KR100296555B1 - 자동화 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

이 발명은 자동화 시스템 및 그 제어 방법을 개시한다. 작업 대상물이 수납된 카세트가 로딩 유니트로 이송되면 로딩 유니트는 설비 제어기의 작업 개시 명령에 따라 작업 대상물을 작업 스테이션 상으로 로딩시키고, 로딩된 작업 대상물에 대하여 작업 유니트들이 일련의 작업을 순차적으로 수행한다. 설정된 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 수행하는 안전 유니트 중의 하나인 임계 유니트의 작업이 완료되면 설비 제어기는 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 검사한다. 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는 경우에 설비 제어기는 작업 대상물을 임계 유니트의 다음 유니트로 이송시켜 작업이 계속 수행되도록 한다. 다음에 작업 대상물에 대한 모든 작업이 완료되면 언로딩 유니트가 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 적재시켜 모든 작업을 완료한다. 그러므로, 인라인 제조 설비에서 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착할 때까지 모든 작업을 중지시킴에 따라 발생되는 작업 지연을 감소시킬 수 있다. 따라서, 설비 이용 효율 및 작업 진행 효율 등이 향상되어 생산성이 증가된다.

Description

자동화 시스템 및 그 제어 방법{AUTOMATION SYSTEM AND METHOD THEREOF}
이 발명은 자동화 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로 보다 상세하게 말하자면, 특히 반도체나 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display; 이하 'TFT-LCD' 라 함) 등의 제조 공정을 자동으로 수행하는 인라인 설비에서의 자동화 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
근래 TFT-LCD의 제조 공정에서는 생산성의 효율을 증대시키기 위해 대부분의공정을 자동화하고 있다. 이에 따라, 특정 설비에서 작업 대상물에 대한 작업을 진행하고자 하는 경우, 먼저 자동 운송 장치(automatic guided vehicle: 'AGV')를 사용하여 작업이 수행될 작업 대상물이 보관되어 있는 카세트를 특정 설비로 이송하여 설비에 로딩하고, 뒤이어 필요한 작업을 자동으로 진행한다.
종래의 TFT-LCD 제조 공정의 온라인(online) 중에는 동일 카세트(cassette)에 다수의 작업 대상물(글래스(glass)이 보관되어 검사기, 보수기, 세정기, 오븐기, 봉합기 등의 설비로 반송된다. 동일 카세트에 있는 다수의 글래스는 이러한 일련의 설비를 거쳐서 TFT-LCD로 완성된다.
일반적으로 특정 공정을 수행하는 설비는 다수의 유니트(unit)로 이루어지며, 각각의 유니트는 서로 다른 작업을 수행하여 해당 공정을 완료한다. 예를 들어 작업 대상물에 포토 레지스터를 도포하는 코팅 공정을 수행하는 설비(coater)는 먼저 운송되는 작업 대상물을 설비의 작업 스테이션 상에 로딩하는 로딩 유니트, 작업 대상물을 세정하는 세정 유니트, 세정된 작업 대상물을 건조시키는 건조 유니트, 건조된 작업 대상물에 포토 레지스터를 코팅하는 코팅 유니트, 코팅된 작업 대상물을 소정 온도로 가열하는 가열 유니트, 가열된 유니트를 언로딩하여 빈카세트에 수납하는 언로딩 유니트 등으로 이루어진다. 이러한 다수 유니트가 순차적으로 연결되어 해당 작업이 순차적으로 이루어지는 설비를 인라인(inline) 설비라고 한다.
종래의 인라인 설비에서는 로딩 유니트로 작업 대상물이 수납되어 있는 카세트가 도착하여도 바로 작업을 시작하지 않고, 언로딩 유니트에 빈 카세트가 있는지의 여부를 검사한 다음 빈 카세트가 있는 경우에만 작업을 시작한다. 이것은 언로딩 유니트에 빈 카세트가 없는 경우에 처리된 작업 대상물이 수납되지 못하거나, 또는 작업이 중복 수행되는 것을 방지하기 위한 것이다.
그러나 종래의 인라인 설비는 작업시에 작업 지연이 발생되는 문제점이 있다. 보다 상세하게 말하자면, 로딩 유니트에 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착하기 전에 언로딩 유니트에 빈 카세트가 먼저 도착되어 있는 경우에는, 작업 대상물이 로딩 유니트에 도착함과 동시에 작업이 시작되어 어떠한 문제도 발생되지 않지만, 언로딩 유니트에 빈 카세트가 있지 않은 경우에는 로딩 유니트에 작업 대상물이 있어도 작업을 바로 시작하지 않고 언로딩 유니트에 빈 카세트가 도착할 때까지 작업이 지연된다.
따라서 언로딩 유니트에 빈 카세트가 도착되지 않은 경우에는 작업이 지연됨에 따라 설비 이용 효율 및 작업 진행 효율 등이 떨어지게 된다.
그러므로 이 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 반도체나 TFD-LCD 등을 제조하는 인라인 설비에서 발생되는 작업 지연을 감소시키기 위한 것이다.
도 1은 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 구조를 나타낸 블록도이다.
도 2는 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 안전 구역 및 경계 구역 및 작업 시간 관계를 나타낸 도이다.
도 3은 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 예시도이다.
도 4는 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 동작 순서도이다.
도 5는 이 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템의 예시도이다.
도 6은 이 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템의 동작 순서도이다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 이 발명에 따른 자동화 시스템은 언로딩 유니트에 빈 카세트가 있는지의 여부에 상관없이 작업 대상물이 로딩되면 설정된 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 안전 작업을 수행하고, 안전 작업이 종료된 다음에는 언로딩 유니트에 빈 카세트가 도착할 때까지 다음 작업을 중지시킨다. 이에 따라 로딩 유니트에 작업 대상물이 도착한 시점부터 안전 작업이 종료될 때까지의 시간이 일정 시간 감소된다.
