KR100346147B1

KR100346147B1 - Probe system

Info

Publication number: KR100346147B1
Application number: KR1019960020012A
Authority: KR
Inventors: 츠요시 아루가; 와타루 모치즈키; 슈지 아키야마; 히사토미 호사카; 유이치 아베
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 1995-06-08
Filing date: 1996-06-05
Publication date: 2002-11-23
Also published as: TW471707U; KR970003749A; TW442884B; US5798651A

Abstract

본 발명은 반도체 등의 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브시스템에 관한 것으로서,The present invention relates to a probe system for inspecting the electrical characteristics of a test object such as a semiconductor,

서로 소정 거리 이간하여 일렬로 배치되고 테스트헤드를 피검사체의 전극과 전기적으로 도통시켜서 피검사체의 전기적 특성검사를 실시하는 복수의 검사부와, 검사부의 열을 따라서 평행하게 연장되는 반송로와, 복수의 피검사체가 재치되고 반송로와 대향하며, 또한 반송로의 윗쪽에서 반송로에 대하여 수직으로 승강하는 재치부와, 반송로를 따라서 이동하고 재치부와 각 검사부의 사이에서 피검사체를 수수하는 수수기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.A plurality of inspection units arranged in a line at a predetermined distance from each other and electrically conducting the test heads with the electrodes of the inspected object to conduct electrical characteristic inspection of the inspected object, a conveyance path extending in parallel along the rows of the inspected portions, Placement on which the inspected object is placed and faces the conveying path, and is vertically raised and lowered from the conveying path above the conveying path, and a receiving device which moves along the conveying path and receives the inspected object between the placing part and each inspecting part. It is characterized by having a.

Description

Probe system

본 발명은 반도체 등의 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a probe system for inspecting electrical characteristics of an object under test such as a semiconductor.

피검사체의 전기적 특성을 검사하는 프로브장치는 예를 들면 피검사체인 예를 들면 반도체웨이퍼를 반송하기 위한 반송부와 반송부로부터 받은 반도체웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 검사부를 구비하고 있다. 반송부에는 복수의 반도체웨이퍼의 세트로서의 카세트가 재치되는 카세트재치부와, 카세트재치부로부터 반도체웨이퍼를 예를 들면 1장씩 받아서 반송하는 반송기구와, 반송기구에 의하여 반도체웨이퍼로 반송되는 과정에서 반도체웨이퍼의 오리엔테이션플랫부의 향함을 소정의 향함으로 세트하는 프리얼라이먼트부로서의 서브척이 설치되어 있다. 검사부에는 반송부의 반송기구로부터 프리얼라인먼트 후의 반도체웨이퍼를 받아서 재치하는 메인척과, 메인척상의 반도체웨이퍼를 정확히 위치맞춤하는 얼라인먼트기구와, 위치 맞춤 후의 반도체웨이퍼의 전극 패드와 전기적으로 접촉하는 프로브바늘을 갖는 프로브카드가 설치되어 있다. 검사부에는 또한 테스트헤드가 선회 가능하게 부착되어 있다. 이 테스트헤드가 그 선회동작에 의하여 프로브카드와 전기적으로 접 속되고,또한 테스터로부터의 검사신호가 테스트헤드와 프로브카드의 프로브바늘을 통하여 반도체웨이퍼의 전극패드에 송신됨으로써 반도체웨이퍼에 형성된 IC칩의 전기적 특성이 검사된다.The probe device for inspecting the electrical characteristics of the inspected object includes, for example, a transport section for transporting a semiconductor wafer, for example, a semiconductor wafer, and an inspector for inspecting electrical properties of the semiconductor wafer received from the transport section. The conveying unit includes a cassette placing unit in which a cassette as a set of a plurality of semiconductor wafers is placed, a conveying mechanism for receiving and conveying one semiconductor wafer from the cassette placing unit, for example, and a semiconductor in the process of being conveyed to the semiconductor wafer by the conveying mechanism. A subchuck is provided as a prealignment portion that sets the orientation of the wafer on the orientation flat portion to a predetermined orientation. The inspection unit includes a main chuck receiving and placing the semiconductor wafer after alignment from the conveying mechanism of the conveying unit, an alignment mechanism for accurately positioning the semiconductor wafer on the main chuck, and a probe needle electrically contacting the electrode pad of the semiconductor wafer after the alignment. Probe card is installed. The test section is also pivotally attached to the test head. The test head is electrically connected to the probe card by its pivoting operation, and the test signal from the tester is transmitted to the electrode pad of the semiconductor wafer through the probe head of the test head and the probe card to form an IC chip formed on the semiconductor wafer. Electrical characteristics are checked.

최근에는 반도체 제품의 생산비용의 저감에 의해 반도체 제품이 사용된 전기 제품의 비용이 저감하고 있기 때문에 보다 고부가가치의 전기제품이 개발되고 있다. 이에 동반하여 반도체제품의 종류가 많아지고, 또한 그 수요도 많아져서 반도체제품은 점점 다품종소량생산으로부터 다품종다량생산으로 이행하고 있는 중이 다. 그 때문에 프로브장치의 설치대수가 급격히 중대하는 경향에 있다. 그러나 상기한 바와 같이 프로브장치는 반도체웨이퍼의 반송으로부터 검사까지의 전체를 그 한 대로 실시하는 자기판결형이기 때문에 이것을 신설 또는 증설하는 경우에는 검사에 기본적으로 필요한 검사부만이 아니라 검사부에 대체하는 반송부 등도 검사부와 똑같이 증설하지 않으면 안된다. 따라서 프로브장치의 설치대수가 증가할 때마다 크린룸내에 차지하는 프로브장치의 설치스페이스가 현저히 증대하고, 또한 그 설치비용이 비싸지는 문제가 있다. 그리고 이 문제는 반도체웨이퍼 등의 피검사체의 대형화에 동반하여 점점 심각한 것이 된다.In recent years, high value-added electrical products have been developed because the cost of electrical products in which semiconductor products are used is reduced by the reduction of the production cost of semiconductor products. Along with this, there are many kinds of semiconductor products, and the demand is also increasing, and semiconductor products are gradually shifting from small quantity batch production to large quantity batch production. Therefore, the number of installation of the probe apparatus tends to be extremely important. However, as described above, the probe device is a self-determination type that performs the entire process from conveyance to inspection of semiconductor wafers. Therefore, when newly installed or expanded, the probe unit replaces the inspection unit as well as the inspection unit which is basically required for the inspection. The back must be expanded in the same way as the inspection department. Therefore, there is a problem that the installation space of the probe device occupying the clean room is remarkably increased every time the number of installation of the probe device increases, and the installation cost is expensive. This problem is becoming more and more serious with the increase in the size of inspected objects such as semiconductor wafers.

한편 이와 같은 프로브장치에서는 피검사체의 종류가 다른 경우(로트가 다른 경우) 다른 프로브장치에서 검사를 실시하거나 또는 프로브카드의 교환을 하지 않으면 안되어 검사의 융통성이 결여되고 검사효율이 현저히 저하하는 문제가 있다.On the other hand, in such a probe device, if the type of test object is different (a lot is different), the test device must be inspected by another probe device or the probe card must be replaced, resulting in a lack of flexibility in inspection and a significant decrease in test efficiency. have.

본 발명의 목적은 스페이스절약화 및 저비용화를 촉진할 수 있으며, 또한 검사의 융통성을 높여서 검사효율을 향상시킬 수 있는 프로브시스템을 제공하는 것에있다.An object of the present invention is to provide a probe system that can promote space saving and low cost, and can improve inspection efficiency by increasing inspection flexibility.

본 발명의 목적은 이하의 프로브시스템에 의하여 달성된다. 즉 이 프로브시스템은 서로 소정 거리 이간하여 일렬로 배치되고 테스트헤드를 피검사체의 전극과 전기적으로 도통시켜서 피검사체의 전기적 특성 검사를 실시하는 복수의 검사부와, 검사부의 열을 따라서 평행하게 연장되는 반송로와, 복수의 피검사체가 재치되고 반송로와 대향하며, 또한 반송로의 윗쪽에서 반송로에 대하여 수직으로 승강하는 재치부와, 반송로를 따라서 이동하고 재치부와 각 검사부의 사이에서 피검사체를 수수하는 수수수단을 구비하고 있다.The object of the present invention is achieved by the following probe system. That is, the probe systems are arranged in a line with a predetermined distance from each other, and the test heads are electrically connected to the electrodes of the test object to carry out the electrical property test of the test object, and the conveyance extending in parallel along the rows of the test parts. The placing unit and the plurality of inspected objects are placed to face the conveying path and vertically lifted with respect to the conveying path from the upper side of the conveying path, and move along the conveying path and between the placing unit and each inspection unit. It is provided with a receiving means for receiving.

이하 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

제 1 도~제 13 도는 본 발명의 제 1 실시예를 나타내고 있다. 제 1 도에 나타내는 바와 같이 본 실시예의 프로브시스템(1)은 피검사체인 예를 들면 반도체웨이퍼(W)의 전기적 검사를 실시하는 2개의 검사부(2)(2)를 구비하고 있다. 이들 검사부(2)(2)는 서로 소정의 간격을 두고 X축을 따라서 평행하게 설치되어 있다. 각 검사부(2)는 반도체웨이퍼(W)가 재치되어 진공흡착되는 메인척(3)과, 메인척(3)을 소정의 검사위치로부터 X축, Y축, Z축을 따라서 이동시키며, 또한 Z축 주위(θ 방향)로 회전시키는 구동기구(4)를 구비하고 있다. 또한 구동기구(4)는 제어부(60)에 의하여 그 동작이 제어되고 메인척(3)에 의한 진공흡착의 동작 및 그 동작의 해제도 제어부(60)에 의하여 제어된다.1 to 13 show a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the probe system 1 of this embodiment is provided with two test | inspection parts 2 and 2 which perform the electrical test of the semiconductor wafer W, for example, an object under test. These inspection parts 2 and 2 are provided in parallel along the X-axis at predetermined intervals from each other. Each inspection unit 2 moves the main chuck 3 on which the semiconductor wafer W is placed and vacuum-absorbed, and moves the main chuck 3 along the X-axis, Y-axis, and Z-axis from a predetermined inspection position. The drive mechanism 4 which rotates around (theta direction) is provided. In addition, the drive mechanism 4 is controlled by the controller 60, and the operation of vacuum suction by the main chuck 3 and the release of the operation are also controlled by the controller 60.

제 2 도에 나타내는 바와 같이 검사부(2)는 그 검사실(2A)의 천정면이 헤드플레이트(7)에 의하여 형성되어 있다. 상기 검사위치에서 헤드플레이트(7)에는 인서트링(8)이 장착되어 있다. 인서트링(8)에는 프로브카드(5)가 고정되어 있다. 프로브카드(5)는 구동기구(4)에 의하여 검사위치로 이동된 메인척(3)상의 반도체웨이퍼의 (W)와 전기적으로 접촉하는 접촉자, 예를 들면 복수의 프로브바늘(5A)을 갖고 있다.As shown in FIG. 2, the test | inspection part 2 is formed with the head plate 7 in the ceiling surface of 2 A of test | inspection chambers. In the inspection position, the insert plate 8 is mounted on the head plate 7. The probe card 5 is fixed to the insert ring 8. The probe card 5 has a contactor, for example, a plurality of probe needles 5A, which are in electrical contact with the W of the semiconductor wafer on the main chuck 3 moved by the drive mechanism 4 to the inspection position. .

또한 각 검사부(2)(2)는 프로브카드(5)의 프로브바늘(5A)과 전기적으로 도통하는 테스트헤드(6)(6)를 구비하고 있다. 각 테스트헤드(6)(6)는 서로 이웃하는 검사부(2)(2) 사이에 형성된 공간내에 설치된 선회구동기구(9)에 의해 Y축과 평행한 회전축의 주위를 별개로 선회 동작된다(제 1 도의 일점쇄선의 화살표시 참조). 제 3 도에 선회구동기구(9)의 개략적인 구성이 나타내어져 있다. 도시한 바와 같이 선회구동기구(9)는 Y축과 평행한 회전축(40)과, 회전축(40)을 회전시키는 회전기구 (42)와, 테스트헤드(6)에 고정되어 회전축(40)의 회전에 동반하여 선회하는 선회아암(41)과, 회전축(40)을 갖고, 또한 선회 아암(41)을 통하여 테스트헤드(6)를 지지하는 지지부(44)와, 지지부(44)에 고정돈 승강축과, 승강축을 승강시키는 승강기구 (43)로 이루어지는 선회구동계(A)를 X축방향을 따르는 그 좌우의 양측에 갖고 있다. 또한 회전기구(42) 및 승강기구(43)의 구동은 제어부(60)에 의하여 제어된다. 따라서 이 구성에 따르면 회전기구(42)에 의하여 회전축(40)을 회전시켜서 선회아암(41)을 선회시키면 테스트헤드(6)가 예를 들면 도면중에 일점쇄선으로 나타내는 수평의 퇴피상태(Ⅰ)로부터 180도 선회하여 프로브카드(5)의 바로 위에 수평상태로 위치한다(도면중(Ⅱ)의 상태), 이 상태(Ⅱ)에서 승강기구(43)에 의하여 승강축(45)이 하강되면 테스트헤드(6)는 수평상태인 채 하강히여 도면중 실선으로 나타내는위치에서 콘택트링(48)의 전극(47)을 통하여 프로브카드(5)의 프로브바늘(5A)과 전기적으로 도통한다.Each inspection unit 2 and 2 is provided with test heads 6 and 6 which are electrically connected to the probe needle 5A of the probe card 5. The test heads 6 and 6 are pivotally operated separately around the rotational axis parallel to the Y axis by the pivoting drive mechanism 9 provided in the space formed between the neighboring inspection sections 2 and 2. See arrow of dashed line of 1 degree). 3, the schematic structure of the turning drive mechanism 9 is shown. As shown, the pivot drive mechanism 9 has a rotation shaft 40 parallel to the Y axis, a rotation mechanism 42 for rotating the rotation shaft 40, and a test head 6 fixed thereto to rotate the rotation shaft 40. The support arm 44 which has the turning arm 41 and the rotating shaft 40, which support the test head 6 via the turning arm 41, and the fixed lifting shaft to the support part 44 And the swing drive system A formed of the lifting mechanism 43 for lifting the lifting shaft up and down on both sides of the left and right along the X-axis direction. In addition, the driving of the rotating mechanism 42 and the lifting mechanism 43 is controlled by the control unit 60. Therefore, according to this configuration, when the pivoting arm 41 is rotated by rotating the rotary shaft 40 by the rotating mechanism 42, the test head 6 moves from the horizontal retracted state I indicated by, for example, a dashed line in the figure. It is rotated 180 degrees and positioned horizontally just above the probe card 5 (state (II) in the drawing). In this state (II), when the elevating shaft 45 is lowered by the elevating mechanism 43, the test head (6) is lowered horizontally and is electrically connected to the probe needle 5A of the probe card 5 via the electrode 47 of the contact ring 48 at the position indicated by the solid line in the figure.

