KR100381855B1

KR100381855B1 - 플렉시블 회로기판용 노광장치

Info

Publication number: KR100381855B1
Application number: KR10-2001-0018595A
Authority: KR
Inventors: 조영석
Original assignee: 아이티에스테크놀러지 주식회사
Priority date: 2001-01-26
Filing date: 2001-04-09
Publication date: 2003-05-01
Also published as: KR20020063095A

Abstract

본 발명은 플렉시블 회로기판용 노광장치에 관한 것으로서, 플렉시블 기판을 포토마스크를 부착한 투명드럼에 밀착시키고 투명드럼의 내부에 설치된 노광램프에 의해 기판을 노광하는 장치에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 회전하는 투명 드럼(11)의 내부 중앙에 노광램프(13)가 설치되고, 드럼(11)의 외주면에는 포토마스크(15)가 부착되며, 상기 포토마스크(15)에는 플렉시블 회로기판(FPC 기판)(17)의 노광될 영역이 밀착하여 직선이동하고, 노광램프(13)에 의해 투명 드럼(11)의 내부에서 외부로 포토마스크(15)를 투영하여 FPC 기판(17)에 노광이 되는 것을 특징으로 한다.

Description

플렉시블 회로기판용 노광장치{Exposure apparatus for flexible printed circuit board}

PCB(인쇄회로기판)는 대부분 포토리소그래피(photo-lithography) 기술에 의해 제작된다. 즉, 감광성 도료(photo-resist)가 코팅된 기판 원판에, 회로패턴이 그려진 마스크(photo-mask)를 통해 빛(주로 자외선)을 조사하여, 기판 원판에 회로 패턴을 전사하고 불필요한 부분을 화학적 또는 물리적 방법에 의해 제거함으로써 PCB가 제작된다.

PCB의 원판 중에는 얇은 PVC나 에폭시 등의 재질로 휘어질 수 있도록(flexible) 제작된 것이 있다. 이러한 재질로 제작된 인쇄회로기판을 흔히 플렉시블 PCB(이하, "FPC 기판")라고 하는데, 주로 구동부 회로나 초소형 기기 등에 사용되고 있다.

FPC 기판의 제작공정도 일반 PCB의 제작공정과 유사하다. 한편, 종래에 FPC 기판을 노광장치 내로 소정 거리 이동하여 정지한 상태에서 산란광이나 평행광으로 노광를 하고, 다시 일정한 거리만큼 이동(기판사이즈+여백)하여 노광하는 식의 노광장치가 있었다(참고: 일특개평 10-273343).

종래의 FPC 기판 노광장치에 따르면, 기판의 사이즈만큼씩 기판이나 드럼이 이동한 다음에야 노광을 하는 등 노광이 간헐적으로 이루어지기 때문에 노광속도가느려서 생산성이 낮은 단점이 있다. 또한, 기판이나 드럼을 이동하는데 필요한 클램프 등의 장치가 필요하여 장치가 크고 복잡하며, 특히 노광램프가 산란광인 경우에는 기판의 전면에 노광을 할 경우에 노광품질이 전면적에 걸쳐서 균일하지 않다. 만일 평행광으로 노광을 하려고 한다면 장치가 매우 복잡해지며 커지게 된다.

본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 FPC 기판 노광장치의 단점을 해소하기 위하여, FPC 기판을 포토마스크를 부착한 투명드럼에 밀착시키고 투명드럼의 내부에 설치된 노광램프에 의해 기판을 노광하는 구조를 갖는 플렉시블 회로기판용 노광장치를 제공하는 것이다.

도1은 본 발명의 원리를 나타내는 구조도.

도2는 노광램프의 사시도.

도3은 본 발명의 구체적 구조도.

도4는 투명드럼의 구조도.

도5는 가압롤러의 구조도.

도6은 드럼교체의 일 방안을 나타내는 개념도.

도7은 포지션롤러의 이동 원리도.

도8은 드럼 교체의 다른 방안을 나타내는 개념도.

도9는 도8에 사용되는 롤러연결봉의 상세도.

도10a는 본 발명의 구체화된 실시예를 나타내는 내부 단면도.

도10b는 본 발명의 구체화된 실시예를 나타내는 구조도.

도10c는 도10b와 다른 실시예를 나타내는 구조도.

도11은 드럼의 구동방식을 나타내는 다른 실시예도.

도12는 노광램프 모듈의 실시예도.

도13은 분진제거 롤러의 실시예도.

도14는 분진제거 롤러의 표면 구조도.

도15는 기판밀착용 가압롤러의 실시예도.

도16은 본 발명에 따른 노광장치의 상부 사시도.

<도면부호의 설명>

투명 드럼(11), 드럼지지판(11a, 11a'), 드럼회전축(11b, 11b'), 환기구(11c, 11c'), 노광램프(13), 차광커버(13a), 포토마스크(15), FPC 기판(17), 언코일러(19), 코일러(21), 포지션 롤러(23a, 23b), 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b), 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c), 텐션롤러(27), 분진제거 롤러(29), 위치센서(31a, 31b), 종동풀리(33), 모터(35), 구동풀리(37), 동력전달요소(39), 노광램프 지지축(41), 제1가압롤러(43a), 제2가압롤러(43b), 제1롤러연결봉(45a), 제2롤러연결봉(45b), 지지간(47), 실린더(49), 제1가이드(51a), 제2가이드(51b), 스프링(53), 포지션 롤러의 회전축(55), 베어링(57), 스토퍼(59), 어져스터(61), 스프링(63), 볼트(65), 드럼 기어산(67), 드럼구동 기어(69), 풀리기어(71), 벨트(73), 구동풀리(75), 모터(77), 노광램프 모듈(79), 제1지지판(81), 제2지지판(83), 흡기구(87), 분출구(87', 87"), 배기구(89), 배관시스템(90), 노광램프용 소켓(91), 분출노즐(93a, 93b), 저접착력 롤러(95), 고접착력 롤러(97), 롤러코어(99), 점착 테이프(101), 위치조절 스프링(103), 분진제거 롤러 이동용 실린더(105), 분진제거 롤러 슬라이드 가이드(107a,b), 장치 콘솔(109)

개요

도1은 본 발명에 따른 노광장치의 원리를 나타내는 개요도이다. 투명 드럼(11)의 내부 중앙에 노광램프(13)가 설치되어 있고, 드럼(11)의 외주면에는 포토마스크(15)가 부착되어 드럼(11)이 회전한다. 드럼(11) 외주면의 포토마스크(15)에는 FPC 기판(17)의 일부영역(노광될 영역)이 밀착하여 드럼(11)의 회전방향과 반대방향으로 직선이동한다.