이러한 이 발명의 특징에 따른 자동화 시스템은 작업 대상물을 작업 스테이션 상에 로딩시키는 로딩 유니트; 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트; 상기 작업 유니트에 의하여 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 언로딩 유니트; 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 임계 유니트를 포함하고, 상기 임계 유니트는 작업 대상물이 도착되면 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 있는지의 유무를 검사하고, 상기 작업 대기 카세트가 언로딩 유니트에 있는 경우에 작업 대상물을 이송시킨다.
이 경우에 임계 유니트가 작업 대상물이 도착하면 해당 작업을 수행하기 전에 작업 대기 카세트 도착 유무를 검사하고, 작업 대기 카세트가 도착된 경우에 해당 작업을 수행한 다음에 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시킬 수 있다.
이와는 달리, 임계 유니트가 해당 작업을 수행한 다음에 작업 대기 카세트 도착 유무를 검사하는 것도 가능하다.
이외에, 임계 유니트는 안전 유니트 중의 하나가 될 수 있으며, 특히 안전유니트의 최종 유니트일 수 있다.
또한 임계 유니트는 경계 유니트의 첫 번째 유니트가 될 수 있으며, 이 경우에는 임계 유니트가 작업 대상물이 도착하면 작업 대기 카세트 도착 유무를 검사하고, 작업 대기 카세트가 도착된 경우에만 해당 작업을 수행한다.
또한, 이 발명의 다른 특징에 따른 자동화 시스템은, 작업 대상물을 작업 스테이션으로 로딩시키는 로딩 유니트; 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트; 상기 작업 유니트에 의하여 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 언로딩 유니트; 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 기준이 되는 임계 유니트; 및 상기 유니트들의 작업을 각각 제어하며, 상기 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 상기 언로딩 카세트에 작업 대기 카세트가 있는 경우에만 상기 작업 대상물을 이송시키는 설비 제어기를 포함한다.
여기서 설비 제어기와 각 유니트들은 통신 수단을 통하여 서로 정보를 교환하며, 설비 제어기는 각 유니트로부터 전송되는 정보에 따라 해당 유니트를 각각 구동시키며, 상기 로딩 유니트로부터 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되었음을 나타내는 정보가 전송되면 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지의 여부에 상관없이 바로 상기 로딩 유니트를 구동시킨다.
이외에도 작업 대상물에 대한 정보를 관리하는 호스트를 더 포함할 수 있으며, 이 때, 설비 제어기는 상기 호스트로부터 작업 대상물에 대한 정보를 전송받아 서 각 유니트를 구동시켜 작업 대상물의 특징에 따라 해당 작업이 이루어지도록 한다.
또한, 이 발명의 다른 특징에 따른 자동화 시스템의 제어 방법은, 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트를 포함하는 자동화 시스템에서, 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 작업 대상물을 작업 스테이션 상에 로딩하는 단계; 상기 안전 유니트가 로딩된 작업 대상물에 대하여 해당 작업을 수행하는 단계; 상기 안전 유니트 중의 하나인 임계 유니트가 작업 대상물을 언로딩하기 위한 작업 대기 카세트가 있는지를 판단하는 단계; 상기 작업 대기 카세트가 있는 경우에 상기 임계 유니트가 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시키는 단계; 상기 작업 대상물에 대하여 상기 경계 유니트가 해당 작업을 수행하는 단계; 및 모든 작업이 완료된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩하는 단계를 포함한다.
또한 이 발명의 다른 특징에 따른 자동화 시스템의 제어 방법은, 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트를 포함하는 자동화 시스템에서, 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 로딩 유니트가 카세트 도착 정보를 설비 제어기로 전송하는 단계; 상기 설비 제어기가 로딩 유니트를 구동시켜 로딩 작업이 이루어지도록 하는 단계; 상기 안전 유니트 중 하나인 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 상기 임계 유니트가 해당 정보를 설비 제어기로 전송하는 단계; 상기 설비 제어기가 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 단계; 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 있는 경우에 상기 설비 제어기가 상기 작업 대상물을 다음 상기 임계 유니트의 다음 유니트로 이송시켜 작업이 계속 수행되도록 하는 단계; 상기 작업 대상물에 대한 상기 경계 유니트의 작업이 모두 완료된 경우에 상기 언로딩 유니트가 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 단계를 포함한다.
위에 기술된 자동화 시스템의 제어 방법에서 임계 유니트 또는 설비 제어기가 임계 유니트의 작업을 수행하기 전에 작업 대기 카세트 도착 유무를 판단하거나, 임계 유니트의 작업을 수행한 다음에 작업 대기 카세트 도착 유무를 판단할 수 있다.
이외에, 경계 유니트의 첫 번째 유니트가 임계 유니트가 될 수 있으며, 이 경우에는 임계 유니트 또는 설비 제어기가 임계 유니트에 작업 대상물이 도착하면 작업 대기 카세트 도착 유무를 검사하고, 작업 대기 카세트가 도착된 경우에만 임계 유니트가 해당 작업을 수행한다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 1에 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 구조가 도시되어 있다.
첨부한 도 1에 도시되어 있듯이, 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템은 순차적으로 연결되어 있는 로딩 유니트(10), 작업 유니트(20) 및 언로딩 유니트(30)와, 이들 유니트(10∼30)의 동작을 제어하는 설비 제어기(40)를 포함한다.
이외에도 작업 대상물(기판)에 대한 정보를 관리하고, 설비 제어기(40)의 요청에 따라 해당 작업 대상물의 정보를 설비 제어기(40)로 전송하는 호스트(50)를 포함한다.