제 1 도에 나타내는 바와 같이 Y축방향을 따르는 선회구동기구(9)의 전방에는 예를 들면 25장의 반도체웨이퍼(W)가 수납된 용기로서의 예를 들면 카세트(C)를 승강 가능하게 재치하는 2대의 재치기구(10)(10)가 인접하여 설치되어 있다. 각 재치기구(10)(10)는 카세트(C)가 재치되는 재치부(10A)와, 재치부(10A)를 가이드레일 (10B)을 따라서 승강시키며, 또한 제어부(60)에 의하여 그 구동이 제어되는 도시하지 않는 승강구동기구로 이루어진다. 가이드 레일(10B)은 수직으로 세워 설치되어 있으며 재치부(10A)의 후단측부위와 예를 들면 걸어 맞추어 가이드레 일(10B)의 전방으로 연장되는 재치부(10A)를 Z축방향으로 안내한다. 또한 상기 승강구동기구는 예를 들면 엔코더를 갖고 있으며, 이 엔코더에 의해 도시하지 않는 모터의 회전수가 검출되고, 그 검출 신호를 기초로하여 재치부(10A)의 이동량이 제어부(60)에 의하여 제어된다.As shown in FIG. 1, in front of the turning drive mechanism 9 along the Y-axis direction, for example, two cassettes, for example, as a container in which 25 semiconductor wafers W are housed, can be mounted in a liftable manner. Stand mounting mechanisms 10 and 10 are provided adjacent to each other. Each mounting mechanism 10, 10 raises and lowers the placing portion 10A on which the cassette C is placed, and the placing portion 10A along the guide rail 10B, and the driving thereof is controlled by the controller 60. It consists of a lifting drive mechanism not shown. The guide rail 10B is vertically installed, and is engaged with, for example, the rear end side of the mounting portion 10A to guide the mounting portion 10A extending in front of the guide rail 10B in the Z-axis direction. . In addition, the lift drive mechanism has an encoder, for example, the rotation speed of a motor (not shown) is detected by the encoder, and the movement amount of the mounting unit 10A is controlled by the control unit 60 based on the detection signal. .

2대의 재치기(10)(10)의 아래쪽, 구체적으로는 2대의 재치부(10A)의 아래쪽에는 2대의 검사부(2)(2)의 앞면을 따라서 연장되는 반송로로서의 반송레일(11)이 설치되어 있다. 이 반송레일(11)은 예를 들면 검사부(2)(2)의 앞면에 고정된 가늘고 긴 형상의 기대(12)상에 설치되어 있으며 좌측의 검사부(2)의 좌단으로부터 우측의 검사부(2)의 우단까지 연장되어 있다. 반송레일(11)에는 2대의 재치기구(10) (10)와 2대의 검사부(2)(2)의 사이에서 반도체웨이퍼(W)를 수수하는 제 1 수수기구(13)가 설치되어 있다.A conveying rail 11 as a conveying path extending along the front surface of the two inspecting portions 2 and 2 is installed below the two placing parts 10 and 10, specifically, below the two placing portions 10A. It is. This conveying rail 11 is provided on the elongate base 12 fixed to the front surface of the inspection part 2, 2, for example, and is the inspection part 2 of the right side from the left end of the inspection part 2 of the left side. Extends to the right edge of The conveyance rail 11 is provided with a first receiving mechanism 13 for receiving the semiconductor wafer W between two placing mechanisms 10, 10 and two inspection portions 2, 2.

제 4 도에 나타내는 바와 같이 제 1 수수기구(13)는 소정의 위치까지 하강한 재치부(10A)상의 카세트(C)로부터 검사전의 반도체웨이퍼(W)를 1장씩 꺼냄 또는 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 카세트(C)내에 수납하는 아암(14)을 갖고 있다. 아암(14)은 연결부품(19)을 통하여 X축방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상의 지지체 (16)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 즉 지지체(16)의 상면에는 X축방향을 따라서 연장되는 레일(17)이 고정되어 있으며 아암(14)과 연결하는 연결부품(19)이 레일(17)에 이동 가능하게 걸어 맞추고 있다.As shown in Fig. 4, the first receiving mechanism 13 takes out one piece of the semiconductor wafer W before the inspection from the cassette C on the mounting portion 10A lowered to a predetermined position or the semiconductor wafer W after the inspection. ) Has an arm 14 that houses the cassette C. The arm 14 is movably supported by the elongate support 16 extending in the X-axis direction through the connecting part 19. That is, the rail 17 which extends along the X-axis direction is being fixed to the upper surface of the support body 16, and the connecting part 19 which connects with the arm 14 is engaged with the rail 17 so that a movement is possible.

지지체(16)의 하면에는 레일(17)을 따라서 연결부품(19)을 X축방향으로 왕복이동시키는 구동기구(18)가 설치되어 있다. 이 구동기구(18)는 반송레일(11)과 걸어맞추는 기대(50)상에 설치되며, 또한 제어부(60)에 의하여 그 구동이 제어된 모터(18A)와, 모터(18A)에 연결되고, 또한 지지체(16)의 좌단부 하면에 지지된 구동풀리(18B)와, 구동풀리(18B)와 쌍을 이루어 지지체(16)의 우단부 하면에 지지된 종동풀리(18C)와, 이들 양 풀리(18B)(18C) 사이에 걸어 돌려진 무단벨트(18D)로 구성되어 있다. 또한 무단벨트(18D)에는 연결부품(19)이 연결되어 있다.The lower surface of the support body 16 is provided with a drive mechanism 18 for reciprocating the connecting parts 19 along the rails 17 in the X-axis direction. This drive mechanism 18 is provided on the base 50 which engages with the conveyance rail 11, and is connected to the motor 18A and 18 A of which the drive was controlled by the control part 60, Moreover, the driving pulley 18B supported by the lower left end of the support body 16, the driven pulley 18C supported by the lower end of the support 16 in pair with the driving pulley 18B, and these pulleys ( It consists of an endless belt 18D turned between 18B) and 18C. In addition, the connecting parts 19 are connected to the endless belt 18D.

따라서 이와 같은 구성에 따르면 모터(18A)에 의하여 구동풀리(18B)를 회전시켜서 무단벨트(18D)를 동작시키면 연결부품(19)이 레일(17)을 따라서 X축방향으로 왕복이동하고, 이에 동반하여 아암(14)도 X축방향으로 왕복이동한다. 이에 따라 아암(14)은 반도체웨이퍼(W)를 카세트(C)내로부터 반출하는 것이 가능해지고, 또 카세트(C)내에 반도체웨이퍼(W)를 반입하는 것이 가능해진다. 또한 아암(14)은 반도체웨이퍼(W)를 진공흡착함으로써 반도체웨이퍼(W)를 고정상태로 지지할 수 있고진공흡착상태를 해제함으로써 반도체웨이퍼(W)를 해방할 수 있다. 물론 아암(14)에 의한 진공흡착의 동작 및 그 동작의 해제는 제어부(60)에 의하여 제어된다. 또 모터(18A)에는 예를 들면 엔코더가 부설되어 있으며, 이 엔코더에 의하여 모터(18A)의 회전수가 검출되고, 그 검출신호를 기초로 하여 아암(14)의 이동량이 제어부(60)에 의하여 제어된다.Therefore, according to such a configuration, when the endless belt 18D is operated by rotating the drive pulley 18B by the motor 18A, the connecting part 19 reciprocates along the rail 17 in the X-axis direction, The arm 14 also reciprocates in the X-axis direction. As a result, the arm 14 can carry the semiconductor wafer W out of the cassette C, and the semiconductor wafer W can be carried in the cassette C. In addition, the arm 14 can support the semiconductor wafer W in a fixed state by vacuum sucking the semiconductor wafer W, and can release the semiconductor wafer W by releasing the vacuum suction state. Of course, the operation of vacuum suction by the arm 14 and the release of the operation are controlled by the controller 60. In addition, an encoder is installed in the motor 18A, for example, and the rotation speed of the motor 18A is detected by the encoder, and the movement amount of the arm 14 is controlled by the controller 60 based on the detection signal. do.

지지체(16)의 우단측에는 아암(14)에 의하여 카세트(C)내로부터 반출된 반도체웨이퍼(W)의 향함을 소정의 방향으로 맞추어서 프리얼라인먼트하기 위한 서브척 (20)이 설치되어 있다. 이 서브척(20)은 제 1 모터(20A)에 의하여 θ방향으로 정역회전되고, 또한 제 2 모터(20B)에 의하여 승강되어 지지체(16)에 형성된 구멍(16A)을 통하여 돌몰(突沒)된다. 또한 서브척(20)은 반도체웨이퍼(W)를 진공흡착함으로써 반도체웨이퍼(W)를 그 상면에 의해 고정상태로 지지할 수 있고 진공흡착상태를 해제함으로써 반도체웨이퍼(W)를 해방할 수 있다. 또한 제 1 및 제 2 모터(20A) (20B)의 구동은 제어부(60)에 의하여 제어되고 서브척(20)에 의한 진공흡착의 동작 및 그 동작의 해제도 제어부(6O)에 의하여 제어된다.On the right end side of the support 16, a sub chuck 20 for prealigning the alignment of the semiconductor wafer W carried out from the cassette C by the arm 14 in a predetermined direction is provided. The sub chuck 20 is rotated forward and backward in the θ direction by the first motor 20A, and is raised and lowered by the second motor 20B to protrude through the hole 16A formed in the support 16. do. In addition, the sub chuck 20 may support the semiconductor wafer W in a fixed state by vacuum suction of the semiconductor wafer W and release the semiconductor wafer W by releasing the vacuum suction state. In addition, the driving of the first and second motors 20A and 20B is controlled by the controller 60, and the operation of vacuum suction by the sub-chuck 20 and the release of the operation are also controlled by the controller 60.

지지체(16)의 윗쪽에는 지지부품(21)에 의하여 지지된 프리얼라인먼트용의 광학센서(22)가 설치되어 있다. 이 광학센서(22)는 서브척(20)상의 반도체웨이퍼 (W)의 오리엔테이션플랫부를 검출하고, 그 검출신호를 제어부(60)에 보낸다. 제어부(60)는 광학센서(22)로부터의 검출신호를 기초로 하여 모터(20A)를 구동시켜서 서브척(20)을 회전시키고 반도체웨이퍼(W)의 오리엔테이션플랫부의 향함을 소정의 향함으로 세트한다.On the upper side of the support 16, an optical sensor 22 for prealignment supported by the support part 21 is provided. The optical sensor 22 detects an orientation flat portion of the semiconductor wafer W on the sub chuck 20 and sends the detection signal to the control unit 60. The controller 60 drives the motor 20A based on the detection signal from the optical sensor 22 to rotate the sub chuck 20 and sets the orientation flat portion of the semiconductor wafer W to a predetermined orientation. .

또한 제 1 도에 나타내는 바와 같이 반송레일(11) 및 제 1 수수기구(13)는 커버(38)에 의하여 덮여져서 외부로부터 차단되어 있다. 이와 같은 커버(38)로서는 예를 들면 투명한 아크릴수지 등으로 이루어지는 투명판이 사용된다. 이에 따라 제 1 수수기구(13)가 재치기구(10)(10)와 검사부(2)(2)의 사이에서 반도체웨이퍼(W)를 수수하는 모양을 외부에서 감시 할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 1, the conveyance rail 11 and the 1st receiving mechanism 13 are covered by the cover 38, and are interrupted | blocked from the exterior. As such a cover 38, the transparent board which consists of transparent acrylic resin etc. is used, for example. As a result, the first receiving mechanism 13 can externally monitor the shape of receiving the semiconductor wafer W between the mounting mechanisms 10, 10 and the inspection unit 2, 2.

서브척(20)에 의하여 프리얼라인먼트된 반도체웨이퍼(W)는 제 1 수수기구 (13)로부터 제 2 수수기구(23)로 건네어진다. 제 1 도에 나타내는 바와 같이 제 2 수수기구(23)는 제 1 수수기구(13)와 메인척(3)의 사이에서 반도체웨이퍼(W)를 수수하기 위해 검사실(2A)의 우측공간내에 설치되며, 또한 그 공간내에서 Y축방향으로 왕복이동된다. 제 5 도에 나타내는 바와 같이 제 2 수수기구(23)는 프리얼라인먼트 후의 반도체웨이퍼(W)를 제 1 수수기구(13)의 서브척(20)으로부터 받아서 메인척(3)상에 건네는 직사각형상의 상측아암(24)과, 상측아암(24)의 아래쪽에 위치하고, 또한 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)으로부터 받아서 제 1 수수기구(13)의 서브척(20)에 건네는 직사각형 상의 하측아암(25)을 구비하고 있다. 즉 상측아암(24)은 서브척(20)에서 프리얼라인먼트된 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)에 건네는 로더아암으로서 구성되고 하측아암(25)은 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)으로부터 서브척(20)으로 건네는 언로더아암으로서 기능한다. 물론 필요에 따라서 상측아암(24)을 언로더아암으로서 기능시키고 하측아암(25)을 로더 아암으로서 기능시키는 것도 가능하다. 또한 각 아암(24)(25)은 각각 예를 들면 세라믹스에 의하여 형성되어 있다.The semiconductor wafer W prealigned by the sub chuck 20 is passed from the first receiving mechanism 13 to the second receiving mechanism 23. As shown in FIG. 1, the second receiving mechanism 23 is installed in the right space of the examination room 2A to receive the semiconductor wafer W between the first receiving mechanism 13 and the main chuck 3. And reciprocating in the Y-axis direction in the space. As shown in FIG. 5, the second receiving mechanism 23 receives the semiconductor wafer W after prealignment from the subchuck 20 of the first receiving mechanism 13 and passes it on the main chuck 3 to the upper side of the rectangle. The lower side of the rectangle positioned under the arm 24 and the upper arm 24 and receiving the inspected semiconductor wafer W from the main chuck 3 and handing it to the sub chuck 20 of the first receiver 13. An arm 25 is provided. That is, the upper arm 24 is configured as a loader arm that passes the pre-aligned semiconductor wafer W to the main chuck 3 at the sub chuck 20, and the lower arm 25 is the main chuck for the semiconductor wafer W after inspection. It functions as an unloader arm passed from (3) to the sub chuck 20. Of course, if necessary, the upper arm 24 can function as an unloader arm, and the lower arm 25 can function as a loader arm. In addition, each arm 24 and 25 is each formed with the ceramics, for example.

