경우에는 비교적으로 크기가 큰 레이저(40)가 빠른 속도로 이동하여야 하므로, 레이저(40)의 떨림이 발생하기 쉽고미세한 위치 조정이 곤란하여 정밀한 가공이 곤란한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 페널의 불량 셀을 효과적이고 용이하게 보수할 수 있는 방법과 이 방법에 사용하기에 적합하도록 그 구조가 개선된 레이저 가공 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 개략적으로 도시한 단면도,
도 2는 종래의 레이저 가공 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 방법에 사용되는 레이저 가공 장치의 구성을 도시한 도면,
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 방법에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 보수한 상태를 간섭계를 사용하여 측정한 데이타들을 여러 형태로 보여주는 사진.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100...플라즈마 디스플레이 패널 110...테이블
121...지지대 122...아암
130...레이저 131...집속렌즈
140...헤드 141...제1 렌즈
142...제2 렌즈 150...광섬유
160...CCD 센서 170...제어 유니트
상기의 기술적 과제를 달성하기 위해 본 발명은, 플라즈마 디스플레이 패널의 깜빡이거나 항시 발광하는 불량 셀을 보수하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 방법은: (가) 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 상기 불량 셀의 위치를 찾는 단계; (나) 발견된 상기 불량 셀에 레이저 빔을 조사하여 상기 불량 셀이 더 이상 발광하지 않도록 상기 불량 셀의 유지전극을 제거하는 단계; 및 (다) 상기 불량 셀이 발광하지 않는지를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 유지전극은 투명한 전도성 재료인 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 레이저 빔으로는 파장이 200㎚ 내지 2,000㎚인 레이저 빔, 바람직하게는 파장이 실질적으로 1,064㎚인 Nd:YAG 레이저 빔이 사용될 수 있다.
그리고, 상술한 본 발명의 방법을 수행하기에 적합한 레이저 가공 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 레이저 가공 장치는: 공작물이 그 상면에 로딩되는 테이블; 레이저 빔을 출사하는 레이저; 상기 테이블의 상부에 설치되어, 상기 레이저로부터 전송된 레이저 빔을 상기 공작물 표면의 소정 위치에 조사하는 헤드; 상기 헤드를 적어도 수평 방향으로 이동시키는 헤드 이동 수단; 상기 레이저와 상기 헤드 사이에 연결되어 상기 레이저로부터 출사된 레이저 빔을 상기 헤드까지 전송하는 광섬유; 및 상기 레이저의 레이저 빔 출사와 상기 헤드의 이동을 제어하는 제어 유니트;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 공작물은 플라즈마 디스플레이 패널이며, 상기 레이저 가공 장치는 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 보수하기 위해 사용되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 헤드 이동 수단에 상기 헤드와 인접하여 적어도 수평 방향으로 이동할 수 있도록 설치되어, 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀의 위치를 감지한 정보와 상기 불량 셀에 레이저 빔이 조사된 후에 상기 불량 셀이 보수되었는지 여부를 판독한 정보를 상기 제어 유니트로 전송하는 CCD 센서를 더 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 효과적이고 용이하게 보수할 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법 및 이를 위한 레이저 가공 장치를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 방법에 사용되는 레이저 가공 장치의 구성을 보여준다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 방법을 수행하기 위한 레이저 가공 장치는, 플라즈마 디스플레이 패널(100)이 그 상면에 로딩되는 테이블(110)을 구비한다. 상기플라즈마 디스플레이 패널(100)은 30인치 내지 60인치의 비교적 큰 크기를 가지므로, 본 발명의 레이저 가공 장치에 있어서는 테이블(110)은 고정 설치되고 후술하는 헤드(140)가 이동하며 레이저 빔을 조사하는 방식을 취한다. 이와 같은 방식에 의하면 레이저 가공 장치의 설치 면적이 훨씬 좁아지게 되는 장점이 있다.
