KR100368075B1 - 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법 - Google Patents

로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 로울링 와이어 프로브를 이용한 전극패턴 검사장치 및 방법에 관한 것으로서, 패널상에 형성된 복수개의 전극패턴들에 대한 전기적 특성을 검사하는 장치에 있어서, 전극패턴들과 순차적으로 구름접촉되도록 일정한 속도로 회전하는 로울링 와이어를 구비한 로울링 와이어 프로브와; 검사장치의 전반적인 동작을 제어하고, 로울링 와이어 프로브에 각각 구비된 로울링 와이어를 통하여 인가되는 전기적 신호를 근거로 하여 상기 전기적 특성을 판단하는 제어부를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의하면 종래에 비하여 저렴하고, 설계변경에 대한 대응성이 높으며, 완성품 수율을 높일 수 있는 검사방법 및 장치를 제공한다.

Description

로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및 방법 {Inspection apparatus and method adapted to a scanning technique employing a rolling wire probe}
본 발명은 예를 들어 PDP(Plasma Display Panel)와 같은 패널형 제품에 형성된 전극패턴에 관한 전기적 특성(open/short)을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 글래스 패널, 예를 들어 PDP에는 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같은 프론트(front) 패널(11)과 리어(rear) 패널(10)로 이루어져 있고, 프론트 패널(11)과 리어 패널(10)의 표면에는 다수개의 전극패턴(10a),(11a)이 형성되어 있다.
통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴(10a),(11a) 하나의 선폭과 피치(pitch)는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(open) 인접한 선과 연결되는(short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간중간에 검사하는 것이 PDP 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.
전극패턴(10a),(11a)에 대한 전술한 바와 같은 전기적 특성을 검사하기 위하여, 종래에는 도 2와 같은 테스트 핀 블록(test pin block)(12)이 사용되었다. 이를 이용한 검사시에는, 테스트 핀 블록(12)에 형성된 다수개의 핀(12a)을 커넥터 접속부위, 즉 전극패턴(10a)의 양단(10b),(10c) 또는 전극패턴(11a)의 양단(11b),(11c)에 일일이 접촉시킨 후, 검사대상 전극패턴 및 인접 패턴과의 도통검사를 실시하여 해당 패턴의 전기적 특성, 즉 오픈 및 단락 여부를 검사하게 된다.
그러나, 이러한 종래의 검사방식에는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 도 2의 테스트 핀 블록(12)은 고가이면서도 내구성이 없는 소모품이어서 제품원가의 상승요인으로 작용되었다. 즉, 테스트 핀 블록(12)에 의한 검사는 가압접촉 방식이어서 테스트핀이 쉽게 손상되는 문제점이 있었다.
둘째, 제품모델이나 설계가 변경되는 경우에는 전극패턴의 위치 및 피치 등이 바뀌게 되므로 기존의 테스트 핀 블록(12)을 비롯하여 이와 연관된 기구부를 모두 교체하여야하고 따라서 모델이나 설계변경에 대한 대응성이 없어 범용적으로 사용할 수 없는 문제점이 있었다.
셋째, 도 1a 및 도 1b와 같은 방식으로 전극패턴들이 형성된 경우에는 검사시에 PDP패턴의 커넥터 접속부위 이외에 화소부위("A" 및 "B"부분)에도 테스트 핀 블록(12)의 핀(12a)을 접촉시켜야 하기 때문에 접촉에 따른 스크래치(scratch)로 인하여 또다른 불량요인이 발생되는 문제점이 있었다.
넷째, 전극패턴이 형성된 글래스 패널의 평면도가 좋지 않을 경우, 테스트핀 블록(12)의 핀(12a)이 전극패턴에 정확하게 접촉될 수 있도록 하여야 하기 때문에 글래스(glass) 패널 전체를 별도의 정밀한 대형 정반형 진공 척(vacuum chuck)으로 고정시켜야할 뿐만 아니라, 전극패턴의 정밀한 x-y 위치설정(positioning)을 위하여 x-y-θ 3축의 정밀 서보메카니즘(servomechanism)이 요구되는 등, 결과적으로 제조원가의 상승요인이 되었다.
