KR100377028B1

KR100377028B1 - 광정보기록매체

Info

Publication number: KR100377028B1
Application number: KR10-2000-7009236A
Authority: KR
Inventors: 히로키 야마모토; 다카시 나이토; 다카시 나메카와; 야스오 이마니시; 켄 다카하시; 모토야스 데라오; 도시미치 신타니
Original assignee: 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
Priority date: 1998-06-29
Filing date: 1999-06-28
Publication date: 2003-03-26
Also published as: JP2000011455A; US7169334B2; US20040063032A1; EP1094454A4; KR20010041180A; US6667946B1; TW452789B; WO2000000965A1; EP1094454A1

Abstract

광정보기록매체는 기판의 상면에 광의 강도 또는 강도분포를 변화시키는 무기막을 형성하여 그 상부에 기록막, 보호막, 반사막을 설치하고, 상기 무기막은 N(N은 2 이상의 정수)종의 상으로 이루어지고, 그중에 적어도 1개 이상 N 종 미만의 상은 입계부이고, 그 외의 상은 미립자이다. 이에 의해 정보를 고밀도로 입력할 수 있다.

Description

광정보기록매체{OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM}

광정보기록매체로서 콤팩트디스크(CD), 레이저디스크(LD) 등이 널리 보급되어 있고, 최근에는 CD의 7배 이상의 기록밀도를 가지는 DVD가 실용화되었다. 이 DVD는 직접 기판에 정보가 입력된 판독전용 ROM(DVD-ROM)외에 재입력 가능한 기록재생매체로서도 개발이 진행되어 있어 컴퓨터용 RAM(DVD-RAM)으로서도 실용화가 검토되고 있다.

DVD에서는 CD 등에 사용되고 있던 레이저(780 nm)보다도 단파장인 약 650 nm의 레이저광을 사용함으로써 고밀도 기록화를 달성하고 있으나, 컴퓨터 그래픽스 등의 대용량의 정보를 처리하기 위해서는 그 1.5∼2배의 고기록 밀도화를 달성할 필요가 있다. 이것을 달성하기 위하여 다시 단파장의 초록∼청색 반도체 레이저(파장520∼410nm)의 개발이 진행되고 있다.

또 하나의 고기록 밀도화기술로서, 초해상막을 들 수 있다. 이 초해상막은 기록매체의 하면에 형성되는 막으로, 이 막을 투과한 입사광의 빔스폿을 축소화함으로써 고기록 밀도화를 달성할 수 있다.

초해상 효과의 메커니즘의 하나는 흡수포화현상으로, 초해상막이 그 흡수포화량 이상의 강도를 가지는 광은 투과시키고 그것 이하의 강도의 광은 흡수한다는 비선형의 광학특성을 이용한 현상이다. 기록에 이용되는 레이저빔의 공간적인 강도는 가우스분포로 되어 있기 때문에 빔이 초해상막을 통과함으로써 강도가 낮은 가장자리 부분은 초해상막에 의해 흡수되고, 중심부분의 강도가 높은 부분에서는 광이 투과한다. 이 때문에 투과후의 빔지름을 축소할 수 있다.

현재 이와 같은 초해상막으로서는 일본국 특개평8-96412호 등에서 볼 수 있는 바와 같은 프탈로시아닌계의 유기막이나 칼코게나이드계 화합물 등을 들수있다. 이 외에 동일한 유기재료로 일본국 특개평6-162564호 기재의 서모크로믹재료와, 특개평6-267078호 기재의 포토크로믹재료를 초해상막으로서 사용하는 시도도 알려져 있다.

그러나 상기한 바와 같은 재료에서는 신뢰성, 생산성 등의 점에서 각각 문제가 있다. 유기막에서는 기록 또는 판독시에는 빔의 에너지밀도가 국소적으로 매우 높아지기 때문에 반복하여 기록과 재생동작을 행하면 서서히 막이 열화될 우려가 있다. 이 때문에 컴퓨터용 RAM 등, 가혹한 사용환경하에서는 충분한 기록재생동작 회수를 보증하기 어렵다. 또 칼코게나이드에서는 화학적으로 불안정하기 때문에 긴 보증기간을 얻기가 어렵다.

본 발명은 광정보기록매체에 관한 것으로, 특히 높은 기록밀도로 판독 또는 입력이 가능하고, 또한 반복 기록재생동작에 대하여 높은 신뢰성을 가지는 광정보기록매체에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에서 제작한 ROM 디스크 단면의 모식도,

도 2는 도 1의 ROM 디스크로부터 얻어진 출력의 판독 주파수 의존성을 나타내는 도,

도 3은 본 발명의 실시예에서 제작한 초해상막의 X선 회절패턴을 나타내는 도,

도 4는 본 발명의 실시예에서 제작한 초해상막의 X선 회절패턴을 나타내는 도,

도 5는 본 발명의 실시예에서 제작한 초해상막의 X선 회절패턴을 나타내는 도,

도 6은 본 발명의 실시예에서 제작한 초해상막의 TEM 상을 나타내는 사진.

도 7은 본 발명의 실시예에서 제작한 초해상막의 전자선 회절상을 나타내는 사진,

도 8은 본 발명의 실시예에서 제작한 RAM 디스크 단면의 모식도,

도 9는 도 8의 RAM 디스크로부터 얻어진 기록마크길이에 대한 출력의 변화를 나타내는 도,

도 10은 유리막을 형성한 경우 및 형성하지 않은 경우의 레이저빔지름의 변화를 나타내는 도,

도 11은 본 발명의 실시예의 초해상막을 형성한 RAM 디스크의 기록재생동작회수와 출력과의 관계를 나타내는 도,

도 12는 CoO 함유량과 출력과의 관계를 나타내는 도,

도 13은 막상에 석출한 입자의 평균입자지름과 출력과의 관계를 나타내는 도,

도 14는 본 실시예에서 제작한 광정보기록재생장치의 블럭도이다.

