CN109416273B - 用于自动化技术的现场装置的电磁驱动/接收单元 - Google Patents

用于自动化技术的现场装置的电磁驱动/接收单元 Download PDF

Info

Publication number
CN109416273B
CN109416273B CN201780041834.9A CN201780041834A CN109416273B CN 109416273 B CN109416273 B CN 109416273B CN 201780041834 A CN201780041834 A CN 201780041834A CN 109416273 B CN109416273 B CN 109416273B
Authority
CN
China
Prior art keywords
membrane
rods
unit
electromechanical transducer
coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201780041834.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109416273A (zh
Inventor
拉斐尔·屈南
伊拉·亨克尔
迪特马尔·弗吕奥夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser SE and Co KG filed Critical Endress and Hauser SE and Co KG
Publication of CN109416273A publication Critical patent/CN109416273A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109416273B publication Critical patent/CN109416273B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2968—Transducers specially adapted for acoustic level indicators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2966—Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N11/00—Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties
    • G01N11/10—Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties by moving a body within the material
    • G01N11/16—Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties by moving a body within the material by measuring damping effect upon oscillatory body
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
    • G01N9/002—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
    • G01N9/002—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
    • G01N2009/006—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis vibrating tube, tuning fork

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本发明涉及一种用于自动化技术的现场装置(1)的机电换能器单元(12)，和一种具有本发明的机电换能器单元(12)的设备(1)。所述换能器单元(12)包括：至少一个膜(14)，所述膜可位移以执行机械振荡，至少三个杆(15a、15b、15c)，所述杆被垂直于所述膜(14)的基部区域(A)地固定至所述膜(14)，外壳(13)，其中所述膜(14)形成所述外壳(13)的至少一部分壁，并且其中所述杆(15a、15b、15c)延伸到所述外壳内部，至少三个磁体(16a、16b、16c)，其中在每种情况下，其中一个磁体(16a、16b、16c)都被在远离所述膜(14)的端部区域中固定至所述至少三个杆(15a、15b、15c)中的每个杆，以及线圈(17)，所述线圈具有磁芯(18)并被在所述磁体(16a、16b、16c)之上固定在所述外壳(13)内，其中所述线圈(17)可被供以供应有交变电流交流电信号。所述线圈(17)被实施为产生磁场，所述磁场通过所述磁体(16a、16b、16c)使所述杆(15a、15b、15c)执行机械振荡，其中所述杆(15a、15b、15c)以下列方式固定到所述膜(14)上，即所述膜(14)的振荡由所述杆(15a、15b、15c)的振荡产生。根据本发明，至少一个所述杆(15a、15b、15c)基本上在所述膜(14)的所述基部区域(A)上的位置(22、23)处固定到所述膜(14)，在所述位置(22、23)处，根据在所述膜(14)的基部区域(A)上的位置，所述膜(14)从静止位置偏转的二阶导数基本上为零。