따라서, 본 발명은 이상과 같은 종래 테스트 핀 블록에 의한 검사방식의 문제점을 개선하기 위하여 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔(scan)방식의 검사기술을 안출하므로써, 여러 형태의 패턴 모두에 범용되게 사용할 수 있게 할뿐아니라 스크래치 발생요인이나 제조원가 상승의 부담을 저감시키고자 함을 제1의 목적으로 하고 있으며, 또한 검사정밀도를 향상시키고 일부 소모성 부품을 효과적으로 교체하기 위한 일련의 기구장치를 제안함을 제2의 목적으로 하고 있다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 PDP에 형성된 전극패턴을 보인 것이다.
도 2 는 전극패턴에 관한 전기적 특성을 검사하기 위한 종래의 테스트 핀 블록을 보인 것이다.
도 3은 본 발명의 전체 시스템에 관한 구성을 보인 블록도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 의한 로울링 와이어 프로브의 배치를 보인 것이다.
도 5a는 본 발명에 의한 로울링 와이어 프로브의 사시도 도 5b는 단면도를 보인 것이다.
도 6a 및 도 6b는 와이어 고정구의 구조와 와이어 고정구에 와이어를 조립 및 분해하기 위한 전용공구를 보인 것이다.
도 7은 본 발명에 의한 로울링 와이어 프로브가 공기정압 패드에 의해 부상되는 기구도를 보인 것이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10,11,100 : 패널 10a,11a,101 : 전극패턴
20 : 제어부 110 : 로울링 와이어 프로브
118 : 로울링 와이어
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 패널상에 형성된 복수개의 전극패턴들에 대한 전기적 특성을 검사함에 있어서, 상기 전극패턴들과 순차적으로 구름접촉되도록 일정한 속도로 회전하는 로울링 와이어를 구비한 로울링 와이어 프로브와; 검사장치의 전반적인 동작을 제어하고, 상기 로울링 와이어 프로브에 각각 구비된 로울링 와이어를 통하여 인가되는 전기적 신호를 근거로 상기 전기적 특성을 판단하는 제어부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면에 의하여 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 전체 시스템은 검사장치의 전반적인 동작을 제어하는 제어부(20)와, 터치(touch) 패널이나 키보드 또는 마우스 등으로 이루어지고 제어부(20)에 명령을 입력하기 위한 입력부(21)와, TFT-LCD 등으로 이루어지며 상기 제어부(20)의 제어에 따라 검사장치의 동작상태 등을 표시하는 표시부(23)와, 제어부(20)와 외부 장치 사이의 인터페이스(interface)를 제공하는 버스 네트워크(24)와, 제어부(20)의 제어에 따라 와이어가 전극패턴 위에서 구름접촉되도록 함으로써 전극패턴을 스캔하고 그 스캔된 정보를 제어부(20)에 제공하는 로울링 와이어 모듈(24)로 구성된다.
로울링 와이어 모듈(24)에는 스캔 속도와 동조하므로서 전극패턴과 구름접촉되는 로울링 와이어 프로브, 로울링 와이어를 회전시키기 위한 소형의 서보모터, 모터의 회전 속도를 감지하는 인코더(emcoder), 로딩/언로딩 액튜에이터 및 공기정압 패드(127)가 포함되어 있다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 로울링 와이어 프로브(110)는 커넥터 접속부위에 최소한 2개가 사용될 수 있는데, 도 4a와 같은 프론트 패널인 경우에는 패널(100)의 좌/우측에 각각 2개씩 4개의 로울링 와이어 프로브(110)를 사용할 수 있다. 또한, 도 4b와 같은 리어 패널인 경우에는 패널(100)의 좌/우측에 각각 2개씩 그리고 패널(100)의 중앙부분 전극패턴(101)이 나뉘어진 위치에 각각 2개씩 총8개의 로울링 와이어 프로브(110)가 사용될 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명에서의 로울링 와이어 프로브 장치는 별도 출원하는 정전용량형 근접센서 장치와 조합하여 사용할 수도 있다.