로딩 유니트(10)는 작업 대상물이 수납되어 있는 카세트 즉, 작업 카세트가 도착되면 카세트로부터 작업 대상물을 소정 작업이 이루어지는 작업 스테이션으로 로딩한다. 언로딩 유니트(30)는 작업이 완료된 작업 대상물을 빈 카세트 즉, 작업 대기 카세트에 수납시켜 다른 설비로 이동가능하도록 한다.
여기서 설명의 편의를 위하여 작업 대상물이 수납되어 있고 로딩 유니트(10)로 이송되는 카세트는 작업 카세트로 명명하였고, 언로딩 유니트(30)로 이송되고 처리된 작업 대상물을 수납할 빈 카세트는 작업 대기 카세트로 명명하였다.
작업 유니트(20)는 설정된 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 수행하는 다수의 안전 유니트(21∼2n-m, n과 m은 0보다 큰 정수)와, 설정된 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되어 재작업을 수행하거나 다음 작업에 영향을 미치는 작업을 수행하는 다수의 경계 유니트(2n-m+1∼2n)를 포함한다. 이들 각각의 유니트(21∼2n)는 로딩된 작업 대상물에 대한 소정 작업을 각각 수행하며, 설비 제어기(40)의 제어에 따라 해당 작업을 개시하거나 중지한다. 여기서 작업 특성이란 작업 대상물에 대한 물리적 또는 화학적 작업 특성을 나타낸다.
설비 제어기(40)는 로딩 유니트(10), 작업 유니트(20) 및 언로딩 유니트(30)를 각각 제어하며, 설비 제어기(40)와 이러한 유니트(10∼30)들은 공지된 통신 수단에 의하여 서로 정보를 주고 받으며, 설비 제어기(40)는 호스트(50)와 정보를 주고 받는다.
각 유니트(10∼30)는 작업 대상물이 도착되면 도착 정보를 설비 제어기(40)로 전송하고, 설비 제어기(40)는 각 유니트(10∼30)로부터 도착 정보가 전송되면 해당 유니트를 구동시켜 해당 작업이 이루어지도록 한다. 또한 설비 제어기(40)는 작업 대상물에 대한 정보를 호스트(50)로부터 전송받아 작업 대상물의 특징에 따른 작업이 적절하게 이루어지도록 각 유니트(10∼30)를 제어한다.
이 발명의 실시예에 따른 자동화 시스템은 안전 구역(safety zone)과 경계 구역(critical zone)으로 나뉘어진다. 첨부한 도 2에 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템에서의 안전 구역 및 경계 구역이 도시되어 있다.
여러개의 공정 유니트가 하나의 설비를 구성하는 인라인 설비의 경우, 각 유니트에서 작업 대상물을 처리하는 작업 시간이 다르고, 각각의 유니트의 특징에 따라 작업 대상물이 해당 유니트에 계속 머무르고 있어도 다음 작업에 영향을 미치지않는 안전 유니트가 있으며, 작업물이 해당 유니트에 계속 머무르는 경우에는 작업 대상물의 물리적 또는 화학적 특성이 변화하여 재작업을 수행하여야 하는 경계 유니트가 있다.
이 발명의 실시예에서는 도 2에 도시된 바와 같이 로딩 유니트와, 작업 시간에 상관없이 다음 작업에 영향을 미치지 않는 안전 유니트들은 안전 구역에 해당되고, 작업 시간에 따라 재작업을 수행하여야 하는 경계 유니트들과 언로딩 유니트는 경계 구역에 해당된다. 그리고 다수의 안전 유니트 중 작업 대기 카세트의 도착 유무를 판단하는 기준이 되는 유니트를 임계 유니트로 명명하였다. 이 발명의 실시예에서는 안전 구역의 마지막 유니트 즉, 경계 구역이 시작되는 유니트 바로 이전 유니트가 임계 유니트로 명명되었으나, 이에 한정되지는 않는다.
한편, 이러한 인라인 설비에서의 전체 작업 시간(Tw)은 로딩 유니트에 작업 대상물이 도착하여 작업이 이루어지는 작업 개시 시간(TS)부터 언로딩 유니트의 동작이 완료되는 작업 완료 시간(TE)까지이고, 전체 작업 시간(Tw)에서 감소 가능한 시간은 작업 개시 시간(Ts)부터 작업 대상물이 경계 구역에 도달되기까지의 시간이 된다. 이러한 감소 가능한 시간을 로스 시간(loss time) 이라고 명명하였으며, 이 발명의 실시예에서는 로스 시간을 최대한으로 감소시켜 반도체 등의 제조 공정에서의 작업 지연을 감소시키고자 한다.
이를 위하여, 이 발명의 제1 실시예에서는 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 존재하지 않아도 작업 대상물이 로딩 유니트(10)에 도착되면 바로 작업을 시작하고, 안전 구역의 작업이 종료되는 임계 유니트(2n-m)에 도착된 경우에는 언로딩 유니트(30)의 작업 대기 카세트의 유무에 따라 작업을 계속 수행하거나 작업을 중지한다.
이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템은 예를 들어 총 6개의 유니트로 이루어질 수 있다. 도 3에 이러한 자동화 시스템의 예시도가 도시되어 있다.
도 3에 도시되어 있듯이 제1 실시예에 따른 자동화 시스템은 총 6개의 유니트로 이루어지고, 작업 유니트(20)는 4개의 유니트(21∼24)로 이루어진다. 여기서 임계 유니트는 제2 유니트(22)로 지정되어 있으나 이에 한정되지는 않는다.
따라서, 로딩 유니트(10), 제1 유니트(21) 및 제2 유니트(22)는 안전 구역에 해당하고, 제3 유니트(23), 제4 유니트(24) 및 언로딩 유니트(30)는 경계 구역에 해당된다.