Description

用于自动化技术的现场装置的电磁驱动/接收单元
技术领域
本发明涉及一种用于自动化技术的现场装置的机电换能器单元，以及一种用于确定和/或监测容器内的介质的至少一个过程变量并具有本发明的机电换能器单元的设备。过程变量例如是介质的料位或流速或甚至其密度或粘度。介质例如位于容器、罐中或甚至管道中。
背景技术
在自动化技术中，应用各种各样的现场装置来确定和/或监测至少一个过程变量，尤其是物理或化学过程变量。例如，涉及料位测量装置、流量测量装置、压力和温度测量装置、pH-氧化还原电位测量装置、电导率测量装置等，其记录相应的过程变量、料位、流量、压力、温度、pH值和电导率等。从大量出版物中已知相关的测量原理。
现场装置通常包括：至少一个传感器单元，其至少部分地且至少有时与过程接触；和电子单元，其例如用于信号记录——评估和/或——馈送。原则上，在本发明的情况下涉及现场装置的是下列所有测量装置，其应用于过程附近并且传递或处理过程相关信息，因而也涉及远程I/O、无线电适配器，并且通常涉及被设置在现场级的电子部件。申请人制造和销售了大量这样的现场装置。
在许多相应的现场装置中，使用机电换能器单元。其示例为电子振动传感器，例如，电子振动料位或流量测量装置。它们还用于超声波料位测量装置或流量测量装置。为了讨论本发明的机电换能器单元适用的每种类型的现场装置，单独和详细地讨论将是多余的。因而，出于简化目的，在参考特定现场装置的情况下，下文说明作为示例限于具有可振荡单元的料位测量装置。申请人例如以商标LIQUIPHANT和SOLIPHANT销售相应的现场装置。已知基本的基础测量原理。
这种料位测量装置的可振荡单元，也称为电子振动传感器，例如为振荡叉、单杆或膜。在操作期间，这种可振荡单元由驱动/接收单元激励，该驱动/接收单元通常为机电换能器单元的形式，例如为压电、电磁或甚至是磁致伸缩驱动/接收单元的形式，通过电激励信号执行机械振荡。相反，驱动/接收单元能够接收机械可振荡单元的机械振荡并将它们转换成电接收信号。驱动/接收单元能够为单独的驱动单元和单独的接收单元，或组合的驱动/接收单元。
为了激励机械可振荡单元，已经开发出各种各样的方法，包括模拟方法和数字方法。在许多情况下，驱动/接收单元是反馈、电气、振荡电路的一部分，通过该电路发生机械可振荡单元的激励，以执行机械振荡。例如，对于谐振振荡，必须满足振荡电路条件，根据该振荡电路条件，放大系数≥1，并且振荡电路中出现的所有相位的和必须达到360°的倍数。这导致必须确保激励信号和接收信号之间的特定相移。为此，已知多种解决方案。原则上，相移的设置能够例如通过应用合适的滤波器来执行，或者甚至通过控制回路来控制到可预先确定的相移，即期望值。例如，从DE 102006034105A1中已知使用可调谐移相器。相比之下，在DE 102007013557A1中描述了放大器与可调放大因子的额外集成，以额外控制振荡幅度。DE 102005015547A1提供了全通滤波器的应用。此外，借助于涉及频率扫描的方法可以设置相移，例如在DE 102009026685A1、DE 102009028022A1和DE 102010030982A1中公开的。然而，相移也能够通过相位控制环(锁相环，PLL)控制到可预先确定的值。这种激励方法是DE 102010030982A1的主题。
激励信号以及接收信号两者都由频率、幅度和/或相位表征。然后，通常考虑这些变量的变化以确定特定的过程变量，例如，容器中介质的预定料位，或甚至介质的密度和/或粘度。例如，在用于液体的振动限制液位开关的情况下，感兴趣的是可振荡单元是否被液体覆盖或自由振荡。在这种情况下，这两种状态，即自由状态和覆盖状态，例如基于不同的共振频率，即频率偏移或基于对振荡幅度的阻尼来识别。
当可振荡单元被介质覆盖时，密度和/或粘度又能够仅用这种测量装置确定。从DE10050299A1、DE 102006033819A1和DE 102007043811A1中已知基于频率-相位曲线(Φ＝g(f))确定介质的粘度。该过程基于可振荡单元被介质粘度阻尼的相关性。为了消除密度对测量的影响，粘度基于由相位的两个不同值引起的频率变化，因而，通过相对测量加以确定。相反，为了确定和/或监测介质的密度，根据DE 10057974A1，确定并补偿至少一个干扰变量(例如粘度)对机械可振荡单元的振荡频率的影响。此外，在DE 102006033819A1中教导了在激励信号和接收信号之间设置可预先确定的相移，在这种情况下，介质的粘度变化对机械可振荡单元的机械振荡的影响可以忽略不计。在该相移处，能够创建用于确定密度的经验公式。
如已经提到的，驱动/接收单元通常被实施为机电换能器单元。通常，它在多种实施例中包括至少一个压电元件。通过使用压电效应，能够实现将电变为机械能的相对高的效率。基于LZT(锆钛酸铅)的相应压电陶瓷材料通常适用于高达300℃的温度。存在300℃以上仍保持它们的压电性能的压电陶瓷材料；然而，这些材料的缺点是它们的效果明显低于基于LZT的材料。除此之外，金属和陶瓷材料的热膨胀系数之间存在显著差异，这一特征在高温下尤其不利。
由于它们作为力提供器的功能，所以必须始终确保压电元件与传感器膜的力传递连接，该传感器膜是可振荡单元的至少一部分。然而，特别是在高温的情况下，会产生大的机械应力，这会导致压电元件的破坏，以及与之相关的传感器完全失效。
能够更适合在高温下使用的替代方案是所谓的电磁驱动/接收单元，诸如在文献WO 2007/113011和WO 2007/114950A1中描述的。在这种情况下，通过磁场发生将电能转换成机械能。相应的机电换能器单元包括至少一个线圈和永磁体。借助于线圈，产生穿过磁体的交变磁场，并且通过磁体将周期性力传递到可振荡单元。通常，这种周期性力的传递与螺线管的原理类似地发生，螺线管位于膜的中心。
