KR100296696B1

KR100296696B1 - 용적형유체압축기와피막형성방법

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Publication number: KR100296696B1
Application number: KR1019970045506A
Authority: KR
Inventors: 유지 요시토미; 고이치 이나바; 고이치 세키구치; 요시시게 엔도; 에이이치 사토; 아키히코 야마모토
Original assignee: 가나이 쓰도무; 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
Priority date: 1996-09-05
Filing date: 1997-09-02
Publication date: 2001-10-24
Also published as: MY116142A; CN1185539A; JPH1077978A; KR19980024272A; CN1109197C; JP3496109B2; US6079963A; IN190529B

Abstract

용적형 유체압축기에 관한 것으로서, 용적형 유체압축기에 있어서 장기간 운전을 실행해도 부재로 부터의 피막의 박리가 없고 실성이 양호하며 또한 융합성도 우수한 피막을 제공하고 고효율인 압축기를 실현하기 위해, 고정스크롤(21)과 이 고정스크롤(21)과 조합되어 밀폐공간을 형성하는 선회스크롤(22)를 포함해서 이루어지는 스크롤 압축기에 있어서, 선회스크롤(22)의 외부 표면에 주석화합물을 함유하는 막두께 약 50㎛의 주석화합물 피막(1)을 형성하였다.

이것에 의해, 고정자와 회전자가 서로 접촉하는 부재표면에 비교적 간편하고 저렴한 방법으로 주석화합물을 함유하는 피막을 형성할 수 있고, 장기간 운전을 실행해도 부재로 부터의 피막의 박리가 없고 실성이 양호하며 또한 융합성도 우수한 피막을 제공할 수 있으므로 고효율인 압축기를 실현할 수 있다는 효과가 얻어진다.

Description

용적형 유체압축기와 피막형성방법

본 발명은 용적형 유체압축기에 관한 것으로서, 특히 공조기, 냉장고, 공기 압축기에 이용되는 스크롤압축기의 고효율화에 적합한 표면처리에 관한 것이다.

고정자와 회전자에 의해 형성되는 밀폐공간을 회전자의 운동에 따라서 이 밀폐공간을 점점 감소시켜 유체를 흡입, 압축, 토출하는 용적형 유체압축기, 특히 1쌍의 소용돌이체(랩)을 각도를 어굿나게 해서 맞물리게 하고 상대적인 원운동을 실행시켜서 양랩 사이에 형성된 밀폐공간을 중심부을 향해서 이동시키면서 그 용적을 압축하고, 중심부에서 압축된 유체를 토출시키는 스크롤압축기에 있어서는 종래부터 여러가지 표면처리방법이 고안되고 있다. 이 표면처리의 목적은 압축기의 효율에 크게 영향을 미치는 랩 사이 및 랩과 상대측의 평판(경판)과의 사이의 피압축유체의 누출을 극력 적게 하는 것과 서로 접촉하는 부재간의 슬라이딩특성을 양호하게 해서 마찰손실에 의한 효율저하를 방지하는 것에 있다.

예를 들면, 일본국 특허공개공보 소화55-81294호에는 스크롤부재중의 어느 한쪽에 구리 또는 연청동 도금을 실시하는 방법이 개시되어 있다. 또, 일본국특허공개공보 소화58-57002호에는 슬라이딩부의 내마모성과 융합성(fitting)을 만족시키는 방법으로서, 고주파 열처리(quenching)와 인산망간 피막처리(류브라이트 처리)를 실행하는 방법이 개시되어 있다. 한편, 스크롤부재의 랩과 경판을 직접 접촉시키지 않는 방법으로서 랩선단에 소용돌이를 따라서 홈을 형성하고, 이 홈에 슬라이딩성과 내마모성이 양호한 엔지니어플라스틱을 매립하는 방법(칩실(chip sealling))도 여러가지 제안되어 있고, 에를 들면 일븐국 특허공개공보 평성 3-246389호에는 이 칩실과 홈과의 틈새를 적게 하는 방법이 개시되어 있다.