본 발명에서는 반복된 기록재생동작을 장기간 보증할 수 있고, 또한 생산성이 양호하고 높은 초해상 효과를 가지는 초해상막을 가지는 광기록매체를 얻는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 광정보기록매체는, 적어도 정보를 가지는 피트가 형성된 기판과, 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막(이하, 초해상막이라 함)을 가지고 있으며, 상기 막은 N(N = 2, 3, 4, …: 2 이상의 정수)종의 상(相)으로 구성되는 무기화합물이며, 상기 N 종의 상중 적어도 1개 이상 N 종 미만의 상은 입계부이고, 그 외의 상은 미립자이다.

여기서 미립자란 예를 들어 구형상이나 기둥형상의 미립자와 같은 상이며, 1개의 매트릭스중에 분산되었던 불연속한 구조를 가지는 상을 말한다. 한편 입계부란 이 메트릭스상으로 대표되는 상이며, 모두가 독립으로 이루어지는 일 없이 연결되어 존재하고 있는 상이다. 또 이 입계부는 상기 미립자를 분산하도록 하여 존재하고 있다.

또 적어도 기판과 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막과, 이 막상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 광에 의해 정보가 기록되는 기록막을 가지고있고, 상기 막은 N(N = 2, 3, 4, …: 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되는 무기화합물이며, 상기 N 종의 상, 그중에 적어도 1개 이상 N 종 미만의 상은 입계부며, 그 외의 상은 미립자이다. 상기 미립자의 평균지름은 1 nm 이상 70 nm 이하이며, 이 미립자 사이에 존재하는 입계부의 폭은 0.3 nm 이상 100 nm 이하 이다. 또한 상기 입계부는 비정질의 무기화합물이며, 또한 상기 미립자는 결정질의 무기화합물이다. 또 상기 입계부는 유전체이며, 또한 상기 미립자는 금속, 반도체, 또는 유전체중 어느 하나이다.

또 본 발명의 광정보기록매체는 적어도 정보를 가지는 피트가 형성된 기판과 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막을 가지는 광정보기록매체로서, 이 막은 Co, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Ni, Si, Pb, Bi, Al로부터 선택되는 적어도 1종 이상의 원소를 함유하는 N(N = 2, 3, 4, …: 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되고, 그 중에 적어도 1개 이상 N 종 미만의 상은 입계부이며, 그 외의 상은 미립자이다.

또한 적어도 기판과 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막과, 이 막상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된 광에 의해 정보가 기록되는 기록막을 가지는 광정보기록매체로서, 이 막은 Co, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Ni, Si, Pb, Bi, Al에서 선택되는 적어도 1종 이상의 원소를 함유하는 N(N = 2, 3, 4, …: 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되며, 그 중에 적어도 1개 이상 N 종 미만의 상은 입계부이며, 그 외의 상은 미립자이다.

또한 본 발명의 광정보기록매체는 적어도 기판과 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막과, 이 막상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된 광에 의해 정보가 기록되는 기록막을 가지는 광정보기록매체로서, 이 막은 입사광의 입사시에상기 입사광에 의해 그 굴절율이 변화되어 입사광을 입사하지 않았을 때의 굴절율을 n_O, 입사광의 강도를 I로 하였을 때, 관측되는 굴절율의 절대치(n)를

n = n₀+ n₂I

라 기재하였을 때, 이 n₂가 1.0 ×10^-9(m²/W)이상 1.0 ×10^-7(m²/W)이하인 것을 특징으로 한다.

또 이 때 굴절율 변화(n-n₀)는 입사광 조사후 2.50 ×10^-7초이상 3.50 ×10^-7초이하에서 포화되고, 또한 입사광을 제거한 후 2.5 ×10^-7초이상 1.0 ×10^-2초이하의 시간 간격내에 원래의 굴절율로 회복된다.

또한 상기 막은 Co산화물을 CoO의 산화물 환산으로 60∼95중량% 함유하고, 나머지가 Si, Ti, Al, Pb, Bi 중 적어도 1종 이상의 원소의 산화물이다.

또 본 발명의 광정보기록재생장치는 적어도 복수 파장의 레이저와, 그 레이저를 선택하는 수단과, 그 레이저마다 변화되는 초점을 자동으로 조절하는 기구를 포함하고, 또한 기록재생을 행하는 매체의 기록용량을 판별하는 수단과, 그것에 의하고 판별된 매체에 따라 트래킹을 변화시키는 수단을 구비한다.

(실시예 1)

본 발명을 실시예를 사용하여 상세하게 설명한다.

도 1에 본 실시예에서 제작한 ROM 디스크의 부분 단면의 개략도를 나타낸다. 도 1에 있어서 1은 기판, 2는 초해상막, 5는 SiO₂보호막, 4를 Al-Ti계 재료로 이루어지는 반사막, 6은 정보를 가지고 입력된 피트이다. 기판(1)은 폴리카보네이트, 폴리올레핀, 유리 등이 시방에 따라 사용되나, 본 실시예에서는 폴리카보네이트를 사용하였다. 도 1에서는 화살표로 나타내는 바와 같이 판독을 위해 광(예를 들어 레이저광)이 밑으로부터 입사된다.

또한 ROM 디스크는 이하의 공정에 의해 제작하였다. 먼저　포토레지스트위에　레이저를 사용하여 정보를 가진 피트패턴을 형성하였다. 그 후 Ni 금형에 피트패턴을 복사하여 이 금형에 폴리카보네이트를 사출성형함으로써 기판을 형성하였다. 이 기판상에 원하는 막두께의 초해상막(2)을 스패터링으로 형성하여 SiO₂보호막(5)을 막두께 140 nm을 형성한 후, Al-Ti계의 재료로부터 스패터링에 의해 반사막(4)을 막두께 100 nm 형성하였다. 기판(1)의 두께는 0.6 mm 이며, 본 실시예에서는 성막한 2매의 기판(도 1에 나타내는 것)을 반사막(4)을 등(背)으로 하여 자외선 경화수지를 사용하여 맞붙여 1.2 mm두께의 ROM 디스크를 얻었다. 초해상막(2)의 막두께로서는 100 nm이상, 300 nm 이하의 범위에서 선택하였다.