由于在电磁驱动/接收单元的情况下不需要与可振荡单元的膜的力传递连接，因此与压电换能器单元相比，其能够在扩展温度范围内使用，特别是在-200℃和500℃之间使用。然而，由于没有力传递连接，所以通常效率显著低于压电驱动/接收单元的情况。虽然电磁驱动/接收单元能够在膜的区域中产生相对高的力，但是由于膜和驱动器之间的非力传递连接而导致的振荡叉的偏转相对小。结果，与压电驱动/接收单元相比，电磁驱动/接收单元需要更多的能量，这使得在爆炸危险区域中使用相应的传感器成为问题。
在尚未公开的德国专利申请No.102015104533.8(US2018074018)中描述了一种具有更高效率的机电换能器单元，其公开内容通过引用并入本文。
发明内容
从现有技术出发，本发明的目的在于提供一种电磁驱动/接收单元，即机电换能器单元，其具有至少一个线圈和磁体，与现有技术相比，本发明的特征在于效率更高。
本发明的目的通过一种用于自动化技术的现场装置的机电换能器单元实现，所述机电换能器单元包括：
-膜，其可位移以执行机械振荡，
-至少三个杆，其被垂直于膜的基部区域地固定至膜，
-外壳，其中膜形成外壳的至少一部分壁，并且其中杆延伸到外壳内部，
-至少三个磁体，其中在每种情况下，磁体之一在远离膜的端部区域中被固定至该至少三个杆中的每个杆，以及
-线圈，其具有磁芯并被在磁体之上固定在外壳内，其中线圈可供应有交流电信号，
其中线圈被实施为产生磁场，该磁场通过磁体使杆执行机械振荡，
其中，杆以下列方式固定到膜，即膜的振荡由杆的振荡产生，并且其中至少一个杆基本上在膜的基部区域上的位置处固定到膜，其中根据在膜基部区域上的位置，膜从静止位置偏转的二阶导数基本上为零。
通过交变磁场发生电能转换为机械能的转变，该交变磁场是通过带有磁芯的线圈产生的。在每种情况下，在固定的可选时间点在杆的区域中占优势的磁场都在被单面地固定至膜的杆的远离膜区域中引起偏转，磁体在该区域中固定在杆上。由于交变磁场，因而使杆振荡，其中杆的振荡运动横向地，即垂直于它们的纵轴发生。杆相应地，实际上表现为专用机械谐振器。由于杆与膜的连接，尤其是力传递连接，所以杆的振荡运动也被传递到膜，因而，膜同样执行振荡运动。
根据本发明，至少一个杆基本上在膜的基部区域上的位置处固定到膜，其中根据在基部区域上的位置，膜从静止位置的偏转的二阶导数基本为零。其中在膜的基部区域上，取决于膜的振荡模式等，膜从静止位置偏转的二阶导数基本为零。
因而，根据膜上的位置，至少一个杆基本上固定在从静止位置偏转的拐点区域中。在这种情况下，涉及的是区域，其在膜的最大可振荡幅度时，相对于平行于膜的基部区域的平面，因而相对于静止位置弯曲最大。在这种情况下，膜的静止位置是其中没有合力作用在膜上的位置，因而其中膜不弯曲，相反，基本为平面的。
由于本发明的杆的定位，实现了杆的振荡运动到膜的特别高效的传递。与其中杆被固定在膜的基部区域上的其它区域中的等效机电换能器单元相比，操作本发明的换能器单元所需的能量被相应有利地最小化。
此外，本发明的机电换能器单元最适合在扩展的温度范围内使用，特别是在高温下使用。最大可允许温度取决于例如对磁体选择的材料。由于杆在端部区域直接与膜连接并形成专用机械谐振器，因此与基于现有技术的螺线管原理的电磁驱动/接收单元的上述变体相比，本发明的机电换能器单元的效率显著提高。尽管如此，但是本发明的机电换能器单元的结构构造仍相对简单。
磁体例如是所谓的铝镍钴磁体。铝镍钴磁体偶尔也称为钢磁体。值得关注的是铁、铝、镍、铜和钴的合金，永磁体通过铸造技术或通过烧结工艺由这种合金制造。除了其它特性外，这种磁体的特点还在于高残余磁通密度(约0.6-1.3T)以及700-850℃的高居里温度，这允许在至少高达500℃的温度范围内应用。在给定情况下，通过所谓的稀土磁体提供了一种有趣的替代方案，所述稀土磁体基本上由铁金属和稀土金属组成。示例为钐-钴磁体，在下文中称为SmCo磁体，目前能够在高达350°的温度下使用；研究工作的目标是工作温度高于500℃。当然，同样落入本发明范围内的其它磁体也能够用于本发明。磁体例如被实施为杆状的。然而，优选地，本发明的实施例中的磁体的形状也与具有磁芯的线圈的形状相匹配，尤其是以下列方式匹配，即在每种情况下，磁体的面向具有磁芯的线圈的表面都尽可能地大，并且相应的磁体和带有磁芯的线圈之间的间隔尽可能地小。
在本发明的换能器单元的优选实施例中，至少一个杆基本上在围绕膜的基部区域的中点延伸的圆形线上固定到膜。这种选择对于基本振荡模式下的膜的振荡特别有利，在这种情况下，膜的中点经历最大的偏转。然而，该实施例也适用于较高的振荡模式，在这种情况下，膜的中点经历最大的偏转。对于更高的振荡模式，在这种情况下，节点线越来越多地出现在膜的基部区域上。
本发明的实施例提供了杆的数量为偶数，其中杆沿着围绕膜的中点的圆形线对称地布置。
可替选地，杆的数量为奇数，其中杆沿着围绕膜的中点的圆形线以相等的角度布置。
有利地，具有磁芯的线圈基本被布置在膜的基部区域的中点之上。
例如，线圈的磁芯能够为罐形电枢单元的一部分，该电枢单元具有底板和周壁，其中从底板开始并且沿中心延伸到电枢单元的内部固定喷嘴，其中喷嘴形成线圈的磁芯，并且其中周壁用作磁场引导返回件(guide back)。周壁例如延伸直到其到达杆的附近，然而，电枢单元不应当被接触。该实施例一方面提供结构上的优点，因为线圈磁芯以及磁场引导返回件两者都能够被设置为电枢单元形式的单件。然而，在这种情况下，磁场引导返回件也用于磁屏蔽，其提供增强的抗干扰性。电枢单元优选地由具有高磁导率的材料制成，尤其是铁、钴或钴铁，或者由金属玻璃构成。关于高磁导率，特别适合的是具有至少μ>100的铁磁材料。例如，钴铁的磁导率μ在μ钴铁≈10000-150000的范围内，钴的范围在μ钴≈100-200范围内，对于铁为μ铁≈300-10000。特别有利的是，用于电枢单元的材料具有尽可能低的磁滞。磁滞应该至少小到使得材料能够遵循与激励信号的频率相对应的稳定反磁化。
