KR100348020B1 - 질소가거의없는아르곤을제조하는방법및이를위한저온가스증류장치 - Google Patents

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Abstract

저압 칼럼에서 높이가 동일한 구조화된 팩킹의 2개의 베드를 사용하여 공급물내의 저압 칼럼에서 저온 공기 분리 장치내의 아르곤 칼럼으로의 질소의 수준을 낮게 하기위한 장치로서, 이들사이에서 액체를 혼합하고 재분배한다. 아르곤 칼럼 상단 응축기으로부터의 공급부와 아르곤 칼럼 공급물이 회수되는 지점사이에 팩킹된 베드가 위치된다.

Description

질소가 거의 없는 아르곤을 제조하는 방법 및 이를 위한 저온 가스 증류 장치{METHOD FOR PRODUCING ARGON WHICH IS SUBSTANTIALLY NITROGEN-FREE AND A CRYOGENIC GAS DISTILLATION SYSTEM}
본 발명은 아르곤 제조에 관한 것으로 보다 상세하게는 실질적으로 질소가 거의 없는 아르곤 부하 공급물을 아르곤 증류 칼럼에 제공하는 저온 공기 분리 장치의 저압 칼럼 배치에 관한 것이다.
아르곤은 야금 산업분야에서, 특히 스테인레스 및 특수강의 아르곤 산소 탈가스하고 다양한 금속을 절삭하고 용접하는데 사용된다. 플라즈마 제트 토치(torch)의 경우, 10,000도K의 온도를 초과하여 아르곤 혼합물을 가열하여 절삭 공정을 진행하고 내화 재료로 금속을 피복하는데 사용된다. 최근에는 아르곤 가스는 전자 산업분야에서 특히 결정을 성장시키고, 이온 밀링 및 다른 에칭 공정을 진행하는 동안 특정 제조 공정으로부터 공기를 배제하도록 하는 캐리어, 퍼어지 또는 보호(blanketing)가스로서 중요한 성분이 되고 있다.
아르곤의 제조는 공업용 가스 산업에서 경제적으로 중요한 인자이다. 일반적으로 아르곤은 저온 공기 분리의 부산물이다. 그러나, 다수의 부가 공정 단계는 아르곤의 필요 순도를 생성하는데 필수적이다. 임계 순도 요구 사항중 하나는 포함된 질소의 농도이다. 아르곤을 사용하는 많은 분야에서 본질적으로 질소는 배제되는 것을 요구하고 있다.
저온 증류 칼럼의 구조화된 팩킹 용도는 저압 강하에 의해 수반되는 우수한 물질 전달의 팩킹(예컨데, 마이에르의 미국 특허, 4,296,050 참조)을 특징으로 하는 장점을 획득할 수 있도록 한다. 구조화된 팩킹을 사용함에 의해 동반된 큰 압력강하에 영향을 미치지 않고서도, 저온 공기 분리 플랜트의 저압 칼럼내에 다수의이론적 수의 트레이를 부가하여 아르곤을 제조하는데 경제적으로 상당히 개선시키게 된다.
종래에는, 고순도의 아르곤을 제조하는데 있어서, 다수의 공정 단계를 포함하여 가공하지 않은 아르곤을 생성하여서 정제하여 개질시켜야 한다. 아르곤 공정은 저온 공기 분리 플랜트의 저압 칼럼으로 시작된다. 이어서 낮은 등급의 아르곤 스트리임을 아르곤 칼럼에 공급하며, 97.5퍼센트의 아르곤을 포함하는 상류의 가공하지 않은 아르곤 칼럼 및 저압 칼럼으로 복귀되는 하부 스트리임으로 분리된다. 또한, 상류 스트리임이 전형적으로 약 1.5퍼센트 산소 및 약 1.0퍼센트의 질소를 포함한다.