제 5 도에 나타내는 바와 같이 각 아암(24)(25)은 각각 검사실(2A)의 우측면에 고정되어 Y축방향으로 연장되는 지지체(26)상에 설치되어 있으며, Y축방향으로 왕복이동할 수 있게 되어 있다. 즉 제 2수수기구(23)는 각 아암(24)(25)을 한측틀로 지지하는 대략 L자상으로 형성된 지지막대(27)(28)와, 이들 지지막대(27)(28)와 걸어 맞추고, 또한 Y축방향으로 연장되는 가이드레일(29)(29)과, 가이드레일(29) (29)을 지지하는 가늘고 긴 형상의 제 1 기대(33)와, 제 1 기대(33)를 하측으로부터 지지하는 가늘고 긴 형상의 제 2 기대(34)와, 제 2 기대(34)에 설치되고, 또한 지지막대(27)(28)와 연결부품(30)(30)을 통하여 연결하는 Y축방향구동기구(31)(31) (제 5 도에는 한쪽의 연결부품(30) 및 Y방향구동기구(31)만이 도시되어 있다)와, 제 2 기대(34)와 지지체(26)에 연결되고, 또한 제 2 기대(34)를 승강이동시켜서 아암(24)(25) 및 Y방향구동기구(31)(31)를 포함하는 상측의 기구를 일체적으로 Z축방향으로 이동시키는 Z방향구동기구(32)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 5, each of the arms 24 and 25 is provided on a support 26 that is fixed to the right side of the test chamber 2A and extends in the Y-axis direction, and is capable of reciprocating in the Y-axis direction. It is. In other words, the second receiving mechanism 23 is engaged with the supporting rods 27 and 28 formed in substantially L-shapes supporting the arms 24 and 25 in one frame, and the supporting rods 27 and 28, respectively. In addition, the guide rails 29 and 29 extending in the Y-axis direction, the elongated first base 33 and the first base 33 supporting the guide rails 29 and 29, and the first base 33 are provided from below. Y-axis drive provided in the second base 34 and the second base 34 having an elongate shape to support, and connected through the support rods 27 and 28 and the connecting parts 30 and 30. Connected to the mechanisms 31 and 31 (only one connecting part 30 and the Y-direction driving mechanism 31 are shown in FIG. 5), the second base 34 and the support 26; Z-direction driving mechanism 32 which moves the second base 34 up and down to integrally move the upper mechanism including arms 24, 25 and Y-direction driving mechanisms 31, 31 in the Z-axis direction. ).

Y방향구동기구(31)는 하측의 제 2 기대(34)의 아래쪽에 부착되며, 또한 제어부(60)에 의하여 그 구동이 제어되는 모터(31A)와, 이 모터(31A)에 연결되며, 또한 제 2 기대(34)의 좌단부 상면에 고정된 구동풀리(31B)와, 이 구동풀리(31B)와 쌍을 이루어 제 2 기대(34)의 우단부 상면에 고정된 종동풀리(31C)와, 이들 양 풀러 (31B)(31C)사이에 걸어 돌려진 무단벨트(31D)로 구성되어 있다. 무단벨트(31D)에는 아암(24(25))의 지지막대(27(28))에 연결된 연결부품(30(20))이 연결되어 있다. 따라서 각 아암(24)(25)은 Y방향구동기구(31)의 구동에 의하여 가이드레일(29)을 따라서 Y축방향으로 이동할 수 있다. 또한 모터(31A)에는 예를 들면 엔코더가 부설되어 있으며, 이 엔코더에 의해 모터(31A)의 회전수가 검출되고, 그 검출신호를 기초로 하여 아암(24)(25)의 이동량이 제어부(60)에 의하여 제어된다. 한편 Z방향구동기구는 예를 들면 에어실린더에 의하여 구성되고 에어실린더의 실린더로드의 상단이 제 2 기대(34)의 하면의 대략 중앙에 연결되어 있다.The Y-direction drive mechanism 31 is attached to the lower side of the lower second base 34 and is connected to the motor 31A whose driving is controlled by the control unit 60, and this motor 31A. A driving pulley 31B fixed to the upper end surface of the second base 34, a driven pulley 31C fixed to the upper end surface of the second base 34 in pairs with the driving pulley 31B, It consists of the endless belt 31D turned between these pullers 31B and 31C. The endless belt 31D is connected with a connecting part 30 (20) connected to the supporting rod 27 (28) of the arm 24 (25). Therefore, each arm 24 and 25 can move to a Y-axis direction along the guide rail 29 by the drive of the Y-direction drive mechanism 31. As shown in FIG. In addition, an encoder is attached to the motor 31A, for example, and the rotation speed of the motor 31A is detected by the encoder, and the amount of movement of the arms 24 and 25 is controlled based on the detection signal. Controlled by On the other hand, the Z-direction driving mechanism is constituted by, for example, an air cylinder, and the upper end of the cylinder rod of the air cylinder is connected to approximately the center of the lower surface of the second base 34.

상측의 제 1 기대(33)의 예를 들면 측면에는 각 아암(24)(35)의 Z축방향을 따르는 홈위치(퇴피위치)를 검출하기 위한 근접스위치(35)와, 각 아암(24)(25)의 Y축방향을 따르는 홈위치(퇴피위치)를 검출하기 위한 광학센서(36)가 부착되어 있다. 광학센서(36)는 발광부와 수광부를 갖고 있으며 연결부품(30)에 설치된 차광체 (39)에 의하여 발광부로부터 수광부를 향하는 빛이 차단됨으로써 각 아암(24)(25)의 Y축방향을 따르는 홈위치를 검출한다. 광학센서(36) 및 근접스위치(35)로부터의 검출신호는 제어부(60)에 보내어지고, 제어부(60)는 광학센서(36) 및 근접스위치 (35)로부터의 검출신호를 기초로하여 각 아암(24)(25)의 홈포지션을 인식하며, 그 후의 각 아암(24)(25)의 동작을 제어한다.For example, the upper side of the first base 33 has a proximity switch 35 for detecting a home position (retraction position) along the Z-axis direction of each arm 24, 35, and each arm 24. An optical sensor 36 is attached for detecting a home position (retreat position) along the Y-axis direction of (25). The optical sensor 36 has a light emitting portion and a light receiving portion, and the light from the light emitting portion to the light receiving portion is blocked by the light shielding body 39 provided in the connecting part 30 so that the Y-axis direction of each arm 24 and 25 is adjusted. Detect the following home position. Detection signals from the optical sensor 36 and the proximity switch 35 are sent to the control unit 60, which controls each arm based on the detection signals from the optical sensor 36 and the proximity switch 35. (24) It recognizes the home position of 25, and controls the operation | movement of each arm 24 (25) after that.

제 6 도에 나타내는 바와 같이 아암(24(25))은 그 하면 양측으로부터 내뻗은 내뻗음부(24A)(24A)((25A)(25A))를 갖고 있으며, 전체로서 그 단면형상이 모난 C자상으로 형성되어 있다. 아암(24(25))은 Y방향구동기구(31) 및 Z방향구동기구(32)의 구동에 의해 서브척(20) 또는 메인척(3)상의 반도체웨이퍼(W)에 액세스하고 서브척(20) 또는 메인척(3)상으로부터 내뻗음부(24A)(24A)((25A)(25A))에 의해 반도체웨이퍼(W)를 갖고 받으며, 또는 내뻗음부(24A)(24A)((25A)(25A))에 의하여 지지한 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3) 또는 서브척(20)상으로 건넨다. 내뻗음부(24A)(24A)((25A)(25A))에는 진공흡착용의 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있으며, 아암(24(25))에 의하여 반도체웨이퍼(W)를 받을 때에 상기 구멍을 통하여 반도체웨이퍼(W)를 내뻗음부(24A)(24A)((25A)(25A))에 흡착고정할 수 있다.As shown in Fig. 6, the arm 24 (25) has inner extension portions 24A, 24A ((25A), 25A) extending from both sides of the lower surface thereof, and as a whole the C-shaped cross section is angular. It is formed. The arm 24 (25) accesses the semiconductor wafer W on the sub chuck 20 or the main chuck 3 by the driving of the Y-direction drive mechanism 31 and the Z-direction drive mechanism 32 and the sub-chuck ( 20 or from the main chuck 3 with the semiconductor wafer W being received by the inwardly extending portions 24A, 24A ((25A, 25A), or in the extending portions 24A, 24A) (25A). The semiconductor wafer W supported by (25A) is handed onto the main chuck 3 or the sub chuck 20. A hole (not shown) for vacuum suction is formed in the extending portions 24A and 24A (25A and 25A), and when the semiconductor wafer W is received by the arm 24 (25), Through the holes, the semiconductor wafer W can be sucked and fixed to the extending portions 24A, 24A (25A, 25A).

따라서 상측아암(24)에 의하여 반도체웨이퍼(W)를 서브척(20)으로부터 받을 때에는 상측아암(24)은 서브척(20)에 액세스하고, 그 내뻗음부(24A)(24A)에 의하여 반도체웨이퍼(W)를 받는다. 이 때 서브척(20)에 의한 진공흡착은 해제된다. 한편 하측아암(25)으로부터 반도체웨이퍼(W)를 서브척(20)으로 건넬때에는 하측아암(25)이 서브척(20)의 바로 위에 온 시점에서 서브척(20)이 상승되고 반도체웨이퍼(W)가 내뻗음부(25A)(25A)로부터 이간되도록 하측아암(25)내에서 뜨게 된다. 그 후 반도체웨이퍼(W)가 하측아암(25)내에서 뜨게된 상태에서 하측아암(25)이 서브척(20)측으로부터 제 2 수수기구(23)측으로 Y축방향으로 이동된다. 이에 따라 서브척(20)에 반도체웨이퍼(W)가 건네어진다.Therefore, when the semiconductor wafer W is received from the sub chuck 20 by the upper arm 24, the upper arm 24 accesses the sub chuck 20, and the semiconductor wafer W is provided by the inner portions 24A and 24A. Receive (W) At this time, the vacuum suction by the sub chuck 20 is released. On the other hand, when the semiconductor wafer W is passed from the lower arm 25 to the sub chuck 20, the sub chuck 20 is raised when the lower arm 25 is directly above the sub chuck 20 and the semiconductor wafer W is raised. ) Is floated in the lower arm 25 so as to be spaced apart from the extending portions 25A and 25A. Thereafter, the lower arm 25 is moved in the Y-axis direction from the sub chuck 20 side to the second receiving mechanism 23 side with the semiconductor wafer W floating in the lower arm 25. As a result, the semiconductor wafer W is passed to the sub chuck 20.

제 7(B) 도에 나타내는 바와 같이 메인척(3)의 중앙부에는 예를 들면 3개의 승강핀(3A)(도면중에서는 2개만이 나타내어져 있다)이 설치되어 있다. 이들 승강핀 (3A)은 상측아암(24)으로부터 반도체웨이퍼(W)를 받을 때에 메인척(3)내로부터 돌출하고 상측아암(24)으로부터 반도체웨이퍼(W)를 받은 후에 메인척(3)내로 퇴몰(退沒)한다. 메인척(3)은 상측아암(24)으로부터 반도체웨이퍼(W)를 받아서 승강핀 (3A)이 메인척(3)내로 퇴몰한 후에 반도체웨이퍼(W)를 진공흡착한다.As shown in Fig. 7B, three lifting pins 3A (only two are shown in the drawing) are provided in the center of the main chuck 3, for example. These lifting pins 3A project from the main chuck 3 when receiving the semiconductor wafer W from the upper arm 24 and into the main chuck 3 after receiving the semiconductor wafer W from the upper arm 24. Sinking. The main chuck 3 receives the semiconductor wafer W from the upper arm 24 and vacuum-absorbs the semiconductor wafer W after the lifting pins 3A sink into the main chuck 3.

따라서 메인척(3)에 의하여 상측아암(24)으로부터 반도체웨이퍼(W)를 받을 때에는 우선 메인척(3)이 제 7(A) 도에 나타내는 초기위치로부터 구동기구(4)에 의하여 제 7(B) 도에 나타내는 위치까지 상승되고, 또한 상측아암(24)이 메인척(3)의 바로 위에 온 시점에서 승강핀(3A)이 돌출되고, 또한 메인척(3)이 제 7(B) 도에 나타내는 위치보다더 더욱 상승되어 반도체웨이퍼(W)가 승강핀(3A)에 의해 내뻗음부 (24A)(24A)로부터 이간되도록 상측아암(24)내에서 뜨게된다. 그 후 반도체웨이퍼 (W)가 상측아암(24)내에서 뜨게된 상태에서 상측아암(24)이 메인척(3)측으로부터 제 1 수수기구(13)측으로 Y축방향으로 이동된다. 이에 따라 메인척(3)에 반도체웨이퍼(W)가 건네어진다. 한편 하측아암(25)은 제 8 도에 나타내는 바와 같이 반도체웨이퍼(W)가 승강핀(3A)에 의하여 메인척(3)상으로부터 뜨게 되었을 때에 메인척 (3)에 액세스하고 내뻗음부(25A)(25A)에 의하여 반도체웨이퍼(W)를 받는다. 이 때 메인척(3)에 의한 진공흡착은 해제되고 승강핀(3A)이 메인척(3)내로 퇴몰된다.Therefore, when the semiconductor wafer W is received from the upper arm 24 by the main chuck 3, the main chuck 3 is first driven by the drive mechanism 4 from the initial position shown in FIG. B) It is raised to the position shown in the figure, and when the upper arm 24 comes directly above the main chuck 3, the lifting pin 3A protrudes, and the main chuck 3 is in the seventh (B) diagram. It is further raised above the position indicated by so that the semiconductor wafer W is floated in the upper arm 24 so as to be separated from the extending portions 24A and 24A by the lifting pins 3A. Thereafter, in the state where the semiconductor wafer W is floated in the upper arm 24, the upper arm 24 is moved in the Y axis direction from the main chuck 3 side to the first receiving mechanism 13 side. As a result, the semiconductor wafer W is passed to the main chuck 3. On the other hand, as shown in FIG. 8, the lower arm 25 accesses the main chuck 3 when the semiconductor wafer W floats on the main chuck 3 by the lift pins 3A, and the inner portion 25A extends. The semiconductor wafer W is received by 25A. At this time, vacuum suction by the main chuck 3 is released and the lifting pin 3A is recessed into the main chuck 3.