스크롤 압축기의 슬라이딩부 표면에 도금피막과 같이 부재와는 다른 재질의 피막을 마련하는 경우, 압축공정에서 온도, 압력이 상승하고 또 외주부와 중심부에서 온도차, 압력차가 발생하는 등 여러가지 조건이 변화하므로, 피막에는 반복해서 응력이 가해지고 장기적으로는 도금피막에 균열이 발생하여 막박리를 일으키고 최악의 경우에는 이 박리한 피막의 파편이 이상마모의 발단으로 되는 경우도 있다.

또, 슬라이딩부의 표면에 인산망간처리를 실시한 경우에는 슬라이딩특성, 내마모성에 양호한 특성이 얻어지지만, 인산망간피막(류브라이트피막)은 비교적 경질로 표면요철이 크므로, 조립단계에서 슬라이딩부가 융합될때까지의 시간이 걸려 생산성에 문제가 있었다. 예를 들면, 선회스크롤에 류브라이트처리를 약 10㎛ 실시한 경우, 융합되어 압축기의 성능이 안정해질 때까지 5시간 이상 필요 하였다. 또, 이러한 종류의 자기성장형 피막은 얻어지는 막두께에 제한이 있고 최대라도 15㎛정도이다.

상술한 바와 같이 스크롤압축기를 작동시킨 경우에는 외주부 즉 가스흡입부와 중심부 즉 가스토출부와의 압력차, 온도차가 발생하므로 선회, 고정스크롤 모두 변형한다. 이 변형에 의해, 특히 선회스크롤의 랩높이방향의 변형은 상대측의 고정스크롤과의 갭을 증대시켜서 누출을 크게 하므로 압축기의 효율을 대폭으로 저하시킨다. 상세하게 설명하면, 외주부는 온도도 압력도 낮고 중심부를 향할 수록 온도, 압력 모두 높아진다. 따라서, 선회스크롤의 랩에는 중심부에서 외주부를 향해서 응력이 가해지고, 이 때문에 마치 꽃잎이 피는 것과 같이 변형한다. 그 때문에, 선회스크롤의 기어의 선단(랩)과 고정스크롤의 경판의 갭은 중심부에서 외주부를 향해 확대되고 그 결과 누출이 크게 되어 압축기의 효율은 저하한다. 이 변형량(높이방향의 변형량)은 압축기의 운전조건에 따라 다르지만, 최대 20㎛정도로 된다. 따라서, 종래의 류브라이트피막과 같은 자기성장형 피막에서는 15㎛정도가 최대막두께이므로, 이 변형량분을 피막에 의해 흡수할 수는 없다.

즉, 랩에 미리 임의의 두께의 피막을 부착해 두고 피막면이 슬라이딩의 상대쪽과 접하도록 조립하고 운전상태로 되어 랩을 슬라이딩의 상대쪽으로 누르는 방향으로 변형시키는 힘이 발생하면, 피막을 슬라이딩의 상대쪽과 접촉슬라이딩시켜서 마모시키는 것에 의해 랩 지금(地金)금속이 슬라이딩의 상대쪽과 접촉하는것을 피하도록 해도 피막의 막두께가 랩의 변형량보다 적으면 랩의 지금금속이 슬라이딩의 상대에 당접하게 된다. 그 결과, 중심부의 랩선단에서는 피막이 모두 마모하고 지금금속이 상대측의 고정스크롤 경판과 슬라이딩하게 된다. 이 지금이 철계인 경우, 예를 들면 FC250과 같은 주물인 경우에는 거의 마모하지 않으므로 장시간 운전해서 이 부분을 마모시키지 않으면 갭은 좁아지지 않고 효율은 향상하지 않는다.