아르곤 칼럼의 상단으로부터의 가공하지 않은 아르곤 스트리임은 주변 온도로 데워지고, 이때 수소가 부가되고, 혼합물이 압축되며 산소가 제거되는 디옥소 촉매로로 보내진다. 연소 아르곤은 냉각되고, 건조되고 그리고 추가로 본질적인 액화온도로 냉각된다. 냉각 아르곤 스트리임은 과량의 수소와 잔류 질소가 제거되는 정련 칼럼으로 보내진다. 정상적인 제조로는 5ppm의 질소 또는 산소를 포함하는 아르곤 제조 스트리임을 제공한다.
독일 특허 제 1 048 936에는 아르곤 칼럼으로 이동되는 공급물의 질소 함량을 감소시키는 수단에 관해 기술되어 있다. 상술한 공정은 아르곤 응축기로부터의 공급부와 아르곤 칼럼 공급물이 회수되는 지점 사이에서, 저압칼럼의 영역내에서 사용되는 트레이의 수를 증가시킨다. 아르곤 칼럼에 대한 공급물의 질소 함량을 감소시킬 목적으로, 저압 칼럼에서 추가의 트레이를 사용하면 압력 강하되는 단점을 가지며, 공기 압축기 배기압을 증가시켜서 에너지의 요구량을 증가시키게 된다. 나아가, 압력 수준의 증가는 칼럼내에서 상대 휘발성을 감소시켜서, 아르곤의 회수량을 낮춘다.
(본원에 참조된) 비안치등의 미국 특허 5,133,790호에서는, 구조화된 팩킹을 사용하는 것이 제안되어 있으며, 아르곤 응축기로부터의 공급물과 아르곤 칼럼 공급물이 회수되는 지점 사이에 있는 저압 칼럼에서 평형 단의 수를 증가시킨다. 트레이를 사용하는 것보다는 구조화된 팩킹을 결합함에 의해 저압 칼럼내의 추가의 정류가 제공된다. 이것은 최대치 또는 근사치에서 아르곤의 농도를 유지시키면서 질소 농도를 감소시켜서, 질소가 거의 없는 아르곤을 직접 제조하도록 한다. 트레이보다는 구조화된 팩킹을 사용하여, 에너지 결함을 피할 수 있도록 하고 아르곤 회수률의 감소를 피할 수 있다.
(저압 칼럼을 통해 구조화된 팩킹을 사용하는) 비안치등의 시스템을 실제 규모로 시험하면, 아르곤 칼럼 공급물에서 질소 수준을 낮게 달성하는 것이 곤란하다는 것을 알 수 있다. 아르곤 응축기로부터의 공급부와 아르곤 칼럼 공급물이 회수되는 지점 사이에서 단일 팩킹의 베드를 사용하여 낮은 질소 수준을 달성하려는 시도를 행하였다. 성능은 만족스럽지 못하였다.
본 발명의 목적은 구조화된 팩킹을 갖는 저압 증류 칼럼을 사용하는 개선된 아르곤 제조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 저압 칼럼으로부터 아르곤 칼럼으로의 공급물의질소 함량이 매우 낮도록 제조하는 개선된 아르곤 제조 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 아르곤 제조 공정을 개략적으로 도시한 흐름도.
도 2는 본 발명의 한 실시예로서, 질소의 수준이 매우 낮은 아르곤 칼럼으로 아르곤 농후 스트리임을 유동할 수 있는 저압 칼럼내의 구성요소의 정렬을 예시한 도면.
도 3은 본 발명에서 사용되는 저압 칼럼의 낮은 구조화된 팩킹 베드에서 계산된 칼럼 영역의 성능 대 이론 단의 퍼센테이지를 도시한 그래프.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
12, 24, 32 : 열교환기28 : 저압 칼럼
36 : 상단 응축기 76 : 아르곤 칼럼
100 : 분기 영역 102 : 상부 구조화된 팩킹 영역
104 : 하부 구조화된 팩킹 영역 106 : 액체 수집 분배 장치
108 : 트레이
낮은 수준으로 포함되어 있는 질소(전형적으로 10ppm)를 갖는 아르곤 생성물을 제조하기 위해서는, 저온 공기 분리 장치의 아르곤 칼럼으로의 공급물을 위한 저압 칼럼 영역에서 질소의 수준이 낮게 달성되어야만 한다. 이것은 저압 칼럼에서 높이가 거의 같은 구조화된 팩킹의 2개의 베드를 사용함에 의해, 그들사이에서 액체를 혼합하여 재분포시켜서 달성된다.