제 1 도에 나타내어지는 바와 같이 검사부(2)에는 프로브카드(5)를 반자동으로 교환하는 카드반송기구(37)가 설치되어 있다. 카드반송기구(37)는 프로브카드 (5)를 트레이(37A)상에 얹어서 반송한다. 트레이(37A)는 검사실(2A)의 앞면에서 수직으로 넘어진 도시한 수납위치에서 프로브카드(5)를 세트 가능한 수평인 세트위치까지 오퍼레이터에 의해 회동된다. 이 세트위치에서 트레이(37A)상에 프로브카드 (5)가 세트되면 트레이(37A)는 카드반송기구(37)에 의하여 세트위치로부터 인서트링(8)에 프로브카드(5)를 수수하는 수수위치(검사실(2A)내의 인서트링(8)의 바로 아래)로 이동되어 프로브카드(5)를 자동반송한다. 인서트링(8)에는 프로브카드(5)를 착탈하는 착탈기구(도시하지 않음)가 부착되어 있으며 인서트링(8)의 바로 아래에서 트레이(37A)가 상승되면, 이 착탈기구를 통하여 프로브카드(5)가 인서트링(8)에 자동적으로 장착되고, 또는 인서트링(8)에 장착되어 있는 프로브카드(5)가 자동적으로 떼내어진다.As shown in FIG. 1, the inspection part 2 is provided with the card conveyance mechanism 37 which replaces the probe card 5 semi-automatically. The card conveyance mechanism 37 carries the probe card 5 on the tray 37A and conveys it. The tray 37A is rotated by the operator to a horizontal set position where the probe card 5 can be set in the illustrated storage position vertically fallen from the front face of the examination room 2A. When the probe card 5 is set on the tray 37A in this set position, the tray 37A is fed to the insert ring 8 from the set position by the card transport mechanism 37 to receive the probe card 5 from the set position. (Just below the insert ring 8 in the laboratory 2A), and the probe card 5 is automatically conveyed. The insert ring 8 is provided with a detachment mechanism (not shown) for attaching and detaching the probe card 5, and when the tray 37A is raised just below the insert ring 8, the probe card ( 5) is automatically mounted on the insert ring 8, or the probe card 5 mounted on the insert ring 8 is automatically removed.

검사실(2A)의 내부에는 얼라인먼트용의 한쌍의 CCD카메라(도시하지 않음)가 상하에 위치하여 설치되어 있다. 반도체웨이퍼(W)를 검사시의 향함에 정확하게 위치 맞춤하기 위해 이들 CCD카메라는 프로브바늘(5A)과 반도체웨이퍼(W)를 고배율 및 저배율로 촬상한다. 이들 CCD카메라와는 별도로 검사실(2A)의 내부를 감시하기 위한 CCD카메라가 설치되어 있으며, 이 CCD카메라에 의하여 촬상된 검사실(2A)의 내부의 영상은 표시장치(39)의 양면(39A)에 표시된다.Inside the examination room 2A, a pair of CCD cameras (not shown) for alignment are located above and below. These CCD cameras image the probe needle 5A and the semiconductor wafer W at high magnification and low magnification so as to accurately position the semiconductor wafer W to face the inspection. Apart from these CCD cameras, a CCD camera for monitoring the interior of the examination room 2A is provided, and an image of the interior of the examination room 2A captured by the CCD camera is provided on both surfaces 39A of the display device 39. Is displayed.

다음으로 상기 구성의 프로브시스템(1)을 이용하여 반도체웨이퍼(W)의 검사를 실시하는 경우에 대하여 제 9 도를 참조하면서 설명한다.Next, the case where the semiconductor wafer W is inspected using the probe system 1 having the above-described configuration will be described with reference to FIG.

우선 복수의 반도체웨이퍼(W)가 수납된 카세트(C)가 2대의 재치기구(10)(10)의 재치부(10A)(10A)상에 각각 재치된 상태에서 표시장치(39)의 양면에 표시된 조작패널상의 소정의 스위치가 조작되면 프로브시스템(1)이 기동된다. 프로브시스 템(1)이 기동되면 제 1 수수기구(13)가 반송레일(11)상을 재치기구(10)를 향하여 X축방향으로 이동하며, 또한 예를 들면 좌측의 재치부(10A)가 하강하여, 소정위치에서 정지한다. 그 후 제 1 수수기구(13)가 웨이퍼꺼냄위치에서 정지하고, 또한 아암(14)이 X축방향으로 전진(도면중 오른쪽 방향)하여 좌측의 재치부(10A)상의 카세트(C)내의 소정 위치에 진입하면서 반도체웨이퍼(W)에 액세스한다. 반도체웨이퍼 (W)에 액세스한 아암(14)은 반도체웨이퍼(W)를 진공흡착한 후 X축방향으로 후회하여 카세트(C)내로부터 반도체웨이퍼(W)를 반출한다(제 9 도 중의 ①의 상태). 이사이 제 1 수수기구(13)는 아암(14)와 함께 X축방향으로 후퇴하여 제 2 수수기 구(23)에 대한 수수위치(제 9 도중의 ②의 위치)에서 정치한다. 제 1 수수기구(13)가 수수위치 ②로 이동하는 사이 아암(14)이 서브척(20)의 돌몰위치보다도 X축방향으로 후퇴하고 반도체웨이퍼(W)가 서브척(20)상에 위치된다. 이 상태에서 서브척 (20)은 모터(20B)의 구동에 의하여 상승되고 아암(14)에 지지된 반도체웨이퍼(W)의 안쪽면에 접촉하며, 또한 반도체웨이퍼(W)를 진공흡착한다. 이 때 아암(14)에 의한 진공흡착상태가 해제된다. 그 후 모터(20A)의 구동에 의하여 서브척(20)이 θ방향으로 회전된다. 서브척(20)이 회전하는 사이 프리얼라인먼트용의 광학센서(22)가 반도체웨이퍼(W)의 오리엔테이션플랫부를 검출한다. 제어부(60)는 광학센서(22)로부터의 검출신호를 기초로하여 모터(20A)의 구동, 즉 서브척(20)의 회전량을 제어하고 반도체웨이퍼(W)를 소정의 향함으로 프리얼라인먼트한다. 상기한 바와 같이 이 프리얼라인먼트는 제 1 수수기구(13)가 수수위치 ②로 이동되는 사이에 실시된다.First, on both sides of the display device 39 in a state in which the cassettes C containing the plurality of semiconductor wafers W are placed on the mounting portions 10A and 10A of the two mounting mechanisms 10 and 10, respectively. When the predetermined switch on the displayed operation panel is operated, the probe system 1 is started. When the probe system 1 is activated, the first receiving mechanism 13 moves on the transport rail 11 toward the placing mechanism 10 in the X-axis direction, and for example, the left placing portion 10A is moved. It descends and stops at a predetermined position. After that, the first receiving mechanism 13 stops at the wafer ejecting position, and the arm 14 moves forward in the X-axis direction (rightward in the drawing), so that the predetermined position in the cassette C on the left mounting portion 10A is left. The semiconductor wafer W is accessed while entering. The arm 14 which accesses the semiconductor wafer W carries out vacuum suction of the semiconductor wafer W, regrets it in the X-axis direction, and carries out the semiconductor wafer W from the cassette C (in Fig. 9). condition). The first pick-up mechanism 13 retreats along the arm 14 in the X-axis direction and rests at the pick-up position with respect to the second pick-up sphere 23 (position 2 in the ninth way). The arm 14 retreats in the X-axis direction from the protrusion position of the sub chuck 20 while the first receiving mechanism 13 moves to the receiving position ②, and the semiconductor wafer W is positioned on the sub chuck 20. . In this state, the sub chuck 20 is lifted by the driving of the motor 20B and contacts the inner surface of the semiconductor wafer W supported by the arm 14, and also vacuum-absorbs the semiconductor wafer W. At this time, the vacuum suction state by the arm 14 is released. Subsequently, the sub chuck 20 is rotated in the θ direction by the driving of the motor 20A. The optical sensor 22 for prealignment detects the orientation flat part of the semiconductor wafer W while the sub chuck 20 rotates. The controller 60 controls the driving of the motor 20A, that is, the rotation of the sub chuck 20 based on the detection signal from the optical sensor 22 and prealigns the semiconductor wafer W to a predetermined direction. . As described above, this prealignment is performed while the first receiving mechanism 13 is moved to the receiving position ②.

반도체웨이퍼(W)의 프리얼라인먼트가 종료되고 제 1 수수기구(13)가 수수위치 ②에서 정지하면 제 2 수수기구(23)의 상측아암(24)은 Y방향구동기구(31)에 의하여 수수위치 ②까지 Y축방향으로 이동하고, 또는 이미 이 수수위치 ②의 근처에서 대기하고 있다. 상측아암(24)은 이 수수위치 ②에서 Y축방향으로 서브척(20)에 액세스하고, 그 내뻗음부(24A)(24A)에 의하여 반도체웨이퍼(W)를 받는다. 이 때 서브척(20)에 의한 진공흡착은 해제된다. 그 후 반도체웨이퍼(W)를 받은 상측아 암(24)은 검사실(2A)내의 수수위치 ④에서 대기하고 있는 메인척(3)상까지 Y축방향으로 이동되고(제 9 도 중의 ③의 상태) 수수위치 ④에서 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)상에 수수한다. 이 동작에 대해서는 전술했다.When the alignment of the semiconductor wafer W is completed and the first receiving mechanism 13 stops at the receiving position ②, the upper arm 24 of the second receiving mechanism 23 is held at the receiving position by the Y-direction driving mechanism 31. It moves in the Y-axis direction until ②, or is already waiting near this delivery position ②. The upper arm 24 accesses the sub chuck 20 in the Y-axis direction at this delivery position ②, and receives the semiconductor wafer W by the inner extension portions 24A and 24A. At this time, the vacuum suction by the sub chuck 20 is released. After that, the upper arm arm 24 receiving the semiconductor wafer W is moved in the Y-axis direction on the main chuck 3 waiting at the receiving position ④ in the examination room 2A (state of ③ in FIG. 9). At the receiving position ④, the semiconductor wafer W is received on the main chuck 3. This operation has been described above.

반도체웨이퍼(W)를 받은 메인척(3)은 구동기구(4)에 의하여 검사위치로 이동되고(제 9 도 중의 ⑤의 상태) 도시하지 않는 얼라인먼트기구의 작용을 받아서 X축, Y축 및 θ방향으로 이동되어 반도체웨이퍼(W)의 얼라인먼트를 실시한다. 반도체웨이퍼(W)의 얼라인먼트가 종료되면 메인척(3)이 상승되고 반도체웨이퍼(W)의 전극이 프로브바늘(5A)에 전기적으로 접촉된다. 이에 따라 반도체웨이퍼(W)의 전기적 특성이 검사된다.The main chuck 3 receiving the semiconductor wafer W is moved to the inspection position by the drive mechanism 4 (state ⑤ in FIG. 9) and is acted on by the alignment mechanism (not shown) in the X-axis, Y-axis, and θ. Is moved in the direction to align the semiconductor wafer (W). When the alignment of the semiconductor wafer W is completed, the main chuck 3 is raised and the electrodes of the semiconductor wafer W are electrically contacted with the probe needle 5A. Accordingly, the electrical characteristics of the semiconductor wafer W are inspected.

한편 제 2 수수기구(23)에 반도체웨이퍼(W)를 수수한 제 1 수수기구(13)는 그 후 좌측의 검사부(2)에서 반도체웨이퍼(W)의 전기적 특성이 검사되기까지의 사이, 다음에 검사해야 할 반도체웨이퍼(W)를 좌우 어느 쪽인가의 재치부(10A)(10A)상의 카세트(C)내로부터 상기한 바와 같이 반출하고, 이 미검사의 반도체웨이퍼(W)를 우측의 검사부(2)를 향하여 반송한다. 우측의 검사부(2)에서는 시간차를 갖고 좌측의 검사부(2)의 경우와 똑같이(우측의 검사부(2)에도 좌측의 검사부(2)와 똑같은 차례 번호 ②, ③ …이 붙어 있다) 반도체웨이퍼(W)가 제 1 수수기구(13)로부터 제 2 수수기구(2)를 통하여 메인척(3)으로 건네어져서 검사된다. 이러한 제 1 수수기구(13)의 일련의 움직임은 투명한 커버(38)를 통하여 감시 된다.On the other hand, the first receiving device 13 which receives the semiconductor wafer W on the second receiving device 23 is thereafter, until the electrical characteristics of the semiconductor wafer W are inspected by the inspection unit 2 on the left side. The semiconductor wafer W to be inspected is taken out from the cassette C on the mounting portions 10A and 10A on either side as described above, and the semiconductor wafer W of the inspection is already inspected ( Return towards 2). In the inspection part 2 on the right side, there is a time difference, and the same as in the case of the inspection part 2 on the left side (the right inspection part 2 also has the same sequence numbers ②, ③, etc. as the inspection part 2 on the left side). ) Is passed from the first receiving mechanism 13 to the main chuck 3 via the second receiving mechanism 2 to be inspected. This series of movements of the first receiver 13 is monitored through the transparent cover 38.