로울링 와이어 프로브(110)장치는 도 5에 도시된 바와 같이, 전술한 제어장치(20)의 제어에 의하여 구동되는 서보(servo)모터(111)가 지지몸체(120)에 부라켓(121)으로 고정되어있고, 서보모터(111)에 의해 연동 회전되는 제1기어(112)는, 지지몸체(120)에 고설된 양축지구(122a)(122b)에 축지되어 회전하는 회전축(123)의 제 2기어(113)와 연동되어 있다. 또한 회전축(123)의 좌우단부에는 대향되는 위치에 제 1베벨기어(114a)(114b)가 각기 축설되어 있으며 우측단부의 제 1베벨기어(114b) 내측에는 회전속도 검지용 디스크(124)가 별도 연설되어 그 상부에 위치하는 광센서(125)와 교합되어 있다.
한편 지지몸체(120)의 하부양단에 대향 돌설된 경사지지각(116a)(116b)에는 각기 베어링 축지구(126a)(126b)가 장설되어 있으며 베어링축지구 (126a)(126b)의 상부에는 각기 제 2베벨기어(115a)(115b)가 연설되어 회전축(123)에 축지된 제 1베벨기어(114a)(114b)와 치합 연동되도록 되어 있으며 다시 베어링 축지구(126a)(126b)에는 서로 대향된 2개의와이어 고정구(117)(117)가 제 2베벨기어(115a)(115b)와 연동하여 회동되도록 장설되어 있다.
또한 지지몸체(120)의 하부에는 공기정압 패드 몸체(127)가 장착되어있고 그 전면에 부착된 금속전극판(128)과의 하부 간극(도시되어 있지 않음)사이로 와이어(118)가 안내되어 와이어 고정구 (117)(117)에 고정되어 있다.
여기에서 서보모타(111), 와이어(118) 및 광센서(125)는 전술한 제어부(20)와 전기적으로 연결되어 있다.
미설명부호 130은 전극단자, 131은 전선코드 132는 체결공이다.
전술한바와 같이 구성된 본 발명의 로울링 와이어 프로브 장치는 서보모터(111)가 회전함에 따라 제 1기어(112)에 치합된 제 2기어(113)에 의해 회전축(123)이 회전하게되고 여기에 축설된 좌우양단의 제 1베벨기어(114a)(114b) 및 이와 치합된 제 2베벨기어(115a)(115b)가 연동 회전하면서 제 2베벨기어(115a)(115b)와 동일 축선에서 회동하는 와이어 고정구(117a)(117b)도 회동하게되어 결국 와이어 고정구의 중심축선에 고정된 와이어 역시 정확히 연동 회전하게 된다. 이때, 서보모터(111)의 회전속도에 따라 와이어(118)의 외경측 원주속도가 결정되고, 이 원주속도와 로울링 와이어 프로브(110)가 전극패턴(101)을 스캔하는 선속도를 제어부(20)에 의해 동조시키면, 전극패턴(101)과 와이어(118) 사이에 상대적 미끄럼없이 구름접촉만이 가능하게 된다.
이와 같은 장치로 전극패턴(101)의 전기적 특성, 즉 오픈(open) 및 단락(short) 상태를 검사하는 방법을 좀더 상세히 예시에 의해 설명하면 다음과 같다.
도 4b와 같은 리어 패널의 좌측에 형성된 전극패턴에서 로울링 와이어 프로브(110)와 각각 동일하게 구성되는 4개의 로울링 와이어 프로브(110)를 사용할수 있는바 제1 및 제3로울링 와이어 프로브(110-1,110-3)는 전극패턴(101) 일측인 단자부 위를 스캔하고, 전극패턴(101) 타측인 화소부 위에서는 제2 및 제4로울링 와이어 프로브(110-2,110-4)가 스캔한다. 이때, 제1 및 제3로울링 와이어 프로브(110-1,110-3)는 서로 인접한 전극패턴을 스캔하고, 마찬가지로 제2 및 제4로울링 와이어 프로브(110-2,110-4)도 인접한 전극패턴을 각각 스캔한다. 그리고 제1 내지 제4로울링 와이어 프로브(110-1,110-2,110-3,110-4)의 스캔속도는 서로 동일하도록 미리 조정된다.즉, 전극패턴의 일측인 단자부의 제1 및 제3 로울링 와이어 프로브(110-1,110-3)끼리와 전극패턴의 타측인 화소부의 제2 및 제4 로울링 와이어 프로브(110-2,110-4)끼리는 동일한 스캔속도를 갖는다. 그리고, 단자부의 제1 및 제3 로울링 와이어 프로브(110-1,110-3)의 스캔속도와 제2 및 제4 로울링와이어 프로브(110-2,110-4)의 스캔속도는 단자부 및 화소부의 전극패턴의 패턴피치에 따라 다르게 조정된다.한편, 도 4a의 경우에는 전극패턴의 단자부에 위치한 제1 및 제4 로울링 와이어 프로브(110-1,110-4)끼리와 화소부에 위치한 제2 및 제4 로울링 와이어 프로브(110-2,110-4)끼리 동일한 스캔속도를 갖게 된다.
이와 같은 스캔동작이 이루어질 때, 제어부(20)는 예를 들어 제1 로울링 와이어 프로브(110-1)에 구비된 로울링 와이어에 전기적 신호를 인가한 후 전극패턴을 통하여 제2 로울링 와이어 프로브(110-2)에 전달되는 전기신호를 검출하게 된다. 해당 전극패턴이 오픈되지 않은 경우에는 제2 로울링 와이어 프로브(110-2)에서는 인가된 신호가 그대로 전달되지만 그렇지 않은 경우 인가된 신호가 전달되지 않게 된다. 따라서 해당 전극패턴의 오픈상태가 감지될 수 있으며.
인가된 신호가 제2 및 제4로울링 와이어 프로브(110-2,110-4)에서 모두 검출되면, 인접한 전극패턴이 서로 단락된 상태이므로 전극패턴의 단락상태도 감지될 수 있게 되는 것이다.
또한 본 발명은 그 스켄방식에서 검사장치와 전극패턴의 어느하나를 고정하거나 이동시킴은 선택적인 실시사항임을 부연한다. 따라서 본 발명에 의하면 전극 패턴의 손상이 없는 접촉식 검사가 가능하게 되므로 전극패턴에서 화소부위를 검사하는 경우에도 구름접촉에 의하여 스크래치가 발생되지 않을뿐아니라 스캔 방식의 검사이므로 다양한 전극 패턴에 모두 대응할 수가 있어 설계 변경에 따라 일일이 교체하지 않고 범용사용할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 사용되는 와이어는 스캔검사시 정확한 회전동작이 가능하여야 비로서 그 검사정밀도를 확보할 수 있는 것이나 본 발명에 사용되는 와이어는전극패턴의 핏치에 해당하는 0.2㎜ 이하의 가는 직경의 것이어서 이를 정확히 와이어 고정부의 중심축에 고정하기가 매우 어려운 기술적 과제로 대두되었으며 본 발명에서는 이를 다음과 같은 방식으로 해결하였다. 즉 도 6에 의해 상세히 설명하면, 와이어 고정구는 길이 방향의 중간부위 외주면을 따라 환설된 2조의 요홈(P1)(P2)에 의해 대략 3개 부위로 구획되는 연결부(117a), 장착부(117b) 그리고 고정부(117c)로 되어있고 고정부(117c)는 다시 그 개방단부의 입구에서 축선내측 방향으로 와이어(118)의 지름보다 작은 크기의 폭을 갖고 와이어 단면의 중심에서 서로 정확히 십자형으로 직교하도록 장 슬릿(S1)과 단 슬릿(S2)을 삭설하고 양 슬릿(S1)(S2)의 단부에는 슬릿 폭보다 확대되고 직경방향으로 관통된 원통상의 홀(H)을 각기 형성하되, 다시 장 슬릿(S2)의 길이 방향 중간부위에는 역시 직경 방향으로 관통된 확개용 홀(H1)을 하나 더 형성하였다. 이와 같이 구성된 와이어 고정구는 그 장착부(117b)를 로울링 와이어 프로브의 베어링 축지구(126a)(126b)내에 삽통한후 환설된 요홈(P1)(P2)에 스냅링(도시되어 있지 않음)을 끼우므로서 로울링 와이어 프로브(118)를 경사지지각(116a)(116b)에 조립고정 되도록 하는것이며 이때 연결부(117a)는 제2 베벨기어(115a)(115b)와 연동되도록 고착된다. 또한 와이어 고정구에 와이어를 고정코자 할 때에는 전용공구(119)를 사용하는데, 전용공구(119)는 도 7b에 도시된 바와 같이 전체적으로 집게모양으로서, 집게의 선단부에는 상하 두 개의 테이퍼 핀(119a),(119b)을 서로 마주보도록 형성하되 테이퍼 핀(119a),(119b)의 자유단은 확개용 홀(H1)보다 작은 직경으로 하고 집게 몸체에고착되는 부분으로 갈수록 점차 굵어져 고착단부에서는 그 직경이 확개용홀(H1)보다 크도록 형성되어 있다.
그러므로, 장 슬릿에 관통된 확개용홀(H)의 상하입구에 테이퍼 핀(119a)(119b)을 삽입하여 전용공구(119)의 손잡이를 잡고 압력을 가하면 테이퍼 핀(119a),(119b)이 장 슬릿의 확개용 홀(H1)에 점차 삽입되면서 장 슬릿이 벌려지게 되므로 와이어(118)를 쉽게 와이어 고정구(117)에 인입시킬 수가 있으며 인입 후 전용공구의 테이퍼 핀을 확개용 홀에서 이탈시키면 장 슬릿이 원상태로 오물어지면서 단 슬릿과 교차되는 부위 즉, 회전축의 중심에 와이어가 정확히 고정되어 스캔동작시 구름작동 즉 회전 정밀도를 기할 수 있게 되는 것이다.
또한 양 슬릿(S1)(S2)의 단부에 형성된 원통상의 홀(H)은 와이어 인입시 슬릿이 벌어지는 경우 단부에 미치는 응력을 분산하므로 소모성 부품인 와이어의 반복되는 교체 및 설치시에도 기계적 무리가 없도록 한것이다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 로울링 와이어 프로브(110)는 전술한 공기정압 패드(150)와 함께 사용될 수 있다.
통상 글래스 패널(100)은 보관 과정이나 퍼니스(furnace)내에서의 유전막 증착과 같은 여러 공정을 거치면서 뒤틀려질 수 있어, 종래에는 대형 정반형 진공 척 등으로 이를 수평상태로 고정하여 검사하였으나 이러한 장비는 고가이어서 제품원가의 상승요인으로 작용하기 때문에, 본 발명에서는 바닥에 공기노즐(127a)이 설치된 공기정압패드(127)를 장착하여 글래스 패널(100)의 검사면과 로울링 와이어 프로브(110)의 몸체가 일정간격을 유지하도록 부상시키므로서 글래스패널이 만곡되어있더라도 검사정밀도를 기하도록 하였다. 즉 로울링 와이어 프로브(110)장치를 검사면과 평행되게 판스프링(151)(152)을 개재시켜 지지부재(160)에 연결하여 상하방향 즉 중력 방향으로 자유롭게 움직일 수 있도록 하고 전기적 신호를 감지하는 와이어는 로울링 와이어 프로브(110)장치의 하부에 장착된 공기정압패드(127)와 금속전극판(128)간의 간극(129)에 안내되어 공기정압패드(127)의 하단면보다 다소 낮은 즉 미리 설계된 부상조건에 맞게 위치 되어 있으므로 로울링 와이어(118)는 일정간격을 두고 부상된 상태에서 만곡된 검사면이라도 효과적으로 구름 접촉하면서 검사면을 스캔할 수 있게 되는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 PDP와 같은 패널형 제품에 형성된 전극 패턴의 전기적 특성을 로울링 와이어 프로브에 의한 스캔방식으로 검사하는 것이어서 종래 테스트 핀 블록에 의한 검사 방식과는 달리 제품의 모델이나 설계변경에 구애됨이 없이 여러형태의 전극패턴에 모두 범용사용할 수 있는 이점이 있고, 또한 검사시 화소부위에도 스크래치가 발생되지 않아 완성품의 수율을 높일수가 있으며 핵심 소모부품으로 전기적 신호 감지구인 로울링 와이어를 용이하게 설치 교체할 수 있을뿐아니라 공기정압 패드와 함께 사용하므로서 결과적으로 제조원가의 절감 및 검사정밀도의 향상을 기할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은 별도 출원하는 정전용량 근접센서 프로브 장치 및 패널 이송용 가이드 장치와 혼용 또는 병용사용하므로서 보다 효과적인 검사를 수행할 수 있다.