铁磁材料特别适合在高温下使用。相比之下，如果在特别高温下的可用性要求不是关注的中心，那么能够考虑金属玻璃，其磁导率通常在μ金属玻璃≈1500-4000的范围内，因为它们具有特别低的磁滞，并且与反磁化中的低损耗相关联。
优选实施例规定，每个磁体都与具有磁芯的线圈具有基本相同的间隔。在这种情况下，有利的是每个磁体和具有磁芯的线圈之间的间隔小于2mm。这些数据涉及恰好没有磁场存在的时间点。以这种方式，当每个杆，特别是最终固定在杆上的磁体和具有磁芯的线圈之间的间隔基本相等时，能够使所有杆以相同的方式执行机械振荡。
为了从带有磁芯的线圈到杆的最佳可能能量传递，这种分离应尽可能地小。然而，在这种情况下，磁体必须不接触具有磁芯的线圈。
当线圈的磁芯被实施为罐形电枢单元的一部分时，磁体例如无接触地延伸到罐形电枢单元中，使得当不存在磁场时，它们位于离线圈相同的位置处。以这种方式，两个磁体被磁场引导返回件完全包围。
此外，本发明的目的通过一种用于确定和/或监测容器中的介质的至少一个过程变量的设备来实现，包括：
-传感器单元，其具有本发明的至少一个机电换能器单元，和
-电子单元，
其中机电换能器单元被实施为借助于被供应给线圈的交流电信号形式的电激励信号来激励传感器单元以执行机械振荡，并且接收传感器单元的机械振荡，并且将其转换为交流电信号形式的电接收信号，并且其中电子单元被实施为从接收信号开始产生激励信号，并且至少基于接收信号确定该至少一个过程变量。因而，本发明的机电换能器单元原则上是本发明的设备的驱动/接收单元，或其至少一部分。机电换能器单元也能够以实际上单独的驱动单元或接收单元的形式加以应用。
此外，传感器单元优选地包括尤其是机械可振荡单元。在这种情况下，本发明的设备为电子振动传感器。
有利地，两个杆的长度L以L＝nλ/2+λ/4的方式选择，其中λ是沿杆传播的波的波长，n是自然数。因而，选择杆的长度，使其相应于激励信号的期望激励频率并且相应于它们的振荡特性。此外，通过调节杆的长度，并且此外通过设备的外壳的实施例，可实现温度解耦，这是由于磁体和具有磁芯的线圈与过程的空间分离。因而，本发明的设备能够与特定的工艺要求相匹配，并且针对特定的工艺要求。一方面，这通过选择杆的长度来执行。而且，外壳也能够由一种材料制成，其特征在于良好的隔热性，因此它可以补充地提供温度间隔管的功能。与膜的更大分离，因而磁体和线圈与膜的空间分离实现了温度去耦。以这种方式，可允许温度范围能够进一步扩展到由磁体限定的温度范围之上。然而，在此应注意，随着杆的长度增加，力传递的效率略微降低。因而，必须始终在期望的可允许温度间隔和期望效率之间取得平衡。
实施例规定，可振荡单元包括膜的至少一部分，或膜的至少一部分以及固定到其上的至少一个振荡尖齿。因而，可振荡单元是膜、单杆或振荡叉。
一方面，膜能够被实施为单件。在相应地实施的设备包括可振荡单元的情况下，膜在一侧与电磁换能器单元相关联，而在另一侧，它同时形成可振荡单元的至少一部分。另一方面，实施例规定，膜具有彼此力传力连接的两部分，其中第一部分与电磁换能器单元相关联，并且其中第二部分与可振荡单元相关联。两部分之间的连接例如能够通过钎焊、铜焊、焊接或粘合连接来制造。
可振荡单元例如被以下列方式布置在容器内的限定位置内，使得其在介质中达到可确定的穿透深度。以这种方式，尤其能够确定过程变量、粘度和/或密度。
有利地，过程变量是容器内的介质的料位或流速，或介质的密度或粘度。
在本发明的优选实施例中，可振荡单元是具有两个尖齿的振荡叉，其中机电换能器单元包括四个杆，并且其中固定到膜的机电换能器单元的四个杆中的两个和被固定到膜的两个振荡尖齿被布置成彼此相对，并且关于垂直于穿过杆和/或振荡尖齿的纵向轴线的平面彼此对称地成镜像。在每种情况下，可振荡单元的振荡尖齿和机电换能器单元的杆因而基本上沿着与其两个纵向轴线平行的相同假想线延伸。特别地，这两个杆和振荡尖齿以这样的方式布置，使得它们垂直于杆和振荡尖齿的纵向轴线，位于离膜的基部区域的中点的相同距离处。在具有作为可振荡单元的振荡叉的电子振动传感器的情况下，这种对称布置实现了特别高的效率。
振荡尖齿、换能器杆和膜形成耦合的振荡系统，其中耦合由膜确定。例如，对于振荡叉形式的可振荡单元的示例，两个振荡尖齿和膜形成第一机械谐振器，位于振荡尖齿的对面的机电换能器单元的两个杆与膜形成第二谐振器，并且其他两个杆和膜形成第三谐振器。优选地选择激励信号的频率，使得第一和第二谐振器关于垂直于换能器杆和/或振荡尖齿的纵向轴线穿过膜的平面以反对称振荡模式振荡。在所形成的振荡系统中，原则上，通过三个谐振器基本上发生三个谐振频率。结合图5更详细地描述了这一点。
同样，本发明的另一优选实施例提供了可振荡单元是具有两个尖齿的振荡叉。然而，机电换能器单元包括三个杆，其中三个杆以下列方式布置在围绕膜的中点M布置的等角三角形的角点中，即三个换能器杆中的两个之间的连接线与两个振荡尖齿之间的连接线平行地延伸。
将至少一个换能器杆布置在膜的区域(该区域在振荡运动期间经历特别大的弯曲)中提供了特别高的效率，以将振荡从换能器杆传递到膜，并且在给定的情况下，传递到可振荡单元。在这种情况下，效率基本上随着所使用的换能器杆的数量而增加。然而，杆的数量的最大化受到设备外壳内的可用空间等因素的限制。这里应注意，尤其可通过调节杆的长度和/或刚度影响振荡运动的频率。
附图说明
现在将基于附图更详细地描述本发明以及其有利实施例，附图示出如下：
图1：(a)是现有技术的电子振动传感器的示意图，(b)是振荡叉的透视图，
