KR100359865B1 - Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus - Google Patents

Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR100359865B1
KR100359865B1 KR1020000020378A KR20000020378A KR100359865B1 KR 100359865 B1 KR100359865 B1 KR 100359865B1 KR 1020000020378 A KR1020000020378 A KR 1020000020378A KR 20000020378 A KR20000020378 A KR 20000020378A KR 100359865 B1 KR100359865 B1 KR 100359865B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pick
semiconductor package
pressing plate
place module
strip
Prior art date
Application number
KR1020000020378A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010096303A (en
Inventor
김영건
Original Assignee
동양반도체장비 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동양반도체장비 주식회사 filed Critical 동양반도체장비 주식회사
Priority to KR1020000020378A priority Critical patent/KR100359865B1/en
Publication of KR20010096303A publication Critical patent/KR20010096303A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100359865B1 publication Critical patent/KR100359865B1/en

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A01AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01GHORTICULTURE; CULTIVATION OF VEGETABLES, FLOWERS, RICE, FRUIT, VINES, HOPS OR SEAWEED; FORESTRY; WATERING
    • A01G13/00Protecting plants
    • A01G13/02Protective coverings for plants; Coverings for the ground; Devices for laying-out or removing coverings
    • A01G13/0237Devices for protecting a specific part of a plant, e.g. roots, trunk or fruits
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A01AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01GHORTICULTURE; CULTIVATION OF VEGETABLES, FLOWERS, RICE, FRUIT, VINES, HOPS OR SEAWEED; FORESTRY; WATERING
    • A01G13/00Protecting plants
    • A01G13/02Protective coverings for plants; Coverings for the ground; Devices for laying-out or removing coverings
    • A01G13/04Cloches, i.e. protective full coverings for individual plants
    • A01G13/043Cloches, i.e. protective full coverings for individual plants with flexible coverings

Abstract

이 발명은 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈에 관한 것으로, 일정범위의 반도체패키지용 스트립을 픽업할 수 있도록, 대략 직사각 육면체 형태의 몸체와; 상기 몸체의 상부에 장변 방향을 따라 서로 평행하게 위치되고, 일정 각도 회전 가능하게 결합된 2개의 회전봉과; 상기 각각의 회전봉 중앙에 일단이 고정되고, 타단은 상기 몸체의 상부 중앙을 향해 연장되어 있으며, 그 타단이 스프링으로 지지되어, 상기 타단을 하부로 누를 경우 상기 회전봉이 일정각도 회전되도록 하는 누름판과; 상기 각각의 회전봉 양측단부에 일단이 고정되고, 타단은 상기 몸체의 하부를 향해 연장되어 있으며, 상기 누름판을 상부에서 누르면, 상기 회전봉의 회전에 의해 상기 몸체의 바깥쪽으로 서로 멀어지는 다수의 스틱을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 함.The present invention relates to a pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing equipment, the body having a shape of a substantially rectangular parallelepiped, so as to pick up a range of semiconductor package strips; Two rotary bars positioned parallel to each other along a long side of the body and coupled to rotate at an angle; One end is fixed to the center of each rotary rod, the other end is extended toward the upper center of the body, the other end is supported by a spring, the pressing plate for rotating the rotary rod at an angle when pressing the other end to the bottom; One end is fixed to both ends of each of the rotating rod, the other end is extended toward the lower portion of the body, and pressing the pressing plate from the top, including a plurality of sticks away from each other by the rotation of the rotating rod Characterized in that made.

Description

반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈{Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus}Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus

본 발명은 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면 다양한 크기의 반도체패키지용 스트립을 픽업할 수 있는 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing equipment, and more particularly, to a pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing equipment capable of picking up strips for semiconductor packages of various sizes.