본 실시예에서는 초해상막(2)에 해당하는 막의 조성을 변화시켜(뒤에서 설명하는 표 1의 No. 1 내지 29), ROM 디스크(뒤에서 설명하는 표 1의 No.30)를 제작하고 각각에 있어서의 초해상특성을 평가하였다. 또 비교예로서 초해상막(2)을 형성하지 않은 ROM 디스크(뒤에서 설명하는 표 1의 No.30)도 제작하였다. 또 스패터링에는 2매 동시에 스패터링가능한 스패터링장치를 사용하고 서로의 파워를 독립하여 변화시킴으로써 막상에서 조성을 변화시켰다.

도 14에 본 실시예에서 사용한 광정보기록재생장치의 블럭도를 나타낸다. 광기록매체로서의 광디스크의 종류를 판별하는 매체판별수단을 가지고 있다. 광디스크는 모터회로 제어수단에 의해 제어되는 모터의 회전축에 직접 또는 간접으로 접속된 회전기구에 일시적으로 고정된다. 픽업내의 광원인 레이저와 반사광을 검지하는 검지부에 의해 광디스크의 정보를 광신호로서 판독한다. 또 픽업내의 광원에 의해 광디스크에 정보를 기억한다. 광신호는 전치 증폭기, 판독신호처리수단, 어드레스판독수단, 클록동기신호 판독수단을 거쳐 재생신호 복조수단을 개재하여 재생데이터 송출수단에 의해 장치밖으로 출력된다. 재생데이터는 표시장치나스피커 등의 소정의 출력수단에 의해 출력되거나 또는 퍼스널컴퓨터 등의 정보처리장치에 의해 데이터처리가 행하여진다.

본 실시예에서는 통상의 기록재생에 사용되는 회로계 외에 임의의 레이저파장을 선택가능한 레이저선택수단을 설치하였다. 레이저선택수단의 출력에 의거하고 레이저파워제어정보 해석수단의 해석에 의거하여 피크파워결정수단으로 사용되는 피크파워가 결정된다. 또 마찬가지로 판독파워 결정수단으로 판독파워가 결정된다. 피크파워 결정수단의 출력이 파워비 결정수단을 개재하여 기록파워 DC 증폭기와 삭제파워 DC 증폭기를 경유하여 레이저드라이버에 입력되어 픽업내의 광원을 제어한다. 마찬가지로 판독파워 DC 증폭기를 개재하여 판독파워결정수단의 출력은 레이저드라이버에 입력되어 픽업내의 광원을 제어한다. 또 실제의 레이저로서는 CD에서 사용되는 780nm, DVD에서 사용되는 650nm, 또한 520 nm, 410nm의 반도체레이저를 탑재하였다.

파장에 따라 초점이나 초점심도가 다르기 때문에 레이저를 선택에 따라 자동초점조정가능한 구조로 하였다. 또한 디스크에 초해상막이 탑재되어 트래킹폭이 가늘어지는 것에 대응하여 트래킹 오차 검출수단에 고밀도 기록용의 것을 따로 설치하여 매체에 맞춘 트래킹을 할 수 있게 하였다. 또 매체의 반사율차를 이용하여 매체의 종류별 판별기구를 설치하고, 이에 따라 매체종류의 차이에 맞추어 자동으로 트래킹할 수 있도록 설계하였다. 데이터 기록시는 기록데이터 수신수단으로부터 기록데이터가 입력되고, 기록데이터 변조수단으로 데이터변조되고, 기록타이밍 보정수단을 개재하여 레이저 드라이버에 입력되어 픽업내의 광원을 제어한다.

도 14와 같은 구성으로 함으로써, 종래의 CD와 DVD를 적합하게 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 대용량화 등에 의해 기록용량이 다른 디스크를 1대의 장치로 처리하는 것이 가능하게 된다. 또한 광정보재생기록장치는 그 목적·용도에 따라 적절하게 그 구성에 변경을 가하여 사용하여도 된다.

표 1에 제작한 초해상막에 상당하는 막의 조성 및 판독파워를 l, 2, 3, 4 mW로 하였을 때의 저주파성분(2 MHz)과 고주파성분(10 MHz)의 재생출력특성을 나타낸다. 또 이 표에서 판단되는 초해상 효과의 유무를 나타낸다. 판독에 사용한 레이저광은 파장 650 nm의 반도체 레이저이다.

본 실시예에서는 더욱 높은 초해상 효과를 얻기 위하여 650 nm 부근에 큰 흡수가 있는 Co 산화물을 함유한 막을 기초로 하여 여러가지의 재료를 첨가하여 막을형성하였다. 표 1에 있어서 조성은 각 성분의 중량비로 나타내고 있다. 표 1에 있어서 No.1은 CoO, No. 2는 SiO₂의 단상막이다. No.3 내지 No.7은 상기 SiO₂와 CoO를 2매의 타겟으로 하여 각각의 스패터링파워를 조정함으로써 제작한 막이다. 마찬가지로 No.8은 SiO₂- Na₂O - CaO - MgO - Al₂O₃계의 소다라임유리, 또한 No.9 내지 12는 이 소다라임유리와 CoO를 혼합하여 제작한 막, No.13은 TiO₂단층막, No. 14 내지 No.17은 TiO₂과의 혼합막이다.

또한 No.18 내지 21은 Al₂O₃계, No.22 내지 25는 SiO₂- PbO유리계, No.26 내지 No.29는 SiO₂- Bi₂O₃유리계의 단층막과 CoO와의 혼합막이다. 이들 유리계에서는 미리 SiO₂- PbO계, SiO₂- Bi₂O₃계의 유리블록을 제작하고 그것을 타깃으로 하여 막을 제작하였다. 또 No.30은 이 초해상막(2)을 형성하지 않은 예이다.

도 2에 재생출력특성의 주파수 의존성은 스펙트럼 애널라이저에 의해 해석하였다. 스펙트럼 애널라이저에 의한 재생출력특성의 측정예를 나타낸다. 도 2에 있어서 형성한 막은 실시예의 No.4의 막이다. 비교예로서 막을 형성하지 않은 경우(No.30)의 측정예도 아울러 나타낸다. 재생레이저파워는 모두 1 mW 이다.

초해상막으로서 실시예 No.4의 막을 형성한 경우에는, 이를 형성하지 않은 경우 (No.30)와 비교하여 보다 고주파성분까지 출력레벨이 높은 것을 알 수 있었다. ROM 디스크상에서는 신호의 고주파수성분은 더욱 치밀한 비트패턴으로 그려지기 때문에 초해상막을 형성한 경우에는 더욱 미세한 피트패턴까지 판독하여 재생출력하고 있음을 나타내고 있다. 따라서 No.4의 초해상막을 형성한 경우에는 초해상 효과가 얻어지고 있다.

표1에 있어서의 초해상 효과의 판단은, 도 2와 같은 스펙트럼으로부터 각 재생출력에 있어서의 2 MHz와 10 MHz 에 있어서의 출력을 판독하고, 고주파신호인 10 MHz 에 있어서의 출력이 10 dB 이상인 경우를 초해상 효과가 있는 것으로 하여 ○으로 하였다. 또한 10 dB에 미치지 않은 경우를 ×로 판단하였다.

표 1의 No.30과 같이 초해상막을 형성하지않은 경우에서는 도 2에 나타내는 바와 같이 2 MHz의 저주파에서는 비교적 높은 출력이 얻어졌으나, 10 MHz의 고주파에서는 충분한 출력이 얻어지지 않고, 이 주파수영역의 데이터를 판독하지 못함을 알 수 있었다.

No.1 내지 No.7의 CoO - SiO₂계에서는, No.1의 CoO 단상막, No.2의 SiO₂단상막, No.3의 SiO₂: CoO 비가 1 : 1에서는 고주파에 있어서의 재생출력이 낮아 초해상효과를 얻을 수 없었다. 한편 Co0함유량이 60%을 초과하는 No.4 내지 No.6에서는 고주파성분도 높은 출력으로 재생되고 있어 초해상 효과가 얻어지고 있었다.

No.8 내지 No.12의 CoO - 소다라임유리계에서는, No.2 내지 No.6의 마찬가지로 No.8의 유리단상막, No.9의 유리 : CoO = 1 : 1에서는 초해상 효과는 얻어지지 않았으나, CoO 함유량이 많은 No.10 내지 No.12의 막에서는 초해상 효과를 얻을 수 있었다.

No.13 내지 No.17의 TiO₂- CoO계 막에 있어서도 상기 실시예와 마찬가지로TiO₂단상막(No.13)에서는 초해상 효과는 얻어지지 않았으나, CoO를 많이 함유한 No.13 내지 No.17에서는 초해상 효과를 얻을 수 있었다. 마찬가지로 No.18 내지 No.21의 Al₂O₃- CoO계에서는 Al₂O₃단상막으로는 초해상 효과는 얻어지지 않았으나, 이것에 Co0를 많이 함유시킴으로써 초해상 효과를 얻을 수 있었다.

No.22 내지 25의(SiO₂- PbO) - CoO계, No.26 내지 29의(SiO₂- Bi₂O₃) - CoO 계막에서는 CoO를 함유하지 않은 경우에도 초해상 효과를 얻을 수 있었다. 또 이것에 Co0를 함유시킴으로써 고주파에서의 출력이 크고 매우 뛰어난 초해상 특성을 얻을 수 있음을 알 수 있었다.

상기 결과에서 SiO₂, 유리, TiO₂등의 매트릭스의 성분에 의하지 않고 CoO 함유량이 65% 정도이상 함유되면 높은 초해상 효과를 얻을 수 있음을 알 수 있었다. 따라서 SiO₂를 매트릭스성분으로 하여 CoO 함유량을 증가시켰을 때의 10 MHz의 고주파성분의 출력으로부터 초해상 효과와 CoO 함유량과의 관계를 조사하였다.

도 12에 CoO 함유량(중량비)에 대한 ROM 디스크의 출력의존성을 나타낸다. 레이저파장은 650 nm, 레이저출력은 2 mW로 하였다. 도 12에 나타내는 바와 같이 CoO 함유량이 낮은 영역에서는 출력은 1∼2 dB로 낮고 초해상 재생이 행하여지고 있지 않음을 알 수 있다. 한편 CoO 함유량이 60중량% 정도로부터 서서히 출력이 상승하여 CoO 함유량이 95중량%까지 약10 내지 20 dB로, 비교적 높은 출력이 얻어지고 있음을 알 수 있다. 그러나 CoO 함유량이 95중량%를 초과하면 출력은 급격하게 저하하여 초해상 효과가 얻어지지 않게 되는 것을 알 수 있었다.

이와 같이 높은 초해상 효과를 얻기 위해서는 매트릭스의 종류에 의하지 않고 CoO 함유량(Co 산화물을 CoO의 산화물환산으로)이 60중량% 이상 95중량% 이하인 것이 바람직하다.

또 이상과 같이 높은 초해상 특성을 가지는 막에서는 표 1에 나타내는 바와 같이 입사광 강도에 의존하여 반사광 강도(출력에 대응) 즉 반사율이 크게 변화되어 있었다. 또 뒤에서 설명하는 바와 같이 이 막을 투과한 후, 반사막에 의해 반사되어 되돌아 온 빔의 반사강도는 입사시의 가우스분포로 되어 있지 않고 강도분포에 치움침이 생겨 있었다. 이것으로부터 이와 같이 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율이 변화되거나, 강도분포가 변화되는 막을 설치함으로써 높은 초해상 효과가 얻어짐을 알 수 있었다.

다음으로, 표 1에 나타내는 바와 같이 각 막의 비선형 굴절율 및 굴절율변화의 응답시간을 평가하였다. 이들 광학특성의 평가는 유리기판상에 막을 형성하여 막면에 650 nm의 레이저광을 수직하게 입사하여 그 입사광의 광로방향으로 시료를 스캔하여 레이저의 피크강도를 높이는 Z-scan 법을 사용하여 행하였다. 비선형 굴절율 (n₂)은 다음식을 사용하여 계산하였다.

n = n₀+ n₂I

여기서 n은 관측되는 굴절율이며, n_O은 광의 강도에 의존하지 않는 굴절율이고, 1은 입사광강도(W/m²)이다. 따라서 n₂의 값이 클 수록 굴절율의 광의 강도의존성이 크고 뛰어난 비선형 광학재료라 할 수 있다.