본 발명을 기술하기에 앞서, 본원 명세서와 청구범위에서 사용되는 특정 용어를 규정하는 것은 바람직할 것이다. 용어 "칼럼"은 증류 또는 분류 칼럼 또는 영역, 예컨데, 접촉 칼럼 또는 영역을 의미하는 것이며, 예를 들어 칼럼내에서 수직방향으로 이격되어 있는 연속된 트레이 또는 평판상에서 그리고 팩킹 요소상에서 기체 또는 액상이 접촉함에 의해 액체와 증기 상이 유체 혼합물을 분리하도록 향류방향으로 유동된다. 증류 칼럼에 관한 보다 자세한 설명은 뉴욕 맥그로힐사의 알. 에이치. 페리 및 씨. 에이치. 췰톤의 화학 공학 핸드북 5판, 13부, 비. 디. 쓰미쓰등의 "증류" 페이지 13-3, 연속 증류 공정에서 찾아볼 수 있다. 용어, 이중 칼럼은 저압 칼럼의 하부 단부와 이와 관련하여 열교환되는 상부 단부를 갖춘 고압 칼럼을 가르키는 용어로 사용된다. 이중 칼럼에 대한 또 다른 논의는 옥스퍼드 출판사, 1949년. 루멘의 "가스 분리" 챕터Ⅶ, 공업용 공기 분리에서 찾아볼 수 있다.
증기 및 액체 접촉 분리 공정은 증기압의 차이에 따라 좌우된다. 증류는 분리 공정으로서 액체 혼합물을 가열하여 휘발성 성분은 기상으로 그리고 휘발성이낮은 성분은 액상으로 농축시키는데 사용될 수 있다. 부분 응축은 분리 공정으로서, 증기 혼합물을 냉각하여 휘발성 성분을 기상으로 그리고 휘발성이 낮은 성분을 액상으로 농축하는데 사용된다. 정류 또는 연속 증류도 분리 공정으로서, 기상 및 액상을 향류(countercurrent) 처리하여 연속적 부분 증류 및 응축을 조합한 공정이다. 증기 및 액상은 향류 접촉으로서 단열되며 상기 상들 사이의 적분(단계적인) 접촉 또는 미분(연속적인) 접촉을 포함한다. 혼합물을 분리하는 정류의 원리를 사용하는 분리 공정 장치는 종종 상호 교환될 수 있는 정류 칼럼, 증류 칼럼 또는 분류 칼럼이다. 저온 정류는 150˚K에서 또는 그 이하에서 적어도 부분적으로 수행되는 정류 공정이다.
용어, "간접 열 교환"은 유체가 서로 물리적으로 접촉되거나 또는 상호 혼합되지 않고서 연관되어 2개의 유체 스트리임을 열 교환되도록 하는 것을 의미한다. 본원에 사용되는 바와 같은 용어 "패킹"은 칼럼 내장물로서 사용되는 예정된 배치, 크기 및 형태를 갖는 임의의 고체 또는 중공의 몸체를 의미하는 것으로서, 2개상이 향류 유동을 하는 동안 액체와 기체 계면에서 물질 전달이 일어나도록 액체에 표면적을 제공한다.
본원에서 사용되는 바와 같은, 용어 "구조화된 팩킹"은 개개의 부재가 서로 관련하여 칼럼 축에 대해 특정 배향을 갖는 팩킹을 의미한다.
본원에서 사용되는 바와 같은 용어 "아르곤 칼럼 장치"는 칼럼 및 상단 응축기를 포함하는 장치를 의미하며, 이것은 아르곤을 포함하는 공급물을 처리하고 그리고 공급의 농도를 초과하는 아르곤 농도를 갖는 생성물을 생성한다.
본원에서 사용되는 용어 "상단 응축기"는 아르곤 칼럼의 상단으로부터 상승되는 증기를 액화하는데 사용되는 열 전달 장치를 의미한다.