그리고, 레이저 빔을 출사하는 레이저(130)와, 테이블(110)의 상부에 설치되어 레이저(130)로부터 전송된 레이저 빔을 플라즈마 디스플레이 패널(100) 표면의 소정 위치, 즉 불량 셀의 위치에 조사하는 헤드(140)가 마련된다. 상기 레이저(130)로부터 헤드(140)까지의 레이저 빔의 전송은 광섬유(150)를 통해 이루어진다. 상기 레이저(130)로부터 출사된 레이저 빔을 광섬유(150) 내부로 집속시키는 집속렌즈(131)가 레이저(130)와 광섬유(150)의 일단부 사이에 배치된다.
상기 헤드(140) 내부에는 제1 렌즈(141)와 제2 렌즈(142)가 소정 간격을 두고 설치된다. 광섬유(150)를 통해 전송된 레이저 빔은 헤드(140) 내부에 설치된 제1 렌즈(141)에 의해 평행광으로 만들어지며, 다시 제2 렌즈(142)에 의해 소정 크기의 조사 면적을 가지도록 집속된다. 이때, 상기 제2 렌즈(142)는 초점 거리가 짧은 볼록렌즈인 것이 바람직하다. 이와 같이 집속된 레이저 빔의 조사 면적은 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 불량 셀 하나의 점유 면적을 넘지 않도록 정해진다. 이는 불량 셀 내의 유지전극만 레이저 빔에 의해 제거되며, 인접한 다른 셀에는 영향을 미치지 않도록 하기 위한 것이다.
본 발명의 레이저 가공 장치는 상기 헤드(140)를 지지하며, 상기 헤드(140)를 적어도 수평 방향으로, 바람직하게는 수평 및 수직 방향으로 이동시키는 헤드이동 수단이 구비된다. 이러한 헤드 이동 수단으로는 종래의 일반적인 가공 장치에 채용된 여러가지 방식의 것이 본 발명의 레이저 가공 장치에도 채용될 수 있다. 도 3에는 그 일례로서, 지지대(121)와 아암(122)을 구비한 헤드 이동 수단이 도시되어 있다. 상기 지지대(121)는 아암(122)을 지지하기 위한 것으로, 아암(122)의 일단부만 지지할 수 있으며, 또는 아암(122)의 양단부 모두를 지지할 수도 있다. 아암(122)은 지지대(121)에 지지된 상태로 소정의 구동 수단에 의해 제1 방향으로 수평 이동할 수 있도록 설치된다. 이때, 지지대(121)가 테이블(110)의 가장자리에 인접하도록 마련된 가이드 레일(미도시)을 따라 이동 함으로써 아암(122)도 함께 수평 이동할 수 있도록 설치될 수 있으며, 또는 지지대(121)는 고정 설치되고 아암(122)만 지지대(121)의 상단부에 마련되는 가이드 레일(미도시)을 따라 수평 이동할 수도 있다. 한편, 아암(122)은 상기 지지대(121)의 수직 방향을 따라 수직 이동할 수 있도록 설치될 수도 있다. 그리고, 상기 헤드(140)는 아암(122)에 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향(도 3에 화살표로 표시되어 있다.)으로 수평 이동할 수 있도록 설치된다. 상기한 바와 같은 구성을 가지는 헤드 이동 수단에 의해서 상기 헤드(140)는 서로 직교하는 제1 방향과 제2 방향을 따라 수평 이동할 수 있게 된다.
그리고, 본 발명의 레이저 가공 장치에는 상기 레이저(130)의 레이저 빔 출사와 헤드(140)의 이동을 제어하는 제어 유니트(170)가 마련된다. 상기 제어 유니트(170)는 레이저(130)의 빔 출사와 출사된 빔의 세기 및 헤드(140)의 이동 거리 이동 속도 등을 제어한다.