그러면 도 3에 도시된 구조를 참조로 하여 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 동작을 설명한다.
도 4에 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템의 동작 순서도가 도시되어 있다.
첨부한 도 4에 도시되어 있듯이, 도시하지 않은 자동 운송 장치에 의하여 작업이 수행될 작업 대상물이 수납되어 있는 작업 카세트가 설비의 로딩 유니트(10)로 이송되면, 로딩 유니트(10)는 설비 제어기(40)로 작업 대상물이 도착되었음을 알린다(S10∼S30).
설비 제어기(40)는 로딩 유니트(10)로부터 작업 대상물이 도착했다는 정보가전송되면 호스트(50)로 해당 작업 대상물의 정보를 전송받고, 전송된 작업 대상물의 정보에 따라 로딩 유니트(10)로 작업을 시작하라는 명령을 전송한다(S40). 따라서 로딩 유니트(10)는 설비 제어기(40)로부터의 시작 명령에 따라 카세트에 수납되어 있는 작업 대상물을 도시하지 않은 작업 스테이션으로 로딩시킨다(S50).
로딩 유니트(10)의 작업이 종료되어 작업 유니트(20)의 제1 유니트(21)로 작업 대상물이 이송되면 제1 유니트(22)는 설비 제어기(40)로 작업 대상물의 도착 정보를 전송하고, 설비 제어기(40)는 제1 로딩 유니트(21)로 작업 개시 명령을 전송함으로써, 제1 로딩 유니트(21)는 작업 대상물에 대하여 해당 작업을 수행한다.
제1 유니트(21)의 작업이 완료되어 작업 대상물이 제2 유니트 즉, 임계 유니트(22)로 이송되면, 임계 유니트(22)는 해당 작업을 수행한 다음 안전 구역의 작업이 완료되었음을 설비 제어기(40)에 보고한다(S60).
설비 제어기(40)는 임계 유니트(22)로부터 안전 구역의 작업이 완료되었다는 정보가 전송되면 언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 검사한다(S70). 이와 같이 설정된 작업 시간이 경과되어도 다음 공정에 영향을 주지 않는 안전 구역에 해당하는 유니트의 모든 작업이 종료된 상태에서, 설비 제어기(40)는 언로딩 유니트(30)로 작업 대기 카세트의 정보를 요청하고, 언로딩 유니트(30)는 작업 대기 카세트 도착 여부를 나타내는 정보를 설비 제어기(40)로 전송한다.
언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되어 있지 않은 경우 설비 제어기(40)는 임계 유니트(22)로 작업 대기 명령을 전송하며(S80), 이에 따라 임계 유니트(22)는 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시키는 작업을 수행하지 않고 대기상태를 유지한다(S90). 대기 상태에서 임계 유니트(22)는 일정 시간 간격으로 설비 제어기(40)에게 카세트 도착 여부를 검토하도록 요청하며, 설비 제어기(40)는 언로딩 유니트(30)로부터 전송되는 정보에 따라 카세트 도착 여부를 판단한다(S100).
여기서, 설비 제어기(40)가 언로딩 유니트(30)의 요청에 상관없이 일정 시간 간격으로 작업 대기 카세트 도착 여부를 자체적으로 검토하도록 할 수도 있다.
한편, 언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되어 있거나, 위에 기술한 대기 상태에서 언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되면, 설비 제어기(40)는 임계 유니트(22)로 작업을 수행하라는 시작 명령을 전송한다(S110). 이에 따라 임계 유니트(22)는 작업 대상물을 다음 유니트 즉, 경계 구역이 시작되는 제3 유니트(23)로 이송시킨다(S120).
경계 구역의 제3 유니트(23)는 임계 유니트(22)로부터 작업 대상물이 이송되면 해당 작업을 수행하면서 작업 진행 사항에 대하여 설비 제어기(40)로 보고하며, 제3 유니트(23)의 작업이 완료된 다음에는 제4 유니트(24)의 작업이 위에 기술한 바와 같이 설비 제어기(40)의 제어에 따라 순차적으로 수행된다(S130).
안전 구역의 작업 및 경계 구역의 작업이 모두 완료된 작업 대상물이 언로딩 유니트(30)로 이송되면, 언로딩 유니트(30)는 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키고 작업이 완료되면 설비 제어기(40)로 작업이 완료되었음을 보고한다(S140∼S150).
따라서, 언로딩 유니트(30)의 작업 대기 카세트의 도착 여부에 상관없이 작업 대상물이 로딩 유니트(10)로부터 임계 유니트(22)에 도달할 때까지의 작업이 수행됨으로써, 이 작업 시간에 해당하는 로스 시간을 일정 시간 감소시킬 수 있다.
이러한 제1 실시예에 따른 자동화 시스템을 예를 들어 TFT-LCD 제조 공정의 코팅 설비에 적용하여 설명하면 다음과 같다.
종래 기술에서 설명한 바와 같이 TFT-LCD의 제조 공정의 코팅 설비는 로딩 유니트, 세정 유니트, 건조 유니트, 코팅 유니트, 가열 유니트 및 언로딩 유니트로 이루어진다. 로딩 유니트, 세정 유니트, 건조 유니트들은 작업 시간이 경과하여도 다음 공정에 영향을 주지 않으나 코팅 유니트는 작업 대상물에 도포된 포토 레지스터의 화학적 특성이 일정 시간이 경과되면 변하기 때문에 재작업을 수행하거나 다음 공정에 영향을 미치게 된다.
따라서 코팅 설비에서는 건조 유니트가 임계 유니트이기 때문에, 로딩 유니트, 세정 유니트, 건조 유니트가 안전 구역에 해당되고 코팅 유니트, 가열 유니트, 언로딩 유니트는 경계 구역에 해당된다.