본원에서 사용되는 용어 "평형 단"은 기존 증기와 액체 스트리임이 평형상태에 있도록 하는 증기와 액체사이에서의 접촉 공정을 의미한다.
일반적으로, 본 발명은 저압 칼럼을 변형하여 높이가 거의 같은 구조화된 팩킹의 2개의 베드를 (최대 아르곤 농도의 점에서 또는 약간 낮게)아르곤 칼럼 공급물이 회수되는 지점과 아르곤 칼럼 상단 응축기의 공급부사이에서 액체를 혼합하고 재분포시키면서 제공하도록 한다. 저압 칼럼에 대한 변형은 구조화된 팩킹의 물질 전달 성능을 개선시키며, 이러한 팩킹은 아르곤 칼럼 공급물에서 의도한 낮은 질소 수준을 수득하는데 있어서 중요하다. 선택적으로, 팩킹된 베드의 벽으로의 유동의 역작용에 대해 보호하기 위해서, 하나 또는 그이상의 트레이가 아르곤 공급물이 회수되는 지점 바로 위에 위치된다.
기술하기 전에 더 설명하여야 할 것은 하부 압력 칼럼에 대한 변형, 전체 공기 증류, 아르곤 생성 장치의 등급이 있을 수 있다.
도 1과 관련하여, 세척된 압축 공기 공급물은 환류 스트리임과 간접 열교환하도록 열 교환기(12)를 통해 통과됨에 의해 냉각되고 그리고 이렇게 얻은 냉각 공기 스트리임(14)은 칼럼(16)으로 통과되며, 이 칼럼(16)은 이중 칼럼 장치의 고압 칼럼이고 그리고 일반적으로 70 내지 95퍼센트의 범위내의 압력에서 조작된다. 공급 공기 스트리임(18)의 일부는 열 교환기(24)를 통해 통과되며, 이것은 배출 산소 생성 스트리임을 데우도록 한다. 이렇게 얻은 공기 스트리임(26)은 칼럼(28)으로통과되며 이것은 이중 칼럼 장치의 저압 칼럼이며, 고압 칼럼 보다 적은 압력에서 조작되며 일반적으로 15 내지 25psia의 범위내에 있다.
칼럼(16)내에서, 공급 공기는 저온 정류에 의해 산소 농후 액체 및 질소 농후 증기로 분리된다. 산소 농후 액체는 스트리임(30)으로서 칼럼(16)으로부터 제거되고, 열 교환기(32)를 통해 부분적으로 통과되고, 그리고 이렇게 얻은 스트리임(34)은 아르곤 칼럼 상단 응축기(36)로 통과되며, 이것은 응축 아르곤 칼럼 상단 증기와 간접 열 교환함에 의해 부분적으로 증기화된다. 이렇게 얻은 가스 및 액체 산소 농후 유체는 각각 스트리임(38 및 40)으로서 상단 응축기(36)로부터 칼럼(28)으로 통과된다.
질소 농후 증기는 스트리임(42)으로서 칼럼(16)으로부터 제거되고 리보일러(44)로 통과되며 보일링 칼럼(28)의 바닥과 간접 열교환됨에 의해 응축된다. 이렇게 얻은 질소 농후 액체는 환류로서 칼럼(16)으로 환류되는 스트리임(48)과 스트리임(50)으로 나누어지며, 스트리임(50)은 열 교환기(32)를 통해 부분적으로 통과되는 스트리임(52)로서, 칼럼(28)으로 통과된다.
칼럼(28)내에서, 칼럼으로의 다양한 공급물은 저온 정류에 의해 정류된 질소와 산소로 분리된다. 가스상 산소는 리보일러(44)위의 스트리임(54)으로서 칼럼(28)으로부터 제거된다. 이 스트리임은 열 교환기(24)를 통해 통과되고 그리고 이렇게 얻은 스트리임(56)은 열 교환기(12)를 통해 통과되어 가스상 산소 생성 스트리임(58)으로서 회수된다. 필요에 따라, 액체 산소 스트리임(60)은 리보일러(44)로부터 칼럼(28)으로부터 제거될 수도 있으며 액체 산소 생성물로서회수된다. 일반적으로, 생성물 산소는 적어도 99.0퍼센트의 산소 농도를 가질 것이다.
