KR100311298B1 - 진동식 레벨 검출장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 검출 파이프부의 기부(base)를 고정하며, 폐쇄부에 진동편의 한 단을 고정장착하며, 다른 단에 영구자석을 설치하고, 상기 영구자석의 축방향에 대향하도록 전자석을 검출 파이프부내로 밀착시켜서 절첩된 외팔보(folded cantilever)를 구성하며, 뒤틀림(distortion) 검출소자에 의해 진동을 검출하며, 그 출력을 증폭회로로 증폭하여 전자석을 구동하는 것에 의해 검출 파이프부와 폐쇄부와 진동편을 반복하여 진동시킨다.

Description

진동식 레벨 검출장치{vibration type level detector}

본 발명은 진동식 레벨 검출장치에 관한 것으로서, 예를들면, 분류체(powder, granular)나 액체등의 레벨의 변화를 검출하는 진동 레벨 검출장치에 관한 것이다.

(종래의 기술)

진동식 레벨 검출장치의 한예로서, 일본 특개평6-102079호 공보에서, 음향편 진동자를 사용한 예가 기재되어 있다. 이 진동 레벨 검출장치는, 정점부(apex)가 지지된 진동편의 한쪽을 용기내로 삽입하여 다른 단의 선단부근의 측면에 자성체를 설치한 진동편과, 상기 진동편의 자성체를 적당한 공간 거리를 두고서 끼워넣도록 배치한 진동발생코일 및 수신코일과, 수신코일의 신호를 증폭후 진동발생코일에 인가하는 증폭부와, 수신코일에 발생하는 수신신호의 크기에 의해 출력신호를 출력하는 출력부로 구성되어 있다.

이와같이 구성된 진동레벨 검출장치에 있어서, 증폭회로의 증폭도를 올리면, 소정의 점에서 자성체의 미동→ 수신코일로 전압유도→ 증폭회로에서 증폭→ 진동발생코일로 인가→ 자계가 발생하여 자성체를 흡인(반발)→ 자성체가 크게 진동→ 수신코일에 발생하는 전압이 증가→ 진동편의 진동이 일정치로서 계속된다. 상기 진동 계속상태에 용기내로 삽입한 진동편에 분체(particles)등이 접촉하면, 진동발생치에 비하여 수신코일에 유도되는 전압이 저하되며, 이 저하 상태에 의해 출력신호를 출력한다.

그러나, 상기 진동식 레벨 검출장치에 있어서는, 전자석에서 발생한 진동을 효율좋게 진동편의 분체 접촉부에 전달할 필요가 있기 때문에, 탱크의 내부와 외부를 이격시켜 분리함과 동시에, 진동편을 그 진동을 구속하지 않도록 실리콘 고무등으로 이루어지는 박막판등의 유연한 부재로 지지하고 있다.

상술한 진동식 레벨 검출장치에 있어서는, 진동발생 코일과 수신 코일이 근접되어 있기 때문에 진동발생 코일에서 발생한 자계가 수신코일에 도달하여 커다란 기전력으로 되기 때문에, 분체 유무에 따라 변화하는 진동체의 약간의 기전력의 감소에 따라 자성체와 수신코일 상호간에서 변화하는 약간의 기전력의 변화가 검출되기 어렵고, 상대적으로 낮은 비중의 분체를 계량할 수 없다.

또한, 진동판 측면에 장착된 자성체에 적당한 공간을 두고서 진동판의 길이방향에 대하여, 자계방향이 직각으로 되는 방향으로 진동발생코일과 수신코일이 진동판을 끼어서 배치되기 때문에, 비교적 커다란 공간이 필요하게 되며, 소형화하는 데에 문제점이 있었다. 또한, 진동편을 탱크에 장착하는 경우, 진동편을 그 진동을 구속하지 않도록 박판막으로 지지할 필요가 있기 때문에 기계적 강도가 약하다는 결점이 있다.

한편, 진동발생수단으로서 티탄산연 질콘산연(PbTiO₃-PbZrO₃)을 주성분으로 하는 압전소자를 진동판의 일부에 장착하며, 압전소자에 증폭회로로부터 출력되는 고전압을 인가하며, 압전소자에 발생한 기계적 뒤틀림을 진동판에 전달하여 계측에 필요한 진동을 발생시키는 방법도 종래로부터 고려되고 있다.