图2：(a)是本发明的机电换能器单元的侧视图，以及在膜上的换能器杆的优选布置图，(b)为三个杆，(c)为四个杆的情况，
图3是具有作为可振荡单元的振荡叉的电子振动料位测量装置，以及具有四个杆的本发明的机电换能器单元，
图4：(a)是图3的电子振动料位测量装置的情况下的膜的曲率线，以及在膜的基部区域上的杆的优选布置，(b)为三个杆，(c)为四个杆的情况，并且
图5是具有振荡叉形式的可振荡单元的电子振动传感器以及具有四个杆的机电换能器单元的频谱。
具体实施方式
图1a示出了电子振动料位测量装置1。具有振荡叉形式的机械可振荡单元3的传感器单元2部分地突出到介质4中，介质4位于容器5中。可振荡单元3是通过驱动/接收单元6(通常是机电换能器单元)激励的，以执行机械振荡。驱动/接收单元6能够为例如压电堆叠或双压电晶片驱动器，然而也可以是电磁或甚至磁致伸缩驱动/接收单元。然而，应理解，也可能有电子振动料位测量装置的其它实施例。还提供了电子单元7，通过该电子单元发生信号记录——评估和/或——馈送。
图1b提供了振荡叉形式的可振荡单元3的更详细视图，例如应用于LIQUIPHANT仪器。其中示出了膜8和与其连接的振荡元件9。振荡元件9包括具有末端叶片11a、11b的两个振荡尖齿10a、10b。在操作中，振荡叉3执行相应于振荡模式的振荡运动，振荡叉被以该振荡模式激励。两个振荡尖齿10a、10b中的每一个基本上都表现为所谓的弯曲振荡器。在基本振荡模式中，两个振荡尖齿10a、10b例如相对于彼此以相反的相位振荡。
图2a是本发明的机电换能器单元12的示意性侧视图。在该实施例中，机电换能器单元12表示图1a的测量装置的驱动/接收单元6。
在外壳13的下壁中设有膜8、14。因而，在下端处，外壳13用膜8、14封闭。在该示例中，外壳13是圆柱形的，并且膜8、14是盘形的，具有圆形的基部区域A。然而，应理解，其它几何形状也是可能的并且落入本发明的范围内。垂直于膜8、14的基部区域A并向内延伸到外壳13的内部的是三个杆15a、15b、15c，它们固定到膜8、14上。这种固定尤其为力传递连接。膜8、14的基部区域A位于垂直于杆15a、15b、15c的纵向方向的平面中。例如，杆15a、15b、15c沿围绕膜8、14的基部区域A的中点M的假想圆形线以相等的角度布置。
固定在膜8、14中的杆15a、15b、15c的远端区域的是磁体16a、16b、16c，尤其是钐钴或铝镍钴磁体。优选地，磁体都是同样定向的。在偶数个杆的情况下，例如，在4个杆的情况下，如图2c所示，相反，磁体16a-16d也能够成对地同样定向。
布置在磁体16a、16b、16c上方的是具有磁芯18的线圈17。在这种情况下，具有磁体16a-16c的杆15a-15c不接触线圈17和磁芯18。线圈17在正在操作时供应有交流信号以产生交变磁场。由于这种交变场，杆15a-15c通过磁体16a-16c水平地，即垂直于或横向于它们的纵向轴线偏转，使得它们振荡。一方面，杆15a-15c然后施加杠杆效应，由此通过水平偏转产生的杆15a-15c的弯曲被传递给膜8、14，使得膜8、14振荡。另一方面，两个杆15a-15c和膜8、14的组合是专用谐振器。因而，通过交变磁场发生膜8、14的激励以执行机械振荡。
在实施例的该示例中，线圈17的磁芯18大致为具有底板20以及周壁21的罐形电枢单元19的一部分，但不限于此。例如，底板20能够具有与膜8、14的基部区域A相同的圆形横截面积。线圈17的磁芯18以喷嘴形式从罐形电枢单元19的底板20沿中心延伸到电枢单元19的内部。在这种情况下，周壁21具有磁场引导返回件的功能。优选地，电枢单元19由高磁导率的材料制成，尤其是铁、钴或金属玻璃。
根据本发明，杆15a-15c中的至少一个基本上在膜8、14的基部区域上的位置处固定在膜8、14上，其中根据基部区域上的位置，膜8、14从静止位置偏转的二阶导数基本为零。在具有基部区域A的圆形膜8、14的情况下(其以基本振荡模式执行振荡)，该区域基本由围绕膜8、14的中点M延伸的圆形线22限定，如图2b中所示。在较高振荡模式的情况下，节点线越来越多地形成在膜8、14上，因此，根据振荡模式，在膜8、14的基部区域A上也能够存在许多区域，其中偏转的二阶导数基本为零。
在图2b和2c中示出对于不同数量的杆15a-15d，杆15a-15d在具有圆形底部区域A的膜8的基部区域上的优选定位。在图2b中所示的实施例的示例中，机电换能器单元12具有三个杆15a、15b、15c，在每种情况下，这些杆都由圆圈表示并且在圆形线22的区域中以相等的角度间隔布置在圆周上。在图2c中示出了具有沿圆形线22布置的四个杆15a-15d的实施例，其中，在每种情况下，两个杆15a和15b以及两个杆15c和15d彼此相对。
图3最后示意性地示出了具有如图1b中所示的可振荡单元3和如图2中所示的机电换能器单元12的电子振动料位测量装置，然而，其具有四个杆15a-15d(杆15d在视图中隐藏)。已经解释的附图标记的特征将不再重复。在该示例中，电磁换能器单元的膜8、14同时是振荡叉3的膜8。因而，存在单片膜8、14，其与可振荡单元3并且也可与机电换能器单元12两者相关联。然而，应理解，在另一实施例中，膜8、14也能够使用彼此力传递地连接的两个部分8和14来制造，其中第一部分8与机电换能器单元12相关联，第二部分14与可振荡单元3相关联。
优选地，两个振荡尖齿10a、10b和四个杆中的两个15a、15b以下列方式固定到膜8、14上，即在每种情况下，杆15a、15b和振荡尖齿10a、10b都沿着相同的纵向轴线延伸，这些纵向轴线是穿过膜8、14垂直于基部区域A的轴线。在这种情况下，两个纵向轴线与平面相交，该平面与膜8、14平行，处于离该区域A的中点M的相同距离处。由于这种对称布置，所以能够实现更高的效率。