각 검사부(2)(2)에서의 검사시간은 반도체웨이퍼(W)가 수수되는 시간과 비교하면 훨씬 길다. 그 때문에 제 1 수수기구(13) 및 제 2수수기구(23)는 다음의 검사에 구비한 이하와 같은 동작을 실시한다. 즉 제 1 수수기구(13)는 상기한 바와 같이 우측의 검사부(2)에서 제 2 수수기구(23)의 상측아암(24)에 반도체웨이퍼(W)를 수수한 후 다시 좌우 어느쪽인가의 재치부(10A)(10A)상의 카세트(C)내로부터 미검사의 반도체웨이퍼(W)를 꺼내고, 이 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)에 대한 웨이퍼건넴 동작이 이미 종료된 좌측의 검사부(2)의 제 2 수수기구(23)의 상측아암(24)에 건넨다. 이 경우 상측아암(24)은 Y방향 구동기구(31)에 의하여 수수위치 ②까지 Y축방향으로 이동하여 제 1수수기구(13)로부터 웨이퍼(W)를 받는다. 그 후 제 1 수수기구(13)는 계속해서 좌우 어느쪽인가의 재치부(10A)(10A)상의 카세트(C)내로부터 미검사의 반도체웨이퍼(W)를 꺼내고, 이 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)에 대한 웨이퍼건넴 동작이 이미 종료된 우측의 검사부(2)의 제 2 수수기구(23)의 상측아 암(24)에 건넨다. 이 경우도 상측아암(24)은 Y방향구동기구(31)에 의하여 수수위치 ②까지 Y축방향으로 이동하여 제 1수수기구(13)로부터 웨이퍼(W)를 받는다. 이와 같이 하여 제 1 수수기구(13)로부터 반도체웨이퍼(W)를 받은 각 검사부(2)(2)의 각각의 상측아암(24)(24)은 다시 Y축방향으로 이동하여 앞서 메인척(3)에 건넨 반도체웨이퍼(W)의 검사가 종료되기까지의 사이 수수위치 ④에서 대기한다.The inspection time in each inspection section 2, 2 is much longer than the time that the semiconductor wafer W is received. Therefore, the 1st water receiving mechanism 13 and the 2nd water receiving mechanism 23 perform the following operations provided in the next inspection. In other words, the first receiving device 13 receives the semiconductor wafer W from the upper inspection part 2 of the second receiving device 23 by the inspection part 2 on the right side, and then, on either side of the mounting part, (10A) The inspection part 2 on the left in which the unexamined semiconductor wafer W is taken out from the cassette C on the 10A, and the wafer handing operation of the semiconductor wafer W to the main chuck 3 has already been completed. ) Is passed to the upper arm 24 of the second receiver 23. In this case, the upper arm 24 is moved in the Y-axis direction by the Y-direction drive mechanism 31 to the receiving position ② and receives the wafer W from the first receiving mechanism 13. After that, the first receiving mechanism 13 continuously removes the untested semiconductor wafer W from the cassette C on either of the left and right mounting portions 10A and 10A, and removes the semiconductor wafer W. The wafer handing operation to the main chuck 3 is passed to the upper arm arm 24 of the second receiving mechanism 23 of the inspection unit 2 on the right side that has already been completed. Also in this case, the upper arm 24 is moved in the Y-axis direction by the Y-direction drive mechanism 31 to the receiving position ②, and receives the wafer W from the first receiving mechanism 13. In this way, each of the upper arms 24 and 24 of each of the inspection units 2 and 2 that receives the semiconductor wafer W from the first receiving device 13 again moves in the Y-axis direction and moves forward to the main chuck 3. Wait at the receiving position ④ until the inspection of the semiconductor wafer W passed to

좌측의 검사부(2)에 있어서 반도체웨이퍼(W)의 검사가 종료되면 메인척(3)은 수수위치 ④까지 이동하고, 또한 그 진공흡착상태를 해제하며 승강핀(3A)에 의하여 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 들어올린다. 그 직후 제 2 수수기구(23)의 하측아 암(25)이 수수위치 ④까지 이동되고 반도체웨이퍼(W)가 메인척(3)으로부터 하측아암(25)으로 인도된다(이 동작에 대해서는 전술했다). 계속해서 하측아암(25)은 수수위치 ②를 향하여 Y축방향으로 이동되고(제 9 도 중의 ⑥의 상태) 수수위치 ②에서 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 제 1 수수기구(13)의 서브척(20)상에 건넨다(제 9 도 중의 ⑦의 상태). 이와 병행하여 수수위치 ④에서 대기하고 있던 제 2 수수기구(23)의 상측아암(24)은 이미 대기하고 있던 미검사의 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)에 건넨다. 그 후 메인척(3)은 그 미검사의 반도체웨이퍼(W)의 검사를 실시하기 위해 검사위치로 이동한다.When the inspection of the semiconductor wafer W is completed in the inspection unit 2 on the left side, the main chuck 3 moves to the water feeding position ④, releases the vacuum suction state, and lifts the semiconductor wafer after the inspection by the lifting pin 3A. Lift up (W). Immediately thereafter, the lower arm 25 of the second receiving mechanism 23 is moved to the receiving position ④, and the semiconductor wafer W is led from the main chuck 3 to the lower arm 25 (this operation has been described above). ). Subsequently, the lower arm 25 is moved in the Y-axis direction toward the receiving position ② (state of ⑥ in FIG. 9) and the sub-chuck of the first receiving mechanism 13 moves the semiconductor wafer W after the inspection at the receiving position ②. Passed on (20) (state of ⑦ in FIG. 9). In parallel with this, the upper arm 24 of the second delivery mechanism 23 waiting at the delivery position ④ passes the untested semiconductor wafer W, which has already been waiting, to the main chuck 3. Thereafter, the main chuck 3 moves to the inspection position to inspect the uninspected semiconductor wafer W.

제 1 수수기구(13)는 서브척(20)에 의해 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 받은 후 아암(14)을 서브척(20)상의 반도체웨이퍼(W)의 아래쪽까지 이동시킨다. 이 상태에서 서브척(20)이 하강되고, 또한 그 진공흡착상태가 해제되어 반도체웨이퍼(W)가 진공흡착에 의하여 아암(14)에 건네어진다. 그 후 제 1 수수기구(13)는 X축방향으로 이동하고 아암(14)에 의하여 반도체웨이퍼(W)를 카세트(C)내의 원래의 위치로 되돌린다.(제 9 도 중의 ⑧의 상태). 그 후 제 1 수수기구(13)는 우측의 검사부(2)로 이동하고 좌측의 검사부(2)와 똑같이하여 우측의 검사부(2)로부터 검사 후의 반도체웨이퍼(W)를 받고, 그 반도체웨이퍼(W)를 카세트(C)내의 원래의 위치로 되돌린다. 이 사이 우측의 검사부(2)에서는 수수위치 ④에서 대기하고 있던 제 2 수수기구(23)의 상측아암(24)이 이미 대기하고 있던 미검사의 반도체웨이퍼(W)를 메인척(3)으로 건넨다. 그 후 메인척(3)은 그 미검사의 반도체웨이퍼(W)의 검사를 실시하기 위해 검사위치로 이동한다. 이와 같은 일련의 동작은 모든 반도체웨이퍼 (W)의 검사가 종료되기까지 계속된다.The first receiving mechanism 13 receives the semiconductor wafer W after the inspection by the sub chuck 20 and then moves the arm 14 to the lower side of the semiconductor wafer W on the sub chuck 20. In this state, the sub chuck 20 is lowered, the vacuum suction state is released, and the semiconductor wafer W is passed to the arm 14 by vacuum suction. Thereafter, the first receiving mechanism 13 moves in the X-axis direction and returns the semiconductor wafer W to the original position in the cassette C by the arm 14 (state of ⑧ in FIG. 9). After that, the first receiving device 13 moves to the inspection unit 2 on the right side, and receives the semiconductor wafer W after inspection from the inspection unit 2 on the right side in the same manner as the inspection unit 2 on the left side, and the semiconductor wafer W ) Is returned to the original position in the cassette (C). In the meantime, in the inspection unit 2 on the right side, the upper arm 24 of the second receiver 23 waiting at the receiver position ④ passes the uninspected semiconductor wafer W, which is already waiting, to the main chuck 3. . Thereafter, the main chuck 3 moves to the inspection position to inspect the uninspected semiconductor wafer W. This series of operations continues until the inspection of all semiconductor wafers W is completed.

또한 이상 설명한 일련의 움직임 중 기본이 되는 움직임 ①~⑧의 흐름도가 제 10 도에 나타내어져 있다. 또한 제 10 도 중 "TA"는 제 2 반송기구(23)를, "MC"는 메인척(3)을, "SC"는 서브척(20)을 각각 의미하고 있다.Moreover, the flowchart of the movements (1)-(8) which are the basics of the series of movements demonstrated above is shown in FIG. In addition, in FIG. 10, "TA" means the second conveyance mechanism 23, "MC" means the main chuck 3, and "SC" means the sub chuck 20, respectively.

상기 구성의 프로브시스템(1)에 따르면 2대의 검사부(2)(2)에서 로트가 다른 2종류의 반도체웨이퍼(W)의 검사를 실시하는 경우 각 검사부(2)(2)에 각각의 로트에 맞는 프로브카드(5)를 장착하고, 각 검사부(2)(2)에 다른 반도체웨이퍼(W)를 배분하여 로트가 다른 반도체웨이퍼(W)를 병행하여 검사할 수도 있다. 이 경우 로트가 다른 반도체웨이퍼(W)가 동일한 카세트(C)내에 수납되어 있는 경우에도 또는 다른 카세트(C)내에 수납되어 있는 경우에도 제 1 수수기구(13)는 제어부(60)의 제어하에서 카세트(C)내의 반도체웨이퍼(W)를 그 로트에 입각하여 각 검사부(2)(2)에 자동적으로 배분한다. 이와 같은 검사형태에 있어서의 동작의 한 예가 제 11 도의 흐름도에 나타내어져 있다. 기본적인 흐름은 제 10 도에서 나타낸 흐름과 같다. 또한 제 11 도 중 "STG1"은 좌측의 검사부(2)를, "STG2"는 우측의 검사부(2)를 각각의미하고 있다.According to the probe system 1 of the above-described configuration, when two types of semiconductor wafers W having different lots are inspected by two inspection units 2 and 2, each inspection unit 2 and 2 is provided to each lot. A matching probe card 5 may be mounted, and different semiconductor wafers W may be allocated to each of the inspection units 2 and 2 so that the semiconductor wafers W having different lots may be inspected in parallel. In this case, even when the semiconductor wafers W having different lots are stored in the same cassette C or in another cassette C, the first delivery mechanism 13 can draw the cassette under the control of the controller 60. The semiconductor wafer W in (C) is automatically distributed to each inspection unit 2 and 2 based on the lot. An example of the operation in such an inspection form is shown in the flowchart of FIG. The basic flow is the same as the flow shown in FIG. In addition, in FIG. 11, "STG1" means the inspection part 2 of the left side, and "STG2" means the inspection part 2 of the right side.

또 상기 구성의 프로브시스템(1)에 따르면 검사부(2)에 의하여 검사된 전기적 특성이 규정한 특성을 클리어 하고 있지 않은 경우 그 불량의 반도체웨이퍼(W)를 제 1 반송기구(13)에 의하여 별개로 준비된 리젝트캐리어에 수납할 수도 있다. 이와 같은 검사형태에 있어서의 동작의 한 예가 제 12 도의 흐름도에 나타내어져 있다. 기본적인 흐름은 제 10 도에서 나타낸 흐름과 같다.According to the probe system 1 of the above configuration, when the electrical characteristics inspected by the inspection unit 2 do not clear the specified characteristics, the defective semiconductor wafer W is separated by the first conveyance mechanism 13. It can also be stored in a reject carrier prepared with. An example of the operation in such an inspection form is shown in the flowchart of FIG. The basic flow is the same as the flow shown in FIG.

또한 상기 구성의 프로브시스템(1)에 따르면 반도체웨이퍼(W)의 소정의 전기특성검사를 좌측의 검사부(2)에서 실시한 후에 다른 전기특성검사를 우측의 검사부(2)에서 실시할 수도 있다. 즉 반도체웨이퍼(W)의 2종류의 전기특성 검사를좌우의 검사부(2)(2)의 각각에서 따로 따로 실시할 수 있다. 이와 같은 검사형태에 있어서의 동작의 한 예가 제 13 도의 흐름도에 나타내어져 있다. 기본적인 흐름은 제 10 도에서 나타낸 흐름과 같다. 또한 제 13 도 중 "TA1"은 좌측의 검사부(2)측의 제 2 반송기구(23)를, "TA2"는 우측의 검사부(2)측의 제 2 반송기구(23)를, "C1"은 좌측의 카세트를, "C2"는 우측의 카세트를 각각 의미하고 있다.Further, according to the probe system 1 of the above configuration, the predetermined electrical characteristic inspection of the semiconductor wafer W may be performed by the inspection unit 2 on the left side, and then other electrical characteristics inspection may be performed by the inspection unit 2 on the right side. That is, two types of electrical characteristic inspections of the semiconductor wafer W can be performed separately in each of the inspection units 2 and 2 on the left and right sides. An example of the operation in such an inspection form is shown in the flowchart of FIG. The basic flow is the same as the flow shown in FIG. In addition, in FIG. 13, "TA1" shows the 2nd conveyance mechanism 23 of the inspection part 2 side on the left side, "TA2" shows the 2nd conveyance mechanism 23 of the inspection part 2 side of the right side, and "C1". Means a cassette on the left and "C2" means a cassette on the right.

이상 설명한 바와 같이 본 실시예의 프로브시스템(1)은 카세트(C)가 재치되는 2대의 재치 기구(10)(10)가 승강 가능하게 설치되고 2대의 검사부(2)(2)의 앞면을 따라서 연장되는 반송레일(11)이 재치기구(10)(10)의 아래쪽에 설치되고, 또한 각 재치기구(10)(10)와 각 검사부(2)(2)의 사이에서 반도체웨이퍼를 수수하는 제 1 수수기구(13)가 반송레일(13)에 이동 가능하게 설치되어 있다. 즉 2대의 검사부(2) (2)는 반송레일(11)과 제 1 수수기구(13)를 공유하고 재치기구(10)가 반송레일(11)과 대향하며, 또한 반송레일(11)의 윗쪽에서 반송레일(11)에 대하여 수직으로 승강하게 되어 있다. 따라서 크린룸내에 있어서의 프로브시스템(1)의 설치스페이스가 삭감되고 스페이스절약화를 촉진시키며, 또한 저비용화를 달성할 수 있다.As described above, the probe system 1 of the present embodiment is provided with two mounting mechanisms 10 and 10 on which the cassette C is mounted so as to be lifted and extended along the front surfaces of the two inspection units 2 and 2. The first conveyance rail 11 is provided below the mounting mechanisms 10 and 10, and receives the semiconductor wafer between the mounting mechanisms 10 and 10 and the inspection portions 2 and 2, respectively. The delivery mechanism 13 is provided in the conveyance rail 13 so that a movement is possible. That is, the two inspection units 2 and 2 share the conveying rail 11 and the first receiving mechanism 13, and the placing mechanism 10 faces the conveying rail 11, and the upper side of the conveying rail 11. Is raised and lowered vertically with respect to the conveyance rail 11 in FIG. Therefore, the installation space of the probe system 1 in a clean room can be reduced, space saving can be promoted, and cost reduction can be achieved.

또 본 실시예의 프로브시스템(1)에서는 제 1 수수기구(13)가 반송레일(11)을 통하여 2대의 재치기구(10)(10)와 2대의 검사부(2)(2)의 사이를 이동 가능하기 때문에 로트가 다른 반도체웨이퍼(W), 즉 검사종류가 다른 반도체웨이퍼(W)를 동시 에 검사하는 경우(좌측의 카세트(C)내의 반도체웨이퍼(W)와 우측의 카세트(C)내의 반도체웨이퍼(W)가 그 검사종류를 달리 하는 경우)에도 2대의 검사부(2)(2)를 놀리는 일 없이 효율 있게 이용하여 반도체웨이퍼(W)의 검사효율을 향상시킬 수 있다.물론 2종류의 로트의 반도체웨이퍼(W)가 동일한 카세트(C)내에 수납되어 있던 경우에도 제 1 수수기구(13)에 의해 다른 로트의 반도체웨이퍼(W)를 2대의 검사부(2) (2)에 배분하여 검사를 실시 할 수 있기 때문에 장치의 융통성이 우수하고, 또한 효율 있게 검사를 실시할 수 있다.In addition, in the probe system 1 of the present embodiment, the first receiving device 13 can move between the two placing mechanisms 10 and 10 and the two inspection units 2 and 2 via the conveying rail 11. Therefore, when simultaneously inspecting semiconductor wafers W having different lots, that is, semiconductor wafers W having different inspection types at the same time (semiconductor wafer W in the cassette C on the left side and semiconductor wafers in the cassette C on the right side) Even when (W) has different inspection types, the inspection efficiency of the semiconductor wafer W can be improved by utilizing the two inspection units 2 and 2 without making fun of them. Even when the semiconductor wafer W is housed in the same cassette C, the first handing mechanism 13 distributes the semiconductor wafers W of different lots to two inspection units 2 and 2 for inspection. Because of this, the device can be inspected efficiently and efficiently.

또 본 실시예의 프로브시스템(1)에서는 제 1 수수기구(13)가 재치기구(10) (10)로부터 각 검사부(2)(2)의 제 2 수수기구(23)까지 이동하는 사이에 서브척(20)에 의해 반도체웨이퍼(W)가 프리얼라인먼트된다. 따라서 검사효율이 훨씬 향상된다.In the probe system 1 of the present embodiment, the first chuck mechanism 13 is moved between the mounting mechanisms 10 and 10 to move to the second receiver mechanism 23 of each of the inspection units 2 and 2. The semiconductor wafer W is prealigned by the reference numeral 20. Therefore, the inspection efficiency is much improved.

또 본 실시예의 프로브시스템(1)에서는 2대의 테스트헤드(6)(6)를 선회시키는 선회구동기구(9)가 서로 이웃하는 검사부(2)(2) 사이의 공간내에 설치되어 있다. 즉 검사부(2)(2)는 선회구동기구(9)를 공유하고 있다. 따라서 프로브시스템(1)이 콤팩트화되고 물론 스페이스절약화를 피할 수 있다.Moreover, in the probe system 1 of this embodiment, the turning drive mechanism 9 which turns two test heads 6 and 6 is provided in the space between the inspection parts 2 and 2 which adjoin each other. That is, the inspection part 2 and 2 share the turning drive mechanism 9. Therefore, the probe system 1 can be compact and, of course, space saving can be avoided.

또 본 실시예의 프로브시스템(1)에서는 반도체웨이퍼(W)를 일정한 향함에 위치맞춤하는 서브척(20)이 제 1 수수기구(13)에 설치되어 있기 때문에 서브척(20)을 종래보다도 1대분 삭감할 수 있어서 스페이스절약화를 꾀할 수 있다.In the probe system 1 according to the present embodiment, since the sub chuck 20 for positioning the semiconductor wafer W at a constant facing direction is provided in the first receiving mechanism 13, the sub chuck 20 is used for one unit more conventionally. It can cut down and save space.

또 본 실시예의 프로브시스템(1)에서는 반송용레일(11)과 제 1 수수기구(13)가 투명커버(38)에 의하여 덮여져 있기 때문에 제 1 수수기구(13)를 외부로부터 감시할 수 있다.In the probe system 1 of the present embodiment, since the conveying rail 11 and the first receiving mechanism 13 are covered by the transparent cover 38, the first receiving mechanism 13 can be monitored from the outside. .

그런데 상기 구성의 프로브시스템(1)을 증설하는 경우에는 제 1 도에도 나타내는 바와 같이 복수의 프로브시스템(1…)을 서로 이웃하게 하여 배치하고 서로 이웃하는 프로브시스템(1)(1)끼리의 반송레일(11)(11)을 중계반송레일(11A)을 통하여 서로 접속함으로써 양 프로브시스템(1)(1)의 반송레일(11)을 일체화할 수 있고, 이에 따라서 제 1 수수기구(13)를 양 프로브시스템(1)(1)에서 공유할 수 있다. 제 1 수수기구(13)를 양 프로브시스템(1)(1)에서 공유한 응용예가 제 2 실시예로서 제 14 도~제 17 도에 나타내어져 있다.By the way, when the probe system 1 of the said structure is extended, as shown in FIG. 1, the some probe system 1 ... is arrange | positioned adjacent to each other, and conveyance of adjacent probe systems 1 and 1 comrades with each other is carried out. By connecting the rails 11 and 11 to each other via the relay conveying rails 11A, the conveying rails 11 of both the probe systems 1 and 1 can be integrated, and accordingly, the first receiving device 13 can be Both probe systems (1) (1) can share. An application example in which the first receiving device 13 is shared by both probe systems 1 and 1 is shown in FIGS. 14 to 17 as a second embodiment.

이 제 2 실시예의 프로브시스템에서는 제 14 도 및 제 15 도에 나타내는 바와 같이 복수의 검사부(P(P1, P2…Pn))가 X축방향으로 연장되는 후술하는 테스트헤드지지기구(107)의 이동로(171)를 따라서 일렬로 서로 소정의 간격을 두고 설치되어 있다. 이들 프로브장치(P)의 정면측(제 14 도에서는 안측, 제 15 도에서는 하측)에는 프로브장치(P)의 나열을 따라서 레일로 이루어지는 반송로(121)가 설치되어 있다. 반송로(121)에는 제 1 웨이퍼 반송기구(102)가 이동 가능하게 부착되어 있다. 웨이퍼반송기구(102)는 반송로(121)의 안내에 의하여 이동되고, 또한 θ방향 (Z축 주위)에 회전 가능한 반송부(122)와, 이 반송부(122)에 진퇴 자유롭게 설치된 아암(123)을 구비하고 있다.In the probe system of this second embodiment, as shown in FIGS. 14 and 15, the movement of the test head support mechanism 107, which will be described later, in which a plurality of inspection portions P (P1, P2, ... Pn) extend in the X-axis direction. Along the furnace 171, they are provided in a line at predetermined intervals from each other. On the front side (the inner side in FIG. 14, the lower side in FIG. 15) of these probe apparatuses P, the conveyance path 121 which consists of rails is provided along the arrangement of the probe apparatus P. As shown in FIG. The 1st wafer conveyance mechanism 102 is attached to the conveyance path 121 so that a movement is possible. The wafer conveyance mechanism 102 is moved by the guide of the conveyance path 121 and is rotatable in the θ direction (around the Z axis), and an arm 123 provided freely in the conveyance portion 122. ).

프로브장치(P)의 나열의 일단측에는 웨이퍼(W)의 수수부인 로더/언로더부 (130)가 설치되어 있다. 이 로더/언로더부(130)에는 복수의 웨이퍼카세트(C)(도면에서는 편의상 웨이퍼카세트(C)를 4개 로 하고 있다)를 Y축방향으로 일렬로 배열하여 재치하기 위한 카세트스테이지(131)가 설치되어 있다. 카세트스테이지(131)과 대향하도록 프로브장치(P)측에는 예를 들면 레일로 이루어지는 반송로(141)가 Y축방향으로 연장되어 있다. 반송로(141)에는 제 2 웨이퍼 반송기구(104)가 이동 가능하게 부착되어 있다. 이 웨이퍼반송기구(104)는 반송로(141)의 안내에 의하여 이동되고, 또한 Z축방향 및 θ 방향으로 이동 가능한 반송부(142)와, 이 반송부(142)에 진퇴 자유롭게 설치된 아암(143)을 구비하고 있다.On one side of the array of probe devices P, a loader / unloader 130, which is a receiving part of the wafer W, is provided. The loader / unloader section 130 includes a cassette stage 131 for arranging and placing a plurality of wafer cassettes C (four wafer cassettes C in the drawing for convenience) in the Y-axis direction. Is installed. On the side of the probe device P, a conveyance path 141 made of, for example, a rail extends in the Y-axis direction so as to face the cassette stage 131. The 2nd wafer conveyance mechanism 104 is attached to the conveyance path 141 so that a movement is possible. This wafer conveyance mechanism 104 is moved by guide of the conveyance path 141, and the conveyance part 142 which is movable in a Z-axis direction and (theta) direction, and the arm 143 provided in this conveyance part 142 freely advancing | removing. ).

반송로(141)의 일단부측에는 웨이퍼(W)의 오리엔테이션플랫부의 향함을 맞추기 위한 프리얼라인먼트스테이지(132)가 설치되어 있다. 반송로(121)와 반송로(14 1)의 사이에는 제 1 및 제 2 반송기구(102)(104)의 사이에서 웨이퍼(W)의 수수를 실시하기 위한 중간수수스테이지(133)가 설치되어 있다.On one end side of the conveying path 141, a prealignment stage 132 for aligning the orientation flat portion of the wafer W is provided. An intermediate transfer stage 133 is provided between the transfer path 121 and the transfer path 1141 for transferring the wafer W between the first and second transfer mechanisms 102 and 104. have.

프로브장치(P(P1~Pn))는 제 16 도 및 제 17 도에 나타내는 바와 같이 정면측에 웨이퍼의 반송구(151)가 형성된 광주리체(152)와, 이 광주리체(152)내에 설치 된 프로브카드(153)와, 이 프로브카드(153)의 아래쪽측 영역에서 X축, Y축, Z축, θ방향으로 이동 자유로운 웨이퍼재치대(154)와, 광주리체(152)의 상면측에서 가이드(160)에 의해 위치결정된 상태로 재치된 테스트헤드(106)를 구비하고 있다. 프로브카드(153)는 그 하면측에 프로브, 예를 들면 프로브바늘(155)을 구비하고 있으며 인서트링(156)을 통하여 광주리체(152)에 부착되어 있다.As shown in FIGS. 16 and 17, the probe devices P (P1 to Pn) are provided with a photoreceptor 152 in which a conveyance port 151 of a wafer is formed on the front side, and provided in the photoreceptor 152. FIG. The probe card 153, the wafer mounting table 154 freely movable in the X-axis, Y-axis, Z-axis, and θ directions in the lower region of the probe card 153, and guided from the upper surface side of the photoreceptor 152. And a test head 106 placed in a position positioned by 160. The probe card 153 is provided with a probe, for example, a probe needle 155, on its lower surface side and attached to the photoreceptor 152 via an insert ring 156.

테스트헤드(106)는 그 하면측에 퍼포먼스보드(161)를 구비하고 있다. 퍼포먼스보드(161)의 복수의 전극은 콘택트링(162)의 핀(163)을 통하여 프로브카드(153)의 복수의 전극에 각각 전기적으로 접속되어 있다. 또한 콘택트링(162)의 핀(163)은 스프링에 의해 항상 돌출방향으로 힘이 가해져 있다. 테스트헤드(106)의 측면에는 후술하는 테스트헤드지지기구(107)의 아암(172)(173)과 걸어맞추는 오목부(164)가 형성되어 있다. 프로브장치(P(P1~Pn))의 각 테스트헤드(106)는 예를 들면 그 1대로 복수의 테스트헤드(106)와 데이터의 수수를 실시할 수 있는 도시하지 않는 테스터에 접촉되어 있다.The test head 106 includes a performance board 161 on the lower surface side thereof. The plurality of electrodes of the performance board 161 are electrically connected to the plurality of electrodes of the probe card 153 through pins 163 of the contact ring 162, respectively. In addition, the pin 163 of the contact ring 162 is always exerted a force in the protruding direction by the spring. On the side of the test head 106 is formed a recess 164 that engages with the arms 172 and 173 of the test head support mechanism 107 described later. Each test head 106 of the probe devices P (P1 to Pn) is in contact with a plurality of test heads 106 and a tester (not shown) capable of passing data to each other.