한편, 랩선단에 소용돌이를 따라 홈을 형성하고 이 홈에 슬라이딩성과 내마모성이 양호한 엔지니어 플라스틱을 매립하는 방법(칩실)은 안정한 슬라이딩특성이 얻어지지만, 아무리 해도 소용돌이방향의 누출(칩실의 이면, 측면과 홈의 틈새를 통한 누출)이 발생하고 그 때문에 압축기의 효율을 향상시키는 것이 곤란하다.

본 발명의 목적은 용적형 유체압축기에 있어서 장기간 운전올 실행해도 부재로 부터의 피막의 박리가 없고 실성이 양호하고 또한 융합성도 우수한 피막을 제공하고 고효율인 압축기를 실현하는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예를 도시한 수순도,

도 2는 본 발명의 실시예를 도시한 스크롤 압축기의 종단면도,

도 3은 도 2의 부분 확대단면도,

도 4는 본 발명의 주석화합물 피막의 단면조직을 도시한 사진,

도 5는 본 발명을 응용한 스크롤 압축기의 특성을 설명하는 그래프.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 주석화합물 피막 21 : 고정스크롤

21a : 고정스크롤의 경판 21b : 고정스크롤 랩

22 : 선회스크롤 22a : 선회스크롤의 경판

22b :선회스크롤 랩 23 : 흡입구

24 : 토출포트 25 : 케이싱

26 : 핀크랭크 27, 28 : 축받이

29 : 크랭크축 210 : 구동축

211 : 평형추 212a : 상부축받이

212b : 하부축받이 213 : 축 봉지재

216 : 그리스누출 방지용 실재

상기 목적은 고정자와 회전자가 서로 접촉하는 고정자와 회전자의 표면중의 어느 한쪽 또는 양쪽에 주석화합물을 함유하는 피막(이하, 주석화합물 피막이라고 한다)을 소정 두께로 형성하는 것에 의해 달성된다.

주석화합물 피막의 형성에는 우선 대상부재를 알카리탈지한 후 순수한 물로 씻어낸다. 이 때, 알카리탈지의 용액은 예를 들면 50∼80℃정도로 승온하는 것이 바람직하다. 다음에, 이 부재표면을 무기산(mineral acid)으로 산화 에칭한다. 무기산으로서는 염산, 황산, 질산, 플루오르화 수소산의 수용액중의 어느 하나 또는 이들의 혼합수용액을 사용한다. 이때의 수용액의 온도는 실온이 바람직하지만, 50℃정도로 가온해도 지장없다. 예를 들면 질산을 사용하는 경우에는 5wt%의 질산수용액을 사용하는 것이 바람직하다. 에칭후, 순수한 물로 씻어내고 다음에 표면의 pH조정을 위해 알카리 수용액으로 조정한다.

알카리 수용액에는 예를 들면 수산화나트륨을 0.5∼1wt% 용해한 수용액을 사용하면 좋다. pH조정했으면 다시 물로 씻어낸다. 또, 이 pH조정 및 pH 조정후의 물세정은 실행하지 않고 에칭후 순수한 물로 씻어내어 그대로 다음 공정으로 진행해도 좋다.

다음에, 주석산염을 주성분으로 하는 혼합수용액으로 피막형성처리를 실행한다. 주석산염 이외에는 pH조정제, 반응촉진제, 안정제 등을 혼합시키는 것이 바람직하다. 주석산염으로서는 주석산 칼륨, pH조정제로서는 수산화 나트륨, 반응촉진제, 안정제로서는 2인산 나트륩이나 초산나트륨 등이 바람직하다.