在这种布置的情况下，涉及耦合的谐振器系统。对于具有四个杆15a-15d的示例，可振荡单元3的两个振荡尖齿10a、10b与膜8、14形成第一机械谐振器，而成对的杆15a、15b和15c、15d与膜8、14分别形成第二和第三机械谐振器。所有三个谐振器都通过膜8、14彼此机械耦合，其中可通过膜8、14的实施例调节耦合。例如，能够通过膜8、14的壁厚或材料来影响耦合，然而，也能够通过与尖齿10a、10b或杆15a-15d的连接类型来影响耦合。在这种谐振器系统中，多个振荡模式以不同的谐振频率出现，这是一种特征，下面将基于图4和图5解释。这里应注意，相反，在没有可振荡单元3与机电换能器单元12相关联的情况下，四个杆15a-15d通常形成单个谐振器。
在振荡膜8、14上存在振荡叉形式的机械可振荡单元3，如图2所示，因而导致设备1的振荡行为改变。例如，这通过膜8、14沿图4a中所示的两条线m和n从其中点M延伸至其边缘的曲率线显而易见，其中线m平行于膜8、14的基部区域A上的穿过两个振荡尖齿10a和10b的假想连接线延伸，并且线n垂直于线m。这里的两个振荡尖齿10a、10b由两个x表示。与图2的实施例相反，沿着线n和m的曲率线不再是对称的。这尤其是因为膜8、14的刚度沿着两条线m和n彼此不同。结果，膜8、14的基部区域A上的位置(其中膜8、14偏离其静止位置的二阶导数基本上等于零)不再由圆形线22给出，而是由椭圆23给出。
为了尽可能高效地将能量从杆15a-15d传递到膜8、14，相应有利的是沿着椭圆23布置杆15a-15d，所述椭圆23围绕膜8、14的基部区域A的中点M延伸。然后，所有杆15a-15d将被布置在膜8、14的最大曲率区域中，因而，杆15a-15d各自在固定到膜8、14的区域中经历最大偏转。此外，有利的是，每个杆15a-15d都与具有优选地布置在膜8、14的基部区域A的中点M上方的磁芯的线圈的分离基本相等，以便杆15a-15d均匀地移位以振荡。如果人们期望在这两个要求之间达到最佳折衷，例如，在具有三个和四个杆15a-15d的机电换能器单元12的情况下，则推荐图4b和4c中所示的优选布置。
在三个杆15a-15c的情况下，这些杆被布置在围绕膜8、14的中点M延伸的等角三角形的角点处，如图4b所示。三个杆15a-15c中的两个15a、15b之间的连接线平行于两个尖齿10a、10b之间的连接线延伸。对于图4b的实施例，两个杆15a、15b还被布置在膜8、14的基部区域A上的位置处，该位置在振荡运动期间经历最大曲率，因而，其中膜8、14从静止位置的偏转的二阶导数基本为零。可替选地，三个杆15a-15c中同样只有一个布置在膜8、14的基部区域A上的位置处，其中膜8、14的偏转的二阶导数基本上为零。然后，优选地，三个杆15a-15c中的另外两个之间的连接线平行于两个尖齿10a、10b之间的连接线延伸。
如图4c所示，在四个杆15a-15d的情况下，相反与图2所示的膜8、14的情况类似地，杆15a-15d优选地沿绕膜8、14的基部区域A的中点M的圆形线布置，使得在每种情况下，四个杆15a-15d中的两个都跨过膜8、14的基部区域A的中点M彼此相对。其结果是，与图2的实施例相反，在该示例中，四个杆15a-15d中仅有两个被布置在膜8、14的基部区域A上的位置处，其中偏转的二阶导数基本为零，因为这些位置由椭圆23描述。
因而，涉及具有本发明的可振荡单元3和机电换能器单元12的设备1的情况是具有多个谐振频率的耦合谐振器系统，类似于尚未公开的德国专利申请No.102015104533.8。为了方便，下面基于图5，对具有如图4c中所示的四个杆15a-15d的机电换能器单元12的情况解释这种耦合谐振器系统。对于非偶数个杆的情况，尤其是在三个杆15a-15c的情况下，类似的考虑是成立的。然而，应注意，与具有偶数个杆15a-15d的布置相比，特别是由于布置的相应对称性，可能出现相对更复杂的振荡模式。
在具有四个杆15a-15d和振荡叉形式的可振荡单元3的耦合谐振器系统中，出现三个谐振频率，其中一个属于反对称振荡模式，两个属于对称振荡模式，诸如图5中的频谱，其中介质是空气。反对称振荡模式f1在频谱的该示例的情况下处于大约864Hz，而两个对称振荡模式f2和f3处于1050Hz和1135Hz。在具有频率f1的反对称振荡模式的情况下，当叶片11a、11b的区域中的两个振荡尖齿10a、10b远离彼此移动时，杆15a-15d在膜8、14的远区域中朝向彼此移动。这种振荡模式对应于振荡叉3的自然振荡运动，例如，应用于LIQUIPHANT仪器中的振荡叉3。相反，当杆15a-15d在膜8、14的远区域中朝向彼此移动时，对称振荡模式使两个振荡尖齿10a、10b在叶片11a、11b的区域中同样朝向彼此移动。对于具有谐振频率f2和f3的对称振荡模式，在每种情况下，两个杆对15a和15b以及15c和15d中的一个的振荡幅度都略大于其他杆对的振荡幅度。在各个振荡模式f1-f3的谐振频率相对于彼此足够接近的情况下，这不显著，并且杆15a-15d和振荡尖齿10a、10b基本上以相等的振幅振荡。
附图标记列表
1 电子振动传感器
2 传感器单元
3 可振荡单元
4 介质
5 容器
6 驱动/接收单元
7 电子单元
8 可振荡单元的膜
9 振荡元件
10a,10b 振荡叉
11a,11b 叶片
12 机电换能器单元
13 机电换能器单元的外壳
14 机电换能器单元的膜
15a-15d 换能器杆
16a-16d 磁体
17 线圈
18 线圈的磁芯
19 罐形电枢单元
20 底板
21 周壁
22 圆形线
23 椭圆
A 膜的基部区域
M 膜的中点
L 杆的长度
λ 沿杆传播的波的波长