코팅 설비에서는 건조 유니트와 코팅 유니트 사이에 건조 유니트에 의하여 건조된 작업 대상물에 접착제를 도포하여 포토 레지스터가 보다 표면에 밀착되도록 하는 도포 유니트를 더 포함할 수도 있으며, 이 경우에는 도포 유니트가 임계 유니트가 된다. 여기서는 도포 유니트가 포함된 경우의 동작에 대하여 설명한다.
위에 기술된 제1 실시예의 동작과 동일하게, 설비 제어기는 로딩 유니트로 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 바로 작업이 시작되도록 하며, 이에 따라 로딩 유니트는 작업 대상물을 로딩시키고, 세정 유니트는 로딩된 작업 대상물을 세정하고, 건조 유니트는 작업 대상물을 건조시키고, 도포 유니트는 작업 대상물에접착제를 도포하여 안전 구역에 해당하는 작업을 순차적으로 수행한다.
안전 구역의 작업이 모두 종료되면, 도포 유니트는 안전 구역 작업 종료를 설비 제어기로 보고하고, 설비 제어기는 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 검사하여 작업 대기 카세트가 도착된 경우에만 도포 유니트로 작업대상물을 코팅 유니트로 이송하도록 하는 명령을 전송한다.
언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되면, 도포 유니트는 설비 제어기의 제어에 따라 작업 대상물을 코팅 유니트로 이송시키고, 코팅 유니트는 작업 대상물에 포토 레지스터를 코팅시키는 작업을 수행하며, 이 작업이 완료되면 가열 유니트가 코팅된 작업 대상물을 일정 온도로 가열한다. 이러한 작업이 모두 완료된 작업 대상물이 언로딩 유니트로 이송되면, 언로딩 유니트는 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 적재시킨 다음 모든 작업이 완료되었음을 설비 제어기로 보고한다.
따라서, TFT-LCD 제조의 코팅 설비에서 작업 대기 카세트가 언로딩 유니트에 도착되지 않는 경우에 발생되는 로스 시간(작업 대상물이 로딩 유니트에 도착한 시점부터 작업 대상물에 대한 세정, 건조 및 도포 작업이 종료되기까지의 시간)을 일정 시간 감소시킬 수가 있다.
또한, 예를 들어 이 발명의 제1 실시예에 따른 자동화 시스템을 TFT-LCD 제조의 현상(developer) 설비에 적용할 수도 있다.
현상 설비는 일반적으로 로딩 유니트, 작업 대상물에 글자를 마킹(marking)하는 노광 유니트, 작업 대상물을 약품 처리하여 현상하는 현상 유니트, 현상된 작업 대상물을 건조시키는 건조 유니트, 건조된 작업 대상물을 가열시키는 가열 유니트 및 언로딩 유니트로 이루어진다.
노광 유니트는 작업 대상물에 제품명 등의 글자를 마킹하는 공정이기 때문에 작업 시간이 경과하여도 다음 공정에 영향을 미치지 않으나, 현상 유니트는 작업 대상물에 약품 처리를 하기 때문에 설정된 작업 시간이 경과하면 화학 약품의 특성 변화가 발생할 수 있다. 따라서, 현상 설비에서는 노광 유니트가 임계 유니트가 되기 때문에, 로딩 유니트 및 노광 유니트는 안전 구역에 해당되고 현상 유니트, 가열 유니트 및 언로딩 유니트는 경계 구역에 해당된다.
그러므로 위에 기술한 바와 같이 설비 제어기의 제어에 따라 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지의 여부에 상관없이 로딩 유니트에 작업 대상물이 도착되면 노광 유니트의 작업은 바로 수행되고, 현상 유니트의 작업은 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착된 경우에만 수행된다.
따라서, 현상 설비에서 작업 대기 카세트가 언로딩 유니트에 도착되지 않는 경우에 발생되는 로스 시간(작업 대상물이 로딩 유니트에 도착한 시점부터 작업 대상물에 대한 노광 작업이 종료되기까지의 시간)을 일정 시간 감소시킬 수가 있다.
다음에는 각 유니트가 독립적으로 작동하는 이 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템에 대하여 설명한다.
도 5에 이 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템의 예시도가 도시되어 있으며, 도 6에 제2 실시예에 따른 자동화 시스템의 동작 순서도가 도시되어 있다.
첨부한 도 5에 도시되어 있듯이 이 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템은 제1 실시예와 동일하게 로딩 유니트(10), 작업 유니트(20) 및 언로딩유니트(30)로 이루어지나, 제1 실시예와는 달리 설비 제어기(40)가 다수의 유니트(10∼30)를 제어하지 않고 각각의 유니트(10∼30)가 독립적으로 동작한다.
따라서, 이 발명의 제2 실시예에서는 설비 제어기(40)와 호스트(50)를 포함하지 않을 수도 있다.
이 발명의 제2 실시예에 따른 각 유니트(10∼30)는 제1 실시예와 동일한 기능을 수행함으로써 상세한 설명은 생략한다.
위에 기술된 제1 실시예와 동일하게 이 발명의 제2 실시예에 따른 자동화 시스템의 동작을 첨부한 도 5에 도시된 바와 같이 총 6개의 유니트로 이루어지는 경우를 예로 들어 설명한다.
제2 실시예에서도 작업 유니트(20)의 제2 유니트가 임계 유니트(22)로 지정됨에 따라 로딩 유니트(10), 제1 유니트(21) 및 제2 유니트(22)는 안전 구역에 해당하고, 제3 유니트(23), 제4 유니트(24) 및 언로딩 유니트(30)는 경계 구역에 해당된다. 그러나 이에 한정되지는 않는다.