그렇지만, 압전소자에 인가하는 구동전압과 발생되는 진동의 세기(진동진폭)는 정비례의 관계가 있으며, 통상 수십 내지 수백 볼트로 일반적인 회로 전압에 비하면 높은 전압이며, 이와같은 높은 전압 때문에 회로전압과는 별도의 회로내에서 발생시키는 별도회로가 필요하게 된다.

또한, 고전압이 인가되어 있는 부분의 내전압성이나 절연성능에도 충분한 고려가 필요함과 동시에 실수로 사람등이 접촉하는 경우, 감전의 우려가 있어서 위험하다. 또한, 인가 전압이 높음과 동시에 압전소자 자체도 충격이나 진동으로 고전압을 발생하기 때문에 고전압에 의한 공중방전이 발생하는 위험성이 있으며, 인화성 가스나 인화성 증기중에서의 사용에는 제한을 받는다.

게다가, 압전소자의 재료인 티탄산연 질콘산연등의 강유전체는, 페로브 스카이트형(perovskite form)이라고 칭하는 결정구조를 갖고 있으며, 이 결정구조는 실온상태에서는 정방정계의 결정구조를 가지며, 자발분극(spontaneous polarization)에 의한 압전효과를 발생한다. 그러나, 온도가 높게되어 입방정계의 구조로 전이되면 자발분극을 가지지 않게 되며, 압전효과를 잃어버리게 된다. 이 결정구조가 정방정계로부터 입방정계로 상 전이하는 온도를 큐리점(curie point)이라고 칭하며, 실온으로부터 큐리점으로 향하여 서서히 압전효과가 약해지며, 큐리점에 도달한 단계에서 없어지게 된다. 따라서, 진동발생수단으로서 압전소자를 사용하고 있는 경우, 큐리점을 넘는 온도에서의 사용은 불가능함과 동시에 큐리점 이하의 온도에서도 온도가 다르면 압전소자의 진동발생효율에 변화가 발생하며, 엄밀한 의미에서는 검출 감도에 차이가 발생한다는 문제점이 있다.

그런 이유로 본 발명의 주요 목적은, 기계적 강도가 강하며, 구동전압도 낮으며, 사용환경에 제한을 받지 않는 진동식 레벨 검출장치를 제공하는 것이다.

본 발명을 간단하게 말하면, 기부가 고정단으로 되며, 선단부가 폐쇄부로서 폐쇄된 자유단으로 하는 검출파이프부의 내부에 진동편을 설치하며, 진동편의 선단부에 설치된 자석과 마주하도록 전자석이 배치되며, 상기 전자석과 자석에 의해 진동편이 여진되어 검출 파이프부와 폐쇄부와 진동편을 반복하여 진동시키며, 검출기에서 상기 반복 진동을 검출한다.

따라서, 본 발명에 따르면, 진동발생기나 검출기로서 압전소자를 사용할 필요가 없으며, 안전하게 폭발을 방지하는데 적합하고, 게다가 검출 파이프부의 기부를 고정단으로서 용기등에 고정할 수 있으며, 반복 진동의 진동모드가 용기등의 구조나 재질, 질량 또는 장착방법에 영향을 받는 일이 없으며, 장착시의 조정도 불필요하게 된다.

본 발명의 적합한 실시예에서는, 진동편에는 영구자석 또는 전자석이 장착된다.

보다 적합하게는, 검출 파이프부의 고정단측 내면에는 나사산이 형성되어 있으며, 상기 나사산부에는 그 한 단에 전자석이 장착된 중공(hollow)의 내부로드가 나선 결합된다.

보다 적합하게는, 검출기로서 뒤틀림 검출소자 또는 검출 파이프부의 폐쇄부측에 설치되는 가속도 센서를 포함한다.

본 발명의 다른 국면에서는, 검출 파이프부의 내부에 진동편의 선단부에 설치된 자성체와 마주하도록 전자석이 배치되며, 전자석과 자성체에 의해 검출 파이프부와 폐쇄부와 진동편을 반복하여 진동시킨다.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 한 실시예의 진동식 레벨 검출장치의 단면구조 및 제어계의 블록도.