가스상 질소는 스트리임(62)으로서 칼럼(28)으로부터 제거되고 열 교환기(32)를 통해 통과됨에 의해 데워진다. 이렇게 얻은 스트리임(66)은 열 교환기(12)를 통과함에 의해 추가로 데워져서 10ppm이하의 산소 농도를 갖는 가스상 질소 생성 스트리임(68)로서 회수된다. 폐기물 스트리임(70)은 칼럼(28)으로부터 생성 질소 회수 지점아래에서 제거되며, 열 교환기(32)를 통해 통과됨에 의해 데워지고, 그리고 스트리임(72)으로부터 제거된다. 이 폐기물 스트리임은 질소 및 산소 생성 스트리임에서 생성물 순도를 제어하도록 한다.
적어도 5%의 아르곤 및 바람직하게는 적어도 7% 아르곤, 50ppm이하의 질소와 실질적으로 나머지 산소를 포함하고있는 아르곤 칼럼 공급물(74)은 칼럼(28)으로부터 회수되고 아르곤 칼럼(76)으로 통과되며, 이것은 저온 정류에 의해 산소 농후 액체 및 아르곤 농후 액체로 분리되며 실질적으로 이들은 질소가 없다. 질소가 거의 없다는 것은 질소가 10ppm이하, 바람직하게는 5ppm이하, 보다 바람직하게는 2ppm이하로 포함되어 있다는 것을 의미한다. 산소 농후 액체는 칼럼(76)으로부터 제거되고 그리고 스트리임(78)으로서 칼럼(28)으로 회수된다. 아르곤 농후 증기는 스트리임(80)에서 질소가 거의 없는 생성 아르곤으로서 아르곤 칼럼 장치로부터 직접 회수될 수도 있다. 또한 질소가 거의 없는 생성 아르곤이 액체로서 회수될 수도 있다. 추가로, 칼럼(76)은 충분한 분리 단계를 갖출 수도 있어서 아르곤 생성물의 산소 함량이 낮고, 예컨데, 100ppm이하의 O2가 함유될 수 있도록 하거나 또는 바람직하게는 10ppm이하의 O2가 함유될 수 있도록 한다.
아르곤 칼럼의 일부의 증기는 스트리임(82)으로서 칼럼(76)으로부터 상단 응축기(36)로 통과되며, 이것은 이미 기술된바와 같이, 부분적으로 증기화되는 산소 농후 액체에 대해 간접 열교환함에 의해 응축된다. 이렇게 얻은 액체 스트리임(84)은 환류로서 칼럼(76)으로 복귀된다. 필요에 따라, 그리고 아르곤 칼럼 공급물(74)의 함량에 따라, 스트리임(82)의 일부(79)는 폐기물 아르곤 스트리임으로서 제거될 수도 있다. 이것은 추가로 생성 아르곤내의 질소 농도를 더 감소시키도록 한다.
전형적으로 10ppm 또는 그 이하의 질소 함유 요구를 충족시키는 아르곤을 생성하기 위해서는, 낮은 수준의 질소는 저압 칼럼(28)의 영역(100)내에서 아르곤 칼럼 공급물 스트리임(74)이 칼럼(28)에서 배출되는 지점에서 이루어져야만 한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이러한 낮은 수준의 질소는 아르곤 칼럼 응축기 증기 공급부(38)와 아르곤 칼럼 공급물 스트리임(74)의 회수 지점 사이에서 바람직하게는 같은 높이로 구조화된 팩킹 영역(102 및 104)의 분리 베드를 제공함에 의해 달성된다. 추가로, 액체 수집 및 분배 장치(106)는 구조화된 팩킹 영역(102 및 104)사이의 중간 지점에서 위치되어 중간 지점에서 액체를 재분포시키도록 한다.