또, 하이포인산 나트륨등을 첨가해서 환원반응을 더욱 촉진시켜도 좋다. 이때의 용액의 온도는 80℃∼95℃가 바람직하다. 80℃보다 낮은 온도에서는 반응속도가 불충분하여 만족할만한 주석화합물 피막이 형성되지 않는다. 또, 95℃이상에서는 부재와 반응하기 전에 혼합용액중에서 반응이 촉진되어 부재와의 혼합물을 안정하게 형성하는 것이 곤란하다. 또, 피막형성시간은 필요로 하는 막두께에 따라서 임의로 설정하면 좋다. 처리후에는 물로 씻어낸 후 150∼200℃에서 건조, 소성을 실행하는 것이 바람직하다.

이 주석화합물 피막은 도금피막과 같이 부재상에 부재와는 다른 재질을 코팅하는 것이 아니라 부재와의 화합물을 형성해서 생긴 것이기 때문에 부재로부터의 박리등을 없앨 수 있다. 이 때, 주석화합물 피막은 고정자 또는 회전자 중의 어느 한쪽에 형성하는 것에 의해 층분히 양호한 실성, 융합성을 얻을 수 있지만, 양쪽에 형성해도 동동한 특성을 얻을 수 있다. 이 주석화합물은 특히 부재가 철계재료, 예를 들면 주철, 탄소구리 등의 경우에 적합하고 이 경우 화합물은 Fe-Sn화합물로 되어 우수한 융합성을 니타낸다.

형성된 주석화합물 피막은 Fe-Sn화합물의 비교적 연질의 표면요철을 갖고 또한 다공질형상을 하고 있으므로, 도금막과 같이 응력에 의해 피막에 균열을 일으키는 일이 없음과 동시에 비교적 단시간에 융합시킬 수 있고(과잉 두께를 마모시켜서 없앨 수 있다) 마찰계수도 낮으므로 마찰손실도 적다. 또, 다공질형상이므로 이 주석화합물 피막이 다른쪽의 부재와 접촉해서 기름이 존재하는 환경하에서 슬라이딩하는 경우 이 다공질모양의 형상은 기름유지에 유효이다.

또한, 주석산염으로서는 주석산 칼륨 이외에 주석산 나트륩이어도 마찬가지의 결과가 얻어진다.

이하, 본 발명의 실시예를 도 1∼도 4에 의해 설명한다.

도 1은 본 발명의 피막처리공정을 도시한 도면이다. 우선, 주석화합물 피막을 형성할 FC 250처리부재를 알카리탈지에 의해 세정하고(일본 파커제 탈지액FC315를 사용해서 65℃에서 5분간) 그 후 순수한 물로 씻어낸다. 다음에, 이 부재표면을 30℃로 가온한 5wt% 질산수용액에 5분간 침지하고 산화에칭한 후 이온교환수로 흐르는 물에 세정한다.

그 후, 다음에 기재하는 성분의 주석산염 혼합용액을 사용하여 85℃, 20분의 조건하에서 상기 FC250처리부재를 상기 주석산염 혼합용액에 침지해서 주석화합물 피막생성을 실행한다.

주석산염 혼합용액

·K₂SnO₃·3H₂O : 4.5wt%

·NaOH : 1.0wt%

·CH₃COONa·3H₂O : 1.0wt%

·Na₄P₂O₇: 0.5wt%

·H₂O : 나머지부

그 후, 순수한 물로 세정하고 150℃에서 30분간 로(爐)안에서 건조시켜 소성을 실행한다.

상기의 조건에서 형성한 주석화합물 피막의 표면분석을 실행한 결과 막두께는 약 50㎛이고, 박막 X선 회절해석에 의해 표 1의 결과가 얻어졌다.

[표 1]

이 중에서 검출된 FeSnO(OH)₅는 FeO(OH)·Sn(OH)₄이다. 표 1의 결과에서 Fe-Sn의 화합물이 충분히 생성되어 있는 것을 알 수 있다. 또한, Fe-Sn화합물과 동등하게 많이 검출되고 있는 카본 즉 C는 주철인 부재중에 함유 되어 있다(3∼4wt%). 이와 같이 카본도 표면에 많이 존재하는 것은 슬라이딩 특성에 좋은 결과를 초래한다.

다음에, 이 주석화합물 피막을 스크롤 압축기에 실시한 경우의 예를 설명한다. 도 2는 스크롤 압축기의 구조를 도시한 도면이다. 도면 중, 고정자인 고정스크롤(21)은 경판(21a)와 소용돌이형상 스크롤랩(21b)로 이루어지고, 스크롤 랩(21b)의 외주부에 기체의 흡입구(23)이 마련되어 있고 중심부에는 토출포트(24)가 마련되어 있다. 이 고정스크롤(21)은 스크롤 랩(21b)가 케이싱(25)측을 향해서 배치되고 케이싱(25)에 고리형상의 실재(214)를 거쳐서 결합되어 있다.

한편, 회전자인 선회스크롤(22)는 중앙에 축받이(28)을 갖는 경판(22a)와 그것에 직립하는 소용돌이형상 스크롤 랩(22b)로 이루어져 있다. 선회스크롤(22)는 고정스크롤(21)에 대해서 스크롤 랩(21b)에 스크롤 랩(22b)를 맞물리게 하고 경판(22a)의 둘레가장자리부를 고정스크롤(21)과 케이싱(25)에 의해 샌드위치모양으로 슬라이딩가능하게 끼워 유지되는 형태로 배치된다. 선회스크롤(22)는 고정스

크롤(21)에 대해서 선회스크롤(22)의 중심과 랩의 외주측 종단을 연결하는 선과 고정스크롤(21)의 중심과 랩의 외주측 종단을 연결하는 선이 이루는 각을 일정한 각도로 유지한 채 맞물리게 하므로, 경판(22a)의 외주부에 있어서 한쪽이 케이싱(25)에 축받이(27)을 거쳐서 고정되어 있는 여러개의 핀크랭크(26)에 의해 자전이 저지되고 있다.

또, 선회스크롤(22)를 고정스크롤에 대해서 자전하는 일 없이 선회시키는 구동축(210)이 마련되고, 이 구동축(210)은 케이싱(25)에 고정된 상부축받이(212a)와 하부축받이(212b)에 의해 지지되어 있다. 이 구동축(210)은 선단부에 크랭크축(29)를 갖고 이 크랭크축(29)는 상기 축받이(28)을 거쳐서 선회스크롤(22)에 결합되어 있다. 구동축(210)에는 또 상부축받이(212a)와 하부축받이(212b) 사이에 축 봉지재(213)이 장착되고 구동축을 따르는 유체의 흐름이 봉지되어 있다.

구동축(210)의 크랭크축(29)에는 선회스크롤(22)의 선회운동에 따라서 발생하는 원심력과의 균형을 취하기 위해 평형추(211)이 마련되어 있다. 또, 선회스크롤(22)의 안정운동을 확보하기 위해 경판(22a)의 외주부가 고정스크롤(21)과 케이싱(25)에 의해 슬라이딩가능하게 지지되어 있다. 각 축받이(27),(28),(212a)에는 파플루오르플리에티르계의 그리스(grease)를 윤활재로서 사용하고 있다.

또, 크랭크축(29)의 축받이(28)의 하단위치에는 그리스 누출방지용 실재(216)도 마련되어 있다.

상기 구성의 스크롤 압축기는 고정스크롤 랩(21b)와 선회스크롤 랩(22b)사이에 밀폐공간을 형성하고, 선회스크롤(22)의 선회에 의해 상기 밀폐공간을 랩외주측에서 중심측을 향해 이동시키면서 그의 용적을 축소하고, 이 밀폐공간에서 압축된 기체를 고정스크롤(21)의 중심부근에 형성된 토출포트(24)를 통해서 외부로 송출하도록 동작한다.

다음에, 본 발명의 주요부분에 대해서 기술한다. 도 3은 도 2의 일부분을 확대해서 도시한 도면이다. 도시한 예에서는 선회스크롤(22)에 주석화합물 피막(1)이 실시되어 있다. 이 실시예에서는 흡입구(23)에서 유입하여 토출포트(24)에서 유출할 때까지의 유체유로에 접하는 모든 선회스크롤표면에 걸쳐서 주석화합물 피막(1)이 실시되어 있으므로, 부재의 유로도중에서 기체가 누출되는 일이 없다. 이 때, 선회스크롤과 고정스크롤을 정규로 조합했을 때, 1O㎛정도 각 접촉부분에서 융합 공차(allowance)을 취해 둔다. 바꿔말하면, 접촉부분은 선회스크롤과 고정스크롤이 1O㎛정도 오버랩하도록 부재치수를 미리 설정한다. 주석화합물 피막은 기본적으로는 부재의 Fe와 반응하지만 치수적으로 자기성장하지 않으므로 이 설정은 비교적 간단하게 실행할 수 있다.

또한, 새롭게 조립된 압축기의 운전개시에 있어서는 처음에 저속으로 운전하여 슬라이딩부를 서로 융합시키는 것이 바람직하다. 또, 고정스크롤에 대한 선회스크롤의 편심량을 변경할 수 있는 시운전 전용의 장치를 사용하고, 이 장치상에서 처음에 고정스크롤에 대한 선회스크롤의 편심량을 0으로 해서 조합하고, 다음에 저속으로 선회스크롤을 회전시키면서 서서히 편심량을 정규의 양으로 해서 양자를 융합시켜도 좋다.

Fe-Sn화합물 피막(주석화합물 피막)은 종래의 류브라이트 피막과는 달리 비교적 연질이고 또한 슬라이딩특성이 우수하므로, 상기 오버랩분은 접촉한 고정스크롤 표면에 의해 단시간에 연마되어 융합된다. 이와 같은 방법에 의해 랩변형시의 랩선단에서의 틈새를 작게 하여 기체의 누출을 거의 0으로 할 수 있다.

따라서, 압축기의 효율은 비약적으로 향상함과 동시에 조립시의 슬라이딩부의 융합운전에 필요로 하는 시간이 단축되고 제조의 능률도 향상한다. 주석산염 혼합용액에 선회스크롤(22) 또는 고정스크롤(21)을 침지해서 형성하는 주석화합물 피막(1)의 막두께는 스크롤랩의 변형량을 고려해서 설정할 필요가 있지만, 적어도

20㎛정도의 두께로 해 두는 것이 융합 공차의 여유의 면에서 바람직하다.

도 4는 스크롤에 주석화합물 피막을 실시한 경우의 단면사진을 도시한 것이고, 피막은 약 60㎛의 두께가 얻어지고 있다. 이와 같이 본 발명에 의하면, 피막두께를 크게 하는 것이 가능하고, 따라서 운전상태에 있어서의 랩선단의 변형량이 20㎛정도이어도 그것을 층분히 커버할 만큼의 두께의 피막으로 할 수 있다.

또, 도 5는 이와 같이 해서 제작한 스크롤 압축기에서의 특성을 도시한 도면이다. 도면중 횡축은 압축기를 운전하기 시작하고 나서 부터의 시간을 나타내고 있다. 또, 종축은 융합의 정도를 나타내는 지표로서 마찰계수를 나타내었다. 비교를 위해 종래의 류브라이트처리 피막의 특성도 아울러 나타낸다. 도면에서 명확한 바와 같이 본 발명의 주석화합물 피막을 실시한 압축기는 약 2 시간만에 마찰계수가 안정되고 또한 그 때의 마찰계수도 류브라이트 피막을 실시한 것과 비교하면 낮다. 이 압축기의 성능은 모두 단열효율 nad = 88%이었다.