도 2a 내지 도 2h는 본 발명의 한 실시예에 있어서의 진동 모드를 나타내는 설명도.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 것으로서, 전자석(4)을 내부로드(13)에 유지하도록 한 예를 나타내는 설명도.

도 4a 및 도 4b는 갭 사이의 거리와 진동강도와의 관계를 나타내는 설명도.

도 5는 도 3에 나타낸 실시예의 주파수 특성을 나타내는 설명도.

도 6은 본 발명의 또다른 실시예를 나타내는 것으로서, 검출 파이프부(1)의 폐쇄부(12)측에 가속도 센서(21)를 설치한 예를 나타내는 설명도.

도 7a 내지 도 7c는 진동편(2)의 선단에 바이어스 전자석을 배치한 예를 나타내는 설명도.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 또다른 실시예를 나타내는 것으로서, 진동편(2)의 전자석(4)에 각각 대향하여 자석편을 배치한 예를 나타내는 설명도.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 한 실시예의 진동식 레벨 검출장치의 단면도와 전기계통의 블록도이다.

도 1a에 있어서, 검출 파이프부(1)는, 기부(11)가 고정단으로 되며, 선단부가 폐쇄부(12)로 폐쇄되어 자유단으로 되며, 절첩된 외팔보를 구성하고 있다. 검출 파이프부(1)의 내부에는 가늘고 긴 직사각형 형상의 진동편(2)이 설치된다. 즉, 진동편(2)의 한 단은 검출 파이프부(1)의 폐쇄부(12)에 고정장착 되며, 다른단에는 영구자석(3)이 설치되어 자유단으로 이루어져 있다.

또한, 진동편(2)의 축방향과 마주하도록 전자석(4)이 검출 파이프부(1)의 내벽에 밀착하도록 장착된다. 전자석(4)이 교류전류로 구동되면, 전자석(4)이 발생하는 자계와, 영구자석(3)의 자계의 흡인 반발작용에 의해 진동편(2)과 폐쇄부(12)와 검출 파이프부(1)가 기부(11)를 고정단으로서 절첩된 외팔보의 진동을 발생시킨다.

검출 파이프부(1)의 기부(11)측의 내측의 벽에는 뒤틀림 검출소자(5)가 설치된다. 뒤틀림 검출소자(5)는 검출 파이프부(1)의 기부(11)측의 진동 진폭상태를 검지하여 전기신호로 변환하며, 증폭회로(6)에 제공한다. 증폭회로(6)는 입력된 신호를 증폭하여 재차 전자석(4)에 입력한다.

도 2a 내지 도 2h는 본 발명의 한 실시예의 동작모드를 설명하기 위한 도면이다. 도 2a 내지 도 2h를 참조하여 본 발명의 한 실시예의 구체적인 동작에 관하여 설명한다. 전자석(4)에 가해지는 전류의 극성과 전자석(4)에 발생하는 자계의 관계가 도 1b에 나타난 관계를 가지면, 전자석(4)의 영구자석(3)에 마주하는 극성이 N극으로 되며, 진동편(2)에 장착된 영구자석(3)의 S극과의 사이에는 흡인력이 발생하며, 영구자석(3)의 N극과의 사이에는 반발력이 발생하고, 진동편(2)의 자유단은 도 1b에 있어서 상측으로 힘을 받아 변위하게 된다. 이 때의 진동편(2)과 폐쇄부(12)와 검출 파이프부(1)의 진동모드는 도 2a 및 도 2b에 나타내는 상태로 된다.