하기에 논의되어 보다 잘 이해될 수 있겠지만, 액체의 혼합과 재분포는 아르곤 칼럼 공급물내의 의도한 낮은 수준의 질소를 수득하는데 있어서 중요하다. 하부 구조화된 팩킹 영역(104)의 바닥에 하나 또는 그이상의 트레이(108)를 배치함에 의해 이러한 혼합은 보다 더 개선될 수 있다. 트레이(108)를 선택적으로 사용하여 팩킹 베드(104)내의 임의의 칼럼 벽으로의 유동의 역효과를 완화시킨다. 이 트레이는 모든 하향 유동 액체를 혼합하고 칼럼 벽으로의 유동에 의해 얻은 액체 바이패스의 바람직하지 않은 작용을 피할 수 있도록 한다. 이어서, 아르곤 칼럼(76)으로의 공급물 스트리임(74)은 이 트레이 영역의 바닥으로부터 회수된다.
칼럼 영역(100)이 아르곤 칼럼 응축기(36)로부터 농후 아르곤 증기인 상부 공급부(38) 및 아르곤 칼럼(76)으로의 증기 공급물인 하부 드로우(draw)(74)에 의해 형성되어 질 수 있다. 전형적으로 아르곤 칼럼(76)으로부터의 농후 산소 액체(40)는 산소 농후 증기 스트리임(38)위의 지점에서 저압 칼럼(28)에 부가되지만, 일부에서는 이것은 동일한 수준에서 부가된다. 나아가, 일부에서는, 산소 농후 액체 스트리임(34)의 분획은 아르곤 칼럼 응축기를 가로지르지 않고서 저압 칼럼으로 직접 부가될 수도 있다. 다시, 전형적으로 액체가 산소 농후 증기 스트리임(38)위의 수준에서 부가될 수 있다.
평형 핀치(equilibrium pinch)에 가깝게 조작되는 구조화된 팩킹 증류 칼럼 영역의 분리 성능은 임의의 액체의 불규칙 증류에 의해 역영향을 미친다. 중요한 것은 액체 불규칙 증류의 특정 수준에 대한 주어진 칼럼 영역의 성능의 선택성은 영역내의 중간 지점에서 칼럼내에서 하강하는 액체의 혼합에 의해 감소될 수 있다. 조작선과 평형선사이의 핀치를 포함하는 칼럼 영역내의 팩킹의 단일 베드의 바닥에서의 트레이를 사용하여 핀치에 대한 선택성을 제거하는데 있어서 총괄적인 효과를가져서, 영역의 성능을 개선시킨다. 팩킹 베드로부터 하강하는 액체를 혼합하여 성능을 개선시킨다. 혼합은 액체 분포가 플러그 유동(plug flow)으로 벗어날 때 개선되는 구역적 핀치를 제거한다.
이에 따라, 저압 칼럼(28)에서 위로부터 하강되는 액체는 아르곤 칼럼 응축기(36)로부터의 증기가 저압 칼럼(28)으로 수용되는 지점에서 액체 수집 및 분배 장치(106)상에 수용된다. 액체는 상부 구조화된 팩킹 영역(102)으로 재분포되어, 하강 액체와 상승 증기사이에서 접촉을 긴밀하고 균일하게 할 수 있다. 그러나, 상부 구조화된 팩킹 영역(102)의 물리적 불완전성 때문에, 칼럼(28)의 벽으로 일부의 액체가 채널링되어 액체의 불규칙 증류가 팩킹내에서 발생된다. 액체 수집 및 분배 장치(106)를 사용하여 영역(100)의 중간 지점에서 액체를 구분함에 의해, 액체의 불규칙 증류가 정정된다.
상부 구조화된 팩킹 영역(102)과 거의 동일한 높이의 하부 구조화된 팩킹 영역(104)은 필요한 양의 팩킹을 제공하는데 사용되어 질소 농도를 의도한 수준으로 감소시킨다.
