KR100300831B1 - 제조공정변경제어장치및제어방법 - Google Patents

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Abstract

제조 공정 제어 시스템에서 제조 공정으로부터의 정보에 근거하여 제어를 수행하는 공정 변경 제어 장치가 제공된다. 상기 변경 제어 장치는 제조 공정 변경 제어를 수행하는 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법을 기록하는 기록 수단, 상기 기록 수단에 기록된 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 필요한 정보를 제조 공정으로부터 추출하고 기록하기 위한 정보 추출 수단, 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 상기 정보 추출 수단에 의해 추출된 정보의 통계학적 비교 판정을 수행하는 통계학적 비교 판정 수단, 및 상기 비교 판정 수단의 결과를 출력하는 출력 수단을 구비한다.

Description

제조 공정 변경 제어 장치 및 제어 방법 {MANUFACTURING PROCESS CHANGE CONTROL APPARATUS AND MANUFACTURING PROCESS CHANGE CONTROL METHOD}
본 발명은 제조 공정 변경 제어 장치 및 제조 공정 변경 제어 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 디바이스의 제조 공정을 위한 제조 제어 시스템에서 사용하기에 적합한 제조 공정 변경 제어 장치 및 제조 공정 변경 제어 방법에 관한 것이다.
과거에는, 공장에서의 제조 공정의 제어가 일반적으로 관리 도표 등을 사용하여, 실시간으로 행해졌으며, 제어 공정마다 수집된 임의의 경향에 비정상적인 것이 발견되는 경우에 원인을 신속하게 판정할 필요가 있다.
그러나, 반도체 공장에서와 같이, 동일한 장비가 매우 많은 회수로 사용되는 많은 공정 및 제조 공정을 갖는 공장에서, 제조 공정에 대한 장애의 원인이 복잡하게 상호 작용하여, 근본 원인을 발견하는데 많은 양의 시간이 소비되는 경우가 많다.
특히 제조와 비동기적으로 수행되는 장비 유지보수(maintenance)와 같은 변경 항목의 경우, 각각의 변경 항목이 제조 공정에 미치는 영향을 제어하는 것은 매우 어렵다.
상기 언급된 상황때문에, 반도체 공장과 같은 많은 제조 공장에서는, 품질 및 신뢰성을 향상시키는 것뿐만 아니라 제조 장비의 이용 효율을 증대시키고 제조 비용을 낮추기 위한 목적으로, 제조 공정 및 제조 공정을 관리하는 시스템을 자동화하기 위한 노력이 이루어지고 있다.
예를 들어, 제품의 품질을 제어하는 경우에, 모든 제조 공정을 제어할 필요가 있다.
특히 반도체 제조 공장에 대하여, 많은 제조 공정 수 및 그 복잡성 때문에, 각 공정의 품질의 관찰은 많은 양의 시간을 필요로 하고, 이는 인간에 의해 수행되는 제어를 제한하고 있다.
추가적으로 공정 사이의 복잡한 상호 관련성 때문에, 그저 각 개별적 공정만을 관리함으로써 제조 데이터에서의 장애 및 비정상의 원인을 발견하는 것이 어려우며, 이러한 접근 방법은 반드시 불충분한 것이 되고 만다.
이러한 상황 때문에, 전체 제조 공정의 자동화된 제어 및 개선이 가능하도록제조 공장을 구성하려는 시도를 해 왔고, 반도체 제조 공장에서의 품질 제어의 자동화를 목표로 한 공정 제어 시스템에 대한 하나의 예가, 예를 들어 일본 미 심사 특허 공개 번호 8-202775에 개시된 제조 공정 품질 문제 처리 시스템이다.
이러한 시스템에서, 공정 데이터 수집 장치에 의해 동일한 관리 단위마다 수집된 제조 데이터의 각각은 제품 규격에 따라 수립된 제어 값 및 제어 상한 및 제어 하한에 관련된 수집된 데이터 검사 장치에 의해 비교되고, 값이 설정 제어 범위 내에 있는지의 여부를 판정하는 비교가 행해지며, 만약 이러한 범위가 초과되면 경보가 발생되어, 작업자에게 비정상적인 것임을 알린다.
상기와 함께 동시에, 샘플링이 평균 값 및 산포도를 계산하는데 사용되고, 수집 데이터의 이러한 경향이 검사되며, 이러한 실제 데이터가 보다 엄격한 제어 범위의 자동 재설정을 위한 기초로 사용됨으로써, 제품 품질을 높은 수준으로 유지하기 위해 엄격한 품질 제어를 수행하는데, 이것은 일반적인 공정 제어 시스템 및 품질의 엄격한 제어를 수행하는 하나의 방법으로서 제안되어 있다.
상기 기술된 제조 공정 품질 비정상 처리 시스템에서, 각 공정에 대한 자동 규격(specification) 판정이 바로 이전의 제조 공정으로부터의 양호 또는 불량의 품질로서 단지 기본적으로 판정하게 되어, 경보가 발생되더라도, 이것은 단지 어떤 유형의 비정상적인 것이 제조 공정에서 발생되는가의 통지, 즉 공정이 제어 한도를 초과한다는 통지일 뿐이며, 이것은 제조 공정에서의 비정상 장소 또는 비정상의 원인의 통지를 제공하지는 않는다.
그러므로, 비록 경보를 사용하여 제조하는 것을 중단시켜 발생되는 비정상적인 제품을 최소화시킬 수 있지만, 비정상의 원인을 실제로 발견하는데 시간이 필요하고, 그 동안 제조 공정은 중단되기 때문에, 제조시 큰 손실을 입게 된다.
상기 언급된 문제가 발생하는 이유는 비정상의 원인에 대한 정보가 무시되기 때문이다.
총체적으로, 이와 같은 비정상의 원인은 다양하며, 갑자기 발생하는 장비 문제, 조건의 부적절한 설정 및 부적절한 유지보수와 같은 사람의 실수, 많은 원료간의 편차 또는 구입된 재료의 품질 변화를 포함하는 것으로 생각할 수 있다.
상기에서, 종래 제어 시스템으로 갑자기 발생하는 장비 문제를 피하기는 불가능하지만, 일반적으로 다른 문제에 관련된 몇몇 정보가 있으며, 과거의 제조 공정 품질 문제 처리 시스템이 비정상의 원인을 제시할 수 없는 이유는 절대적으로 이러한 정보의 연관성에 어떠한 고려도 하지 않기 때문이다.
본 발명은 상술한 상황의 관점에 비추어 이루어진 것으로, 변경점이 제조 공정에서 발생하는 경우, 변경점 이전의 동일한 정보와 변경점 이후의 각각의 변경 항목마다의 제조 공정시의 정보 간의 통계적인 비교 판정을 수행하여, 제조 데이터에서 비정상의 원인의 직접적이고 신속한 파악을 제공하고 신속한 교정 조치를 가능하게 하는 제조 공정 변경 제어 장치 및 제조 공정 변경 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 언급된 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 이하 기술된 바와 같이 제조 공정 변경 제어 장치 및 제조 공정 제어 방법을 제공한다.
구체적으로, 본 발명에 따른 제조 공정 변경 제어 장치는 제조 공정 제어 시스템에 제공되고, 제조 공정으로부터의 정보에 기초하여 제조 공정 변경 제어를 수행하는 장치이며, 이 장치는 제조 공정 변경 제어가 수행될 복수개의 변경 항목, 판정에 필요한 정보 및 판정 방법을 기록하는 기록 수단, 상기 언급된 기록 수단에 저장된 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후 각각에, 제조 공정으로부터 요구되는 정보를 추출하고 이러한 정보를 저장하는 정보 추출/저장 수단, 각각의 변경 항목마다의 하나의 변경점 이전 및 이후의 상기 정보 추출/저장 수단에 의해 추출된 정보의 통계적인 비교 판정을 수행하는 비교 판정 수단, 및 비교 판정 수단의 비교 판정 결과를 출력하는 출력 수단을 구비한다.
본 발명의 제조 공정 변경 제어 장치에서, 출력 수단에 비교 판정 수단의 결과를 디스플레이하는 디스플레이 수단 및 비교 판정 수단의 결과가 규격값을 초과하는 경우에 경보를 발생하는 경보 발생 수단이 제공되거나, 이와 같은 수단 모두가 제공된다.
본 발명의 제조 공정 변경 제어 장치에서, 비교 판정 수단은 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에서의 정보의 유의차 검사를 수행한다.
본 발명의 제조 공정 변경 제어 장치에서, 공정 제어 시스템에는 공정 시퀀스 제어 수단, 공정 조건 제어 수단, 공정 규격 제어 수단, 장비 제어 수단, 제품 이력 제어 수단, 장비 이력 제어 수단, 및 공정 품질 제어 수단이 제공된다.
한편, 본 발명의 제조 공정 변경 제어 방법은, 제조 공정으로부터의 정보에 근거한 제조 공정 변경 제어 방법으로, 제조 공정 변경 제어가 수행될 변경 항목,판정에 필요한 정보, 및 판정 방법이 기록되고, 변경점 이전 및 이후의 제조 공정으로부터 각 변경 항목마다의 정보가 추출되고 저장되며, 각각의 추출된 각 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후의 정보에 대해 통계학적 비교 판정이 수행되며, 비교 판정의 결과가 출력된다.
본 발명에 따른 제조 공정 변경 제어 장치에서의 전체적인 제조 공정에서, 기록 수단은 제조 공정 변경 제어가 수행될 변경 항목, 비교 판정에 필요한 정보, 및 비교 방법을 기록하고, 정보 추출/저장 수단은 기록 수단에 있는 각 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후의 제조 공정으로부터 필요한 정보를 추출하고 저장한다.
상기 추출된 정보는 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 대해, 비교 판정 수단에 의해 통계학적 비교 판정이 수행된다.
최종적으로, 출력 수단은 비교 판정 수단의 비교 판정 결과를 출력한다.
이러한 비교 판정 결과에 의해, 작업자로 하여금 변경점에 대한 조치가 취해지는지의 여부를 판정하여, 제조 공정의 신속한 조치 및 개선이 가능하게 한다.
추가적으로, 변경점이 제조 공정의 개선 또는 악화 여부를 명확하게 수립할 수 있도록 하기 위해, 제조 공정에 영향을 미치는 인자의 분석을 목적으로 데이터를 효과적으로 수집할 수 있다.
상기 언급된 통계학적 비교 판정을 수행하는 방법으로서는 유의차 테스트가 바람직하다. 이렇게 유의차 테스트를 수행하는 방법은 전술한 기록 수단에 기록되는 것이 바람직하다.
만일 디스플레이 수단 및 경보 발생 수단 모두가 출력 수단에 제공되면, 비교 판정 결과에 대해 신속한 디스플레이를 제공할 수 있고, 비교 판정 결과가 규격값을 초과하였다는 것을 나타낸 경우에 경보를 발생시켜, 비정상의 발생의 신속한 통지를 제공할 수 있다.
본 발명의 제조 공정 변경 제어 방법에서, 공정 변경 제어가 수행될 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법이 기록되고, 각각의 기록 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 필요한 정보가 이전 및 후속하는 제조 공정의 정보로부터 추출되고 저장되며, 각각의 추출된 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후의 정보에 대해 통계학적 비교가 수행되며, 비교 판정의 결과가 출력되어서, 제조 공정에 대해 신속한 조치 및 개선된 측정이 취해질 수 있다.
게다가, 제조 공정에 영향을 미치는 인자를 분석하기 위해 정보를 효과적으로 수집하는 것이 가능하고, 이는 변경점을 가진 공정 영향의 명확한 식별을 가능하게 한다.
본 발명에서, 제조 공정 변경 제어 방법은, 제조 공정 변경 제어가 각각에 대해 수행될 복수의 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법을 기록하는 단계, 제조 공정으로부터, 저장된 변경 정보의 각각에 대한 변경점 이전 및 이후에 필요한 정보를 추출하고, 이를 메모리 수단에 저장하는 단계, 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 상기 추출된 정보의 통계학적 비교 판정을 수행하는 단계, 및 비교 판정의 결과를 출력하는 단계와 같은 방법으로 더 구체화된다.
그리고 여기서 복수의 변경 항목은 제조 공정 변경 제어를 구현하기 위해 명령에 따라 수행되는 공정 변경 동작의 각각에 대해 미리 수립된다.
더욱이, 제조 공정 변경 제어 방법은 제조 공정의 제조 조건중의 적어도 하나가 변경되면, 이와 같은 조건 및 변경점 이전 및 이후에 있어서의 변경에 관련된 변경 항목들중의 하나에 관련된 미리 정해진 복수의 정보 샘플이 메모리 수단으로부터 각각 추출되되, 변경점 이전에 얻어진 추출된 정보 샘플을 구성하는 하나의 정보 그룹이 변경점 이후에 얻어진 추출된 정보 샘플을 구성하는 다른 정보 그룹과 비교되는 점에서 더 특징이 있다.
본 발명에서, 예를 들어 반도체 기판을 제조하기 위한 제조 공정에 많은 수의 변경이 존재한다는 것과, 변경 항목은 예를 들어 사용될 재료 변화, 필터의 교체, 가스의 유량 변화 등을 포함하며, 이와 같은 변경 항목들중의 각각은 이와 같은 제조 공정의 일부 또는 일부들의 몇가지 공정 조건이 명령에 따라 변경된다는 사실에 대해 특수한 관계를 갖는다는 것을 알아야 한다.
그리고, 일반적으로, 이와 같은 조건이 변경되면, 이와 같은 변경에 의해 다른 많은 인자(항목)들도 역시 영향을 받아, 제품의 특성에 귀결되는 공정 조건이 종종 크게 변경될 수 있다.
그래서, 제품의 특성이 어떻게 변경되었는지 그리고 제품의 변경된 특성을 미리 정해진 특성으로 복원시키기 위한 좋은 방법이 무엇인지를 점검하기 위해 제품의 특성이 다양한 관점에서 관찰되어야 한다.
따라서, 본 발명에서는, 예를 들면, 필터가 교체되어야 할 때, 가스의 유량, 그 압력, 가스의 농도, 제품의 특성 등과 같은 모니터될 복수의 변경 항목들이 미리 설정된다.
그래서, 필터가 교체되어야 할 때, 예를 들어 상술된 변경 항목들이 선정되고, 그에 관련된 정보가 상술된 기록 수단으로부터 추출된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 제조 공정 변경 제어 장치가 구비된 제조 제어 시스템을 도시하는 블록도.
도 2는 본 발명에 따른 제조 공정 제어 장치의 실시예의 상세한 구성을 도시하는 블록도.
도 3은 본 발명에 따른 변경 제어 장치의 실시예에 따른 변경 제어 방법의 예를 도시하는 순서도.
도 4는 본 발명에 따른 변경 제어 장치의 실시예에서 테스팅 방법의 예를 도시하는 비교 공정 데이터의 시간변화 그래프.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 제조 제어 시스템
2 : 공정 시퀀스 제어 장치
3 : 공정 조건 제어 장치
4 : 공정 규격 제어 장치
5 : 장비 제어 장치
6 : 제품 이력 제어 장치
7 : 장비 이력 제어 장치
8 : 공정 품질 제어 장치
9 : 변경 제어 장치
10 : 제어 대상 기록 장치
11 : 관련 이력 추출 장치
12 : 비교 판정 장치
13 : 판정 결과 출력 장치
13a : 디스플레이 장치
13b : 부저
21 : 변경전 시간 변화 데이터
22 : 변경후 시간 변화 데이터
본 발명에 따른 제조 공정 변경 장치 및 제조 공정 변경 제어 방법의 실시예가 첨부하는 도면을 참조하여 서술될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 실시예의 제조 공정 변경 제어 장치가 구비된 제조 제어 시스템을 도시하는 블록도이다.
도면에서, 참조번호 1은, 공정 시퀀스 제어 장치(공정 시퀀스 제어 수단)(2), 공정 조건 제어 장치(공정 조건 제어 수단)(3), 공정 규격 제어 장치(공정 규격 제어 수단)(4), 장비 제어 장치(장치 제어 수단)(5), 제품 이력 제어 장치(제품 이력 제어 수단)(6), 장비 이력 제어 장치(장비 이력 제어 수단)(7), 공정 품질 제어 장치(공정 품질 제어 수단)(8), 및 변경 제어 장치(제조 공정 변경 제어 장치)(9)에 의해 구성되는 제조 제어 시스템을 나타낸 것으로, 이들 제어 장치(2 내지 9)는 그들 간에 데이터를 상호 전달할 수 있다.
제조 공정을 시작하기 전에, 작업자는 필요한 정보를 제어 장치(2 내지 9)에 저장한다.
공정 시퀀스 제어 장치(9)는 각각의 제조 공정에 대한 공정 시퀀스를 제어하고, 공정 조건 제어 장치(3)는 각 제품의 각 공정에 대한 다양한 조건을 제어한다.
공정 규격 제어 장치(4)는 각 제조 공정에 대한 제어 공정의 규격값들을 제어하고, 제조 공정에서 수집된 데이터가 규격 내에 있는 지의 여부를 평가하고, 만일 규격 내에 있다면 생산 롯(lot)의 제조를 계속한다.
그러나, 만일 규격이 초과되었다면, 공정 규격 제어 장치(4)는 생산 롯의 제조를 중지한다. 장비 제어 장치(5)는 제조에 관련된 장비의 각 부품을 제어하고, 장비의 각 부품에 대한 동작 정보 및 온 라인 수집 데이터의 포맷팅을 제어한다.
제품 이력 제어 장치(6)는 각각의 제조 공정 및 각각의 생산 롯에 대한 생산 정보의 기록 제어를 수행한다.
장비 이력 제어 장치(7)는 각각의 장비로부터 보고된 각 유형의 장비의 각각의 개별적인 부품의 동작 정보의 기록 제어를 수행한다.
공정 품질 제어 장치(8)는 제품 이력 제어 장치(6) 및 장비 이력 제어 장치(7)에 의해 수집된 다양한 데이터의 수집 및 계층화를 수행하고, 지정된 품질 제어 방법에 따라 그 통계학적 처리를 수행하며, 만일 공정 결과가 제어 규격 이내이면 해당 생산 롯의 제조를 계속한다.
그러나, 만일 처리 결과가 제어 규격 외이면, 공정 품질 제어 장치(8)는 해당 생산 롯에 비정상이 발생하였는 지를 판정하고 경보를 발생한다.
도 2는 변경 제어 장치(9)의 상세한 구성을 도시하는 블록도로, 상기 장치는 제품 이력 제어 장치(6) 및 장비 이력 제어 장치(7)에 의해 수집된 다양한 데이터로부터 필요한 정보의 추출을 수행하고, 또한 변경 제어를 수행한다.
상기 변경 제어 장치(9)는 변경 제어 대상 기록 장치(기록 수단)(10), 관련 이력 추출 장치(정보 추출/기록 수단)(11), 비교 판정 장치(비교 판정 수단)(12),및 디스플레이 장치(디스플레이 수단)(13a)와 부저(경보 발생 수단)를 갖는 판정 결과 출력 장치(출력 수단)(13)에 의해 형성된다.
변경 제어 대상 기록 장치(10)는 제조 공정 변경 제어가 수행될 복수의 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법을 기록하고; 예를 들면 공정 시퀀스 유지보수 이력, 공정 조건 유지보수 이력, 장비 유지보수 이력, 재료 롯 변경 이력, 다른 변경 이력, 및 변경 제어 방법 등을 기록하며; 그리고 저장되어 있는 항목들의 각각에 대해 변경일 및 시간, 비교 공정 데이터명, 테스트 방법, 테스트 수, 테스트 시간 및 테스팅에 필요한 다른 정보(판정에 필요한 정보)와 같은 다양한 제조 파라메타의 유지보수 이력으로부터 필요한 항목을 지정한다.
관련 이력 추출 장치(정보 추출 수단)(11)는 제품 이력 제어 장치(6) 및 장비 이력 제어 장치(7)로부터 변경 제어 대상 기록 장치(10)에 의해 지정된 데이터(필요한 정보)를 수집한다.
비교 판정 장치(12)는 관련 이력 추출 장치(11)에 의해 추출된 변경점 이전 및 이후의 다양한 정보의 통계학적 비교 판정을 수행하되, 변경 제어 대상 기록 장치(10)에 의해 지정된 테스트 방법에 따라 유의차 테스트가 수행되고, 유의차가 판정된 경우, 비교 결과 출력 장치(13)에 경보를 테스트 결과로서 전송한다.
판정 결과 출력 장치(13)에서, 그에 전달된 경보 및 테스트 결과가 디스플레이 장치(13a)에 출력되고, 경보 소리가 부저(13b)에 의해 발생되어, 테스트 결과를 통지하게 된다.
그러나, 만일 유의차 신호의 결과가 유의차가 아닌 신호이면, 테스트 결과만이 판정 결과 출력 장치(13)로 전달되고, 판정 결과 출력 장치(13)는 이 테스트 결과를 디스플레이 장치(13a)에 출력한다.
도 3은 변경 제어 장치(9)에 따른 변경 제어 방법의 예를 도시하는 순서도이다.
(제조 조건의 변경 및 설비 유지보수와 같은) 제조상의 인자에서 제조 공정과 관련하여 비동기적으로 수행되는 제조 활동 중에서, 변경 제어에 필요한 것으로 간주되는 변경점이 변경 제어 대상 기록 장치(10)에 기록된다.
기록된 내용은 변경점 이름, 변경점 일시, 비교 공정 데이터명, 테스트 방법, 테스트의 수, 및 테스트 시간 주기와 같은 항목이다.
본 발명의 실시예에 사용된 비교 공정 데이터명은 제품, 압력 정보, 가스의 유량 정보 또는 필터와 같은 제조 공정에서의 조건 변경에 따른 변경 항목중의 하나에 관련된 것과 같은 정보의 데이터 또는 정보 관련 특성을 나타낸다.
관련된 이력 추출 장치(11)는 제품 이력 제어 장치(6) 및 장비 이력 제어 장치(7)로부터, 미리 정해진 테스트 수 또는 변경 제어 대상 장치(10)에 기록된 변경일 및 시간 이전 및 이후의 미리 정해진 테스트 시간 주기에서 우선적으로 발생하는 어느 하나에 대한 비교 공정 데이터를 추출하여 기록한다.
이때, 추출된 데이터가 비교 공정 데이터인지의 여부가 판정되고, 만일 비교 공정 데이터이면, 데이터가 기록되고, 비교 공정 데이터가 아니면 상기 추출된 데이터는 폐기된다.
다음에, 데이터의 수가 판정량에 도달하였는 지의 여부가 판정된다.
만일 데이터의 판정량이 도달되지 않았으면 보다 많은 비교 공정 데이터가 수집되고, 만일 그 수가 도달되었으면 순서는 다음 단계로 진행한다.
한편, 미리 정해진 수까지 이와 같은 정보 샘플을 교정하는 대신에, 미리 정해진 검사 시간이 지난 후 비교 판정이 수행될 수 있다.
비교 판정 장치(12)는 변경 일시 이전 및 이후 동안 변경 제어 대상 기록 장치(10)에 기록된 테스트 방법에 따라 통계학적 유의차 신호를 수행한다.
만일 유의차가 존재하면, 변경점 이름 및 테스트 결과가 판정 결과 출력 장치(13)로 보내지고, 만일 유의차가 존재하지 않으면, 이 변경점 이름은 처리될 변경 리스트로부터 제거된다.
판정 결과 출력 장치(13)는 테스팅 결과의 내용을 출력하고, 경보가 디스플레이 장치(13a)에 출력되어 부저(13b)로 하여금 경보 소리를 발생하게 한다.
디스플레이 장치(13a) 및 부저(13b)에 의해, 작업자는 변경일 및 시간 이전 및 이후에 유의차가 있었다는 것을 알 수 있고, 상기 유의차의 원인을 조사하고 이 정보를 제조 향상을 목적으로 이용할 수 있다.
도 4는 변경 제어 장치(9)에서의 테스팅 방법의 예를 도시하는 것으로, 비교 공정 데이터의 시간 편차를 도시하는 그래프이다.
상기 도면에서, 참조 번호 21은 공정 조건이 변경되기 전의 한 변경 항목의 시간변화 데이터를 지칭하고, 22는 공정 조건이 변경된 후 동일한 변경 항목의 시간변화 데이터를 지칭하고, Xf는 변경후의 평균값이고, △X는 변경 Xi 이전의 평균과 변경 Xf 이후의 평균 간의 차이이다.
비교 판정 장치(12)는 변경 제어 대상 기록 장치(10)에 의해 지정된 비교 공정 데이터에 관련된, 변경일 및 시간 이전 및 이후 데이터의 통계학적 처리를 수행한다.
예로서, 변경 이전의 시간변화 데이터(21)의 평균값 Xi와 변경이 계산된 이후 시간변화 데이터(22)의 평균값 Xf 간의 차이 △X와 같은 평균값의 차이를 이용하는 비교를 고려한다.
만일 이 차이 △X가 변경 제어 대상 기록 장치(10)에 의해 지정된 테스팅 방법의 값인 X0보다 크면, 유의차가 존재하는 것으로 판정되고, 이에 따라 판정 결과 출력 장치(13)에 경보가 출력된다.
본 실시예에 사용된 평균값 대신에 다양한 테스팅 방법을 사용할 수 있다.
본 발명의 본 실시예에서, 변경에 대한 항목의 리스트가 이전에 발생되고, 이 항목에 관련된 제조 공정 데이터가 자동으로 수집되고, 변경 이전 및 이후에 차이가 존재하였는 지를 결정하기 위해 자동 테스팅이 수행된다.
이렇게 함으로써, 상기 테스트의 결과로서 유의차가 판정된 경우에, 경보가 발생되어 제조 공정에서의 변경이 존재하였다는 것이 통지되고, 이와 동시에 변경의 원인을 직접 나타낼 수 있어 향상을 달성하는데 필요한 시간을 단축시키게 된다.
상술된 바와 같이 본 발명의 제조 공정 변경 제어 장치에 따르면, 변경 제어 장치에 제조 공정 변경 제어가 수행될 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법을 기록하는 기록 수단; 기록 수단에 저장된 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 제조 공정으로부터 필요한 정보 및 이 정보를 기억하는 정보 추출/기록 수단; 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 상술된 정보 추출/저장 수단에 의해 추출된 정보의 통계학적 비교 판정을 수행하는 비교 판정 수단; 및 비교 판정 수단의 비교 판정 결과를 출력하는 출력 수단이 구비되기 때문에, 상기 비교 결과가 변경점에 대한 교정 조치를 취할 지의 여부에 대해 신속하게 판정하는데 사용될 수 있어, 제조 공정과 관련된 신속한 조치 및 향상을 가능하게 한다.
변경점이 제조 공정의 향상 또는 그 악화인지를 명확히 결정할 수 있기 때문에, 제조 공정에 영향을 미치는 인자를 분석하기 위한 정보를 효율적으로 수집할 수 있다.
부수적으로, 만일 디스플레이 수단 또는 경보 발생 수단 또는 이들 모두가 출력 수단에 제공되면, 비교 판정 결과를 즉시 알리는 것이 가능하며, 비교 판정 결과가 규격 이외의 조건을 나타내는 경우에는 경보가 발생되어 비정상적인 경우의 발생을 신속하게 알 수 있게 된다.