첨부한 도 6에 도시되어 있듯이, 작업 대상물이 수납되어 있는 카세트가 설비의 로딩 유니트(10)로 이송되면, 로딩 유니트(10)는 바로 작업 대상물을 작업 스테이션 상으로 로딩시킨다. 로딩 유니트(10)의 작업이 완료되어 작업 대상물이 제1 유니트(21)로 이송되면, 제1 유니트(21)는 설정된 작업 시간 동안 해당 작업을 수행한 다음 작업 대상물을 제2 유니트(22)로 이송시킨다(S200∼S220).
제2 유니트 즉, 임계 유니트(22)는 작업 대상물이 도착되면 해당 작업을 수행한 다음, 언로딩 유니트(30)로 작업 대기 카세트의 도착 여부를 알 수 있는 정보를 요청하고(S240), 언로딩 유니트(30)는 작업 대기 카세트가 도착했는지의 여부를 판단한 다음, 작업 대기 카세트가 있는 경우에는 작업 대기 카세트 도착 정보를 임계 유니트(22)로 전송한다(S250∼S260).
언로딩 유니트(30)로부터 전송되는 도착 정보에 따라 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하여, 작업 대상물이 임계 유니트(22)에 도착되어 있음에도 불구하고 언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되어 있지 않으면, 임계 유니트(22)는 작업 대상물을 경계 구역이 시작되는 제3 유니트(23)로 이송시키는 작업을 수행하지 않고 대기 상태를 유지한다(S270∼S280). 다음에 일정 시간 간격으로 언로딩 유니트(30)로 정보 전송을 요청하여 작업 대기 카세트가 도착되었는지의 여부를 검사한다.
언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되어 있었거나 위에 기술한 대기 상태에서 언로딩 유니트(30)에 작업 대기 카세트가 도착되면 임계 유니트(22)는 작업 대상물을 제3 유니트(23)로 이송시킨다(S290), 제3 유니트(23) 및 제4 유니트(24)의 작업이 순차적으로 수행되어 모든 작업이 완료된 작업 대상물이 언로딩 유니트(30)로 이송되면, 언로딩 유니트(30)는 작업이 완료된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시킨다(S230∼S310).
위에 기술된 제2 실시예에서는 임계 유니트(22)가 작업 대상물이나 작업 대기 카세트의 도착 여부에 따라 로딩 유니트(10)나 언로딩 유니트(30)의 동작을 제어하도록 할 수도 있으며, 임계 유니트(22)와 상관없이 로딩 유니트(10)나 언로딩 유니트(30)가 해당 동작을 독립적으로 수행하도록 할 수도 있다.
이와 같이 제2 실시예에서는 다수의 유니트(10∼30)를 제어하는 설비 제어기(40)를 사용하지 않고도 각 유니트(10∼30)의 독립적인 작동에 따라 작업이 순차적으로 이루어진다.
이 발명의 제2 실시예를 위에 기술한 TFT-LCD 제조의 코팅 설비에 적용한 경우에는, 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 로딩, 세정, 건조 및 도포 유니트의 작업이 순차적으로 이루어지고, 이러한 안전 구역 작업이 종료되면 도포 유니트가 언로딩 유니트로 작업 대기 카세트의 도착 여부를 나타내는 정보를 요청하고 언로딩 유니트로부터 전송되는 정보에 따라 작업 대기 카세트가 도착되었는지를 검사한다.
언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 있으면 도포 유니트는 작업 대상물을 코팅 유니트로 이송시키고 코팅 유니트는 바로 코팅 작업을 수행한다. 코팅 작업이 완료되면 가열 유니트가 작업 대상물을 일정 온도로 가열시켜 언로딩 유니트로 이송시킨다.
TFT-LCD 제조의 현상 설비에서도 작업 대상물이 도착되면 로딩 및 노광 유니트가 해당 작업을 수행하고, 노광 작업이 완료되면 노광 유니트가 언로딩 유니트로 작업 대기 카세트가 도착 여부를 나타내는 정보를 요청하고, 이 정보에 따라 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착된 경우에만 노광 유니트가 작업 대상물을 현상 유니트로 이송시키고, 다음에 현상 유니트가 작업 대상물을 약품 처리하여 현상 작업을 수행한다.
따라서 이 발명의 제2 실시예에서 있어서도 제조 설비를 구성하는 각 유니트가 독립적으로 작동하여 작업 대기 카세트가 언로딩 유니트에 도착되지 않는 경우에 발생되는 로스 시간을 일정 시간 감소시킬 수가 있다.
위에 기술된 실시예에서는 이 발명에 따른 자동화 시스템을 TFT- LCD의 제조 공정에 적용한 경우에 대해서만 기술하였지만, 이에 한정되지 않고 반도체 웨이퍼 제조 공정, PDP(plasma display pane) 등의 디스플레이 장치 제조 공정에도 적용이 가능하다. 이에 따라 작업 대상물은 TFT-LCD의 글래스이거나 반도체 웨이퍼 일 수도 있으며, 이에 한정되지 않고 PDP 등의 디스플레이 장치 제조를 위하여 사용되는 기판일 수 있다.
또한, 위에 기술된 실시예에서는 임계 유니트가 해당 작업을 수행한 다음에 임계 유니트 또는 설비 제어기가 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되었는지를 판단하고 판단 결과에 따라 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시켰으나, 이와는 달리, 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 해당 작업을 수행하기 전에 임계 유니트 또는 설비 제어기가 작업 대기 카세트의 도착 유무를 판단할 수도 있다. 이 경우에는 판단 결과에 따라 작업 대상물에 대한 해당 작업을 수행한 다음에 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시킨다.
또한, 위에 기술된 실시예에서는 안전 구역의 마지막 유니트를 임계 유니트로 지정하였으나, 이와는 달리 경계 구역이 시작되는 유니트를 임계 유니트로 지정하는 것도 가능하다. 경계 구역이 시작되는 유니트가 임계 유니트인 경우에는, 안전 구역에 해당하는 작업이 모두 종료된 다음에 작업 대상물이 경계 구역이 시작되는 임계 유니트로 도착되면, 경계 구역이 시작되는 임계 유니트 또는 설비 제어기가 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되었는지를 판단한 다음에, 판단 결과에 따라 해당 작업을 수행한다.
이외에도 위에 기술된 실시예에서는 로딩 유니트, 안전 유니트, 경계 유니트 및 언로딩 유니트가 순차적으로 연결되어 있는 인라인 설비에서 작업 지연을 감소시키는 것에 대하여 기술하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 로딩 유니트, 안전 유니트, 경계 유니트 및 언로딩 유니트가 순차적으로 연결되어 있지 않는 설비에서도 적용 가능하다.
이 발명은 다음의 기술되는 청구 범위를 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변경 및 실시가 가능하다.
위에 기술된 실시예에서는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조 공정 중 코팅 공정 및 현상 공정을 수행하는 설비에 대해서만 기술하였지만, 이에 한정되지 않고 다른 공정에도 실시 가능하다.
이러한 실시예에 따라 이 발명에 따른 자동화 시스템에서는 소정 공정을 수행하는 특정 설비에서 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있지 않은 경 우에도 작업 대상물이 도착되면 바로 작업을 수행함으로써, 카세트 도착을 기다림에 따라 발생되는 로스 시간을 감소시킬 수 있다.
또한, 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착된 경우에만 설정된 작업 시간이 경과되면 다음 공정에 영향을 주거나 또는 특성이 변화되는 작업을 수행함으로써, 이러한 작업이 보다 안정적으로 이루어질 수 있다.
또한, 제조 공정에 따른 로스 시간이 감소됨에 따라 설비 이용 효율 및 작업 진행 효율 등이 향상되고, 이에 따라 생산성 또한 증가된다.

Claims (27)

  1. 작업 대상물을 작업 스테이션 상에 로딩시키는 로딩 유니트;
    각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트;
    상기 작업 유니트에 의하여 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 언로딩 유니트;
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 임계 유니트
    를 포함하고,
    상기 임계 유니트는 작업 대상물이 도착되면 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 있는지의 유무를 검사하고, 상기 작업 대기 카세트가 언로딩 유니트에 있는 경우에 작업 대상물을 이송시키는 자동화 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 안전 유니트 중의 하나인 자동화 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 안전 유니트의 최종 유니트인 자동화 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 경계 유니트의 최초 유니트인 자동화 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 작업 대상물이 도착되면 해당 작업을 수행한 다음에 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는 경우에만 작업 대상물을 상기 안전 유니트 또는 상기 경계 유니트로 이송시키는 자동화 시스템.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 작업 대상물이 도착되면 바로 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하고, 상기 작업 대기 카세트가 도착되어 있는 경우에는 해당 작업을 수행한 다음 작업 대상물을 상기 안전 유니트 또는 경계 유니트로 이송시키는 자동화 시스템.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지의 여부에 상관없이 상기 작업 대상물이 수납된 카세트가 상기 로딩 유니트에 도착되면 바로 로딩작업 및 상기 안전 유니트의 작업을 수행하는 자동화 시스템.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작업 대상물은 박막 액정 표시 장치의 글래스를 포함하는 평판 표시 소자 또는 반도체 웨이퍼인 자동화 시스템.
  9. 작업 대상물을 작업 스테이션으로 로딩시키는 로딩 유니트;
    각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트;
    상기 작업 유니트에 의하여 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 언로딩 유니트;
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 기준이 되는 임계 유니트; 및
    상기 유니트들의 작업을 각각 제어하며, 상기 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 상기 언로딩 카세트에 작업 대기 카세트가 있는 경우에만 상기 작업 대상물을 이송시키는 설비 제어기
    를 포함하는 자동화 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 안전 유니트 중의 하나인 자동화 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 안전 유니트의 최종 유니트인 자동화 시스템.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 경계 유니트의 최초 유니트인 자동화 시스템.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 작업 대상물에 대한 정보를 관리하는 호스트를 더 포함하고,
    상기 설비 제어기는 상기 호스트로부터 작업 대상물에 대한 정보를 전송받아 서 각 유니트를 구동시키는 자동화 시스템.
  14. 제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 설비 제어기는 임계 유니트의 작업이 완료되고 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는 경우에만 작업 대상물을 상기 안전 유니트 또는 경계 유니트로 이송시키는 자동화 시스템.
  15. 제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 설비 제어기는 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 바로 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하고, 상기 작업 대기 카세트가 도착되어 있는 경우에는 상기 임계 유니트의 해당 작업이 이루어지도록 한 다음에 작업 대상물을 상기 안전 유니트 또는 경계 유니트로 이송시키는 자동화 시스템.
  16. 제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 설비 제어기는 상기 로딩 유니트로부터 작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되었음을 나타내는 정보가 전송되면, 상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지의 여부에 상관없이 바로 상기 로딩 유니트를 구동시키는 자동화 시스템.
  17. 제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작업 대상물은 박막 액정 표시 장치의 글래스를 포함하는 평판 표시 소자 또는 반도체 웨이퍼인 자동화 시스템.