본 발명의 만족스런 성능은 2개 부분으로 분기된 저압 칼럼(28)의 분기 영역(100)에 따라 좌우된다. 주어진 영역(100)의 액체의 불규칙 증류의 작용은 도 3을 참조로 이해할 수 있으며 이것은 증류 장치의 수학적 모델링을 토대로 한다. 도 3은 하부 팩킹 베드(104)내의 이론단의 영역 성능 대 퍼센테이지의 좌표이다. 이 좌표는 2개 부품으로 분기된 분기 팩킹 영역(100)의 작용을 도시하고 있으며 하부 영역에 공급된 액체를 재혼합하고 재분포시킨다.
좌표에서 알 수 있듯이, 영역(100)의 2개의 극단, 상단 또는 하단중 단지 하나에서만 수행된다면 정류 성능은 매우 열악하다. 재혼합 지점이 영역(100)의 바닥으로부터 상승되면서, 이론 단수(theoretical stages)의 약 1/3의 수준에 도달할 때까지 분리 효과는 개선된다. 이 수준에서 본질적으로 완전한 이론적 분리 성능은 전체 팩킹된 영역에 대해 달성된다. 분리 성능이 떨어지는 시점에서, 구조화된 팩킹의 2/3의 수준에 도달될 때까지, 이러한 고수준의 성능이 연속된다. 이것은 본질적으로 동일한 성능의 2개의 부품으로 구조화된 팩킹 영역을 분기시킬 필요성을 나타낸다. 그러나 이들이 정확하게 동일해야 한다는 것은 중요하지 않다. 바닥으로부터의 1/3 내지 2/3의 분할은 거의 이론적 성능에 도달된다.
상술한 설명은 단지 본 발명을 예시한 것이다. 본 발명의 범위내에서 다양한 실시예 및 변형예가 당해업자에 의해 제안될 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 첨부된 청구항의 범위에 해당되는 다른 선택예 및 변형예를 포함한다.
발명의 제조 방법 및 장치를 제공하여 아르곤 제조를 개선시키고, 저압 칼럼으로부터 아르곤 칼럼으로의 공급물의 질소 함량이 매우 낮도록 제조하게 된다.

Claims (10)

  1. 고압 칼럼, 저압 칼럼 및 아르곤 증류 칼럼을 포함하는 저온 가스 증류 장치로서,
    상기 저압 칼럼은, (ⅰ) 상기 아르곤 증류 칼럼과 연관된 열 교환기로부터의 산소 농후 스트리임을 수용하기 위한 공급 지점과, 그리고 (ⅱ) 상기 아르곤 증류 칼럼에 공급 스트리임을 제공하기 위한 배출 지점을 포함하고 있고,
    상기 저압 칼럼이,
    a) 상기 저압 칼럼내의 상기 공급 지점과 상기 배출 지점 사이에 위치된 제 1 구조화된 팩킹 베드 및 제 2 구조화된 팩킹 베드와, 그리고
    b) 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드로부터의 액체 유동이 상기 제 2 구조화된 팩킹 영역에 들어가기 전에 상기 액체 유동을 재분배시키도록, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드와 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드사이에 위치된 액체 수집 및 분배 수단을 추가로 포함하는 저온 가스 증류 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 액체 수집 및 분배 수단이 액체 수집 및 분배 트레이를 포함하고 있는 저온 가스 증류 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 구조화된 팩킹 영역과 상기 배출 지점 사이에 위치되어 액체를 수집하고 재분배하는 트레이 수단을 더 포함하고 있는 저온 가스증류 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드와 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드가 함께 X개의 이론 단들을 포함하고, 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드가 1/3 내지 2/3의 X개의 이론 단들을 포함하며, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드는 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드에 의해서는 포함되지 않은 나머지의 X개의 이론 단들을 포함하는 저온 가스 증류 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드와 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드는 함께 X개의 이론 단들을 포함하고 있으며, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드 및 제 2 구조화된 팩킹 베드는 각각 상기 X개의 이론 단들의 1/2을 포함하고 있는 저온 가스 증류 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 배출 지점은 상기 저압 칼럼에서 최대 아르곤 농도의 지점에 위치되는 저온 가스 증류 장치.
  7. 고압 칼럼, 저압 칼럼 및 아르곤 증류 칼럼을 포함하는 저온 가스 증류 장치를 사용하여, 질소가 거의 없는 아르곤을 제조하는 방법으로서,
    상기 저압 칼럼은, (ⅰ) 상기 아르곤 증류 칼럼과 연관된 열 교환기로부터 산소 농후 스트리임을 수용하기 위한 공급 지점과, 그리고 (ⅱ) 상기 아르곤 증류칼럼에 공급 스트리임을 제공하기 위한 배출 지점을 포함하고 있고,
    상기 방법은,
    a) 상기 저압 칼럼의 상기 공급 지점과 상기 배출 지점 사이에 위치된 제 2 구조화된 칼럼과 제 1 구조화된 칼럼을 통해서 액체와 처리 가스의 향류 유동을 제공하는 단계와, 그리고
    b) 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드로부터의 액체 유동이 상기 제 2 구조화된 팩킹 영역에 들어가기 전에 상기 액체 유동을 재분배시키도록, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드와 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드 사이의 지점에서 상기 액체를 수집하고 분배하는 단계를 포함하는, 질소가 거의 없는 아르곤을 제조하는 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드에서 배출되는 액체가 상기 배출 지점에 도달되기 전에 상기 액체를 수집하고 재분배하는 단계를 더 포함하고 있는,질소가 거의 없는 아르곤을 제조하는 방법.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드와 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드가 함께 X개의 이론 단들을 포함하고, 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드가 1/3 내지 2/3의 X개의 이론 단들을 포함하며, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드는 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드에 의해서는 포함되지 않은 나머지의 X개의 이론 단들을 포함하는, 질소가 거의 없는 아르곤을 제조하는 방법.
  10. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드와 상기 제 2 구조화된 팩킹 베드는 함께 X개의 이론 단들을 포함하고 있으며, 상기 제 1 구조화된 팩킹 베드 및 제 2 구조화된 팩킹 베드는 각각 상기 X개의 이론 단들의 1/2을 포함하고 있는, 질소가 거의 없는 아르곤을 제조하는 방법.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6128922A (en) * 1999-05-21 2000-10-10 The Boc Group, Inc. Distillation method and column
US6378332B1 (en) * 2000-09-07 2002-04-30 Praxair Technology, Inc. Packing with low contacting crimp pattern
US10663223B2 (en) * 2018-04-25 2020-05-26 Praxair Technology, Inc. System and method for enhanced recovery of argon and oxygen from a nitrogen producing cryogenic air separation unit
US10663224B2 (en) * 2018-04-25 2020-05-26 Praxair Technology, Inc. System and method for enhanced recovery of argon and oxygen from a nitrogen producing cryogenic air separation unit

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1048936B (de) * 1957-08-31 1959-01-22 Adolf Messer G M B H Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung von stickstofffreiem Argon durch Tiefkuehlung und Rektifikation der Luft
US4499035A (en) * 1977-03-17 1985-02-12 Union Carbide Corporation Gas-liquid contacting tray with improved inlet bubbling means
CH617357A5 (ko) * 1977-05-12 1980-05-30 Sulzer Ag
US4813988A (en) * 1987-12-14 1989-03-21 Air Products And Chemicals, Inc. Suitable distillation column packing for the cryogenic separation of air
US4836836A (en) * 1987-12-14 1989-06-06 Air Products And Chemicals, Inc. Separating argon/oxygen mixtures using a structured packing
US4871382A (en) * 1987-12-14 1989-10-03 Air Products And Chemicals, Inc. Air separation process using packed columns for oxygen and argon recovery
EP0664144A2 (fr) * 1990-12-17 1995-07-26 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Colonne de distillation d'air à garnissage ondulé-croisé
US5133790A (en) * 1991-06-24 1992-07-28 Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation Cryogenic rectification method for producing refined argon
US5237823A (en) * 1992-03-31 1993-08-24 Praxair Technology, Inc. Cryogenic air separation using random packing
US5282365A (en) * 1992-11-17 1994-02-01 Praxair Technology, Inc. Packed column distillation system
JP2897600B2 (ja) * 1993-06-28 1999-05-31 株式会社日立製作所 空気分離装置及び空気分散方法

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