이와 같이, 본 발명에 의하면 레이저(130) 자체가 테이블(110)의 상부에 이동할 수 있도록 설치되어 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 표면에 직접 레이저 빔을 조사하는 것이 아니라, 보다 작은 크기와 보다 간단한 구성을 가지는 헤드(140)가 이동할 수 있게 설치되어 레이저(130)로부터 광섬유(150)를 통해 전송된 레이저 빔을 조사하도록 되어 있다. 따라서, 헤드(140)의 신속한 이동이 가능하며 떨림이 방지되어 보다 정밀한 위치 제어가 가능하게 된다. 또한, 그 구동에 필요한 장치도 소형화될 수 있으며, 구동 전력도 절감될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 레이저 가공 장치가 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 불량 셀을 보수하는 용도로 사용되는 경우에는, CCD(Charge Coupled Device; 전하 결합 소자) 센서를 더 구비하는 것이 바람직하다. CCD 센서(160)는 상기 헤드(140)에 인접하도록 아암(122)에 설치되며, 헤드(140)와 함께 수평 방향으로 이동하게 된다. CCD 센서(160)는 헤드(140)보다 선행하며 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 불량 셀의 위치를 감지하여 그 정보를 제어 유니트(170)로 전송한다. 그리고, 불량 셀의 위치 정보에 의해 헤드(140)로부터 레이저 빔이 불량 셀에 조사된 후에, CCD 센서(160)는 불량 셀이 보수되었는지 여부를 판독하여 그 정보를 다시 제어 유니트(170)로 전송하는 역할을 하게 된다.
그리고, 상기 레이저(130)로는 파장이 실질적으로 1,064㎚인 Nd:YAG 레이저 빔을 출사하는 것이 사용된다. 상기 광섬유(150)로는 스텝 인덱스형 광섬유(step index optical fiber)와 그레이디드 인덱스형 광섬유(graded index optical fiber)로 분류될 수 있는데, 이 중 스텝 인덱스형 광섬유가 코어 부위 전체에 걸쳐 레이저 빔의 에너지 분포가 보다 균일하므로 바람직하다.
이하에서는 역시 도 3을 참조하며 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 보수하는 방법을 설명한다. 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법은, 깜빡이거나 항시 발광하는 불량 셀에 레이저 빔을 조사하여 불량 셀의 유지전극(도 1의 26, 27)을 제거함으로써 불량 셀이 더 이상 발광하지 않도록 하는 것을 그 특징으로 한다. 이를 위해 본 발명에 따른 방법은, 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 불량 셀의 위치를 찾는 (가)단계와, 발견된 불량 셀에 레이저 빔을 조사하여 불량 셀이 더 이상 발광하지 않도록 불량 셀의 유지전극을 제거하는 (나)단계와, 불량 셀이 발광하지 않는지를 확인하는 (다)단계를 거치게 된다.
상기 (가)단계는 다양한 센서에 의해 이루어질 수 있으나, 헤드(140)와 함께 이동할 수 있도록 설치되는 상기 CCD 센서(160)에 의해 수행되는 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이 CCD 센서(160)는 플라즈마 디스플레이 패널(100)상의 불량 셀의 위치를 감지하여 그 정보를 제어 유니트(170)로 전송하게 된다. 이 단계는 자동으로 이루어질 수 있으며, 또는 그 정보가 표시되는 모니터를 보고 조작자가 직접 제어 유니트(170)를 조작할 수도 있다.
상기 (나)단계는 발견된 불량 셀에 레이저 빔을 조사하여 불량 셀이 더 이상 발광하지 않도록 불량 셀의 유지전극을 제거하는 단계이다. 이와 같이 불량 셀이 발광하지 않게 되면, 주위의 정상 셀들에 의해 보완될 수 있으므로 화상의 품질이 보수 전에 비해 향상될 수 있다. 이 단계는, 레이저 빔을 출사하는 어떠한 장치로도 수행될 수 있으나, 레이저(130)로부터 광섬유(150)를 통해 전송된 레이저 빔을 조사하는 헤드(140)에 의해 수행되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 헤드(140)의 이동과 레이저 빔의 조사 위치는 상술한 (가)단계에서의 불량 셀의 위치 정보를 가진 제어 유니트(170)에 의해 제어된다.
그리고, 상기 레이저 빔으로는 그 파장이 200㎚ 내지 2,000㎚인 비교적 고출력의 레이저 빔이 사용될 수 있다. 바람직하게는 파장이 1,064㎚인 Nd:YAG 레이저 빔이 사용된다. 이와 같이 비교적 짧은 파장의 레이저 빔은 보다 긴 파장의 레이저 빔, 예컨대 파장이 10.6㎛인 CO2레이저 빔에 비해 금속재료에서의 흡수율이 유리 등의 비금속재료에서 보다 높다. 따라서, 본 발명에서와 같이 비교적 짧은 파장의 레이저 빔을 사용하면 유리로 된 전면판(도 1의 20)이 손상을 입히지 않고 ITO와 같은 금속재료로 된 유지전극만을 제거할 수 있다. 비교적 짧은 파장을 가진 고출력의 레이저 빔이 유지전극에 조사되면, 유지전극은 증발하게 되어 제거된다. 이에 반해, 비교적 긴 파장을 가진 CO2레이저 빔을 사용하게 되면 유지전극이 제거되기 보다는 전면판이 손상을 입게 되며, 발생되는 열에 의해 주변의 정상 셀에까지 영향을 미치는 문제점이 발생하기 쉽다.
조사되는 레이저 빔의 세기는 제거되는 유지전극의 두께에 따라서 유지전극만 완전히 제거할 수 있는 정도로 제어 유니트(170)에 의해 조절될 수 있다. 그리고, 조사되는 레이저 빔은 그 조사 면적이 헤드(140)의 제2 렌즈(142)에 의해 불량 셀 하나의 점유 면적을 넘지 않도록, 또는 실질적으로 동일하도록 집속된다. 이에따라, 레이저 빔이 불량 셀 내의 유지전극(도 1의 26, 27)에만 정확하게 집중될 수 있으며, 이와 인접한 버스 전극(도 1의 28)이나 유전체(22), 블랙 스트립(24) 등이나 인접한 다른 정상 셀에는 영향을 미치지 않게 된다.
상기 (다)단계는 다양한 센서에 의해 이루어질 수 있으나, 이 단계도 상기 CCD 센서(160)에 의해 수행되는 것이 바람직하다. CCD 센서(160)는 헤드(140)에 의한 레이저 빔의 조사 후에 그 불량 셀의 위치로 이동하여 불량 셀의 유지전극이 제거되었는지를, 즉 불량 셀이 더 이상 발광하지 않는지를 판독하여 그 정보를 제어 유니트(170)로 전송하게 된다. 이 정보에 의해 제어 유니트(170)는 그 불량 셀에 다시 레이저 빔을 조사할 것인지, 아니면 다음 셀로 헤드(140)를 이동시킬 것인지를 판단하게 된다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 방법에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 보수한 상태를 간섭계를 사용하여 측정한 데이타들을 보여준다. 이 실험에서, 제거되는 유지전극은 투명한 전도성 재료인 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진 것이며, 레이저 빔으로는 스텝 인덱스형 광섬유를 통해 전송되는 파장이 1,064㎚인 Nd:YAG 레이저 빔이 사용되었다. 도시된 바와 같이, 레이저 빔이 조사된 부위의 ITO만 대략 지름 380㎛, 깊이 30㎚ 정도로 제거되고, 주변에는 전혀 손상이 없다는 것을 알 수 있다. 또한, 그 제거된 깊이도 가장자리 부위나 중심 부위에 있어서 차이가 거의 없는 것으로 나타났다.