  18. 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트를 포함하는 자동화 시스템에서,
    작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 작업 대상물을 작업 스테이션 상에 로딩하는 단계;
    상기 안전 유니트가 로딩된 작업 대상물에 대하여 해당 작업을 수행하는 단계;
    상기 안전 유니트 중의 하나인 임계 유니트가 작업 대상물을 언로딩하기 위한 작업 대기 카세트가 있는지를 판단하는 단계;
    상기 작업 대기 카세트가 있는 경우에 상기 임계 유니트가 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시키는 단계;
    상기 작업 대상물에 대하여 상기 경계 유니트가 해당 작업을 수행하는 단계; 및
    모든 작업이 완료된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩하는 단계
    를 포함하는 자동화 시스템의 제어 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 경계 유니트의 바로 이전 유니트인 자동화 시스템의 제어 방법.
  20. 제18항 또는 제19항에 있어서,
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 단계에 있어서, 상기 언로딩 유니트가 해당 작업을 수행한 다음에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 자동화 시스템의 제어 방법.
  21. 제18항 또는 제19항에 있어서,
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 단계에 있어서, 상기 임계 유니트가 해당 작업을 수행하기 전에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하고,
    상기 작업 대상물 이송 단계에서, 상기 임계 유니트가 해당 작업을 수행한 다음에 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시키는 자동화 시스템의 제어 방법.
  22. 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트를 포함하는 자동화 시스템에서,
    작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 작업 대상물을 작업 스테이션 상에 로딩하는 단계;
    상기 안전 유니트가 로딩된 작업 대상물에 대하여 해당 작업을 수행하는 단계;
    상기 경계 유니트의 첫 번째 유니트인 임계 유니트가 작업 대상물이 도착되면 언로딩하기 위한 작업 대기 카세트가 있는지를 판단하는 단계;
    상기 작업 대기 카세트가 있는 경우에 상기 임계 유니트가 해당 작업을 수행한 다음에 작업 대상물을 다음 유니트로 이송시키는 단계;
    상기 작업 대상물에 대하여 상기 경계 유니트가 해당 작업을 수행하는 단계; 및
    모든 작업이 완료된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩하는 단계
    를 포함하는 자동화 시스템의 제어 방법.
  23. 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트를 포함하는 자동화 시스템에 있어서,
    작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 로딩 유니트가 카세트 도착 정보를 설비 제어기로 전송하는 단계;
    상기 설비 제어기가 로딩 유니트를 구동시켜 로딩 작업이 이루어지도록 하는 단계;
    상기 안전 유니트 중 하나인 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 상기 임계 유니트가 해당 정보를 설비 제어기로 전송하는 단계;
    상기 설비 제어기가 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 단계;
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 있는 경우에 상기 설비 제어기가 상기 작업 대상물을 다음 상기 임계 유니트의 다음 유니트로 이송시켜 작업이 계속 수행되도록 하는 단계;
    상기 작업 대상물에 대한 상기 경계 유니트의 작업이 모두 완료된 경우에 상기 언로딩 유니트가 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 단계
    를 포함하는 자동화 시스템의 제어 방법.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 임계 유니트는 상기 경계 유니트의 바로 이전 유니트인 자동화 시스템의 제어 방법.
  25. 제23항 또는 제24항에 있어서,
    상기 임계 유니트가 정보를 전송하는 단계에 있어서, 상기 임계 유니트가 해당 작업을 수행한 다음에 작업 완료 정보를 전송하고,
    상기 작업 대기 카세트 도착 유무 판단 단계에 있어서, 상기 작업 완료 정보에 따라 상기 설비 제어기가 작업 대기 카세트 도착 유무를 판단하는 자동화 시스템의 제어 방법.
  26. 제23항 또는 제24항에 있어서,
    상기 임계 유니트가 정보를 전송하는 단계에서, 상기 임계 유니트가 해당 작업을 수행하기 전에 작업 대상물 도착 정보를 설비 제어기로 전송하고,
    상기 작업 대기 카세트 도착 유무 판단 단계에서, 상기 설비 제어기는 작업 대상물 도착 정보가 전송되면 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하고,
    상기 작업 대상물 이송 단계에서, 상기 설비 제어기는 작업 대기 카세트가 도착된 경우에 상기 임계 유니트의 작업이 이루어지도록 하는 자동화 시스템의 제어 방법.
  27. 각각 설정 작업 시간이 경과되어도 작업 특성이 변화되지 않는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 안전 유니트 및 각각 설정 작업 시간이 경과되면 작업 특성이 변화되는 작업을 순차적으로 수행하는 다수의 경계 유니트를 포함하고, 상기 안전 및 경계 유니트는 상기 로딩된 작업 대상물에 대하여 설정된 작업을 순차적으로 수행하는 작업 유니트를 포함하는 자동화 시스템에 있어서,
    작업 대상물이 수납된 카세트가 도착되면 로딩 유니트가 카세트 도착 정보를 설비 제어기로 전송하는 단계;
    상기 설비 제어기가 로딩 유니트를 구동시켜 로딩 작업이 이루어지도록 하는 단계;
    상기 경계 유니트의 첫 번째 유니트인 임계 유니트로 작업 대상물이 도착되면 상기 임계 유니트가 작업물 도착 정보를 설비 제어기로 전송하는 단계;
    상기 설비 제어기가 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 도착되어 있는지를 판단하는 단계;
    상기 언로딩 유니트에 작업 대기 카세트가 있는 경우에 상기 설비 제어기가 상기 임계 유니트가 해당 작업을 수행하도록 한 다음, 작업 대상물을 상기 임계 유니트의 다음 유니트로 이송시켜 작업이 계속 수행되도록 하는 단계;
    상기 작업 대상물에 대한 상기 경계 유니트의 작업이 모두 완료된 경우에 상기 언로딩 유니트가 처리된 작업 대상물을 작업 대기 카세트에 언로딩시키는 단계
    를 포함하는 자동화 시스템의 제어 방법.
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