이러한 구조하에서, 노광램프(13)에 의해 투명 드럼(11)의 내부에서 외부로 포토마스크(15)를 투영하여 FPC 기판(17)에 노광이 되고, 마스크(15)의 패턴이 FPC 기판(17)으로 전사된다.

FPC 기판(17)은 도1에서 보듯이 두루말이식으로 언코일러(uncoiler)(19)에 감겨 있다가 드럼(11)과 밀착하여 노광이 된 후 이동하여 코일러(coiler)(21)에 되감긴다. FPC 기판(17)의 노광영역이 드럼(11)에 밀착되도록 포지션 롤러(23a, 23b)가 드럼(11)에 접촉하여 회전하고 있다. 포지션 롤러(23a, 23b)는 드럼과 밀착되기만 하면 아이들 롤러로서 충분하고, 드럼과 밀착되어 FPC 기판(17)에 마찰력을 줄 수 있는 폼(foam)고무, 우레탄 등의 탄성재로 제작할 수 있다. 또한, 드럼(11)은 투명한 재질의 유리, 석영, 아크릴 등으로 제작할 수 있다.

한편, 도2와 같이, 노광램프(13)는 드럼(11)의 일부 구간에만 조사되게끔(도1과 도2에서는 드럼의 하방) 원주의 일부만을 개방하도록 차광커버(13a)가 씌워진다.

실시예의 설명

도3은 도1의 원리를 보다 더 구체적으로 구현한 실시예의 사시도이다. 드럼(11)의 하부, FPC 기판(17)이 밀착되는 영역(노광영역)에는 두 개의 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)가 설치되어 FPC 기판(17)의 노광영역을 드럼(11) 표면의 포토마스크에 밀어서 밀착시키고 있다. 또한, 드럼(11)의 상부에는 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)가 설치되어 다른 직경의 드럼으로 교체할 경우 어떠한 직경이라도 드럼을 위에서 아래로 밀어 이탈을 방지하고 있다. 즉, 상기 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)와 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)가 드럼의 중심축을 향하여 가압하여 드럼(11)을 고정하고 있으며, 동시에 하부의 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)는 FPC 기판(17)의 밀착도 겸하고 있다. 상기 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)와 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)의 구조는 도5와 도15를 통해 따로 상세히 설명하도록 한다.

언코일러(19)와 코일러(21) 사이에서 이동하는 FPC 기판(17)의 장력을 일정하게 유지하여 드럼(11)과의 밀착성을 향상시키고 기판에 전사되는 패턴영상의 왜곡을 방지하기 위한 텐션롤러(27)가 설치된다. 텐션롤러(27)는 도3에서 보듯이 FPC 기판(17)을 상하로 누르는 구조로 되어 있다. 텐션롤러(27)의 표면은 우레탄 등의 탄성재로 제작되어 상하로 FPC 기판(17)을 눌러 마찰력을 증대시켜서 코일러(21)와 언코일러(19) 사이에서 이동하는 FPC 기판(17)의 장력을 유지한다. 상기 텐션롤러(27)는 복사기, 팩시밀리, 프린터, 영수증 발행기 등의 급지부에 널리 이용되고 있다.

도3의 구조에서는 텐션롤러(27)가 FPC기판(17)의 장력을 일정하게 유지하기 위하여 상하 롤러로 이루어진 것을 설명하였지만, 도10b에는 이와 다른 방식으로서 보다 더 효율적인 텐션유지 역할을 할 수 있는 구조가 개시되어 있다. 특히 FPC기판(17)의 이송속도의 미차를 보정하기 위한 구조이다. 도10b를 보면, 텐션유지부가 세 개의 롤러(28a,b,c)로 구성되어 있음을 알 수 있다. 텐션유지부의 가운데에 위치하는 제1롤러(28b)는 자체의 무게로 FPC기판(17)을 아래로 밀고 있다. 제1롤러(28b)의 좌측과 우측에 있는 제2롤러(28a)와 제3롤러(28c)는 제1롤러(28b)가 FPC기판(17)을 아래로 누를 때 FPC기판(17)이 팽팽해지도록 하는 고정점 역할을 한다. 결과적으로, 언코일러(19)와 드럼(11) 사이 및 코일러(21)와 드럼(11) 사이에 있는 FPC기판(17)의 장력은 제1롤러(28b)의 자중에 의해서 일정하게 유지되고,미세한 이송속도의 차이가 있더라도 FPC기판(17)의 장력이 일정하게 유지되므로 드럼(11)으로부터 FPC기판(17)으로 전사되는 패턴의 형상에 왜곡이 생기는 것이 방지된다.