반대로, 전자석(4)에 가해지는 전류의 극성을 반대로 하면, 도 1c에 나타내는 바와 같이, 전자석(4)의 영구자석(3)에 마주하는 측의 극성이 역전되어 S극으로 되며, 진동편(2)의 영구자석의 S극과 반발하며, N극과 흡인하기 위해, 진동편(2)의 자유단은 하측으로 힘을 받으며, 도 2b에 나타내는 상태로부터 도 2c, 도 2d, 도 2e, 도 2f, 도 2g, 도 2h에 나타낸 바와 같이 진동모드가 변화한다. 따라서, 전자석(4)에 가해지는 전류의 극성을 절첩된 외팔보의 진동계의 고유 진동 주파수에 맞추어서 변환하는 것에 의해 진동의 발생을 계속시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에 의하면, 영구자석(3)과 전자석(4)에 의한 진동발생수단이나 뒤틀림 검출수단(5)으로서 압전소자를 사용하고 있지 않기 때문에, 본래적으로 안전하게 폭발을 방지하는데에 적합하며, 또한 검출 정밀도를 높일수 있다. 게다가 검출 파이프부(1)의 기부(11)를 고정단으로서, 용기등에 고정할 수 있기 때문에 반복 진동의 진동모드는 용기에 의한 구조나 재질이나 질량 또는 해당 장치의 장착방법에 영향을 주지않고, 장착시의 조정도 불필요하게 된다.

또한, 영구자석(3)을 설치한 진동편(2)과 전자석(4)이 검출 파이프부(1)내부에서 길이방향으로 일렬로 배치되기 때문에, 작은 공간에서도 배치할 수 있다. 또한, 절첩된 외팔보의 진동모드를 사용하는 것에 의해 진동체를 예를들면 실리콘과 같은 유연한 박막형상의 것으로 지지할 필요가 없으며, 탱크측벽에 견고하게 고정하는 것이 가능하게 되어 충분한 강도를 확보할 수 있어서 내식성 등도 향상된다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 도면이다. 상술한 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 실시예는, 전자석(4)을 검출 파이프부(1)의 내벽에 밀착시키도록 하였지만, 밀착시키기 위해서는 장착에 곤란함을 동반할 우려가 있다. 그래서, 이 도 3에 나타낸 실시예에서는 전자석(4)을 내부로드(13)의 한단에 장착하며, 내부로드(13)의 다른단을 검출 파이프부(1)의 기부(11)측의 내면에 고정하도록 한 것이다. 즉, 진동편(2)에 장착된 영구자석(3)에 대향하도록 중공의 내부로드(13)의 선단에 전자석(4)이 장착된다. 내부로드(13)의 다른단의 외주면에는 수나사산이 형성되며, 검출 파이프부(1)의 내면에는 암나사산이 형성되어 있고, 내부로드(13)가 검출 파이프부(1)내에 나사 고정된다. 또한, 내부로드(13)의 외주면과 검출 파이프부(1)의 내주면과의 사이에는 일정한 간극이 형성되어 있다.

검출 파이프부(1)의 근원측에는, 뒤틀림 검출소자(5)가 장착되어 있다. 그러나, 검출 파이프부(1)의 근원부의 내측에 뒤틀림 검출소자(5)를 장착하는 것은 제작상 불가능하기 때문에 내부로드(13)의 내면에 장착한다. 내부로드(13)는 검출 파이프부(1)에 나사산에 의해 나사 결합되어 있기 때문에, 검출 파이프부(1) 근원에 발생하는 진동에 의한 뒤틀림을 내부로드(13)에 전달하여 검출할 수 있다.

또한, 내부로드(13)의 기능은 전자석(4)의 지지와 검출 파이프부(1)의 근원의 뒤틀림을 튀틀림 검출소자(5)로 전달하기 위한 것이며, 진동판 진동과의 공명작용등 진동모드에 관여하는 것은 아니다.

본 실시예에서는, 검출 파이프부(1)나 진동편(2)의 진동방향은 영구자석(3)의 분극방향과 동일방향으로 되며, 뒤틀림 검출소자(5)도 그 방향으로가장 감도가 높게 되기 때문에 내부로드(13)를 검출 파이프부(1)에 대하여 나사를 돌려서 결합할 수 있다. 이 경우, 도 4b에 나타낸 바와 같이, 영구자석(3)과 전자석(4)과의 사이의 갭(gap)간 거리도 변화하지만, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 갭간 거리가 1mm와 2mm와의 사이에서 변화하였다고 하여도 진동강도의 변화는 약간으로 된다. 따라서, 뒤틀림 검출소자(5)를 그 감도가 가장 높도록 내부로드(13)를 검출 파이프부(1)에 대하여 나사를 돌려서 조정하는 것이 적합하다.

물론, 갭 사이 거리가 일정하여 뒤틀림 검출소자(5)의 감도가 높게 되도록 내부로드(13)에 대하여 뒤틀림 검출소자(5)가 단독으로 조정될 수 있도록 하여도 좋다.

도 5는 도 3에 나타낸 실시예의 주파수 특성을 나타내는 도면이다. 도 5로부터 명확하게 알 수 있듯이, 전자석(4)에 가해지는 전류의 주파수를 325Hz로한 경우, 상당히 선예도(sharpness:Q)가 높은 진동을 얻을 수 있으며, 다른 주파수에서는 거의 진동이 발생하지 않는 것을 확인할 수 있었다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예를 나타내는 도면이다. 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 실시예에서는 검출 파이프부(1)의 기부(11)측에 뒤틀림 검출소자(5)를 장착하도록 하였지만, 본 도 6에 나타낸 실시예에서는 검출 파이프부(1)의 폐쇄부(12)의 내면에 검출 파이프부(1) 진동의 가속도를 검출하는 가속도 센서(21)를 장착한 것이다. 그리고, 가속도 센서(21)에서 가속도를 검출하여 그 검출 출력을 증폭회로(6)에 제공하고, 검출된 가속도 신호를 증폭회로(6)로 증폭하여 전자석(4)에 제공한다.

도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예를 나타내는 도면이다. 본 실시예는 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 영구자석(3) 대신에 바이어스 전자석(10)을 진동편(2)의 선단에 설치한 것이다. 상기 바이어스 전자석(10)의 바이어스 코일에는, 바이어스 회로(20)로부터 일정한 직류전압이 인가되며, 도 7b에 나타낸 바와 같이 상측에 N극, 하측에 S극이 발생하며, 진동편(2)의 자유단을 상측으로 밀어 올린다. 그리고, 도 1a 내지 도 1c의 실시예와 동일하게 하여 전자석(4)에 가해지는 전류의 극성을 변환하는 것에 의해 도 7c에 나타낸 바와 같이, 전자석(4)의 S극과 N극이 바뀌며, 진동편(2)의 자유단을 아래로 밀어내려, 진동편(2)이 진동을 발생한다.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 또다른 실시예를 나타내는 도면이다. 상술한 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 실시예에서는, 진동편(2)의 선단에 전자석(4)과 대향하도록 영구자석(3)을 설치하도록 하였지만, 본 도 8a에 나타낸 실시예에서는, 영구자석(3)대신에 철 등의 자성체(8, 9)를 사용하도록 한 것이다. 즉, 진동편(2)의 선단부에는 단면이 L자형상인 자성체(8)가 고정 장착되며, 전자석(4)에도 마찬가지로 단면이 L자 형상인 자성체(9)가 고정 장착된다.

전자석(4)에 전압을 인가하면, 전자석(4)에 발생한 자력으로 진동편(2)의 선단 자성체(8)는 도 8b에 나타낸 바와 같이, 전자석(4)에 고정장착 되어 있는 자성체(9)로 흡인되어 근접하기 때문에 진동편(2)의 선단이 상방으로 밀려 올려진다.

이 상태에서, 전자석(4)에 인가되어 있는 전압을 제거하면, 진동편(2)이 가지고 있는 탄성력에 의해, 정지상태의 위치를 지나서 도 8c에 나타내는 위치까지 되돌아 간다. 따라서, 전자석(4)에 인가하는 전압(전류)을 가하거나, 제거함으로써 그 주기와 동일 주기의 기계적 진동을 진동편(2)에 발생시키키 않고, 검출 파이프부(1)를 진동 시킬 수 있다. 이 진동은 도 1a 내지 도 1c와 동일하게 하여 뒤틀림 검출소자(5)로서 검출한다.

또한, 상술한 각 실시예에서는, 증폭회로(6)에 입력된 신호를 증폭하여 재차 전자석(4)에 공급시켜 자려(self-excitation) 발진하도록 하였지만, 그것에 한정하지 않고 타려(separate-excitation) 발진계나 PLL의 추종계에 적용하여도 좋다.