Claims (13)

1.一种用于自动化技术的现场装置(1)的机电换能器单元(12)，包括：
-膜(14)，所述膜(14)可位移以执行机械振荡，
-至少三个杆(15a、15b、15c)，所述至少三个杆(15a、15b、15c)经由力传递连接被垂直于所述膜(14)的基部区域(A)地固定至所述膜(14)，
-外壳(13)，其中所述膜(14)形成所述外壳(13)的至少一部分壁，并且其中所述杆(15a、15b、15c)延伸到所述外壳内部，
-至少三个磁体(16a、16b、16c)，其中在每种情况下，所述磁体(16a、16b、16c)之一在远离所述膜(14)的端部区域中固定至所述至少三个杆(15a、15b、15c)中的每一个，以及
-线圈(17)，所述线圈(17)具有磁芯(18)并被在所述磁体(16a、16b、16c)之上固定在所述外壳(13)内，其中所述线圈(17)可供应有交流电信号，
其中所述线圈(17)被实施为产生磁场，所述磁场通过所述磁体(16a、16b、16c)使所述杆(15a、15b、15c)与其纵轴垂直地执行机械振荡，
其中，所述杆(15a、15b、15c)被固定到所述膜(14)上，使得所述膜(14)的振荡由所述杆(15a、15b、15c)的振荡产生，
其特征在于，
至少一个所述杆(15a、15b、15c)在所述膜(14)的所述基部区域(A)上的位置(22、23)处被固定到所述膜(14)，
在所述位置(22、23)处，根据在所述膜的基部区域(A)上的位置，所述膜(14)从静止位置偏转的二阶导数为零。
2.根据权利要求1所述的机电换能器单元(12)，
其特征在于，
至少一个所述杆(15a、15b、15c)在围绕所述膜(14)的所述基部区域(A)的中点(M)的圆形线(22)上被固定到所述膜(14)。
3.根据权利要求2所述的机电换能器单元(12)，
其特征在于，
所述杆(15a、15b、15c)的数量为偶数，其中所述杆(15a、15b、15c)沿着围绕所述膜(14)的所述中点(M)的所述圆形线(22)对称地布置。
4.根据权利要求2所述的机电换能器单元(12)，
其特征在于，
所述杆(15a、15b、15c)的数量为奇数，其中所述杆(15a、15b、15c)沿着围绕所述膜(14)的所述中点(M)的所述圆形线(22)以相等角度布置。
5.根据权利要求2至4中的一项所述的机电换能器单元(12)，
其特征在于，
具有磁芯(18)的所述线圈(17)被布置在所述膜(14)的所述基部区域(A)的所述中点(M)之上。
6.根据权利要求5所述的机电换能器单元(12)，
其特征在于，
每个所述磁体(16a、16b、16c)都与具有磁芯(18)的所述线圈(17)具有相同的间隔。
7.根据权利要求6所述的机电换能器单元(12)，
其特征在于，
每个所述磁体(16a、16b、16c)和具有磁芯(18)的所述线圈(17)之间的间隔小于2mm。
8.一种用于确定和/或监测容器(5)中的介质(4)的至少一个过程变量的设备(1)，包括：
-传感器单元(2)，所述传感器单元(2)具有根据前述权利要求的至少一项所述的至少一个机电换能器单元(12)，以及
-电子单元(7)，
其中所述机电换能器单元被实施为借助于被供应给所述线圈(17)的交流电信号形式的电的激励信号来激励所述传感器单元(2)以执行机械振荡，并且接收所述传感器单元(2)的机械振荡，并且将其转换为所述交流电信号形式的电接收信号，并且
其中所述电子单元(7)被实施为从所述接收信号开始产生所述激励信号，并且至少基于所述接收信号确定所述至少一个过程变量。
9.根据权利要求8所述的设备，
其中所述传感器单元(2)包括可振荡单元(3)。
10.根据权利要求9所述的设备，
其中所述可振荡单元(3)包括所述膜(8、14)的至少一部分，或所述膜(8、14)的至少一部分以及固定到其上的至少一个振荡尖齿(10a、10b)。
11.根据权利要求8-10中的一项所述的设备，
其中所述过程变量是所述容器(5)内的所述介质(4)的料位或流速，或所述介质(4)的密度或粘度。
12.根据权利要求9或10所述的设备，
其中所述可振荡单元(3)是具有两个尖齿(10a、10b)的振荡叉，
其中所述机电换能器单元(12)包括四个杆(15a-15d)，并且其中被固定到所述膜(8、14)的所述机电换能器单元(12)的四个杆(15a-15d)中的两个(15a、15b)和被固定到所述膜(8、14)上的两个振荡尖齿(10a、10b)被布置成关于与穿过所述杆(15a、15b)和/或振荡尖齿(10a、10b)的纵向轴线垂直的平面彼此相反。
13.根据权利要求9或10所述的设备，
其中所述可振荡单元(3)是具有两个尖齿(10a、10b)的振荡叉，
其中所述机电换能器单元(12)包括三个杆(15a-15c)，并且其中所述三个杆(15a-15c)被布置在围绕所述膜(8、14)的中点(M)布置的等角三角形的角点中，使得所述三个杆(15a-15c)中的两个(15a、15b)之间的连接线与两个尖齿(10a、10b)之间的连接线平行地延伸。
CN201780041834.9A 2016-07-05 2017-06-26 用于自动化技术的现场装置的电磁驱动/接收单元 Active CN109416273B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016112308.0A DE102016112308A1 (de) 2016-07-05 2016-07-05 Elektromagnetische Antriebs-/Empfangseinheit für ein Feldgerät der Automatisierungstechnik
DE102016112308.0 2016-07-05
PCT/EP2017/065629 WO2018007177A1 (de) 2016-07-05 2017-06-26 Elektromagnetische antriebs-/empfangseinheit für ein feldgerät der automatisierungstechnik