FPC기판(17)의 장력을 일정하게 유지하는 방법으로서 도3과 도10b에 나타낸 텐션롤러(27)만을 이용할 수 있는 것은 아니다. 도10c를 보면, 언코일러(19)와 드럼(11) 사이 및 드럼(11)과 코일러(21) 사이에 텐션롤러가 없음을 알 수 있다. 도10c의 실시예에서는 파우더 브레이크와 모터를 사용하여(도면표시 생략) FPC기판(17)의 장력을 유지할 수 있다. 파우더 브레이크는, 전류에 의해 코일에 발생하는 자속에 따라 파우더(분말)가 사슬모양으로 연결되고 이때의 파우더 간의 연겨력과 파우더와의 동작면과의 마찰력에 의해 토크가 전달되는 원리로 동작하는 브레이크이다. 파우더 브레이크는 수지기계, 제지기계, 방적기계, 인쇄기계, 전선기계, 식품기계 등 각종 산업기계에 의해 권취 및 권출되는 피가공물의 장력제어를 위한 용도로 널리 사용되고 있는 기계요소이다. 파우더 브레이크와 모터를 사용하여 코일러(21)의 구동모터의 속도를 드럼(11)의 회전속도(즉, 노광속도)보다 약간 빠르게 설정하면 FPC기판(17)에 텐션을 부여하게 되어 장력을 일정하게 유지할 수 있다. 파우더 브레이크와 모터를 이용하여 FPC기판(17)의 장력을 제어하는 것은 당업자에게 자명한 사항이다.

언코일러(19)와 드럼(11)과의 사이에는(이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 드럼(11)과 코일러(21) 사이에도 설치될 수 있고, 드럼 표면에 설치되어 드럼에 묻은분진을 제거할 수도 있다) FPC 기판(17) 또는 드럼(11)의 표면에 묻어 있는 분진(particle)을 제거하는 분진제거 롤러(29)가 설치되어 있다. 패턴의 미세화 추세에 따라 포토마스크의 패턴 이외의 먼지나 분진 등의 오염물질은 기판의 품질에 지대한 영향을 주는바, 이를 제거하기 위한 것이다. 따라서, 롤러 표면에 점착물질을 붙여서 FPC 기판(17)이 지나가면서 분진을 떼어내도록 설치하였는데, 이의 실제 설치구조는 당업자가 용이하게 결정할 수 있을 것이다.

한 실시예로서, 도13은 분진제거 롤러 모듈(29)의 구체적 구조를 나타내고 있다. 도13의 분진제거 롤러 모듈(29)은 2개의 롤러로 구성된다. 즉, 하부에 있는 저접착력 롤러(95)와 이에 접촉되어 회전하는 고접착력 롤러(97)로 구성된다. 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)의 표면은 점성이 있는 접착테이프 등으로 되어 있고, 용어 그대로, 저접착력 롤러(95)의 표면 접착력은 고접착력 롤러(97)의 표면 접착력보다 작다. 따라서, FPC 기판(17) 또는 드럼(11)에 접촉되어 회전하는 저접착력 롤러(95)는 기판(17)에 묻어있는 분진을 접착하여 뜯어내고 이 분진은 다시 고접착력 롤러(97)에 의해 뜯겨지게 되므로, 저접착력 롤러(95)는 항상 깨끗한 표면을 유지하면서 기판(17)에 묻어있는 분진을 제거할 수 있다.

한편, 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)의 표면이 오랜 사용으로 오염되면 분진제거 효율이 저하되고 오히려 FPC 기판(17)을 거꾸로 오염시킬 수 있기 때문에 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)는 도14와 같이 제작할 수 있다. 즉, 롤러코어(99)의 표면에 점착 테이프(101)를 감아서 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)를 만들고 필요할 때마다 점착 테이프(101)를 풀어가면서 항상 깨끗한 롤러 표면을 유지할 수 있도록 한다. 점착 테이프(101)가 풀림에 따라 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)의 직경이 작아지는 것을 보정하기 위하여 분진제거 롤러 모듈(29)에는 저접착력 롤러(95) 또는 고접착력 롤러(97)가 항시 접촉하고 있도록 둘 중 어느 하나의 위치를 조절하는 위치조절 스프링(도13의 103)이 설치되어 있다.

드럼(11)과 밀착되는 FPC 기판(17)의 노광영역 경계 부근에는 FPC 기판(17)의 수평성을 검지하는 위치센서(31a, 31b)가 설치된다. 드럼(11)에 FPC 기판(17)이 밀착되더라도 미세한 차이가 나서, 예를 들면 들어가는 부위와 나오는 부위가 수평이 맞지 않으면 정밀한 포토마스크의 패턴이 FPC 기판(17)에 정확하게 전사될 수 없다. 그래서, 레이저에 의해 FPC 기판(17)의 수평성 및 직선성을 검지하여 조정하기 위한 위치센서(31a, 31b)를 설치한 것이다.

한편, 도3에는 나타내지 않았지만, 드럼(11)의 내부에서 노광램프(13)가 발열을 하므로 드럼(11) 내부를 냉각하기 위한 장치가 필요하다. 이는 블로어(blower) 또는 팬(fan)으로 드럼(11) 내부에 공기를 불어넣어서 해결할 수 있다. 이에 대해서는 도4와 도12에서 보다 자세히 설명하기로 한다.

도4는 드럼(11) 구동부 및 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)의 구조도이다. 드럼(11)은 내부가 빈 실린더 형태로서 양 입구에 드럼지지판(11a, 11a')이 부착된다. 드럼지지판(11a, 11a')에는 각각 회전축(11b, 11b')이 형성되어 있어 장치의 프레임에 결합되어 드럼(11)이 회전한다. 또한, 양쪽 드럼지지판(11a, 11a')에는 환기구(11c, 11c')가 형성되어 외부에서 블로어나 팬에 의해 드럼(11) 내부의 공기를 순환시켜 드럼 내부를 냉각시킬 수 있다.

다른 실시예로서, 드럼 내부의 냉각과 노광램프의 장착구조는 도12와 같은 노광램프 모듈(79)로 구현될 수 있다. 도12의 노광램프 모듈(79)은 전체적으로 드럼(11)의 내부에 삽입될 수 있는 형상으로 되어 있다. 또한, 노광램프 모듈(79)에는 도4에서 나타낸 공기순환식 냉각을 위한 냉각부도 포함되어 있다.

구체적으로 보면, 제1지지판(81)과 제2지지판(83)이 긴 프레임(도시 생략)에 의해 고정된다. 전체적인 노광램프 모듈(79)의 길이는, 드럼(11)의 외부로 제1지지판(81)과 제2지지판(82)이 노출될 정도가 되도록 프레임의 길이가 결정된다. 제1지지판(81)과 제2지지판(83)의 측면에는 각각 흡기구(87)와 배기구(89)가 형성되어 있다. 또한, 제1지지판(81)과 제2지지판(83)의 안쪽 중앙 부근에는 노광램프용 소켓(91)이 형성되어 노광램프(13)를 양쪽에서 지지하고 있다. 또한, 제1지지판(81)과 제2지지판(83)의 각 흡기구(87)는 두 갈래로 분기되어 각 지지판의 안쪽으로 분출구(87', 87")를 형성하고 있다. 두 개의 분출구(87', 87")에는 분출노즐(93a, 93b)이 연결된다. 각 분출노즐(93a, 93b)의 원주면에는 가는 슬릿이 길게 뚫려 있다. 따라서, 제1지지판(81)과 제2지지판(83)의 흡기구(87)로 흡입된 공기는 분출구(87', 87")를 통해 분출노즐(93a,b)로 들어가 슬릿으로 강하게 분출된다. 지지판(81)과 제2지지판(83)의 각 흡기구(87) 모두로 공기가 흡입되므로분출노즐(93a,b)의 양쪽에서 흡입된 공기는 강한 압력으로 슬릿으로부터 분출될 수 있다. 분출노즐(93a,b)에서 드럼(11) 내부로 분출된 공기는 제1지지판(81)과 제2지지판(83)에 형성된 배기관(89)를 통해 드럼(11) 밖으로 빠져나가고, 이러한 공기순환 방식에 의해 노광램프(13)와 드럼(11) 내부가 냉각된다.

공기의 흡입과 배출은 팬에 의해서 구현할 수 있다. 즉, 배기구(89)에 팬을 설치하여 공기를 빨아 내면 흡기구(87)로 공기가 흡입되면서 위에서 설명한 공기의 순환작용이 일어날 수 있다. 또는 반대로, 흡기구(87)에 팬을 설치하여 흡기구(87)로 공기를 흡입하도록 할 수도 있다.

다시 도3으로 돌아가면, 드럼지지판(11a)의 한쪽 회전축(11b)에는 종동풀리(33)가 결합되어 모터(35)에 의한 구동풀리(37)의 회전으로부터 동력전달요소(39)에 의해 드럼(11)이 회전한다. 이때의 동력전달요소(39)는 기어나 벨트 등을 사용할 수 있다.

한편, 도4에서 노광램프(13)는 드럼(11)의 회전에 의해서 함께 회전하지 않도록, 노광램프 지지축(41)이 프레임에 고정된다. 이는, 드럼지지판(11a)의 중앙부에 노광램프 지지축(41)이 통과하도록 관통공(도면에 미도시)을 형성함으로써 구현할 수 있다. 즉, 노광램프의 지지축(41)과 드럼(11)의 회전축(11b)이 동심으로 설치되지만, 노광램프 지지축(41)은 드럼지지판(11a)과 간섭없이 통과하여 프레임에 고정되고 드럼(11)만 회전축(11b)과 함께 회전하도록 하는 구조로 되어 있다.

이러한 드럼 구동방식은 도11과 같은 방식으로도 구현가능하다. 위에서, 드럼(11)은 노광램프(13)와 동축으로 설치되지만, 노광램프(13)는 회전되지 않고 드럼(11)만 회전할 수 있게 설치된다고 개략적으로 설명한 바 있다. 도11의 구조에 따르면, 드럼구동부(12)가 드럼(11)의 축방향 양측면에 간섭되지 않도록 설치되어 드럼(11)의 내부에 노광램프를 설치하기가 용이하도록 하였다. 드럼(11)의 양측면 원주에는 전체 원주에 걸쳐서 기어산(67)이 형성되어 있다. 이 기어산(67)에 드럼구동 기어(69)가 결합된다. 드럼구동 기어(69)는 2개가 한 조로서 각각 프레임샤시(도시 생략)에 회전되도록 결합되어 있다. 또한, 2개의 드럼구동 기어(69) 각각은 일축의 풀리기어(71)에 의해 회전된다. 이와 같은 구조는, 직접 풀리기어(71)로써 드럼(11)의 기어산(67)을 회전시키면 드럼(11)의 측면에 풀리기어(71)의 축이 간섭할 수 있기 때문에 이를 피하기 위하여 2단계로 구동 시스템을 설계한 것이다. 풀리기어(71)는 벨트(73)에 의해 구동풀리(75)에 의해 회전되고, 구동풀리(75)는 모터(77)의 회전축에 결합되어 회전한다.

도4의 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)의 구성과 작용은 도5를 참조하여 설명한다. 그 구성을 보면, 드럼(11)의 표면에 접촉하여 드럼(11)을 미는 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b), 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)의 양단을 연결하되 각각 회전가능하게 연결하는 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b), 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b)을 길이 방향으로 연결하며 각 롤러연결봉(5a, 45b)이 회전되도록 길이 방향으로 연결하는 지지간(47), 지지간(47)의 중앙에 힌지결합되어 지지간(47)이 힌지동작을 하도록하며 지지간(47) 및 이에 결합된 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b) 및 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)를 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동시키는 실린더(49), 지지간(47)의 실린더(49)와 연결되지 않은 부분에 결합되어 지지간(47)이 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동할 때 지지간(47)의 전 길이에 대해서 동일한 거리로 움직이도록 하는 제1가이드(51a)와 제2가이드(51b)로 구성된다.

도5와 같은 구조에 의해, 드럼(11) 표면에 두 개의 가압롤러(43a, 43b)가 일정한 압력으로 접촉할 수 있다. 접촉 압력을 더욱 정확하게 조정하기 위해서는 실린더(49)에 압력센서를 설치하여 드럼(11)에 가해지는 압력을 측정하도록 하여 관리포인트로 삼을 수 있게 할 수 있다.

또한, 지지간(47)과 실린더(49)가 힌지결합되어 있기 때문에 지지간(47)이 드럼(11)의 중심축으로부터 다소 벗어나 있더라도 제1, 제2가압롤러(43a, 43b)는 드럼(11)에 일정한 압력으로 접촉할 수 있다. 이를 위해 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)과 지지간(47) 사이에는 스프링(53)이 설치되어 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)이 항상 지지간(47)을 축으로 대칭이 되도록 하는 것이 바람직하다.

도4와 도5에서는 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)의 구조와 작용에 대해서만 설명하였지만, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다. 앞에서 설명한 적이 있지만, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)는 드럼(11)을 정위치에 위치하도록 미는 역할도 하지만 드럼(11) 표면에 FPC 기판(17)을 밀착시키는 역할이 주기능이다.

도15에 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)의 다른 실시예를 나타내었다. 도5와는 달리 제1가이드(51a)와 제2가이드(51b)가 각각 실린더(49)에 의해 직선운동을 하는 구조로 되어 있다. 나머지 구성요소는 도5에 나타낸 것과 동일하다. 도15의 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)를 채용한 도10a 및 도10b에서는 도3과 달리 드럼의 상부에서 하부로 미는 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)가 없다. 대신에 포지션롤러(23a,b)와 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)로 드럼(11)을 정위치에 위치시키고 있다. 따라서, 도10a와 도10b에서는 포지션롤러(23a,b)와 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)가 드럼(11)의 중심에 대하여 대칭이 되는 각도로 설치되어야 한다.

드럼 교체에 따른 변형 실시예

도4와 도5에서는 한 종류의 드럼(11)을 중심으로 원리 설명을 하였지만, 실제로 본 발명에 따른 노광장치를 사용하기 위해서는 노광하고자 하는 기판의 사이즈에 따라 다른 직경의 드럼을 교체해서 사용하여야 한다. 이때, 드럼의 직경에 따라 원주길이가 달라지므로 기판의 사이즈가 크다면 그만큼 드럼의 직경이 큰 것으로 (반대의 경우에는 작은 직경의 드럼으로) 교체하여야 한다. 다른 직경의 드럼을 교체하기 위해서 다음과 같은 방안을 생각해 볼 수 있다.

(1) 모든 드럼에 대해서 회전축의 위치를 동일하게 하는 방안

이는 도6의 경우로서, 큰 직경의 드럼(11)을 작은 직경의 드럼(11')으로 교체하더라도 회전축(C)의 위치가 동일하므로, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)와 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)를 동일한 위치에서 교체된 드럼(11')의 회전축 방향으로 밀어서 밀착시키기만 하면 된다.

단 이때 포지션 롤러(23a, 23b)의 위치도 안쪽으로 밀어주어야 한다. 포지션 롤러(23a, 23b)의 위치 이동은 도7과 같이 구현 가능하다. 즉, 도7에서, 프레임에 스토퍼(59)를 고정시키고 스토퍼(59)상에서 어져스터(61)가 왕복하도록 하여, 포지션 롤러(23a 또는 23b)의 회전축(55)이 지지되는 베어링(57)을 어져스터(61)의 스프링(63)으로 밀도록 어져스터(61) 위치를 조정한 후 볼트(65)로 고정하는 방법으로 구현가능하다. 포지션 롤러(23a, 23b)는 스프링(63)에 의해 드럼(11) 쪽으로 탄력있게 FPC 기판(17)을 밀 수 있다. 이로써 FPC 기판(17)의 노광영역을 드럼에 밀착시킬 수 있다.

(2) 교체할 드럼의 회전축을 종전 드럼의 회전축 하방으로 이동시키는 방안

이는 도8에서 보는 것과 같다. 본 방안에서는 항상, 교체되는 새 드럼의 하부면이 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)에 접촉되도록 아래로 내려서 교체하는 방안이다. 즉, 회전축이 종전의 C에서 C'으로 내려온다. 이때에는, 이탈 방지용 가압롤러(25c)를 동일한 위치에서 교체된 드럼(11') 방향으로(즉 아래로) 밀어서 밀착시키고, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)는 단지 롤러연결봉(45a 또는 45b)의 힌지결합축(67)을 중심으로 제1, 제2가압롤러(도5의 43a, 43b)가 모두 드럼에 밀착되도록 움직이기만 하면 된다(드럼을 하방으로 내리는 동작에 의해 롤러연결봉(45a 또는 45b)은 자연스럽게 도8의 점선처럼 움직이게 된다). 이때에도 포지션 롤러(23a,23b)는 도7과 같은 방식으로 교체된 드럼쪽으로 이동시키면 된다.

본 방안에 따르면 드럼 하부의 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)의 구조를 도5와 같이 구성할 필요가 없다. 즉, 도5에서와 같이 수직이동을 위한 실린더(49)와 가이드(51a,b)가 필요없고, 단지 드럼(11)에 제1, 제2가압롤러(도5의 43a, 43b)가 닿도록 위치를 고정하고 도9에서와 같이 롤러연결봉(45a)이 지지간과 연결된 힌지결합축(67)에서 탄성적으로 움직일 수 있기만 하면 충분하다. 따라서, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)의 구조가 간단해지고 장비의 가격이 절감될 수 있다.

노광장치의 콘솔구조 및 드럼교체 방법

도16은 본 발명에 따른 플렉시블 회로기판용 노광장치의 실제 콘솔구조를 나타내는 상부 사시도이다. 장치콘솔(109)에 도10b의 메카니즘이 조립되어 있는 것을 볼 수 있다. 드럼(11)의 상부에 분진제거 롤러(29)가 위치하고 있으며, 장치의 앞쪽으로 노광램프 냉각용 배관시스템(90)이 보이고 있다.