통상 반도체패키지용 스트립이란 다이 본딩(Die Bonding), 와이어 본딩(Wire Bonding), 몰딩(Molding), 마킹(Marking) 등의 공정을 통해 동시에 다수의 반도체패키지를 얻을 수 있도록 긴 직사각형 모양으로 형성된 리드프레임, 인쇄회로기판, 써킷필름 등을 지칭한다. 이러한 스트립은 통상 하나의 반도체패키지에 해당하는 유닛이 일렬로 다수개 연결된 형태를 하거나 또는 상기 유닛이 행과 열을 갖는 매트릭스 형상으로 배열된 형태를 한다.In general, a semiconductor package strip is a lead frame formed in a long rectangular shape to obtain a plurality of semiconductor packages at the same time through die bonding, wire bonding, molding, and marking processes. , Printed circuit board, circuit film, and the like. Such a strip typically has a form in which a plurality of units corresponding to one semiconductor package are connected in a row or arranged in a matrix form in which the units have rows and columns.

한편, 대부분의 반도체패키지 제조 장비는 매거진에 수납된 스트립을 공급하는 로딩부, 스트립을 일정 목적지로 이송하는 이송부, 다이 본딩, 와이어 본딩, 몰딩 및 마킹 등을 수행하는 작업부, 작업이 완료된 스트립을 다시 매거진 등에 수납하는 언로딩부 등으로 이루어져 있다.Meanwhile, most semiconductor package manufacturing equipment includes a loading unit for supplying strips stored in a magazine, a transfer unit for transferring strips to a predetermined destination, a work unit for performing die bonding, wire bonding, molding and marking, and a strip having completed work. It consists of an unloading part etc. which are accommodated in a magazine etc. again.

여기서, 상기 스트립을 공급하는 로딩부에는 통상 매거진에 수납된 다수의 스트립중에서 낱개의 스트립을 픽업하여 이송부에 공급하는 픽엔플레이스 장치가 설치되어 있다.Here, a pick-and-place device is provided in the loading unit for supplying the strips, which picks up individual strips from a plurality of strips housed in a magazine and supplies them to the transfer unit.

이러한 장치에는 통상 픽엔플레이스 모듈이 설치되어 있으며, 이는 일정크기의 스트립을 픽업하여 소정위치에 상기 스트립을 놓는 역할을 한다.Such devices are usually equipped with a pick-and-place module, which picks up a strip of a certain size and places the strip in a predetermined position.

상기 픽엔플레이스 모듈은 통상 다수의 스틱 또는 그립퍼로 소정의 스트립만을 픽업하여 플레이스시키는 방식을 이용하거나 또는 흡착 수단을 이용하여 소정 스트립만을 흡착하여 플레이스시키는 방식을 이용한다.The pick-and-place module typically uses a method of picking up and placing only a predetermined strip with a plurality of sticks or grippers, or a method of absorbing and placing only a predetermined strip by using suction means.

그러나 상기 다수의 그립퍼를 이용하는 픽엔플레이스는 오직 정해진 크기의 스트립만을 픽업할 수 있고, 다른 크기의 스트립을 제공하는 경우에는 그것에 알맞게 제조된 다른 픽엔플레이스 모듈을 사용하여야 하는 단점이 있다.However, the pick-and-place using the plurality of grippers can only pick up strips of a predetermined size, and in the case of providing strips of different sizes, another pick-and-place module manufactured accordingly has a disadvantage.

또한, 흡착 수단을 이용한 픽엔플레이스는 스트립의 픽업시, 또는 픽업하는 도중에 스트립의 위치가 변동되는 경우가 있다. 이와 같이 스트립의 위치가 변동된 경우에는 그 스트립을 정확한 위치에 플레이스(Place)시키는 것이 어렵고, 따라서 픽엔플레이스(Pick and Place) 불량을 유발할 뿐만 아니라 다음 단계인 스트립의 이송 불량까지 야기시킨다.In addition, the pick-and-place using the adsorption means may change the position of the strip at the time of picking up or during pick-up. If the position of the strip is changed in this way, it is difficult to place the strip in the correct position, thus causing not only pick and place defects but also the following stage of conveyance failure of the strip.