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109416273A CN109416273A (zh) 2019-03-01
CN109416273B true CN109416273B (zh) 2021-05-28

Family

ID=59270008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780041834.9A Active CN109416273B (zh) 2016-07-05 2017-06-26 用于自动化技术的现场装置的电磁驱动/接收单元

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11125602B2 (zh)
EP (1) EP3482174B1 (zh)
CN (1) CN109416273B (zh)
DE (1) DE102016112308A1 (zh)
WO (1) WO2018007177A1 (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015104533A1 (de) * 2015-03-25 2016-09-29 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Elektromagnetische Antriebs-/Empfangseinheit für ein Feldgerät der Automatisierungstechnik
DE102017114315A1 (de) 2017-06-28 2019-01-03 Endress+Hauser SE+Co. KG Temperaturbestimmung mit einem vibronischen Sensor
DE102017115147A1 (de) 2017-07-06 2019-01-10 Endress+Hauser SE+Co. KG Zustandsüberwachung einer Spule in einem Sensor
DE102018128734A1 (de) 2018-11-15 2020-05-20 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Sensor mit Temperaturkompensation
DE102019109487A1 (de) 2019-04-10 2020-10-15 Endress+Hauser SE+Co. KG Zustandsüberwachung eines vibronischen Sensors
DE102019131485A1 (de) 2019-11-21 2021-05-27 Endress+Hauser SE+Co. KG Zustandsüberwachung eines vibronischen Sensors
CN111504442B (zh) * 2020-04-27 2022-02-22 天津恒立远大仪表股份有限公司 一种音叉开关探头结构

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1250537A (zh) * 1968-07-10 1971-10-20
GB2185575A (en) * 1986-01-22 1987-07-22 Endress Hauser Gmbh Co Oscillating device for determining and/or monitoring a predetermined filling level in a container
TW370613B (en) * 1998-04-06 1999-09-21 Nohken Inc Vibration type level detector

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10050299A1 (de) 2000-10-10 2002-04-11 Endress Hauser Gmbh Co Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung der Viskosität eines Mediums in einem Behälter
DE10057974A1 (de) 2000-11-22 2002-05-23 Endress Hauser Gmbh Co Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung des Füllstands eines Mediums in einem Behälter bzw. zur Ermittlung der Dichte eines Mediums in einem Behälter
DE10237931A1 (de) 2002-08-14 2004-02-26 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Überwachung eines vorbestimmten Füllstands eines Messmediums in einem Behälter
DE102005015547A1 (de) 2005-04-04 2006-10-05 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102006016355A1 (de) 2006-04-05 2007-10-18 Vega Grieshaber Kg Vibrationssensor
DE102006033819A1 (de) 2006-07-19 2008-01-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102006034105A1 (de) 2006-07-20 2008-01-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102007013557A1 (de) 2006-08-02 2008-02-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102007041349A1 (de) * 2007-08-30 2009-03-05 Vega Grieshaber Kg Füllstandsmessvorrichtung zum Bestimmen und/oder Überwachen eines Füllstandes
DE102007043811A1 (de) 2007-09-13 2009-03-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung der Viskosität und entsprechende Vorrichtung
DE102009026685A1 (de) 2009-06-03 2010-12-09 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes, einer Phasengrenze oder der Dichte eines Mediums
DE102009028022A1 (de) 2009-07-27 2011-02-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer pysikalischen Prozessgröße eines Mediums
DE102010030982A1 (de) 2010-07-06 2012-01-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Regelung der Phase in einem Schwingkreis
HUE027883T2 (en) * 2013-05-08 2016-10-28 Grieshaber Vega Kg Vibration Level Switch
DE102013109331A1 (de) 2013-08-28 2015-03-05 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer Prozessgröße der Automatisierungstechnik
DE102015104536A1 (de) * 2015-03-25 2016-09-29 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße
DE102015104533A1 (de) 2015-03-25 2016-09-29 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Elektromagnetische Antriebs-/Empfangseinheit für ein Feldgerät der Automatisierungstechnik
DE102016112309A1 (de) * 2016-07-05 2018-01-11 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1250537A (zh) * 1968-07-10 1971-10-20
GB2185575A (en) * 1986-01-22 1987-07-22 Endress Hauser Gmbh Co Oscillating device for determining and/or monitoring a predetermined filling level in a container
TW370613B (en) * 1998-04-06 1999-09-21 Nohken Inc Vibration type level detector

Also Published As

Publication number Publication date
CN109416273A (zh) 2019-03-01
EP3482174A1 (de) 2019-05-15
EP3482174B1 (de) 2021-07-28
WO2018007177A1 (de) 2018-01-11
US11125602B2 (en) 2021-09-21
US20190226901A1 (en) 2019-07-25
DE102016112308A1 (de) 2018-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109416273B (zh) 用于自动化技术的现场装置的电磁驱动/接收单元
CN107407588B (zh) 用于工业控制和自动化的现场设备的电磁驱动单元/接收单元
CN109477750B (zh) 用于确定和/或监测至少一个过程变量的设备
US11360012B2 (en) Vibronic sensor
US7598820B2 (en) Magnetic drive for high and low temperature mechanical oscillators used in sensor applications
KR100311298B1 (ko) 진동식 레벨 검출장치
CN101477248B (zh) 双扭杆谐振扫描反射镜
JP3217770B2 (ja) 容器内の所定の充填状態を検出および／または監視するための装置
CN107250760B (zh) 用于确定和/或监视介质的至少一个过程变量的装置
CN107110694B (zh) 振动传感器
CN107407586B (zh) 具有调谐元件的电子振动传感器
WO2016150621A1 (de) VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG UND/ODER ÜBERWACHUNG ZUMINDEST EINER PROZESSGRÖßE
Garnier et al. A fast, robust and simple 2-D micro-optical scanner based on contactless magnetostrictive actuation
US11680842B2 (en) Vibronic sensor with temperature compensation
CN117120861A (zh) 磁场传感器和传感器组件
EP0450030B1 (en) Electroacoustic unit for generating high sonic and ultrasonic intensities in gases and interphases
JP2880503B2 (ja) 容器内において所定の充填レベルを達成及び／又は監視する装置
US20230083820A1 (en) Pulsed power generator for wireless sensor systems in harsh and inaccessible environments
EP4357032A1 (en) Vibrating fork type field device with coil arrangement to induce vibration
Bourouina et al. Magnetostrictive microactuators and application to two-dimensional optical scanners
SU734586A1 (ru) Виброзонд
WO2016026101A1 (en) Tuning fork with relaxor ferroelectric and composite

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant