KR970060347A - 반도체 제조공정 관리방법 - Google Patents
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Abstract
반도체장치 제조를 위하여 수행되는 공정을 변경시킬 때 변경사항을 온라인으로 통보하고 데이터로 이력관리하는 반도체 제조공정 관리방법에 관한 것이다.
본 발명은, 반도체 제조공정 중 공정변경사유가 발생되면 이를 호스트컴퓨터에 접속된 단말기로 통보하여 디스플레이시키고 변경된 공정을 수행시키는 반도체 제조공정 관리방법에 있어서, 상기 공정변경사유를 검토하여 상기 호스트컴퓨터 데이터베이스의 자료로 저장하는 단계 및 상기 변경된 공정이 적용된 결과를 분석하여 상기 데이터베이스의 자료로 저장하는 단계를 포함하여 이루어진다.
따라서, 공정변경사항 및 변경수행된 공정의 분석결과가 데이터베이스로 저장되어 활용되므로 전반적인 공정시스템 운영 효율성을 극대화시키는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 반도체 제조공정 관리방법의 실시예를 나타내는 흐름도이다.
Claims (1)
- 반도체 제조공정 중 공정변경사유가 발생되면 이를 호스트컴퓨터에 접속된 단말기로 통보하여 디스플레이시키고 변경된 공정을 수행시키는 반도체 제조공정 관리방법에 있어서, 상기 공정변경사유 및 조건데이터를 검토하여 상기 호스트컴퓨터 데이터베이스의 자료로 저장하는 단계; 및 상기 변경된 공정이 적용된 결과를 분석하여 상기 데이터베이스의 자료로 저장하는 단계; 를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조공정 관리방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960001547A KR970060347A (ko) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 반도체 제조공정 관리방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960001547A KR970060347A (ko) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 반도체 제조공정 관리방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970060347A true KR970060347A (ko) | 1997-08-12 |
Family
ID=66218491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960001547A KR970060347A (ko) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 반도체 제조공정 관리방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970060347A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6295478B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-09-25 | Nec Corporation | Manufacturing process change control apparatus and manufacturing process change control method |
-
1996
- 1996-01-24 KR KR1019960001547A patent/KR970060347A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6295478B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-09-25 | Nec Corporation | Manufacturing process change control apparatus and manufacturing process change control method |
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