이와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법에 의하면, 종래에는 보수가 곤란하였던 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 효과적이고 용이하게 보수할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예가 도면으로 보여지고 설명되었다 할지라도, 당해 기술분야의 전문가들이라면 아래의 특허청구범위에 의해 정의된 본 발명의 사상과 범위로부터 벗어나지 않고서도 다양한 변형과 생략이 이루어질 수 있다는 것을 이해할 것이다. 특히, 본 발명의 레이저 가공 장치는 본 발명의 방법에 사용하기에 적합한 것이나, 이에 한정되는 것은 아니며, 크기가 비교적 큰 공작물을 가공하는 다양한 유형의 레이저 가공 방법에도 유용하다는 것은 명백하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법에 의하면, 레이저 빔으로 불량 셀의 유지전극을 다른 부위의 손상 없이 제거함으로써 종래에는 곤란하였던 불량 셀을 효과적이고 용이하게 보수할 수 있게 된다. 따라서, 플라즈마 디스플레이 패널의 생산 수율이 높아지는 효과가 있다. 또한, 본 발명에 따른 레이저 가공 장치는 정밀한 제어가 가능하므로, 비교적 크기가 큰 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 정확하고 빠른 속도로 보수할 수 있게 된다. 이러한 본 발명에 따른 레이저 가공 장치는 본 발명의 방법 뿐만 아니라 다른 유형의 레이저 가공 방법에도 적용될 수 있는 장점이 있다.

Claims (14)

  1. 플라즈마 디스플레이 패널의 깜빡이거나 항시 발광하는 불량 셀을 보수하는 방법에 있어서:
    (가) 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 상기 불량 셀의 위치를 찾는 단계;
    (나) 발견된 상기 불량 셀에 레이저 빔을 조사하여 상기 불량 셀이 더 이상 발광하지 않도록 상기 불량 셀의 유지전극을 제거하는 단계; 및
    (다) 상기 불량 셀이 발광하지 않는지를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유지전극은 투명한 전도성 재료인 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 (가) 및 (다) 단계는, CCD 센서에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 (나) 단계는, 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 상부에서 수평 방향으로 이동하며 레이저로부터 광섬유를 통해 전송된 레이저 빔을 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 소정 위치에 조사되도록 하는 헤드에 의해 수행되는 것을 특징으로하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 레이저 빔의 파장은 200㎚ 내지 2,000㎚인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 파장이 실질적으로 1,064㎚인 Nd:YAG 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 레이저 빔의 조사 면적은 상기 불량 셀 하나의 점유 면적을 넘지 않는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법.
  8. 공작물이 그 상면에 로딩되는 테이블;
    레이저 빔을 출사하는 레이저;
    상기 테이블의 상부에 설치되어, 상기 레이저로부터 전송된 레이저 빔을 상기 공작물 표면의 소정 위치에 조사하는 것으로, 상기 광섬유로부터 출사된 레이저 빔을 평행광으로 만들어주는 제1 렌즈와, 상기 제1 렌즈를 통과한 레이저 빔의 평행광을 집속시키는 제2 렌즈를 포함하는 헤드;
    상기 헤드를 적어도 수평 방향으로 이동시키는 헤드 이동 수단;
    상기 레이저와 상기 헤드 사이에 연결되어 상기 레이저로부터 출사된 레이저 빔을 상기 헤드까지 전송하는 광섬유; 및
    상기 레이저의 레이저 빔 출사와 상기 헤드의 이동을 제어하는 제어 유니트;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 레이저와 상기 광섬유의 일단부 사이에 배치되어 상기 레이저로부터 출사된 레이저 빔을 상기 광섬유 내부로 집속시키는 집속렌즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  10. 삭제
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 공작물은 플라즈마 디스플레이 패널이며, 상기 레이저 가공 장치는 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀을 보수하기 위해 사용되는 것임을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 헤드 이동 수단에 상기 헤드와 인접하여 적어도 수평 방향으로 이동할 수 있도록 설치되어, 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀의 위치를 감지한 정보와 상기 불량 셀에 레이저 빔이 조사된 후에 상기 불량 셀이 보수되었는지 여부를 판독한 정보를 상기 제어 유니트로 전송하는 CCD 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 레이저는 파장이 실질적으로 1,064㎚인 Nd:YAG 레이저 빔을 출사하는 것임을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 광섬유는 스텝 인덱스형 광섬유인 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
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