상기 실시예는 스크롤 압축기의 슬라이딩면에 주석화합물을 함유하는 피막을 형성한 예이지만, 스크롤 압축기 이의에도 스크류 압축기, 로터리 압축기, 왕복운동 압축기 등의 슬라이딩부에 주석화합물을 함유하는 피막을 형성해도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

그리고, 이와 같이 성능이 향상한 압축기를 공조기에 사용하는 것에 의해 성능이 좋은 공조기로 할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 고정자와 회전자가 서로 접촉하는 부재표면에 비교적 간편하고 저렴한 방법으로 주석화합물을 함유하는 피막을 형성할 수 있고, 장기간 운전을 실행해도 부재로 부터의 피막의 박리가 없고 실성이 양호하며 또한 융합성도 우수한 피막을 제공할 수 있으므로 고효율인 압축기를 실현할수 있다. 또, 부재를 치수적으로 오버랩시키고 서로 슬라이딩시켜서 연마에 의해 융합시켜 오버랩분을 없애는 것에 의해, 종래와 같이 부재가공시의 치수정밀도를 엄격하게 할 필요도 없다. 또, 양산시의 성능의 편차를 발생시키는 일도 없다.

Claims

(정겅) 고정자와 회전자에 의해 형성되는 밀폐공간을 회전자의 운동에 따라 상기 밀폐공간을 점점 감소시켜서 유체를 흡입, 압축, 토출시키는 용적형 유체 압축기에 있어서, 고정자와 회전자가 서로 접촉하는 부재표면의 적어도 어느 한쪽에 주석화합물을 함유하는 주석화합물 피막을 주석산염을 주성분으로 하는 주석산염 혼합용액중에 침지해서 형성한 것을 특징으로 하는 용적형 유체압축기.
(정정) 제1항에 있어서, 주석화합물 피막 두께가 20㎛∼60㎛인 것을 특징으로 하는 용적형 유체압축기.
(정정) 제1항에 있어서, 주석화합물이 고정자 또는 회전자를 구성하는 철계 재료와 주석의 화합물인 것을 특징으로 하는 용적형 유체압축기.
제1항에 있어서, 주석화합물 피막을 고정자와 회전자의 양쪽의 표면에 형성한 것을 특징으로 하는 용적형 유체압축기.
제2항에 있어서, 주석화합물이 철계 재료와 주석의 화합물인 것을 특징으로 하는 용적형 유체 압축기.
(정정) 제1항에 있어서, 주석산염이 주석산 칼륨인 것을 특징으로 하는 용적형 유체압축기.
(정정) 고정자와 회전자에 의해 형성되는 밀폐공간을 회전자의 운동에 따라 상기 밀폐공간을 점점 감소시켜서 유체를 흡입, 압축, 토출시키는 용적형 유체압축기에 있어서 고정자와 회전자가 서로 접촉하는 부재표면의 적어도 어느 한쪽에 주석화합물을 함유하는 주석화합물 피막을 주석산염을 주성분으로 하는 주석산염 혼합용액중에 침지해서 형성한 용적형 유체압축기를 사용한 것을 특징으로 하는 공조장치.
고정자와 회전자에 의해 형성되는 밀폐공간을 회전자의 운동에 따라서 상기 밀폐공간을 점점 감소시켜 유체를 흡입, 압축, 토출시키는 용적형 유체압축기의 고정자와 회전자의 적어도 어느 한쪽에 주석화합물을 함유하는 피막을 형성하는 방법에 있어서, 대상부재를 알카리탈지하는 수순, 알카리탈지한 대상부재를 순수한 물로 세정하는 수순, 순수한 물로 세정한 대상부재를 산화에칭하는 수순, 산화에칭된 대상부재를 주석산염을 주성분으로 하는 혼합용액에 침지해서 주석화합물 피막을 형성시키는 수순, 주석화합물 피막을 형성한 대상부재를 순수한 물로 세정하는 수순 및 이 순수한 물로 세정된 대상부재를 건조, 소성시키는 수순을 포함해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 피막형성방법.