이상과 같이, 본 발명의 실시예에 의하면, 검출 파이프부의 내부에 진동편의 선단부에 설치된 전자석 또는 영구자석 또는 자성체와 마주하도록 전자석을 배치하며, 검출 파이프부와 폐쇄부와 진동편을 반복하여 진동시키며, 검출수단에서 이 반복 진동을 검출하도록 하였기 때문에, 진동발생수단이나 검출수단으로서 압전소자를 사용할 필요가 없으며, 안전하게 폭발을 방지하는데에 적합하고, 게다가 검출 파이프부의 기부를 고정단으로서 용기등에 고정할 수 있으며, 반복 진동의 진동모드는 용기등의 구조나 재질, 질량이나 장착방법에 영향을 받지 않으며, 장착시의 조정도 불필요하게 된다. 또한, 검출 파이프부 내부에서 진동편, 전자석, 영구자석이나 자성편을 일렬로 배치하는 것에 의해 작은 공간에도 설치할 수 있다. 또한, 절첩된 외팔보의 진동모드를 사용하는 것에 의해 진동체를 유연하고 또한 박막형상의 부재로서 지지할 필요가 없이 탱크등의 측벽에 견고하게 고정하는 것이 가능하며, 충분한 강도를 확보할 수 있어서 내식성도 향상된다.

Claims (8)

1. 진동식 레벨 검출장치에 있어서,

   기부를 고정단(11)으로 하며, 선단부를 폐쇄부(12)로서 폐쇄된 자유단으로 하는 검출 파이프부(1)와,

   상기 검출 파이프부의 내부에 설치되며, 한 단이 상기 폐쇄부에 고정 장착되고, 다른단에 자석(3, 10)이 설치되어 자유단으로 되는 가늘고 긴 진동편(2)과,

   상기 검출 파이프부의 내부에 상기 진동편의 축 방향과 마주하도록 배치되며, 상기 진동편을 여진시켜서 상기 검출 파이프부와 상기 폐쇄부와 상기 진동편을 반복하여 진동시키기 위한 전자석(4)과 상기 자석(3, 10)에 의한 진동 발생 수단과,

   상기 검출 파이프부에 설치되어 상기 반복 진동상태를 검출하는 검출수단(5)을 포함하는 진동식 레벨 검출장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 진동편에 장착되는 자석은 영구자석(3)인 진동식 레벨 검출장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 진동편에 장착되는 자석은 전자석(10)인 진동식 레벨 검출장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 검출 파이프부의 고정단측 내면에는 나사산이 형성되어 있으며, 한 단에 상기 전자석이 장착되며, 다른 단의 외주면에 상기 검출 파이프부의 내면의 나사산에 나사 결합되는 나사산이 형성된 중공의 내부로드(13)를 포함하는 진동식 레벨 검출장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 검출수단은 상기 중공의 내부로드의 내벽에 장착되는 진동식 레벨 검출장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 검출수단은 뒤틀림 검출소자인 진동식 레벨 검출장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 검출수단은 상기 검출 파이프부의 폐쇄부측에 설치되는 가속도 센서(21)를 포함하는 진동식 레벨 검출장치.
8. 진동식 레벨 검출장치에 있어서,

   기부를 고정단(11)으로 하며, 선단부를 폐쇄부(12)로서 폐쇄된 자유단으로 하는 검출 파이프부(1)와,

   상기 검출 파이프부의 내부에 설치되며, 한 단이 상기 폐쇄부에 고정 장착되며, 다른 단에 자성체(8, 9)가 설치되어 자유단으로 되는 가늘고 긴 진동편(2)과,

   상기 검출 파이프부의 내부에 상기 진동편의 축방향과 마주하도록 배치되며, 상기 진동편을 여진시켜서 상기 검출 파이프부와 상기 폐쇄부와 상기 진동편을 반복하여 진동시키기 위한 전자석(4)과 상기 자성체(8, 9)에 의한 진동 발생수단과,

   상기 검출 파이프부에 설치되며, 상기 반복 진동의 진동상태를 검출하는 검출수단(5)을 포함하는 진동식 레벨 검출장치.