본 발명의 제조 공정에 따르면, 본 발명의 제조 공정 변경 제어 장치에 따르면, 제조 공정 변경 제어가 수행될 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법이 기록되기 때문에, 기록되는 각각의 항목마다의 변경점 이전 및 이후 동안 제조 공정으로부터 필요한 정보가 추출되고, 통계학적 비교 판정이 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 추출되고, 이 비교 판정의 결과가 출력되어 제조 공정을 교정하고 향상시키기 위한 신속한 조치가 취해질 수 있게 된다. 부수적으로, 제조 공정에 대한 변경점의 영향을 분명하게 알 수 있기 때문에, 제조 공정에 영향을 미치는 인자를 분석하기 위한 정보를 효율적으로 수집할 수 있다.

Claims (7)

  1. 제조 공정을 위한 제조 제어 시스템에 제공되며, 상기 제조 공정으로부터 발생된 정보에 기초하여 상기 제조 공정의 변경 제어를 수행하는 제조 공정 변경 제어 장치에 있어서,
    제조 공정 변경 제어가 수행될 복수의 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법을 기록하기 위한 수단;
    상기 제조 공정으로부터 발생된 정보로부터 상기 기록 수단에 저장된 상기 각각의 변경 항목마다 변경점 이전 및 이후 필요한 정보를 추출하고, 상기 필요한 정보를 기록하기 위한 정보 추출 및 기록 수단;
    각각의 변경 항목마다 상기 변경점 이전 및 이후에 얻어지고, 상기 정보 추출 및 기록 수단에 의해 추출된 정보에 대한 비교 판정을 통계학적으로 수행하기 위한 비교 판정 수단; 및
    상기 비교 판정 수단의 비교 판정 결과를 출력하기 위한 출력 수단
    을 구비하는 제조 공정 변경 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 출력 수단은 상기 비교 판정 결과를 디스플레이하기 위한 디스플레이 수단, 및 상기 비교 판정 결과가 미리 정해진 규격 (specification) 이외의 조건을 나타내는 경우에 경보를 발생하기 위한 경보 발생 수단으로 이루어지는 그룹중의 적어도 하나를 갖는 제조 공정 변경 제어 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 비교 판정 수단은 각각의 변경 항목마다 변경점 이전 및 이후의 정보에 대해 유의차 테스트(significant difference test)를 수행하는 제조 공정 변경 제어 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제조 제어 시스템에는 공정 시퀀스 제어 수단, 공정 조건 제어 수단, 공정 규격 제어 수단, 장비 제어 수단, 제품 이력 제어 수단, 장비 이력 제어 수단, 및 제품 품질 제어 수단이 구비되는 제조 공정 변경 제어 장치.
  5. 제조 공정으로부터의 정보에 근거한 제조 공정 변경 제어 방법에 있어서,
    각각에 대해 제조 공정 변경 제어가 수행될 복수의 변경 항목, 판정에 필요한 정보, 및 판정 방법을 기록하는 단계;
    상기 제조 공정으로부터, 상기 저장된 각각의 변경 항목마다의 변경점 이전 및 이후에 필요한 정보를 추출하고, 이를 메모리 수단에 저장하는 단계; 및
    각각의 변경 항목마다 상기 변경점 이전 및 이후에 상기 추출된 정보의 통계학적 비교 판정을 수행하는 단계
    를 포함하는 제조 공정 변경 제어 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 변경 항목은 상기 제조 공정 변경 제어를 구현하기 위해 명령에 따라 수행되는 각각의 공정 변경 동작마다 미리 수립되는 제조 공정 변경 제어 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제조 공정의 제조 조건중의 적어도 하나가 변경되면, 이와 같은 조건 및 상기 변경점 이전 및 이후에서의 상기 변경에 관련된 상기 변경 항목들중의 하나에 관련된 미리 정해진 복수의 정보 샘플이 상기 메모리 수단으로부터 각각 추출되고, 상기 변경점 이전에 얻어진 상기 추출된 정보 샘플을 구성하는 하나의 정보 그룹이 상기 변경점 이후에 얻어진 상기 추출된 정보 샘플을 구성하는 다른 정보 그룹과 비교되는 제조 공정 변경 제어 방법.
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