Claims (9)

  1. 패널상에 형성된 전극패턴들에 대한 전기적 특성을 검사함에 있어서,
    상기 전극패턴들과 순차적으로 구름접촉되도록 회전하는 로울링 와이어를 구비한 적어도 1개 이상의 로울링 와이어 프로브와;
    검사장치의 전반적인 동작을 제어하고, 상기 로울링 와이어 프로브에 구비된 로울링 와이어를 통하여 인가되는 전기적 신호를 근거로 하여 상기 전기적 특성을 판단하는 제어부를 포함하여 구성되는 로울링 와이어를 이용한 전극패턴 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로울링 와이어 프로브는
    상기 제어부에 의하여 구동되는 서보모터와;
    상기 서보모터의 회전축에 연동하여 회전하는 일련의 동력전달장치;
    상기 동력전달장치에 연동되어 회전하는 두 개의 와이어 고정구; 상기 두 개의 와이어 고정구에 중심축간을 연하여 고정되는 로울링 와이어; 및 상기 로울링와이어를 안내하고 지지하며 전기적 접촉을 하는 금속전극판을 포함하여 구성되는 로울링 와이어를 이용한 전극패턴 검사장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 로울링 와이어 프로브를 상기 전극패턴상에서 일정거리 부상시키는 공기정압패드를 구비하여 되는 로울링 와이어를 이용한 전극패턴 검사장치
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 서보모타의 회전축에 연동하여 회전하는 회전속도 검지용 디스크와 상기 디스크의 회전 속도를 검지하는 광센서를 구비하여되는 로울링와이어를 이용한 전극패턴 검사장치
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 와이어 고정구는 와이어 단면의 중심에서 교차되는 2개의 슬릿을 와이어의 축선 방향으로 하나는 길고 다른 하나는 짧게 삭설하여, 그 단부에 각기 관통된 홀을 형성하되 길게 삭설된 슬릿에는 중간에 별도의 확개용 관통홀을 형성함을 특징으로하는 로울링 와이어를 이용한 전극패턴 검사장치
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 확개용 관통홀에 삽입되어 상기 슬릿을 확개 할 수 있도록 선단에 테이퍼핀이 형성된 전용공구를 구비함을 특징으로 하는 로울링와이어를 이용한 전극패턴 검사장치
  7. 일정한 속도로 회전하는 로울링 와이어를 각각 구비한 제 1 및 제 2 로울링 와이어 프로브를 이용하여 복수개의 전극패턴을 순차적으로 구름접촉시켜 스캔하면서, 상기 전극패턴의 일측에서는 제 1 로울링 와이어 프로브에 구비된 와이어에 전기적 신호를 인가하고, 상기 전극패턴의 타측에서는 제 2 로울링 와이어 프로브에 구비된 로울링 와이어에 상기 전극패턴을 통하여 전달된 전기적 신호를 비교함으로써, 상기 전극패턴의 도통 상태를 판단하는 로울링 와이어를 이용한 전극패턴 검사방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 롤링 와이어의 회전속도를 감지하여 상기 전극패턴의 이송선속도 즉 스캔속도와 비교하여 이를 제어부에 의해 동조시킴을 특징으로하는 로울링 와이어를 이용한 스캔방식의 전극패턴 검사방법
  9. 제 7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 로울링 와이어 프로브에 의하여 스캔되는 전극패턴에 인접한 전극패턴의 일측에 제3 로울링 와이어 프로브와 타측에 제4 로울링 와이어 프로브를 각각 스캔하도록 하고, 제1 및 제3 로울링 와이어 프로브를 통하여 인가된 전기적 신호가 제2 및 제4 로울링 와이어 프로브에 전달되지 않으면 해당 전극패턴이 끊어진 것으로 판단하며, 제1 및 제3 로울링 와이어 프로브 중에서 어느 하나를 통하여 인가된 전기적 신호가 제2 및 제4 로울링 와이어 프로브에서 동일하게 전달되면 해당 전극패턴이 단락된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 로울링 와이어를 이용한 전극패턴 검사방법.
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