상기와 같은 문제점들은 곧 장비 전체를 정지시키고 픽엔플레이스를 교체하거나 또는 상기 불량 요인을 제거해야 함으로써 반도체패키지의 생산 수율을 저하시키는 원인이 되고 있다.Such problems are causing a decrease in the yield of the semiconductor package by stopping the entire equipment, replacing the pick and place or removing the defective factors.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 다양한 크기의 반도체패키지용 스트립을 정확한 위치에 픽엔플레이스할 수 있는 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and to provide a pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing equipment capable of pick-and-place the strip for semiconductor packages of various sizes in the correct position.

도1a 내지 도1c는 본 발명에 의한 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈을 도시한 평면도, 정면도 및 측면도이다.1A to 1C are a plan view, a front view and a side view showing a pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing apparatus according to the present invention.

도2a 및 도2b는 본 발명에 의한 픽엔플레이스가 반도체패키지 제조 장비에 장착된 상태를 도시한 측면도이다.Figure 2a and Figure 2b is a side view showing a state in which the pick and place according to the invention the semiconductor package manufacturing equipment.

- 도면중 주요 부호에 대한 설명 --Description of the main symbols in the drawings-

100; 본 발명에 의한 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈100; Pick and place module of the semiconductor package manufacturing equipment according to the present invention

10; 몸체 11; 지지블럭10; Body 11; Support block

12; 요홈 13; 보조 지지블럭12; Groove 13; Auxiliary Support Block

20; 회전봉 30; 누름판20; Rotating rod 30; Pressure plate

40; 스틱(Stick) 41; 계단형 턱40; Stick 41; Stepped jaw

51; 프레임(Frame) 52; 모터(Motor)51; Frame 52; Motor

53; 풀리(Pulley) 54; 벨트(Belt)53; Pulley 54; Belt

55; 볼스크류(Ball Screw) 56; 연결블럭55; Ball Screw 56; Connection block

57; 리미트베어링(LM Bearing) 58; 지지샤프트(Shaft)57; Limit bearing 58; Support Shaft

59; 고정블럭 60; 래치(Latch)59; Fixed block 60; Latch

61; 걸림턱 62; 실린더(Cylinder)61; Hanging jaw 62; Cylinder

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈은 대략 직사각 육면체 형태의 몸체와; 상기 몸체의 상부에 장변 방향을 따라 서로 평행하게 위치되고, 일정 각도 회전 가능하게 결합된 2개의 회전봉과; 상기 각각의 회전봉 중앙에 일단이 고정되고, 타단은 상기 몸체의 상부 중앙을 향해 연장되어 있으며, 그 타단이 스프링으로 지지되어, 상기 타단을 하부로 누를 경우 상기 회전봉이 일정각도 회전되도록 하는 누름판과; 상기 각각의 회전봉 양측단부에 일단이 고정되고, 타단은 상기 몸체의 하부를 향해 연장되어 있으며, 상기 누름판을 상부에서 누르면, 상기 회전봉의 회전에 의해 상기 몸체의 바깥쪽으로 서로 멀어지는 다수의 스틱을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing apparatus according to the present invention includes a body having an approximately rectangular parallelepiped shape; Two rotary bars positioned parallel to each other along a long side of the body and coupled to rotate at an angle; One end is fixed to the center of each rotary rod, the other end is extended toward the upper center of the body, the other end is supported by a spring, the pressing plate for rotating the rotary rod at an angle when pressing the other end to the bottom; One end is fixed to both ends of each of the rotating rod, the other end is extended toward the lower portion of the body, and pressing the pressing plate from the top, including a plurality of sticks away from each other by the rotation of the rotating rod Characterized in that made.

여기서, 상기 스틱의 하단부에는 반도체패키지용 스트립을 안정적으로 픽업할 수 있도록 계단형의 턱이 더 형성됨이 바람직하다.Here, it is preferable that a stepped jaw is further formed at the lower end of the stick so as to stably pick up the strip for semiconductor package.

상기와 같이 하여 본 발명에 의한 반도체패키지 제조용 픽엔플레이스 모듈에 의하면, 다양한 크기의 스트립을 정확한 위치로 픽업할 수 있고, 상기 스트립을 픽업하거나 플레이스할 때 그 스트립의 위치를 변화시키지 않을 수 있게 된다.According to the pick and place module for manufacturing a semiconductor package according to the present invention as described above, it is possible to pick up strips of various sizes to the correct position, it is possible not to change the position of the strip when picking up or place the strip.

이하 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings such that those skilled in the art can easily implement the present invention.

도1a 내지 도1c는 본 발명에 의한 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈(100)을 도시한 평면도, 정면도 및 측면도이다.1A to 1C are a plan view, a front view, and a side view illustrating a pick-and-place module 100 of a semiconductor package manufacturing apparatus according to the present invention.

도시된 바와 같이 본 발명에 의한 픽엔플레이스 모듈(100)은 몸체(10), 2개의 회전봉(20), 다수의 누름판(30) 및 다수의 스틱(40)으로 이루어져 있다.As shown, the pick-and-place module 100 according to the present invention includes a body 10, two rotating rods 20, a plurality of pressing plates 30, and a plurality of sticks 40.

먼저 몸체(10)는 대략 직사각 육면체 형태를 하며, 그 상부의 양측부(장변 방향의 양단부)에는 상기 몸체(10)의 폭(단변의 폭)보다 크고 높이도 상기 몸체(10)의 상면보다 높은 지지블럭(11)이 형성되어 있다. 상기 지지블럭(11)중 어느 하나의 외측면에는 일정깊이의 요홈(12)이 형성되어 있다. 또한, 상기 몸체(10)의 상부 중앙부에도 상기 몸체(10)의 폭 방향(단변)으로 일정거리 이격된 보조 지지블럭(13)이 형성되어 있다.First, the body 10 has a substantially rectangular hexahedral shape, and both sides (both ends in the long side direction) of the upper portion are larger than the width (width of the short side) of the body 10 and the height is higher than the upper surface of the body 10. The support block 11 is formed. The outer surface of any one of the support block 11 is formed with a groove 12 of a predetermined depth. In addition, the auxiliary support block 13 is also formed in the upper center portion of the body 10 spaced apart a predetermined distance in the width direction (short side) of the body 10.

상기 지지블럭(11)의 양측에는 2개의 회전봉(20)이 결합되어 있으며, 상기 회전봉(20)은 상기 보조 지지블럭(13)을 관통하고 있다. 상기 회전봉(20)은 상기 지지블럭(11) 및 보조 지지블럭(13)에 회전가능하게 설치되어 있다.Two rotating rods 20 are coupled to both sides of the support block 11, and the rotating rods 20 pass through the auxiliary support block 13. The rotating rod 20 is rotatably installed on the support block 11 and the auxiliary support block 13.

상기 보조 지지블럭(13) 사이의 회전봉(20) 영역에는 상기 몸체(10)의 상면 중앙부를 향하는 일정길이의 누름판(30)이 고정되어 있다. 상기 누름판(30)은 상기 회전봉(20)의 길이 방향과 대략 직각 방향으로 형성되어 있다. 상기 누름판(30)과 상기 몸체(10)의 상면은 서로 접촉하지 않토록 되어 있으며, 상기 누름판(30)의 단부는 스프링(도시되지 않음)에 의해 몸체(10)의 상면에 지지되도록 되어 있다. 따라서, 상기 다수의 누름판(30)을 일정한 힘으로 가압하여 하부로 움직이게 하면, 상기 회전봉(20) 역시 일정각도 회전하게 된다.A pressing plate 30 having a predetermined length toward the central portion of the upper surface of the body 10 is fixed to an area of the rotating rod 20 between the auxiliary supporting blocks 13. The pressing plate 30 is formed in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the rotary rod 20. The pressing plate 30 and the upper surface of the body 10 is not in contact with each other, the end of the pressing plate 30 is to be supported on the upper surface of the body 10 by a spring (not shown). Therefore, when the plurality of pressing plate 30 is pressed by a constant force to move downward, the rotating rod 20 is also rotated by a predetermined angle.

계속해서, 상기 회전봉(20)의 양측단부 즉, 지지블럭(11)에 인접한 회전봉(20) 영역에는 상기 몸체(10)의 하부를 향해 연장된 다수의 스틱(40)이 고정되어 있다. 상기 스틱(40)은 도면에서 4개가 도시되어 있지만 4개 이상 설치될 수도 있다. 상기 스틱(40)은 상기 누름판(30)에 가압력을 제공하지 않았을 경우에는 지면과 대략 수직한 방향을 유지하도록 설치함이 바람직하다. 물론, 상기 누름판(30)에 가압력이 제공되었을 경우에는 상기 스특들 상호간의 거리가 멀어짐으로써 반도체패키지용 스트립을 픽업할 수 있는 상태가 된다. 상기 스틱(40)은 서로 마주보는 면쪽에 계단형 턱(41)이 형성됨으로써 반도체패키지용 스트립을 안정적으로 픽엔플레이스할 수 있도록 되어 있다.Subsequently, a plurality of sticks 40 extending toward the lower portion of the body 10 are fixed to both end portions of the rotating rod 20, that is, the region of the rotating rod 20 adjacent to the support block 11. Four sticks 40 are shown in the figure, but four or more may be installed. When the stick 40 is not provided with pressing force to the pressing plate 30, it is preferable to install so as to maintain a direction substantially perpendicular to the ground. Of course, when the pressing plate 30 is applied to the pressing plate 30, the distance between the special features is increased, the state is able to pick up the strip for semiconductor package. The stick 40 has a stepped jaw 41 formed on the side facing each other to enable a stable pick and place of a strip for semiconductor packages.

이러한 픽엔플레이스 모듈(100)은 일정 범위의 스트립을 픽업할 수 있도록 다수개를 구비할 수 있다. 예로, 20~34mm, 35~53mm, 54mm~70mm 범위의 스트립을 픽엔플레이스할 수 있는 모듈(100)을 각각 3개만 구비하면 거의 모든 반도체패키지용 스트립을 픽엔플레이스할 수 있게 된다.The pick-and-place module 100 may be provided with a plurality of pick-up strips. For example, if only three modules 100 capable of pick and place strips in the range of 20 to 34 mm, 35 to 53 mm, and 54 mm to 70 mm are provided, respectively, it is possible to pick and place almost all semiconductor package strips.

이러한 픽엔플레이스 모듈(100)이 장착된 한 예를 도2a 및 도2b에 도시하였다.An example in which the pick-and-place module 100 is mounted is illustrated in FIGS. 2A and 2B.

도시된 바와 같이 일정 형태의 프레임(51) 상에 풀리(53)를 갖는 모터(52)(바람직하기로는 스텝모터(52))가 설치되고, 상기 모터(52)의 풀리(53)에는 벨트(54)를 통해서 볼스크류(55)가 연결되어 있다. 상기 볼스크류(55)에는 일정 형태의 연결블럭(56)을 통해 리미트 베어링(57)이 결합되어 있다. 상기 리미트 베어링(57)의 하부에는 지지샤프트(58)가 설치되어 있으며, 상기 지지샤프트(58)의 하단에는 평판형상의 고정블럭(59)이 결합되어 있다. 상기 고정블럭(59)의 일측에는 래치(60)가 설치되고, 타측에는 걸림턱(61)이 형성되어 있다.As shown, a motor 52 (preferably a step motor 52) having a pulley 53 is installed on a frame 51 of a predetermined shape, and a belt (a belt) is attached to the pulley 53 of the motor 52. 54, the ball screw 55 is connected. A limit bearing 57 is coupled to the ball screw 55 through a connection block 56 of a predetermined form. A support shaft 58 is installed below the limit bearing 57, and a flat fixed block 59 is coupled to a lower end of the support shaft 58. A latch 60 is installed at one side of the fixed block 59 and a locking jaw 61 is formed at the other side.

본 발명에 의한 픽엔플레이스 모듈(100)은 상기 고정블럭(59) 하면에 래치(60) 및 걸림턱(61)을 통해 고정된다. 즉, 상기 래치(60)는 상기 고정블럭(59)과 상기 지지블럭(11) 사이를 연결하여 고정하고, 걸림턱(61)은 상기 지지블럭(11)의 타측에 형성된 요홈(12)에 결함됨으로써 상기 픽엔플레이스 모듈(100)을 고정블럭(59)에 결합시킨다. 또한, 상기 고정블럭(59)에는 실린더(62)가 설치되어 있으며, 상기 실린더(62)가 상기 픽엔플레이스의 누름판(30)을 가압할 수 있도록 되어 있다.The pick-and-place module 100 according to the present invention is fixed to the lower surface of the fixing block 59 through the latch 60 and the locking step 61. That is, the latch 60 is connected and fixed between the fixing block 59 and the support block 11, and the locking jaw 61 is defective in the groove 12 formed at the other side of the support block 11. As a result, the pick-and-place module 100 is coupled to the fixed block 59. The fixed block 59 is provided with a cylinder 62, and the cylinder 62 is capable of pressing the pressing plate 30 of the pick and place.

이러한 장착 구조 및 픽엔플레이스 모듈(100)의 작동을 간단히 설명하면 다음과 같다.The operation of the mounting structure and the pick and place module 100 will be described briefly as follows.

먼저, 상기 모터(52)의 작동에 의해 볼스크류(55)가 회전하게 되고, 그러면 상기 볼스크류(55)에 연결블럭(56)으로 연결된 지지샤프트(58)가 하강하게 된다.First, the ball screw 55 is rotated by the operation of the motor 52, and then the support shaft 58 connected to the ball screw 55 by the connection block 56 is lowered.

상기 지지샤프트(58) 즉, 픽엔플레이스 모듈(100)이 매거진에 탑재된 스트립 상부에 까지 위치되면 상기 모터(52)의 작동이 정지된다.When the support shaft 58, that is, the pick-and-place module 100 is positioned up to the top of the strip mounted in the magazine, the operation of the motor 52 is stopped.

이어서, 상기 픽엔플레이스 모듈(100) 상부에 위치된 실린더(62)가 작동하게 되며, 이는 상기 픽엔플레이스 모듈(100)의 누름판(30)을 가압하게 된다. 이때 상기 실린더(62)는 누름판(30)과 몸체(10) 사이에 설치된 스프링 역시 가압하게 된다. 상기 픽엔플레이스 모듈(100)의 하강과 실린더(62)의 작동은 동시에 수행됨이 바람직하다. 또한 상기 실린더(62)가 먼저 작동한 후 상기 모터(52)가 작동할 수도 있다. 물론, 상기 실린더(62)가 작동하여 스틱(40) 상호간의 거리가 멀어졌을 경우에는 상기 스틱(40)들 사이에 스트립이 위치하게된다.Subsequently, the cylinder 62 positioned on the pick-and-place module 100 is operated, which presses the pressing plate 30 of the pick-and-place module 100. At this time, the cylinder 62 is also pressurized spring installed between the pressing plate 30 and the body 10. The lowering of the pick-and-place module 100 and the operation of the cylinder 62 are preferably performed at the same time. In addition, the cylinder 62 may be operated first, and then the motor 52 may be operated. Of course, when the cylinder 62 is operated so that the distance between the sticks 40 increases, the strips are positioned between the sticks 40.

이어서, 상기 실린더(62)의 작동이 멈추면, 상기 누름판(30)은 스프링의 복원력에 의해 원위치되고, 따라서 스틱(40)들 상호간의 거리도 원위치된다. 상기와 같이 스틱(40)들 사이의 거리가 윈위치될 때 낱개의 스트립이 그립(Grip)되며, 계속해서 상기 모터(52)가 작동하여 상기 스트립을 다음 공정으로 보낼 수 있는 위치로 상승하게 된다.Then, when the operation of the cylinder 62 is stopped, the pressing plate 30 is returned to its original position by the restoring force of the spring, and thus the distance between the sticks 40 is also returned to the original position. When the distance between the sticks 40 is win-positioned as described above, the individual strips are gripped, and the motor 52 is operated to ascend to a position where the strips can be sent to the next process. .

이상에서와 같이 본 발명은 비록 상기의 실시예에 한하여 설명하였지만 여기에만 한정되지 않으며, 본 발명의 범주 및 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지로 변형된 실시예도 가능할 것이다.As described above, although the present invention has been described with reference to the above embodiments, the present invention is not limited thereto, and various modified embodiments may be possible without departing from the scope and spirit of the present invention.

따라서 본 발명에 의한 반도체패키지 제조용 장비의 픽엔플레이스 모듈에 의하면, 일정범위내의 스트립을 정확하게 픽업할 수 있고, 상기 스트립을 픽업하거나 플레이스할 때 그 스트립에 위치 변화가 없는 효과가 있다.Therefore, according to the pick-and-place module of the apparatus for manufacturing a semiconductor package according to the present invention, it is possible to accurately pick up a strip within a certain range, and there is no effect of changing the position of the strip when picking up or placing the strip.

또한 일정 범위의 스트립을 픽업할 수 있는 몇개의 픽엔플레이스 모듈만 구비하면 거의 모든 크기의 스트립을 픽엔플레이스할 수 있는 효과가 있다.In addition, having just a few pick-and-place modules that can pick up a range of strips will benefit from pick-and-place strips of almost any size.

더불어, 상기 픽엔플레이스 모듈은 반도체패키지 제조 장비에 래치 및 걸림턱 등을 이용하여 간단히 착탈할 수 있음으로써 그 모듈의 교체 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, the pick-and-place module can be easily detached by using a latch and a locking step in the semiconductor package manufacturing equipment, thereby reducing the replacement time of the module.

Claims (2)

(정정) 대략 직사각 육면체 형태의 몸체(10)와;(Correction) an approximately rectangular hexahedral body 10; 상기 몸체(10)의 상부에 장변 방향을 따라 서로 평행하게 위치되고, 일정 각도 회전 가능하게 결합된 2개의 회전봉(20)과;Two rotating rods 20 disposed parallel to each other along a long side of the body 10 and rotatably coupled to an angle; 상기 각각의 회전봉(20) 중앙에 상기 회전봉(20)의 길이 방향과 대략 직각 방향으로 일단이 고정되고, 타단은 상기 몸체(10)의 상부 중앙을 향해 연장되어 있으며, 그 타단이 스프링으로 지지되어, 상기 타단을 하부로 누를 경우 상기 회전봉(20)이 일정각도 회전되도록 하는 누름판(30)과;One end is fixed to the center of each of the rotating rods 20 in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the rotating rod 20, the other end is extended toward the upper center of the body 10, the other end is supported by a spring When pressing the other end to the lower pressing plate 30 to rotate the rotary rod 20 by a predetermined angle; 상기 각각의 회전봉(20) 양측단부에 일단이 고정되고, 타단은 상기 몸체(10)의 하부를 향해 연장되어 있으며, 상기 누름판(30)을 상부에서 누르면 상기 회전봉(20)의 회전에 의해 상기 몸체(10)의 바깥쪽으로 서로 멀어지고, 상기 누름판(30)을 해제하면 서로 가까워져 반도체패키지용 스트립의 양측단만을 클램핑하는 다수의 스틱(40)을 포함하여 이루어진 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈.One end is fixed to both end portions of each of the rotating rods 20, and the other end thereof extends toward the lower portion of the body 10, and when the pressing plate 30 is pressed from the upper side, the body is rotated by the rotating rod 20. 10. The pick-and-place module of a semiconductor package manufacturing apparatus comprising a plurality of sticks 40 which are separated from each other to the outside and close to each other when the pressing plate 30 is released, thereby clamping only both ends of the strip for a semiconductor package. (정정) 제1항에 있어서, 상기 스틱(40)의 하단부에는 반도체패키지용 스트립을 안정적으로 클램핑할 수 있도록 계단형의 턱(41)이 더 형성된 것을 특징으로 하는 반도체패키지 제조 장비의 픽엔플레이스 모듈.(Correction) The pick-and-place module of the semiconductor package manufacturing equipment according to claim 1, wherein a stepped jaw 41 is further formed at the lower end of the stick 40 so as to stably clamp the strip for semiconductor package. .
KR1020000020378A 2000-04-18 2000-04-18 Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus KR100359865B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000020378A KR100359865B1 (en) 2000-04-18 2000-04-18 Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000020378A KR100359865B1 (en) 2000-04-18 2000-04-18 Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010096303A KR20010096303A (en) 2001-11-07
KR100359865B1 true KR100359865B1 (en) 2002-11-07

Family

ID=19665193

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000020378A KR100359865B1 (en) 2000-04-18 2000-04-18 Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100359865B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030057188A (en) * 2001-12-28 2003-07-04 동부전자 주식회사 pick up device of die bonder for manufacturing a semiconductor package
US10093491B2 (en) * 2016-08-02 2018-10-09 Asm Technology Singapore Pte Ltd Wireless signal transmission in a pick-and-place apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120268A (en) * 1992-10-08 1994-04-28 Ebara Corp Semiconductor lead-frame gripper jig
JPH1092850A (en) * 1996-09-12 1998-04-10 Apic Yamada Kk Device for carrying semiconductor component
JPH11145160A (en) * 1997-11-06 1999-05-28 Nec Eng Ltd Module package fixing mechanism
KR20000000323U (en) * 1998-06-08 2000-01-15 김영건 Semiconductor Strip Feeder

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120268A (en) * 1992-10-08 1994-04-28 Ebara Corp Semiconductor lead-frame gripper jig
JPH1092850A (en) * 1996-09-12 1998-04-10 Apic Yamada Kk Device for carrying semiconductor component
JPH11145160A (en) * 1997-11-06 1999-05-28 Nec Eng Ltd Module package fixing mechanism
KR20000000323U (en) * 1998-06-08 2000-01-15 김영건 Semiconductor Strip Feeder

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010096303A (en) 2001-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7014415B2 (en) Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate
KR20110108128A (en) Apparatus for mouning semiconductor device
KR102003130B1 (en) Semiconductor manufacturing device and manufacturing method of semiconductor device
KR102152009B1 (en) Ball mounting device
KR100359865B1 (en) Pick and place module of semiconductor package manufacture apparatus
US6290805B1 (en) System and method for using a pick and place apparatus
CN112772014A (en) Part mounting device
KR102401362B1 (en) Die bonding apparatus
KR100571513B1 (en) Chip picker of sawing sorter system
KR100190926B1 (en) Lead-frame unloading apparatus
KR102536175B1 (en) Die bonding apparatus
WO2001017005A1 (en) Method and apparatus for handling arranged part
KR19980025207A (en) Solder Ball Ejector in Ball Grid Array
CN112331582A (en) Chip mounting device and method for manufacturing semiconductor device
KR20020049956A (en) Table Device For Loading The Semiconductor Package
KR100277312B1 (en) Rotary Tilting Solder Ball Feeder
US20240128098A1 (en) Expander and semiconductor manufacturing equipment including the same
JP3552574B2 (en) Apparatus and method for mounting conductive ball
KR100329389B1 (en) Location alignment device of strip for semiconductor package
KR100402947B1 (en) Wafer frame transfer system for tape removal
KR101619312B1 (en) Parts feeder of Chip mounter
JP7068409B2 (en) Cutting equipment and manufacturing method of cut products
KR101033771B1 (en) Die attach equipment having a step vacuum absorption structure and die pickup method thereof
KR20240050972A (en) Expander and semiconductor manufacturing equipment including the same
JP3514151B2 (en) Apparatus and method for mounting conductive ball

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee
R401 Registration of restoration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100916

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120125

Year of fee payment: 10