또 응답시간은 μ초 오더의 펄스광을 여기광으로서 조사하여 나노초 오더의 펄스광을 판독광으로서 입사하여 굴절율을 계측하고, 그 펄스광에 있어서의 굴절율의 변화를 시간에 대하여 플롯하여 평가하였다. 그리고 여기광을 입사한 시점에서 굴절율이 변화되어 포화되기까지의 시간을 산출하여 응답시간으로 하였다.

먼저 굴절율 변화량(n₂)을 비교하면 초해상 효과가 나타난 재료의 n₂는 10^-9내지 10^-7의 범위인 것을 알 수 있다. 또 9.0 ×10^-10이하의 것은 초해상 효과가 얻어지지 않음을 알 수 있었다. 이상의 것으로부터 초해상 효과를 얻기위해서는 비선형 굴절율(n₂)로서 1.0 ×10^-9(m²/W)이상인 것이 필요하다. 한편 이 굴절율 변화량이 지나치게 크면 입사광이 기록막에 도달하지 않는다는 현상이 나타났다. 상세하게 검토한 바, n₂가 1.0 ×10^-5(m²/W)를 초과하면 입사광이 기록막에 도달하지 않아 수광계에서 검출할 수 없었다.

이상의 검토로부터 비선형 굴절율(n₂)은 1.0 ×10^-9(m²/W)이상 1.0 ×10^-5(m²/W)이하인 것이 바람직하다.

또 응답시간이 빠른 막일수록 매체가 고속으로 회전하여도 큰 굴절율 변화가얻어지며, 또 비선형 굴절율(n₂)이 큰 것일수록 응답시간이 길어지는 것을 알 수 있었다. 그 응답시간은 120 ns 내지 360 ns의 사이에서 변화되고 있었으나, 초해상 효과가 얻어진 막에 대하여 보면 350 ns 이하이면 되는 것을 알 수 있다. 그것 이하이면 비선형 굴절율이 크더라도 응답시간이 느리기 때문에 겉보기의 굴절율변화량이 작아진다. 단, 반대로 지나치게 빠르면 레이저광의 조사중에 굴절율이 점점 변화되기 때문에 경우에 따라서는 굴절율이 원래로 되돌아가버리므로 결과적으로 굴절율 변화량이 작아진다는 문제가 있다. 본 실시예에서 응답시간은 250 ns 이상이면 굴절율 변화량이 작아지는 것은 보이지 않았다. 이상의 검토의해 응답 시간은 250 ns(2.50 ×10^-7초)이상 350 ns(3.50 ×10^-7초)이하인 것이 바람직하다.

또 디스크가 회전하는 회전체의 광정보기록매체에서는 디스크가 1회전할 때까지 피조사부가 원래의 굴절율로 회복되어 있을 경우에, S/N 좋게 재생가능함을 알 수 있었다. 이 회복시간을 상세하게 검토한 바, 250ns 이상 10ms 이하의 시간동안에 회복되는 막에 있어서 양호한 결과가 얻어졌다. 이 회복시간이 250 ns보다 짧으면 이와 같은 막에서는 상기한 응답시간도 짧아지기 때문에 굴절율 변화량이 실질적으로 작아졌다. 한편 회복시간이 10ms를 초과하면 디스크가 1회전하기 까지 굴절율이 회복되지않아 양호한 초해상 효과가 얻어지지 않았다. 이상으로부터 회복시간은 250 ns(2.5 ×10^-7초)이상 10 ms(1.O ×10^-2초)이하인 것이 바람직하다.

(실시예 2)

다음으로, 초해상 효과를 얻기 위하여 유효한 막구조를 조사하기 위하여 각초해상막의 막구조를 X선 회절, 투과형 전자현미경, 에너지분산형 특성X선 해석장치에 의해 해석하였다. 본 실시예에서는 초해상 효과가 얻어진 No.4 및 초해상 효과가 얻어지지 않았던 No.1, No.2의 막구조를 해석하였다.

도 3에 비교예 No.2의 막의 X선 회절도형을 나타낸다. 이 도면에서 막 No.2는 명료한 회절피크는 보이지 않고 비정질인 것을 알 수 있었다.

도 4에 막 No.4의 X선 회절피크를 나타낸다. 도 4에 나타내는 바와 같이 기판으로부터 얻어지는 헤일로(halo)패턴을 백그라운드로 하여 결정의 존재를 나타내는 피크가 보였다. 얻어진 피크로부터 석출되고 있는 결정은 Co₃0₄이라고 판단할 수 있었다. 이 막의 미세구조를 더욱 상세하게 검토하기 위하여 투과형 전자현미경에 의해 막구조를 평가하였다.

도 6의 사진에 막 No.4의 평면 TEM 상을 나타낸다. 도 6의 사진에 나타내는 바와 같이 이 막 No.4는 입자지름 약 10 nm의 미세입자의 집합체인 것을 알 수 있었다. 또 입계부분에는 폭이 약 1 nm인 입계상이 존재하고 있음을 알 수 있었다. 이 입계상은 입자를 둘러 싸는 것 같은 상태로 생성되어 있고, 이 입계상 자체는 그물코형상의 입계부를 형성하고 있음을 알 수 있었다. 또 결정입자는 이 입계부에 의해 서로 공간적으로 토막나 있고, 미립자로 되어 있음을 알 수 있었다. 따라서 막 No.4는 2종의 상으로 구성되는 무기화합물이고, 이 2종의 상중 1종은 입계부이고, 그 외의 상은 미립자임을 알 수 있었다.

또 동일한 검토를 표 1 No.23의 막에 있어서 실시하였다. No.23의 막은 3종의 상으로 구성되는 무기화합물이고, 이 3종의 상중 1종은 Si를 포함하는 입계부 이고, 기타 2종의 상은 Co, Pb를 함유하는 2종의 미립자임을 알 수 있었다.

다음으로, 도 7의 사진에 막 No.4의 제한시야 전자선 회절도형을 나타낸다. 사진중에는 몇개인가의 d 값의 부분에 많은 스폿이 관찰되었다. 이것으로부터 이 입자는 결정립인 것을 알 수 있었다. 또 이 스폿으로 구성되어 있는 링크의 안쪽에 약간 밝은 헤일로가 관찰되었다. 입자에는 이 헤일로패턴을 구성하는 비정질은 보이지 않았기 때문에 입계상이 비정질인 것을 판단할 수 있었다.

이상으로부터 막 No.4는 비정질의 입계상에 둘러싸인 평균입자지름 약 10 nm의 미결정립자의 집합체임을 알 수 있었다.

도 5에 막 No.1의 X선 회절패턴을 나타낸다. 도면과 같이 매우 명료한 결정성의 피크가 보였다. 이 피크는 CoO 및 Co₃O₄에 대응하고 있었다.

또 이 막의 미세구조를 TEM에 의해 평가한 바, 입자지름은 약 0.1㎛ 정도이었다. 또 입계부에는 도 6의 사진에 나타낸 바와 같은 비정질상의 존재는 보이지 않았다. 이것으로부터 도 5의 X선 회절패턴에 보였던 헤일로패턴은 기판유리에 의한 것이고, 막 No.1은 결정만으로 이루어져 있음을 알 수 있었다.

이상의 미세구조 해석의 결과와 표 1에 나타낸 기록재생특성과의 결과로부터, 막이 완전한 비정질과 같은 입계부이거나 완전한 결정질인 입계부이면 필요한 초해상 효과가 얻어지지 않음을 알 수 있었다. 한편 막 No.4와 같이 나노미터 오더의 입자지름을 가지는 결정성의 입자(미립자)를 비정질의 입계부가 둘러싸는 것 같은 구조이면 높은 초해상 효과가 얻어지는 것을 알 수 있었다.

다음으로, 이 미립자의 존재상태가 초해상 효과에 미치는 영향에 대하여 검토하였다. 본 검토에서는 기판에 유리기판을 사용하고 초해상막으로서 No.4의 막을 형성하였다.

성막시의 기판온도를 제어함으로써 생성되는 입자의 입자지름을 제어하는 것이 가능하다. 이것을 사용하여 각종 입자지름의 막을 제작하여 초해상 효과를 검토하였다. 초해상 효과의 검토는 도 2에 나타낸 고주파성분의 출력을 평가함으로써 행하였다.

도 13에 막 No.4중에 보여진 미립자의 평균입자지름(nm)에 대한 출력의 변화를 나타낸다. 도면에 나타내는 바와 같이 미립자의 평균입자지름 0.8 nm에서는 고주파의 출력이 충분히 얻어지지 않고, 비정질의 경우와 동일한 레벨이었다. 또 미립자의 평균입자지름이 1.2 nm에서는 출력이 15 dB로 크게 향상하고 있었다. 또한 미립자의 평균입자지름이 5 nm 이상 50 nm 이하에서는 출력은 약 28 dB로 비교적 큰 값이 얻어졌다.

한편, 더욱 미립자의 평균입자지름을 크게 하여 가면 60 nm정도에서부터 출력의 저하가 보이고, 70∼90 nm에서 출력이 1자리수대로 까지 작아지는 것을 알 수 있었다. 이것은 미립자의 평균입자지름이 커짐에 따라 광의 산란효과가 커져 검출되는 광량이 저하하기 때문이라고 생각된다.

이것으로부터 초해상 효과를 얻기 위해서는 석출되는 입자의 평균입자지름은 1 nm 이상 70 nm 이하로 하는 것이 바람직하다. 또 더욱 높은 초해상 효과를 얻기 위해서는 미립자의 입자지름은 5 nm 이상 50 nm 이하인 것이 더욱 바람직하다.

한편, 입자를 둘러싸는 미립자도 존재하지 않게 되면 초해상 효과는 얻어지지 않으며, 또 완전히 비정질상만으로 되어도 초해상 효과는 얻어지지 않는다. 상기한 검토에서 입자사이에 존재하는 입계부의 두께와 초해상 효과와의 관계를 조사한 바, 입자사이의 입계부의 폭이 0.3 nm 미만이면 높은 초해상 효과가 얻어지지 않았다. 한편 이 입계부 폭이 0.3 nm 이상 100 nm 이하이면 초해상 효과가 얻어지는 것을 알 수 있었다. 또 그보다 입계부 폭이 증가하여 미립자의 입자지름이 상대적으로 작아지면 반대로 또 초해상 효과가 얻어지기 어려운 것을 알 수 있었다.

이상에서 입계부는 존재하지 않으면 안되나, 이 입계부의 폭은 0.3 nm 이상 100nm 이하인 것이 바람직하다.

또 입계부가 넓은 밴드갭을 가지는 무기재료의 절연체(유전체)이면 투광성이 뛰어나 충분한 반사강도가 얻어졌다. 또한 이 입계부가 비정질의 무기화합물일 때, 투광성은 더욱 양호하였다. 또 입계부가 유전체이면 미립자는 그 입자지름이 사용하는 레이저파장에 대하여 충분히 작으면 구체적으로는 측정파장의 1/10이하이면 반도체, 금속이더라도 광을 산란하는 일이 없고, 또한 광에너지에 의하여 미립자중에 여기되는 전자의 쌍극자에 의해 광이 영향을 받아 초해상 효과를 얻을 수 있었다.

또 상기한 실시예와 같이 생기고 있는 미립자가 절연체의 무기화합물인 경우에도 광에 의하여 이 화합물중의 전자가 여기됨으로써 여기상태가 형성되어 막의 굴절율 등이 변화되는 것 같은 경우는 초해상 효과가 얻어지 않았다.

이상의 실시예는 레이저파장을 650 nm으로 하여 Co를 함유한 시스템에 대하여 설명하였으나, 이 Co 산화물은 가시광의 거의 전대역에 있어서 양호한 초해상 특성이 얻어짐을 알 수 있었다. 또 다른 천이금속원소인 V, Cr, Mn, Fe, Ni를 함유시킨 경우에도 동일한 효과가 얻어짐을 알 수 있었다.

(실시예 3)

다음으로, 상기에서 검토한 막을 기판상에 형성한 RAM 디스크를 제작하여 그 특성을 평가하였다. 도 8에 본 실시예에서 제작한 RAM 디스크의 부분 단면도의 모식도를 나타낸다. 도 8에 있어서 1은 기판, 2는 초해상막, 3은 기록막, 4는 반사막, 5, 85는 보호막이다. 도면에 있어서 화살표는 기록·재생을 위한 광(예를 들어 레이저광)의 입사방향을 나타낸다. 본 실시예에서는 기판(1)의 폴리카보네이트기판으로서 두께0.6 mm, 지름120 mm의 원반형상의 것을 사용하였다. 그 상면에 초해상막(2)을 스패터링법으로 300 nm 성막하였다. 그 상면에 ZnS - Si0₂보호막을 80 nm성막후, 기록막인 Ge - Sb - Te계 상변화막을 마찬가지로 스패터링법으로 약 20 nm 성막하였다. 보호막을 약 90 nm 형성한 후, 다시 AlTi 반사막을 약 200 nm 성막하였다. ROM 디스크의 경우와 마찬가지로 도 8에 나타내는 이 막을 형성한 기판을 반사막(4)을 등(배)으로 하여 자외선 경화수지를 사용하여 2매 맞붙임으로써 원하는 RAM 디스크를 얻었다.

본 실시예에서는 초해상막으로서 표 1의 No.4와 같은 조성막을 사용하였다. 또 비교예로서 초해상막을 형성하지 않은 RAM 디스크도 제작하였다.

도 9에 등간격으로 동일한 형상의 기록마크를 제작한 RAM 디스크의 그 기록마크의 마크길이에 대한 재생출력강도를 나타낸다. 판독의 레이저파워는 2 mW로 하였다. 재생출력은 No.4와 동일한 조성의 초해상막을 형성한 경우의 쪽이 형성하지않은 비교예(도 9에 있어서의 초해상막 없음)와 비교하여 짧은 마크길이에 대하여 높아져 있음을 알 수 있었다. 이로부터 초해상막을 형성한 경우, 더욱 짧은 마크길이에 대하여 재생가능한 것을 알 수 있었다. 이로부터 RAM 디스크에 대해서도 초해상 효과를 확인할 수 있었다.

또한 표 1에 있어서의 모든 초해상막을 검토한 바, ROM 디스크의 경우와 마찬가지의 결과가 얻어졌다.

다음으로, 이상의 초해상 효과가 얻어졌을 때의 반사광의 공간강도 분포를 조사하였다. 막을 형성하여 초해상 효과가 얻어진 경우와 초해상막을 형성하지 않은 경우의 빔의 진행방향에 대한 레이저광의 강도분포의 모식도를 도 10에 나타낸다. 입사시의 강도분포는 가우스분포를 하고 있었다. 초해상막을 형성하지 않은 경우에는 반사광의 공간분포강도(101)는 대략 가우스분포로 되어 있는 데 대하여, 초해상막을 형성한 경우에는 반사광의 공간분포강도(102)는 진행방향으로 빔의 분포가 치우쳐 있음을 알 수 있었다. 동시에 판독에 필요한 빔강도에서의 빔지름(Q')이 초해상막을 성막하지 않은 경우의 판독에 필요한 빔강도에서의 빔지름(Q)과 비교하여 작아져 있음을 알 수 있었다.

이와 같이 본 실시예와 같은 초해상막을 형성함으로써, 판독강의 강도나 강도분포가 변화가능하였다. 또 그와 같은 때에 초해상 효과가 얻어졌다.

다음으로, 이 초해상 효과의 파장의존성을 조사하였다. 파장의존성은 도 8과 같은 RAM 디스크를 제작하고 도 9와 같은 마크길이에 대한 출력을 각 파장에 대하여 구하여 출력이 30 dB 이상이 되는 마크길이의 최소값(1m)을 조사함으로써 행하였다. 레이저로서 410 nm(파랑), 520 nm(초록), 650 nm(빨강)의 것을 사용하였다.

표 2에 결과를 나타낸다. 어느 막의 경우도 판독출력이 30 dB 이상이 되는 마크길이의 최소값(1m)은 파장이 짧아질수록 작아져 있음을 알 수 있었다. 이것은 동일한 광학렌즈를 사용한 경우, 파장이 짧을수록 집광된 스폿지름이 작아져 작은 마크까지 재생가능하게 되기 때문이다.

한편, 표 1에 있어서 초해상 효과가 얻어진 막을 형성한 RAM 디스크에 관해서는 어느 파장에 있어서도 마크길이의 최소치(1m)(㎛)가 작아져 있음을 알 수 있었다. 이것으로부터 이 막을 탑재함으로써 레이저파장의 단파장화와 초해상 효과에 의해 상승적으로 판독가능한 마크길이를 작게 할 수 있음을 알 수 있었다.

(실시예 4)

다음으로, 반복재생에 대한 막의 열화를 검토하였다. 평가는 제작한 RAM 디스크에 반복재생신호광을 조사하여 재생출력을 검출함으로써 행하였다. 기록마크의 마크길이는 0.3㎛로 하였다. 초해상막으로서 표 1의 No.4와 동일한 조성의 막을 사용하였다. 또한 비교예로서 프탈로시아닌계 유기막을 선택하여 동일한 검토를 행하였다.

도 11에 반복회수에 대한 출력을 나타낸다. 프탈로시아닌계 유기막을 형성한 디스크에서는 10,000회미만의 반복회수로부터 서서히 출력이 저하하여 오는 것을 알 수 있었다. 한편 본 실시예 표 1의 No.4와 동일한 조성의 무기화합물로 이루어지는 유리막을 형성한 디스크에서는 100,000회의 반복에 의해서도 거의 출력의 저하는 보이지 않았다. 이상과 같이 본 실시예의 광디스크는 반복 재생에 의해서도 초해상 효과가 유지되는 것을 알 수 있었다.

또 유리막으로서 표 1에 있어서의 다른 유리막중 실시예 2에서 초해상 효과가 얻어진 것(표 1에 있어서 No.5 내지 No.7, No.10 내지 No.12, No.15 내지 No. 17, No.19 내지 No.29)을 사용한 경우에도 반복재생에 대하여 높은 안정성을 얻을 수 있었다.

이상에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에 의하면 대용량으로 또한 반복 판독에 대하여 열화가 적은 판독전용 광디스크(ROM 디스크)가 얻어진다. 또 반복입력에 대하여 열화가 적은 대용량 재입력 가능형 광디스크(RAM 디스크)가 얻어진다. 또한 본 실시예에 의하면 유리기판중에 천이금속 등의 산화물을 함유하기 때문에 통상의 광디스크제조공정에 의한 제조에 의해 대용량인 판독전용의 광디스크(ROM 디스크)를 얻을 수 있다. 또 본 실시예에 의하면 통상의 광디스크제조공정에 의한 제조에 의해 대용량의 재입력 가능형 광디스크(RAM 디스크)를 얻을 수 있다.

본 발명에 의하면 반복재생 또는 기록 및 재생하여도 출력열화가 적은 초해상막을 가지는 광기록매체를 얻을 수 있다.

또 본 발명에 의하면 생산성이 양호하고 초해상 효과를 가지는 초해상막을 가지는 광기록매체를 얻을 수 있다.

본 발명에 의한 광정보기록매체는 일반적으로 광디스크라 불리우고, 특히 정보를 기록재생 가능한 광디스크에 이용할 수 있어 정보를 고밀도로, 또한 높은 초해상 효과를 가지는 초해상막을 설치할 수 있다.

Claims

적어도 정보를 가지는 피트가 형성된 기판과,

상기 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성되어 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막을 가지는 광정보기록매체로서,

상기 막은 N(N = 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되는 무기화합물이고, 상기 N 종의 상중 적어도 1 종 이상 N 종 미만의 상은 입계부이며, 그 외의 상은 미립자인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
적어도 기판과, 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성되어 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막과,

상기 막상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된, 광에 의해 정보가 기록되는 기록막을 가지는 광정보기록매체로서,

상기 막은 N(N = 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되는 무기화합물이고, 상기 N 종의 상중, 적어도 1 종 이상 N 종 미만의 상은 입계부이고, 그 외의 상은 미립자인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 미립자의 평균지름이 1 nm 이상 70 nm 이하이고, 상기 미립자의 사이에 존재하는 입계부의 폭이 0.3 nm 이상 100 nm 이하인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서,

상기 입계부가 비정질의 무기화합물이고, 상기 미립자가 결정질의 무기화합물인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서,

상기 입계부는 유전체이고, 또한 상기 미립자는 금속, 반도체, 또는 유전체중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
적어도 정보를 가지는 피트가 형성된 기판과,

상기 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성되어 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막을 가지는 광정보기록매체로서,

상기 막은 Co, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Ni, Si, Pb, Bi, A1에서 선택되는 적어도 1종 이상의 원소를 함유하는 N(N은 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되고, 상기 상중 적어도 1종이상 N종미만의 상은 입계부이고, 그 외의 상은 미립자인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
적어도 기판과, 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성되어 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막과,

상기 막상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된 빛에 의해 정보가 기록되는 기록막을 가지는 광정보기록매체로서,

상기 막은 Co, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Ni, Si, Pb, Bi, A1에서 선택되는 적어도 1종이상의 원소를 함유하는 N(N은 2 이상의 정수)종의 상으로 구성되고,

상기 N 종의 상중 적어도 1종이상 N종미만의 상은 입계부이고, 그 외의 상은 미립자인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
적어도 기판과 이 기판상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성되어 입사광의 강도에 의존하여 반사광의 반사율 또는 강도분포를 변화시키는 막과,

상기 막상에 직접 또는 다른 층을 개재하여 형성된 광에 의해 정보가 기록되는 기록막을 가지는 광정보기록매체로서,

상기 막은 입사광의 입사시에 상기 입사광에 의해 그 굴절율이 변화되고, 입사광을 입사하지 않았을 때의 굴절율을 n₀, 입사광의 강도를 I로 하였을 때 관측되는 굴절율의 절대치(n)를

n = n₀+ n₂I

로 기재하였을 때, 이 n₂가 1.0 ×10^-9(m²/W)이상 1.0 ×10^-7(m²/W)이하인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
제 8항에 있어서,

상기 굴절율의 절대치(n)가 입사광 조사후 2.50 ×10^-7초이상 3.5O ×10^-7초이하에서 변화되고, 입사광을 제거한 후 2.5 ×10^-7초 이상 1.0 ×10^-2초 이하의 시간 간격내에 원래의 굴절율로 회복되는 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
제 6항 내지 제 9항중 어느 한 항에 있어서,

상기 막은 Co 산화물을 CoO의 산화물환산으로 60∼95중량% 함유하고, 잔부가 Si, Ti, Al, Pb, Bi 중의 적어도 1종이상 원소의 산화물인 것을 특징으로 하는 광정보기록매체.
적어도 복수 파장의 레이저와, 그 레이저를 선택하는 수단과, 그 레이저마다 변화되는 초점을 조절하는 초점조절부를 포함하고, 또한 기록재생을 행하는 매체의 기록용량을 판별하는 수단과, 그것에 의하여 판별된 매체에 따라 트래킹을 변화시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 광정보기록재생장치.
적어도 복수 파장의 레이저와, 그 레이저를 선택하는 수단과, 그 레이저마다 변화되는 초점을 조절하는 초점조절부를 포함하고, 또한 기록재생을 행하는 청구항 1 내지 10기재의 광정보기록매체의 기록용량을 판별하는 수단과, 그것에 의하여 판별된 매체에 따라 트래킹을 변화시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 광정보기록재생장치.