제 14 도 및 제 15 도에 나타내는 바와 같이 프로브장치(P)의 배면측에는 예를 들면 레일로 이루어지는 이동로(171)가 X축방향으로 연장되어 있다. 이동로 (171)에는 이동로(17)를 따라서 이동하는 테스트헤드지지기구(107)가 부착되어 있다. 제 16 도에 나타내는 바와 같이 테스트헤드지지기구(107)는 테스트헤드(106)의 양측면을 지지하기 위한 한쌍의 아암(172)(173)을 구비하고 있다. 이들 아암(172) (173)은 그 양단부에 서로 역방향으로 나사가 잘린 나사부를 갖고, 또한 모터(M1)에 의하여 회전구동되는 볼나사(174)에 나사식으로 맞추어져 있다. 따라서 아암(17 2)(173)은 볼나사(174)의 회전에 의하여 가이드(174a)에 가이드되면서 서로의 이간거리를 변화시킬 수 있다. 아암(172)(173)의 내면에는 테스트헤드(106)의 측면에 설치된 오목부(164)와 걸어 맞추는 돌기부가 형성되어 있다. 오목부(164)와 돌기부(175)의 걸어맞춤에 의해 테스트헤드(106)를 지지하는 아암(172)(173)의 지지상태가 강고해진다. 아암(172)(173)의 외측에는 볼나사(174) 및 가이드(174a)를 지지하고, 또한 모터(M2)에 의하여 Y축방향과 평행한 수평축(176)의 주위에서 회동 가능한 지지틀(177)이 설치되어 있다.As shown in FIG. 14 and FIG. 15, the movement path 171 which consists of a rail, for example is extended in the X-axis direction at the back side of probe device P. As shown to FIG. A test head support mechanism 107 moving along the moving path 17 is attached to the moving path 171. As shown in FIG. 16, the test head support mechanism 107 is provided with a pair of arm 172 (173) for supporting the both sides of the test head 106. As shown in FIG. These arms 172 and 173 have threaded portions that are screwed in opposite ends at opposite ends thereof and are screwed to a ball screw 174 which is rotationally driven by the motor M1. Accordingly, the arms 1722 and 173 may be guided to the guide 174a by the rotation of the ball screw 174 to change the separation distance from each other. The inner surface of the arms 172 and 173 is provided with a projection that engages with the recess 164 provided on the side of the test head 106. The engagement of the recesses 164 and the projections 175 strengthens the support state of the arms 172 and 173 supporting the test head 106. The support frame 177 which supports the ball screw 174 and the guide 174a on the outer side of the arm 172, 173, and is rotatable around the horizontal axis 176 parallel to the Y-axis direction by the motor M2. ) Is installed.

모터(M2)는 Z축방향으로 연장되는 볼나사(181)의 회전에 의하여 가이드(182)에 가이드되면서 승강하는 승강체(183)에 부착되어 있다. 볼나사(181)는 가이드레일(171)에 가이드되어 이동하는 이동기체(184)에 지지되어 있다. 또한 볼나사(181) 및 이동기체(184)의 구동부(도시하지 않음)와 모터(M1)(M2)의 구동은 제 15 도에나타내는 바와 같이 예를 들면 조작패널(180a)로부터의 조작신호를 기초로 하여 제어부(180)에 의하여 제어된다.The motor M2 is attached to the elevating body 183 which is elevated while being guided to the guide 182 by the rotation of the ball screw 181 extending in the Z-axis direction. The ball screw 181 is supported by the moving gas 184 which is guided by the guide rail 171 and moves. In addition, the driving of the ball screw 181 and the driving unit (not shown) of the mobile body 184 and the motors M1 and M2, for example, as shown in FIG. 15, for example, control signals from the operation panel 180a. It is controlled by the controller 180 on the basis.

이동기체(184)를 각 프로브장치(P)와 대향하는 위치에 정지시키기 위해 예를 들면 프로브장치(P)측에, 그 프로브장치(P)에 할당된 위치에 발광부를 부착하는 한편 테스트헤드지지기구(107)측에 각 프로브장치(P)의 발광부의 빛을 수광할 수 있도록 전체 발광부에 대응하는 수광부를 부착한다. 이 구성에 있어서, 제어부(180)는 수광부 중의 어느쪽의 수광부가 수광하고 있는 가를 검출하고 이동기체(184)가 어떤 프로브장치(P)에 대향하고 있는가를 판단하고 목적으로 하는 프로브장치(P)에 이동기체(184)를 대향시켜서 정지시키도록 제어한다. 또 제어부(180)는 제 1 및 제 2 웨이퍼 반송기구(102)(104)의 동작을 예를 들면 소정의 프로그램을 기초로 하여 제어한다.In order to stop the moving body 184 at a position opposite to each probe device P, for example, the light emitting part is attached to the probe device P side at a position assigned to the probe device P, while supporting the test head. The light receiving portion corresponding to the entire light emitting portion is attached to the side of the mechanism 107 so as to receive the light of the light emitting portion of each probe device P. In this configuration, the control unit 180 detects which of the light receiving units is receiving the light, determines which probe device P the mobile gas 184 is facing, and makes a target probe device P. The moving body 184 is controlled to face each other and to be stopped. In addition, the controller 180 controls the operations of the first and second wafer transfer mechanisms 102 and 104 based on, for example, a predetermined program.

다음으로 상기 구성의 프로브시스템의 동작에 대하여 설명한다. 우선 제 2 웨이퍼 반송기구(104)에 의하여 로더부(130)의 카세트스테이지(131)의 카세트(C)내 로부터 1장의 웨이퍼(W)가 꺼내어진다. 제 2 웨이퍼 반송기구(104)는 이 웨이퍼(W)를 프리얼라인먼트스테이지(132)에 반송하여 웨이퍼(W)의 오리엔테이션플랫부의 향함을 맞춘다. 그 후 제 2 웨이퍼 반송기구(104)는 프리얼라인먼트된 웨이퍼(W)를 중계스테이지(133)에 수수한다. 다음으로 제 1 웨이퍼반송기구(102)가 중계스테이지(133)상의 웨이퍼를 받는다. 그 후 웨이퍼(W)는 제 1 웨이퍼 반송구(102)에 의하여 프로브장치(P)(예를 들면 P3)의 앞까지 이동되고 프로브장치(P3)의 웨이퍼반출입구(151)를 통하여 광주리체(152)내의 웨이퍼재치대(154)에 수수된다. 이 수수동작은 제 1 웨이퍼반송기구(102)의 아암(123)에 의하여 실시된다.Next, the operation of the probe system having the above configuration will be described. First, one wafer W is taken out from the cassette C of the cassette stage 131 of the loader section 130 by the second wafer transfer mechanism 104. The second wafer transfer mechanism 104 conveys the wafer W to the prealignment stage 132 so as to align the orientation flat portion of the wafer W. As shown in FIG. Thereafter, the second wafer transfer mechanism 104 receives the prealigned wafer W to the relay stage 133. Next, the first wafer transport mechanism 102 receives the wafer on the relay stage 133. Thereafter, the wafer W is moved to the front of the probe apparatus P (for example, P3) by the first wafer transfer opening 102 and through the wafer transport opening 151 of the probe apparatus P3, It is received by the wafer placing table 154 in 152. This handover operation is performed by the arm 123 of the first wafer transfer mechanism 102.

웨이퍼반송기구(102)(104)와 각 스테이지(132)(133) 및 웨이퍼재치대(154)의 사이의 웨이퍼(W)의 수수는 예를 들면 스테이지(132)(133) 및 웨이퍼재치대(154)의 상면에 돌출 자유롭게 설치된 지지핀을 이용하여 실시된다.The transfer of the wafers W between the wafer transport mechanisms 102 and 104 and the respective stages 132 and 133 and the wafer placing table 154 is, for example, the stages 132 and 133 and the wafer placing table ( 154 is implemented using a support pin protruding freely on the upper surface.

계속해서 웨이퍼재치대(154)에 의하여 웨이퍼(W)와 프로브바늘(155)의 위치맞춤이 실시된 후 웨이퍼 재치대(154)가 상승되고 웨이퍼(W)상의 IC칩의 전극패드와 프로브바늘(155)이 전기적으로 접촉된다. 이 상태에서 프로브카드(153)을 통하여 테스트헤드(106)와 웨이퍼(W)상의 IC칩의 사이에서 신호의 수수가 실시되고 테스트헤드(106)에 접속된 도시하지 않는 테스터에 의하여 IC칩의 검사가 실시된다. 또한 웨이퍼재치대(154)를 이용한 웨이퍼(W)의 위치 맞춤은 예를 들면 웨이퍼(W)와 프로브바늘(155)을 접촉시켜서 그 바늘흔적을 도시하지 않는 현미경으로 관찰하고, 그 결과를 기초로 하여 웨이퍼재치대(154)의 X축, Y축, θ방향의 위치를 조정함으로써 실시된다.Subsequently, after the wafer W and the probe needle 155 are aligned by the wafer holder 154, the wafer holder 154 is lifted up, and the electrode pad and probe needle of the IC chip on the wafer W ( 155 is in electrical contact. In this state, the signal is received between the test head 106 and the IC chip on the wafer W through the probe card 153 and the IC chip is inspected by a tester (not shown) connected to the test head 106. Is carried out. In addition, the alignment of the wafer W using the wafer placing table 154 is, for example, in contact with the wafer W and the probe needle 155, and the needle trace is observed under a microscope (not shown) based on the results. This is performed by adjusting the positions of the X-axis, Y-axis, and θ directions of the wafer placing table 154.

웨이퍼재치대(154)가 스태핑 동작을 실시함으로써 상기한 바와 같이 웨이퍼 (W)상의 IC칩이 차례로 검사되고 모든 IC칩의 검사가 종료되면 웨이퍼(W)는 제 1 웨이퍼 반송기구(102)에 의하여 웨이퍼 재치대(154)로부터 꺼내어진다. 그 후 웨이퍼(W)는 상기 한 동작과 반대의 동작에 의해 중계스테이지(133) 및 제 2 웨이퍼반송기구(104)를 통하여 예를 들면 원래의 카세트(C)내로 되돌아가게 된다.When the wafer placing table 154 performs the stepping operation, the IC chips on the wafer W are sequentially inspected as described above, and when the inspection of all the IC chips is completed, the wafer W is moved by the first wafer transfer mechanism 102. It is taken out from the wafer mounting base 154. Thereafter, the wafer W is returned to, for example, the original cassette C through the relay stage 133 and the second wafer transport mechanism 104 by an operation opposite to the above operation.

프로브카드(153)의 것을 교환이나 퍼포먼스보드의 교환, 또는 테스트헤드 (106)의 관리를 실시하는 경우에는 예를 들면 조작패널(180a)에 의해 제어부(180)를 통하여 테스트헤드지지기구(107)를 가이드레일(171)을 따라서 이동시켜서 교환 또는 관리 대상이 되는 프로브장치(P)와 대향하는 위치에 정지시킨다. 이 때 테스트헤드지지기구(107)의 아암(172)(173)은 테스트헤드(106)의 바로 위에 수평상태로 위치한다. 이 상태에서 볼나사(181)를 회전시켜서 테스트헤드지지기구(107)의 아암(172)(173)을 하강시키고, 또한 모터(M1)를 구동시키고 아암(172)(173)에 의하여 테스트헤드(106)를 파지한다. 그 후 아암(172)(173)를 다시 상승시켜서 테스트헤드(106)를 Z축방향으로 이동시키고, 또한 예를 들면 테스트헤드지지기구(107)를 약간 X축방향으로 이동시킨 상태에서 모터(M2)의 구동에 의해 아암(172)(173)을 축(176) 주위에 회동시킨다. 이에 따라 테스트헤드(106)는 제 17 도에 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이 수직으로 기립한 상태가 된다. 이 상태에서 소정의 교환작업 또는 관리작업이 실시된다. 이 때 필요에 따라서 테스트헤드지지기구(107)는 테스트헤드(106)를 지지한 채 다른 장소에 X축방향으로 이동된다. 소정의 교환작업 또는 관리작업이 종료되면 테스트헤드지지기구(107)는 상기 한 동작과 반대의 동작에 의해 테스트헤드(106)를 원래의 프로브장치(P)의 본체상에 재치한다.When the replacement of the probe card 153, the replacement of the performance board, or the management of the test head 106 are performed, for example, the test head support mechanism 107 through the control unit 180 by the operation panel 180a. Is moved along the guide rail 171 to stop at a position opposite to the probe device P which is to be replaced or managed. At this time, the arms 172 and 173 of the test head support mechanism 107 are positioned horizontally just above the test head 106. In this state, by rotating the ball screw 181, the arms 172 and 173 of the test head support mechanism 107 are lowered, and the motor M1 is driven and the test heads are driven by the arms 172 and 173. Gripping 106). Thereafter, the arms 172 and 173 are raised again to move the test head 106 in the Z-axis direction, and for example, the motor M2 with the test head support mechanism 107 slightly moved in the X-axis direction. The arm 172 (173) is rotated around the shaft 176 by the driving of the. As a result, the test head 106 is in a vertically standing state as shown by a dashed-dotted line in FIG. In this state, a predetermined exchange operation or management operation is performed. At this time, the test head support mechanism 107 is moved in the X-axis direction to another place while supporting the test head 106 as needed. When the predetermined replacement work or management work is completed, the test head support mechanism 107 mounts the test head 106 on the main body of the original probe device P by the operation opposite to the above operation.

이상 설명한 바와 같이 본 실시예의 프로브시스템에서는 테스트헤드(106)가 프로브장치(P)에 재치되어 있는 것뿐이기 때문에 각 프로브장치(P)에 테스트헤드 (106)를 지지하는 기구, 예를 들면 힌지기구나 밸런서 등의 대규모의 기구를 설치하지 않고 완료된다. 따라서 프로브장치(P)의 소형화를 꾀할 수 있고, 또한 테스트헤드지지기구(107)를 복수대의 프로브장치(P)에 대하여 공통화할 수 있어서 스페이스절약화 및 저비용화를 꾀할 수 있다. 특히 프로브장치(P)의 대수가 많은 경우에그 효과는 크다.As described above, in the probe system of the present embodiment, since the test head 106 is only mounted on the probe device P, a mechanism for supporting the test head 106 to each probe device P, for example, a hinge, is provided. It is completed without installing a large-scale device such as a device or balancer. Therefore, the probe device P can be miniaturized, and the test head support mechanism 107 can be common to a plurality of probe devices P, so that space can be reduced and cost can be reduced. Especially when the number of probe apparatuses P is large, the effect is large.

또 본 실시예의 프로브시스템에서는 제어부위(180)로부터의 제어신호를 기초로하여 테스트헤드지지기구(107)를 이동로(171)를 따라서 이동시키고 소정의 위치에 정지시킨 후에 자동적으로 테스트헤드(106)를 프로브장치(P)로부터 이탈시키고 또는 장착하도록 하고 있기 때문에 작업자의 부담이 경감된다.In the probe system of the present embodiment, the test head support mechanism 107 is moved along the movement path 171 based on the control signal from the control unit 180, and the test head 106 is automatically stopped after stopping at a predetermined position. ) Is removed from or attached to the probe device P, thereby reducing the burden on the operator.

또한 본 실시예의 프로브시스템에 있어서의 변형예에서는 로더/언로더부 (130)로부터 카세트(C)마다 웨이퍼(W)를 프로브장치(P)의 앞까지 카세트반송기구에 의해 반송하고 프로브장치(P)측에 설치된 웨이퍼반송기구에 의하여 카세트(C)와 웨이퍼재치대의 사이에서 웨이퍼(W)의 수수가 실시된다. 또 다른 변형예에서는 테스트헤드지지기구(107)의 조작이 예를 들면 리모트콘트롤러에 의하여 실시된다. 이 경우 오퍼레이터는 테스트헤드지지기구(107)의 근처에서 그 동작의 상황을 감시하면서 테스트헤드지지기구(1O7)의 조작을 실시한다. 또한 다른 변형예에 있어서, 테스트헤드지지기구(107)는 무궤도의 자동반송기구로서 구성되고 제어부(180)로부터의 무선통신으로 자동제어된다.Moreover, in the modification of the probe system of this embodiment, the wafer W is conveyed from the loader / unloader section 130 to the cassette C from the loader / unloader unit 130 to the front of the probe apparatus P, and the probe apparatus P The wafer W is transferred between the cassette C and the wafer mounting table by the wafer transfer mechanism provided on the side. In another variant, the operation of the test head support mechanism 107 is performed by, for example, a remote controller. In this case, the operator operates the test head support mechanism 107 while monitoring the state of its operation in the vicinity of the test head support mechanism 107. Also in another variation, the test head support mechanism 107 is configured as a trolley-less automatic transport mechanism and is automatically controlled by wireless communication from the controller 180.

제 1 웨이퍼 반송기구(102)의 반송로(121)를 형성하는 레일과 테스트헤드지지기구(107)의 이동로(171)를 형성하는 레일은 긴 1개의 레일일 필요는 없고 프로브장치(P)단위로 증설할 수 있도록 짧은 레일을 준비하여 프로브장치(P)의 대수에 따라서 이 짧은 레일끼리를 접속하도록 하면 프로브장치(P)의 증설이 용이하게 된다. 제 1 웨이퍼 반송기구(102)를 복수 준비하고, 또한 반송로(121)속에 중계스테이지를 설치하며, 하나의 웨이퍼반송기구(102)와 다른 웨이퍼반송기구(102)의 사이에서 웨이퍼(W)의 수수를 실시하도록 해도 좋다. 이 경우 프로브장치(P)의 대수가 많은 경우에 웨이퍼(W)의 반송시간을 단축할 수 있다.The rail which forms the conveyance path 121 of the 1st wafer conveyance mechanism 102 and the rail which forms the movement path 171 of the test head support mechanism 107 does not need to be one long rail, but is probe device P If short rails are prepared to be added in units, and the short rails are connected to each other according to the number of probe devices P, the expansion of the probe device P becomes easy. A plurality of first wafer transfer mechanisms 102 are prepared, a relay stage is provided in the transfer path 121, and the wafer W is interposed between the one wafer transfer mechanism 102 and the other wafer transfer mechanism 102. You may make it carry out. In this case, when the number of probe apparatuses P is large, the conveyance time of the wafer W can be shortened.

또한 본 실시예에서는 일렬로 프로브장치(P)가 나열되어 있지만 이 나열의 열중에 리페어장치, 매킹장치, 목시검사장치 등을 편입할 수도 있다.In addition, although the probe apparatus P is listed in a line in this embodiment, a repair apparatus, a marking apparatus, a visual inspection apparatus, etc. can also be incorporated in the column of this arrangement.

제 18 도는 본 발명의 제 3 실시예를 나타내고 있다. 본 실시예의 프로브시스템에서는 제 1 실시예의 프로브시스템(1) 중 선회구동기구(9)를 제외하고 남은 구성시스템(1')이 복수 서로 이웃하게 하여 배치되고 서로 이웃하는 시스템 (1')(1')끼리의 반송레일(11)(11)이 중계반송레일(11A)을 통하여 서로 접속되어 있다. 도면에서는 중계반송레일(11A)에 의하여 접속된 복수의 반송레일(11…)이 1개의 반송레일(11)로서 나타내어져 있으며, 또 간단하기 때문에 재치기구(10) 등 몇 개인가의 기구가 생략되어 도시되어 있다. 물론 제 1 실시예와 똑같이 반송레일 (11)은 재치기구(10)의 아래쪽에 위치하고 있다.18 shows a third embodiment of the present invention. In the probe system of the present embodiment, a plurality of remaining system 1 'except for the turning drive mechanism 9 of the probe system 1 of the first embodiment are arranged so as to be adjacent to each other, and the system 1' (1) adjacent to each other. The conveyance rails 11 and 11 of () are mutually connected via 11 A of relay conveyance rails. In the drawing, a plurality of conveying rails 11... Connected by the relay conveying rails 11A are shown as one conveying rail 11, and because of their simplicity, some mechanisms such as the mounting mechanism 10 are omitted. Is shown. Of course, as in the first embodiment, the conveyance rail 11 is located below the mounting mechanism 10.

각 프로브시스템(1'…)은 반송레일(11)상을 이동 가능한 1개의 제 1 수수기구(13)를 공유하고 있다. 테스트헤드(6)는 제 2 실시예의 테스트헤드(106)와 똑같이 검사부(2)상에 단순히 재치되어 프로브카드(5)의 전극에 전기적으로 접속되어 있다. 반송레일(11)과 반대측인 프로브장치(P)의 배면측에는 예를 들면 레일로 이루어지는 이동로(171)가 X축방향으로 연장되어 있다. 이동로(171)에는 이동로(171)를 따라서 이동하는 제 2 실시예와 동일 구성의 테스트헤드지지기구(107)가 부착되 어 있다.Each probe system 1 '... shares one 1st receiver 13 which can move on the conveyance rail 11. As shown in FIG. The test head 6 is simply placed on the inspection unit 2 in the same manner as the test head 106 of the second embodiment and electrically connected to the electrodes of the probe card 5. On the back side of the probe apparatus P opposite to the conveying rail 11, the movement path 171 which consists of a rail, for example is extended in the X-axis direction. The moving head 171 has a test head support mechanism 107 having the same configuration as that of the second embodiment moving along the moving path 171.

이와 같이 본 실시예의 프로브시스템에 따르면 제 1 실시예의 프로브시스템과 제 2 실시예의 프로브시스템의 양쪽의 잇점을 가질 수 있다.As described above, according to the probe system of the present embodiment, both of the probe system of the first embodiment and the probe system of the second embodiment may have advantages.

또한 본 발명의 프로브시스템은 상기 각 실시예에 전혀 제한되는 것은 아니고 반도체웨이퍼(W)의 검사에 한정되지 않으며 액정표시용 기판 등의 검사에도 적응 가능하다.Further, the probe system of the present invention is not limited to each of the above embodiments, and is not limited to the inspection of the semiconductor wafer W, and can be adapted to inspection of a liquid crystal display substrate or the like.

제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예에 관련되는 프로브시스템의 사시도.1 is a perspective view of a probe system according to a first embodiment of the present invention.

제 2 도는 제 1 도의 프로브시스템의 검사부의 검사위치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.2 is a view schematically showing the configuration of the inspection position of the inspection unit of the probe system of FIG.

제 3 도는 제 1 도의 프로브시스템의 선회구동기구의 구성도.3 is a configuration diagram of a swing drive mechanism of the probe system of FIG.

제 4 도는 제 1 도의 프로브시스템의 제 1 수수기구의 사시도.4 is a perspective view of a first receiver of the probe system of FIG.

제 5 도는 제 1 도의 프로브시스템의 제 2 수수기구의 사시도.5 is a perspective view of a second receiver of the probe system of FIG.

제 6 도는 제 4 도의 제 1 수수기구의 서브척과 제 5 도의 제 2 수수기구의 아암의 사이의 반도체웨이퍼의 수수상태를 나타내는 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view showing the receiving state of the semiconductor wafer between the subchuck of the first receiving mechanism of FIG. 4 and the arm of the second receiving mechanism of FIG.

제 7(A) 도는 제 1 도의 프로브시스템의 메인척의 초기위치를 나타내는 정면도.7 (A) is a front view showing the initial position of the main chuck of the probe system of FIG.

제 7(B)도는 제 5도의 제 2 수수기구의 상측아암과 메인척의 사이의 반도체웨이퍼의 수수상태를 나타내는 정면도.FIG. 7 (B) is a front view showing the receiving state of the semiconductor wafer between the upper arm and the main chuck of the second receiving mechanism shown in FIG.

제 8 도는 메인척과 제 2 수수기구의 하측아암의 사이의 반도체웨이퍼의 수수상태를 나타내는 정면도.8 is a front view showing the receiving state of the semiconductor wafer between the main chuck and the lower arm of the second receiving mechanism.

제 9 도는 제 1 도의 프로브시스템에 있어서의 반도체웨이퍼의 흐름을 설명 하기 위한 도면.9 is a view for explaining the flow of semiconductor wafers in the probe system of FIG.

제 10 도는 제 1 도의 프로브시스템에 의하여 실시 가능한 동작의 흐름을 나타내는 흐름도.FIG. 10 is a flow chart showing the flow of operations that can be performed by the probe system of FIG.

제 11(A) 도 및 제 11(B) 도는 제 1 도의 프로브시스템에 의하여 실시 가능한 동작의 흐름을 나타내는 흐름도.11 (A) and 11 (B) are flow charts showing the flow of operations that can be performed by the probe system of FIG.

제 12(A) 도 및 제 12(B) 도는 제 1 도의 프로브시스템에 의하여 실시 가능한 동작의 흐름을 나타내는 흐름도.12 (A) and 12 (B) are flow charts showing the flow of operations that can be performed by the probe system of FIG.

제 13(A) 도 및 제 13(B) 도는 제 1 도의 프로브시스템에 의하여 실시 가능한 동작의 흐름을 나타내는 흐름도.13 (A) and 13 (B) are flow charts showing the flow of operations that can be performed by the probe system of FIG.

제 14 도는 본 발명의 제 2 실시예에 관련되는 프로브시스템의 사시도.14 is a perspective view of a probe system according to a second embodiment of the present invention.

제 15 도는 제 14 도의 프로브시스템의 전체 구성을 나타내는 평면도.15 is a plan view showing the overall configuration of the probe system of FIG.

제 16 도는 제 14 도의 프로브시스템의 테스트헤드지지기구 및 프로브 장치의 사시도.16 is a perspective view of a test head support mechanism and a probe device of the probe system of FIG.

제 17 도는 제 14 도의 프로브시스템의 프로브장치의 단면도.17 is a cross-sectional view of the probe device of the probe system of FIG.

제 18 도는 본 발명의 제 3 실시예에 관린 되는 프로브시스템의 사시도이다.18 is a perspective view of a probe system according to a third embodiment of the present invention.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 프로브시스템 2 : 검사부1: probe system 2: inspection unit

3 : 메인척 5 : 프로브카드3: main chuck 5: probe card

7 : 헤드플레이트 8 : 인서트링7: Head Plate 8: Insert Ring

9 : 선회구동기구 16 : 지지체9: turning drive mechanism 16: support

20 : 서브척 21 : 지지부품20: sub chuck 21: supporting parts

22 : 광학센서 40 : 회전축22: optical sensor 40: rotation axis

41 : 선회아암 42 : 회전기구41: swing arm 42: rotating mechanism

43 : 승강기구 60 : 제어부43: lift mechanism 60: control unit

Claims

A plurality of inspection units arranged in a line at a predetermined distance from each other and electrically conducting the test heads with the electrodes of the inspected object to conduct electrical property inspection of the inspected object;

A conveying path extending in parallel along the rows of the inspection units;

A plurality of test subjects, on which the plurality of inspected objects are placed and which face the conveying path, and which are vertically raised and lowered from the conveying path above the conveying path;

And a receiving means for moving along the conveying path and receiving the inspected object between the placing portion and each of the inspecting portions.

The method of claim 1,

A chuck arranged on each of the inspection portions and having a surface for supporting the inspected object, and moving the inspected object on the surface to an inspected position in which the inspected object is electrically connected to the test head; And

A first arm arranged on each of the inspection units and receiving the inspected object to be inspected from the receiving means and delivering the inspected object to the chuck, and receiving the inspected object from the chuck; And a conveying mechanism having a second arm for conveying by means.

The method of claim 2,

When the inspection operation is performed in at least one inspection unit, the placement unit, the delivery means and the delivery unit are sequentially transferred from the placement unit to the first arm arranged on each inspection unit by the delivery means. Probe system further comprising a control means for controlling the drive of the transport mechanism.

The method of claim 3, wherein

And a control unit including the conveyance mechanism and the repositioning chuck in order to sequentially initiate an inspection operation from an inspection unit receiving an object to be inspected on the first arm.

The method of claim 3, wherein

In order to sequentially transfer the inspected object from the inspected portion to which the inspected object in which the conveying means has been inspected has passed from the inspected portion to the second arm, the control means comprises: the placing portion, the conveying means and the conveying mechanism. Probe system to control the driving of the car.

The method of claim 4, wherein

In order to sequentially transfer the inspected object from the inspected portion to which the inspected means has been inspected is transferred from the inspected portion to the second arm and from the second arm to the placing portion, the control means includes the placing portion, the conveyance means, and the conveyance. Probe system for controlling the drive of the instrument.

The method of claim 1,

The receiving means has a probe system, characterized in that it has an alignment means for orienting the subject under test in a predetermined direction.

The method of claim 7, wherein

And the alignment means orientates the inspected object in a constant direction until the conveying means receives the inspected object between the placing portion and each inspecting portion.

The method of claim 1,

And the inspection unit shares a single passing means.

The method of claim 1,

At least one conveying means and the conveying path are covered with a transparent cover.

The method of claim 1,

And the conveying path is formed of a plurality of rails, and the rails are detachably connected to each other.

The method of claim 1,

And the test head is detachably arranged with respect to the inspection unit.

The method of claim 12,

And a test head detachment mechanism for detaching the test head from and to the inspection unit.

The method of claim 13,

And the test head attaching and detaching mechanism carries the test head between the test positions to which the test head is attached to the test unit, and is electrically connected to an electrode of the object under test and a standby position away from the test unit.

The method of claim 14,

And the test head detachment mechanism is provided in a space between two adjacent inspection parts and includes a swing mechanism for pivoting the test head.

The method of claim 14,

And the test head detachment mechanism includes a support mechanism for supporting the test head to move along the aligned direction of the inspection unit.

The method of claim 14,

And the standby position is separated from the inspection position by a distance allowing the maintenance of the inspection portion.