도16을 참고하여, 본 발명의 노광장치에서 드럼을 교체하기 위한 방법에 대해서 설명한다. 앞에서 제작할 기판의 크기에 따라 드럼의 직경을 다르게 해야 한다는 것에 대해서 설명한 바 있다. 도16에서, 드럼(11)을 교체하기 위해서는 우선, 드럼(11)에 밀착되어 있는 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)와 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c) 및 포지션롤러(23a, 23b)를 드럼(11)으로부터 후퇴시켜야 한다. 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b), 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)는 도16에서는 보이지 않는다(참조: 도10a,b,c). 다음에, 드럼(11)의 상부에 있는 분진제거 롤러(29)를 제거하여야 한다. 분진제거 롤러(29)를 제거하기 위해서, 분진제거 롤러 이동용 실린더(105)와 분진제거 롤러 슬라이드 가이드(107a,b)를 설치하였다. 도16에서 보는 것과 같이 실린더(105)를 동작시켜 분진제거 롤러(29)를 좌측으로 밀면, 드럼(11)의 상부로는 아무 것도 없게 된다. 이 상태에서 드럼(11)을 들어내고 다른 드럼으로 교체하면 된다. 드럼(11)의 구동메카니즘은 도11에 나타낸 것과 같다. 드럼(11) 구동용 기어산(67)이 드럼의 외경에 형성되어 있으므로 드럼의 교체가 매우 쉽게 이루어질 수 있다.

본 발명에 따르면, 드럼이 회전하고 FPC 기판이 계속 이동하면서 연속적으로 노광이 진행되므로 생산성이 향상된다.

또한, 노광장치의 사이즈를 줄일 수 있다. 예를 들어, 종래에 기판 사이즈가 610*510mm이라면 이에 맞는 포토마스크가 필요하므로 노광장비가 길어진다. 그러나, 포토마스크를 드럼에 밀착하여 노광할 때에는 마스크의 사이즈를 700mm으로 하더라도 장비의 길이는 230mm 정도면 가능해진다.

또한, 종래의 기술처럼 기판의 이동을 위해 부가되는 클램프 등의 구성이 불필요하여 장비의 크기가 대폭 감축될 수 있다.

본 발명에서는 노광램프로서 산란광을 쓰지만, 드럼 중심에 설치된 광원으로부터 노광 위치까지의 거리는 모두 드럼의 반지름으로서 동일하므로 평행광을 쓰는 것과 같은 효과가 생겨서, 균일한 노광품질의 확보가 가능하고 평행광을 만들기 위한 부대적인 광학계의 구성이 불필요하여 장치가 간단해진다.

Claims

회전하는 투명 드럼(11)의 내부 중앙에 노광램프(13)가 설치되고,

드럼(11)의 외주면에는 포토마스크(15)가 부착되며,

상기 포토마스크(15)에는 플렉시블 회로기판(FPC 기판)(17)의 노광될 영역이 밀착하여 드럼(11)의 회전에 의해 이동하고,

노광램프(13)에 의해 투명 드럼(11)의 내부에서 외부로 포토마스크(15)를 투영하여 FPC 기판(17)에 노광이 되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
회전하는 투명 드럼(11)의 내부 중앙에 노광램프(13)가 설치되고,

드럼(11)의 외주면에는 포토마스크(15)가 부착되며,

상기 포토마스크(15)에는 플렉시블 회로기판(FPC 기판)(17)의 노광될 영역이 밀착하여 드럼(11)의 회전에 의해 이동하여, 노광램프(13)에 의해 투명 드럼(11)의 내부에서 외부로 포토마스크(15)를 투영하여 FPC 기판(17)에 노광이 되고,

드럼(11) 표면의 일부에는 드럼을 회전축 방향으로 밀어 이탈을 방지하는 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)가 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
회전하는 투명 드럼(11)의 내부 중앙에 노광램프(13)가 설치되고,

드럼(11)의 외주면에는 포토마스크(15)가 부착되며,

상기 포토마스크(15)에는 플렉시블 회로기판(FPC 기판)(17)의 노광될 영역이 밀착하여 드럼(11)의 회전에 의해 이동하여, 노광램프(13)에 의해 투명 드럼(11)의 내부에서 외부로 포토마스크(15)를 투영하여 FPC 기판(17)에 노광이 되고,

드럼(11) 표면중 FPC 기판(17)의 노광영역이 밀착되는 면에는 적어도 2개의 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)가 설치되어 FPC 기판(17)의 노광영역을 드럼(11) 표면의 포토마스크에 밀어서 밀착시키는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 노광전의 FPC 기판(17)이 감겨있는 언코일러(19)와, 언코일러(19)로부터 풀려서 드럼(11)과 밀착하여 노광이 된 FPC 기판(17)을 되감는 코일러(21)가 추가로 포함되는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, FPC 기판(17)의 노광영역의 경계부를 밀어서 드럼(11)에 밀착하도록 노광영역의 경계부의 시작단과 종단에 각각 설치되는 복수의 포지션 롤러(23a, 23b)가 추가로 포함되는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 5에서, 포지션 롤러는 탄성재질로 제작되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 상기 드럼(11)은 투명한 재질의 유리 또는 석영 또는 아크릴중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 노광램프(13)에는, 드럼(11)의 일부 구간에만 조사되도록 하기 위해 원주의 일부에서만 광을 통과시키는 차광커버(13a)가 씌워지는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 언코일러(19)와 코일러(21) 사이에서 이동하는 FPC 기판(17)의 장력을 일정하게 유지하여 드럼(11)과의 밀착성을 향상시키기 위한 다수의 텐션롤러(27)가 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 9에서, 상기 텐션롤러는 탄성재로 제작되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서,

언코일러(19)와 드럼(11)과의 사이 및 코일러(21)와 드럼(11)과의 사이에 FPC기판(17)을 자중으로 아래로 밀도록 설치된 제1롤러(28b)와,

제1롤러(28b)의 좌측과 우측에 각각 회전되도록 설치되어 제1롤러(28b)가 자체의 무게로 FPC기판(17)을 아래로 밀 때 제1롤러(28b)의 좌우에서 고정점 역할을 하여 FPC기판(17)이 팽팽해지도록 하는 제2롤러(28a)와 제3롤러(28c)를 포함하는 텐션유지부가 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 파우더 브레이크와 모터가 추가되어, 코일러(21)의 구동모터의 속도를 드럼(11)의 회전속도보다 빠르게 설정함으로써 FPC기판(17)의 장력을 제어하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, FPC 기판(17) 또는 드럼(11)의 표면에 묻어 있는 분진(particle)을 제거하는 분진제거 롤러(29)가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 13에서, 분진제거 롤러(29)는 FPC 기판(17) 또는 드럼(11)에 접촉되어 회전하는 저접착력 롤러(95)와, 이에 접촉되어 회전하는 고접착력 롤러(97)로 구성되어,

FPC 기판(17)이 이송될 때 저접착력 롤러(95)는 기판(17) 또는 드럼(11)에 묻어있는 분진을 접착하여 뜯어내고 이 분진은 다시 고접착력 롤러(97)에 의해 뜯겨져 고접착력 롤러(97)에 부착되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 14에서, 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)는 롤러코어(99)의 표면에 점착 테이프(101)를 감아서 제작되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 15에서, 저접착력 롤러(95)와 고접착력 롤러(97)가 항시 접촉되어 있도록 저접착력 롤러(95) 또는 고접착력 롤러(97)의 위치를 조절하는 위치조절 스프링(103)이 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 드럼(11)과 밀착되는 FPC 기판(17)의 노광영역 경계 부근에는 FPC 기판(17)의 수평성 및 직선성을 검지하는 위치센서(31a, 31b)가 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 1~3중 어느 한 항에서, 드럼(11)은 내부가 빈 실린더 형태로서 양 입구에 드럼지지판(11a, 11a')이 부착되는데, 각 드럼지지판(11a, 11a')에는 각각 회전축(11b, 11b')이 형성되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 18에서, 각 드럼지지판(11a, 11a')에는 환기구(11c, 11c')가 형성되어 드럼(11) 내부의 공기를 순환시켜 드럼 내부를 냉각시키는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 18에서, 어느 한쪽 드럼지지판(11a)의 회전축(11b)에는 종동풀리(33)가 결합되어 모터(35)에 의한 구동풀리(37)의 회전으로부터 동력전달요소(39)에 의해 드럼(11)을 회전시키는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 20에서, 노광램프의 지지축(41)은 프레임에 고정되고 드럼(11)만 회전축(11b)과 함께 회전되도록, 드럼지지판(11a)에는 노광램프 지지축(41)이 관통하는 관통공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 18에서, 드럼(11)의 양측 각 드럼지지판(11a, 11a')의 원주면에는 전체 원주에 걸쳐서 기어산(67)이 형성되며, 상기 각 기어산(67)에 한 쌍의 드럼구동 기어(69)가 결합되고, 각 드럼구동 기어(69) 각각은 일축의 풀리기어(71)에 의해 회전하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 18에서,

드럼(11) 내부에 설치되는 노광램프의 양단을 지지하기 위하여 노광램프용 소켓(91)이 형성되어 노광램프(13)를 양쪽에서 지지하는 제1지지판(81)과 제2지지판(83),

상기 제1지지판(81) 및 제2지지판(83)에 각각 형성된 흡기구(87),

상기 제1지지판(81) 및 제2지지판(83)을 관통하도록 형성된 배기구(89),

상기 각 흡기구(87)와 관통되어 상기 각 지지판(81, 83)의 안쪽으로 형성된 복수의 분출구(87', 87"),

상기 분출구에 연결되는 관으로서 표면에는 슬릿이 뚫려 있는 분출노즐(93a, 93b)로 구성되어,

제1지지판(81)과 제2지지판(83)의 흡기구(87)로 흡입된 공기가 분출구(87', 87")를 통해 분출노즐(93a,b)로 들어가 드럼 내부를 향해 슬릿으로 강하게 분출되며, 분출노즐(93a,b)에서 드럼(11) 내부로 분출된 공기는 제1지지판(81)과 제2지지판(83)에 형성된 배기관(89)를 통해 드럼(11) 밖으로 빠져나가는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 2에서, 드럼이탈 방지용 가압롤러(25c)는

드럼(11)의 표면에 접촉하여 드럼(11)을 미는 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b),

제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)의 양단을 연결하되 각각 회전가능하게 연결하는 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b),

제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b)을 길이 방향으로 연결하며 각 롤러연결봉(5a, 45b)이 회전되도록 길이 방향으로 연결하는 지지간(47),

지지간(47)의 중앙에 힌지결합되어 지지간(47)이 힌지동작을 하도록 하며 지지간(47) 및 이에 결합된 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b) 및 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)를 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동시키는실린더(49),

지지간(47)의 실린더(49)와 연결되지 않은 부분에 결합되어 지지간(47)이 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동할 때 지지간(47)의 전 길이에 대해서 동일한 거리로 움직이도록 하는 제1가이드(51a)와 제2가이드(51b)로 구성되는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 24에서, 상기 실린더에는, 접촉 압력을 감지하기 위한 압력센서가 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 24에서, 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)과 지지간(47)의 힌지결합축에는 스프링(53)이 설치되어 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)이 항상 지지간(47)을 축으로 대칭이 되도록 하는 힘을 받는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 3에서, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)는

드럼(11)의 표면에 접촉하여 드럼(11)을 밀고 FPC 기판의 노광영역을 드럼에 밀착시키는 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b),

제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)의 양단을 연결하되 각각 회전가능하게 연결하는 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b),

제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b)을 길이 방향으로 연결하며 각 롤러연결봉(5a, 45b)이 회전되도록 길이 방향으로 연결하는 지지간(47),

지지간(47)의 중앙에 힌지결합되어 지지간(47)이 힌지동작을 하도록 하며 지지간(47) 및 이에 결합된 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b) 및 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)를 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동시키는 실린더(49),

지지간(47)의 실린더(49)와 연결되지 않은 부분에 결합되어 지지간(47)이 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동할 때 지지간(47)의 전 길이에 대해서 동일한 거리로 움직이도록 하는 제1가이드(51a)와 제2가이드(51b)로 구성되는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 3에서, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)는

드럼(11)의 표면에 접촉하여 드럼(11)을 밀고 FPC 기판의 노광영역을 드럼에 밀착시키는 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b),

제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)의 양단을 연결하되 각각 회전가능하게 연결하는 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b),

제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b)을 길이 방향으로 연결하며 각 롤러연결봉(5a, 45b)이 회전되도록 길이 방향으로 연결하는 지지간(47),

지지간(47)의 양단에 힌지결합되어 지지간(47)이 힌지동작을 하도록 하며 지지간(47) 및 이에 결합된 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b) 및 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)를 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동시키는 제1 및제2실린더(49, 49)로 구성되어, 지지간(47)이 드럼(11)에 대해 수직으로 상하 이동할 때 지지간(47)의 전 길이에 대해서 동일한 거리로 움직이도록 하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 27 또는 28에서, 상기 실린더에는, 접촉 압력을 감지하기 위한 압력센서가 설치되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 27 또는 28에서, 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)과 지지간(47)의 힌지결합축에는 스프링(53)이 설치되어 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)이 항상 지지간(47)을 축으로 대칭이 되도록 하는 힘을 받는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 3에서, 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)는

드럼(11)의 표면에 접촉하여 드럼(11)을 밀고 FPC 기판의 노광영역을 드럼에 밀착시키는 제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b),

제1가압롤러(43a)와 제2가압롤러(43b)의 양단을 연결하되 각각 회전가능하게 연결하는 제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b),

제1롤러연결봉(45a)과 제2롤러연결봉(45b)을 길이 방향으로 연결하며 각 롤러연결봉(5a, 45b)이 회전되도록 길이 방향으로 연결하는 지지간(47)으로 구성되는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 31에서, 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)과 지지간(47)의 힌지결합축에는 스프링(53)이 설치되어 제1, 제2롤러연결봉(45a, 45b)이 항상 지지간(47)을 축으로 대칭이 되도록 하는 힘을 받는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 24~28 및 31 중 어느 한 항에서, 포지션 롤러(23a, 23b)는

프레임에 고정된 스토퍼(59)와, 스토퍼(59)상에서 왕복하면서 포지션 롤러(23a, 23b)의 회전축(55)이 지지되는 베어링(57)을 스프링(63)에 의해 드럼쪽으로 미는 어져스터(61)와, 어져스터(61)를 스토퍼(59) 상에서 움직인 후 고정하는 볼트(65)로 구성되는 장치에 의해 드럼쪽으로 밀착되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 29에서, 포지션 롤러(23a, 23b)는

프레임에 고정된 스토퍼(59)와, 스토퍼(59)상에서 왕복하면서 포지션 롤러(23a, 23b)의 회전축(55)이 지지되는 베어링(57)을 스프링(63)에 의해 드럼쪽으로 미는 어져스터(61)와, 어져스터(61)를 스토퍼(59) 상에서 움직인 후 고정하는 볼트(65)로 구성되는 장치에 의해 드럼쪽으로 밀착되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
청구항 30에서, 포지션 롤러(23a, 23b)는

프레임에 고정된 스토퍼(59)와, 스토퍼(59)상에서 왕복하면서 포지션 롤러(23a, 23b)의 회전축(55)이 지지되는 베어링(57)을 스프링(63)에 의해 드럼쪽으로 미는 어져스터(61)와, 어져스터(61)를 스토퍼(59) 상에서 움직인 후 고정하는 볼트(65)로 구성되는 장치에 의해 드럼쪽으로 밀착되는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로기판용 노광장치.
회전하는 투명 드럼(11)의 내부 중앙에 노광램프(13)가 설치되고,

드럼(11)의 외주면에는 포토마스크(15)가 부착되며,

상기 포토마스크(15)에는 플렉시블 회로기판(FPC 기판)(17)의 노광될 영역이 밀착하여 드럼(11)의 회전에 의해 이동하여, 노광램프(13)에 의해 투명 드럼(11)의 내부에서 외부로 포토마스크(15)를 투영하여 FPC 기판(17)에 노광이 되고,

드럼(11) 표면중 FPC 기판(17)의 노광영역이 밀착되는 면에는 적어도 2개의 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b)가 설치되어 FPC 기판(17)의 노광영역을 드럼(11) 표면의 포토마스크에 밀어서 밀착시키며,

FPC 기판(17) 또는 드럼(11)의 표면에 묻어 있는 분진(particle)을 제거하는 분진제거 롤러(29)를 포함하여 구성되는 청구항 13과 같이 구성되는 플렉시블 회로기판용 노광장치에 있어서,

상기 드럼(11) 및 기판밀착용 가압롤러(25a, 25b), 분진제거 롤러(29)를 수용하는 장치콘솔(109),

상기 장치콘솔(109)에 수용된 분진제거 롤러(29)를 드럼(11)의 상부로부터 드럼(11)이 노출되도록 측면으로 이동시키는 분진제거 롤러 이동용 실린더(105),

상기 분진제거 롤러(29)가 측면으로 이동되도록 가이드하는 분진제거 롤러 슬라이드 가이드(107a,b)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 회로 기판용 노광장치.